DE2554692B1 - Vorrichtung zur herstellung der magnetschichten von magnetspeicherplatten - Google Patents
Vorrichtung zur herstellung der magnetschichten von magnetspeicherplattenInfo
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- 239000006185 dispersion Substances 0.000 claims description 21
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 15
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 14
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000005119 centrifugation Methods 0.000 claims description 7
- 238000003860 storage Methods 0.000 claims description 7
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 5
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 238000000034 method Methods 0.000 description 5
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 description 3
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000024703 flight behavior Effects 0.000 description 2
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 2
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 206010038743 Restlessness Diseases 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N oxobarium;oxo(oxoferriooxy)iron Chemical compound [Ba]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O.O=[Fe]O[Fe]=O AJCDFVKYMIUXCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 230000000284 resting effect Effects 0.000 description 1
- 238000003892 spreading Methods 0.000 description 1
- 230000007480 spreading Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- 230000001360 synchronised effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B17/00—Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor
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- G11B17/028—Positioning or locking of single discs of discs rotating during transducing operation
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- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B17/00—Guiding record carriers not specifically of filamentary or web form, or of supports therefor
- G11B17/02—Details
- G11B17/022—Positioning or locking of single discs
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/842—Coating a support with a liquid magnetic dispersion
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur Herstellung der Magnetschichten von Magnetspeicherplatten
durch Auftragen einer gießfähigen Magnetdispersion auf eine rotierende Trägerplatte und anschließendem
Zentrifugieren der Trägerplatte, bestehend aus einer Antriebs- und Halteeinrichtung für die zu
beschichtende Trägerplatte, aus Mitteln zur Reinigung der Trägerplatte sowie aus einer Einheit für das
Auftragen der Magnetdispersion.
Es ist bekannt, Magnetspeicherplatten nach dem sogenannten spin-coating-Verfahren herzustellen, bei
dem, wie in der US-Patentschrift 31 98 657 beschrieben, eine rotierende Trägerplatte, beispielsweise aus Aluminium,
gereinigt und auf deren eine Seite die Magnetdispersion mittels einer Düse, die sich radial über die
Trägerplatte bewegt, aufgebracht wird. Durch anschließende, schnelle Rotation der Trägerplatte wird die
Magnetdispersion mittels der auftretenden Zentrifugalkräfte über die Plattenoberfläche gleichmäßig verteilt.
Nach Umwenden der Platte wird die zweite Seite auf die gleiche Weise beschichtet. Mit der deutschen
Auslegeschrift 21 57 650 ist ein Verfahren und eine Vorrichtung bekannt, nach denen beide Seiten der
Trägerplatte gleichzeitig und gleichartig beschichtet werden.
Bekanntlich werden an die Magnetschichten von Magnetplatten, insbesondere an die Ebenheit der
Schichtoberfläche und die Gleichmäßigkeit der Schichtstärke sehr hohe Anforderungen gestellt. Die Entwicklung
zu immer höherer Speicherkapazität und höheren Speieherdichten bringt es mit sich, daß der Abstand
zwischen der Magnetplatte und dem über ihr schwebenden Magnetkopf immer mehr verringert wird.
Außerdem erfordern hohe Speicherdichten sehr dünne Magnetschichten, bei denen bereits Schichtstärken
um 1 μηι angestrebt werden. Je dünner jedoch die
Magnetschicht ist, desto mehr machen sich Schwankungen der Schichtstärke, beispielsweise durch herstellungsbedingte
Oberflächenstrukturen, in Form von Lesespannungsschwankungen bemerkbar, die durch ein
unruhiges Flugverhalten der Magnetköpfe infolge mangelhafter Ebenheit der Schichtoberfläche verstärkt
werden. Man ist daher bestrebt, die Stärke der Magnetschicht äußerst gleichmäßig und die Schichtoberfläche
extrem plan herzustellen.
Nach den oben angeführten Verfahren hergestellte Magnetspeicherplatten weisen solche störende Oberflächenstrukturen
auf, die sich auch durch eine intensive Oberflächenbehandlung nicht im erforderlichen Maße
beseitigen lassen. Sie sind vorwiegend auf Luftströmungen zurückzuführen, die durch die unmittelbar auf das
Auftragen der Magnetdispersion folgende schnelle Rotation der Trägerplatte entstehen und dabei auf die
noch flüssige Magnetdispersion wirken.
