DE3050985C3 - Bilderzeugungsvorrichtung - Google Patents

Description

Die Erfindung geht aus von einer Vorrichtung zur Er­ zeugung eines Bildes auf einem Ausgabemedium ent­ sprechend eines Eingangssignales mit einer Einrich­ tung zur Erzeugung eines Strahles mit kohärenter Strahlung, einer Einrichtung zur Modulation des Strahles entsprechend dem Eingangssignal, eine Ein­ richtung zum Umlenken des Strahles mit einem sich mit im wesentlichen konstanter Winkelgeschwindigkeit drehenden Reflektor zur Umlenkung des modulierten Strahles derart, daß der Strahl das Ausgabemedium entlang im wesentlichen geradliniger Linien über­ streicht.

Bei der Herstellung von Leiterbahnplatten werden gewöhnlich sogenannte Muttermasken zum Erzeugen leitfähiger Leitermuster auf den Platten verwen­ det. Solche Leitungsmuster können aus einer großen Anzahl relativ schmaler Leiterbahnen bestehen, die nur durch kleine Abstände getrennt sind. Diese Leiterbahnen müssen scharf abgegrenzt sein, und daher benötigt man Muttermasken von hoher Auslösung und Genauigkeit. Bis jetzt werden solche Mutter­ masken für Ätzvorlagen auf photographischem Wege hergestellt, denn die bis jetzt bekannten Laser­ systeme haben es nicht ermöglicht, den hohen Ge­ nauigkeitsgrad zu erreichen, der bei der Herstel­ lung solcher Ätzvorlagen erforderlich ist.

Es ist bereits eine Vorrichtung u. a. zum Herstel­ len von Leiterbahnplatten bekannt, bei der eine Einrichtung zur Erzeugung eines Strahles mit ko­ härenter Strahlung, eine Einrichtung zur Modu­ lation des Strahles entsprechend dem Eingangs­ signal und eine Einrichtung zum Umlenken des Strah­ les mit einem sich mit im wesentlichen konstanter Winkelgeschwindigkeit drehenden Reflektor zur Um­ lenkung des modulierten Strahls vorgesehen ist (US-PS 40 02 829).

Auch ist bereits eine optische Aufnahmevorrichtung vorgeschlagen worden, bei der ein Gehäuse mecha­ nisch entlang einer Textzeile bewegt wird, wobei bei der Bewegung eine Gruppe von Fotodetektoren wiederholt der Reihe nach abgefragt wird. Die Foto­ detektoren sind für das Licht empfindlich, das von der den Text tragenden Oberfläche reflektiert wird, die durch die Lampen mit konstanter Intensität be­ leuchtet wird. Das Gehäuse, das auch als Schlitten bezeichnet wird, wird mechanisch entlang der Text­ zeile bewegt, wobei ein mechanischer Antriebsme­ chanismus dem Gehäuse eine ungleichmäßige Geschwin­ digkeit verleiht. Diese Ungleichmäßigkeit wird durch einen Schaltkreis kompensiert, der die Aus­ gangssignale der Fotodetektoren verarbeitet (DE-OS 25 16 961).

Es ist Aufgabe der Erfindung, eine Vorrichtung der eingangs genannten Art (US-PS 4,002,829, DE-OS 20 04 243) dahingehend zu verbessern, daß von der dort vorauszusetzenden Konstanz der Abtastgeschwindigkeit abgesehen werden kann.

Diese Aufgabe wird durch die im Patentanspruch 1 ge­ kennzeichneten Merkmale gelöst.

Diese Ausgestaltung bietet verschiedene Vorteile. Es lassen sich Ausgabemedien verschiedener Art ver­ arbeiten, und die erzeugten Ätz- bzw. Druckvorlagen haben über ihre ganze Bildfläche eine gleichmäßige hohe Qualität. Die Vorrichtung ermöglicht es, Li­ nien mit einer Breite sowie in Abständen von bis herab zu etwa 0,05 mm an beliebigen Punkten der Bildfläche und bei jeder gewünschten Musterdichte zu erzeugen. Die Merkmale und Abstände liegen in der Ausgangsbildfläche innerhalb von etwa 0,025 mm, bezogen auf die Eingangsdaten. Bei einer zur Ab­ tastrichtung parallelen oder rechtwinkligen Linie beträgt die Kantenunregelmäßigkeit oder Auflösung weniger als ±0,0127 mm auf der Basis der Messung der seitlichen Verlagerung zwischen den auf der Linie am weitesten innen und den am weitesten außen liegenden Punkten.

