DE3234943C2 - - Google Patents

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    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C30/00Coating with metallic material characterised only by the composition of the metallic material, i.e. not characterised by the coating process
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Description

Die Erfindung betrifft ein überzogenes Hartmetall mit einem Substrat aus einem Hartmetall und einer oder mehreren Überzugs­ schichten, von denen mindestens eine aus Aluminiumoxid besteht, sowie die Verwendung des überzogenen Hartmetalls als Material zur Herstellung von Schneidwerkzeugen.
Anwendungsgebiet der Erfindung ist das der mit Überzügen ver­ sehenen Hartmetalle oder -legierungen oder Sinterhartmetalle, aus denen insbesondere Schneidwerkzeuge hergestellt werden.
Aus der DE-OS 29 12 094 ist es bekannt, beschichtete Hartme­ tallkörper herzustellen, indem ein Hartmetall-Grundkörper nach Auftrag von Zwischenschichten mit Al₂O₃ als äußerste Schicht durch thermische CDV aus Al-Alkyl-, Al-Alkoxilat- oder Al-Acetylacetonat-haltiger Atmosphäre bei 900 bis 1100°C beschichtet wird. Bei diesen Reaktionstemperaturen werden kristalline und haftfeste Schichten mit der α-Phase erhalten.
Weiterhin ist es aus der GB-OS 20 61 324 bekannt, Hartmetall­ produkte, die Zwischenschichten aufweisen, mit Al₂O₃ zu beschichten. Die Beschichtung wird in einem Temperaturbereich zwischen 700 und 1200°C durchgeführt, wobei 0,4 bis 20 µm dicke feinkörnige Schichten erhalten werden.
Zur Bildung der Aluminiumoxidschicht auf einem Hartmetall, ist es also bekannt, kristallines Aluminiumoxid durch chemisches Aufdampfen aufzutragen.
Da die Festigkeit keramischer Materialien im allgemeinen der Korngröße der Kristallkörner umgekehrt proportional ist, wird es für wichtig erachtet, die Kristallkorngröße klein zu halten. Zur Verringerung der Größe der Kristallköner ist nicht nur deren Bildung bei niedriger Temperatur sondern auch die Oberflächenglätte des verwendeten Substrats von wesentlicher Bedeutung.
Aus der US-PS 40 36 723 ist ein Verfahren zur Herstellung eines elektrisch isolierenden Überzugs bekannt, wobei das elektrisch isolierende Material amorphes Al₂O₃ sein kann. Die Abscheidung des amorphen Al₂O₃ erfolgt durch Hochfre­ quenzaufstäubung. Bevorzugt wird die Substratelektrode wasser­ gekühlt. Durch den Kühleffekt in Verbindung mit der geringen Leistungsdichte während des Beginns des Anlagerungszyklusses wird das Material in amorpher Form abgeschieden.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein für Schneidwerkzeuge ge­ eignetes, mit Aluminiumoxid überzogenes Hartmetall vorzu­ sehen, das eine bessere Bruchfestigkeit und Abnutzungsfestig­ keit als die bekannten, mit Aluminiumoxid überzogenen Hart­ metalle aufweist.
Die Aufgabe wird gelöst durch ein überzogenes Hartmetall mit einem Substrat aus einem Hartmetall und einer oder mehreren Überzugsschichten, bei dem erfindungsgemäß mindestens eine der Überzugsschichten aus amorphem Aluminiumoxid besteht.
Bei verschiedenen Untersuchungen des Mechanismus der Bildung von dünnen Schichten aus Al₂O₃-Kristallen und deren Eigenschaften wurde gefunden, daß amorphes Aluminiumoxid, welches keine Korngrenze aufweist, unabhängig vom Zustand des Substrats eine höhere mechanische Festigkeit und Bruchfestigkeit aufzuweisen vermag, und daß ein mit amorphem Aluminium­ oxid überzogenes Hartmetall bei Verwendung in einem Werkzeug eine hervorragende Abnutzungsfestigkeit aufweist, weil keine Abtrennerscheinung an den Kristallkorneinheiten auftreten. Durch die Erfindung wird somit unter Verwendung von amorphem Aluminiumoxid ein überzogenes Hartmetall vorgesehen, das eine bessere Bruchfestigkeit und Abnutzungsfestigkeit aufweist, als ein Hartmetall, welches mit einem Aluminiumoxidüberzug gemäß dem Stand der Technik überzogen ist.
