DE3407253A1

DE3407253A1 - Verfahren zum auftragen eines magnetischen (beschichtungs-)mediums auf eine platte oder scheibe

Info

Publication number: DE3407253A1
Application number: DE19843407253
Authority: DE
Inventors: Charles Peter St. Paul Minn. Ericson; Bahram Richfield Minn. Shadzi
Original assignee: Magnetic Peripherals Inc
Current assignee: Seagate Technology International
Priority date: 1983-06-15
Filing date: 1984-02-28
Publication date: 1984-12-20
Also published as: AU2594884A; GB8405796D0; GB2141637A; GB2141637B; DE3407253C2; CA1243269A; JPH0572012B2; AU565469B2; JPS607625A

Description

Henkel, Pfenning, Feiler, Hänzel & Meinig " 7

Magnetic Peripherals Inc. Minneapolis, Minn., V.St.A.

Hz/bb

Patentanwälte

European Patent Attorneys Zugelassene Ve^rtreter vor dem Europaischen Patentamt

Dr phil G Henke' München Dipi -ing J Pfenning. Benin Dr. rer nal. L Feiie^r München Dipl-Ing W Hänze. München Dipl -Phys K. H Meinig. Berlin Dr. Ing A Butenschon. Berlin

Möhlstraße 37
D-8Ö00 München 80

Tel. 089/982085-87 Telex- 0529802 hnkld Telegramm ellipsoid Telefax (Gr 2+3;

089/981426

28. Februar 1984

MPI 818-WG

Verfahren zum Auftragen eines magnetischen (Beschichtungs-)Mediums auf eine Platte oder Scheibe

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Auftragen eines magnetischen (Beschichtungs-)Mediums auf eine Platte oder Scheibe.

Magnetische Medien wurden bisher typischerweise derart auf eine Platte oder Scheibe aufgebracht, daß letztere mit niedriger Drehzahl gedreht und die Drehzahl anschließend während eines Hochdrehzahl-Abschleudervorgangs (spin-out step) erhöht wird, um überschüssiges Medium unter Fliehkrafteinwirkung von der Scheibe abzuschleudern (vgl. z.B. US-PSen 4 353 937, 4 133 911 und 3 198 657). Die Scheibe wird dann vor dem (Ein-)-Brennen und Polieren in einem Magnetorientierungs- und einem Trocknungsschritt behandelt. Das Polieren erfolgt dabei sowohl zur Verbesserung der Oberflächengüte der Scheibe als auch zur Verringerung der Dicke der auf die Scheibe aufgebrachten Schicht (aus dem magnetischen Medium).

Da hierbei das magnetische Medium bei sehr niedriger Drehzahl auf die Platte oder Scheibe aufgetragen wird, unterliegt es vor dem Hochdrehzahl— Abschleuderschritt sehr schnellen Viskositätsänderungen, die dazu führen, daß schließlich eine vergleichsweise dicke Schicht dieses Mediums an der Scheibe haftet.

Dieses Vorgehen bietet auch in der Luft schwebenden gO Teilchen genügend Möglichkeit, sich auf der Scheibe abzusetzen und später während des Hochdrehzahl-Abschleudervorgangs radial verlaufende Spuren bzw. sog. "Läufer" (runs) zu bilden, weil das magnetische Medium beim radialen Abschleudern von der Scheibe bestrebt ist« gg um diese Teilchen herumzufließen. Zudem entstehen beim Poliervorgang umfangsmäßig verlaufende Kratzer an den Stellen, an denen ein solches Teilchen vom Polierband erfaßt wird. Weiterhin entstehen dabei als "Überläufer"

("wraparounds") bezeichnete Beschichtungsfehler an den Stellen, an denen das Medium von der einen Seite (Flache) der Scheibe um deren Kante zu ihrer anderen Seite fließt.

