DE3212908A1 - Verfahren zum aufbringen einer duennschicht auf eine traegerschicht und verfahren zur waermebehandlung einer duennschichtfolie sowie vorrichtung zur waermebehandlung einer duennschichtfolie - Google Patents

Verfahren zum aufbringen einer duennschicht auf eine traegerschicht und verfahren zur waermebehandlung einer duennschichtfolie sowie vorrichtung zur waermebehandlung einer duennschichtfolie

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DE3212908A1 DE19823212908 DE3212908A DE3212908A1 DE 3212908 A1 DE3212908 A1 DE 3212908A1 DE 19823212908 DE19823212908 DE 19823212908 DE 3212908 A DE3212908 A DE 3212908A DE 3212908 A1 DE3212908 A1 DE 3212908A1
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Description

KÜHNEN &*WÄ
PATENTANWALTSBÜRO
REGlSTItRED REI1RESIiNTATIVHS BEFORE THE EUROPEAN PATENT OFFICE
.G-
Olympus Optical Co., Ltd. Patentanwälte
R.-A. KÜHNEN*, Dipl.-ing.
W. LUDERSCHMIDT", dr., dipl.-chem.
P.-A. WACKER*, DIPL.-ING., D1PL.-WIRTSCH.-ING.
Japan 16 0L01 58 2
Verfahren zum Aufbringen einer Dünnschicht auf eine Trägerschicht und Verfahren zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie sowie Vorrichtung zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Aufbringen einer Dünnschicht auf eine Trägerschicht gemäß dem Oberbegriff der Ansprüche 1 und 5, ein Verfahren zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie gemäß dem Oberbegriff der Ansprüche 9 und 10 sowie eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 14.
Ein Magnetband mit einer metallischen Dünnschicht als ein Aufzeichnungsmedium mit hoher Aufzeichnungsdichte und verschiedene Vorfahren zur Herstellung des Magnetbandes mit metallischer Dünnschicht sind bekannt. Zu diesen Verfahren gehören beispielsweise das Auftragen im Unterdruck, Elektronenstrahl-Auftragung, Sprühverfahren und Ionen-Beschichtungsverfahren. Ein mittels eines dieser Verfahren.hergestelltes Magnetband weist eine extrem dünne magnetische Schicht, verglichen mit üblichen Magnetbänder,auf, bei weichen magnetische Teilchen zusammen mit einem Bindemittel auf eine Träger-
BÜRO 6370 OBERURSEL·' Hi)RO 8050 FRI-ISIN';' ZWEIGIiURO 8390 PASSAU
LINDENSTRASSE 10 SCHNEGGSTRASSE 3 3 LUDWIGSTRASSE 2
TEL. 06171/568« TEL. 08161/62091 TEL 0851/36616
TELEX 4186343 real d TELEX 526547 pawa d
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schicht aufgebracht sind. Je dünner die magnetische Schicht ist, desto besser ist das Hochfrequenzverhalten bei Aufzeichnung und Wiedergabe. Bei der Anwendung von der magnetischen Dünnschicht ergibt sich daher ein Magnetband, das für eine hohe Aufzeichnungsdichte geeignet ist.
Der Trägerfilm, welcher bei einem Dünnschicht-Metall-Magnetband verwendet wird, ist für Langzeitaufzeichnung sehr dünn. Im Falle der Herstellung durch Unterdruck-Auftragung wird der Trägerfilm durch Wärmestrahlung von einer Gasbzw.. Dampfquelle und die latente Wärme der gasförmigen bzw. sich in einer Dampfphase befindenden Metallatome thermisch angegriffen. Dabei bilden sich Runzeln bzw. Falten auf der Schicht aus. Während ferner die sich in einer Gasphase befindenden Metallatome rekristallisiert werden und als Dünnschicht ausgebildet werden, treten innere Spannungszustände entsprechend der Wärmeschrumpfung der Dünnschicht auf. Eine Trägerschicht 10 wölbt sich infolge innerer Spannung, wobei die Dünnschicht nach innen weist, wie es in Fig. 1A dargestellt ist. Wenn ein Magnetband, bei welchem eine große derartige Furche ausgebildet ist, verwendet wird, treten Dropouts, d.h., Aussetzer, auf. Wenn ferner ein gewölbtes Magnetband verwendet wird, weicht es in Vertikalrichtung von der normalen Bandbewegungsbahn ab, d.h., es wandert auf und ab. Somit ist das Band nicht auf den Kopf ausgerichtet und wird unregelmäßig um eine Aufwickelspule aufgewickelt.
Üblicherweise wird ein Dünnschicht-Metall-Magnetband folgenderweise hergestellt. Ein magnetisches Material wird auf einem Trägerschichtstreifen oder einer Trägerschichtbahn mit einer großen Breite aufgebracht. Verschiedenartige Beschichtungen und Oberflächenbehandlungen werden durchgeführt. Eine derartige Dünnschichtfolie oder Bahn zur Bildung der Bänder mit einer großen Breite wird in schmale Magnetbänder mit einer vorgegebenen Breite geschnitten. So wird das Magnetband hergestellt. Die Breite der Dünnschichtfolie, auf welcher die magnetischen Teil-
chen aufgebracht sind, ist erheblich größer als diejenige des Magnetbandes als des Endproduktes. Um Runzeln und Wölbungen vollständig aus dem Dünnschicht-Magnetband zu entfernen, muß die DünnschichtfOlie vollständig geglättet sein, bevor sie in schmale Magnetbänder geschnitten wird.
Zu diesem Zwecke kann die Trägerschicht, auf welcher die Dünnschicht ausgebildet ist, erwärmt werden. Wenn jedoch die Trägerschicht mit der darauf befindlichen Dünnschicht, wie sie in Fig. 1A dargestellt ist, einfach erwärmt wird, wird die gewölbte Schicht 10 gewellt, wie es in Fig. IB dargestellt ist. Mit einer einfachen Wärmebehandlung, wie sie oben beschrieben wurde, können daher die Runzeln und Furchen nicht einheitlich von der ganzen Oberfläche der Schicht 10 entfernt werden. Aus der JP-OS 53-83706 und der JP-OS 53-104204 sind Verfahren zur Beseitigung der Runzeln und Furchen bekannt. Demnach werden zur Lösung dieser Probleme Risse in der Schicht mit den magnetischen Teilchen ausgebildet. Die Ausbildung von Rissen zieht jedoch ein anderes Problem nach sich. Die Steifheit des Magnetbandes in Längsrichtung wird geringer als diejenige in Querrichtung. Im Betrieb wird das Magnetband, welches gleitend an dem Magnetkopf entlanggeführt wird, nicht in seiner ganzen Breite zum Anliegen mit dem Magnetkopf gebracht. Somit erhöht sich der durch Abstand verursachte Verlust. Da ferner Belastungsspitzen insbesondere in den Rissen auftreten, kann der Widerstand des Magnet-· bandes gegen Abreißen mit schräger Rißkante beträchtlich abnehmen. Das Magnetband neigt - mit anderen Worten - dazu, mit schräger Rißkante abzureißen.