Zur Verwendung des erfindungsgemäßen, überzogenen Hartmetalls in einem Schneidwerkzeug liegt die Überzugsdicke des amorphen Aluminiumoxids vorzugsweise im Bereich von 0,5 bis 10 µm, weil bei einer geringeren Dicke als 0,5 µm die Abnutzungsfe­ stigkeit des Aluminiumoxids nicht ausreicht und bei einer größeren Dicke als 10 µm die Bruchfestigkeit oder mechanische Festigkeit bei der Verwendung in einem Werkzeug nicht zufrie­ denstellend ist. Das amorphe Aluminiumoxid ergibt eine erhebliche Wirkung, wenn es direkt auf ein Hartmetall aufgetragen ist, jedoch lassen sich die Schneideigenschaften weiter ver­ bessern, wenn das Hartmetall zuerst mit einer harten Verbin­ dung wie TiC, TiN, TiCN, TiCNO usw. in bekannter Weise über­ zogen und dann mit amorphem Aluminiumoxid überzogen wird. In diesem Falle sollte jedoch im Hinblick auf die Festigkeit des Werkzeugs die Gesamtdicke der Überzugsschichten vorzugsweise höchstens 20 µm betragen.
Das bei der Erfindung als Substrat eingesetzte Hartmetall be­ steht im allgemeinen aus mindestens einem der Carbide, Nitride, Carbonitride und Carboxynitride der Elemente der Gruppen 4a, 5a und 6a des Periodischen Systems, wobei dieser Bestandteil oder diese Bestandteile durch mindestens eines der Eisengruppenmetalle (Co, Ni, Fe) gebunden wird bzw. werden. Insbesondere werden Sinterhartmetalle wie WC-Co-Legie­ rungen bevorzugt.
Die beim erfindungsgemäßen überzogenen Hartmetall wahlweise vorgesehene Zwischenschicht besteht im allgemeinen aus mindestens einer Hartverbindung, d. h. einer Verbindung, die aus­ gewählt ist aus Carbiden, Nitriden, Carbonitriden, Boriden und Oxiden der Elemente der Gruppen 4a, 5a und 6a des Periodenischen Systems und festen Lösungen daraus. Si₃N₄, SiC, AIN, SiO₂, B₄C usw. sind auch verwendbar.
Anhand der nachstehenden Beispiele soll die Erfindung näher erläutert werden.
Beispiel 1
Eine Hartmetallprobe aus ISO MIO (WC-TiC-Co, Form SNG 432) wurde mit α-Al₂O₃ in einer Dicke von 2 µm durch ein chemisches Aufdampfverfahren in bekannter Weise beschichtet, um eine Vergleichsprobe zu ergeben, und eine gleiche Probe des Hartmetalls wurde mit amorphem Al₂O₃ in einer Dicke von 2 µm durch Ionenbedampfung beschichtet, um eine erfin­ dungsgemäße Probe zu ergeben. Die beiden erhaltenen Proben wurden unter den nachstehenden Bedingungen einer Schneid­ prüfung unterzogen:
Prüfung I
Werkstück
FCD-40
Schneidgeschwindigkeit 200 m/min
Schneidtiefe 2 mm
Vorschub 0,25 mm/Umdrehung
Bei dieser Prüfung ergab die Vergleichsprobe nach acht Minuten Schneidzeit einen V B-Abrieb von 0,3 mm und wurde als abgenutzt beurteilt, während die erfindungsgemäße Probe auch nach einer Schneidzeit von 30 Minuten einen V B-Abrieb von nur 0,25 mm ergab.
Beispiel 2
Hartmetallproben aus ISO P 30 (WC-TiC-TaC-Co, Form SNG 432) wurden mit TiC durch ein chemisches Aufdampfverfahren in be­ kannter Weise beschichtet und danach zusätzlich mit amorphem Al₂O₃ durch ein chemisches Plasmaaufdampfverfahren be­ schichtet, wobei verschiedene Schichtdicken hergestellt wurden, wie sie in der Tabelle I angegeben sind. Die erhaltenen Proben wurden den nachstehenden beiden Schneidprüfungen unter­ zogen und ergaben die in der Tabelle I gezeigten Ergebnisse.
Tabelle 1
Wie aus der Tabelle 1 hervorgeht, erhöht sich die Verschleiß­ festigkeit und die Brauchbarkeitsdauer des überzogenen Hart­ metalls, wenn die Dicke des amorphen Al₂O₃ 0,5 µm oder mehr beträgt, wobei jedoch beim Überschreiten einer Gesamt­ dicke von 20 µm der Überzugsschichten das Bruchverhältnis rasch ansteigt und die Festigkeit des Werkzeugs vermindert wird, obwohl die Brauchbarkeitsdauer beim Schneiden lange er­ halten bleibt.
Die vorstehend angegebenen Beispiele erläutern Fälle, bei denen eine Schicht aus amorphem Al₂O₃ auf das Substrat und auch auf eine TiC-Schicht aufgetragen wurde, wobei jedoch die Vorteile oder Wirkungen der Erfindung, wie sie im Bei­ spiel 2 dargestellt wurden, auch im Falle des aufeinander­ folgenden Auftrages einer TiC-Schicht, einer Schicht aus amorphem Al₂O₃ und einer TiN-Schicht auf ein Hartmetall unverändert blieben.