Die Erfindung vermeidet die Probleme des Stands der Technik durch Schaffung eines Dünnschichtmagnetüberzugs hoher Oberflächengüte, so daß auf den bisherigen Poliervorgang nach dem Beschichten verzichtet werden kann.

Beim erfindungsgemäßen Verfahren wird die Platte oder Scheibe während des Beschichtungs(auftrag)Vorgangs mit hoher Drehzahl in Drehung versetzt, während sich die Medium-Abgabedüse von einem Außendurchmesser der Scheibe zu ihrem Innendurchmesser und dann wieder zurück zum Außendurchmesser bewegt. Infolge der großen Fliehkraft bei der hohen Drehzahl und des höheren Austragdrucks der Düse bleibt letztlich nur eine sehr dünne Schicht des magnetischen Mediums auf der Scheibe haften, wobei überschüssiges Medium beim Abschleudern von der Scheibe über die dünne Schicht fließt und auf dieser eine Schutzschicht bildet, wodurch schnelle Viskositätsänderungen verhindert werden. Auf den Hochdrehzahl-Abschleudervorgang kann verzichtet werden, und unmittelbar nach dem Hochdrehzahl-Beschichtungsvorgang werden die Drehzahl der Scheibe herabgesetzt und die Scheibe in einem Orientierungsvorgang einem orientierenden Magnetfeld

3Q ausgesetzt. Da Viskositätsänderungen des Mediums ausgeschaltet oder auf ein Mindestmaß verringert werden, sind die im Medium enthaltenen Magnetteilchen leichter als bei den bisherigen Verfahren der einwandfreien Ausrichtung in der Richtung des orientierenden Magnetfelds

or zugänglich, wodurch die Aufzeichnungsgüte des hergestellten Aufzeichnungsträgers verbessert wird. Da weiterhin die Schicht des magnetischen Mediums dünner

ist als bisher und eine höhere Oberflächengüte besitzt, kann der Poliervorgang entfallen. Darüber hinaus ist das magnetische Medium weniger stark als bisher in der Luft schwebenden Teilchen und anderen Verunreinigungen ausgesetzt und daher in geringerem Maße einer Verunreinigung unterworfen.

Während beim bisherigen Verfahren insbesondere die Abschleuderdrehzahl und -dauer sowie die Viskosität des magnetischen Mediums die Beschichtungsdicke bestimmen, entfällt beim erfindungsgemäßen Verfahren der Abschleudervorgang. Vielmehr bestimmen dabei die Scheibendrehzahl während des Mediumauftrags, die Düsen-Bewegungsgeschwindigkeit und der Düsen-Austragdruck in Verbindung mit der durch das erfindungsgemäße Verfahren ermöglichten Verringerung der Viskositätsänderungen die Beschichtungsdicke und -eigenschaften. Das erfindungsgemäße Verfahren hat mithin eine vollständige Umstellung der Beschichtungsparameter im Vergleich zum bisherigen Verfahren zur Folge.

Aufgabe der Erfindung ist damit die Schaffung eines verbesserten Verfahrens zum Auftragen eines magnetischen

Mediums auf eine Platte oder Scheibe, mit dem eine sehr dünne Schicht dieses Mediums mit einer Dicke in der Größenordnung von 0,25 - 0,51 mm auf die Scheibe aufgetragen werden kann, während ein Poliervorgang nach gQ dem Beschichten nicht nötig ist.

Dieses Verfahren soll auch eine hohe Oberflächengüte des aufgetragenen magnetischen Mediums gewährleisten, so daß ein Nachpolieren unnötig ist.

Die Erfindung bezweckt auch die Schaffung eines Verfahrens zum Auftragen eines magnetischen Mediums auf eine Platte oder Scheibe, während diese sich mit hoher

Drehzahl dreht, wobei die Scheibe unmittelbar nach dem Auftragen des Mediums einem orientierenden Magnetfeld ausgesetzt werden kann, während Viskositätsänderungen des Mediums vor der magnetischen Orientierung auf ein Mindestmaß verringert werden.

