DE3317040C2 - - Google Patents
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/46—Regeneration of etching compositions
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25C—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC PRODUCTION, RECOVERY OR REFINING OF METALS; APPARATUS THEREFOR
- C25C1/00—Electrolytic production, recovery or refining of metals by electrolysis of solutions
- C25C1/12—Electrolytic production, recovery or refining of metals by electrolysis of solutions of copper
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Description
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum Ätzen kupferhaltiger
Werkstücke mit einem flüssigen, einwertige Kupfer- und Chlorid
ionen enthaltenden Ätzmittel mit
- a) mindestens einer Ätzmaschine, in welcher die Werkstücke dem Ätzmittel aussetzbar sind, wobei sich das Ätzmittel mit Kupfer anreichert;
- b) mindestens einem der Ätzmaschine nachgeschalteten Spülelement, in welchem die Werkstücke Spülwasser aussetzbar sind, wobei das den Werkstücken noch anhaftende Ätzmittel abgewaschen wird.
Eine derartige Vorrichtung ist aus der DE-PS 24 34 305 bekannt.
Bei ihr wird das Spülwasser zur Entsorgung in den Sumpf der
Ätzmaschine eingeleitet. Dies ist dort deshalb möglich, weil
das Ätzmittel chemisch regeneriert wird, wobei eine Verdünnung
mit Wasser ohnehin erforderlich ist. Eine gesonderte Entsorgung
des Spülwassers ist dann nicht mehr nötig. Gleichzeitig werden
die im Spülwasser noch enthaltenen Chemikalien einer Wiederver
wendung zugeführt. Die chemische Regeneration des Ätzmittels
leidet aber an dem Nachteil, daß sich die Ätzmittelmenge laufend
vergrößert und daher kontinuierlich oder in bestimmten Abständen
Ätzmittel dem System entnommen und der Wiedergewinnung der
Chemikalien an anderer Stelle zugeführt werden muß. Aus diesem
Grunde wird in jüngster Zeit die elektrolytische Regeneration
des Ätzmittels bevorzugt, bei welcher im Grundsatz ein vollständig
geschlossener Kreislauf aufrecht erhalten werden kann. Hier
ist also insbesondere auch keine Verdünnung des Ätzmittels
bei der Regeneration durch Frischwasser erforderlich. Dies
bedeutet andererseits, daß dem Ätzmittel zur Entsorgung auch
kein Spülwasser mehr zugesetzt werden kann.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung
der eingangs genannten Art so auszugestalten, daß das anfallende,
mit Ätzmittel versetzte Spülwasser in einer Weise aufbereitet
wird, welche eine Rückführung in das öffentliche Kanalisations
system ermöglicht.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß
- c) zur elektrolytischen Regeneration des Spülwassers eine Metall rückgewinnungszelle vorgesehen ist, welche eine Anode und eine Kathode enthält;
- d) die Metallrückgewinnungszelle innerhalb eines Sammelbeckens angeordnet ist, dem das aus dem Spülelement abfließende Spülwasser über eine Leitung zuführbar ist;
- e) eine Förderpumpe vorgesehen ist, welche das in dem Sammel becken befindliche Spülwasser in die Metallrückgewinnungs zelle pumpt, aus der über einen Überlauf überschüssiges Spülwasser wieder in das Sammelbecken zurückfließt.
Erfindungsgemäß wird also zur Wiedergewinnung des im Spülwasser
enthaltenen Ätzmittels ein gesonderter, zusätzlicher Elektrolyse
vorgang eingesetzt. Dies geschieht durch eine Elektrolysezelle,
die einen ganz besonderen Aufbau aufweist: Innerhalb eines
Sammelbehälters sitzt z. B. an einer Seitenwand in einer gewissen
Höhe eine verhältnismäßig kleinvolumige Metallrückgewinnungszelle.
In dieser findet der eigentliche Elektrolysevorgang statt. Hierzu
wird dem Sammelbehälter durch eine Pumpe kontinuierlich Spülwasser
entnommen, welches über einen Überlauf der Metallrückgewinnungs
zelle wieder in den Sammelbehälter zurückströmt. Die Metallrück
gewinnungszelle wird auf diese Weise kontinuierlich von immer
demselben Spülwasserstrom durchflossen, unabhängig davon, wieviel
Spülwasser tatsächlich momentan anfällt. Hierdurch kann die
Elektrolyse mit optimalem Wirkungsgrad durchgeführt werden, zumal
auch die Stillstandszeiten der Ätzmaschine und der Spülelemente
ausgenutzt werden können. Die Kapazität der Metallrückgewin
nungszelle braucht somit nicht an die maximale augenblicklich
anfallende Spülwassermenge angepaßt zu werden.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird nachfolgend anhand
der Zeichnung näher erläutert; es zeigen
Fig. 1: eine schematische Darstellung einer Ätzmaschine mit
nachgeschalteten Spülelementen;
Fig. 2: schematisch die Vorrichtung, mit welcher das in den
Spülelementen von Fig. 1 anfallende Spülwasser rege
neriert wird.
