DE3007420A1 - Anlage zur chemisch-thermischen behandlung von metallischen werkstuecken bei glimmentladung - Google Patents

Anlage zur chemisch-thermischen behandlung von metallischen werkstuecken bei glimmentladung

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DE3007420A1 DE19803007420 DE3007420A DE3007420A1 DE 3007420 A1 DE3007420 A1 DE 3007420A1 DE 19803007420 DE19803007420 DE 19803007420 DE 3007420 A DE3007420 A DE 3007420A DE 3007420 A1 DE3007420 A1 DE 3007420A1
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Description

BESCHREIBUNG
Die Erfindung bezieht sich auf eine Anlage zur chemischthermischen Behandlung von metallischen Werkstücken bei Glimmentladung, die.im Maschinenbau zur Anwendung kommt.
Eine bekannte Anlage zur chemisch-thermischen Behandlung von metallischen Werkstücken bei Glimmentladung besteht aus einer Arbeitskammer, die mit einem Gas-Vakuumblock, einem Kühlblock für die Kammer und der Stromversorgung verbunden ist. Die Anode und Kathode der Arbeitskammer sind mit der Stromversorgung verbunden, die aus einem Kontakt besteht, dessen eines Ende mit dem Versorgungsnetz und dessen anderes Ende mit der Primärwicklung des Transformators über einen Magnetverstärker verbunden ist. Die Ausgänge der Sekundärwicklung des Transformators sind mittels eines Umschalters mit einer Dreiphasen-Komperisationsbrücke verbunden. An die positive Klemme der Ausgleichsbrücke ist das eine Ende einer Glättungsdrossel angeschlossen, das andere Ende ist an Erde und an eine Anlage zum Messen des Stromes mit der Anode der Arbeitskammer angeschlossen. Die Minus-Klemme der Dreiphasen-Kompensationsausgleichsbrücke ist mit der Kathode der Arbeitskammer verbunden. Die Anode eines Thyristors ist an den gemeinsamen Punkt der Drossel und die Anläge zur Strommessung angeschlossen, seine Kathode hingegen ist an die Kathode der Arbeitskammer angeschlossen. Gleichlaufend mit dem Thyristor ist ein Block für sein Abschalten verbunden. Die Steuerungskette des Thyristors ist an den Leitungsblock angeschlossen, dessen Eingang wiederum an die Anlage zum Messen des Stromes durch die Arbeitskammer. Sein erster Ausgang ist mit der Vorrichtung zum Abschalten des Thyristors, sein zweiter Ausgang ist mit dem Relais zur Herabsetzung des Leitstromes des Magnetverstärkers verbunden. Der Kontakt des Relais1 ist mit einem Widerstand verbunden, wobei das eine Ende des Widerstandes mit der Steuerspannungsquelle des Magnetverstärkers
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und das andere Ende des Widerstandes über die Leitungswick-. lungen des Magnetverstärkers mit dem anderen Ende der Steuerungsspannungsquelle verbunden ist. Der Arbeitszustand der Anlage wird durch den Leitstrom des Magnetverstärkers festgestellt. Wenn sich der Bereich der Regulierung, die vom Magnetverstärker festgestellt wurde, als nicht ausreichend erweisen sollte, wird der Koeffizient der Transformation mittels des Umschalters verändert.
Bei erhöhtem Strom durch die Arbeitskammer oberhalb der festgelegten Grenzen wird der Thyristor eingeschaltet und verbindet kurz Anode und Kathode der Arbeitskammer. Zugleich wird der Leitungsstrom des Magnetverstärkers stark vermindert, schaltet ihn der Block zum Ausschalten des Thyristors ab und es erfolgt eine Erhöhung des Leitungsstromes. Die Glimmentladung in der Arbeitskammer wird innerhalb von 4 Sekunden wieder hergestellt.
Ein Nachteil dieser Anlage ist, daß die.volle Leistung, die vom Versorgungsnetz kommt, die Nennspannung der Anlage, die von der maximalen Leistung der Glimmentladung bestimmt wird, . um ein Bedeutendes übersteigt. Ein weiterer Nachteil der Anlage ist die verlängerte Dauer des Reinigungsprozesses der Werkstücke und der Arbeitskammer bei der anfänglichen Inbetriebnahme .
Ein Nachteil der Anlage ist auch, daß die Wiederherstellung der elektrischen Festigkeit der Arbeitskammer verhältnismäßig langsam vor sich geht, wie auch der Umstand, daß die Erregung der Glimmentladung nach dem Abschalten mit bedeutender Verspätung (bis zu 4 Sekunden) erfolgt. Diese Verspätung bewirkt eine Herabsetzung der Produktivität der Anlage, besonders bei hoher Frequenz des Lichtbogens.
Aufgabe der Erfindung ist es, eine Vorrichtung zur chemischthermischen Behandlung von Metall-Werkstücken bei elektrischer Glimmentladung zu schaffen, die vom elektrischen Stromversorgungsnetz kommt. Sie soll sich unbedeutend von der Nennleistung der Anlage unterscheiden, die von der maximalen Leistung der
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Glimmentladung "bestimmt wird, um die Zeitdauer des Prozesses zur Reinigung der Werkstücke und der Arbeitskammer "bei der erstmaligen Inbetriebnahme herabzusetzen. Die Wiederherstellung der elektrischen Festigkeit der Arbeitskammer und die Erregung der Glimmentladung nach dem Abschalten sollen beschleunigt werden, wodurch die Produktivität der Anlage erhöht wird.
