DE3418244A1 - Wagen zum transportieren von kassetten mit halbleiterplaettchen - Google Patents
Wagen zum transportieren von kassetten mit halbleiterplaettchenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Transport einer Halbleiterplättchenkassette und bezieht sich insbesondere auf
einen Wagen zum Transportieren einer Kassette mit Halbleiterplättchen in einer automatisierten Kassettenförderanlage.
In den meisten Fabrikationsanlagen für Halbleiterbauelemente werden Halbleiterplättchen in Kassetten gespeichert und trans-
. portiert, die von ca. 13 bis ca. 25 einzelne Plättchen enthal-.ten.
Solche Kassetten bilden eine Alternative zu der Möglichkeit, einzelne Plättchen mittels einer Luftbahn, Schwingungsbahn oder Förderriemen von Station zu Station zu befördern.
Die Kassetten werden entweder von Hand oder auf Rollwagen von Arbeitsplatz zu Arbeitsplatz transportiert. Bei einer bekannten
Anordnung werden versiegelte Kassetten pneumatisch von Arbeitsplatz zu Arbeitsplatz transportiert, siehe P. P.
Castrucci, "Pneumatic Distribution and Control System", IBM Technical Disclosure Bulletin, Bd. 15, Nr. 6, November 1972,
S. 1763. Bei den meisten Kassettenanordnungen ist der menschliche Faktor zumindest bei der Handhabung der Kassette und
manchmal auch beim Entfernen und erneuten Einsetzen von Plättchen in Kassetten beteiligt. Bei der Handhabung und Förderung
von Halbleiterplättchen in Kassetten in großem Maßstab gibt es insbesondere angesichts der Maxime der Halbleiterindustrie,
daß Menschen Teilchen verursachen, keine Alternative zu der
. herkömmlichen "Reinluftraum"-Umgebung in Halbleiterfertigungsanlagen,
siehe z.B. J. A. Lange "Sources of Semiconductor Wafer Contamination", Semiconductor International, April 1983,
S. 124.
In der industriellen Fertigung von Halbleiterbauelementen werden seit langem Reinlufträume benutzt, die von Verunreinigungsstoffen und anderen Teilchen frei sind. In diesen sogenannten
,"Reinlufträumen11 werden Zwangsluftströme über die Arbeitsbereiche
geleitet, die einströmende Luft durch hochleistungsfähige, Teilchen absondernde Luftfilter, nachfolgend kurz
HEPA-Filter, geleitet und unter 'den strengsten Bedingungen gearbeitet.
So müssen z.B. über der Straßenkleidung Schutzkap-
-34182U
pen, Schutzgewänder und -hosen sowie Überschuhe getragen werden,'
es dürfen keine Fremdstoffe eingebracht werden, und häufig erfolgt der Zugang allein durch Dekontaminationskammern,
siehe M. S. Dahlstrom, "Clean Room Garments: Where From Here?" Semiconductor International, April 1983, S. 111. Der Zweck
solcher Reinlufträume ist es, das Vorhandensein elektrisch aktiver Verunreinigungen oder Teilchen auf der Arbeitsfläche,
von Halbleiterplättchen zu verhindern. Durch elektrisch aktive Verunreinigungen könnte die Arbeitsweise der Vorrichtung
beeinträchtigt werden. Teilchen könnten ohne weiteres zu einem Bruch in einer leitfähigen Bahn führen, andere Schaltungsmerkmale
außer Kraft setzen oder anderweitig die elektrischen Eigenschaften
eines Transistors ändern. Die dafür übliche Praxis in der Halbleiterindustrie besteht darin, Reinlufträume zu benutzen,
die die Kriterien nach US Federal Standard 209B erfüllen. Der typische Reinluftraum wird als Raum der Klasse 100 bezeichnet,
worunter per definitonem zu verstehen ist, daß in einem Volumen von einem Kubikfuß bei einem Durchsatz von ca.
100 Fuß/Min, weniger als 100 Teilchen eines durchschnittlichen
Durchmessers von 0,5 Mikron oder darüber vorhanden sind.
