DE3047530A1

DE3047530A1 - Vorrichtung zum unterstuetzen von mikroplaettchen

Info

Publication number: DE3047530A1
Application number: DE19803047530
Authority: DE
Inventors: Raymond Howard Palo Alto Calif. Shaw
Original assignee: Varian Associates Inc
Current assignee: Varian Medical Systems Inc
Priority date: 1979-12-21
Filing date: 1980-12-17
Publication date: 1981-09-17
Also published as: GB2071195B; FR2474001B1; IT1134851B; JPS56103441A; CH651166A5; IT8026864A0; JPS613091B2; US4306731A; GB2071195A; FR2474001A1; NL8006933A

Description

zusammenarbeiten, das in die Öffnung eingeführt worden ist, so daß das Plättchen innerhalb der Ebene der öffnung unterstützt wird. Jede Klammer ragt vom Rand der öffnung aus nach innen in Richtung auf ihren Mittelpunkt und endet in einem gekrümmten Abschnitt, der dazu dient, den Rand des Plättchens aufzunehmen; ferner gehört zu jeder Klammer ein flacher Abschnitt, der sich allgemein parallel zur Ebene der öffnung erstreckt. Diese Unterstutzungsbaugruppe ist vorteilhaft in einer Behandlungskammer angeordnet, und die Unterstützungsplatte weist vorzugsweise mehrere öffnungen mit zugehörigen Klammern auf, und sie ist innerhalb der Kammer so bewegbar, daß sie nacheinander zu verschiedenen Behandlungsstationen gebracht werden kann. Der Behandlungskammer sind vorschiebbare Stifte zugeordnet, die dazu dienen, die flachen Abschnitte der Klammern während des Einsetzens und Entnehmens der Plättchen niederzudrücken, um eine Beschädigung der Plättchen zu verhindern. Es ist möglich, einfache automatisierte Einrichtungen zum Einsetzen und Entnehmen der Plättchen zu verwenden, und ferner ist es unschwer möglich, eine Schleuse von geringer Bauhöhe dadurch vorzusehen, daß die Unterstützung zwischen geeigneten Dichtungselementen angeordnet wird.

Die Erfindung

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung, welche die mechanische Handhabung und den Transport einzelner dünner Substrate erleichtert, und sie betrifft insbesondere eine Vorrichtung, die es ermöglicht, innerhalb eines Rahmens oder dgl. einzelne Halbleiterplättchen auf geschützte Weise so zu unterstützen, daß beide Flachseiten

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eines Plättchens einer Bearbeitung unterzogen werden können, daß sich die Plättchen leicht einsetzen und entnehmen lassen, und daß die Plättchen nacheinander zu verschiedenen Behandlungsstationen transportiert werden können, wobei sie nacheinander von Kassetten aufgenommen werden, und wobei nur eine minimale Gefahr einer Beschädigung und/oder Verunreinigung des Plättchens besteht.

Bei den Halbleiterplättchen, auf die sich die Erfindung bezieht, handelt es sich um solche, aus denen jeweils eine große Anzahl von einzelnen elektronischen Mikroschaltungen oder Komponenten zugeschnitten werden, wobei bekannte Verfahren zum Erzeugen von Überzügen und Masken sowie zum Einführen von Verunreinigungen angewendet werden. Solche Plättchen sind sehr zerbrechlich und können leicht beschädigt werden, da ihre Dicke nur in der Größenordnung von etwa 0,25 - 0,5 mm liegt, da sie einen großen Durchmesser zwischen etwa 50 und etwa 125 mm haben, und da sorgfältig polierte Flächen und mikroskopische Stufen und Nuten an der Oberfläche vorhanden sind. Solche Plättchen werden zur Herstellung entsprechender Vorrichtungen unbrauchbar, wenn sie auf irgendeine Weise verunreinigt, abgenutzt oder auch nur durch winzige Kratzer beschädigt werden. Daher ist eine besonders vorsichtige Handhabung der Plättchen erforderlich, und es ist insbesondere sehr erwünscht, die Plättchen so zu unterstützen und zu transportieren, daß sie nur in einem minimalen Ausmaß mit der Hand oder von Maschinenteilen berührt werden, und daß mechanische Stoßbeanspruchungen od. dgl. vermieden werden.

Bis jetzt werden zum Handhaben und Transportieren solcher Plättchen Vorrichtungen der verschiedensten Art verwendet, und zwar sowohl sehr primitive Vorrichtungen als auch solche, die sich als übermäßig kompliziert erwiesen haben; als Beispiel seien einfache Platten oder Schlitten genannt, auf denen Plättchen in waagerechter Lage angeordnet und

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transportiert werden, z.B. mit Hilfe von Förderbändern oder Ketten, linearen Luftlagern oder Führungen, Klammern von unterschiedlicher Konstruktion sowie Kassetten. Bei allen diesen bekannten Vorrichtungen müssen in einem ziemlich großen Ausmaß Handhabungs- und Beschickungsarbeiteη durch Techniker ausgeführt werden, und es ist mehr oder weniger schwierig, die Vorrichtungen so auszubilden, daß sie geeignet sind, bei automatischen Transportvorrichtungen sowie Beschickungs- und Entnahmeeinrichtungen verwendet zu werden, die in großer Anzahl an den Stationen zum Behandeln der Plättchen benötigt werden, insbesondere zum Einführen der Plättchen in eine evakuierte Kammer und zum Entnehmen der Plättchen aus dieser Kammer. Somit ist es erforderlich, an bestimmten Stationen komplizierte Beschickungsschleusen und dgl. vorzusehen, und in jedem Fall müssen zahlreiche manuelle Operationen durchgeführt -werden. Diese Nachteile haben bis jetzt die serienmäßige Verarbeitung von Plättchen unmöglich gemacht, so daß es erforderlich ist, die Plättchen chargenweise zu verarbeiten.

Bei diesen bekannten Vorrichtungen ergeben sich weitere Nachteile, die mindestens ebenso schwerwiegend sind. In vielen Fällen werden die Plättchen nicht zwangsläufig festgehalten, während sie bewegt bzw. zum Stillstand gebracht oder Stoßen ausgesetzt werden, was zur Folge hat, daß sich die Plättchen gegenüber anderen Teilen bewegen, so daß Beschädigungen möglich sind. Zwar gibt es auch andere Vorrichtungen, die eine bessere Unterstützung der Plättchen gewährleisten, doch verringert sich hierbei die Pruduktionsausbeute, da die Plättchen innerhalb eines Teils ihrer Flachseiten erfaßt werden müssen, oder da die Plättchen nicht zuverlässig in einer vorbestimmten Lage gehalten werden, oder da Störungen auftreten, wenn Plättchen vorkommen, die infolge unvermeidbarer Fertigungstoleranzen nicht genau den richtigen Durchmesser haben. In den meisten Fällen ist es nicht möglich, beide Flachseiten eines Plätt-

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chens einer Behandlung zu unterziehen, die Plättchen werden nicht zwangsläufig gegen eine Berührung mit anderen Teilen geschützt, es besteht die Gefahr, daß sich die Plättchen gegenüber der Transportvorrichtung verlagern, wenn Behandlungseinrichtungen zur Wirkung gebracht werden, und es ist nur unter Schwierigkeiten möglich, für eine einfache automatische Beschickung zu sorgen.