Eine vorteilhafte Ausgestaltung ist in den weiteren Ansprüchen angegeben.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im fol­ genden anhand schematischer Zeichnungen näher er­ läutert. Es zeigt

Fig. 1 eine teilweise weggebrochen gezeichnete Schrägansicht einer Ausführungsform einer erfin­ dungsgemäßen Vorrichtung zum Herstellen von Ätz- bzw. Druckvorlagen für Leiterbahnplatten;

Fig. 2 ein Blockschaltbild der Vorrichtung nach Fig. 1;

Fig. 3 ein Blockschaltbild des Bezugstaktsignal­ generators und der Bildkorrekturschaltung der Vorrichtung nach Fig. 2.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel werden die die Ätz- bzw. Druckvorlage bestimmenden Daten auf Magnetband gespeichert und dem Speicher eines Rechners eingegeben. Ein Bild der Ätzvorlage wird auf einem Ausgabemedium erzeugt, das rastermäßig durch einen Laserstrahl abgetastet wird, welcher entsprechend den dem Rechner entnommenen Daten mo­ duliert wird. Bei der bevorzugten Ausführungsform hat das ausgegebene Bild eine Größe von 452 × 615 mm, die Anzahl der Abtastzeilen beträgt 394 cm, und jede Abtastzeile enthält je Zentimeter 394 Bildelemente (pixels). Somit sind in beiden Abtastrichtungen innerhalb der gesamten Bildfläche alle Punkte adres­ sierbar, die durch Abstände von 0,0254 mm getrennt sind. Zu den verwendbaren Ausgabemedien gehören Diazofilm, Silberhalogenidfilm und Glasplatten. Beim Gebrauch eines geeigneten Lasers kann es ferner möglich sein, das Bild unmittelbar auf den Leiter­ bahnplatten zu erzeugen.

Die gesamte Vorrichtung ist in ein Gehäuse 21 einge­ schlossen, zu dem ein erster Teil 22 gehört, in dem der Rechner, das Magnetbandgerät, der Netzteil und die übrigen elektronischen Teile untergebracht sind, welche mit Hilfe von Türen 23 zugänglich gemacht werden können. Ferner gehört zu dem Gehäuse ein zwei­ ter Teil 24, der den Laser, die optischen Elemente, die Abtasteinrichtung und die Schlittenbaugruppen der Vorrichtung umschließt, wobei diese Teile hinter nicht dargestellten Türen zugänglich sind. Eine Tastatur 26, die eine Verbindung zu dem Rechner her­ stellt, ist auf einer Konsole 27 angeordnet, die gegenüber dem Gehäuseteil 22 vorspringt, so daß die Tastatur außerhalb des Gehäuses zugänglich ist.

Der Laser, die optische Einrichtung, die Abtastein­ richtung und die Schlittenbaugruppen werden durch einen massiven Tisch 29 unterstützt, der dazu dient, Schwingungen und auf Temperaturänderungen zurückzu­ führende Veränderungen möglichst auszuschalten, und der es ermöglicht, die bei der Herstellung von Ätz­ vorlagen für Leiterbahnplatten erforderliche Genau­ igkeit zu erreichen. Bei der bevorzugten Ausführungs­ form besteht der Tisch aus Granit und weist eine waa­ gerecht angeordnete Platte 31 mit einer Dicke von etwa 200 bis 250 mm auf, die von Quergliedern 32 und Horizontierklötzen 33 getragen wird. Die Oberseite 34 der Platte 31 ist sorgfältig poliert und hat über ihre gesamte Fläche eine Ebenheit von etwa 0,025 mm oder darunter.

Auf dem Haupttisch 29 sind zwei kleinere Tische 36 und 37 als Unterstützungen für die optische Einrich­ tung bzw. die Abtasteinrichtung der Vorrichtung ange­ ordnet. Der Tisch 36 wird gelegentlich als der op­ tische Tisch bezeichnet; zu ihm gehört eine waage­ recht angeordnete Platte aus Granit, die von Rahmen­ teilen 38 aus Stahl in Gestalt von Doppel-T-Profilen getragen wird. Zu dem gelegentlich als Abtasttisch bezeichneten Tisch 37 gehört ebenfalls eine waage­ recht angeordnete Platte aus Granit, die von seit­ lichen Rahmen 39 aus Stahl getragen wird. Somit wer­ den die Tische 36 und 37 oberhalb des Haupttisches 29 starr und ortsfest unterstützt.