Dabei sollen auch Beschichtungsfehler, wie Fließrillen bzw. "Läufer", Polierkratzer und Überläufe, praktisch völlig ausgeschaltet werden.

Zudem soll die Scheibe anstelle eines Polierens unter Verwendung von Polierölen und Lösungsmitteln nur ein Trockenschwabbeln benötigen.

Die Lösung dieser Aufgabe ergibt sich aus den in den Patentansprüchen gekennzeichneten Merkmalen.

I^m folgenden ist ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel der Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 eine vereinfachte perspektivische Darstellung einer Magnetbeschichtungsvorrichtung zur Durch

führung des erfindungsgemäßen Verfahrens,

Fig. 2 eine graphische Darstellung der Scheibendrehzahl in Abhängigkeit von der Zeit beim bisherigen Verfahren,

Fig. 3 eine graphische Darstellung der Scheibendrehzahl in Abhängigkeit von der Zeit beim erfindungsgemäßen Verfahren, . Fig. 4 eine Schnittansicht zur Darstellung der das

magnetische Medium auf die Scheibe auftragenden Düse bei ihrer Bewegung vom Außen- zum

Innendurchmesser der Scheibe und .

Fig. 5 eine Fig. 4 ähnelnde Darstellung der Düse bei

ihrer Rückbewegung vom Innen- zum Außendurchmesser der Scheibe.

Fig. 1 veranschaulicht in vereinfachter Darstellung eine für die Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens geeignete Scheibenbeschichtungs-Vorrichtung 1, bei der nur der allgemeine Aufbau für die Erfindung wesentlich ist, so daß die Einzelheiten der Vorrichtung 1 nicht näher dargestellt sind. Die Vorrichtung 1 weist eine drehbare Spindel 5 auf, die mit variabler Drehzahl von bis zu mindestens beispielsweise 3800/min durch einen nicht dargestellten Antrieb antreibbar ist. Eine Platte oder Scheibe 10, auf welche das magnetische Medium aufgetragen werden soll, weist eine zentrale Öffnung (Mittenloch) 12 auf, die mit Hilfe eines zweckmäßigen Mechanismus zur Mitdrehung mit der Spindel 5 mit dieser verbindbar ist. Die Scheibe 10 besitzt einen Innendurchmesser und einen Außendurchmesser 15, welche einen konzentrischen Bereich 16 der Scheibe 10 festlegen, auf den das magnetische Medium aufgetragen werden soll.

Eine ein magnetisches Medium austragende Düse 20 wird von einem Arm 25 getragen, der seinerseits unter der Steuerung einer nicht dargestellten Steuereinrichtung durch einen Motor 30 verdrehbar ist. Der Arm 25 enthält eine nicht dargestellte Strömungsmittelleitung, welche die Düse 20 mit einem unter Druck stehenden Vorrat (nicht dargestellt) für das fließfähige magnetische Medium verbindet. In bevorzugter Ausführungsform besitzt die Austragöffnung an der Spitze der Düse 20 eine Weite von etwa 0,51 mm. Der Arm 25 ist mittels des Motors 30 in Richtung der Pfeile 27, 28 verdrehbar, so daß die Düse 20 vom Außendurchmesser 15 zum Innendurchmesser 14 und wieder zurück geführt werden kann. Die

Steuereinrichtung für den Motor 30 bestimmt die Bewegungsgeschwindigkeit der Düse 20 über die Scheibe Zur Änderung des Austragdrucks der Düse 20 kann ein entsprechender Mechanismus vorgesehen sein.

Fig. 2 veranschaulicht das bisherige Verfahren in Form einer graphischen Darstellung der Beziehung zwischen Scheibendrehzahl und Zeit.

