DE3040568A1

DE3040568A1 - Projektionsobjektiv

Info

Publication number: DE3040568A1
Application number: DE19803040568
Authority: DE
Inventors: Masamichi Tokyo Tateoka
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1979-10-29
Filing date: 1980-10-28
Publication date: 1981-05-07
Also published as: GB2065326B; US4370032A; GB2065326A; JPS5664310A

Description

Pro jektionsobj'ektiv

Die Erfindung bezieht sich auf ein Projektionsobjektiv, bei dem ein Abbildungsmaßstab von etwa 1/10 verwendet wird, dessen Blendenzahl verhältnismäßig lichtstark ist, bei dem die verschiedenen Bildfehler korrigiert sind, und das unaufwendig ist.

In den vergangenen Jahren ist ein Verfahren eingeführt worden, bei dem ein Festkörper-Bildaufnahmeelement als Abtasteinrichtung bei einem Faksimilegerät verwendet und als Empfangselement für das Abtastlicht in der Bildebene zur Abtastung einer Vorlage angeordnet wird. In diesem Falle sind, wenn ein Projektionsobjektiv zur Übertragung der Vorlage auf das Festkörper-Bildaufnahmeelement verwendet wird, insbesondere die folgenden Punkte bei dem Projektionsobjek-

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oh ο,ββ 30^568 tiv erforderlich. Erstens muß die Blendenzahl bzw. die Öffnung des Objektivs lichtstark sein, da es wünschenswert ist, die Belichtungsmenge für das Festkörper-RiIdaufnahmeelement pro Zeiteinheit zu erhöhen, um die Vorlage mit einer hohen Geschwindigkeit bei Verwendung eines solchen Elements abtasten zu können, da es wünschenswert ist, eine Fluoreszenzlampe mit de'r geringsten möglichen Beleuchtungsstärke als Lampe zur Beleuchtung der Vorlage zu verwenden. Zweitens ist es, um das

]0 Faksimilegerät kompakt zu machen, erforderlich, den Abstand zwischen der Vorlage und der Bildebene zu gering wie möglich und den Bildwinkel des Objektivs so weit wie möglich zu machen. Drittens ist ein hohes Auflösungsvermögen erforderlich, da ein Festkörper-Bildaufnahmeeiement Abmessungen in der Größenordnung 15 um hat. Viertens ist es erforderlich, daß die Lichtmenge über die gesamte Fläche des Festkörper-Bildaufnahmeelements gleich ist; deshalb muß die wirksame Öffnung des Objektivs außerhalb der Achse 100 % sein.

Fünftens ist es erforderlich, daß die Vorlagenfläche gleichmäßig projiziert wird, d.h., daß die Verzeichnung gering ist. Sechstens soll das Objektiv unaufwendig sein, um das Faksimilegerät unaufwendig zu machen.

Ein Projektionsobjektiv vom sogenannten Tessar — Typ ist aus der US-PS 2 724 992, der offengelegten japanischen Patentanmeldung 48233/1979 etc. bekannt.

Erfindungsgemäß wird ein Projektionsobjektiv vom Tessar-Typ geschaffen, das die oben stehend genannten Bedingungen erfüllt.

Es ist Aufgabe der Erfindung ein Projektionsobjektiv zu schaffen, dessen Blendenzahl lichtstark ist und das ein hohes Auflösungsvermögen und einen hohen

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Kontrast hat, d.h., bei dem die sphärische Aberration, die Koma , die Bildfeldkrümmung und die Verzeichnung gut korrigiert sind, die wirksame Öffnung 100 % ist und ein Abbildungsmaßstab von ungefähr 1/10 verwendet wird.

Diese Aufgabe wird dadurch gelöst, daß das erfindungsgemäße Projektionsobjektiv drei Gruppen aus vier Elementen aufweist, nämlich eine aus einer bikonvexen Einzellinse bestehende erste Gruppe, eine aus einer bikonkaven Einzellinse bestehende zweite Gruppe und eine aus einer positiven Linse, die eine zusammengekittete negative und positive Linse umfaßt, bestehende dritte Gruppe, und die folgenden Bedingungen erfüllt:

(1) 1.35 <, If₁Zf₂I <, 1.75

(2) 0.35 ^ |f₂l/f 1 0.38

(3) 0.6 <, d₂/d₄ £ 1.57 (4) 0.55 ^ f₃/f £ 0.73

(5) 1.26 ^ Ir₃IA₄ <, 2.18

(6) 0.15f < d. + d,< 0.25f

= 4 ο =

hierbei ist f. die Brennweite der ersten Linsengruppe, fp die Brennweite der zweiten Linsengruppe, d_ der Luftabstand zwischen der ersten und der zweiten Linsen gruppe, d. der Luftabstand zwischen der zweiten und der dritten Linsengruppe, r„ und r. die Krümmungsradien der dritten und der vierten brechenden Oberfläche von vorne und f die Brennweite des gesamten Systems.

Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die Zeichnung näher beschrieben. Es zeigen:

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Fig. IA einen Längsschnitt durch ein erstes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Objektivs,

Fig· IB die verschiedenen Längs-Bildfehler des

ersten Ausführungsbeispiels,

Fig. IC die Lateral-Bildfehler auf der Gauschen

Bildebene, 10

Fig. 2A einen Längsschnitt durch ein zweites

Ausführungsbeispiel des erfindurigsgemäßen Objektivs,

Fig. 2B die verschiedenen Längs-Bildfehler des

zweiten Ausführungsbeispiels,

Fig. 3A einen Längsschnitt durch ein drittes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Objektivs,

Fig. 3B die verschiedenen Längs-Bildfehler des dritten Ausführungsbeispiels,

Fig. 4A einen Längsschnitt durch ein viertes

Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Objektivs,

Fig. 4B die verschiedenen Längs-Bildfehler des vierten Ausführungsbeispiels;

Fig. 5A einen Längsschnitt durch ein fünftes

Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen

Objektivs, 35

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Fig. 5B die verschiedenen Längs-Bildfehler des fünften Ausführungsbeispiels,

Fig. 6A einen Längsschnitt durch ein sechstes

Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßeri Objektivs,

Fig. 6B die verschiedenen Längs-Bildfehler des sechsten Ausfuhrungsbeispiels,

Fig. 7A einen Längsschnitt durch ein siebtes

Ausführurigsbeispiel des erfindungsgemäßen Objektivs,

Fig. 7B die verschiedenen Längs-Bildfehler des siebten Ausführungsbeispieis,

Fig. 8A einen Längsschnitt durch ein achtes Aus-.führungsbeispiel des erfindungsgemäßen

Objektivs, und

Fig. 8B die verschiedenen Längs-Bildfehler des

achten Ausführungsbeispieis. 25

Fig. IA zeigt die Form eines ersten Ausführungsbeispieis des erfindungsgemäßen Projektionsobjektivs im Längsschnitt. Das Objektiv ist aus drei Gruppen mit vier Elementen aufgebaut; eine erste Gruppe besteht aus einer bikonvexen Einzellinse, eine zweite Gruppe aus einer bikonkaven Einzellinse und eine dritte Gruppe aus einer positiven Linse, die aus einer zusammengeketteten negativen und positiven Linse aufgebaut ist. Die riummerisehen Daten des Objektivs sind wie folgt:

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f = 1 1 Jr₁ = 0.392 X₂ = -6.9124 r_n = -0.7147

r₄ = 0.3442

Bildwinkel

= 42<

d- = 0.0919 η_Ί = 1.69401

= 0.0592 = 0.0254 = 0.063

n₂ = 1.61686

r_c = -6.4695 d_c = 0.0404 n-, = 1.70443

r, = 0.3656 fa

χ_η = -0.6089

= 0.1675

n₄ = 1.81077

If₁Zf₂I = 1.4399, |f₂|/f = 0.3T32, f₃/f = 0.6688, ir₃|/r₄ = 2.0768, d

-0.0893 V₁ = 54.8

V₂ = 370

V₃ = 30.1 V₄ = 40.9

0.9392, 0.2079f

hierbei sind r. , r_,

.. die Krümmungsradien der entsprechenden Liriserif lachen, d- , d„, ... die Dicken der entsprechenden Linsen bzw. die Abstände zwischen benachbarten Linsen, n- , ru j ··· ^die Brechungsindizes der entsprechenden Linsen für die Ε-Linie (5461A), und die Abbeschen Zahlen für die entsprechenden

¹I' 2'

Linsen.

Fig. IB zeigt die Längs-Bildfehler des ersten Ausführungsbeispiels, d.h. die sphärische Aberration für verschiedene Wellenlängen (C-Linie, e-Linie, F-Liriie, g-Linie), den Astigmatismus (Bildfeldkrümmung, M: meridionäle Bildebene, S: sagittale Bildebene), und die Verzeichnung.