Der Erfindung liegt nunmehr die Aufgabe zugrunde, eine zum Unterstützen von Mikroplättchen geeignete Baugruppe zu schaffen, bei der jedes Plättchen innerhalb einer RahmenkoiEtruktion so festgehalten wird, daß beide Flachseiten des Plättchens einer Behandlung unterzogen werden können, eine Baugruppe zu schaffen, bei der jedes Plättchen zwangsläufig und elastisch so festgehalten wird, daß ein leichtes Einsetzen und Entnehmen der Plättchen möglich ist, eine Baugruppe der genannten Art zu schaffen, die es ermöglicht, eine Behandlungseinrichtung in elastische Berührung mit einem Plättchen zu bringen, ohne daß die zwangsläufige Festlegung des Plättchens gegen jede Verlagerung gefährdet wird, eine Baugruppe zu schaffen, bei der sich die Plättchen auf beiden Seiten behandeln lassen, die jedoch jedes Plättchen gegen eine reibende Berührung mit anderen Teilen während der Transportbewegung schützt, sowie eine solche Baugruppe zu schaffen, die es auf zuverlässige Weise ermöglicht, Plättchen, die sich bezüglich ihres Durchmessers geringfügig unterscheiden, einzeln so zu unterstützen, daß eine Beschädigung infolge von Stoßen, Vibrationen und anderen Bewegungen während des Transports zwischen verschiedenen Behandlungsstationen unmöglich ist. Weiterhin soll durch die Erfindung eine Mikroplättchen-Unterstützungsbaugruppe geschaffen werden, die es ermöglicht, die Plättchen in eine evakuierte Kammer zu überführen und sie der Kammer nach der Behandlung zu entnehmen, wobei es die Vorrichtung ermöglicht, die Plättchen nach Bedarf in einer waagerechten, einer senkrechten oder einer anderen Lage zu transportieren

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und zu unterstützen, wobei sich die Unterstützungsbaugruppe zum Zweck der Wartung, Reinigung und Instandsetzung leicht zerlegen läßt, und wobei es die Unterstützungsbaugruppe ohne Schwierigkeiten ermöglicht, jedes Plättchen elektrisch zu isolieren.

Erfindungsgemäß ist diese Aufgabe durch die Schaffung einer Mikroplättchen-Unterstützungs- und -Transportvorrichtung gelöst, die es ermöglicht, die einzelnen Plättchen zu unterstützen und zu schützen, während sie einzeln behandelt werden, wobei das Einbringen und Entnehmen der Plättchen ohne Schwierigkeiten möglich ist, und wobei beide Flachseiten jedes Plättchens einer Behandlung unterzogen werden können. Die erfindungsgemäße Vorrichtung weist eine plattenähnliche Unterstützung auf, die mit einer Öffnung versehen ist, welche einen größeren Durchmesser hat als das aufzunehmende Plättchen, und es sind mehrere Klammern vorhanden, die dazu dienen, jeweils ein Plättchen an seinem Rand zu erfassen und es so festzuhalten, daß es in der Ebene der Öffnung der Platte liegt. Die Klammern sind auf der Unterstützung in der Ebene der öffnung und innerhalb ihres Randes so angeordnet, daß sie sich radial nach innen in Richtung auf den Mittelpunkt der Öffnung erstrekken. Am freien Ende jeder Klammer ist ein gekrümmter Abschnitt vorhanden, der mit dem Rand eines aufzunehmenden Plättchens zusammenarbeitet. Auf diese Weise wird jedes Plättchen in der Ebene der Tragplatte festgehalten und hierdurch gegen jede unerwünschte Berührung mit Transporteinrichtungen und Teilen der Behandlungseinrichtung geschützt, obwohl beide Flachseiten des Plättchens für eine Behandlung zugänglich sind.

Die elastische Berührung zwischen dem Rand des Plättchens und den Klammern gewährleistet eine zwangsläufige Positionierung des Plättchens und einen ausreichenden Schutz gegen plötzliche Stöße während des Transports sowie sonstige Stöße,

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die auftreten können, wenn die Baugruppe von einer Behandlungsstation zur nächsten "bewegt wird. Das Einsetzen und Entnehmen der Plättchen wird dadurch erleichtert, daß die Plättchen an ihrem Rand elastisch festgelegt werden; dieser Vorgang wird ferner dadurch erleichtert und beschleunigt, daß der Behandlungsstation, von der die Vorrichtung zum Unterstützung eines Plättchens einen Bestandteil bildet, mehrere vorspringende Elemente, z.B. Stifte., zugeordnet sind. Diese Stifte sind so angeordnet, daß sie die zugehörigen Klammern jeweils an einem flachen Abschnitt der betreffenden Klammer außerhalb des Randes des Plättchens erfassen, während ein Plättchen eingesetzt bzw. entnommen wird, um jede Beschädigung auch nur des Randes des Plättchens zu vermeiden. Die plattenähnliche Unterstützung weist zweckmäßig mehrere Plättchen-AufnähmeÖffnungen mit zugehörigen Klammern auf, und sie ist innerhalb der Behandlungskammer bewegbar, damit die Plättchen zu verschiedenen Behandlungsstationen gebracht werden können. Die relativ geringe Bauhöhe der Unterstützung einschließlich eines von ihr aufgenommenen Plättchens ermöglicht es, eine Beschikkungsschleuse von kleinem Rauminhalt dadurch abzugrenzen, daß der Bereich der Öffnung nach außen abgedichtet wird. Ferner ermöglicht es die Unterstützungsvorrichtung, eine manuelle Beschickung oder eine automatische Beschickung mit Hilfe einer einfachen automatisierten Einrichtung durchzuführen.

Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung wird im folgenden anhand schematischer Zeichnungen näher erläutert. Es zeigt:

Fig. 1 eine Schrägansicht einer vollständigen Einrichtung zum Aufnehmen und Transportieren von Plättchen, wobei insbesondere das Zusammenwirken der Plättchen-Unterstützungsbaugruppe nach der Erfindung mit einer Einrichtung zum Einbringen und Entnehmen von Plättchen dargestellt ist;

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Fig. 2 einen vergrößerten Axialschnitt der erfindungsgemäßen Plättchen-Unterstützungsbaugruppe, wobei zu erkennen ist, auf welche Weise die Baugruppe ein von ihr aufgenommenes Plättchen unterstützt, wobei ferner eine Beschickungsschleuse dargestellt ist, und wobei ersichtlich ist, auf welche Weise das Entnehmen des Plättchens aus der Vorrichtung erleichtert wird;

Fig. 3 eine weiter vergrößerte Schrägansicht einer von mehreren Klammerbaugruppen, die gemäß der Erfindung dazu dienen, jeweils ein Plättchen unmittelbar zu unterstützen, wobei auch Einzelheiten bezüglich der Konstruktion, der Montage und des Zerlegens zu erkennen sind; und

Fig. 4 einen tangentialen Schnitt einer der K3a mmerbaugruppen nach Fig. 3, der weitere Einzelheiten des Aufbaus •und der lösbaren Anbringung ersichtlich sind.

Die Vorteile, die Konstruktion und die Wirkungsweise der Plättchen-Unterstützungsbaugruppe werden am besten erkennbar, wenn man die Erfindung in Verbindung mit der Beschreibung einer vollständigen Einrichtung zum Aufnehmen von Plättchen betrachtet, wie sie in Fig. 1 dargestellt und mit weiteren Einzelheiten in der Patentanmeldung V1 P529 D (U.S. Serial No. 106,342) beschrieben ist, die sich mit einem Plättchentransportsystem befaßt. In Fig. 1 und 2 ist die Plättchen-Unterstützungsbaugruppe insgesamt mit 10 bezeichnet; bei dem dargestellten Anwendungsbeispiel ist die Baugruppe 10 in einer Plättchenbehandlungsvorrichtung bzw. einer Kammer 11 angeordnet, deren senkrechte Vorderwand 12 weggebrochen gezeichnet ist. Die Plättchenbehandlungsvorrichtung bzw. die Kammer 11 repräsentiert hier eine beliebige von mehreren ähnlichen Maschinen, zu denen z.B. Maschinen zum Beschichten von Halbleiterplättchen gehören,

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ferner Plättchenätzmaschinen, lithografische Maschinen zum Herstellen von Plättchen, Maschinen zum Glühen von Plättchen usw. Die Behandlungskammer 11 ist mit einem Kammereingang 13 versehen, durch die hindurch die Plättchen-Unters tützungsbaugruppe - 10 und das Innere der Behandlungsvorrichtung zugänglich sind. Als Beispiel für eine solche Plättchenbehandlungsvorrichtung, bei der die Plättchen-Unterstützungsbaugruppe besondere Vorteile bietet, sei ein Plättchen-Beschichtungssystem genannt, wie es. in der Patentanmeldung V1 P528 D (U.S. Serial No. I06 343) beschrieben ist.

Innerhalb der Plättchen-Unterstützungsbaugruppe 10 wird jeweils ein Plättchen 15 an seinem Rand elastisch durch vier in Umfangsabständeη verteilte Klammerbaugruppen unterstützt, von denen eine mit weiteren Einzelheiten in Fig. 3 und 4 dargestellt ist, und von denen zwei in Fig. 2 jeweils im Querschnitt erscheinen. Zu jeder Klammerbaugruppe 20 gehören ein allgemein rechteckiger, etwas langgestreckte] Klotz 22, der aus Isoliermaterial bestehen kann, sowie ein langgestreckter Federarm bzw. eine Klammer 23, die den Klot; 22 teilweise umschließt und zu diesem Zweck in eine geringe Tiefe aufweisende Aussparungen eingreift, mit denen mehrere Flächen des Klotzes versehen sind, damit die Klammer 23 von dem Klotz umschlossen wird und jede seitliche Bewegung der Klammer gegenüber dem Klotz verhindert wird. Wie insbesondere aus Fig. 2 ersichtlich, sind bei diesem mit Aussparungen versehenen Teil des Klotzes 22 mehrere Flächen abgeschrägt, so daß der Klotz von der Klammer 23 in erster Linie an den Kanten A und B umschlossen ist, was dazu beiträgt, zu verhindern, daß sich die Klammer gegenüber dem Klotz verdreht. Jede Klammer 23 weist an ihrem von dem Klotz 22 abgewandten Ende einen gekrümmten Fingerabschnitt 25 auf, der gemäß Fig. 2 einen solchen Krümmungsradius hat, daß er mit dem Rand eines Plättchens 15 zusammenarbeiten kann.

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Gemäß Pig. 1 sind vier Klammerbaugruppen 20 in Abständen über den Umfang einer runden Öffnung "verteilt, die zu einer inneren Plättchen-Unterstützungsplattenbaugruppe 30 gehört, welche in der Behandlungskammer 11 angeordnet ist. Die runde Öffnung 31 der Plattenbaugruppe 30 hat einen größeren Durchmesser als das Plättchen 15, so daß sie sowohl die Klammerbaugruppen 20 als auch das Plättchen 15 aufnehmen kann. Bei der dargestellten bevorzugten Ausführungsform gehören zu der Tragplattenbaugruppe 30 eine Plättchentragplatte 35 und ein Haltering 33 für die Klammerbaugruppen, der mit der Plättchentragplatte 35 lösbar verbunden und konzentrisch mit der runden Öffnung 31 der Plattenbaugruppe angeordnet ist. Die Klammerbaugruppen 20 sind nicht direkt an der Hauptplättchentragplatte 35 befestigt, sondern mit dem Haltering 33 verbunden. Der Haltering hat einen U-förmigen Querschnitt mit Lippen oder Flanschen 36 und 37, die den inneren bzw. den äußeren Rand des Rings bilden, und die Klammerbaugruppen 20 sind zwischen diesen Flanschen angeordnet. Somit bilden die Klammerbaugruppen 20 zusammen mit der Plattenbaugruppe 30 einschließlich der Platte 35 und des Haiterings 33 die Plättchentragbaugruppe 10.