Eine bekannte Lösung zum Transport der Halbleiterplättchen unter Bedingungen, die reiner sind als die Umgebung ohne Verwendung eines Reinluftraums besteht in der Plättchentransportanlage
der Nacom Industries Inc., 2852A Walnut Avenue, Tustin, CA 92680. Hier ist für den Rolltransport eines Kassettenwagens
ein geschlossener Tunnel oder Schacht vorgesehen, der über seine Länge hinweg mit Stickstoff gespült wird. Der Wagen
rollt längs des Bodens des Tunnels und wird dabei von Magnetkräften gezogen, die ein in einem zweiten, unteren Tunnel in
der Nähe des Bodens des oberen Schachtes angeordneter Permanentmagnet
erzeugt. Zum Befördern einer Kassette von einem Arbeitsplatz zum anderen können gerade oder gekrümmte Strecken
vorgesehen sein. Zugang zu den Kassetten und den Plättchen ist bei dieser Anlage nur am Ende jeder Tunnelstrecke, aber
nicht an Zwischenstellen längs des Gleises möglich. Außerdem muß dafür gesorgt sein, daß der im unteren, zweiten Tunnel
angeordnete Permanentmagnet zum Eingangsbereich jedes Gleisabschnitts
zurückbewegt wird. Obwohl der Tunnel , der die Kassette aufnimmt, mit trockenem Stickstoff gespült wird, besteht
keine Möglichkeit, teilchenförmige Verunreinigungen zu entfernen, die sich möglicherweise auf den Halbleiterplättchen
absetzen. Im Gegenteil, durch die Bewegung des Wagens und des zum Spülen benutzten Gases besteht sogar die Wahrscheinlichkeit,
daß Teilchen nicht nur erzeugt sondern die ständig vorhandenen Teilchen auch aufgewirbelt und über die
Plättchen verteilt werden.
Um die Kosten von Fertigungsanlagen für Halbleiterbauelemente zu verringern und eine leistungsfähige, saubere Verbindung
zwischen einzelnen Herstellungseinheiten innerhalb solcher Anlagen zu schaffen, ist in der parallel eingereichten Patentanmeldung
P (Anwaltsakte Vl P602 D) eine automatisierte Kassettenförderanlage vorgeschlagen, mit der Kassetten
mit Halbleiterplättchen innerhalb von Tunnels weiterbefördert werden, in denen eine laminare Luftströmung in Reinluftraumqualität
über die Plättchen streicht. Kurz gesagt fahren bei dieser automatisierten Kassettenförderanlage Kassetten
fördernde Wagen auf elektrifizierten Schienen durch teilweise geschlossene Tunnels Durch HEPA-Filter hindurchtretende Luft
strömt nach unten über die Kassetten und aus der offenen Seite des Tunnels heraus in den Herstellungsraum. Die Abwärtsströmung
enthält mindestens eine Komponente laminarer Strömung parallel zur Oberfläche der in den Kassetten enthaltenen Halbleiterplättchen.
Ein zentraler Rechner überwacht den Zustand von Ubergabestellen, beispielsweise Aufzügen und Drehscheiben.
Er steht mit jedem Wagen an verschiedenen Stellen längs des Tunnels beispielsweise über optische Kontaktglieder, einschließlich
von Lesern für Strichcodes, magnetischen Lesern oder durch Hochfrequenzübertragung in Verbindung. Dadurch kann
der zentrale Rechner die Prozeßfolge für die Kassetten mit den Plättchen und selbst die von einzelnen Plättchen innerhalb
einer Kassette zu durchlaufende Folge steuern. Um die berührungslose,
automatische Handhabung von Kassetten und Platt-
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chen bei dieser vorgeschlagenen Anlage zu erleichtern, ist es
wünschenswert, daß an im wesentlichen allen Stellen innerhalb der Anlage der die Kassette transportierende Wagen Zugang zu
den Kassetten und zu einzelnen Plättchen innerhalb der Kassetten bietet.
Aufgabe der Erfindung ist es, einen Wagen zum Transportieren von Kassetten mit Halbleiterplättchen zu schaffen, der Zugang
zu den Plättchen durch den Boden bietet. Insbesondere
soll der Wagen mit ausreichend großer Präzision bewegbar sein um mit Sicherheit Zugriff auf bestimmte Plättchen innerhalb
einer gegebenen Halbleiterkassette zu ermöglichen.