Beim bisherigen Verfahren (Fig. 2) wird die Scheibe in einem Schritt 40 zunächst 10 Sekunden lang mit etwa 2300/min in Drehung versetzt, wobei die Scheibe mit einem mit Reinigungslösung getränkten, faserfreien Tuch leicht abgewischt wird, um ihre Oberfläche von in der Luft schwebenden Feinteilchen oder sonstigen Verunreinigungsteilchen zu befreien. Sodann wird die Scheibendrehzahl im Schritt 42 16 - 18 s lang auf 150 - 250/min verringert, während das magnetische Medium mittels der Düse 20 zugeführt wird, die sich dabei vom Außendurchmesser 15 zum Innendurchmesser 14 und anschließend zurück zum Außendurchmesser 15 bewegt. Der Austragdrück der Düse 20 beträgt etwa 0,14 - 0,21 bar (Meßdruck bzw. absolut). Ein Schritt 44 stellt den Hochdrehzahl-Abschleudervorgang dar, bei dem die Scheibendrehzahl etwa 8 - 12 s lang auf 3000 - 3400/min erhöht wird, um überschüssiges magnetisches Medium von der Scheibe abzuschleudern und auf diese Weise die Dicke der auf die

go Scheibe aufgetragenen Magnetschicht zu bestimmen. In einem Orientierun^sschritt 46 wird die Scheibendrehzahl 15 - 25 s lang auf 50 - 60/min verringert, wahrend dabei die Scheibe in ein Magnetfeld eingeführt wird, um mit dessen Hilfe die Magnetteilchen der unmittelbar zuvor auf die Scheibe aufgetragenen Magnetschicht einwandfrei zu orientieren. In einem Trocknungsschritt 48 wird die Scheibendrehzahl wieder 20 - 25 s lang auf 2300/min erhöht, um damit das Trocknen der Magnetschicht

zu beschleunigen. Schließlich wird die Scheibe in den normalen Einbrenn- und Poliervorgängen weiterbehandelt.

Im Vergleich zu Fig. 2 ist das erfindungsgemäße Verfahren in Fig. 3 dargestellt. Das erfindungsgemäße Verfahren beginnt ebenfalls mit einem Lösungsmittel-Reinigungsschritt 50, während dem die Scheibe (etwa) 10 s

^q lang bei (ungefähr) 2300/min gedreht wird, wobei sie zur Befreiung ihrer Oberfläche von Schwebestoffen und anderen Teilchen leicht mit einem mit einer Reinigungslösung getränkten, faserfreien Tuch abgewischt wird. Es ist anzunehmen, daß dieser Reinigungsvorgang in Zu-

jc kunft aufgrund besserer Scheibenhandhabungsvorgänge vor dem Aufsetzen der Scheibe 10 auf die Spindel 5 entfallen kann. Unmittelbar nach diesem Reinigungsschritt 50 wird die Scheibendrehzahl in einem Schritt 52 etwa 8 - 9 s lang auf etwa 3000 - 3800/min erhöht, wobei die

2Q Düse 20 das magnetische Medium mit einem Düsenaustragdruck von etwa 0,42 - 0,56 bar (Meßdruck) aufträgt, und zwar beginnend am Außendurchmesser 15 in Richtung auf den Innendurchmesser 14, etwa 1 s lang am Innendurch messer 14 anhaltend und sodann mit einer Bewegungsge-

„c schwindigkeit von ungefähr 30,5 mm/s zum Außendurchmesser 15 zurückkehrend.