Claims (10)

1. Überzogenes Hartmetall mit einem Substrat aus einem Hart­ metall und einer oder mehreren Überzugsschichten, von denen mindestens eine aus Aluminiumoxid besteht, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens eine Überzugsschicht aus amorphem Aluminium­ oxid besteht.
2. Überzogenes Hartmetall nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Hartmetall aus mindestens einer Substanz besteht, die ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Carbiden, Nitriden, Carbonitriden und Carboxynitriden der Elemente der Gruppen 4a, 5a und 6a des Periodischen Systems und festen Lösungen daraus, und die mit mindestens einem Metall der Eisengruppe gebunden ist.
3. Überzogenes Hartmetall nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die äußerste Schicht aus amorphem Aluminiumoxid besteht.
4. Überzogenes Hartmetall nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Dicke der Überzugsschicht aus amorphem Aluminiumoxid 0,5 bis 10 µm beträgt.
5. Überzogenes Hartmetall nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesamtdicke der Überzugsschichten 0,5 bis 20 µm beträgt.
6. Überzogenes Hartmetall nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das amorphe Aluminiumoxid durch chemisches Plasmaauf­ dampfen als Überzug aufgetragen worden ist.
7. Überzogenes Hartmetall nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das amorphe Aluminiumoxid auf eine Zwischenschicht auf dem Substrat aufgetragen worden ist.
8. Überzogenes Hartmetall nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht aus mindestens einer Hartverbindung besteht, die ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Carbiden, Carbonitriden, Nitriden, Boriden und Oxiden der Elemente der Gruppen 4a, 5a und 6a des Periodischen Systems und festen Lösungen daraus.
9. Überzogenes Hartmetall nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Zwischenschicht aus mindestens einer Hartverbindung besteht, die ausgewählt ist aus der Gruppe bestehend aus Si₃N₄, SiC, AIN, SiO₂ und B₄C.
10. Verwendung der überzogenen Hartmetalle einer der An­ sprüche 1 bis 9 als Material zur Herstellung von Schneid­ werkzeugen.
DE19823234943 1981-10-01 1982-09-21 Ueberzogenes hartmetall und seine verwendung als material fuer schneidwerkzeuge Granted DE3234943A1 (de)