Dieser Wagen zum Transportieren von Kassetten soll mit Elektronik an Bord versehen sein, die über ein Kommunikationsglied
eine Verbindung mit einem zentralen Rechner ermöglicht. Der Wagen soll außerdem zur Verwendung in einer automatisierten
Kassettenförderanlage geeignet sein.
Der Wagen zum Transportieren von Kassetten hat eigenen Antrieb
und lineare Lagereinrichtungen, die es ermöglichen, daß der Wagen stoßfrei und zwangsgeführt längs der Schienen einer automatisierten
Kassettenförderanlage verfahrbar ist.
Im folgenden ist die Erfindung mit weiteren vorteilhaften Einzelheiten
anhand eines schematisch dargestellten Ausführungsbeispiels näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt:
Fig. 1 eine Stirnansicht eines Kassettentransportwagens mit
einer Kassette und einer Messerschneidenblätt-Hebevorrichtung
von geringer Breite in Berührung mit einem bestimmten Plättchen;
Fig. 2 eine Draufsicht auf den Kassettenwagen ohne Kassette und Hebevorrichtung längs der Linie 2-2 in Fig. 1 ;
Fig. 3 eine Ansicht des Bodens des Kassettentransportwagens längs der Linie 3-3 in Fig. 1;
Fig. 4 eine Seitenansicht des Kassettentransportwagens längs
der Linie 4-4 in Fig. 2;
Fig. 5 eine Teilinnenansicht längs der Linie 5-5 in Fig. 2; Fig. 6 ein Schaltbild■ der Schaltung zum Anhalten des
Wagens im Fall eines Kollisionssignals oder eines Haltebefehls.
Der Wagen zum Transportieren von Kassetten mit Halbleiterplattchen
ist zur Verwendung in einer automatisierten Kassettenförderanlage geeignet und hält die Kassette so, daß Zugang
zu den in der Kassette enthaltenen Plättchen durch den Kassettenboden möglich ist. Am Körper des Wagens sind Antriebseinrichtungen
vorgesehen, die dem Wagen ein stoßfreies kontinuierliches Fahren längs des Gleises einer automatisierten Kassettenförderanlage
ermöglichen. Bei einem Ausführungsbeispiel wird ein am Körper des Wagens angeordneter Präzisionsmotor, z.B. ein
Gleichstrom-Schrittschaltmotor mittels einer Buchseneinrichtung erregt, die mit elektrifizierten Schienen in Berührung
steht. Die Antriebskräfte für die Bewegung des Wagens werden
von Zugrollen geliefert, die mit dem Motor verbunden sind und mindestens eine Schiene erfassen. Bei einem bevorzugten Ausführungsbeispiel
weist der Antrieb. halbzylindrische, lineare Lager auf, die in einem Dreiecksmuster an einem Schienenpaar
angeordnet sind.
Fig. 1 zeigt einen Wagen 10 zum Transportieren von Kassetten
in Stirnansicht. Auf der Mitte des Wagens 10 sitzt eine Kassette 13 mit Halbleiterplattchen auf, wobei untere Laschen 14
im Preßsitz auf eine am Körper 9 befestigte U-förmige Verlängerung 15 aufgesetzt sind. Die Kassette kann aus Metall oder
Kunststoff bestehen und ist beispielsweise' eine Kassette, die 5-Zoll-Plättchen in einer Anzahl von 25 Stück enthält, z.B.