Fig. 3 und 4 zeigen, auf welche Weise die Klammerbaugruppen 20 an dem Haltering 33 befestigt sind. Der Haltering weist einen Satz von vier Zungen 40 und Schlitzen 41 auf, in die zwei herausnehmbare federnde Zungen 42 eingebaut sind. Die Zungen 40 liegen an den Längsseiten des Klotzes 22 an, um eine Verlagerung des Klotzes radial nach innen oder außen zu verhindern. Sind die federnden Zungen 42 in die Schlitze 41 eingebaut, stützen sie sich an den Enden 44 des Klotzes 22 ab, um jede Längsbewegung des Klotzes zu verhindern; um den Eingriff zu verbessern, arbeiten die federnden Zungen 42 mit Einkerbungen an den oberen Ecken der Enden 44 des Klotzes 22 zusammen. Auf diese Weise wird die Klammerbaugruppe 20 auf dem Haltering 33 sehr fest,

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jedoch lösbar in ihrer Lage gehalten, so daß während des Gebrauchs keinerlei Verlagerung möglich ist. Jedoch läßt sich die gesamte Klammerbaugruppe zur Reinigung, Wartung und periodischen Erneuerung leicht ausbauen. Ferner ist zu bemerken, daß die Flansche des Halterings auch dazu dienen, den Klotz und die zugehörigen Bauteile gegen die Wirkungen bestimmter Behandlungsschritte zu schützen, denen das Plättchen unterzogen wird, wobei es sich insbesondere um Metallisierungsschritte handelt, bei denen die Ablagerung von Metall auf dem Klotz schließlich auch dann die Isolation beeinträchtigen würde, wenn der Klotz aus Isoliermaterial besteht. Die Tatsache, daß die federnden Metallklammern 23 an dem Klotz 22 enden, bedeutet natürlich, daß dann, wenn der Klotz aus Isoliermaterial besteht, jedes von den Klammerbaugruppen aufgenommene Plättchen elektrisch isoliert ist; dieses Merkmal kann bei bestimmten Behandlungsvorgängen von Bedeutung sein, z.B. bei der Anwendung des Hochfrequenz-Sprüh- bzw. -Ätzverfahrens. Auf welche Weise jede Klammerbaugruppe fest, jedoch lösbar in ihrer Lage gehalten wird, geht ferner aus Fig. 4 hervor, wo man die Auflagepunkte der federnden Zungen 42 deutlicher erkennt; ferner ist die Gestaltung der Einkerbungen ersichtlich, die jede Verlagerung der Klammer 23 gegenüber dem zugehörigen Klotz 22 verhindern.

Die Form der Klammern 23 ist aus Fig. 1 bis 4 und insbesondere aus Fig. 2 ersichtlich. Jede Klammer 23 weist nicht nur einen gekrümmten Abschnitt 25 auf, sondern auch einen dem Klotz 22 benachbarten Abschnitt sowie einen nach innen versetzten Abschnitt 47, an den sich der gekrümmte Abschnitt 25 anschließt. Wie erwähnt, ist jede Klammerbaugruppe 20 innerhalb des Randes der Öffnung 31 angeordnet, und sämtliche Klammern 23 erstrecken sich allgemein radial nach innen in Richtung auf den Mittelpunkt dieser Öffnung, so daß die elastischen Kräfte, die auf ein Plättchen 15

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aufgebracht werden, das von den gekrümmten Abschnitten erfaßt worden ist, vom Rand des Plättchens aus nach innen wirken, wobei das Plättchen innerhalb der Öffnung 31 und parallel zu ihrer Hauptebene festgehalten wird. Die äußeren Abschnitte 46 der Klammern 23 haben eine flache Form und liegen in einer Ebene, die der Hauptebene der Öffnung 31 nahe benachbart ist und parallel zu dieser verläuft. Die nach innen versetzten Abschnitte 47 der Klammern sind jedoch gegenüber den Abschnitten 46 in Richtung auf die Ebene der Öffnung 31 abgewinkelt und bilden gemäß Fig. 3 jeweils einen stumpfen Winkel mit den Abschnitten 46, so daß zwar jeder Klotz 22 an dem Haltering 33 der Plattenbaugruppe 30 befestigt ist, jedoch jede Klammerbaugruppe vollständig innerhalb dieser Plattenbaugruppe gehalten wird. Somit wird das Plättchen 15 innerhalb der Dickenabmessung der Plättchentragplatte 35 festgehalten. Ferner liegen die vier gekrümmten Abschnitte 25 auf einem Kreis, dessen Durchmesser etwas kleiner ist als der Durchmesser des Plättchens 15. Soll ein Plättchen aufgenommen werden, müssen daher die Klammern 23 etwas aufgespreizt werden; danach müssen sie gegen den Rand des Plättchens zurückfedern, um das Plättchen elastisch zu erfassen. Auf diese Weise wird durch jede Klammer eine radial nach innen gerichtete elastische Kraft aufgebracht, die dazu beiträgt, das Plättchen innerhalb der gekrümmten Abschnitte 25 formschlüssig festzuhalten. Natürlich ist es möglich, ein Plättchen dadurch einzusetzen, daß man es einfach mit der Hand erfaßt und es mit seiner Rückseite auf die Klammern zu bewegt. Hierbei kommt das Plättchen zunächst zur Anlage an einem Teil des Abschnitts 47 nahe jedem gekrümmten Abschnitt 25, und beim weiteren Aufbringen der Kraft werden die Klammern weiter aufgespreizt, bis das Plättchen von den gekrümmten Abschnitten 25 federnd aufgenommen worden ist. Zum Entnehmen des Plättchens kann es dann erforderlich sein, mindestens eine der Klammern niederzudrücken, um zur Freigabe des Plättchens beizutragen.

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Es ist jedoch zweckmäßig, auch nur die geringste Abnutzung des Plättchens an ihrem Rand zu vermeiden, wie sie auftreten könnte, wenn man die Klammern zunächst etwas aufspreizt und dann das Plättchen in Eingriff mit ihnen bringt. Ferner ist es grundsätzlich besser, jede manuelle Bewegung des Plättchens beim Einsetzen und Entnehmen zu vermeiden. Die Plättchentragbaugruppe ist insbesondere geeignet, in Verbindung mit einer automatisierten Beschic kungs- und Entnahmeeinrichtung verwendet zu werden, insbesondere bei einem vereinfachten und sehr zweckmäßigen System, bei dem die senkrechte Stellung des Plättchens aufrechterhalten wird, wie es in der weiter oben genannten Patentanmeldung beschrieben ist, die sich mit einem Plättchen-Transportsystem befaßt.

Es sei bemerkt, daß die Plättchentragbaugruppe 10 nicht unbedingt senkrecht angeordnet oder in Verbindung mit einer Behandlungskammer benutzt werden muß; vielmehr könnte sie auch liegend angeordnet sein und auf Schienen od.dgl. zwischen den Behandlungsstationen und durch Behandlungsschleusen bekannter Art hindurch transportiert werden. Auch in diesen Anwendungsfällen würde die Tragbaugruppe 10 weiterhin alle Vorteile bieten, d.h. die beiderseitige Zugänglichkeit des Plättchens, die elastische, jedoch zuverlässige Unterstützung gegen Stöße während der Behandlung, die Vereinfachung der Beschickung und Entnahme sowie den Schutz gegen ein Verkratzen des Plättchens, der durch den vertieften Einbau des Plättchens in die Tragbaugruppe gegeben ist.