Demgegenüber ist es eine erste Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Aufbringung einer DUnnschich't auf einer Trägerschicht nach dem Oberbegriff der Ansprüche 1 bzw. 5 zu schaffen, bei weichern die Festigkeit der Trägerschicht aufrechterhalten wird und thermische Deformationen, wie beispielsweise Runzeln oder Wölbungen,vermieden werden.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 1 bzw. 5 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Ein besonderer Vorteil ergibt sich zunächst daraus, daß bei einem Verfahren zur Aufbringung einer Dünnschicht auf einen Trägerfilm eine vorgegebene Spannung an den Trägerfilm angelegt wird, während die Dünnschicht darauf ausgebildet wird, und daß die Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie unter Spannungsbeaufschlagung durchgeführt wird.
Daraus ergibt sich der weitere Vorteil, daß die Festigkeit der Trägerschicht nicht beeinträchtigt wird und Runzeln, Kräuselungen oder Wölbungen bei der derart erzeugten Dünnschichtfolie vermieden werden.
Es ist eine zweite Aufgabe der Erfindung, ein Verfahren zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie gemäß dem Oberbegriff der Ansprüche 9 bzw. 10 zu schaffen, bei welchem Runzeln, Kräuselungen und/oder Wölbungen bei einer Dünnschichtfolie vermieden werden, welche eine Dünnschicht aufweist
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale der Ansprüche 9 bzw. 10 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildüngen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Ein besonderer Vorteil ergibt sich daraus, daß bei einem Verfahren zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie zu-, nächst eine Erwärmung mit einem vorgegebenen Temperatur-Anstiegsgradienten bis zum Auftreten von Wärmeschrumpfen vorgesehen ist, wobei auf die eine Dünnschicht aufweisende Dünnschichtfolie eine gleichmäßige Spannung aufgebracht ist, daß weiter Abkühlung der durch Wärmeeinwirkung geschrumpften Folie, an welche eine gleichmäßige Spannung angelegt ist, mit einem dem Temperatur-Anstiegsgradienten entsprechenden Temperatur-Abfallgradienten vorgesehen ist.
Daraus ergibt sich der weitere Vorteil, daß be·! der Durchführung dieser WärmebehandIuπη Runzeln und/oder Wölbungen,
ύ£ I
die beim Auftragen der Dünnschicht auf die Trägerschicht entstehen, auf der ganzen Oberfläche entfernt werden.
Es ist eine dritte Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie · gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 14 zu schaffen, mit der temperaturbedingte Deformationen, beispielsweise Runzeln, Kräuselungen und/oder Wölbungen bei einer Dünnschichtfolie vollständig vermeidbar sind, welche eine ]Q Dünnschicht aufweist.
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Anspruchs 14 gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen ergeben sich aus den Unteransprüchen.
Ein besonderer Vorteil der Erfindung ergibt sich daraus, daß zunächst bei einer Vorrichtung zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie eine Vor- oder Antriebsvorrichtung vorgesehen ist, mit welcher eine Dünnschichtfolie, welche eine Dünnschicht aufweist und auf welche eine gleichmäßige Spannung aufgebracht ist, bewegbar ist, daß eine Wärmedämmvorrichtung vorgesehen ist, mit welcher die Dünnschichtfolie bei einer Temperatur unmittelbar unterhalb einer Temperatur gehalten werden kann, bei welcher Wärmeschrumpfen auftritt,und daß eine Erwärmungsvorrichtung vorgesehen ist, mit welcher die bei einer Temperatur unmittelbar unterhalb der Temperatur, bei welcher Wärmeschrumpfen auftritt,bewegte Dünnschichtfolie erwärmbar ist.
Eine weiterer besonderer Vorteil ergibt sich bei dem beschriebenen Aufbau daraus, daß das Wärmeschrumpfen der Dünrifichichi folie in einem Thermostaten oder .einer wärmegeregelten Vorrichtung bei einer festeingestellten Ternperatur durchgeführt wird, welche um weniges geringer ist, als die Temperatur, bei welcher Wärmeschrumpfen auftritt. Daher wird im Vergleich mit dem Fall, bei welchem die Folie mit einer üblichen Erwärmungsvorrichtung von einer
] Raumtemperatur ausgehend erhitzt wird, die Temperaturän— derung während der Wärmebehandlung wesentlich geringer. Dementsprechend kann die Temperatur, bei welcher Wärmeschrumpfen der Folie auftritt, genau und leicht gesteuert werden bzw. geregelt werden. Da eine definierte Spannung an die Folie angelegt wird, kann diese sich infolge des Wärmeschrumpfens nicht in Gegenrichtung kräusein und/oder wölben. Dadurch wird eine Folie mit einer völlig ebenen Oberfläche erzeugt.
Weitere Einzelheiten, Vorteile und Merkmale der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung mehrerer Ausführungsformen der Erfindung anhand der Zeichnung.
Es zeigt
Fig. TA
und 1B Ansichten auf Querschnitte einer gewölbten Dünnschichtfolie bzw. einer gewellten Diinn- · schichtfolie;
Fig. 2 eine schematische Ansicht des Gesamtaufbaus einer erfindungsgemäßen Bedampfungsvorrichtung, mit welcher eine Dünnschicht auftragbar ist und Wärmebehandlung durchführbar ist;
Fig. 3 eine perspektivische Ansicht einer Vorrichtung für die Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie, die aus einer Trägerschicht und aus einer darauf ausgebildeten Dünnschicht besteht;
Fig. 4 eine perspektivische Ansicht einer DUnnschichtfolie in aufgewickeltem Zustand;
Fig. 5 eine Ansicht einer Vorrichtung zur erneuten
Wärmebehandlung einer Trägerschicht mit einer darauf ausgebildeten Dünnschicht;
Fig. 6 eine Ansicht einer anderen Ausführungsform der Vorrichtung nach Fig. 5;
Fig. 7 eine graphische Darstellung des zeitlichen Temperaturverlaufs bei einem Verfahren zur Wärme
behandlung;
Fig. 8 eine Ansicht des Gesamtaufbaus einer Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Wärme-IQ behandlung;
Fig. 9 ein Blockschaltbild einer Temperatur-Regeleinrichtung für die Heizvorrichtung in der Vorrichtung zur Wärmebehandlung nach Fig. 8; und
Fig. 10 eine Ansicht einer weiteren Ausführungsform der
erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Wärmebehandlung nach Fig. 8.