Es ,bestand daher die Aufgabe, eine Vorrichtung zu
schaffen, durch die die Bildung von störenden Oberflächenstrukturen bei der Herstellung der Magnetschicht
verhindert wird.
Gemäß der Erfindung wird die Aufgabe dadurch gelöst, daß in geringem Abstand zu den zu beschichtenden
Flächen der Trägerplatte während des Zentrifugierens gleichsinnig mit der Trägerplatte umlaufende,
flächige Abdeckelemente angeordnet sind.
Nach einem weiteren Merkmal der Erfindung sind die Abdeckelemente koaxial zur Welle der Antriebs- und
Halteeinrichtung der Trägerplatte und zu dieser axial verschiebbar angeordnet.
In weiterer Ausgestaltung der erfindungsgemäßen Vorrichtung sind die zu beschichtende Trägerplatte und
die flächigen Abdeckelemente mittels einer kraftschlüssigen Kupplung verbunden. Diese besteht vorzugsweise
darin, daß die Trägerplatte und die Abdeckelemente jeweils mit mindestens einem Magneten fest verbunden
sind, die sich axial in geringem Abstand gegenüberstehen.
In einer bevorzugten Ausführungsform der Vorrichtung sind die Abdeckelemente als Abdeckscheiben
ausgebildet, deren Durchmesser mindestens gleich dem der Trägerplatte ist.
Die Abdeckscheibe kann auch als weitere, zu beschichtende Trägerplatte ausgebildet sein.
Es hat sich gezeigt, daß durch eine Abdeckscheibe, die in geringem Abstand über der zu beschichtenden
Trägerplatte angeordnet ist und mit dieser rotiert, eine aerodynamische Grenzschicht über der Trägerplatte
gebildet wird, in der die Luft mit der Trägerplatte rotiert und zu dieser weitgehend stationär ist Durch die
erfindungsgemäße Anordnung wird eine Dicke der Grenzschicht erreicht, die gewährleistet, daß keine
Luftströmungen auftreten, die auf die über die Plattenoberfläche sich verteilende Magnetdispersion
hinsichtlich einer gleichmäßigen Schichtstärke und Oberfläche störend wirken.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung wird nachfolgend
anhand eines in den Zeichnungen dargestellten Ausführungsbeispiels
erläutert. Es zeigt
Fig. 1 die Ansicht eines axialen Schnitts der
Vorrichtung in Ruhestellung der Abdeckscheiben,
F i g. 2 die Ansicht eines axialen Schnitts der Vorrichtung in Arbeitsstellung der Abdeckscheiben,
Fig.3 Stirnansicht eines dauermagnetischen Kupplungsringes.
Eine nach dem sogenannten »spin-coating«-Verfahren arbeitende Vorrichtung zum Beschichten von
Trägerplatten mit Magnetdispersion besteht im wesentlichen aus einer von einem Motor antreibbaren
Antriebsspindel, die an ihrem freien Ende die in einer Halteeinrichtung eingespannte und zu beschichtende
Trägerplatte — üblicherweise aus Aluminium oder einer Aluminiumlegierung — trägt, sowie aus einer zur Ebene
der Trägerplatte parallel und radial verschiebbaren Einheit mit Reinigungsorganen und Düsen zum
Auftragen der Magnetdispersion. Es ist zweckmäßig, ein Spritzgehäuse vorzusehen, in dem die aufgespannte
Trägerplatte sowie die Reinigungsorgane und die Düsen angeordnet sind und das zum Auffangen der überschüssigen
Magnetdispersion, insbesondere während des Zentrifugierens der Trägerplatte nach dem Auftragen
der Magnetdispersion dient.