Ein Ausführungsbeispiel für eine vereinfachte Vorrichtung für die vollständige Automatisierung der Beschickung und Entleerung der Plättchentragbaugruppe 10 ist in Fig. 1 insbesondere bezüglich der Verwendung in Verbindung mit einer Plättchen-Behandlungskammer dargestellt. Mit der Vorderwand 12 der Behandlungskammer ist durch kräftige

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Gelenke 49 mit einer senkrechten Achse eine Karamertürbaugruppe 50 verbunden, die gemäß Fig. 1 auf bekannte Weise geöffnet und geschlossen werden kann, um den Eingang 13 der Kammer nach Bedarf nach außen abzudichten. Ist die Türbaugruppe 50 vollständig geöffnet, wie es in Fig. 1 gezeigt ist, befindet sich die Innenfläche der Tür in einer senkrechten Stellung, in der sie sich im rechten Winkel zur Ebene des Kammereingangs 13 und zu der Plättchentragbaugruppe 10 erstreckt. Die Türbaugruppe 50 ist mit einem Unterdruck-Spannfutter 52 und vier Klammerbetatigungseinrichtungen 54 versehen, deren Wirkungsweise im folgenden näher erläutert wird. Das Unterdruck-Spannfutter 52 erstreckt sich längs der Achse der Tür, so daß sein aktiver Teil einen Bestandteil der Innenfläche 55 der Tür bildet. Das Futter 52 kann durch Aufbringen von Unterdruck betätigt werden, um ein Plättchen 15 zu erfassen, das gemäß Fig. 1 dem Futter in einer senkrechten Stellung dargeboten wird, so daß das Plättchen beim Schließen der Tür festgehalten wird, woraufhin sich das Futter in axialer Richtung von der Innenfläche 55 der Tür aus erstreckt, um das Plättchen in der Tragbaugruppe 10 zu erfassen, wie es im folgenden näher erläutert ist.

Unterhalb des Kammereingangs 13 und zu seinen beiden Seiten erstreckt sich eine Fördereinrichtung 56, die dazu dient, Kassetten 57, in denen sich mehrere Plättchen 15 befinden, von der rechten Seite des Eingangs aus zu seiner linken Seite zu bewegen; ferner ist eine Einrichtung 58 vorhanden, die dazu dient, die Plättchen einzeln den Kassetten zu entnehmen und sie nach oben zu bewegen, damit sie von dem Spannfutter auf der Innenseite der Türbaugruppe 50 erfaßt werden können. Gemäß Fig. 1 gehören zu der Fördereinrichtung 56 zwei Schienen 59 und 60, die sich in der Längsrichtung und waagerecht entlang der Vorderseite der Plättchenbehandlungskammer 11 erstrecken. Die Kassetten 57 sind so ausgebildet, und der Abstand zwischen den Schienen 59 und

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gewählt, daß die Seitenwände der Kassetten beide Schienen übergreifen, damit sich jede Kassette mit Hilfe der Fördereinrichtung längs der Schienen auf die Einrichtung 58 zu und von ihr weg bewegen läßt. Zum.Bewegen der Kassetten dient eine Antriebskette 62, zu der verschiedene Führungen und Zahnradanordnungen gehören, die es ermöglichen, eine Rollenkette längs der Schiene 59 zu bewegen. Die Kette ist in gleichmäßigen Abständen mit Führungsstiften 64 versehen, die in dazu passende Ausschnitte am unteren Rand der Kassettenwand 65 im Bereich der Schiene 59 eingreifen. Somit kann jede Kassette mit der gleichen Geschwindigkeit wie die Kette in Richtung auf die Hebeeinrichtung 58 bewegt werden.

Die Einrichtung 58 zum Heben der Plättchen ist unterhalb des Kammereingangs 13 und auf seiner linken Seite angeordnet; zu ihr gehören eine obere Führungsplatte 67» ein plattenförmiges Bauteil 68 und ein mit dessen unterem Ende gekuppelter Betätigungszylinder 69. Das Bauteil 68 ragt durch einen Führungsschlitz 70 und zwischen den Führungsschienen 59 und 60 hindurch nach oben; es kann nach oben und unten längs einer senkrechten Bahn bewegt werden, welche die Fördereinrichtung zwischen den Schienen 59 und 60 im rechten Winkel kreuzt und sich von dem Raum unterhalb der Fördereinrichtung 56 aus nach oben zu der Türbaugruppe 50 erstreckt. Die Kassette 57 ist so ausgebildet, daß die Plättchen 15 von unten her zugänglich sind, und daß das plattenförmige Bauteil 68 von unten nach oben durch die Kassette hindurchgeschoben werden kann. Das plattenförmige Bauteil 68 ist an seinem oberen Ende 72 mit einem durch einen Kreisbogen begrenzten Ausschnitt versehen, der zur Krümmung der Ränder der Plättchen paßt und mit einer Nut versehen ist, deren Breite der Dicke jeweils eines Plättchens entspricht.

Während des Betriebs bewegt die Fördereinrichtung 56 die Plättchen 15 nacheinander an der Hebeeinrichtung 58 vorbei und über das plattenförmige Bauteil 68 der Hebeeinrichtung

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hinweg. Schließlich bewegt sich das Bauteil 68 nach oben, um jeweils ein Plättchen 15 am unteren Teil seines Randes zu erfassen und das Plättchen anzuheben, bis es sich gerade gegenüber der Innenfläche der geöffneten Tür befindet. Nunmehr erfaßt das Unterdruck-Spannfutter 52 das Plättchen 15 an seiner Rückseite, woraufhin das Bauteil 68 in dem Führungsschlitz 70 wieder nach unten bewegt wird, wobei es durch die Kassette 57 hindurchgeschoben wird, bis es sich unterhalb der Fördereinrichtung 56 befindet. Ist die Behandlung des Plättchens abgeschlossen, wird das Plättchen erneut dem Unterdruck-Spannfutter 52 gegenübergestellt, um dann gegenüber der Türbaugruppe 50 wieder nach unten bewegt und in die Kassette eingeführt zu werden, woraufhin sich die Hebeeinrichtung 58 erneut nach oben bewegt, um das nächste Plättchen aufzunehmen. Die Fördereinrichtung 56 bewegt die Kassetten in der Weise, daß die betreffenden Arbeitsschritte bei den aufeinanderfolgenden Plättchen wiederholt werden.