Innerhalb der Zeichnung bezeichnen gleiche oder nahezu gleiche Bev.ugszeichen gleiche oder nahezu gleiche Teile, wobei eine doppelte Beschreibung unterbleibt.
In Fig. 2 ist eine Dampfauftragvorrichtung bzw. Bedampfungsvorrichtung mit Wickelspulen dargestellt. Eine Abwickelspule 18 und eine Aufwickelspule 20 sind in einem Gehäuse 16 vorgesehen, das mit einer Unterdruckpumpe 14 verbunden ist. Eine um die Abwickelspule gewickelte Trägerschicht 10 wird über eine Spannungs-Steuervorrichtung 22, eine Führungsrolle 24, einen Kühlzylinder oder eine Kühltrommel 26 und Führungsrollen 28 bis 34 zu der Aufwickelspule 20 geführt. Eine Doppelanordnung von Heizelementen 36 und 38 ist zwischen den Führungsrollen 30 und 32 derart angeordnet, daß der Trägerfilm 10 zwischen den Heizelementen hindurchgeführt wird.
Der Trägerfilm 10 wird durch'einen - nicht dargestellten Servomotor angetrieben oder bewegt, welcher mit der Welle
• Φ ·
der Aufwickelspule 20 verbunden ist. Die Vortriebsgeschwindigkeit der Trägerschicht 10 wird mittels des Servomotors konstant gehalten. Die an die Trägerschicht 10 angelegte Spannung wird vorzugsweise konstant gehalten. Dazu ist eine Gegenspannvorrichtung, beispielsweise eine Spannungsregel bzw. -steuervorrichtung 22,auf der Seite der Abwickelspule 18 angeordnet. Für eine derartige Vorrichtung kann eine Bandgleitvorrichtung verwendet werden. Anstelle dessen kann auch eine Spannungs-Regelvorrichtung entsprechend auf den beiden Seiten der Abwickelspule 18 und der Aufwickelspule 20 angeordnet sein. Eine derartige Spannungs-Regelvorichtung ist aus der JP-OS 57-18044 und der japanischen Patentanmeldung mit der Seriennummer 55-115385 bekannt, welche beide von Olympus Optical Co., Tokio, Japan angemeldet wurden. Derartige Spannungs-Regelvorrichtungen können hier Verwendung finden. Auf den Inhalt der genannten japanischen Patentanmeldungen wird vollinhaltlich ausdrücklich Bezug genommen.
Eine Dampfquelle 40 ist gerade unterhalb der Kühltrommel 26 angeordnet. Ein zu verdampfender Stoff, der mit Verdampfungsstoff 42 bezeichnet wird und beispielsweise aus Nickel, Kobalt, Eisen, oder granatartigen magnetischen Teilchen bestehen kann, ist in der Dampfquelle 40 angeordnet. Der Verdampfungsstoff 42 kann miituls Widerslandsheizung, Hochfrequenz-Induktions-Heizung, oder Elektronenstrahlheizung erhitzt und verdampft werden. In einer Dampfphase befindliche bzw. gasförmige Atome oder Moleküle 42 werden in einem Oberflächenbereich der Trägerschicht 10 abgelagert, die nicht durch einen Schutzschild 44 abgeschirmt ist, wobei die Trägerschicht 10 bewegt wird und an der äußeren Umfangsoberflache der Kühltrommel 26 anliegt. Die Atome 42 werden abgekühlt und rekristallisieren bzw. gehen in eine feste Phase über. Durch die Rekristallisierung der gasförmigen Atome 42.. tritt in der Trägerschicht 10 eine innere .Spannung au!', die dazu führt, daß thermisch bedingte Def orrnationon , wi " beiüpiclsweiü;«:: Runzeln, Kräuselungen oder Wölbungen, in der Trägerschicht
10 auftreten. Diese innere Spannung kann grundsätzlich beseitigt werden, wenn dieselbe Spannung wie bei der Aufbringung der Dünnschicht 12 auf der Trägerschicht 10 während der Wärmebehandlung an die Trägerschicht 10 angelegt wird. Somit wird eine Dünnschichtfolie, die aus der Trägerschicht 1 0 und der darauf ausgebildeten Dünnschicht 12 gebildet ist, mit Wärme behandelt.
Die Dünnschichtfolie, die aus der Trägerschicht 10 und der darauf befindlichen Dünnschicht 12 besteht, wird durch die Heizelemente 36 und 38 erwärmt. Die Dünnschichtfolie (10+12) steht bei der Erwärmung unter derselben Spannung wie bei der Auftragung der gasförmigen Atome 42. auf die Oberfläche der Trägerschicht 10. In der Ausführungsform nach Fig. 2 werden die Kühltrommel 26 und die Führungsrollen 28 bis 34 gleichmäßig bzw. reibungsarm gedreht. Bei dem beschriebenen Aufbau ist die an die Trägerschicht 10 auf der Kühltrommel 26 angelegte Spannung im wesentlichen derjenigen Spannung gleich, die auf die Trägerschicht 10 zwischen den Heizelementen 36 und 38 angelegt wird. In diesem Zustand wird die Trägerschicht 10 mit der darauf befindlichen Dünnschicht 12 durch die Heizelemente 36 und 38 in dem Ausmaß erwärmt, daß Wärmeschrumpfen auftritt. Wenn eine geeignete Erwärmung stattgefunden hat, wird die mechanische Festigkeit der Trägerschicht 10 nicht vermindert und die innere Spannung jedoch wirksam beseitigt.