Fig. IC zeigt repräsentativ die Lateral-Bildfehler (Koma und Streulicht ) des ersten Ausführungsbeispiels.

Die Summe der tertiären Aberrationskoeffizienten

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wird später für jedes Ausführungsbeispiel in einer Tabelle gezeigt werden.

Fig. 2A zeigt die Form des zweiten Ausführungsbeispiels des erfindungsgemäßen Projektionsobjektivs in einem Längsschnitt. Die numerischen Daten es Objektivs sind wie folgt:

ψ	1. 1:4	Bildwinkel	0.0906'	=42° β = -0.	0893	.8
^rl =	0.4146	^dl ⁼	0.0648	η_χ = 1.69401	V₁ = 54
^r2 ⁼	-7.2484	^d2 ⁼	0.0254			.0
^r3 ⁼	-0.6537	^d3 ⁼	0.0571	n₂ = 1.61686	V₂ = 37
^r4 ⁼	0.3657	^d4 ⁼	0.0317			.1
r₅ =	-4.3272	Ct ™^	0.1508	n₃ = 1.70443	V₃ = 30	.9
^r6 ⁼	0.3574	^d6 ⁼		n₄ = 1.81077	V₄ = 40
^r7	-0.5571		;f₂l/f -
If₁/	f₂l = i.	5079, I		0.3766, d₂/d₄ =	1.1341,
f₃/f	= 0.6334, \|r₃\|	7874, d_c + d_c = b 6	0.1825f

Die Längs- und Lateral-Bildfehler des zweiten AusfUhrungsbeispiels sind in Fig. 2B gezeigt. Fig. 3A zeigt ein drittes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Projektionsobjektivs im Längsschnitt. Die numerischen Daten des Ausführungsbeispiels sind wie folgt:

f = 1. ■ 1:4 Bildwinkel =42° β = -0.0893 r₁ = 0.3954 α_χ = 0.0883 Ti₁ = 1.69401 ν, = 54.8 X₂ - -4.8358, d₂ = 0.0616

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r₃ = -0.6683 U₃ = 0.0254 U₇ = 1.61686 ν = 37.0

r₄ = 0.3473 Ci₄ = 0.0631

r₅ = -3.9209 Ci₅ = 0.0393 1I₃ = 1.70443 V₃ = 30.1

r₅ = 0.3719 d₆ = 0.1654 H₄ = 1.81077 V₄ = 40.9

r_? = -0.578

If₁Zf₂! ⁼ 1-4448, |f₂|/f = 0.3672, O₃Zd₄ = 0.9768, f₃/f = 0.6656, Ir₃IA₄ = 1.9242, d₅ + d_g = 0.2047f

Die Längs- und Lateral-Bildfehler des dritten Ausführungsbeispiels sind in Fig. 3B gezeigt.

Fig. 4 zeigt ein viertes Ausführungsbeispiel des erfindungsgemäßen Projektionsobjektivs im Längsschnitt. Die numerischen Daten dieses Ausführungsbeispiels sind wie folgt:

f = 1. 1:4 Bildwinkel =42° B = -0.0893

r = 0.4323 α_± = 0.1197 η_χ = 1.69401 ν_χ = 54.8

r₂ = -3.3637 d₂ = 0.0589

_r = -0.5976 d₃ = 0.0254 n₂ = 1.61686 V₂ = 37.0

r₄ = 0.3672 d₄ = 0.0573

r_c = -3.6595 d_c = 0.0365 n^ = 1.70443 v- = 30.1 5 5-J j

= 0.3529 dg = 0.1636 Xi₄ = 1.81077 V₄ = 40.9

r₇ = -0.5417

If₁Zf₂I = 1.5309, |f₂|/f = 0.3653, ^Zd₄ = 1.0292, f-/f = 0.6256, |rJZr, = 1.6275, ά_ς + d_fi = 0.2001f

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Die Längs- und Laterai-Bildfehler des vierten Ausführungsbeispiels sind in Fig. 4B gezeigt.

