DE3306367C2 - - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zum Messen des Fokus eines Elektronenstrahls nach den Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 7.

Aus der GB-PS 13 06 115 und JEEE Transactions on Electron Devices, Bd. ED-22, 1975, Nr. 7, S. 376-384, sind Verfahren zum Messen des Fokus eines Elektronenstrahls bekannt, bei denen man den Elektronenstrahl über scharfkantige Markierungen mehrere Male jeweils mit anderem Fokuspegel abtasten läßt, ein Meßsignal während jedes Abtastvorganges in Abhängigkeit von der Wirkung des Elektronenstrahls auf das Target erzeugt, wobei dieses Ausgangssignal so verarbeitet wird, daß ein Signal gewonnen wird, das ein Maß für die Fokussierung des Elektronenstrahls ist, und die Werte dieses Signals zur Bestimmung des Wertes, der der optimalen Fokussierung entsprechen soll, vergleicht. Die auf diese Weise erhaltenen Werte sind jedoch nicht sehr genau.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Anordnung nach den Oberbegriffen der Ansprüche 1 und 7 zu schaffen, die eine sehr empfindliche Messung des Fokus eines Elektronenstrahls ermöglichen.

Diese Aufgabe wird entsprechend den kennzeichnenden Teilen der Ansprüche 1 und 7 gelöst.

Weitere Ausgestaltungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Die Erfindung wird nachstehend anhand der Abbildungen näher erläutert.

Fig. 1 zeigt eine diagrammartige Darstellung eines Targets, das von einem Elektronenstrahl während der Fokusmessung abgetastet wird;

Fig. 2 zeigt eine Wellenform eines während des Abtastens erzeugten Videosignals;

Fig. 3 zeigt ein Blockdiagramm einer Anordnung zum Messen des Fokus eines Elektronenstrahls;

Fig. 4 zeigt eine detailliertere Diagrammdarstellung eines Teils des Blockdiagramms von Fig. 3.

Die nachstehend erläuterte Anordnung kann in einem abtastenden Elektronenmikroskop oder in einer Vorrichtung zur Mikrofertigung mittels Elektronenstrahl eingesetzt werden, wobei in beiden Fällen im Betrieb ein Elektronenstrahl auf ein Target gerichtet wird, um dieses zu untersuchen oder zu bearbeiten, zu welchem Zweck ein Elektronenstrahl mit minimalem Querschnitt im Arbeitsbereich zweckmäßig ist.

Die Anordnung führt eine automatische Justage des Fokusstroms des Gerätes aus, d. h. der Strom durch die Fokussierspule, welche die Fokussierung des Strahls bestimmt, und überwacht die Querschnittsfläche des Strahls im Arbeitsbereich, d. h. die Position, wo das Target im Betrieb positioniert ist, um so den Fokusstrom zu bestimmen, der den besten Fokus ergibt. Die Anordnung kann auch dann automatisch den Fokusstrom auf den optimalen Wert einstellen.

Die Anordnung führt diesen Prozeß durch, indem man den Elektronenstrahl über ein Target von vorgegebener Querschnittsfläche mit scharf definierten Kanten abtasten läßt.

Fig. 1 zeigt ein Target 5, das in diesem Beispiel runde Querschnittsform aufweist. Während des Fokussierprozesses streicht der Elektronenstrahl mehrmals über das Target 5, wie dies durch die Linien 6 in Fig. 1 diagrammartig angedeutet ist.