eine Kassette Flouroware (Wz) PA182-50M. In einem Schlitz in der genormten Kassette 13 ist ein Plättchen 16 gehalten, welches
normalerweise eine gewisse Möglichkeit zur Bewegung innerhalb des Schlitzes hat, da das Plättchen in den Schlitz und
aus dem Schlitz bewegt werden muß, ohne daß Abrieb entsteht. Im offenen zentralen Bereich des Körpers 9 des Wagens 10 kann
eine Messerschneidenblatt-Hebevorrichtung 17 durch den offenen Boden
des Wagens 10 nach oben in den offenen Boden der. Kassette 13
reichen und das Plättchen 16 nach oben aus der Kassette 13
schieben, so daß es entweder unmittelbar in eine Weiterverarbeitungseinheit
gelangt oder einer Art von Aufnahmearm, z.B. einem Unterdruckfutter zugeführt wird, welches das Plättchen
erfaßt und zum gewünschten Bestimmungsort bringt. Der Zugang zu den Plättchen durch den Boden der Kassette ist im offenen
zentralen Bereich des Wagens 10 möglich. Aufgrund dieser Zugangsmöglichkeit können Plättchen transportiert und in Verarbeitungseinrichtungen
eingesetzt bzw. aus diesen entnommen werden, ohne daß menschliche Bedienungskräfte nötig wären. Im
Betrieb kann der Wagen eine Kassette unmittelbar bis zu der. Beschickungsschleusenkammer einer Fertigungsmaschine führen,
wo das Plättchen durch eine einfache, einstufige Anhebung mittels des Messerblattes in die Maschine eingeführt wird, siehe
z.B. ÜS-PS 4 311 427.
Die Art, wie der Wagen 10 zum Transportieren von Kassetten
auf Schienen 11, 12 entlangfährt,ist aus Fig. 1-3 zu entnehmen.
Auf der Schiene 12 läuft ein. handelsübliches, halbzylindrisches, lineares Lager 19 (erhältlich von Thompson Industries.,
Manhasset, New York 11030) entlang. Wenn der Wagen 10 auf den
Schienen 11, 12 entlangfährt, laufen einzelne Lager 20 in einer
linearen Spur innerhalb des Lagergehäuses weiter, um dem. Wagen längs der Schiene eine stoßfreie Bewegung zu vermitteln. Dies ist insbesondere in der teilweise mit Weglassungen
zu sehenden Seitenansicht gemäß Fig. 5 erkennbar, wo die einzelnen Lager 20 innerhalb der genuteten Spur zu sehen
sind. An der gegenüberliegenden Schiene 11 ermöglichen halbzylindrische, lineare Lager 21 und 22 in ähnlicher Weise eine stoMVeic
Bewegung des Wagens. Durch die Verwendung halbzylindrischer, linearer Lager wird auch erreicht, daß bei einem Versagen einer
Einrichtung der ganze Wagen ohne weiteres von den Schienen der automatisierten Kassettenförderanlage abgenommen werden
kann. Um Schwankungen im Abstand zwischen den Schienen aufnehmen zu können, ist das lineare Lager 19 auf Zapfen 22 seit-
lieh verschiebbar, um den tatsächlich vorhandenen seitlichen
Abstand zwischen dem linearen Lager 19 und den linearen Lagern 21, 22 zu verkleinern oder zu vergrößern. Bei einem bevorzugten Ausfuhrungsbeispiel sind die Lager an den Ecken eines
Dreiecks vorgesehen, so daß sie eine stabile Dreipunktunterstützung abgeben.
Gemäß einem Merkmal der Erfindung ist ein Gleichstrommotor 23 an einer Ecke des Körpers 9 des Wagens 10 angebracht. Durch
Verwendung eines Schrittschaltmotors und digitales Zählen der vom Motor zurückgelegten Schritte kann bei einem bevorzugten
Ausführungsbeispiel die exakte Stelle, an der sich eine Kassette befindet, erkannt und auf ein bestimmtes-Plättchen
zugegriffen werden. Auch wenn die Position der Plättchen innerhalb eines Schlitzes geringfügig variiert, kann die Messerschnei
denblatt-Hebevorrichtung mit Übergröße und einer V-Nut ausgebildet
sein, um das Plättchen auszuheben. Andererseits könnte auch eine Kassette mit anderer als vertikaler Orientierung benutzt
werden, siehe z.B. US-PS 4 355 974. Der Motor wird von den elektrifizierten Schienen 11, 12 mittels leitfähiger Buchsen
erregt. Eine Welle .24 des Gleichstrommotors 23 erstreckt sich nach unten durch ein Gummirad 25, welches die
Schiene 11 tangential berührt. Mit der anderen Seite der
Schiene 11 steht ein Gummirad 26 in Berührung. Die beiden
Gummiräder werden von einer Feder 27, die sie in Reibungssitz gegen die Schiene 11 zieht, in Anlage an der Schiene 11 gehalten.