Die beste Temperatur der Wärmebehandlung mittels der Heizelemente 36 und 38 kann in weiten Bereichen schwanken. Eine genau definierte Temperatur kann nicht festgelegt werden. Die Temperatur bei der Wärmebehandlung mit den Heizelementen 36 und 38 kann entsprechend der Art der Trägerschicht 10
und des Verdampfungsstoffes 42, der Stärke der Trägerschicht 10 und der darauf ausgebildeten Dünnschicht 12, der Fortbewegungsgeschwindigkeit der Trägerschicht 10 und entsprechend anderen Parametern gewählt werden. Die tatsächlichen Bedingungen bei der Wärmebehandlung können durch Ausprobieren bei dem Herstellungsverfahren des Dünnschicht-
Magnetbandes festgelegt werden. Beispielsweise wird die Trägerschicht 10 entsprechend dem Grad der Wärmeschrumpfung der Dünnschicht;, die boim Aufbrinqen der DUnnr.chi.cht. auftritt, Wärmeschrumpfung unterworfen. Die Temperatur, bei welcher Runzeln, Kräuselungen bzw. Wölbungen ohne Verminderung der mechanischen Festigkeit der Trägerschicht 10 beseitigt werden, wird als Optimaltemperatur für die Wärmebehandlung festgelegt. Wenn die an die Trägerschicht 10 angelegte Spannung zu gering ist, können Runzeln, Kräuselungen bzw. Wölbungen nicht beseitigt werden. Wenn andererseits die Spannung zu groß ist, wird die Trägerschicht 10 gestreckt. Wenn daher die an die Dünnschichtfolie während der Wärmebehandlung angelegte Spannung im wesentlichen gleich der Spannung ist, die während der Aufbringung der Dünnschicht 12 auf die Trägerschicht angelegt ist, treten keine Schwierigkeiten auf. Es ist jedoch nicht notwendig, daß die Trägerschicht-Spannung bei der Aufbringung der Dünnschicht exakt der Dünnschichtfolien-Spannung während der Wärmebehandlung gleich ist.
In Fig. 3 ist eine Vorrichtung zur Wärmebehandlung der aus der Trägerschicht 10 und der Dünnschicht 12 bestehenden Dünnschichtfolie dargestellt. Die Heizelemente 36 und 38 weisen Drähte aus Nickelchrom und/oder Einzel-Heizelemente wie beispielsweise Infrarotstrahllampen auf. Ferner weisen die Heizelemente 36 und 38 vorzugsweise· je einen Temperaturfühler, beispielsweise einen Thermistor bzw. einen Heißleiter, auf. Die Einzel-Heizelomente und die Temperaturfühler sind mit einer - nicht dargestellten Spannungsquelle für die Heizelemente verbunden. Wenn ferner die Spannungsversorgung der Heizelemente mittels Rückkopplung, z. B. NFB, geregelt wird, kann die Trägerschicht 10 auf eine gleichbleibende Temperatur erwärmt werden. Anstelle der automatischen Temperatursteuerung kann ein Bimetallstreifen zur Steuerung bzw. Regelung der Temperatur verwendet werden.
In Fig. 4 ist eine Dünnschichtfolien-Rolle oder Band-Rolle 50 dargestellt, auf welcher die aus der Trägerschicht 10 und der Dünnschicht 12 bestehende Dünnschichtfolie aufgewickelt ist. Entsprechend der Vorrichtung in Fig. 2 wird die Trägerschicht 10 unter konstanter Spannung in Richtung auf die Aufwickelspule 20 bewegt und um einen Wickelkern 52 aufgewickelt. Das Endstück der Band-Rolle 50 wird mit einem endseitigen Verschluß 54 befestigt. Im wesentlichen die gleiche Spannung, wie sie bei der Aufbringung der Dünnschicht 12 auf der Trägerschicht 10 in der Träger- ' schicht 10 besteht, besteht in der aufgerollten Dünnschichtfolie in Längsrichtung. Daher ist es nicht notwendig, daß die Dünnschichtfolie vor dem Aufwickeln wärmebehandelt wird. Anstelle dessen kann die Dünnschichtfolie zum Erreichen derselben Wirkung im gerollten Zustand mit Wärme .. behandelt werden. Damit werden Runzeln, Kräuselungen und/' oder Wölbungen beseitigt. Die Band-Rolle 50 wird in diesem Falle in eine übliche wärmegeregelte Vorrichtung eingebracht und mit Wärme behandelt. Mit'der üblichen Dampf-Auftrag-Vorrichtung kann die Erfindung daher Möglichkeiten zur Lösung der erläuterten Probleme bieten.
In Fig. 5 ist ein Pfeil dargestellt, bei welchem die Dünnschichtfolie, die aus der Trägerschicht 10 und der
.25 Dünnschicht 12 besteht, erneut mit Wärme behandelt wird. Eine Bandrolle 5O1 mit der Dünnschichtfolie befindet sich auf einer Abwickelspule 1 8. . Die von der Bandrolle 5O1 abgewickelte Träcierschicht 10 wird über die Führungsrolle 28 bis 34 auf eine Aufwicbilspule 2O1 gewickelt. Dabei wird die Spannung der
Dünnschicht folie automatisch so geregelt, daß sie der Spannung bei. der Aufbringung der Dünnschicht 12 auf der Trägerschicht 10 gleich ist. Unter einer derartigen Konstantspannung wird die DUnnschichtfolie durch Heizelemente 36 und 38 erwärmt. Mit dieser Anordnung können Runzeln, Kräuselungen und/oder Wölbungen ebenfalls beseitigt werden.
In Fig. 6 ist eine weitere Ausführungsform der Vorrichtung
nach Fig. 5 dargestellt. Die Dünnschichtf'olie wird durch eine erste Doppelanordnung von Heizelementen 36 und 38 vorgeheizt und· durch eine zweite Doppelanordnung von Heizelementen 36„ und 38 wärmegeschrumpft. Mit der beschriebenen Anordnung wird die Dünnschichtfolie gleichmäßig über die gesamte Breite der Dünnschichtfolie mit Wärme behandelt.
Dabei ist - wie oben beschrieben - die während der Wärmebehandlung auf die Trägerschicht aufgebrachte Spannung gleich derjenigen, wie sie bei der Aufbringung der Dünnschicht 12 auf der Trägerschicht 10 angewandt wird. Die Trägerschicht 10 wird ferner in geeigneter Weise entsprechend dem Wärmeschrumpfen der Dünnschichtfolie durch Wärme- einwirkung geschrumpft. Wenn daher entsprechend dem erfindungsgemäßen Verfahren eine geeignete Wärmebehandlung durchgeführt wird, bleibt die mechanische Festigkeit der Trägerschicht 10 erhalten und Runzeln, Kräuselungen und/ oder Wölbungen können beseitigt werden. Daher liegt ein mit dem erfindungsgemäßen Verfahren hergestelltes Magnetband in gutem Kontakt an dem Magnetkopf an. Ferner werden Aussetzer, Dropouts und Pegelschwankungen des Ausgangssignales auf ein Minimum abgesenkt. Versuchsergebnisse beim erfindungsgemäßen Verfahren zur Wärmebehandlung werden im folgenden beschrieben.
Eine Polyesterschicht mit 10 μΐη wurde als Trägerschicht 10 verwendet. Eine Dünnschicht aus AlCo, also Aluminium-Kobalt, wurde auf die Trägerschicht 10 in einer Stärke von 0,3 bis 0,5 μΐη aufgetragen. Die ermittelten Ergebnisse sind in Tabelle 1 dargestellt.
