DE1964639B2 - Verfahren zum metallisieren einer oberflaeche eines keramik-koerpers - Google Patents
Verfahren zum metallisieren einer oberflaeche eines keramik-koerpersInfo
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Description
Plattierung beträgt etwa 5 bis 7 Gew.-% des Gewichtes
an Molybdän oder Wolfram.
C. Mangan-Pulver
Dies ist ein äußerst hochreines Metallpuk ,,n
um und feiner. Das Pulver ist frei von irgen.cinem
Überzug.
D. Magnesium-Sinterpulver
Dies ist ein Magnesiumaluminiumsilikat, das durch ' niges Mischen von 300 Gew.-Teilen Magnesiumoxyd π
!flockig), 5° Gew.-Teilen Aluminiumoxyd (44 μίτι),
technische Qualität) und 650 Gew.-Teilen Silicumdi-
xvd (44 V-m> technische Qualität), Sintern der Mischung
h 13000C während etwa einer Stunde und anschließendes
Mahlen der gesinterten Masse auf annähernd 2 μπι _>
< durchschnittliche Teilchengröße hergestellt wurde.
E. Calcium-Sinterpulver
Dies ist ein Kalziumaluminiumsilikat-Sinterpulver, das durch inniges Mischen von 404 Gew.-Teilen
Kalziumoxyd (44 μΐη, technische Qualität), 108 Gew.-Teilen
Aluminiumoxyd (44 μπι, technische Qualität), und Gew.-Teilen Siliziumdioxyd (44 μΐη, technische
Qualität), Sintern der Mischung bei etwa 1300°C
während einer Stunde und anschließendes Mahlen der gesinterten Masse auf eine durchschnittliche Teilchengröße
von annähernd 2 μΐυ hergestellt wurde.
F. Mangan-Sinterpulver
Dies ist ein Mangansilikat-Pulver, das durch inniges Mischen von 620 Gew.-Teilen Siliziumdioxyd (44 μιτι,
technische Qualität) mit 465 Gew.-Teilen Mangandioxyd (technische Qualität), Sintern der Mischung bei
etwa 1170°C während etwa einer halben Stunde und
anschließendes Mahlen der gesinterten Masse auf eine durchschnittliche Teilchengröße von etwa 2 μπι hergestellt
wurde.
G. Bindemittel
Dies ist ein kommerziell verfügbares Bindemittel wie Äthylcellulose-Bindemittel. Das Bindemittel besitzt die
Fähigkeit, die Zubereitung vor dem Sintern zu binden und sich im wesentlichen vollständig beim Erhitzen
unterhalb der Sintertemperatur zu verflüchtigen, ohne Blasenbildung in dem Überzug hervorzurufen.
H.Träger
Dies kann irgendeine Flüssigkeit sein, welche mit dem Bindemittel verträglich ist. Für Athylcellulose-Bindemittel
wird Äthylenglykoldibutyläther bevorzugt.
in den nachstehend beschriebenen Beispielen wird die metallisierende Mischung durch inniges Mischen der
trockenen Bestandteile, Zugeben an Träger soviel wie erforderlich, weiteres Mischen der Zubereitung und
vorzugsweise Erhitzen auf etwa 150° C während etwa
einer Stunde hergestellt. Nach Abkühlen der Mischung auf Raumtemperatur wird die Mischung auf eine
optimale Viskosität durch Zugabe einer geeigneten Menge an Träger verdünnt. Die Metallisierungsmi-■-,
schung wird dann auf eine Oberfläche des Keramik-Körpers
mittels Durchsieben durch ein ΙΙΟ-μιη-.Sieb als
Schicht aufgebracht. Andere Sieb-Maschengrößen können verwendet werden. Andere Methoden der Aufbringung,
wie z. B. durch Sprühen, Sireichen oder mittels mi eines Förderbandes, können ebenfalls angewandt
werden. Der überzogene Keramik-Körper wird dann, wie in jedem Beispiel gezeigt, erhitzt und anschließend
auf Raumtemperatur zur Metallisierung des Keramik-Körpers abgekühlt. Der metallisierte Keramik-Körper
r, wird in eine Einspann-Vorrichtung gegenüber einem
ähnlichen metallisierten Keramik-Körper gebracht, mit einer Schicht von Nicoro-Hartlöt-Material (Nickel-Kupfer-Gold-Legierung)
dazwischen. Diese Einheit wird auf etwa 10500C während 10 Minuten erhitzt und
:,i anschließend gekühlt, wodurch die Verbindung vollendet
wird.