Fig. 2 zeigt ein durch einen solchen Abtastvorgang erzeugtes Videosignal, d. h. das Signal, das von dem Elektronenstrahl unter Beeinflussung durch das Target 5 erzeugt wird. Wie in Fig. 2 dargestellt, fällt der Pegel des Videosignals abrupt (wie im Bereich A gezeigt), wenn der abtastende Strahl durch die Kante des Targets 5 unterbrochen wird, und verläuft auf einem niedrigen Pegel, der gehalten wird, bis der Strahl die gegenüberliegende Kante des Targets 5 erreicht und wieder rapid ansteigt, wie im Bereich B der Fig. 2 angedeutet ist. Die gestrichelten Linien in den Bereichen A und B der Fig. 2 zeigen die Form des Signals, die dann erzeugt wird, wenn optimale Fokussierbedingungen vorliegen, d. h., wenn die Querschnittsfläche des Elektronenstrahls bei einem Minimum liegt. Die ausgezogene Linie in jedem der Bereiche A und B zeigt das Videosignal, das bei schlechten Fokussierbedingungen entsteht; hier hat der Strahlquerschnitt nicht sein Minimum und deshalb wird der Strahl nicht abrupt unterbrochen, wenn er die Kante des Targets 5 beim Abtastprozeß erreicht, sondern er unterliegt einer realtiv allmählichen Verringerung, bis die Gesamtheit des Strahlflächenbereiches von dem Target 5 abgeschattet wird. Ein entsprechender Vorgang tritt natürlich ein, wenn der Strahl die gegenüberliegende Kante des Targets 5 erreicht. In noch zu erläuternder Weise setzt die Anordnung den Fokusstrom auf einen bestimmten Pegel nahe einem Ende des zugehörigen Einstellbereiches und führt eine Rasterabtastung des Targets 5 aus (wie in Fig. 1 dargestellt), wobei die bei jeder der Abtastlinie des Rasters erzeugten Videosignale überwacht und verarbeitet werden. Der Fokusstrom wird dann auf einen neuen Wert inkrementiert und die Sequenz wiederholt usw., bis der Fokusstrom bis zu dem anderen Ende seines Einstellbereiches inkrementiert ist. Die Signale werden dann weiterverarbeitet, um den optimalen Fokusstrom abzuleiten.

Im einzelnen erkennt man, daß das Videosignal V(x,y), abgeleitet vom Target 5, eine Funktion des Targetkontrastes g(x,y), des Radius R des Strahlflecks auf den Target 5, und der nachfolgenden Signalverarbeitung ist, worin x und y die Koordinaten der Targetoberfläche sind. Wenn der Strahlfleck eine Intensitätsverteilung h(x₀,y₀) hat (d. h. die Intensität des Strahlflecks am Punkt x₀,y₀, ausgehend von seinem Ursprung ist h(x₀,y₀), so ist das Signal, das erzeugt wird, wenn der Strahlfleck bei x,y positioniert ist, die Summe der Signale von allen Punkten, welche der Strahlfleck ausleuchtet, und wird gegeben durch

V(x,y) = ∬ g(x₁,y₁) · h(x-x₁,y-y₁) · dx₁ · dy₁ . (1)

Die beiden Funktionen g(x,y) und h(x,y) können repräsentiert werden durch ihre zweidimensionalen Fourier-Äquivalente G(ω_x,ω_y) sowie H(ω_x,ω_y). Demgemäß kann die Gleichung (1) umgeschrieben werden als

V(ω_x,ω_y) = G(ω_x,ω_y) · H(ω_x,ω_y) . (2)

Dies zeigt, daß der Probenkontrast G mit H "gefiltert" oder "moduliert" wird. Für perfekte Abbildungstreue gilt H(ω_x,ω_y)=1.

Die Intensitätsverteilung kann bequemerweise ausgedrückt werden als

Die Gleichung (3) kann umgeschrieben werden in Form ihrer Furier- Äquivalente

Gleichung (4) zeigt, daß mit kleiner werdendem R (d. h. mit verbessertem Fokus) H für alle von null verschiedenen Werte von ω zunimmt. Wenn Gleichung (4) in Gleichung (2) substituiert wird, so ergibt sich

Demgemäß nimmt V(ω_x,ω_y) bei allen von null verschiedenen Frequenzen zu, wenn der Fokus verbessert wird. Durch Überwachen des Videosignals und Messung seines gesamten, von null abweichenden Frequenzinhaltes erhält man demgemäß eine Messung des Grades der Fokussierung.

Der Probenkontrast G(ω_x,ω_y) hat nämlich einen großen Wert bei der Frequenz null. Dies wiederum bedeutet, daß V(ω_x,ω_y) einen großen Wert V(0,0) bei der Frequenz null hat. Da G(0,0) nicht vom Fokus abhängt, gilt dies auch für V(0,0), und wenn V(0,0) nicht eliminiert wird, ist die Verwendung von V(ω_x,ω_y) bei Frequenz ≠0 als ein Maß für den Fokus eine unempfindliche Messung.

Deshalb wird zunächst der Mittelwert des Videosignals für jede Abtastlinie gemessen. Dies ist äquivalent der Bestimmung des Nullfrequenzwertes von V(ω_x,ω_y) in Gleichung (5). Dieser mittlere Wert wird dann von dem Videosignal subtrahiert und das Resultat quadriert und integriert, womit der gesamte Frequenzgehalt von ≠0 von V(ω_x,ω_y) gemessen wird. Dies ist deshalb eine Messung des Fokussiergrades, jedoch ohne die Unempfindlichkeit, hervorgerufen durch den Überdeckungseffekt des Kontrastwertes bei der Frequenz null.