In F i g. 1 und 2 ist die erfindungsgemäße Vorrichtung in der Ruhe- (Fig. 1) bzw. Arbeitsstellung (Fig. 2) bei
Beschichtung der Trägerplatte 3 gleichzeitig beidseitig wiedergegeben. Sie sieht auf beiden Seiten der auf der
Halteeinrichtung 2 aufgespannten Trägerplatte 3 je eine zu ihrer Ebene parallele, runde Abdeckscheibe 9,9' vor,
deren Durchmesser mindestens so groß ist wie der der Trägerplatte 3, und von denen jede während des
Zentrifugierens der Trägerplatte 3 zu dieser den gleichen, geringen Abstand hat, bei dem die Abdeckscheiben
gleichsinnig und mit zumindest nahezu gleicher Drehzahl mit der Trägerplatte 3 rotieren (F i g. 2). Bei
einem Abstand zwischen 2 mm und 20 mm wird die aerodynamisch günstigste Wirkung der Abdeckscheiben
9, 9' auf die während des Zentrifugierens sich verteilende Magnetdispersion erreicht, wobei dieser
Abstand durch axiales Verschieben oder Ausschwenken der Abdeckscheiben vergrößert werden kann, um
beispielsweise die Düsen zum Auftragen der Magnetdispersion über die zu beschichtenden Flächen der
Trägerplatte 3 schieben zu können.
In einer bevorzugten Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung ist die Welle 7 der
Antriebsspindel 1 in einem an einer geeigneten Halterung 11 befestigten Rohr 8 drehbar gelagert. Auf
diesem Rohr 8 ist eine Lagerbüchse 10 drehbar und axial verschiebbar angeordnet. An der der Trägerplatte 3
zugewandten Stirnseite der Lagerbuchse 10 ist die Abdeckscheibe 9 beispielsweise mittels Schrauben
befestigt Zur axialen Verschiebung der Lagerbüchse 10 in den Richtungen des Doppelpfeils A ist diese über eine
Kolbenstange 13 mit einem an der Halterung 11 angebrachten Arbeitszylinder 12 verbunden, der hydraulisch
oder pneumatisch betätigbar ist. Zur besseren Führung der Lagerbüchse 10 ist zusätzlich eine
Führungsstange 14 vorgesehen. Der gewünschte Abstand zwischen Trägerplatte 10 und Abdeckscheibe 9 in
Arbeitsstellung ist mittels induktiv bzw. kapazitiv wirkender Initiatoren 15 einstellbar. Anstelle von
Initiatoren können auch Anschläge verwendet werden.
In gleicher Weise ist die zweite Abdeckscheibe 9' für die andere Seite der Trägerplatte 3 verschiebbar und
drehbar angeordnet Das Rohr 8' für diese Abdeckscheibe 9' trägt an seinem freien Ende das Spritzgehäuse 6.
Dieses Rohr 8' sowie der zum Verschieben der Lagerbüchse 10' dienende Arbeitszylinder 12' sind an
einem L-förmigen Stützrahmen 16 befestigt, der gegenüber einem feststehenden Führungsteil 17 mittels
eines Arbeitszylinders in den Richtungen des Doppelpfeils B parallel zu den Mittelachsen 18, die für die
Rohre 8 und 8' sowie für die Antriebsspindel 1 identisch sind, verschiebbar ist.
Wie bereits erwähnt, wird die auf die Gleichmäßigkeit der Verteilung der Magnetdispersion vorteilhafte
Wirkung der Abdeckscheiben 9,9' erst erreicht, wenn diese während des Zentrifugiervorgangs mit der
Trägerplatte 3 gleichsinnig laufen und zwar möglichst mit gleicher Drehzahl. Dazu können beispielsweise für
jede Abdeckscheibe 9,9' separate Antriebsmotore vorgesehen werden, deren Drehzahl mittels einer
geeigneten Steuerschaltung derartig in Abhängigkeit von der Drehzahl des Antriebs für die Trägerplatte 3
geregelt wird, daß zwischen Trägerplatte 3 und den Abdeckscheiben 9,9' Gleichlauf besteht.
Als besonders vorteilhaft erweist es sich, die Abdeckscheiben 9,9' durch die Antriebsspindel 1 der
Trägerplatte 3 anzutreiben, die zum Zeitpunkt des Heranfahrens der Abdeckscheiben 9,9' vom Auftragen
der Magnetdispersion her bereits rotiert. Die Übertragung der Drehbewegung auf die Abdeckscheiben 9,9'
erfolgt zur Vermeidung unzulässiger Staubbildung vorzugsweise mittels einer kraftschlüssigen Magnet-Kupplung,
bei der sich die Kupplungsteile im Gegensatz zu einer Reibkupplung nicht berühren. Hierfür eignen
sich besonders dauermagnetische Kupplungen, vorzugsweise handelsübliche Stirndrehkupplungen (Gernhardt,