Wie in der schon genannten Parallelanmeldung (Anwaltsakte Vl P602 D) erläutert, wird der Wagen 10 in seinen Bewegungen
von einem zentralen Rechner gesteuert, dessen Datenbank den Status der als nächstes zu erreichenden Ubergabestellen wiedergibt
und die exakte Verarbeitungsfolge einer gegebenen Kassette kennt. Da in der Anlage gleichzeitig immer mehrere
Wagen bewegt werden, kann die Steuerung der Bewegung eines bestimmten Wagens durch das Schalten des elektrischen Stroms zu
den Schienen nicht optimal bewirkt werden. Statt dessen steht
der zentrale Rechner über Kommunikationsglieder mit an Bord des Wagens vorgesehener Elektronik in Verbindung, die auf einer
gedruckten Schaltungstafel 30 angeordnet ist. Bei den einfacheren Wagen kann eine Photodiode 31 von einer mit dem zentralen
Rechner verbundenen Leuchtdiode Fahr- und Haltebefehle empfangen. Die an Bord des Wagens vorgesehene Elektronik 30
bildet in diesem Fall einen einfachen Schalter für den Gleichstrommotor und soll im. einzelnen anhand von Fig. .6 erläutert
werden. Die Schienen werden üblicherweise mit Gleichstrom eines Wertes von z.B. 24 V erregt. Bei komplizierteren Wagen,
kann zu der an Bord vorgesehenen Elektronik 30 ein Festwertspeicher gehören, der Daten über die Verarbeitungsspezifikationen
und Verarbeitungsgeschichte der ganzen Kassette oder einzelner Plättchen speichern kann. Mit dem zentralen Rechner
kann eine zweiwegige Verbindung bestehen, so daß über alle Kassetten und Plättchen eine Fernsteuerung möglich ist. Die
Verbindung kann auch mittels magnetischer Einrichtungen oder durch Hochfrequenzübertragung erfolgen.
Da in einer automatisierten Anlage mehrere Wagen in Gebrauch sind, ist es wünschenswert, einen Zusammenprall zwischen Wagen
zu verhüten. So kann jeder Wagen an seiner Rückseite mit einem reflektierenden Aufkleber 32 und an seiner Vorderseite mit
einer Lichtquelle, z.B. einer Leuchtdiode 34 und einem Lichtmeßfühler, z.B. einer Photodiode 33 versehen sein. Kommt ein
Wagen einem anderen zu nahe, so wird das Licht der Leuchtdiode 34 vom reflektierenden Aufkleber 32 reflektiert und von der.
Photodiode 33 wahrgenommen. Hierdurch wird die in Fig. 6 gezeigte Schaltung betätigt, um die Stromzufuhr zum Antrieb des
Gleichstrommotors 23 zu unterbrechen. Die Empfindlichkeit der
der Photodiode 33 zugeordneten Detektorschaltung ist einstellbar, so daß der Mindestabstand zwischen Wagen gesteuert werden
kann.
Die bei einem Ausführungsbeispiel des Kassettentransportwagens
gemäß der Erfindung in der an Bord vorgesehenen Elektronik 30
enthaltene Schaltung ist in Fig. 6 gezeigt. Von ihr werden
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zwei Funktionen erfüllt. Erstens muß das.von einer Lichtquelle,
beispielsweise der Leuchtdiode 34 ausgesandte Licht wahrgenommen werden, wenn es von einer reflektierenden Oberfläche, beispielsweise
dem Aufkleber 32 des davor angeordneten Wagens reflektiert wird, zweitens muß ein Phototransistor 31 vorgesehen
sein, der Informationen von einer Lichtquelle 42 empfängt, um die Bewegung des Wagens anzuhalten, wenn wegen des
Zustandes der als nächstes anzufahrenden Ubergabestellen, z.B. der Drehscheiben oder Aufzüge eine Weiterbewegung unsicher
ist.
Die Funktion zum Verhindern von Kollisionen wird von einem Impulsgenerator
40 währgenommen, der die Leuchtdiode 34 pulsierend treibt. Sobald die Gefahr eines Zusammenpralls droht,
wird das von der Leuchtdiode 34 ausgehende Licht nach hinten von der reflektierenden Oberfläche des Aufklebers 32 des
nächstvorderen Wagens reflektiert. Das reflektierte Licht wird von einem Photodetektor 33 wahrgenommen, der ein Eingangssignal
an einen monostabilen Multivibrator 41 liefert, welcher einem Schmidt-Trigger 45 ein kontinuierliches Signal zuführt.