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Families Citing this family (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH659967A5 (de) * 1981-02-23 1987-03-13 Vni Instrument Inst Mehrschichtueberzug fuer spanabhebendes werkzeug.
JPS58107482A (ja) * 1981-12-22 1983-06-27 Ayao Wada アモルフアス金属薄膜を有する加工および切削用工具、金型、機械部品その他の金属製品
JPS58144467A (ja) * 1982-02-22 1983-08-27 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆超硬合金工具
US4468309A (en) * 1983-04-22 1984-08-28 White Engineering Corporation Method for resisting galling
DE3318999A1 (de) * 1983-05-25 1984-11-29 M.A.N. Maschinenfabrik Augsburg-Nürnberg AG, 8000 München Beschichteter metallischer gegenstand sowie verfahren zu dessen herstellung
GB2140460B (en) * 1983-05-27 1986-06-25 Dowty Electronics Ltd Insulated metal substrates
US4985313A (en) * 1985-01-14 1991-01-15 Raychem Limited Wire and cable
JPS6082366A (ja) * 1983-10-14 1985-05-10 Toshiba Corp サ−マルヘツド
JPS6089574A (ja) * 1983-10-21 1985-05-20 Mitsubishi Metal Corp 切削工具および耐摩耗工具用表面被覆焼結硬質合金部材
EP0160202A3 (de) * 1984-04-30 1988-09-21 Ovonic Synthetic Materials Company, Inc. Abscheidung von Überzügen mittels eines Mikrowellenplasmas und die dadurch hergestellten Überzüge
JPS61174128A (ja) * 1985-01-28 1986-08-05 Sumitomo Electric Ind Ltd レンズ成形用型
US4731261A (en) * 1985-02-27 1988-03-15 Nippon Shokubai Kagaku Kogyo Co., Ltd. Method for coating a metal covered with metal oxide film with refractory metal oxide
JPS61221369A (ja) * 1985-03-27 1986-10-01 Sumitomo Electric Ind Ltd 被覆超硬合金部材
CH664377A5 (de) * 1986-01-16 1988-02-29 Balzers Hochvakuum Dekorative schwarze verschleissschutzschicht.
US4696352A (en) * 1986-03-17 1987-09-29 Gte Laboratories Incorporated Insert for a drilling tool bit and a method of drilling therewith
US5165981A (en) * 1987-03-20 1992-11-24 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Ceramic substrate and preparation of the same
SE464818B (sv) * 1989-06-16 1991-06-17 Sandvik Ab Belagt skaer foer skaerande bearbetning
GB9006311D0 (en) * 1990-03-17 1990-05-16 Atomic Energy Authority Uk Surface protection of titanium
US5920760A (en) * 1994-05-31 1999-07-06 Mitsubishi Materials Corporation Coated hard alloy blade member
US5879823A (en) * 1995-12-12 1999-03-09 Kennametal Inc. Coated cutting tool
CN100425391C (zh) * 2001-06-11 2008-10-15 三菱综合材料株式会社 表面被覆硬质合金刀具
SE526337C2 (sv) * 2002-07-16 2005-08-23 Seco Tools Ab PVD-belagt skärverktyg med åtminstone ett skikt av (Ti, A1) (O, N) samt metod för att framställa detsamma
CN101048531A (zh) * 2004-07-07 2007-10-03 通用电气公司 基材上的保护涂层及其制备方法
US20070078521A1 (en) * 2005-09-30 2007-04-05 Depuy Products, Inc. Aluminum oxide coated implants and components
EP2495057B1 (de) * 2009-10-30 2017-03-29 Mitsubishi Materials Corporation Oberflächenbeschichtetes schneidewerkzeug mit hervorragender spanresistenz
JP5935562B2 (ja) * 2012-07-13 2016-06-15 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層がすぐれた初期なじみ性、耐チッピング性を発揮する表面被覆切削工具
JP7121234B2 (ja) * 2018-07-10 2022-08-18 三菱マテリアル株式会社 硬質被覆層が優れた耐チッピング性を発揮する表面切削工具

Family Cites Families (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB1345621A (en) * 1970-11-18 1974-01-30 Stauffer Chemical Co Ether and sulphide meta-substituted phenyl ureas and their utility as herbicides
SE357984B (de) * 1971-11-12 1973-07-16 Sandvik Ab
CH566398A5 (de) 1973-06-15 1975-09-15 Battelle Memorial Institute
US4036723A (en) * 1975-08-21 1977-07-19 International Business Machines Corporation RF bias sputtering method for producing insulating films free of surface irregularities
ATA261878A (de) * 1978-04-14 1979-05-15 Ver Edelstahlwerke Ag Verfahren zur herstellung beschichteter hart- metallkoerper
JPS6012991B2 (ja) * 1979-05-01 1985-04-04 住友電気工業株式会社 高硬度工具用焼結体の製造法
IL58548A (en) * 1979-10-24 1983-07-31 Iscar Ltd Sintered hard metal products having a multi-layer wearresistant coating
US4399168A (en) * 1980-01-21 1983-08-16 Santrade Ltd. Method of preparing coated cemented carbide product
US4357382A (en) * 1980-11-06 1982-11-02 Fansteel Inc. Coated cemented carbide bodies

Also Published As

Publication number Publication date
JPS6142789B2 (de) 1986-09-24
FR2516551A1 (fr) 1983-05-20
DE3234943A1 (de) 1983-04-21
GB2109415A (en) 1983-06-02
FR2516551B1 (fr) 1985-12-27
JPS5858273A (ja) 1983-04-06
GB2109415B (en) 1985-07-31
US4474849A (en) 1984-10-02

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