Nachdem ein Plättchen dem Unterdruck-Spannfutter 52 gegenübergestellt worden ist, werden mehrere Arbeitsschritte durchgeführt, damit das Plättchen in der weiter oben beschriebenen Weise von der Plättchentragbaugruppe 10 aufgenommen wird. Die Einzelheiten des Beschickens und Entleerens der Plättchentragbaugruppe 10 sind am besten aus Fig. 2 in Verbindung mit Fig. 1 ersichtlich. Fig. 2 zeigt das Unterdruck-Spannfutter 5^ in seiner ausgefahrenen Stellung, wobei auch die Klammerbetätigungseinrichtungen 54 ihre ausgefahrene Stellung einnehmen; dies geschieht entweder kurz vor der Beendigung des Einführens eines Plättchens in die Behandlungskammer 11 oder am Beginn des Entnehmens des Plättchens nach dem Abschluß der Behandlung; in beiden Fällen befindet sich die Tür 50 in ihrer Schließstellung, bei welcher der Kammereingang 13 gegenüber der Atmosphäre abgedichtet ist.

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Eine der Klammerbetätigungseinrichtungen 54 ist im unteren Teil von Fig. 2 mit weiteren Einzelheiten dargestellt; hierzu gehören ein pneumatischer Zylinder 74, ein Betätigungsstift 75, der axial nach innen und außen verschiebbar ist und durch den Zylinder 74 betätigt werden kann, sowie Dichtungen 76, mit denen der Stift 75 versehen ist. Die vier Einrichtungen 54 sind in die Tür 50 so eingebaut, daß sie in Fluchtung mit den zugehörigen Klammerbaugruppen 20 stehen, wenn sich die Tür gemäß Fig. 2 in ihrer Schließstellung befindet. Bei dieser Stellung sind die Stifte 75 auf die flachen Abschnitte 46 der Klammern 23 ausgerichtet, und sie werden kurz vor dem Einführen oder Entnehmen eines Plättchens vorgeschoben. Hierbei übt jeder Stift 75 eine Kraft auf den betreffenden Abschnitt 46 einer Klammer aus, um die Klammer niederzudrücken, so daß der gekrümmte Abschnitt nach hinten und außen geschwenkt und gemäß Fig. 2 längs der gestrichelt gezeichneten Bahn C bewegt wird. Es sei bemerkt, daß man auch andere Einrichtungen anstelle der soeben beschriebenen vorsehen könnte, um die Klammern zu betätigen und das Einsetzen und Entnehmen der Plättchen zu erleichtern. Beispielsweise könnte man einen Ring vorsehen, der axial bewegt werden kann und gleichzeitig mit den flachen Abschnitten 46 aller Klammern zusammenarbeitet, um die Klammern niederzudrücken und aufzuspreizen, so daß sich die gleiche Wirkung ergibt wie die soeben beschriebene.

Das Unterdruck-Spannfutter 52 positioniert dann das Plättchen in der Mitte der Ebene der Plattenöffnung 51, woraufhir der Zylinder 74 außer Betrieb gesetzt wird, um den zugehörigen Stift 75 zurückzuziehen. Daraufhin federn die Klammern 23 in ihre ursprüngliche Lage zurück, und die gekrümmten Abschnitte 25 erfassen den Rand des Plättchens 15, um das Plättchen während seiner Behandlung zuverlässig festzuhalten.

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Es sei bemerkt, daß es möglich ist, die Plattenbaugruppe 30 innerhalb der Behandlungsvorrichtung 11 zu bewegen und sie nacheinander zu mehreren Behandlungsstationen zu bringen, daß man weitere Öffnungen vorsehen kann, z.B. die in Fig. 1 bei 79 angedeutete, und daß weitere Sätze von Klammerbaugruppen zum Aufnehmen weiterer Plättchen verwendet werden könnten. Weitere Einzelheiten einer Behandlungsvorrichtung, bei der die erfindungsgemäße Plättchentragvorrichtung verwendet werden kann, und zu der mehrere Behandlungsstationen gehören, sind der weiter oben genannten Patentanmeldung zu entnehmen, die sich mit einem Plättchen-Beschichtungssystem befaßt.

Nach dem Abschluß der Behandlung befindet sich das Plättchen 15 wieder in Deckung mit dem Kammereingang 13, und die Türbaugruppe 50 ist gegenüber dem Kammereingang abgedichtet. Jetzt wird das Unterdruck-Spannfutter 52 erneut betätigt, um mit der Rückseite des Plättchens zusammenzuarbeiten, woraufhin die Zylinder 74 der Klammerbetätigungseinrichtungen 54 die Stifte 75 gegen die flachen Abschnitte 46 der Klammerbaugruppen 20 vorschieben. Hierdurch werden die gekrümmten Abschnitte 25 der Klammern außer Eingriff mit dem Rand des Plättchens gebracht; danach zieht das Spannfutter 52 das Plättchen 15 nach hinten in Richtung auf die Innenfläche der Tür 50 und aus dem Bereich der Klammerbaugruppen 20 heraus, ohne daß irgendeine Beschädigung auch nur des Randes des Plättchens erfolgt. Schließlich wird die Tür 50 geöffnet, so daß das fertige Plättchen die richtige Lage über dem Bauteil bzw. Schieber 68 der Hebeeinrichtung 58 einnimmt; schließlich wird das Plättchen wieder in die Kassette 57 hinein abgesenkt.

Es sei bemerkt, daß es viele Anwendungsfälle gibt, in denen es nicht erforderlich ist, zur Durchführung einer Behandlung die Rückseite jedes Plättchens zugänglich zu machen. In manchen dieser Anwendungsfälle ist es ggf. nicht möglich,