Die auf diese Weise gewonnenen verschiedenen Werte von V(ω_x,ω_y) werden verglichen, um den Fokussierstrom zu finden, der den größten Wert von V(ω_x,ω_y) liefert.

Wie in Fig. 3 dargestellt ist, weist die Anordnung einen Zeitbasis- und Abtastgenerator 10 auf, der eine konventionelle Ausbildung aufweisen kann, und die üblichen "X"- bzw. "Y"-Ablenkspulen 12 bzw. 14 erregt, um den Elektronenstrahl quer über das Target 5 tasten zu lassen. Während dieses Prozesses setzt ein Digitalanalogumsetzer 16 den Fokusstrom durch die Fokusspule 18 auf einen vorgegebenen Pegel nahe einem Ende seines Einstellbereiches.

Eine Fokusmeßanordnung 20 empfängt das Videosignal auf einer Leitung 22 so, wie es durch den Elektronenstrahl (über einen Videosignalgenerator 23) während der Rasterabtastung erzeugt wird, und wird durch die Zeilensynchronisier- und Bildsynchronisiersignale, empfangen von dem Abtastgenerator 10 auf Leitung 24 bzw. 26 gesteuert. Der Videosignalgenerator 23 kann je nach Typ des Gerätes, in dem der Elektronenstrahl verwendet wird, irgendeine geeignete Form aufweisen, beispielsweise als Videokamera ausgebildet sein, um so das Videosignal zu erzeugen, das in Fig. 1 dargestellt ist. Für jede Rasterabtastung erzeugt die Anordnung 20 ein von dem Grad der Fokussierung abhängiges Fokusmeßsignal auf einer Leitung 28, das in Digitalform durch einen Analogdigitalwandler 30 umgesetzt und in einem Speicher 32 abgespeichert wird.

Jedes Rahmensynchronisiersignal wird auf eine Leitung 34 gegeben, um einen voreinstellbaren Zähler 36 zu inkrementieren, welcher den Digitalanalogumwandler 16 ansteuert, um den Fokusstrom durch die Fokusspule 18 als Vorbereitung für den nächsten Rasterabtastvorgang auf den nächsten Wert zu inkrementieren. Hierbei wird jede Zeile in jedem Raster zweimal abgetastet.

Ein Rechner 38 empfängt das abgespeicherte fokusrepräsentative Digitalsignal im Speicher 32 über eine Rechnersammelleitung 40, wenn eine vollständige Serie von Rasterabtastungen ausgeführt worden ist (d. h., wenn der Fokusstrom über seinen gesamten Einstellbereich inkrementiert worden ist). Der Rechner verarbeitet diese Signale, um zu bestimmen, welcher Wert des Fokusstromes die Optimalfokussierung liefert. Er stellt dann den Zähler 36 so ein, daß der Fokusstrom auf diesen optimalen Wert gesetzt wird.

Die Anordnung 20 nach Fig. 3 und die Art und Weise ihres Betriebes werden nachstehend im einzelnen unter Bezugnahme auf Fig. 4 erläutert.

Mit dem Fokusstrom durch den Digitalanalogwandler 16 auf einen bestimmten Wert gesetzt, verursacht der Abtastgenerator 10, daß der Elektronenstrahl die erste Linienabtastung über das Target 5 ausführt (Fig. 1). Das resultierende Videosignal trifft auf Leitung 22 (Fig. 4) ein und wird mittels Leitung 41 in einem Schalter 42 an einen Integrator 44, umfassend einen Widerstand 46, einen Integrierkondensator 48 und einen Rücksetzschalter 50, angelegt.

Die Schalter 42 und 50 werden über eine Leitung 51 von einer Steuerlogik 52 gesteuert, welche die Linien- und Rahmensynchronisiersignale auf Leitungen 24 bzw. 26 (siehe Fig. 3) von dem Abtastgenerator 10 empfängt.

Während der ersten Linienabtastung wird der Schalter 50 von der Steuerlogik 52 offen und der Schalter 42 geschlossen gehalten. Der Integrator 44 integriert demgemäß das Videosignal. Wenn das einlaufende Videosignal durch f(t) repräsentiert wird, so wird der Ausgang des Integrators 44 am Ende der ersten Linienabtastung den Mittelwert von f(t) für die betreffende Linie sein, d. h.