Auf dem Haupttisch 29 ist eine Schlittenbaugruppe 41 als Unterstützung für das Ausgabemedium, auf dem das Bild der Ätzvorlage erzeugt werden soll, angeordnet. Zu dieser Baugruppe gehört eine Führungsschiene 42, die an der Oberseite 34 des Haupttisches 29 befestigt ist und sich unterhalb des Abtasttisches 37 parallel zur Längsachse des Haupttisches erstreckt. Bei der bevorzugten Ausführungsform besteht die Führungs­ schiene 42 ebenfalls aus Granit, und auf ihr ist ein Schlitten 43 in der Längsrichtung bewegbar geführt. Der Schlitten 43 wird durch einen Motor 44 über eine Gewindespindel 46 angetrieben. Auf dem Schlitten ist eine Platte 47 mit einer ebenen Fläche 48 von hoher Genauigkeit angeordnet, um das Ausgabemedium zu unter­ stützen.

Auf der Tischplatte 31 ist gemäß Fig. 1 hinter dem Abtasttisch 37 ein Laser 51 zum Erzeugen eines Schreibstrahls aus kohärenter Strahlung angeordnet. Bei einer gegenwärtig bevorzugten Ausführungsform zum Belichten von Diazo- und Silberhalogenidfilm wird als Laser 51 ein Argonlaser verwendet, der ohne Rücksicht auf Schwankungen der zugeführten Energie­ menge eine relativ konstate Ausgangsleistung auf­ rechterhält.

Das Ausgangssignal des Lasers 51 wird einem akustisch- optischen Modulator 52 bekannter Bauart zugeführt, um die Intensität des Schreibstrahls entsprechend den zugeführten Eingangssignalen zu variieren. Von dem Modulator aus gelangt der Schreibstrahl zu einem nicht dargestellten, auf dem Haupttisch 29 angeordneten Umlenkspiegel, um dann nach oben durch eine Öffnung 53 des optischen Tisches 36 zu einem auf diesem angeordneten zweiten Umlenkspiegel 54 geleitet zu werden. Von dem Spiegel 54 aus pflanzt sich der Schreibstrahl in waagerechter Richtung fort, um ein Ultraviolett- und Dämpfungsfilter 56 zu durch­ laufen. Von dort aus gelangt der Schreibstrahl zu einem Kugelspiegel 57 und weiter zu einem Parabol­ spiegel 58, wo er auf die endgültige Bildpunktgröße fokussiert wird, die das Maß von 0,0254 mm nicht überschreitet. Jenseits des Spiegels 58 wird der Schreibstrahl zu einer dichroitischen Strahlenver­ einigungseinrichtung 59 geleitet, wo er mit einem Bezugsstrahl vereinigt wird, um sich dann zusammen mit letzterem längs eines gemeinsamen Weges 61 in Richtung auf die Abtasteinrichtung fortzupflanzen.

Auf dem Tisch 36 ist ein Helium-Neon-Laser 62 zum Erzeugen des Bezugsstrahls angeordnet. Dieser Be­ zugsstrahl wird in waagerechter Richtung durch ein Objektiv 63 und eine Strahlenspreizeinrichtung 64 zu einem Umlenkspiegel 66 geleitet, der den Strahl auf den dichroitischen Spiegel 59 leitet, damit er mit dem Schreibstrahl vereinigt wird.

Von dem dichroitischen Spiegel 59 aus treffen der Schreibstrahl und der damit vereinigte Bezugs­ strahl auf einen piezoelektrischen Spiegel 69, der an der Unterseite des Abtasttisches 37 angebracht ist. Bei diesem Spiegel kann es sich z. B. um eine Spiegelbaugruppe handeln, zu der ein Spiegel ge­ hört, der auf drei piezoelektrischen Stapeln oder Rohren angeordnet ist, zwischen denen Winkelab­ stände von 120° vorhanden sind. Durch Anlegen geeigneter Steuerspannungen an die piezoelektri­ schen Stapel ist es möglich, den Spiegel innerhalb eines bestimmten Bereiches in jede gewünschte Win­ kellage zu bringen. Gemäß der Erfindung ist der piezoelektrische Spiegel so orientiert, daß zwei der Stapel auf eine waagerechte Achse 71 ausgerich­ tet sind, welche im rechten Winkel zu dem Strah­ lenweg 61 und zur Bewegungsrichtung des Schlit­ tens 43 verläuft. Diese beiden Stapel werden auf einer Bezugsspannung gehalten, und dem dritten Stapel wird ein Steuersignal zugeführt, um den Neigungswinkel um die Achse 71 zu regeln.