Um den Bruchmodul der Verbindung zu testen, werden die geformten Körper maschinell zu Prüfstäben
für Bruchfestigkeit mittels Diamantschneid- und Schleify, scheiben geformt. Anschließend werden die Stäbe bis
zum Bruch mit einer 3-Punkt-Belastving bei einer
Geschwindigkeit von etwa 70 300 kg/cm2 pro Minute belastet. Die meisten Brüche treten in dem Keramik-Körper
bei einer Entfernung von mehr als 635 μιη von
j„ der Verbindung auf. Die Belastung ist gewöhnlich
größer als diejenige Belastung, welche für den Bruch des Körpers ohne eine Bindung unter den gleichen
Bedingungen erforderlich ist.
Eine metallisierende Mischung der nachstehenden Rezeptur wird hergestellt:
57 Gew.-Teile nichtüberzogenes Molybdän-Pulver
57 Gew.-Teile nichtüberzogenes Molybdän-Pulver
(Material A)
M) 39 Gew.-Teile überzogenes Molybdän-Pulver
M) 39 Gew.-Teile überzogenes Molybdän-Pulver
(Material B)
6 Gew.-Teile Mangan-Pulver (Material C) 6,75 Gew.-Teile Magnesium-Sinterpulver
(Material D)
6,75 Gew.-Teile Kalzium-Sinterpulver
6,75 Gew.-Teile Kalzium-Sinterpulver
(Material E)
1,5 Gew.-Teile Mangan-Sinterpulver (Material F) 4,0 Gew.-Teile Bindemittel (Material G)
18 Gew.-Teile Träger (Material H)
Im Anschluß daran wird eine Oberfläche eines Keramik-Körpers aus Berylliumoxid mit dem Ansatz in
einer Dicke von etwa 63,5 μπι beschichtet. Nach dem Beschichten wird der Keramik-Körper in einer reduzie-.-,.-,
renden Atmosphäre, welche im wesentlichen aus Stickstoff, enthaltend etwa 10 bis 25 Gew.-% Wasserstoff
welche einen Taupunkt zwischen +250C und -25°C aufweist, bei etwa 12600C während etwa
Minuten erhitzt und anschließend abgekühlt.
Beispiele 2 bis 5
Die Tabelle zeigt eine Gruppe von Zubereitungen, welche steigende Anteile an Nickel-plattiertem Molybt>5
dän-Pulver und abnehmende Anteile an unplattiertem Pulver enthalten. In diesen Beispielen wird ein
keramischer Körper aus 95% Aluminiumoxyd mit dem Ansatz beschichtet und anschließend in einer sonst in
Beispiel 1 beschriebenen Weise bei der Metallisierungstemperatur erhitzt.
90,0 | 3 | 4 | 5 | |
— | ||||
Beispiel | 4,5 | 82,5 | 76,0 | 19,0 |
2 | 4,5 | 7,5 | 19,0 | 77,0 |
Material (Gew.-Teile) | 1,0 | 4,5 | 4,5 | 4,5 |
A | 3,5 | 4,5 | 4,5 | 4,5 |
B | 18 | 1,0 | 1,0 | 1,0 |
D | 1540 | 3,5 | 3,5 | 3,5 |
E | 18 | 18 | 18 | |
F | 1425 | 1280 | 1220 | |
G | ||||
H | ||||
Metallisie | ||||
rungstem | ||||
peratur (0C) |
r>
Die unter den Beispielen 2 bis 5 durchgeführten Untersuchungen des Bruchmoduls an den Prüfstäben für
Bruchfestigkeit ergaben Bruchfestigkeiten von etwa dem gleichen Wert in der Nachbarschaft von etwa 2>
3866,5 kg/cm2. Es sei jedoch bemerkt, daß die Metallisierungstemperatur von 1540°C auf 1425°C mit
einem geringen Einsatz an plattierten Teilchen und dann fortschreitend auf 1220°C mit steigenden Einsätzen
reduziert wurde. so
Eine metallisierte Oberfläche kann gleichfalls auf einem keramischen Material unter Verwendung einer r>
Mischung, enthaltend Nickel-überzogenes Wolfram-Pulver hergestellt werden. Die Mischung enthält 36,0
Gew.-Teile Wolfram-Pulver als Material A. Material B besteht in 145,0 Gew.-Teilen an Nickel-überzogenem
Wolfram-Pulver. Das Nickel in Material B beträgt bis 4,5% des Gesamtgewichtes an Material B. Die
Materialien C, D, E, F, G und H werden in den in der vorstehenden Tabelle angegebenen Mengen verwendet.