In Fig. 1 ist schematisch eine Ätzmaschine 1 mit zugehörigem
Einlaufteil 2 dargestellt. Sowohl der Einlaufteil 2 als auch
die Ätzmaschine 1 weisen eine durchgehende Transportbahn 3
auf, mittels der das plattenförmige Ätzgut 4 durch die Ätz
maschine 1 hindurchgeführt wird. Oberhalb und unterhalb der
Transportbahn 3 befindet sich jeweils ein mit 5 bezeichneter
Düsenstock, dem das in dem Sumpf 6 der Ätzmaschine 1 befind
liche Ätzmittel 7 über jeweils eine Förderpumpe 8 enthaltende
Leitungen 9 zugeführt wird.
Hinter der Ätzmaschine 1 ist eine Spüleinrichtung 10 mit drei
mit 11 bis 13 bezeichneten Spülelementen angeordnet, deren
Walzenbahnen 14 mit den Transportbahnen 3 der Ätzmaschine 1
und des Einlaufteiles 2 eine durchgehende Förderstrecke für
das Ätzgut 4 bilden. Auch diese Spülelemente 11 bis 13 sind
jeweils mit beiderseits der Walzenbahnen 14 angeordneten Düsen
stücken 15 ausgerüstet, denen das jeweils in dem Sumpf 16 befind
liche Spülwasser 17 über eine ebenfalls eine Förderpumpe 18
enthaltende Leitung 19 zugeführt wird. Der Sumpf 16 des ersten
Spülelementes 11 ist dabei an eine Frischwasser zuführende
Leitung 20 angeschlossen, in der ein mit 21 bezeichnetes Elektro
magnetventil liegt. Ferner sind die drei einander benachbarten
Spülelemente 11, 12 und 13 jeweils durch Leitungen 22 derart
miteinander verbunden, daß das in dem Sumpf 16 des Spülelementes
11 befindliche überschüssige Spülwasser 17 in den Sumpf 16
des benachbarten Spülelementes 12 übertritt und von diesem
Sumpf 16 sodann dem Sumpf 16 des letzten Spülelementes 13 zu
strömt. Von hier aus wird es über eine Leitung 23 der in Fig.
2 dargestellten Vorrichtung zugeführt.
Das Spülwasser gelangt über die Leitung 23 zunächst in ein mit
dem Bezugszeichen 64 bezeichnetes Sammelbecken, an dessen Seiten
wand in einer gewissen Höhe eine Metallrückgewinnungszelle
63 vorgesehen ist. Die Metallrückgewinnungszelle 63 steht über
eine Leitung 67 mit dem Sammelbecken 64 in Verbindung, wobei
eine in dieser Leitung 67 liegende Förderpumpe 68 das in dem
Sammelbecken 64 befindliche Spülwasser 65 in Richtung des Pfeiles
69 in die Metallrückgewinnungszelle 63 hochpumpt, von der aus
das überschüssige Spülwasser 65 wieder in Richtung der Pfeile
70 über die Oberkante 71 der Metallrückgewinnungszelle 63 in
das Sammelbecken 64 zurückfließt.
In die Metallrückgewinnungszelle 63 ragt sowohl eine mit 72
bezeichnete Anodenplatte als auch eine mit 73 bezeichnete Katho
denplatte hinein, wobei diese beiden Platten 72 und 73 jeweils
über Kabel 74 und 75 mit einer nicht dargestellten Gleichstrom
quelle verbunden sind. Schließlich ist an das Sammelbecken
64 noch eine mit 76 bezeichnete Abflußleitung angeschlossen,
in der eine Förderpumpe 77 liegt. Mittels dieser kann das in
dem Sammelbecken 64 befindliche Spülwasser 65 abgeführt werden.
Fällt bei dem Betrieb der Ätzmaschine 1 beispielsweise eine
Abwassermenge von etwa 200 l/h an, so ist bei der Annahme eines
achtstündigen Betriebes das Sammelbecken 64 auf ein Fassungsver
mögen von etwa 2000 l auszulegen. Das während dieses laufenden
8-Stunden-Betriebes anfallende Spülwasser 65 gelangt über die
Leitung 23 in das Sammelbecken 64, wo es zunächst gespeichert
bleibt. Während eines 24stündigen Betriebes wird dieses in
dem Sammelbecken 64 befindliche Spülwasser 65 laufend über die
Leitung 67 der Metallrückgewinnungszelle 63 zugeführt, in der
das Spülwasser 65 elektrolytisch regeneriert und das in ihm ge
löste Kupfer elektrolytisch an der Kathodenplatte 73 abgeschieden
wird. Das in die Metallrückgewinnungszelle 63 hochgepumpte
Spülwasser 65 fließt dabei laufend in Richtung der Pfeile 70
in das Sammelbecken 64 zurück. Während dieser 24 Stunden wäh
renden Regeneration des Spülwassers 65 wird soviel gelöstes Kupfer
elektrolytisch abgeschieden, daß nach Ablauf dieser 24 Stunden
das in dem Sammelbecken 64 befindliche Spülwasser 65 über die
Abflußleitung 76 unbedenklich dem öffentlichen Kanalisations
system zugeführt werden kann. Ist dies geschehen, so ist der
Sammelbehälter 64 wieder leer und somit bereit, das erneut
anfallende, von der Spüleinrichtung 10 zugeführte Spülwasser
65 aufzunehmen, das dann in einem weiteren Zyklus von 24 Stunden
in der gleichen Weise elektrolytisch regeneriert wird.