P. »Dauermagnetische Kupplungen«, DEW-Technische Berichte 2 [1962], Seiten 153 bis 159).
Wie in F i g. 1 und 2 gezeigt, ist antriebsseitig an den
Stirnseiten der Halteeinrichtung 2 beiderseits der Trägerplatte 3 je ein ringförmiger Dauermagnet 19
koaxial zur Antriebsspindel 1 befestigt. Dabei sind diese Dauermagnete, ausgenommen an ihrer der Trägerplatte
3 abgewandten Stirnseite, nach allen Seiten durch ein weichmagnetisches Gehäuse 20 abgeschirmt. Die
Dauermagnete 19 selbst bestehen aus Segmenten 21 in gerader Anzahl, wobei sich die Polaritäten der
Segmente räumlich abwechseln (Fig.3). Auf der Abtriebsseite sind ebensolche Dauermagnete 19' an den
beiden Lagerbüchsen 10,10' der Abdeckscheiben 9,9' hinter deren zentralen öffnung spiegelsymmetrisch zu
den Dauermagneten 19 der Antriebsseite angeordnet. In Arbeitsstellung (F i g. 2) der beiden Abdeckscheiben 9,9'
stehen sich die als Kupplungselemente dienenden Dauermagnete 19,19' der Antriebs- und Abtriebsseite in
einem Abstand von 0,2 bis 3,0 mm, vorzugsweise 0,3 bis 0,8 mm, gegenüber. Dadurch ist zwischen den an der
Übertragung des Drehmoments beteiligten Kupplungsteilen jede Reibung vermieden.
Die im Fachhandel erhältlichen Dauermagnete bestehen vorzugsweise aus dem Werkstoff Bariumferrit.
Sie gestatten beispielsweise bei einem Außendurchmesser von 100 mm, einem Innendurchmesser von 50 mm
und einer Höhe von 15 mm des einzelnen Dauermagneten 19,19' und bei einem Luftspalt von 1 mm zwischen
den sich gegenüberstehenden Dauermagneten die Übertragung einer Drehbewegung bis zu einem
Drehmoment von 28 500 cmp. Dieses Drehmoment gewährleistet ein einwandfreies Anlaufen der Abdeckscheiben
9, 9', von denen jede zusammen mit den drehbaren Teilen ein Gewicht von beispielsweise 400 ρ
aufweist, noch bei einer mit 400 U/min rotierenden Antriebsspindel 1 mit der Trägerplatte 3 bis zum
Synchronlauf der Kupplungsteile, d. h. von Trägerplatten
und Abdeckscheiben.
Es versteht sich, daß anstelle einer dauermagnetischen
Kupplung auch andere Kupplungstechniken angewendet werden können, die eine kraftschlüssige
Verbindung herstellen, wie z. B. Strömungskupplungen. Die Wahl der jeweils zweckmäßigsten Ausführungsform der Kupplung richtet sich nach den konstruktiven
Gegebenheiten und Betriebsbedingungen der gesamten Beschichtungsanlage.
Als Werkstoffe kommen für die Abdeckscheiben Kunststoffe oder Aluminium, vorzugsweise Acrylglas in
Frage. Die Oberflächen der Abdeckscheiben, deren Dicke zwischen 0,5 mm und 60 mm, vorzugsweise
zwischen 1 mm und 4 mm liegt, sind eben und glatt.
Die Arbeitsstellung (F i g. 2) der beiden Abdeckscheiben 9,9' wird durch Verschieben der Lagerbüchsen 10,
10' mittels der Arbeitszylinder 12, 12' hergestellt, nachdem die Düsen nach dem Auftragen der Magnetdispersion
die Ruhestellung wieder eingenommen haben. Das Spritzgehäuse 6 wird durch Verschieben des
Stützrahmens 16 mit Hilfe eines Arbeitszylinders bereits vor dem Reinigungsgang und dem Auftragen der
Magnetdispersion über die Trägerplatte 3 geschoben, die bei der Ausführung des Beschichtungsverf ahrens mit
einer Umdrehungszahl im Bereich von 400 bis 3500 U/min rotiert Dabei ist während des Auftragens
der Magnetdispersion eine niedere Umdrehungszahl vorgesehen, die nach dem Instellungf ahren der Abdeckscheiben
9, 9' zur gleichmäßigen Verteilung der Magnetdispersion über die Plattenoberfläche in einem
Zentrifugiergang erhöht wird. Somit beginnt die Übertragung der Drehbewegung der Trägerplattenanordnung
auf die beiden Abdeckscheiben 9, 9' bei niederer Drehzahl. Nach dem Schleudergang werden
die Abdeckscheiben 9, 9' und das Spritzgehäuse 6 wieder in ihre Ruhestellung zurückgefahren, damit eine
Trocknungseinrichtung über die Magnetschichten der Trägerplatte 3 geschwenkt werden kann.