Aus den Versuchsergebnissen können die foLgenden Schlußfolgerungen gezogen werden. Da thermisch bedingtes Schrumpfen bei einer Temperatur von 800C oder weniger nicht auftritt, können die Wölbungen aus der Trägerschicht bei einer derartigen Temperatur - 800C -( die im folgenden mit "nichtreaktive Temperatur"bezeichnet wird, nicht entfernt
werden. Wenn andererseits die Dünnschichtfolie drei Minuten lang mit einer Temperatur von 84 0C oder eine Minute lang mit 900C behandelt wird, können die Wölbungen entfernt werden. Wenn jedoch die Temperatur der Wärmebehandlung auf 980C oder mehr gesteigert wird, wölbt sich die Dünnschichtfolie spontan in Richtung auf die Seite der Trägerschicht 10 und es'bildet sich eine Vielzahl von Runzeln aus. Da die Wärmebehandlung. - wie oben erwähnt - empfindlich, bzw. schwierig zu steuern ist, muß der Temperaturbereich für die Wärmebehandlung zur Beseitigung von Runzeln aus der Trägerschicht 10 exakt festgelegt werden. Um eine Wärmeschrumpfung der Trägerschicht einheitlich durchzuführen, und um allzu starkes Wärmeschrumpfen infolge von außergewöhnlich hohen Temperaturen zu verhindern, müssen die Erwärmung und die Abkühlung langsam durchgeführt werden. Eine derartig langsame Abkühlung der Dünnschichtfolie kann spontan bzw. von selbst in einer geschlossenen wärmegeregelten Vorrichtung durchgeführt werden, deren Spannungsquelle abgeschaltet ist. Wenn die Folie mit etwa dem gleichen Temperaturgradienten erhitzt wie abgekühlt wird, wird sie nicht auf eine außergewöhnlich hohe Temperatur erhitzt, wie c?s oben beschrieben wurde.
Tabelle 1
Wärmebehandlungs- Zeit Zustand der Trägerschicht
temperatur (5C) (min)
80 15 Kein Wärmeschrumpfen (gewölbt)
84 2 Leichte Wölbung zur Seite der
Dünnschicht 12
84 3 Flach (keine Wölbung)
84 5 Leichte Wölbung- zur Seite
der Trägerschicht 10 (Gegen
wölbung)
90 0,5 Leichte Wölbung zur Seite
der Dünnschicht 12
90 1 Flach (keine Wölbung)
90 ■ 2 Leichte» Wölbung zur Seite
der Trägerschicht 10 (Gegen
wölbung)
ft ·
In Fig. 7 sind Temperaturänderungen bei der Wärmebehandlung als eine Funktion über die Zeit graphisch dargestellt. Die mit einer gleichbleibenden Spannung aufgewickelte Band-Rolle 50 ist in einer - nicht dargestellten - üblichen wärmegeregelten Vorrichtung angeordnet. Die Temperatur in der Vorrichtung mit gleichmäßiger Wärmeverteilung wird mit einem vorgegebenen Gradienten erhöht. Der Temperaturgradient ist gegeben durch b1/al. Die Temperatur in der wärmegeregelten Vorrichtung wird auf einer nichtreaktiven Temperatur T10 unmittelbar vor dem Auftreten von Wärmeschrumpfen festgehalten. Beim Festhalten der Temperatur T10 und Aufrechterhalten derselben für eine gewisse Zeit entwickelt sich eine gleichmäßige Temperaturverteilung in der Band-Rolle 50. Ferner werden Differenzen zwichen der Temperatur vor dem Wärmeschrumpfen und der Temperatur nach dem Wärmeschrumpfen geringer. Daher wird die Band-Rolle 50 unter außergewöhnlich guten Bedingungen mit Wärme behandelt. Wenn die Band-Rolle 50 vollständig auf eine im wesentlichen gleichmäßige Temperatur gebracht worden ist, wird die Temperatur in der wärmegerogelten Vorrichtung auf eine Temperatur T20 erhöht, bei welcher r,tufenweise bzw. in gewissem Ausmaß Wärmeschrumpfen auftritt. Durch diese Wärmebehandlung wird die thermisch bedingte Deformation eliminiert, und die wärmegeregelte Vorrichtung wird dann nach und nach auf Zimmertemperatur abgekühlt.
Die Abkühlgeschwindigkeit der wärmegeregelten Vorrichtung, d.h. der Temperatur-Abfallgradient wird zu b2/a2 angenommen. Der Temperatur-Anijtiecjsgradient b1/.i1 wird dann vor·- zugsweise wi« folgt festgelegt:
|b1/ai| = |b2/a2
Die Erwärmungsgeschwindigkeit wird so ausgewählt, daß sie im wesentlichen gleich der Abkühlgeschwindigkeit ist. Somit können Wölbungen aus der Band-Rolle 50 sanft entfernt werden. Ferner können sich Runzeln nicht ausbilden.
*/ /m I C V/ \J \J • · · ·
] Die optimalen Parameter für die Wärmebehandlung können entsprechend verschiedenen Faktoren variieren. Daher können feste Optimalbedingungen nicht von vorne herein für alle Fälle festgelegt werden. Die Temperaturgradienten bi/al und b2/a2 und die Temperaturen TIO und T20 werden bei der Wärmebehandlung entsprechend der Art der Trägerschicht 10, der Art des Verdampfungsstoffes 42, der Stärken der Trägerschicht 10 und der darauf ausgebildeten Dünnschicht 12 nach Bedarf geändert. Daher können die tatsächlichen Optimalbedingungen durch Ausprobieren bei dem Herstellvorgang des Dünnschicht-Magnetbandes festgelegt werden. Im einzelnen wird die Trägerschicht 10 entsprechend der Schrumpf rate der Dünnschicht /ι 2 bei der Aufbringung der Dünnschicht auf der Trägerschicht wärmegeschrumpft. Wenn Runzeln, Kräuselungen und Wölbungen unter bestimmten Bedinungen vollständig beseitigt werden, werden diese Bedingungen als Optimalbedingungen festgelegt.