Das sich ändernde Eingangssignal des Schmidt-Triggers 45 führt zu einem geänderten Ausgangssignal, welches von einem Optoisolator
49 gehalten und der Basis eines ersten Transistors eines Darlington-Paares 50 zugeführt wird. Das Darlington-Paar
50 schaltet ab und hebt dadurch den Kurzschluß in einer Vierphasenschleife 51 auf und schaltet einen Motor 52 ab. Der Motor
bleibt so lange abgeschaltet, wie pulsierendes Licht vom Photodetektor 33 empfangen und der Ausgang des Schmidt-Triggers
45 in der beschriebenen Stellung gehalten wird. Wenn jedoch kein Lichtsignal oberhalb der Empfindlichkeitsschwelle des
Photodetektors 33 mehr empfangen wird, kehrt der Schmidt-Trigger 45 in seinen ursprünglichen Zustand zurück, das Darlington-Paar
50 wird eingeschaltet, die kurzschließende Vierphasenschleife 51 entkoppelt und der Motor 52 in seinen Normalzustand
zurückgeschaltet, d.h. eingeschaltet.
Die Haltefunktion wird von dem monostabilen Multivibrator 41
wahrgenommen, der Impulse empfängt und in ein kontinuierliches Signal umwandelt. Wenn der Phototransistor 31 ein Lichtsignal
von der Lichtquelle 42 wahrnimmt, ändert sich der Zustand.des Schmidt-Triggers 44, und es wird über den Optoisolator 49 ein
Triggersignal an den Eingangstransistor des Darlington-Paares 50 angelegt, welches dadurch ausgeschaltet wird, so daß es der
Vierphasenschleife 51 möglich ist, den Motor 52 abzuschalten.. Der Motor 52 bleibt so lange abgeschaltet, wie der Phototransistor 31 ein Lichtsignal von der Lichtquelle 42 empfängt.
Wenn eine Weiterbewegung sicher ist, wird die Lichtquelle 42 beispielsweise auf Anweisung des zentralen Rechners abgeschaltet. Der Schmidt-Trigger 44 liefert ein Umkehrsignal, um das
Darlington-Paar 50 in den ursprünglichen Zustand zurückzuschalten, wodurch die Vierphasenschleife 51 entkoppelt und der
Motor 52 erneut eingeschaltet wird.
Der Kassettenwagen mit Zugang durch den Boden ist hier zur Verwendung in einem Doppelschienensystem beschrieben worden,
und ein wesentliches Merkmal besteht im Zugang zu den Plättchen durch den Boden der Kassetten. Bei anderen Ausführungsbeispielen der Erfindung bietet der Wagen Zugang durch den
Boden, ist aber zum Verfahren auf einer Einzelschiene geeignet Es ist auch ein Wagen möglich, der eine Kassette innerhalb
seines Körpers abstützt und trotzdem Zugang durch den Boden bietet, ähnlich wie bei Holztransportfahrzeugen. Außerdem kann
ein Wagen in einem Schlitz an der Seite eines Tunnels in einer automatisierten Kassettenförderanlage bewegbar sein, der
die Kassette seitlich mit Abstand abstützt und trotzdem durch den Boden Zugang ermöglicht.
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Claims (16)
- Wagen zum Transportieren von Kassetten mit Halbleiterplattchen Priorität: 20. Mai I983 - USA - Serial No. 496 768.PatentansprücheΠ .J Wagen zum Transportieren von Kassetten mit Halbleiterplattchen auf einer Gleiseinrichtung durch Tunnels in einer automatisierten Kassettenförderanlage, gekenzeichnet durch- einen Wagenkörper, der zur Aufnahme, einer Halbleiterplattchen enthaltenden Kassette geeignet ist, wobei die Kassette so abstützbar ist, daß sie Zugang zu den Plättchen durchden Boden der Kassette ermöglicht, und
-eine am Körper angebrachtes und mit der Gleiseinrichtung verbunbundene Antriebsverkettung, wobei der Körper auf der Gleiseinrichtung innerhalb der Tunnels in der automatisierten Kassettenförderanlage antreibbar ist. - 2. Wagen nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet die Kassette lösbar befestigbar hält.daß der Wagenkörper
- 3. Wagen nach Anspruch 1, ·dadurch gekennzeichnet , daß der Körper dieKassette mindestens an einer Seite hält, wobei Zugang zurKassette von unten ermöglicht ist.