Von dem piezoelektrischen Spiegel 69 aus gelan­ gen die beiden vereinigten Strahlen zu einem Ab­ taster 72. Zu diesem Abtaster gehören ein pyrami­ denförmiger Spiegel 73 und eine dachförmige Spie­ geldublette mit zwei ebenen Spiegeln 74 und 76. Der pyramidenförmige Spiegel hat drei ebene, in Richtung seiner Achse geneigte reflektierende Fa­ cetten und wird durch einen Antriebsmotor 77 mit einer relativ hohen Drehzahl um seine Achse ge­ dreht. Der Abtaster 72 ist auf dem Tisch 37 orts­ fest angeordnet. Von dem Spiegel 69 aus fällt der Strahl auf die umlaufenden Facetten, so daß er in Richtung auf den Spiegel 74 reflektiert wird. Dieser Spiegel wirft den Strahl zu dem Spiegel 76 zurück, der ihn so reflektiert, daß er wieder zu der gleichen umlaufenden Facette gelangt, an der er ursprünglich reflektiert wurde. Hierauf wird der Strahl aus dem Abtaster heraus zu eine Flachfeldlinse 79 reflek­ tiert, die auf der Oberseite des Abtasttisches 37 ortsfest angeordnet ist. Der aus dem Abtaster und der Linse 79 austretende Strahl führt waagerechte Abtastbewegungen von einer Seite zur anderen aus, wobei im wesentlichen keine Winkelablenkung in senkrechter Richtung stattfindet.

Jenseits der Linse 79 fällt der Strahl auf einen dichroitischen Strahlenteiler 81, durch den der Schreibstrahl nach unten in Richtung auf die Schlittenbaugruppe 41 reflektiert wird, während der Bezugsstrahl zu einem Spiegel 82 gelangt. Der Strahlenteiler 81 und der Spiegel 82 sind orts­ fest auf einem an dem Tisch 37 befestigten Rahmen 83 angeordnet. Die relative Lage der Flachfeldlinse, des Strahlenteilers und der Schlittenbaugruppe ist so gewählt, daß die Oberseite eines auf dem Schlit­ ten angeordneten Ausgabemediums in der Brennebene der Flachfeldlinse liegt.

Jenseits des Spiegels 82 wird der Bezugsstrahl auf eine Bezugsmaske 86 geleitet. Wie im folgenden näher erläutert, wird das durch die Bezugsmaske fallende Licht durch ein faseroptisches Bündel gesammelt und durch einen Photodetektor oder eine Photoverviel­ facherröhre 88 abgefühlt, so daß man ein Bezugssi­ gnal erhält, das der Lage des Schreibstrahls auf dem Ausgabemedium entspricht. Die Bezugsmaske 86 wird auf der Unterseite des Abtasttisches 37 in der Brenn­ ebene der Linse 79 ortsfest unterstützt.

Gemäß Fig. 2 werden die Daten, durch welche die Ätz- oder Druckvorlagen festgelegt werden, auf einem Magnetband gespeichert. Bei der bevorzugten Ausfüh­ rungsform werden die Daten durch Abtasten von Ein­ gabekopien gewonnen, doch kann man sie gegebenen­ falls auch auf elektronischem Wege erzeugen. In jedem Fall sind die Daten räumlich so codiert, daß sie Elemente repräsentieren, die innerhalb des Bil­ des jeweils eine vorbestimmte räumliche Lage ein­ nehmen. Statt für jedes Element des Bildes ein ge­ sondertes Bit zu speichern, werden die Daten ver­ dichtet und in einem verdichteten Format gespeichert. Von dem Magnetband 151 aus werden die Daten dem Spei­ cher eines Rechners 152 eingegeben. An den Rechner 152 ist die Tastatur 26 nach Fig. 1 angeschlossen, und durch den Rechner werden die Daten einem Entkompri­ mierer 153 zugeführt, die die verdichteten Daten in ein serielles Format umwandelt, das für jedes Bild­ element ein Bit enthält.