Es wurde gefunden, daß eine Metallisierungstemperatur von etwa l?00°C eine optimale Festigkeit für den
metallisierten Überzug ergibt.
Die metallisierende Mischung besteht also im wesentlichen aus 10 bis 90 Gew.-Teilen nicht überzogenem Molybdän- oder Wolfram-Metallpulver, 4 bis 80
Gew.-Teilen überzogenem Molybdän- oder Wolfram-Metallpulver, 0 bis 10 Gew.-Teilen nicht überzogenem
Mangan-Metallpulver und 2 bis 27 Gew.-Teilen Silikatpulver.
Die überzogenen Molybdän- und Wolfram-Metallpulver können die gleichen sein wie die nicht überzogenen
Molybdän- und Wolfram-Metallpulver mit der Ausnahme der Beschichtung auf den Teilchen. Die Beschichtung
besteht aus Nickel-, Eisen- oder Kobalt-Metall, vorzugsweise durch Plattieren der Teilchen aufgebracht,
obwohl andere anhaftende Metallüberzüge w> geeignet sind. Bloßes Mischen von Molybdän- oder
Wolfram-Teilchen mit feineren Teilchen des Überzugsmetalls ist nicht geeignet. Die Menge an Überzugsmetall
kann von etwa 0,5 bis 10 Gew.-% des Gewichtes der Teilchen, welche überzogen sind, variieren.
Die Anwesenheit an nicht überzogenen Mangan-Teilchen in der Zubereitung ist wahlfrei. Zugaben an
Manean-Teilchen sind zum Metallisieren von Körpern aus Berylliumoxid (99,5% oder mehr BeO) und Körpern
mit sehr hohem Aluminiumoxidgehalt (98% oder mehr Al2O3) erwünscht. Zugaben an Mangan-Teilchen werden
vorzugsweise dort unterlassen, wo Mangan oder Chrom in dem keramischen Körper enthalten ist.
Mangan-Metall-Teilchen von sehr hoher Reinheit werden bevorzugt, obwohl andere Reinheitsgrade
verwendet werden können. Die durchschnittliche Partikelgröße beträgt 44 μηι und darunter.
Das Silikatpulver kann Magnesium-Aluminium-Silikat, Kalzium-Aluminium-Silikat und/oder Mangansilikat
sein. Es wird bevorzugt, eine Kombination von allen drei dieser Silikate in den folgenden Anteilen pro 100
Gew.-Teilen an Metallpulver zu verwenden: 1 bis 12 Gew.-Teile Magnesium-Aluminium-Silikat, 1 bis 12
Gew.-Teile Kalzium-Aluminium-Silikat und 0,2 bis 3 Gew.-Teile Mangansilikat.
Die Metallisierungsmischung ist mit geeigneten Bindemitteln und Trägern rezeptiert, welche mit den
anderen Bestandteilen der Rezeptur und mit den Verarbeitungsstufen, welche zur Herstellung des Metallüberzugs
angewandt werden, verträglich sind (vgl. z. B. US-PS 32 90 171). Die Mischung wird vorzugsweise
bei etwa 150°C während etwa einer Stunde erhitzt. Dies verbessert die Eigenschaften der nachfolgend mit der
Metallisierungsmischung hergestellten Metallisierungsschicht.
Die Metaüisierungsmischung wird auf eine Oberfläche eines keramischen Körpers aufgebracht. Der
keramische Körper kann von irgendeinem Beschaffenheitstyp sein, wie er für elektrische Isolierung
verwendet wird, und dessen Alterungstemperatur höher als die angewandte Metallisierungstemperatur ist. Es
wird bevorzugt, einen Keramik-Körper aus Aluminium oder Berylliumoxid zu verwenden. Ein Vorteil des neuen
Verfahrens ist die Tatsache, daß es mit verschiedenen Arten von Keramik-Körpern und insbesondere mit
Keramik-Körpern aus Beryllium- und Aluminiumoxid durchgeführt werden kann. Die Metallisierungsmischung
kann in üblicher Weise aufgebracht werden, z. B. mittels: Sieben, Streichen, Sprühen, Tauchen, Abstreichmesser
etc. Ein Förderband kann gleichfalls verwendet werden. Die Metallisierungsmischung wird als eine
dünne Schicht vorzugsweise von etwa 15 bis 75 μίτι
Stärke aufgebracht, obwohl Schichten mit 12 bis 100 μίτι
Dicke ebenfalls verwendet werden können. Die Dicke der aufgebrachten Schicht wird so eingestellt, daß nach
dem Brennen eine Sinterschicht mit etwa 12 bis 36 μίτι
Stärke vorhanden ist. Es wurde gefunden, daß dieser Bereich Verbindungen mit optimaler Festigkeit ergibt.