Am Ende der ersten Linienabtastung empfängt die Steuerlogik 52 ein Linienabtastsignal auf Leitung 24 und öffnet den Schalter 42. Schalter 50 wird offengehalten, und deshalb wird der integrierte Ausgang des Integrators 44 gehalten. Wie oben erläutert, veranlaßt der Abtastgenerator 10 (Fig. 3), daß die Zeile erneut abgetastet wird, und zwar ohne Änderung des Fokusstromes.

Während der zweiten Abtastung der zweiten Zeile wird der Ausgang von vom Integrator 44 über einen Widerstand 54 zu einem Punkt 56 geführt, wo er von dem einlaufenden Videosignal f(t) auf Leitung 22, das an Punkt 56 über einen Widerstand 58 angelegt wird, subtrahiert wird. Ein Verstärker 60 verstärkt das Differenzsignal, um so ein Ausgangssignal S₁ auf einer Leitung 62 zu erzeugen:

S₁ = [f(t)-] .

Das Signal S₁ wird mittels eines Quadrierschaltkreises 64 quadriert, um so ein Signal zu erzeugen:

S₂ = [f(t)-]².

Dieses Signal liegt auf Leitung 66 und gelangt an einen zweiten Integrator 68, der einen Widerstand 70, einen Integrierkondensator 72 und einen Rücksetzschalter 74 aufweist.

Der Schalter 74 wird durch die Steuerkogik 52 gesteuert und ist während dieser zweiten Abtastung der ersten Zeile offen, so daß er das Signal S₂ zum Steuern eines Signals

integriert, und dieses Signal gelangt zu einem Spitzendetektor 76 auf einer Leitung 78.

Am Ende der zweiten Abtastung der ersten Zeile veranlaßt das Zeilensynchronisiersignal auf Leitung 24, daß die Steuerlogik 52 die Schalter 50 und 74 schließt. Schalter 74 wird geschlossen gehalten, doch wird der Schalter 50 sofort wieder geöffnet. Schalter 42 ist dann geschlossen, und die erste Abtastung der zweiten Zeile beginnt nun (der Fokusstrom ist immer noch unverändert). Der Integrator 44 erzeugt demgemäß nun den Mittelwert des Videosignals für die zweite Zeile. Am Ende der ersten Abtastung der zweiten Zeile öffnet die Steuerlogik 52 die Schalter 42 und 74, während Schalter 50 offen bleibt.

Die zweite Zeile wird nun erneut abgetastet, wobei der Fokusstrom wiederum unverändert bleibt.

Demgemäß wird nun das Signal S₁ auf Leitung 62 für die zweite Zeile erzeugt, durch den Quadrierkreis 64 zur Erzeugung des Signals S₂ quadriert und mit dem Integrator 68 zum Erzeugen des Signals S₃ integriert.

Am Ende der zweiten Abtastung der zweiten Zeile schließt erneut die Steuerlogik 52 die Schalter 50 und 74, öffnet erneut den Schalter 50 und schließt den Schalter 42, und die oben beschriebene Sequenz wird wiederholt, wobei der Fokusstrom wiederum unverändert bleibt.

Der Spitzendetektor 76 mißt den Spitzenwert des Signals S₃ am Ende der zweiten Abtastung jeder Zeile, und am Ende des Rahmens hält er deshalb den Spitzenwert des Signals S₃ für den gesamten Rahmen. Wenn die Steuerlogik 52 das Rahmensynchronisiersignal auf Leitung 26 empfängt, sendet sie ein Steuersignal zum Spitzendetektor 76 über eine Leitung 80. Dieses Steuersignal veranlaßt, daß der Spitzendetektor 76 seinen gespeicherten Spitzenwert zu dem Analogdigitalwandler 30 über Leitung 28 überträgt. Der Spitzendetektor 76 wird dann rückgesetzt, und das Signal auf Leitung 80 veranlaßt den Analogdigitalwandler 30, den Spitzenwert in Digitalform umzusetzen und zu dem Speicher 32 zu übertragen.

Wie bereits unter Bezugnahme auf Fig. 3 erläutert, inkrementiert dann der Digitalanalogwandler 16 den Fokusstrom, und der oben unter Bezugnahme auf Fig. 4 beschriebene Vorgang wird für den zweiten Rahmen der Abtastung wiederholt.

Während der ersten Zeilenabtastung jeder Zeile wird der Schalter 74 durch die Steuerlogik 52 geschlossen gehalten, wie bereits erläutert wurde. Dies verhindert, daß der Integrator 68 ein Ausgangssignal erzeugt.