Zusätzlich zu den Bilddaten enthalten die entkompri­ mierten Daten eine 16-Bit-Präambel, die Zustandsre­ gelungs- und Synchronisationsinformationen am Beginn jeder Abtastzeile enthält. Zu dem System gehört ein Präambelkomparator 154, dem die Daten aus dem Ent­ komprimierer 153 zugeführt werden, der die Präambel prüft und der die Bilddaten an zwei Pufferspeicher 156 und 157 weitergibt. Außerdem führt der Präambel­ komparator ein Synchronisationssignal SYNC einem Einzelbild-Bezugssignalgenerator 158 zu, der an die Pufferspeicher 156 und 157 Signale SEL BUF und abgibt, um die Pufferspeicher so zu steuern, daß es möglich ist, dem einen Speicher Daten einzu­ geben, während dem anderen Speicher Daten entnommen werden. Die Ausgänge der Datenpufferspeicher sind an die Eingänge eines Multiplexers 159 angeschlossen, und das Signal SEL BUF wird dem Wähleingang des Mul­ tiplexers zugeführt, um zu bestimmen, welchem Puf­ ferspeicher die Daten entnommen werden sollen. Das Ausgangssignal des Multiplexers 159 wird dem Ein­ gang eines Modulators 52 zugeführt, mittels dessen der Schreibstrahl entsprechend den Bilddaten modu­ liert wird.

Die Abgabe der Daten aus dem Entkomprimierer 153 an den Präambelkomparator 154 sowie an die Pufferspei­ cher 156 und 157 wird durch einen frei laufenden Haupttaktgenerator 161 gesteuert, der z. B. mit einer Frequenz von 4,5 MHz arbeitet. Die Daten werden den Pufferspeichern taktmäßig entnommen und dem Modula­ tor 52 unter dem steuernden Einfluß eines Bezugs­ taktsignals zugeführt, das der jeweiligen Lage des Schreibstrahls gegenüber dem Ausgabemedium ent­ spricht. Dieses Bezugstaktsignal wird durch einen zugehörigen Generator 162 erzeugt, dem das Bezugs­ signal von einer Photovervielfacherröhre 88 aus zu­ geführt wird. Das Bezugssignal wird durch Licht des Bezugsstrahls erzeugt, das die Bezugsmarke durch­ dringt und durch die Photovervielfacherröhre 88 er­ faßt wird. Da sich der Bezugsstrahl und der Schreib­ strahl längs eines gemeinsamen Weges fortpflanzen und da diese Strahlen durch den Abtaster gemeinsam abgelenkt werden, ist das Bezugssignal bezüglich seiner Lage mit dem Schreibstrahl eng synchroni­ siert. Jeder Impuls des Bezugssignals entspricht einer vorbestimmten Strecke auf dem Ausgabemedium, die z. B. etwa 0,075 mm beträgt. Der Bezugstaktgene­ rator 162 erhöht die Frequenz des Bezugssignals, so daß man einen Bezugstaktimpuls für jede Bewegung des Schreibstrahls um etwa 0,025 mm erhält.

Gemäß Fig. 3 gehört zu dem Bezugstaktgenerator eine phasenstarre Schleife mit einem Phasendetektor 171, einem spannungsgeregelten Oszillator 172, einem durch N teilenden Zähler 173 und einem Verzögerungs­ netzwerk 174. Das Bezugssignal der Photoverviel­ facherröhre 88 wird einem Eingang des Phasenkompara­ tors 171 zugeführt, und das Ausgangssignal des Pha­ senkomparators gelangt zum Eingang des spannungsge­ regelten Oszillators 172. Der Ausgang des Oszilla­ tors ist an den Eingang des Zählers 173 angeschlos­ sen, dessen Ausgang mit dem Eingang der Verzöge­ rungsschaltung 174 verbunden ist. Der Ausgang der Verzögerungsschaltung ist an den zweiten Eingang des Phasenkomparators 171 angeschlossen. Das Bezugs­ taktsignal erscheint am Ausgang des spannungsgere­ gelten Oszillators 172. Das Fassungsvermögen des Zählers 173 ist entsprechend der durch die Schaltung durchzuführenden Multiplikation gewählt, und die Frequenz des Bezugstaktsignals entspricht dem N-fachen der Frequenz des der Photovervielfacherröhre 88 ent­ nommenen Eingangssignals. Das Ausmaß der phasenmä­ ßigen Vorwärtsverschiebung richtet sich nach der durch die Schleife herbeigeführten Verzögerung; bei einer bevorzugten Ausführungsform liefert eine Ver­ zögerung in der Größenordnung von 0,5 bis 0,7 Mikro­ sekunden eine Phasenverschiebung in der Größenord­ nung von 14 Radien bei einer Frequenz von 4,5 MHz. Bei dieser Phasenverschiebung scheint das Bezugs­ taktsignal früher aufzutreten, als es tatsächlich der Fall ist, und trotz der in dem System auftre­ tenden elektrischen und optischen Verzögerungen wird daher jedes Datenbit in der richtigen Lage abgebildet.