Die Abdeckscheiben 9, 9' können auch durch eine oder mehrere Trägerplatten 3 ersetzt werden. Dabei
sind die beiden Antriebsspindeln und Halteeinrichtungen der Trägerplatten auf einer gemeinsamen Antriebswelle
drehfest angeordnet, wovon eine über eine Kugelbüchse auf der Antriebswelle verschiebbar ist.
Eine Kupplung entfällt in diesem Fall, da beide Trägerplatten durch eine gemeinsame Antriebswelle
angetrieben werden. Zum Auftragen der Magnetdispersion ist den beiden sich gegenüberstehenden Seiten der
Trägerplatten je eine Düse zugeordnet, die beide in Form einer radial bewegbaren Doppeldüse mit einem
gemeinsamen Zuführungsrohr zusammengefaßt sind.
Die der Erfindung zugrunde liegende Vorrichtung ist geeignet, in einen automatisierten Ablauf des gesamten
Beschichtungsvorgangs eingegliedert zu werden. Die Steuerung der diese Vorrichtung betreffenden Vorgänge
ist nicht Gegenstand der Erfindung und daher nicht beschrieben.
Probeläufe an einem Versuchsaufbau der erfindungsgemäßen Vorrichtung haben gezeigt, daß gegenüber
herkömmlich hergestellten Magnetschichten eine wesentliche Verbesserung der Oberflächenqualität hinsichtlich
einer deutlichen Verringerung der Amplitudenschwankungen magnetischer Aufzeichnungen und
einem wesentlich ruhigeren Flugverhalten der Magnetköpfe erreicht wird.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (6)
1. Vorrichtung zur Herstellung der Magnetschichten von Magnetspeicherplatten durch Auftragen
einer gießfähigen Magnetdispersion auf eine rotierende Trägerplatte und anschließendem Zentrifugieren
der Trägerplatte, bestehend aus einer Antriebsund Halteeinrichtung für die zu beschichtende
Trägerplatte, aus Mitteln zur Reinigung der Trägerplatte sowie aus einer Einheit für das
Auftragen der Magnetdispersion, dadurch gekennzeichnet, daß in geringem Abstand zu den
zu beschichtenden Flächen der Trägerplatte (3) während des Zentrifugierens gleichsinnig mit der
Trägerplatte (3) umlaufende, flächige Abdeckelemente (9,9') angeordnet sind.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckelemente (9,9') koaxial zur
Welle (7) der Antriebs- und Halteeinrichtung (1, 2) der Trägerplatte (3) und zu dieser axial verschiebbar
angeordnet sind.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die zu beschichtende Trägerplatte
(3) und die flächigen Abdeckelemente (9, 9') mittels einer kraftschlüssigen Kupplung verbunden
sind.
4. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckelemente als Abdeckscheiben
(9, 9') ausgebildet sind, deren Durchmesser mindestens gleich dem der Trägerplatte (3)
ist.
5. Vorrichtung gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerplatte (3) und die
Abdeckelemente (9,9') jeweils mit mindestens einem Magneten (19,19') fest verbunden sind, die sich axial
in geringem Abstand gegenüberstehen.
6. Vorrichtung nach Anspruch 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Abdeckscheibe (9, 9') als
weitere, zu beschichtende Trägerplatte (3) ausgebildet ist.
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- 1976-11-30 JP JP51143052A patent/JPS6043567B2/ja not_active Expired
- 1976-12-03 GB GB50477/76A patent/GB1558983A/en not_active Expired
- 1976-12-03 FR FR7636504A patent/FR2334166A1/fr active Granted
- 1976-12-03 BE BE172948A patent/BE849041A/xx not_active IP Right Cessation
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JPS5269603A (en) | 1977-06-09 |
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