Fig. 5 zeigt ein fünftes Ausführurigsbeispiel des erfindungsgemäßen Projektionsobjektivs im Längsschnitt. Die numerischen Daten dieses Ausführungsbeispiels sind wie folgt:

f = 1. 1:4 Bildwinkel r, = 0.45 d, = 0.1292

= 40° β = -0.0893 η_Ί = 1.69401 ν_Ί = 54.8

^r2 ~	-2.	9124	.0921	2	= 0.	0588	ⁿ2 ⁼	1.	61686	2	, = 37.	0
^r3 "	-0.	5621	355 =	^d3	= 0.	0254
r₄ =	0.3801	.5172	^d4	= 0.	0558	n₃ =	1	.70443	ν	₃ = 30	.1
^r5 ⁼	-3	= 1.	^d5	= 0	.036	ⁿ4 ⁼	1	.81077	ν	₄ = 40	.9
^r6 ⁼	0.	^d6	= 0	.1533
^r7 ⁼	-0				0.364	2,	^d2^/d4	= 1	.0542,
If₁/	f₂\|	5667	. If	₂l/f =	.4786,	d	5 ^{+ d}6	= 0	.1569f
f,/f	=	0.6105, j		^r4 ^{= X}

Die Längs- und Laterai-Bildfehler des fünften Ausführungsbeispiels sind in Fig. 5B gezeigt.

Fig. 6A zeigt ein sechstes Ausführurigsbeispiel des erfindungsgemäßen Projektionsobjektivs im Längsschnitt. Die numerischen Daten dieses Ausführungsbeispiels sind wie folgt:

f = 1. 1:4

r₁ = 0..4002 r₂ = -9.2154 r₃ = -0.72

Bildwinkel d_x = 0.1177

d_n = 0.0598

d = 0.0254

42° β = -0.0893 = 1.69401 V_n = 54.8

= 1.61686

= 37.0

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r₄ = 0.3318 d₄ = 0.0564

r₅ = 17.1092 d₅ = 0.0345 n₃ = 1.70443 V₃ = 30.1

r, = 0.3156 d = 0.206 n. = 1.81077 v. = 40.9 ο b 4 4

τ_η = -0.6436

If₁Zf₂I = 1.5214, U₂IZf = 0.3651, d₂/d₄ = 1.0598, f₃/f = 0.632, Ir₃IA₄ = 2.1702, d + d = 0.2405f

Die Längs- und Lateral-Bildfehler des sechsten

Ausführungsbeispieis sind in Fig. 6B gezeigt.

Fig. 7 zeigt ein siebtes Ausführungsbeispiel ]5 des erfindungsgemäßen Projektionsobj'ektivs im Längsschnitt. Die numerischen Daten dieses Ausführungsbeispiels sind wie folgt:

f = 1. 1:4 Bildwinkel =42° β = -0.0893

r_L = 0.4951 Cl₁ = 0.1344 η_± = 1.69401 ν_χ = 54.8

r₂ = -3.8647 d₂ = 0.0657

r = -0.519 d = 0.0248 n₂ = 1.61686 V₂ =37.0

r₄ = 0.41 d₄ = 0.0418

_r =-4.5772 d =0.0294 n₃= 1.70443 V₃ =30.1

x_c = 0.3298 d_fi = 0.1482 η = 1.81077 V₄ = 40.9 6 ^ö

r₇ = -0.4875

If /fj = 1.7426, |fJZf = 0.3676, d/c^ = 1.5699, '12' ^

f,/f = 0.5513, Ir₃IZr₄ = 1.2658, *,. + d_ß - 0.1776f

Die Längs- und Lateral-Bildfehler des siebten Ausführungsbeispieis sind in Fig. 7B gezeigt. 35

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Fig. 8 zeigt ein achtes Ausführurigsbeispiel des erfindungsgemäßen Projektionsobjektivs im Längsschnitt. Die numerischen Daten dieses Ausführungsbeispiels sind wie folgt:

f =	1.	1:4	Bildwinkel	0.	088	=	42°	β = -0.	0893	.8
	= O.	3703	^dl ⁼	0.	0511	ⁿi	= 1.	69401 ν	1 ^{= 54}
^r2	= -2	.7358	^d2 ⁼	0.	0248					.0
^r3	= -0	.6468	^d3 =	0.	.0842	ⁿ2	-ι	61686 ν	>₂ = 37
r₄	= 0.	3307	^d4 ⁼	0.	,039					.1
^r5		.5943	^d5 ⁼	0	.1443	ⁿ3	= 1.	70443 x	ι = 30	.9
^r6	= 0.	,4313	^d6 ⁼			ⁿ4	= 1.	,81077 >	J₄ = 40
^r7		J.5801

₁Zf₂] = 1.3526, |f₂|/f = 0.3515, O₃Zd₄ = 0.6076, /f = 0.7217, Ir₃IZr₄ = 1.9557, d₅ + dg = 0.1833f

Die Längs- und Lateral-Bildfehler des achten Ausführungsbeispiels sind in Fig.,8B gezeigt.