- 4. Wagen nach Anspruch 3,dadurch gekennzeichnetdaß die Antriebaverket-4-18244tung einen Arm aufweist, der mit einer in Längsrichtung innerhalb des Tunnels angeordneten Antriebsverkettung verbunden ist.
- 5. Wagen nach Anspruch 4,dadurch gekennzeichnet , daß die Antriebseinrichtung einen Differential-Druckluftzylinder aufweist.
- 6. Wagen nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet , daß der Körper die Kassette in seinem Innern hält, wobei er Zugang zu der Kassette von unterhalb ermöglicht.
- 7. < Wagen nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet , daß der Körper die Kassette an seinem Boden hält, aber Zugang zu der Kassette von unterhalb ermöglicht.
- 8. Wagen nach Anspruch 7,dadurch gekennzeichnet , daß der Körper einen Rahmen mit einer Öffnung im zentralen Bereich aufweist, wobei eine Kassette mit Halbleiterplättchen auf der Oberseite des Rahmens ablegbar ist und Zugang durch die Öffnung von der Unterseite des Körpers zu den Plättchen in der Kassette ermöglicht ist.
- 9. Wagen nach Anspruch 8,dadurch gekennzeichnet , daß .die Antriebsverkettung einen an dem Rahmen angebrachten Motor aufweist, und daß die Gleiseinrichtung eine Schiene aufweist, und daß der Motor eine Welle hat, die mit der Schiene in Berührung steht und den Wagen durch den Schacht antreibt.
- 10. Wagen nach Anspruch 9,dadurch gekennzeichnet , daß die Antriebsverkettung halbzylindrische, lineare Lager aufweist, die auf den Schienen laufen.3Λ182Λ4
- 11. Wagen nach Anspruch 10,dadurch gekennzeichnet , daß die Schienen ein Paar paralleler Schienen aufweisen.
- 12. Wagen nach Anspruch 11,dadurch gekennzeichnet , daß eine Einrichtung zum Elektrifizieren der Schienen vorgesehen ist.
- 13. Wagen nach Anspruch ]2,dadurch gekennzeichnet , daß die lineare Lagereinrichtung mehrfache lineare Lager aufweist", wobei der Körper mittels linearer Lager auf jeder der Schienen verfahrbar ist und mindestens eines der linearen Lager einen seitlichen Freiheitsgrad hat, der eine Einstellung.zum Ausgleich von Abstandsschwankungen zwischen den Schienen ermöglicht.
- 14. Wagen nach Anspruch 12, · .. dadurch gekennzeichnet , daß der Körper auf jeder der Schienen mittels derlinearen Lager verfahrbar ist, und daß die linearen Lager mindestens drei getrennte lineare Lager, zwei an einer Schiene, und eins an der anderen, aufweist, und daß die drei Lager an den Ecken eines Dreiecks angeordnet sind und eine stabile Dreipunktabstützung des Wagens bieten.
- 15. Wagen nach Anspruch 9,dadurch gekennzeichnet , daß an Bord eine elektronische Schaltungsanordnung vorgesehen ist, die auf Kommunikationssignale von außen anspricht, um das Steuern des Betriebs des Motors zu ermöglichen. ·
- 16. Wagen nach Anspruch 15,dadurch gekennzeichnet , daß an einem Ende des Rahmens eine Lichtquelle und ein Photodetektor angebracht ist, wobei von der Lichtquelle ausgehendes Licht von einer reflektierenden Oberfläche eines in der Nähe befindlichen Wagens reflektiert und von dem Photodetektor empfangen wird, so daß an die an Bord befindliche Schaltung ein Kollisionsverhinderungssignal zum Abschalten des Motors angelegt .wird.
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| 8130 | Withdrawal |