Die Fig. 4 und 5 veranschaulichen das Auftragen des flüssigen oder fließfähigen magnetischen Mediums auf

₃q die Scheibe 10 während des Schritts 52. Das fließfähige magnetische Medium besteht aus Eisenoxidteilchen, die in einer polymeren Bindemittelmasse suspendiert sind. Bei der Bewegung der Düse 20 vom Außendurchmesser 15 zum Innendurchmesser 14 haftet gemäß Fig. 4 eine dünne Schicht des Mediums 70 an der Oberfläche der Scheibe an, während eine überschüssige (nicht-haftende) Mediumschicht 80 vom Düsenbewegungspunkt 90 aus radial auswärts über den Außendurchmesser 15 und dann von der

Scheibe 10 herabfließt, und zwar aufgrund der bei der hohen Drehzahl der Scheibe 10 erzeugten Fliehkraft. Durch die Drehung der Scheibe 10 mit hoher Drehzahl wird sichergestellt, daß nur eine sehr dünne Schicht des magnetischen Mediums 70 an der Scheibe haftet; außerdem wird hierdurch gewährleistet, daß sich die Schutzschicht 80 über die gesamte konzentrisch geformte Scheibenoberfläche erstreckt, die radial auswärts des Bewegungspunkts 90 der Düse 20 liegt. Bei der Bewegung der Düse 20 vom Außendurchmesser 15 zum Innendurchmesser 14 wirkt diese überschüssige Schicht 80 des magnetischen Mediums als Schutzschicht, die eine Verdampfung aus der darunterliegenden Schicht 70 und schnelle Viskositätsänderungen derselben verhindert. Wenn die Düse 20 den Innendurchmesser 14 erreicht, hält sie kurzzeitig (etwa 1 s) an, um sicherzustellen, daß die Kante der Medium- bzw. Magnet-, schicht 70 am Innendurchmesser 14 gut definiert ist.

Anschließend bewegt sich die Düse 20 in Radialrichtung auswärts zum Außendurchmesser 15 zurück. Bei der Rück~ bewegung der Düse 20 zum Außendurchmesser 15 verlagert sich gemäß Fig. 5 die Schutzschicht 80 ebenfalls zum Außendurchmesser 15 zurück, wobei die dünne Magnetschicht 70 zur Atmosphärenluft hin freiliegt. Wie erwähnt, beträgt die Bewegungsgeschwindigkeit der Düse 20 etwa 30,5 mm/s. Sobald die Düse 20 den Außendurchmesser 15 erreicht hat, wird die Scheibe unmittelbar dem Magnetorientierungsschritt 54 gemäß Fig. 3 zugeführt, bei dem die Drehzahl der Scheibe 10 während einer Zeit «/on 10 - 15 s auf etwa 52/min reduziert wird, während die Scheibe 10 einem orientierenden Magnetfeld ausgesetzt wird. Es ist in diesem Zusammenhang zu beachten, daß die Scheibe 10 dem orientierenden Magnetfeld nur wenige Sekunden, nachdem die ersten Bereiche der dünnen Schicht 7 0 der Atmosphärenluft ausgesetzt worden sind, unterworfen wird. Infolgedessen treten nur minimale Verdampfung und geringste Viskosität_s_

änderungen zwischen dem Zeitpunkt, zu dem das magnetische Medium erstmals auf die Scheibe 10 aufgebracht wird und mit der Außenluft in Berührung kommt, und dem Beginn des Orientierungsvorgangs auf. Demzufolge lassen sich die Magnetteilchen der dünnen Magnetschicht 70 wesentlich leichter längs der Kraftlinien des orientierenden Magnetfelds orientieren, als dies beim bis- IQ herigen Verfahren möglich war. Hierdurch wird die Güte des magnetischen Mediums (Aufzeichnungsträgers) des Enderzeugnisses unter Gewährleistung überlegener Eigenschaften für magnetische Aufzeichnung verbessert.

^5 Auf den Orientierungsvorgang 54 erfolgt ein sehr kurzer Trocknungsvorgang oder -schritt 56, bei dem die Scheibe 10 in Abwesenheit des orientierenden Magnetfelds zur Beschleunigung der Trocknung nicht mehr als 5 s lang mit etwa 2300/min in Drehung versetzt wird. Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren erzeugte Magnetschicht 70 ist wesentlich dünner (0,25 - 0,51 mm) als die mit dem bisherigen Verfahren herstellbare Schicht (Dicke: 0,76 mm). Demzufolge trocknet die- Magnetschicht 70 wesentlich schneller als bei den bisherigen Verfahren, so daß der Trocknungsschritt 56 wesentlich verkürzt oder sogar weggelassen werden kann.