Die Summe der tertiären Aberrationskoeffizienten der beschriebenen Ausführungsbeispiele sind in der folgenden Tabelle zusammengestellt:

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Tabelle 1

*"■"■"-—-^^Ausführungs --heispif Koeffizient^--^	1 1	2	3	4
I	0.9944	1.0211	1.02703	0.84636
II	0.12128	0.06967 .	0.12444	0.05517
III	-Q.04451	-0.03665	-P.04394	-0.05434
P	0.22763	0.22233	0.21336	0.20316
V	0.04909	0.02724	0.03446	0.02814

	Koef f iz ient^"---^	5	6	7	δ-
20	I	0.8606	0.5831	0.77741 "=	1.11109
	II	0.03147	0.0466	-0.06134	0.19959
	III	-0.05449. .	-0.05626	-0.04902	-0.04753
	P '	0.19756'	0.21742	0.20049	0.20529
25	V	0.01946	0.04571	0.02277	0.02242

In der vorstehenden Tabelle bedeuten:

I: sphärischer Aberrationskoeffizient

III Koma Koeffizient

III: Astigmatismus-Koeffizient

P: Petzval-Summe

V: Verzeichnungskoeffizient

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V/ie die vorstehend beschriebenen Ausführungsbeispiele zeigen, erfüllt das erfindungsgemäße Projektionsobjektiv die folgenden Bedingungen:

(1) 1.35 <Jf /f₂| ^ 1.75

(2) 0.35 <Jf₂|/f £ 0.38

(3) 0.6 ^ d₂/d₄ £ 1.57

(4) 0.55 <_ f /f <_ 0.73 (5) 1.26 ^Ir₃IA₄ ^ 2.18

(6) 0.15f < d_c + d, £ 0.25f

hierbei ist f. die Brennweite der ersten Linsengruppe, f_ die Brennweite der zweiten Linsengruppe, d_p der Luftabstand-zwischen der ersten und der zweiten Linsengruppe, d. der Luftabstand zwischen der zweiten und der dritten Linsengruppe, r„ und r. die Kurvenradien der dritten und vierten brechenden Oberfläche von vorne, und f die Brennweite des Gesamtsystems.

Die Bedingung (l) dient dazu, ein Gleichgewicht zwischen den Brechkräften der ersten und der zweiten Linsengruppe zu halten und deren sphärische Aberration gut zu korrigieren. D.h. sie ist eine Bedingung zur Verhinderung der sphärischen Aberration dadurch, daß der Brechkraft der konkaven Linse der zweiten Gruppe keine große Last aufgebürdet wird. Wenn f₁/f_p kleiner als die untere Grenze ist, wird die sphärische Aberration unterkorrigiert, und wenn f-i/fp größer als die obere Grenze ist, wird die sphärische Aberration überkorrigiert .

Bedingung (2) dient zur Verhinderung der Koma

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dadurch, daß der zweiten Linsengruppe in dem Bereich keine große Last aufgebürdet wird, in dem die Petzvalsumme durch die zweite Linsengruppe korrigiert werden kann. Wenn f„/f kleiner als die untere Grenze ist, wird die Korrektur der Koma schwierig und wenn f„/f größer als die obere Grenze wird,werden die Korrektur der Petzvalsumme des Gesamtsystems und die

Korrektur des Astigmatismus schwierig.

Bedingung (3) ist mit den Luftzwischenräumen vor und hinter der zweiten Linsengruppe befaßt. Wenn dp/d. kleiner als die untere Grenze ist, wird die Korrektur des Astigmatismus schwierig und wenn d₂/d₄ größer als die obere Grenze ist, wird die Bildfeldkrümmung und die Koma erhöht.

Bedingung (4) ist mit der Brechkraft der dritten Linsengruppe befaßt. In der dritten Gruppe ist die Stelle, durch die der Hauptstrahl hindurchgeht, weiter von der optischen Achse als in der ersten und in der zweiten Gruppe entfernt; deshalb treten extreme Verzeichnung und Bildfeldkrümmung (Astigmatismus) auf. D.h., wenn f„/f kleiner als die untere Grenze ist, tritt negative Verzerrung auf, und wenn f„/f größer als die obere Grenze lsi-', wird die Korrektur des Astigmatismus schwierig.

Bedingung (5) ist mit der Form der zweiten Linsengruppe befaßt und ist insbesondere wirksam, um die Ballance der Koma aufrechtzuerhalten. Dies bedeutet, daß die Koma dadurch gut korrigiert werden kann, daß das Verhältnis der Brechkräfte vor und nach der zweiten Linsengruppe die Bedingung (5) erfüllen.