Wie oben beschrieben, wird die Trägerschicht erfindungsgemäß einheitlich entsprechend der Wärmeschrumpfung der Dünnschicht wärmegeschrumpft, so daß die mechanische Festigkeit der Trägerschicht nicht vermindert wird und Runzeln, Kräuselungen und Wölbungen wirksam aus der Trägerschicht entfernt werden. Daher läuft das mit dem erfindungsgemässen Verfahren hergestellte Magnetband ruhig und gleichmäßig und liegt gleichmäßig an dem Magnetkopf an. Ferner werden Aussetzer und Schwankungen des Ausgangspegels vermindert.
in Fig. 8 ist eine Ausführungsform der erfindungsgemäßen Vorrichtung zur Wärmebehandlung dargestellt. Die Band-Rolle 50 der DUnnschichtfolie ist auf die Abwickelspule 18. aufgesetzt. Die als Band-Rolle 50 aufgewickelte Dünnschichtfolie wird über Führungsrollen 60 und 62 zu der Abwickelspule 2O1 geführt. Die Dünnschichtfolie wird mit einer konstanten Vortriebsgeschwindigkeit und gleichbleibender Spannung bewegt. Heizplatten 64 und 66 sind zwischen den Führungsrollen 60 und 62 angeordnet. Heiz-
■j vorrichtungen 68 und 70 sind je auf den Heizplatten 64 und 66 befestigt. Die Heizplatten 64 und 66 stehen einander mit einem gewissen Abstand voneinander gegenüber, die Dünnschichtfolie 10 verläuft zwischen den Heizplatten 64 und 66. Die Heizvorrichtungen 68 und 70 sind nicht in allen Einzelheiten dargestellt. Sie weisen jedoch einen Wärmefühler, beispielsweise einen Heißleiter, auf. Die Heizvorrichtungen f>8 und 70 sind mit ein^r Reqele i nrichtung 72 für die Heizvurrichturxjen VorMuitMon. Die Abwickoispule 18 , die Aufwickelspule 20 , die Band-Rolle 50 , die Führungsrollen 60 und 62, die Heizplatten 64 und 66,,die Heizvorrichtungen 68 und 70 sind in einer thermostatisch geregelten oder wärmegeregelten Vorrichtung 80 angeordnet. Die Innentemperatur der wärmegeregelten Vorrichtung 80 wird durch eine Temperatur-Regeleinrichtung 82 für die wärmegeregelte Vorrichtung gesteuert bzw. geregelt.
In Fig. 9 ist eine schematische Ansicht des Aufbaus der Regeleinrichtung 72 für die Heizvorrichtung nach Fig.
dargestellt. Unter der Annahme, daß die Trägerschicht mit Wärme bei einer Temperatur von 1000C geschrumpft wird, wird ein Eingangssignal Es entsprechend der Temperatur von 1000C zu einem Temperatur-Regelkreis 72^ geleitet. Der Temperatur-Regelkreis 72,) versorgt die.
Heizvorrichtungen 68 und 70 entsprechend der Größe des Eingangssignales Es mit Leistung EO. Der Temperatur-Regelkreis 72n weist einen Komparator und einen Leistungsverstärker auf. Die Heizvorrichtungen 68 und 70 werden entsprechend der Leistung EO geheizt. Die von den Heizvorrichtungen 68 und 70 erzeugte Wärme wird durch einen Heißleiter 69 erfaßt. Der Heißleiter 69 koppelt ein Temperatursignal Ed entsprechend der Temperatur der von den Heizvorrichtungen 68 und 7( erzeugten Wärme zu dem Temperatur-Regelkreis 72. zurücl·. Der Temperatur-Regelkreis 72- vergleicht das Eingangssignal Es und das Temperatursignal Ed und bestimmt die Größe der Leistung EO. Somit wird die Temperatur der von den Heizvorrichtungen 68 und 70 erzeugten Wärme auf 1000C
L·. Ii-WWV
gehalten.
In Fig. 8 bilden die Abwickelspule 1S1, die Aufwickelspule 2O1, eine mit dieser verbundene Antriebseinheit, wie beispielsweise ein - nicht dargestellter - Servomotor, und die Führunqsrollen 60 und 62 eine Antriebsvorrichtung zur Bewegung dor Trägerschicht mit einer gleichbleibenden Spannung. Die Heizplatten 64 und 66, die Heizvorrichtungen 68 und 70, die Regeleinrichtung 72 für die Heizvorrich-
IQ tung bilden eine Erwärmungsvorrichtung, mit welcher die DUnnschichtfolie auf eine Temperatur erwärmbar ist, bei welcher Wärmeschrumpfen der Trägerschicht 10 auftritt. Die wärmegeregelte Vorrichtung 80 und die Temperatur-Regeleinrichtung 82 für die wärmegeregelte Vorrichtung bilden eine Erwärmungsvorrichtung, mit welcher eine Dünnschichtfolie 10 auf einer Temperatur TJO erhalten werden kann, welche unmittelbar unterhalb der Temperatur liegt, bei welcher Wärmeschrumpfen der Trägerschicht 10 auftritt. Die Trägerschicht 10 wird auf eine nichtreaktive Temperatür vorgewärmt, bevor sie durch die Heizplatten 64 und erwärmt wird. Die nichtreaktive Temperatur T10 wird vorher entsprechend der Art der Trägerschicht 10 und/oder anderen Parametern festgelegt. Die vorgewärmte DUnnschichtfolie verlauft :■ wischen don Heizplatten 64 und 66 mit einer gleichbleibenden Geschwindigkeit und gleichmäßiger Spannung hindurch. Die Trägerschicht 10 wird angemessen wärmegeschrumpft, während sie zwischen den Heizplatten 64 und 66 hindurchläuft. Wenn Wärmeschrumpfen der Grundschicht 10 in geeigneter Weise durchgeführt wird, werden thermisch bedingte Deformationen, wie beispielsweise Runzeln, Kräuselungen und/oder Wölbungen vollständig •aus der Dünnschichtfolie entfernt.
Wä'rmcüchrumpfen, wie es oben beschrieben wurde, wird in der warmecjerocje] Γ on Vorrichtung durchgeführt,während die innere: Temperatur um woniges geringer als die Temperatur des Wärmeijchrumpfens ist. Daher unterscheidet sich dei Temperatur der Heizplatten 64 und 66 nicht wesentlich
von der Umgebungstemperatur in der wärmegeregelten Vorrichtung. Dementsprechend kann die Temperatur der Heizvorrichtungen 68 und 70 leicht geregelt werden. Die notwendige Zeitdauer zwischen dem Zeitpunkt, zu welchem Spannung an die Heizvorrichtungen 68 und 70 angelegt wird, zu dem Zeitpunkt, zu welchem die Heizvorrichtungen 68 und 70 eine vorgegebene Temperatur erreichen, wird somit verkürzt. Ferner kann die Temperatur der Folie vor und nach dem Durchtreten der Heizplatten 64 und 66 sich nicht wesentlich unterscheiden. Dementsprechend wird die Wärmeschrumpfung der Trägerschicht 10 gleichmäßig durchgeführt. Da die Trägerschicht 10 weiterhin unter festeingestellter Spannung geschrumpft wird, kann sich die Dünnschichtfolie nicht in Richtung auf die Trägerschicht 10 auswölben; dadurch wird eine völlig ebene Dünnschichtfolie erzeugt.