Die Metallrückgewinnungszelle 63 weist einen Absaugstutzen
53 mit einer Absaugleitung 56 auf, über die evtl. entstehendes
Chlorgas einem Laugenbehälter 57 zugeführt und in diesem ge
bunden werden kann. Die Beigabe frischer Lauge sowie auch das Abführen der
verbrauchten Lösung wird dabei mittels eines im Sumpf 6 der Ätzmaschine 1
befindlichen Chlorometers 58 gesteuert, das auf ein ein in einer die Lauge
zuführenden Leitung 59 befindliches Absperrorgan 60 sowie ein weiteres,
in einer die verbrauchte Lauge abführenden Leitung 61 befindliches
Absperrorgan 62 einwirkt.
Aus dem obigen ergibt sich, daß durch das Spülwasser das Ätz
mittel, welches der Ätzmaschine 1 zugeordnet ist, in seiner
Menge nicht verändert wird. Dieses Ätzmittel kann somit ins
besondere auch elektrolytisch regeneriert werden. Hierzu wird es
mittels einer Pumpe 35 über eine Leitung 33 in eine nicht näher
dargestellte elektrolytische Regenerationseinrichtung gebracht,
von welcher es nach erfolgter Abreicherung über die Leitung 42
wieder dem Sumpf 6 der Ätzmaschine 1 zugeführt wird.
Claims (2)
- Vorrichtung zum Ätzen kupferhaltiger Werkstücke mit einem flüssigen, einwertige Kupfer- und Chloridionen enthaltenden Ätzmittel mit
- a) mindestens einer Ätzmaschine, in welcher die Werkstücke dem Ätzmittel aussetzbar sind, wobei sich das Ätzmittel mit Kupfer anreichert;
- b) mindestens einem der Ätzmaschine nachgeschalteten Spülelement, in welchem die Werkstücke Spülwasser aussetzbar sind, wobei das den Werkstücken noch anhaftende Ätzmittel abgewaschen wird,
- dadurch gekennzeichnet, daß
- c) zur elektrolytischen Regeneration des Spülwassers eine Metall rückgewinnungszelle (63) vorgesehen ist, welche eine Anode (72) und eine Kathode (73) enthält:
- d) die Metallrückgewinnungszelle (63) innerhalb eines Sammel beckens (64) angeordnet ist, dem das aus dem Spülelement (11, 12, 13) abfließende Spülwasser über eine Leitung (23) zuführbar ist;
- e) eine Förderpumpe (68) vorgesehen ist, welche das in dem Sammelbecken (64) befindliche Spülwasser (65) in die Metall rückgewinnungszelle (63) pumpt, aus der über einen Überlauf (71) überschüssiges Spülwasser wieder in das Sammelbecken (64) zurückfließt.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19833317040 DE3317040A1 (de) | 1983-05-10 | 1983-05-10 | Verfahren und vorrichtung zur elektrolytischen regeneration eines aetzmittels |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| DE19833317040 DE3317040A1 (de) | 1983-05-10 | 1983-05-10 | Verfahren und vorrichtung zur elektrolytischen regeneration eines aetzmittels |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| DE3317040A1 DE3317040A1 (de) | 1984-11-15 |
| DE3317040C2 true DE3317040C2 (de) | 1993-09-09 |
Family
ID=6198635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| DE19833317040 Granted DE3317040A1 (de) | 1983-05-10 | 1983-05-10 | Verfahren und vorrichtung zur elektrolytischen regeneration eines aetzmittels |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| DE (1) | DE3317040A1 (de) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3716013A1 (de) * | 1987-05-11 | 1988-11-24 | Schering Ag | Verfahren zur regenerierung von permanganat-aetzloesungen sowie vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE1223653B (de) * | 1960-01-11 | 1966-08-25 | Siemens Ag | Vorrichtung zum kontinuierlichen elektro-lytischen Regenerieren von Kupferchlorid-AEtzloesungen |
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1983
- 1983-05-10 DE DE19833317040 patent/DE3317040A1/de active Granted
Cited By (1)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3317040A1 (de) | 1984-11-15 |
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