Das erfindungsgemäße Verfahren bietet (im Vergleich zum Stand der Technik) die folgenden Vorteile:

Die Gesamtverfahrensdauer ist wesentlich kürzer als bei

bisherigen Verfahren (55 s zu 95 s). Demzufolge erhöht sich auch die Fertigungsleistung. Bedeutend wichtiger ist jedoch, daß durch diese verkürzte Taktzeit auch gg die Zeitspanne verkürzt wird, während welcher die Platte oder Scheibe atmosphärischen Verunreinigungen ausgesetzt ist; aus diesem Grund wird die Verunreinigung durch in der Luft schwebende Teilchen verringert. Dieser Vorteil

beruht insbesondere auch darauf, daß die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren aufgetragene Beschichtung wesentlich dünner ist als beim bisherigen Verfahren und daher wesentlich schneller trocknet und sich somit während einer wesentlich kürzeren Zeit in einem klebrigen Zustand befindet. Gerade in diesem klebrigen Zustand (der Magnetschicht) ist aber die Scheibe besonders anfällig für in der Luft schwebende Teilchen, die sich auf der Magnetschicht absetzen und ihr klebenbleiben. Da die erfindungsgemäß hergestellte Magnetschicht schneller trocknet, können sich auf ihr absetzende Luftschwebeteilchen nicht so leicht anhaften.

Eine Verunreinigung mit den genannten Teilchen wird auch durch die Selbstreinigungswirkung des erfindungsgemäßen Verfahrens verringert. Genauer gesagt: aufgrund des höheren Düsenaustragdrucks und der höheren Drehzahl der Scheibe beim Auftragen des magnetischen Mediums werden etwaige auf die Scheibe fallende Teilchen gewissermaßen "weggewaschen". Hierdurch werden die auch als "Läufer" bekannten Beschichtungsfehler vermieden. Wenn beim bisherigen Verfahren während des Abschleuder-Vorgangs ein Teilchen auf der Scheibe liegt, ist das magnetische Medium bestrebt, um dieses Teilchen herumzufließen, während das Medium in Radialrichtung von der Scheibe abgeschleudert wird, wobei eine radial verlaufende Rille bzw. ein sogenannter "Läufer" entsteht.

Beim erfindungsgemäßen Verfahren werden derartige Teilchen im allgemeinen von der Scheibe weggespült oder weggeblasen.

Der als "Überlauf" bekannte Beschichtungsfehler wird beim erfindungsgemäßen Verfahren ebenfalls vermieden. Dieser Fehler tritt dann auf, wenn das magnetische Medium während des Auftrags oder des Abschleudervorgangs von der einen Seite (Oberfläche) der Scheibe um

ihre Außenkante herum zur anderen Seite fließt. Aufgrund der Ausschaltung des mit niedriger Drehzahl erfolgenden Auftrags des magnetischen Mediums und des Hochdrehzahl-Abschleudervorgangs zugunsten des Hochdrehzahl-Auftragschritts werden derartige über'fließ-Beschichtungsfehler vermieden.