Ferner ist eine Einrichtung vorhanden, die dazu dient, die Intensität des Schreibstrahls so zu regeln, daß eine gleichmäßige Belichtung des Ausgabemediums längs jeder Abtastzeile ohne Rücksicht auf Schwankungen bezüglich der Waage­ rechtgeschwindigkeit des Strahls aufrechterhal­ ten wird. Wenn sich der Abtastspiegel 73 mit einer relativ konstanten Winkelgeschwindigkeit dreht, besteht die Tendenz, daß die Waagerechtgeschwin­ digkeit des Schreibstrahls in Richtung auf die Enden jeder Abtastzeile abnimmt. Um die stärkere Belichtung auszugleichen, die anderenfalls statt­ finden würde, ist eine Einrichtung zum Verringern der Intensität des Strahls in Richtung auf die Enden der Abtastzeile vorhanden. Zu dieser Ein­ richtung gehört eine Intensitätskorrekturschal­ tung 176, die mit der phasenstarren Schleife 169 des Bezugstaktgenerators an einem Punkt verbun­ den ist, an dem ein zur Waagerechtgeschwindigkeit des Strahls proportionales Signal erscheint. Ein solches Signal steht am Ausgang des Phasenkompara­ tors 171 zur Verfügung; dieses Signal ist in Fig. 3 als Wellenform 177 dargestellt. Zu der In­ tensitätskorrekturschaltung 176 gehören ein Ein­ gangskondensator 178 und ein Verstärker 179. Das Ausgangssignal dieses Verstärkers ist eine Span­ nung, die in Richtung auf die Enden der Abtast­ zeile abnimmt; diese Spannung wird dem Modula­ tor 52 zugeführt, um die Intensität des Schreib­ strahls zu variieren und eine gleichmäßige Be­ lichtung über die ganze Länge der Abtastzeile auf­ rechtzuerhalten.

Gemäß Fig. 2 erzeugt der Einzelbild-Bezugsgenera­ tor 158 ein Abtaster-Synchronisationssignal, mit­ tels dessen der Abtastermotor 77 synchronisiert wird, der zusammen mit einem Phasenkomparator 183, einem spannungsgeregelten Oszillator 184, einem Verstärker 185 und einem Codierer 186 in einer phasenstarren Schleife 182 liegt. Das Abtaster- Synchronisationssignal wird einem Eingang des Pha­ senkomparators zugeführt, und der Ausgang des Pha­ senkomparators ist an den Eingang des spannungs­ geregelten Oszillators 184 angeschlossen. Das Ausgangssignal des Oszillators wird dem Eingang des Verstärkers 185 zugeführt, der das Treiber­ signal für den Motor des Abtasters liefert. Bei dem Codierer 186 handelt es sich um einen Wellen­ stellungscodierer, der ein Schaltsignal liefert, wenn sich der Spiegel 73 in der Stellung befindet, bei der mit einer neuen Abtastung begonnen wird. Das Schaltsignal wird einem zweiten Eingang des Phasenkomparators 183 zugeführt.

Ferner wird das Abtaster-Synchronisationssignal dem Eingang einer phasenstarren Schleife 187 zu­ geführt, die ein Signal liefert, das einem ge­ eigneten Vielfachen, z. B. dem 10fachen der Fre­ quenz des Abtaster-Synchronisationssignals ent­ spricht; der Ausgang dieser Schaltung ist an den Takteingang eines voreinstellbaren Zählers 188 angeschlossen, der als Ausgangssignal ein Schlit­ ten-Taktsignal liefert, welches synchron mit dem Abtaster-Synchronisationssignal auftritt und dazu dient, die Bewegung des Schlittens zu regeln, wobei die Schlittengeschwindigkeit proportional zur Fre­ quenz des Schlitten-Taktsignals ist.