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die Plättchen in die Unterstützungsvorrichtung einzuführen, wenn mit der Rückseite des Plättchens eine Aufnahmeeinrichtung, z.B. das Unterdruck-Spannfutter 52, zusammenarbeitet. Jedoch kann es erwünscht sein, einzelne Klammern ähnlich der Klammerbaugruppe 20 zu verwenden, die durch eine Einrichtung betätigt werden können, welche den Klammerbetätigungseinrichtungen 54 ähnelt, damit die Plättchen an ihrem Rand zwangsläufig und elastisch unterstützt werden können, wobei die Gefahr einer Beschädigung des Plättchenrandes während der Beschickung und der Entnahme auf ein Minimum verringert ist. In einem solchen Anwendungsfall kann es erwünscht sein, die einzelnen Plättchen den Halteklammern mit Hilfe eines Greifers oder dgl. gegenüberzustellen, der mit der Vorderseite des Plättchens zusammenarbeitet. Zwar könnte ein solcher Greifer dem Unterdruck-Spannfutter 52 ähneln, das das Plättchen durch Aufbringen von Unterdruck zuverlässig festhält, doch ist es zur Vermeidung jeder Beschädigung der empfindlichen Mikroschaltkreise, die sich auf der Vorderseite des Plättchens befinden, vorzuziehen, dafür zu sorgen, daß der Greifer berührungsfrei arbeitet. Bei einer solchen Einrichtung, die als "Bernoulli-Luft-Aufnahmekopf" bezeichnet wird, wird mit einem Strom eines geeigneten Gases, z.B. Luft oder Stickstoff, gearbeitet, der zwischen dem Aufnahmekopf und der benachbarten Fläche des Plättchens hindurchgeleitet wird. Um jede Verunreinigung des Plättchens durch Staubteilchen und dgl. zu vermeiden, muß mit besonderer Sorgfalt darauf geachtet werden, daß das Gas frei von Fremdkörpern und vorzugsweise trocken ist.

In bestimmten Anwendungsfällen können sich auch noch andere Anordnungen als geeignet erweisen. Bei der Vorrichtung nach Fig. 2 werden die Plättchen von hinten her einzeln in Eingriff mit den Klammern gebracht. In manchen Anwendungsfällen kann es dagegen erwünscht sein, die Plättchen den gleichen oder ähnlichen Klammern von der Vorderseite au

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zuzuführen. Zu diesem Zweck sind nur geringfügige Abänderungen an der Vorrichtung erforderlich. Hierbei ist es wichtig, daß Klammerbetätigungseinrichtungen verwendet werden, die es ermöglichen, die Klammern zu öffnen und zu schließen, um jeweils ©in Plättchen aufzunehmen bzw. freizugeben, ohne daß irgendeine Beschädigung eintritt. In Verbindung mit der Vorderseite eines Plättchens kann man z.B. den erwähnten Bernoulli-Luft-Aufnahmekopf benutzen, der mit der Vorderseite/les Plättchens zusammenarbeitet, um das Plättchen zu transportieren und es in bzw. außer Hingriff mit den Klammern zu .bringen. Bei dieser alternativen Anordnung könnte man die Öffnung, in der das Plättchen gemäß der Erfindung angeordnet wird, fortlassen, oder der Durchmesser dieser Öffnung könnte kleiner sein als der Durchmesser des Plättchens, oder man könnte anstelle einer durchgehenden Öffnung eine Vertiefung vorsehen. Jedoch müßten diese alternativen Anordnungen möglichst viele der Vorteile der beschriebenen Ausführungsform der Erfindung bieten, d.h. die Plättchen müßten an ihren Rändern zwangsläufig und elastisch festgehalten werden, mindestens eine Flachseite jedes Plättchens müßte vollständig zugänglich sein, es müßte ein schnelles Einsetzen und Entnehmen der Plättchen möglich sein, die Vorrichtung müßte eine automatische Beschickung und Entnahme ermöglichen, es müßte auf einfache Weise möglich sein, eine Schleuse vorzusehen, Abweichungen bezüglich des Durchmessers und der Lage der Plättchen müßten zulässig sein, und die Plättchen müßten gegen Stöße geschützt v/erden.

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Claims

V1 P527 D Patentansprüche

1. Vorrichtung zum Unterstützen einzelner Mikroplättchen, gekennzeichnet durch mehrere Klammern (23) zum elastischen Erfassen des Randes eines Mikroplättchens (15), wobei die Klammern in Abständen voneinander angeordnet und auf einem ersten Kreis verteilt sind, der einen größeren Durchmesser hat als das Plattchen, wobei jede Klammer einen elastischen Armabschnitt (47) aufweist, der sich von außen nach innen allgemein in Richtung auf den Mittelpunkt des genannten Kreises erstreckt, wobei jede Klammer an ihrem dem Mittelpunkt des Kreises am nächsten benachbarten Ende mit einem _ Fingerabschnitt (25) versehen ist, der sich allgemein in Richtung auf den Mittelpunkt öffnet, wobei die —_Fingerabschnitte der Klammern in Abständen über einen zweiten Kreis verteilt sind, der einen etwas kleineren Durchmesser hat als das Mikroplättchen, wobei die Fingerabschnitte mit dem Rand des festzuhaltenden Mikroplättchens zusammenarbeiten und jeweils einen elastischen Druck ausüben, der in Richtung auf den Mittelpunkt des Plättchens wirksam ist, und wobei mindestens ein Teil jedes Armabschnitts einer Klammer einen flachen Abschnitt (46) bildet, der sich niederdrücken läßt, um das Aufnehmen eines Mikroplättchens zu erleichtern, so daß sich einzelne Mikroplättchen schnell in die Klammern einsetzen bzw. aus ihnen entnehmen lassen, so daß die Mikroplättchen festgehalten werden, während sie transportiert und behandelt werden.

2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß mindestens drei Klammern (23) vorhanden sind.

3. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zu dem Arm (47) jeder Klammer (23) ein dem Mittelpunkt des genannten Kreises benachbarter Abschnitt

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gehört, an dessen Ende sich der Fingerabschnitt (25) anschließt, sowie ein von dem genannten Abschnitt abgewandter Abschnitt, der allgemein in einer ersten Ebene liegt, die parallel zu der Ebene ist, welche durch den ersten Kreis bestimmt ist, und daß der zuerst genannte Abschnitt jedes Arms mit der ersten Ebene einen stumpfen Winkel bildet.

4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei dem ersten Abschnitt (46) des Armabschnitts (47) um den von dem Mittelpunkt des genannten Kreises weiter entfernten Abschnitt handelt.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der gesamte Finger eine flache Form hat.

6. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Fingerabschnitt (25) kreisbogenförmig gekrümmt ist.

7. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zu jeder Klammer (23) ferner ein Klammertragklotz (22) gehört, der dazu dient, den von dem Fingerabschnitt (25) abgewandten Abschnitt des Armes zu verankern.

8. Vorrichtung nach Anspruch 7, gekennzeichnet durch eine Tragplatte (35) mit einer öffnung (31), wobei jeder der Klammertragklötze (22) an der Tragplatte befestigt ist und die Klammertragklötze in Abständen über den Umfangsrand der öffnung verteilt sind.