Nach der Aufbringung wird die aufgebrachte Schicht zur Entfernung des Trägers getrocknet.
Im Anschluß an das Trocknen wird der überzogene Keramik-Körper auf etwa 11000C bis 150O0C (Metallisierungstemperatur)
in einer reduzierenden Atmosphäre erhitzt, bis die Schicht auf die Oberfläche des
Keramik-Körpers gesintert und eine metallisierte Schicht vorhanden ist. Die reduzierende Atmosphäre
besteht vorzugsweise aus 10 bis 40 Gew.-% Wasserstoffgas und 90 bis 60 Gew.-% Stickstoff und enthält
weiterhin so viel Wasserdampf, daß sie einen Taupunkt von höher als -25° C bis hinauf zu +200C besitzt.
Atmosphären, die trockener sind (niedriger Taupunkt), haben schwächere Bindungen zwischen dem Metallbelag
und dem Keramik-Körper zur Folge. Das Metallisierungserhitzen erfordert gewöhnlich etwa 1 Stunde, kann
jedoch auch in einem so geringen Zeitraum wie 10 Minuten und gleichfalls bis zu 3 Stunden erfolgen. Der
metallisierte Keramik-Körper wird anschließend auf Raumtemperatur abgekühlt.
Während des Erhitzens agglomerieren die Metallteilchen und wachsen zu einem porösen metallischen
Gefüge mit einem gewissen Wachstum der Partikelgröße zusammen. Die Oberfläche der Metallschicht ist
metallisch und kann leicht gelötet oder geschweißt werden. Während des Erhitzens passen sich gleichfalls
die anwesenden Silikate an das poröse Gefüge an und füllen die Poren unter Ausbildung einer im wesentlichen
vollkommen gefüllten Struktur, was zum Erreichen einer endgültigen vakuumdichten Verbindung wichtig
ist. Die Silikate netzen gleichfalls den Keramik-Körper und die poröse Metallstruktur, wobei sie eine Verbindung
hervorbringen, welche fester ist als die des Keramik-Körpers. Zusätzlich ist das Gefüge so
beschaffen, daß bei dem nachfolgenden Erhitzen während des Schweißens oder Lötens die Silikate nicht
zu der Oberfläche hin ausblühen und die Adhäsion des Lotes oder des Hartlotes an den Metallbelag hindern.
Eines der Merkmale der Erfindung ist die Verwendung einer Mischung von beschichteten und nichtbeschichteten
Teilchen aus Molybdän- oder Wolfram-Metall. Die Verwendung von beschichteten Teilchen
erlaubt die Anwendung von niedrigeren Melallisierungstemperaturen.
Mit Anwachsen des Verhältnisses von beschichteten Teilchen in unbeschichteten Teilchen
nimmt die erforderliche Metallisierungstemperatur ab.
Mischungen, worin alle Metall-Teilchen beschichtet sind, benötigen die tiefste Metallisierungstemperatur;
jedoch ist das Zeit-Temperatur-Verhältnis während der Metallisierung dann schwierig zu regeln, um ein
genügend einheitliches Produkt herzustellen. Daher stellt eine Mischung von beschichteten und nichtbeschichteten
Metall-Teilchen beides, nämlich sowohl den Vorteil einer niedrigeren Metallisierungstemperatur als
auch ein Produkt mit guten Eigenschaften sicher. Das Relativgewicht des Metallüberzugs auf den Metall-Teilchen
beeinflußt die Metallisierungstemperatur ebenfalls, jedoch in einem geringeren Ausmaß.