Wie erwähnt, kann man bei der Vorrichtung verschie­ dene Arten von Ausgabemedien verwenden, bei denen es jedoch erforderlich ist, mit unterschiedlichen Belichtungszeiten zu arbeiten, um ein bestimmtes Bild zu erzeugen. Beispielsweise benötigt man bei einem Silberhalogenidfilm nur 2 min für ein Bild, während ein Diazofilm für das gleiche Bild einen Zeitaufwand von 80 min bedingt. Um den gewünsch­ ten Belichtungsbereich verfügbar zu machen, läßt sich die Geschwindigkeit des Schlittens vari­ ieren, und die Abtastzeiten werden mehrmals über­ strichen. Die Schlittengeschwindigkeit wird durch ein Langsamkeitssignal geregelt, das den Vorein­ stelleingängen des Zählers 188 zugeführt wird. Dieses Signal bewirkt, daß das Schlitten-Takt­ signal entsprechend einem Langsamkeitsfaktor N verringert wird und daß jeder Abtastvorgang N-mal wiederholt wird. Bei einem Langsamkeitsfaktor von 1 bewegt sich der Schlitten somit mit seiner ma­ ximalen Geschwindigkeit, und jede Zeile wird nur einmal überstrichen. Bei dem Langsamkeitsfaktor 10 wird die Schlittengeschwindigkeit auf ein Zehntel der Höchstgeschwindigkeit verringert, und jede Zeile wird unter Verwendung der gleichen Da­ ten 10mal überstrichen.

Der Schlittenmotor 44 wird synchron mit dem Schlit­ ten-Taktsignal durch eine Schleife mit einem Auf­ wärts/Abwärts-Zähler 189, einem Digital/Analog- Umsetzer 190, einem Verstärker 191 und einem Co­ dierer 192 angetrieben. Das Schlitten-Taktsignal wird dem Aufwärtszähleingang des Zählers 189 zu­ geführt, dessen Ausgang mit dem Eingang des Digi­ tal/Analog-Umsetzers 190 verbunden ist, dessen analoges Ausgangssignal zur Erzeugung des An­ triebssignals für den Schlittenmotor verstärkt wird. Zu dem Codierer 192 gehört ein Fadennetz mit einer linearen Skala zum Erzeugen eines der jeweiligen Stellung des Schlittens entsprechen­ den Signals, das dem Abwärts-Zähleingang des Zählers 189 zugeführt wird.

Claims (2)

1. Vorrichtung zur Erzeugung eines Bildes auf einer Ätz- bzw. Druckvorlage für eine gedruckte Schaltung bzw. Leiterplatte als Ausgabemedium unter Verwendung eines die Ätz- bzw. Druckvorlage repräsentierenden Eingangssignals mit einer Einrichtung (51) zur Erzeugung eines Strahles mit kohärenter Strahlung, einer Einrichtung (52) zur Modulation des Strahles entsprechend dem Eingangssignal, eine Einrichtung zum Umlenken des Strahles mit einem sich mit im wesentlichen konstanter Winkelgeschwindigkeit drehenden Reflektor (73) zur Umlenkung des modulierten Strahles derart, daß der Strahl das Ausgabemedium entlang von geradlinigen Abtastzeilen überstreicht, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem Reflektor (73), der dem Strahl eine zu den Enden der Abtastzeile hin gegenüber der Mitte der Abtastzeile abnehmende Geschwindigkeit verleiht, eine Einrichtung (176, 178, 179) zur Erzeugung eines zur Abtastgeschwindigkeit proportionalen Korrektursignals (177, 181) und zur Zuführung dieses Korrektursignals zu der Einrichtung (52) zum Modulieren des Strahls vorgesehen ist derart, daß eine gleichmäßige Belichtung über die ganze Länge der Abtastzeile entsprechend dem Eingangssignal erzielt wird.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Ausgabemedium aus einem oder mehreren der Materialien Diazo-Film, Silberhalogenid-Film, einer Glasplatte und einer Leiterbahnenplatte besteht.