Weitere Beschichtungsfehler werden dadurch vermieden, daß beim erfindungsgemäßen Verfahren der sich an das Beschichten anschließende Poliervorgang entfallen kann. Aufgrund der geringen Dicke der hergestellten Magnetschicht und ihrer Oberflächengüte ist ein Poliervorgang unnötig. Bisher erfolgte ein solches Polieren sowohl zur Verbesserung der Oberflächengüte als auch zur Verringerung der Dicke der Magnetschicht. Dünnere Magnetschichten ermöglichen nämlich eine dichtere Informationsaufzeichnung auf der Platte oder Scheibe. Das Polieren erfolgte üblicherweise mit Hilfe eines drehend angetriebenen, schleifenden Nylonbands und eines Polierlösungsmittels, das auf die Scheibe aufgetragen wird, während sie mittels des Nylonbands poliert wird. Wenn dabei das Nylonband ein auf der Scheibe befindliches Teilchen während des Poliervorgangs erfaßt, entsteht häufig ein umfangsmäßig verlaufender Kratzer. Außerdem führt das Polierlösungsmittel häufig Verunreinigungen in die Scheibenoberfläche ein, während es nach dem Poliervorgang sehr schwierig vollständig zu entfernen ist. Durch den Wegfall der Notwendigkeit für das Polieren werden auch umfangsmäßig verlaufende Kratzer am Medium bzw. Aufzeichnungsträger und durch das pQlierlösungsmittel verursachte Verunreinigung, sowie andere, damit verbundene Probleme vollständig vermieden. Die nach dem erfindungsgemäßen Verfahren behandelten Scheiben benötigen - im Gegensatz zu einem Polieren mit Lösungsmitteln- nur ein leichtes Trockenschwabbeln .

MT

Wie erwähnt, kann nach dem erfindungsgemäßen Verfahren hauptsächlich aufgrund der hohen Drehzahl der Scheibe während des Auftragens der Beschichtung sowie des hohen Düsenaustragdrucks eine dünnere Magnetschicht auf die Scheibe aufgebracht werden. Beim bisherigen Verfahren, bei dem das magnetische (Beschichtungs-)Medium bei niedriger Drehzahl aufgetragen wird, kann sich die Viskosität dieses Mediums, während es sich auf der Scheibe in Berührung mit der Außenluft befindet, schnell erhöhen, so daß dieses magnetische Medium nach Einleitung des Hochdrehzahl-Abschleudervorgangs weniger frei fließen kann und damit während dieses Abschleuder-Vorgangs ein größerer Mengenanteil an magnetischem Medium ander Scheibe anhaftet. Ein anderer Faktor, welcher die Dicke der auf die Scheibe aufgebrachten Beschichtung beeinflußt, ist die Bewegungsgeschwindigkeit der Düse, speziell bei ihrer Bewegung vom Innendurchmesser 14 zum Außendurchmesser 15 zurück.

Interessanterweise nimmt die Dicke der Schicht an der Stelle ab, an welcher sich die Armbewegung verlangsamt. Dies deutet darauf hin, daß der Druck des aus der Düse 20 ausgetragenen Stroms des magnetischen Mediums bei der Rücklaufbewegung der Düse 20 vom Innendurchmesser 14 zum Außendurchmesser 15 die Schicht (70) verdrängt, und dies belegt außerdem die Tatsache, daß sowohl Düsenaustragdruck als auch Armbewegungsgeschwindigkeit die Magnetfilmdicke beeinflussen.

Äußerst wesentlich ist, daß die zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens verwendete Vorrichtung eine gleichmäßige und zügige Bewegung der Düse 2 0 gewährleistet. Wenn die Düse 20, insbesondere beim Rücklauf vom Innendurchmesser 14 zum Außendurchmesser 15, schwingt, ergibt sich eine entsprechende Dickenänderung, die als umlaufende dünne Stelle in der Magnetschicht erscheint. Obgleich die Düse 20 beim dargestellten

Ausführungsbeispiel von einem schwenk- oder drehbaren Arm 25 getragen wird, ist die Erfindung keineswegs auf diese Anordnung beschränkt, vielmehr können auch andere Anordnungen zum Bewegen der Düse 2 0 zwischen Außendurchmesser 15 und Innendurchmesser 14 zweckmäßiger sein.

Selbstverständlich ist die Erfindung keineswegs auf das vorstehend beschriebene Ausführungsbeispiel beschränkt, sondern verschiedenen Änderungen und Abwandlungen zugänglich.

Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zum Auftragen eines magnetischen (Beschichtungs-)Mediums auf eine Platte oder Scheibe mit einem Innen- und einem Außendurchmesser und einer zentralen Öffnung in einer Vorrichtung mit einer zur Drehung antreibbaren Spindel, auf welche die Scheibe mit ihrer zentralen Öffnung mitdrehbar aufsetzbar ist, und mit einer Düse zum Austragen des magnetischen Mediums unter einem Düsenaustragdruck auf die Scheibe, wobei die Düse gegenüber der Scheibe bewegbar gelagert und zwischen ihrem Außen- und Innendurchmesser führbar ist,

dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe während eines Hochdrehzahl-Beschichtungsvorgang mit einer Drehzahl von mindestens 3000/min in Drehung versetzt und dabei das magnetische (Beschichtungs-)Medium unter dem Düsenaustragdruck aus der Düse während deren Bewegung zwischen Außen- und Innendurchmesser auf die Scheibe aufgetragen wird und
die Drehzahl der Scheibe während eines sich unmittelbar an den Beschichtungsvorgang anschließenden Orientierungsvorgangs, während dem die Scheibe einem orientierenden Magnetfeld ausgesetzt wird, verringert wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das magnetische Medium während des Beschichtungsvorgangs mit einem festen Düsenaustragdruck aus der Düse ausgetragen wird und daß der Düsenaustragdruck während des Beschichtungsvorgangs mindestens 0,42 bar (Meßdruck bzw. absolut) beträgt.

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß

die Düse zu Beginn des Beschichtungsvorgangs das magnetische Medium am Außendurchmesser der Scheibe abzugeben

begihtti* Sich (dabei) zum Innendurchmesser der Scheibe bewegt und am Ende des Beschichtungsvorgangs vom Innenzum Außendurchmesser der Scheibe zurückläuft.

4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß während der Bewegung der Düse vom Außen- zum Innendurchmesser beim Beschichtungsvorgang eine dünne Schicht des magnetischen Mediums auf der Scheibe zum Anhaften gebracht wird, während eine Schutzschicht aus überschüssigem magnetischen Medium unter der Fliehkraft der sich drehenden Scheibe über der dünnen Schicht radial auswärts von der Düse hinweg fließt, wobei sich die Schutzschicht, sobald die Düse den Innendurchmesser erreicht (hat), vom Innen- zum Außendurchmesser erstreckt und sich bei der Bewegung der Düse vom Innenzum Außendurchmesser unter Freilegung der dünnen Schicht mit der Düse zum Außendurchmesser hin verlagert.

5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß

die Düse nach ihrer Bewegung vom Außen- zum Innendurchmesser während des Beschichtungsvorgangs für eine Zeitspanne von ungefähr 1 s (am Innendurchmesser) angehalten wird, bevor sie vom Innen- zum Außendurchmesser zurückläuft.

6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse während des Beschichtungsvorgangs mit einer Geschwindigkeit von 25,4 - 38,1 mm/s vom Außen- zum Innendurchmesser der Scheibe bewegt wird.

7. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem Orientierungsvorgang ein Trocknungsvorgang durchgeführt wird, bei dem die Drehzahl der Scheibe zur Beschleunigung der Trocknung der Schicht erhöht wird.

8. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Beschichtungsvorgang während einer Zeitspanne von 7 - 10 s durchgeführt wird.

9. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe während des Beschichtungsvorgangs mit einer Drehzahl von 3000 - 3800/min in Drehung versetzt wird.

10. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß während des Beschichtungsvorgangs ein Düsendruck von 0,42 - 0,56 bar (Meßdruck) aufrechterhalten wird.

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11. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Beschichtungsvorgang während einer Zeitspanne von 7 - 10 s und mit einer Scheiben-Drehzahl von 3000 3800/min durchgeführt wird und daß der Düsenaustragdruck auf 0,42 - 0,56 bar (Meßdruck) gehalten wird.