Wenn die auf die Dünnschichtfolie aufgebrachte Spannung zu gering ist, können Runzeln, Kräuselungen und/oder Wölbungen nicht vollständig entfernt werden. Wenn andererseits die auf die Dünnschichtfolie aufgebrachte Spannung zu groß ist, wird die Dünnschichtfolie gestreckt. Die auf die Dünnschichtfolie während der Wärmebehandlung aufgebrachte Spannung wird daher so gewählt, daß sie nahezu gleich der Spannung ist, welche während der Aufbringung der Dünnschicht 12 auf der Trägerschicht 10 angewendet wird. Die an die Dünnschichtfolie während der Wärmebehandlung angelegte Spannung kann jedoch üuch von der Spannung abweichen, die während der Ausbildung der Dünnschicht 12 auf der Trägerschicht 10 an die; letztere angelegt wird.
In Fig. 10 ist eine weitere Ausführungsform der Vorrichtung zur Wärmebehandlung nach Fig. 8 dargestellt. Bei *" der Vorrichtung nach Fig. 8 wird eine Doppelanordnung von Heizelementen verwendet, zwischen denen die Dünnschichtfolie erwärmt wird. In der in Fig. 10 dargestellten AusfUhrungsform wird eine Heizrolle 74 verwendet, die sich
gleichmäßig dreht und an der die Trägerschicht 10 anliegt. Andersherum wird die Dünnschichtfolie in Kontakt mit der Umfangsoberflache der Heizrolle 74 bewegt. Die Heizrolle 74 weist ein Heizelement auf, das mit einem Temperaturfühler geregelt wird, wie es in Fig. 9 dargestellt ist. Die Oberflächentemperatur der Heizrolle 74 wird auf der vorgegebenen Temperatur gehalten, bei welcher Schrumpfen auftritt. Mit der Vorrichtung zur Wärmebehandlung mit dem oben beschriebenen Aufbau wurde ein Versuch unter folgenden Bedingungen durchgeführt:
Trägerschicht 10: Polyesterfilm mit einer Stärke von
6 μη*
Dünnschicht 12: NiCo-Legierung, die auf die Trägerschicht 10 in einer Stärke von etwa
0,3 μπι aufgetragen wird
Heizrolle 74: Durchmesser 200 mm Folien-Transportgeschwindigkeit: 14 m/min Folien-Spannung: 2,5kS/mm2 - wie beim Aufbringen der Ni-Co-Dünnschicht Innentemperatur der temperaturgeregelten Vorrichtung 80:
950C
Temperatur der Heizrolle 74: 1000C
Unter diesen Bedingungen wurde eine Dünnschichtfolie ohne Runzeln, Kräuselungen und Wölbungen über ihre gesamte Breite erzielt.
Die Erfindung ist nicht auf die oben beschriebenen.'Ausführungsformen beschränkt. Beispielsweise kann die Heizleistung b/.w. Temperatur des Heizelementes 36, wie es in Fig. 3 dargestellt ist, geringer sein als diejenige des Heizelementes 38. Somit kann ein Temperaturgradient entlang der Richtung der Stärke der Trägerschicht 10 oder der Dünnschichtfolie ausgebildet sein. Eine Vorrichtung zum Ausbilden der Dünnschicht, wie sie aus der japanischen Patentanmeldung 55-176578 bekannt ist, kann bei Bedarf verwendet werden. Mit der in der japanischen Patentanmel-
dung mit der Nummer 55-176578 beschriebenen Vorrichtung kann eine seitliche Spannung an die wärmobehandelte Folie angelegt werden. Auf den Inhalt der japanischen Patentanmeldung mit der Nummer 59-176578 wird auch vollinhaltlich ausdrücklich Bezug genommen. Ferner ist die Dünnschicht 12 nicht auf eine magnetische Dünnschicht beschränkt. Das erfindungsgemäße Verfahren kann auch bei der Herstellung von mehrschichtigen Bändern mit zwei oder mehr Dünnschichten 12 angewendet werden.
Die Temperatur der in Fig. 8 dargestellten Heizplatte 64 kann sich gering von derjenigen der Heizplatte t>(> unterscheiden. Eine Infrarotstrahlenlampe kann als Heizelement Verwendung finden. Schließlich kann auch eine Mehrzahl von Heizrollen 74 entsprechend der in Fig. 10 dargestellten Heizrollei 74 verwendet werden, um die Band-Rolle auf ,unterschiedliche Temperaturen zu erwärmen.

Claims (12)

... . _<_ KÜHNEN & -patentanwalts'b'ürÖ REGISTERED REPRESENTATIVES BEFORE THH EUROPEAN PATHNT OFFICE Olympus Optical Co., Ltd. Tokio Japan PATENTANWÄLTE R.-A. KÜHNEN*, dipl.-inc. W. LUDEKSCHMIDT**, dr., uipl. chf.m. P.-A. WACKER*, DIPL.-INC IilPL.-WlRTSCH.-ING. 16 OLOI 58 2 Patentansprüche
1. Verfahren zum Aufbringen einer Dünnschicht auf eine Trägerschicht, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte :
a) Beaufschlagung der Trägerschicht mit einer vorgegebenen Spannung,
b) Ausbildung einer Dünnschichtfolie mittels Aufbringen der Dünnschicht auf der Trägerschicht, die mit der vorgegebenen Spannung beaufschlagt ist,
c) Beaufschlagung der Dünnschichtfolie mit einer festeingestellten Spannung, und
d) Wärmebehandlung der Dünnschichtfolie, die mit der festeingestellten Spannung beaufschlagt ist.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, doii die Trägerschicht als Band mit einer vorgegebenen Breite und einer vorgegebenen Stärke ausgebildet ist, und daß die vorgegebene Spannung und die festeingestellte Span-
BÜRO 6370 OBERURSEL*
LINDENSTRASSE 10
TEL. 06171/56849
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ZWEIGBORO 8330 PASSAU LUDWIGSTRASSE 2 TEL. 085l'366I6-
-TELEGRAMMADRESSE PAWAMUC - POSTSCHECK MUNl HEN 1360 32-802 ■ — TELECOPY: 08161/62096 (GROUP II - automat.) —
nung entlang der Längsrichtung der bandförmigen Trägerschicht angewendet wird.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 oder 2, dadurch
gekennzeichnet, daß die Dünnschicht magnetisches Metall aufweist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3> dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerschicht mit Wärme behandelt wird und bei einer Temperatur entsprechend dem Ausmaß des Wärmeschrumpfens der Dünnschicht, welches beim Aufbringen der Dünnschicht auftritt, durch'Wärmeeinwirkung geschrumpft wird.