Wenn eine hinreichend große Anzahl von Rahmenabtastungen ausgeführt worden ist, um den Fokusstrom durch seinen Einstellbereich hindurch zu inkrementieren, hat der Speicher 32 eine Serie von Werten des Signals S₂ gespeichert, wobei jeder Wert der Maximalwert des Signals für eine Serie von Zeilenabtastungen ist, die bei einer bestimmten Einstellung des Fokusstromes erzeugt wurden.

Der Rechner 38 liest dann die gespeicherten Werte des Signals S₃ aus und verarbeitet sie, um denjenigen Wert des Fokusstromes zu ermitteln, welcher den Maximalwert von S₃ ergibt. Beispielsweise kann der Rechner 38 eine Analyse hinsichtlich der Kurve der kleinsten Quadrate bezüglich der gespeicherten Werte des Signals S₃ gegen den Fokusstrom durchführen.

Der Rechner 38 setzt dann den Fokusstrom über den Zähler 36 und den Digitalanalogwandler 16 auf diesen Optimalwert (Fig. 3).

Es ist nicht unbedingt zwingend, eine Rahmenabtastung bei jedem Wert des Fokusstromes durchzuführen: Die Abtastung einer einzigen Zeile für den Wert des Fokusstromes kann hinreichend sein. Die Ausführung einer Rahmen- oder Bildabtastung bei jedem Wert des Fokusstromes und Ermittlung des Spitzenwertes des Signals S₃ während diese Rahmenabtastung vermeidet jedoch Fehler, die als Ergebnis von Unvollkommenheiten bezüglich der Ausfluchtung der Elektronenstrahlsäule erzeugt werden könnten, welche zu einer Verschiebung in der Abtastposition führen können, wenn die Fokussierspulenströme geändert werden. Eine solche Verschiebung kann eine Änderung des effektiven Querschnittes verursachen, und dies führt zu einer Änderung des Wertes des Signals, die mit einer tatsächlichen Fokusänderung nicht in Beziehung steht.

Claims (12)

1. Verfahren zum Messen des Fokus eines Elektronenstrahls, bei dem ein scharfkantiges Target mehrere Male jeweils mit unterschiedlichem Fokuspegel durch den Elektronenstrahl abgetastet, ein elektrisches Ausgangssignal während jeder Abtastung in Abhängigkeit von der Wirkung der Elektronen im Elektronenstrahl auf das Target erzeugt und die Werte der Ausgangssignale verglichen werden, um den Wert zu bestimmen, der der optimalen Fokussierung entspricht, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Ausgangssignal zu einem resultierenden Signal verarbeitet wird, aus dem die der Frequenz null in der Fourier-Analyse des Ausgangssignals entsprechende Komponente entfernt ist, daß das Quadrat des so erhaltenen Signals integriert wird und daß die Integralwerte zur Ermittlung der optimalen Fokussierung verglichen werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß aus jedem Ausgangssignal ein Zwischensignal für jede Abtastung, das von der Wechselwirkung von Targets und Elektronen während dieser Abtastung momentan abhängt, und das resultierende Signal für diese Abtastung in Abhängigkeit von der momentanen Differenz zwischen dem Zwischensignal für diese Abtastung und dem Hauptwert dieses Zwischensignals entsprechend der Nullfrequenzkomponente hiervon für die Gesamtheit dieser Abtastung erzeugt wird.

3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß jede Abtastung das zweimalige Führen des Elektronenstrahls über denselben Teil des Targets bei demselben Fokuspegel zur zweifachen Erzeugung des Zwischensignals umfaßt, wobei ein Zwischensignal hiervon zur Bestimmung des Hauptwertes verwendet und der Hauptwert von dem weiteren Zwischensignal zum Erhalten des resultierenden Signals für diese Abtastung subtrahiert wird.

4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zeilenweise abgetastet wird.

5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß jede Abtastung als Rahmenabtastung, bestehend aus einer Vielzahl von Zeilenabtastungen, bei denen sämtlich der Fokuspegel nominell gleich bleibt, vorgenommen wird.

6. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß zeilenweise abgetastet und jede Zeilenabtastung zur Bildung aufeinanderfolgender Rahmenabtastungen eingeordnet wird, wobei der Fokuspegel für die Zeilenabtastungen jeder Rahmenabtastung konstant gehalten wird, daß das Quadrat jedes während jeder Zeilenabtastung einer entsprechenden Rahmenabtastung erzeugten resultierenden Signals integriert, für jede Rahmenabtastung der maximale integrierte Ausgang bestimmt und die maximalen integrierten Ausgänge aller Rahmenabtastungen zur Bestimmung der optimalen Fokussierung verglichen werden.

7. Anordnung zum Messen des Fokus eines Elektronenstrahls mit einer Abtasteinrichtung (10, 12, 14) zum mehrfachen Abtasten eines vorgegebenen, scharfkantigen Targets (5) mit dem Elektronenstrahl, einer Fokuseinstelleinrichtung (16, 18) zum Einstellen des Fokus des Elektronenstrahls auf unterschiedliche Pegel während jeder Abtastung, einem Signalgenerator (23), der auf die Elektronen während der Wechselwirkung des Elektronenstrahls mit dem Target (5) während jeder Abtastung anspricht, um ein entsprechendes Ausgangssignal während dieser Abtastung zu erzeugen, und einer Vergleichereinrichtung (38) zum Vergleichen der Werte der Ausgangssignale zur Bestimmung des Wertes entsprechend der optimalen Fokussierung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß der Signalgenerator (23) eine Schaltkreisanordnung (23, 42, 44, 54, 56, 60), die auf jedes Ausgangssignal ansprechend ein resultierendes Signal ohne Nullfrequenzkomponente erzeugt, sowie eine Schaltkreisanordnung (64, 68) zum Quadrieren und Integrieren jedes resultierenden Signals zur Erzeugung eines entsprechenden integrierten Ausgangs umfaßt, wobei die Ausgänge der Vergleichereinrichtung (38) zuführbar sind.

8. Anordnung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Signalgenerator (23) eine Schaltkreisanordnung (23, 58) zum Erzeugen eines Zwischensignals für jede Abtastung, das von der Wechselwirkung zwischen Elektronenstrahl und Target (5) während jeder Abtastung momentan abhängig ist, und die Schaltkreisanordnung (23, 42, 44, 54, 56, 60) zum Erzeugen des resultierenden Signals eine Schaltkreisanordnung zum Erzeugen des resultierenden Signals in Abhängigkeit von der momentanen Differenz zwischen dem Zwischensignal und dem Hauptwert des Zwischensignals entsprechend der Nullfrequenzkomponente hiervon für die Dauer dieser Abtastung umfaßt.

9. Anordnung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtasteinrichtung (10, 12, 14) eine Doppelabtasteinrichtung ist, durch die der Elektronenstrahl zweimal bei gleichem Fokuspegel über denselben Teil des Targets (5) während jedes Abtastvorganges führbar ist, wobei die Schaltkreisanordnung zur Erzeugung des resultierenden Signals eine Schaltkreisanordnung (23, 42, 44) umfaßt, die auf das während einer der beiden Führungen erzeugte Zwischensignal zur Erzeugung des Hauptwertes hiervon anspricht, während eine Subtrahiereinrichtung (58, 54, 56, 60) zum Subtrahieren des Hauptwertes von dem während der anderen der beiden Führungen erzeugten Zwischensignal zum Erhalten des resultierenden Signals für diese Abtastung vorgesehen ist.

10. Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtasteinrichtung eine Zeilenabtasteinrichtung ist.

11. Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtasteinrichtung eine Einrichtung zur Rahmenabtastung, bestehend aus einer Vielzahl von Zeilenabtastungen, bei denen sämtlich der Fokuspegel nominell gleich bleibt, ist.

12. Anordnung nach einem der Ansprüche 7 bis 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Abtasteinrichtung (10, 12, 14) eine Einrichtung zum Abtasten des Targets (5) durch den Elektronenstrahl in einer Vielzahl von Zeilenabtastungen, die aufeinanderfolgende Rahmenabtastungen bilden, ist, wobei durch die Fokussiereinrichtung (16, 18) der Fokuspegel für alle Zeilenabtastungen jeder entsprechenden Rahmenabtastung auf einem nominell gleichen Wert haltbar ist und eine Schaltkreisanordnung (76) zum Integrieren des Quadrats jedes resultierenden Signals, das während jeder Zeilenabtastung einer entsprechenden Rahmenabtastung erzeugt wurde, und Bestimmen des maximalen integrierten Ausgangs für jede Rahmenabtastung vorgesehen ist, wobei die maximalen integrierten Ausgänge der Vergleichereinrichtung (38) zuführbar sind.