9. Vorrichtung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die Tragplatte (35) für jeden der Klammertragklötze (22) mit ortsfesten Zungen (40) zum Verhindern radialer Bewegungen der Klötze versehen ist, und daß bei jedem Klotz zwei herausnehmbare federnde Zungen (42) vorhanden

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sind, die mit den Enden des Klotzes zusammenarbeiten xind jeweils in Eingriff mit einem Schlitz (41) der Tragplatte stehen, um die Klötze mit der Tragplatte lösbar zu verbinden.

10. Vorrichtung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Klötze (22) aus Isoliermaterial bestehen, so daß ein durch die Klammern (23) festgehaltenes Mikroplättchen (15) elektrisch isoliert ist.

11. Vorrichtung nach Anspruch 9, gekennzeichnet durch einen Klammerhaltering (33), der mit der Tragplatte (35) lösbar verbunden und konzentrisch mit der Öffnung (31) angeordnet ist, wobei der Haltering die genannten Zungen (40) trägt oder bildet und die Klammertragklötze

(22) am Umfang der Öffnung unterstützt.

12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Klötze (22) aus Isoliermaterial bestehen und der Haltering (33) längs seines inneren Randes mit einer Lippe (36) zum Abschirmen der Klötze versehen ist

13. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Klötze (22) aus Isoliermaterial bestehen, daß der Haltering (33) am inneren und äußeren Rand jeweils einen Flansch (36, 37) aufweist, und daß die Klammern

(23) allgemein zwischen den Flanschen angeordnet sind und aie abgeschirmt werden.

14. Mikroplättchen-Unterstützungs- und -Transportbaugruppe, die das Aufnehmen und Entnehmen einzelner Mikroplättchei erleichtert und die Mikroplättchen während einer Behandlung zuverlässig unterstützt und schützt, g e kennze ichnet durch eine Unterstützungseinrichtung (35) mit einer an einer Fläche ausgebildeten

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Aussparung, die einen größeren Durchmesser hat als ein aufzunehmendes Mikroplättchen (15), mehrere Klammern (23) zum elastischen Erfassen des Randes eines Mikroplättchens und zum Festhalten desselben innerhalb der Aussparung, wobei die Klammern auf der Unterstutzungseinrichtung angeordnet und über den Umfang der Aussparung verteilt sind, und wobei sich die Klammern von außen nach innen in Richtung auf den Mittelpunkt der Aussparung erstrecken und an ihren inneren Enden jeweils einen Fingerabschnitt (25) aufweisen, der mit dem Rand eines festzuhaltenden Mikroplättchens zusammenarbeitet, so daß sich einzelne Mikroplättchen schnell in die Unterstützung einsetzen bzw. aus ihr entnehmen lassen, wobei die Mikroplättchen innerhalb der Aussparung auf geschützte Weise festgehalten werden, und wobei während des Transports und der Behandlung eine möglichst geringe Gefahr einer Beschädigung und/oder Verunreinigung des Mikroplättchens besteht.

15. Baugruppe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß es sich bei der genannten Aussparung um eine Öffnung (31) der Unterstutzungseinrichtung (35) handelt.

16. Baugruppe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß zu der Unterstützungseinrichtung ein dünnes, allgemein plattenförmiges Bauteil (35) gehört, und daß das Mikroplättchen (15) innerhalb des plattenähnlichen Bauteils unterstützt wird, so daß beide Flachseiten des Mikroplättchens für eine Behandlung zugänglich sind, wobei das Mikroplättchen■jedoch auf schützende Weise unterstützt wird.

17. Baugruppe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Plättchenunterstützungseinrichtung (35) mit einer Plättchenbehandlungsstation zusammenarbeitet, in welcher die Unterstutzungseinrichtung angeordnet

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ist, und daß die Behandlungsstation mit mehreren Klammerbetätigungseinrichtungen (54) versehen ist, die sich jeweils an den nach außen gerichteten flachen Klammerabschnitten (46) abstützen, um sie niederzudrücken und die Klammern (23) beim Einsetzen bzw. Entnehmen eines Mikroplättchens (15) freizugeben, wobei eine Beschädigung des Randes des Mikroplättchens vermieden wird, und wobei das Einsetzen und Entnehmen des Mikroplättchens erleichtert wird.

18. Baugruppe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Klammern (23) jeweils einen nach außen gerichteten flachen Abschnitt (46) aufweisen, der sich allgemein parallel zur Ebene der genannten Öffnung (31) erstreckt.

19. Baugruppe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß zu jeder Klammer (23) ferner ein abgewinkelter Abschnitt (47) gehört, der den flachen Abschnitt (46) mit dem Pingerabschnitt (25) verbindet, und daß sich der Fingerabschnitt innerhalb der genannten Öffnung (31) allgemein in Richtung auf den Mittelpunkt der Öffnung öffnet.

20. Baugruppe nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß die Fingerabschnitte (25) der Klammern (23) kreisbogenförmig gekrümmt sind.

21. Baugruppe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß innerhalb der Unterstützung (35) mindestens vier Klammern (23) angeordnet sind.

22. Baugruppe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Klammern (23) innerhalb des Umfangs der genannten Öffnung (31) in ihrer Lage gehalten werden.

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23. Baugruppe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Klammern (23) in gleichmäßigen Abständen über den Umfang der Öffnung (31) verteilt sind, und daß diese Öffnung eine kreisrunde Form hat.

24. Baugruppe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die plattenähnliche Unterstützung mehrere Öffnungen aufweist, und daß jede dieser Öffnungen mit mehreren Klammern (23) versehen ist.

25. Baugruppe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die plattenähnliche Unterstützung (35) in einer Plättchenbehandlungskammer (11) angeordnet und innerhalb dieser Kammer bewegbar ist.

26. Baugruppe nach Anspruch 25, dadurch gekennzeichnet, daß der Kammer (11) mehrere Klammerbetätigungseinrichtungen (54) zugeordnet sind, die sich jeweils an den Klammern (23) abstützen, während ein Mikroplättchen (15) eingesetzt bzw. entnommen wird, um die Klammern freizugeben.

27. Baugruppe nach Anspruch 26, dadurch gekennzeichnet, daß zu jeder Klammer (23) ein flacher Abschnitt (46) gehört, der der zugehörigen Klammerbetätigungseinrichtung (54) zugewandt ist. und daß jede Klammerbetätigungseinrichtung einen Stift (75) aufweist, der vorgeschoben werden kann, um in Berührung mit dem zugehörigen flachen Abschnitt gebracht zu werden und ihn niederzudrücken, damit die Klammer freigegeben wird.

28. Baugruppe nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß die plattenähnliche Unterstützung (35) allgemein stehend angeordnet ist.

29. Baugruppe nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Klammern 123J-innftiiialb von Isolatoren (22) festgehalten sind.