Bedingung (6) dient dazu die Last der Elimination

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der sphärischen Aberration für die erste und zweite Linsengruppe durch eine größere Dicke der dritten Linsengruppe zu verringern. Wenn d- + d_R kleiner als die untere Grenze ist, wird die Last, die sphärische Aberration zu eliminieren, für die erste und zweite Gruppe größer, und die durch die erste und zweite Gruppe verursachte Bildfeidkrümmung und Koma werden zu groß, um durch die dritte Gruppe korrigiert zu werden, so daß die Bildfeidkrümmung und Koma größer werden. Wenn d,- + d_fi größer als die untere Grenze ist, wird der Durchtrittspunkt des Hauptstrahles durch die letzte Oberfläche der dritten Gruppe von der optischen Achse beabstandet; deshalb ergibt sich durch die dritte Gruppe eine große Bildfeidkrümmung.

Somit kann die Erfindung ein Projektionsobjektiv

schaffen, bei dem ein Abbildungsmaßstab von etwa 1/10 verwendet wird, die Blendenzahl verhältnismäßig lichtstark ist und die verschiedenen Bildfehler gut korrigiert sind, und das unaufwendig ist.

Vorstehend ist ein kompaktes Projektionsobjektiv zur Projektion einer bestimmten Fläche einer Vorlagenfläche auf ein Festkörper-Bildaufriahrneelement in einem Vorlagenlesegerät, wie einem Faksimilegerät usw. beschrieben worden, das insbesondere die Merkmale aufweist, daß die Blendenzahl lichtstark ist, das Projektionsobjektiv ein hohes Auflösungsvermögen und einen hohen Kontrast hat, d.h. daß die sphärische Aberration, die Koma , die Bildfeidkrümmung und Verzeichnung gut korrigiert sind, die Öffnurigswirksamkeit 100 % und der verwendete Abbildungsmaßstab etwa 1/10 ist.

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L e e r s θ i t

Claims

- Rflui imp -'Κ^ικ-μγ- Patentanwälte und

DUHLlNG IVINNc Vertreter beim EPA

GDiiDE -- Pe· iMAMM Dipl.-Ing. H.Tiedtke

RUPE - Γ ELLMANN „„ Dipl.-Chem. G. Bühling

■A U 4 U O O g Dinl.-Ina. R. Kinne

Dipl.-Ing. R. Kinne Dipl.-Ing. P. Grupe Dipl.-Ing. B. Pellmann

Bavariaring 4, Postfach 202403 8000 München 2

Tel.: 089-5396 53

Telex: 5-24 845 tipat

cable: Germaniapatent München

28. Oktober 1980

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Patentansprüche

(1/ Projektionsobjektiv, gekennzeichnet durch drei Gruppen aus vier Elementen, wobei die erste Gruppe von vorne aus einer bikonvexen Einzellinse, die zweite Gruppe aus einer bikonkaven Einzellinse, und die dritte Gruppe aus einer positiven Linse besteht, die eine zusammengekittete negative und eine positive Linse aufweist, und das Projektionsobjektiv die folgenden Bedingungen erfüllt:

(1) 1.35 <_ If₁Zf₂I 1 1.75 (2) 0.35 <_ If₂IZf < 0.38 (3) 0.6 <_ d₂Zd₄ £1.57 (4) 0.55 <_ f ₂/f £ 0.73 (5) 1.26 £ Ir₃IZr₄ £ 2.18 (6) 0.15f £ ^d5 ^{+ d}6 £ 0.25£

wobei f₁ die Brennweite der ersten Linsengruppe, f„ die Brennweite der zweiten Linsengruppe, f„ die Brenn-

weite der dritten Linsengruppe, d_? der Luftabstand

Mü/13

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Deutsche Bank (München) Kto. 51/61070 Dresdner Bank (München) Kto. 3939 844 Postscheck (München) Kto. 670-43-804

RIGiMAL INSPECTED

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zwischen der ersten und der zweiten Linsengruppe, d. der Luftabstand zwischen der zweiten und der dritten Linsengruppe, d,- die axiale Dicke der negativen Linse der dritten Gruppe, d_p die axiale Dicke der positiven Linse der dritten Gruppe, r„ und r. die Krümmungsradien der dritten und vierten brechenden Oberfläche von vorne und f die Brennweite des Gesamtsystems ist.

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