5. Verfahren zum Aufbringen einer Dünnschicht auf eine Oberfläche einer bandförmigen Trägerschicht, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte :
a) Aufbringen einer vorgegebenen Spannung in Längsrichtung der Trägerschicht;
b) Ausbildung der Dünnschicht auf der Oberfläche der Trägerschicht, die mit der vorgegebenen Spannung beaufschlagt ist,
c) Aufwickeln der bandförmigen Trägerschicht, auf der die Dünnschicht ausgebildet ist, wobei eine vorgegebene Spannung an die bandförmige Trägerschicht in Längsrichtung angelegt ist, und
d) Wärmebehandlung der Rolle mit der bandförmigen Trägerschicht.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Rolle in einer wärmegeregelten Vorrichtung mit Wärme behandelt wird.
7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeich-
3
net, daß die Dünnschicht magnetisches Metall aufweist.
8. Verfahren nach einem der Ansprüche 5 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Trägerschicht mit Wärme behandelt wird und bei einer der Temperatur entsprechend dem Ausmaß des Wärmeschrumpfens der Dünnschicht, das bei der Aufbringung der Dünnschicht auftritt, durch'Wärmeeinwirkung geschrumpft wird.
9· Verfahren zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte:
a) Erwärmung der Dünnschichtfolie mit einem vorgegebenen Temperatur-Anstiegsgradienten, bis Wärmeschrumpfen auftritt und eine geschrumpfte
Dünnschichtfolie erhalten wird, wobei eine vorgegebene Spannung an die Dünnschichtfolie angelegt ist, und
b) Abkühlen der geschrumpften DünnschichtfoLie mit einem dem vorgegebenen Temperatur-Ans'tiegsgrad L-enten entsprechenden Temperatur-Abfallgradienten, wobei eine vorgegebenen Spannung an die geschrumpfte Dünnschichtfolie angelegt ist. 25
10. Verfahren zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie, gekennzeichnet durch die Verfahrensschritte:
a) Erwärmung der Dünnschichtfolie mit einem vorgegebenen Temperatur-Anstiegsgradienten vor dem
Auftreten von Wärmeschrumpfen, wobei eine festeingestellte Spannung an die Dünnschichtfolie angelegt ist,
b) Beaufschlagung der Dünnschichtfolie in einem vorgegebenen Zeitabschnitt mit einer nichtreaktiven Temperatur, welche unmittelbar unterhalb der Temperatur liegt, bei der Wärmeschrumpfen auf-
oct#Q 9 ta ο β.
tritt, wobei eine festeingestellte Spannung an die Dünnschichtfolie angelegt wird,
c) Erwärmung der Dünnschichtfolie, welche einer Temperatur unmittelbar unterhalb der Temperatur, bei der Wärmeschrumpfen auftritt, ausgesetzt ist, auf eine Temperatur, bei welcher Wärmeschrumpfen auftritt, wobei eine festeingestellte Spannung-an die Dünnschichtfolie angelegt ist, und Schaffung einer geschrumpften Dünnschichtfolie,· und
d) Abkühlen der geschrumpften Dünnschichtfolie mit einem dem vorgegebenen Temperatur-Anstiegsgradi-.enten entsprechenden Temperatur-Abfallgradienten, wobei eine festeingestellte Spannung an die geschrumpfte Dünnschichtfolie angelegt ist.
11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die Dünnschichtfolie auf eine Temperatur und für eine vorgegebene Zeitdauer entsprechend dem Wärmeschrumpfen einer Dünnschicht, welches beim Aufbringen der Dünnschicht auf der Trägerschicht auftritt, erwärmt und abgekühlt wird.
„c12..Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichent, daß die Dünnschichtfolie mit der Dünnschicht als langgestreckte' Bahn ausgebildet ist, und daß die langgestreckte Bahn auf eine Rolle mit einer vorgegebenen Spannung nach der Aufbringung der Dünnschicht aufgewickelt
2Q wird, und daß die Rolle mit einem vorgegebenen Temperaturgradienten erwärmt und abgekühlt wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Rolle in einer wärmegeregelten Vorrichtung erwärmt und abgekühlt wird.
14. Vorrichtung zur Wärmebehandlung einer Dünnschichtfolie gekennzeichnet durch
. a) eine Antriebsvorrichtung (18, 20, 60, 62), mit welcher die Dünnschichtfolie, die eine Trägerschicht (10) und eine Dünnschicht (12) aufweist und die unter einer vorgegebenen Spannung steht,
antreibbar oder bewegbar ist,
5
b) eine Erwärmungsvorrichtung (68 bis 72), mit welcher die durch die Antriebsvorrichtung (18, 20, 60, 62) bewegbare Dünnschichtfolie (10, 12) auf eine Temperatur erwärmbar ist, bei welcher die Dünnschichtfolie (10, 12) durch Wärmeeinwirkung geschrumpft wird, und
c) eine Wärmedämmvorrichtung (80, 82), mit welcher ,r die Dünnschichtfolie (10, 12), bevor und nachdem
die Dünnschichtfolie (10, 12) durch die Erwärmungsvorrichtung (68 bis 72) erwärmt ist, bei einer nichtreaktiven Temperatur (Tio) unmittelbar unterhalb einer Temperatur (T20) belaßbar ist, bei «q welcher Wärmeschrumpfen auftritt.
15. Vorrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet,
daß die Wärmedämmvorrichtung (80, 82) eine wärmegeregelte Vorrichtung (80) aufweist, in der die Heizvorrichtun-2c gen (68, 70) aufweisende Erwärmungsvorrichtung (68 bis
72) angeordnet ist und daß die Dünnschichtfolie (10, 12) unter Erwärmung durch die Heizvorrichtung (68, 70) antreibbar oder bewegbar ist.
3q16. Vorrichtung nach Anspruch 14 oder 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Wärmedämmvorrichtung (80, 82) eine wärmegeregelte Vorrichtung (80) aufweist, daß die Erwärmungsvorrichtung (68 bis 72) mindestens eine Heizrolle (74) aufweist, und daß die Dünnschichtfolie (10,
12) an der Heizrolle (74) anliegend fortbewegbar ist.
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