Die gesinterte Metallschicht kann als solche zur Ausbildung einer Verbindung mit einem Metall-Teil
5 oder mit einem ähnlich metallisierten keramischen Teil
verwendet werden. Frei nach Wahl kann die gesinterte Metallschicht als Basis für die Deposition eines anderen
Metalles verwendet werden. Zum Beispiel wird der metallisierte Keramik-Körper in einem Plattierungsbad
u) zur Deposition eines Oberzugs von Nickclmctall von
etwa 2,54 μΐυ bis 5,08 μΐη Dicke auf den metallisierten
Teil der Keramik behandelt Der Keramik-Körper kann dann an seinen Nickel-plaitierten Flächen entweder mit
einem metallisierten keramischen Teil oder mit einem
ι s metallischen Teil unter Verwendung von Hartloten, wie
z.B. reinem Kupfer, oder Silber-Kupfer-Legierungen verbunden sein. Legierungen von Nickel-Gold, Nickel-Kupfer-Gold
und Nickel-Kupfer erfordern keine plattierte Schicht auf dem Metallbelag.
Das Hartlöten wird in geeigneter Weise durchgeführt,
indem man den Keramik-Körper in einer Einspannvorrichtung hält, das Hartlot zwischen die
metallisierte Fläche an dem Körper und dem Teil bringt, mit welchem dieser zu verbinden ist, und anschließend
die Einrichtung in einer reduzierenden Umgebungsatmosphäre während etwa 3 bis 5 Minuten bei einer
Temperatur von etwas oberhalb des Schmelzpunktes des verwendeten Hartlotes erhitzt Für ein 72-Silber-28-Kupfer-Harüot
wird eine Temperatur von 815° C bevorzugt Wenn reines Kupfer als Hartlot verwendet
wird, wird eine Temperatur von etwa 1110° C bevorzugt
Nach dem Hartlöten wird die Einrichtung abgekühlt und die hartgelötete Verbindung ist gebrauchsfertig,
Die Verbindung ist vakuumdicht und hat eine Biegefestigkeit die etwa gleich oder größer als die
Biegefestigkeit des Keramik-Körpers ist mit einei maximalen Festigkeit von etwa 4921 kg/cm2.
Claims (10)
1. Verfahren zum Metallisieren einer Oberfläche eines Keramik-Körpers durch Beschichten der ■■>
Oberfläche mit einer metallisierenden Mischung, welche unbeschichtete Teilchen aus den schwer
schmelzbaren Metallen Molybdän und/oder Wolfram, Schwermetall in Form von Nickel, Eisen
und/oder Kobalt sowie ein Silikat enthält, und w anschließendes Erhitzen des beschichteten Keramik-Körpers
in einer reduzierenden Atmosphäre auf mindestens 11000C, dadurch gekennzeichnet,
daß das Schwermetall als haftender Überzug auf zusätzliche Teilchen aus den schwer \r>
schmelzbaren Metallen Molybdän und/oder Wolfram aufgebracht wird, daß als Silikat zumindest eine
der Verbindungen Magnesium-Aluminium-Silikat, Kalzium-Aluminium-Silikat und Mangansilikat gewählt
wird, daß die Mischung aus 10 bis 90 :o Gew.-Teilen der unbeschichteten und 4 bis 80
Gew.-Teilen der beschichteten Teilchen aus dem schwer schmelzbaren Metall und 2 bis 27 Gew.-Teilen
des Silikates besteht und daß der beschichtete Keramik-Körper auf eine Temperatur bis zu 15000C 2i
erhitzt wird.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß eine zusätzlich bis zu 10 Gew.-Teile
Mangan enthaltende metallisierende Mischung verwendet wird. 31)
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nichtbeschichtete Teilchen aus Molybdän
und beschichtete Teilchen aus mit Nickel überzogenem Molybdän verwendet werden.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn- y-,
zeichnet, daß ein Körper aus einer Berylliumoxid-Keramik verwendet wird.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß ein Körper aus einer Aluminiumoxid-Keramik
verwendet wird, to
6. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß in einer aus 10 bis 40 Gew.-%
Wasserstoff und 90 bis 60 Gew.-% Stickstoff bestehenden reduzierenden Atmosphäre, deren
Taupunkt höher als -25°C liegt, gearbeitet wird. v-,
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß eine aus 57 Gew.-Teilen nichtbeschichtetem
Molybdänpulver, 39 Gew.-Teilen mit Nickel überzogenem Molybdänpulver und 15 Gew.-Teilen
Silikat-Pulver bestehende metallisierende Mischung -,o
verwendet wird.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß eine zusätzlich 6 Gew.-Teile Mangan-Pulver
enthaltende metallisierende Mischung verwendet wird. V)
9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß ein Körper aus einer Berylliumoxid-Keramik
verwendet und bei Temperaturen zwischen 1200° und 13000C gearbeitet wird.
10. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekenn- mi
zeichnet, daß eine aus 76 Gew.-Teilen nichtbeschichtetem Molybdän-Pulver, 19 Gew.-Teilen mit Nickel
überzogenem Molybdänpulver und 10 Gew.-Teilen Silikat-Pulver bestehende metallisierende Mischung
verwendet wird. t> >
Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1.
Für viele Anwendungszwecke werden feste, vakuumdichte Keramik-Metall-Verbindungen benötigt, z. B. in
Hochvakuum-Röhren, in denen ein Keramik-Körper vakuumdicht mit einem Metallteil verbunden im.
Derartige Dichtungsabschlüsse werden hergestellt, indem man zuerst die Oberfläche des Keramik-Körpers
metallisiert und anschließend die metallisierte Oberfläche mit dem Metallteil oder einer anderen metallisierten
Oberfläche verbindet. Das Metallisieren wird gewöhnlich durch Sintern einer Schicht eines schwer schmelzbaren
Metalls, wie Molybdän oder Wolfram, auf die Oberfläche des Keramik-Körpers durchgeführt. Für die
meisten praktischen Zwecke wird das Sintern des schwer schmelzbaren Metalls durch irgendwelche
Mittel gefördert, damit die Metallisierungstemperatur auf einen Wert von unterhalb 175O0C bzw. 21000C (der
Temperatur, bei welcher Molybdän bzw. Wolfram von selbst sintert) herabgesetzt werden kann. Metallisierungstemperaturen
oberhalb von 17500C sind für die zu
metallisierende Keramik wegen des die Festigkeit beeinträchtigenden Kernwachstums nachteilig und
erfordern außerdem aufwendige öfen.
Eine Sinterhilfe ist beispielsweise die Anwesenheit von Wasserdampf in der während der Metallisierung
herrschenden Gasatmosphäre.
Eine andere Sinterhilfe ist die Verwendung von »glasartigen« Additiven zur Metallisierung (US-PS
30 23 492), die aber die Auswahl verwendbarer Keramik-Körper begrenzen, oder von Hilfsmetallen, wie z. B.
Mangan, Eisen, Yttrium und Niob (US-PS 29 38 806).
Ein Verfahren der eingangs genannten Art ist aus der US-PS 29 85 547 bekannt. Bei dem bekannten Verfahren,
das zur Sinterhilfe mit einem verdampfbaren Hilfsmittel arbeitet, wird eine Mischung aus unbeschichteten
Molybdän- bzw. Wolframteilchen mit Schwermetallteilchen im Elementarzustand verwendet.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren anzugeben, das einerseits mit relativ
niedrigen Temperaturen auskommt und andererseits ein Erzeugnis mit guten, genau reproduzierbaren Adhäsions-
und Festigkeitseigenschaften gewährleistet.
Diese Aufgabe wird durch das im Anspruch 1 gekennzeichnete Verfahren gelöst.
Die Erfindung hat den Vorteil, daß bei niedrigen Metallisierungstemperaturen ein sehr gleichmäßiges
Produkt entsteht, und zwar ohne aufwendige Sinterhilfsmittel. Ohne Beeinträchtigung der Bruchfestigkeitseigenschaften
des Keramik-Körpers wird zugleich eine optimale Adhäsion und eine vollkommen vakuumdichte
Verbindung erreicht. Ferner besteht weitgehende Freiheit hinsichtlich der Art des Keramik-Körpers.
In den nachstehend beschriebenen Beispielen werden die folgenden Materialien verwendet:
A. Unbeschichtetes Molybdän- oder Wolfram-Pulver
Dieses ist ein äußerst hochreines (99,8% oder höher)
Metallpulver mit einer Partikelgröße im Bereich von 1 bis 20 μηι.
B. Beschichtetes Molybdän- oder Wolfram-Pulver
Dies ist ein äußerst hochreines (99,8% oder höher) Metallpulver, in welchem das Molybdän eine durchschnittliche
Teilchengröße von 3,5 bis 5,0 μιτι und das
Wolfram eine durchschnittliche Teilchengröße von 2,0 bis 3,5 μητ hat. Die Teilchen weisen eine aufplattierte
Schicht aus Nickel-, Eisen- oder Chrom-Metall auf. Die
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