Diese Aufgabe wird durch eine Anlage zur chemisch-thermischen Behandlung von Metall-Werkstücken bei Glimmentladung gelöst, bestehend aus der Arbeitskammer mit dem ihr angeschlossenen Gas-Vakuum-Block, Kühlblock und Versorgungsblock mit einem Netz-Schalter, Transformator, Thyristor, Stromausgleichsbrücke, die aufeinanderfolgend in Reihe geschaltet sind, an die eine Glättungsdrossel, eine Vorrichtung zum Strommessen und die Arbeitskammer angeschlossen sind. Die Primärwicklung des Transformators ist mit dem Versorgungsnetz mittels eines Netz-Schalters verbunden. Die eine Sekundärwicklung ist mit der Strom-Kompensations-Brücke verbunden, die andere Sekundärwicklung durch ein reaktives Element an eine zusätzliche Strom-Kompensationsbrücke angeschlossen. Parallel dazu ist eine Diode geschaltet. Die Kathode der Diode ist mit einer positiven Klem«· me verbunden, ihre Anode ist an die negative Klemme der zusätzlichen Strom-Kompensations-BrÜcke angeschlossen. Die negative Klemme der zusätzlichen Strom-Kompensations-Brücke ist mit der positiven Klemme der zusätzlichen Strom-Kompensations-Brücke verbunden. Die negative Klemme der zusätzlichen Strom-Kompensations-Brücke ist durch eine Glättungsdrossel an die Kathode der Arbeitskammer angeschlossen, während ihre Anode geerdet und mittels der Vorrichtung zur Strommessung mit der positiven Klemme der Strom-Kompensationsbrücke verbunden ist. Parallel zur Anode und Kathode der Arbeitskammer sind aufeinanderfolgend die Primärwicklung des Transformators und ein Kondensator angeschlossen, wobei die Kathode des Thyristors mit dem Ausgang der Primärwicklung des sättigbaren Transformators, seine Anode hingegen mit der Anode der Arbeitskammer verbunden ist. Der Leitungs- oder Steuerblock des Thyristors
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ist an die Sekundärwicklung des sättigbaren Transformators, die Anode und Kathode der. Diode, die Steuerelektrode und die ■ Kathode des Thyristors ist an den Steuerblock angeschlossen, der seinerseits mit der zusätzlichen Strom-Kompensationsbrücke, und dem Steuerblock derselben verbunden ist, wobei zwei Ein- \ gänge des Steuerblockes zur Steuerung der Strom-Kompensationsbrücke mit der Anode und der Kathode der Arbeitskammer verbunden sind, während der dritte Eingang mit der Vorrichtung zur Strommessung und sein Ausgang mit der Strom-Kompensationsbrücke verbunden ist.
Die Vorteile der erfindungsgemäßen Vorrichtung beruhen darauf, daß die Gesamtleistung vom Versorgungsnetz sich nicht fühlbar von der Nennleistung der Anlage unterscheidet, die von der Maximalkapazität der Glimmentladung bestimmt wird.
Der Übergang von der Reinigung der Kathodenoberfläche zur chemisch-thermischen Behandlung erfordert keine zusätzlichen in den Stromkreis eingeschlossenen Kontakte. Die Reinigungsdauer der Kathodenoberfläche ist abgekürzt. Die elektrische Festigkeit der Arbeitskammer wird in kürzerer Zeit wiederhergestellt. Die Erregung einer Glimmentladung nach dem Abschalten wird praktisch ohne Verspätung wiederhergestellt, wodurch die Produktivität der Anlage erhöht wird.
Die Erfindung wird im folgenden anhand der das Schaltbild eines Ausführungsbeispiels zeigenden Zeichnung näher erläutert. "■"·..-
Die erfindungsgemäße Vorrichtung besteht aus einem Transformator, dessen Primärwicklung mit dem Versorgungsnetz 2 mittels eines Netz-Schalters ,3 verbunden ist. Die eine Sekundärwicklung des Transformators 1 ist mit einer Strom-Kompensationsbrücke 4 verbunden. Die andere Sekundärwicklung ist über ein reaktives Element 5 an eine zusätzliche Strom-Kompensationsbrücke 6 angeschlossen, wobei parallel zu ihr eine Diode 7 so angeschlossen ist, daß ihre Kathode mit der positiven Klemme, ihre Anode hingegen mit der negativen Klemme
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der zusätzlichen Strom-Kompensationsbrücke 6 verbunden ist. Die negative Klemme der zusätzlichen Brücke 4 ist über eine Glättungsdrossel 8 an die Kathode der Arbeitskammer 9 angeschlossen. Die Anode der Arbeitskammer. 9 ist geerdet und durch eine Vorrichtung 10 zur Messung des Stromes mit der positiven Klemme der.Stromausgleichsbrücke 4 verbunden. Parallel zu Anode und Kathode der Arbeitskammer 9 sind in Reih* die Primärwicklung eines sättigbaren Transformators 11 und ein Kondensator 12 angeschlossen. Die Kathode eines Thyristor» 13 ist mit der Ausführung der Primärwicklung des sättigbaren .Transformators 11 verbunden, seine Anode hingegen mit der Anode der Arbeitskammer 9. Der Leitungsblock 14 des Thyristors 13 ist mit der Sekundärwicklung des sättigbaren Transformators 11, mit Anode und Kathode der Diode 7, der Steuerelektrode und der Kathode des Thyristors 13 und mit dem Leitblock 15 verbunden, der seinerseits an die zusätzliche Strom-Kompensationsbrücke 6 und dem Leitblock 16 der Brücke angeschlossen ist. Die beiden Eingänge des Leitblockes 16 der Strom-Kompensation*·* brücke 4 sind mit der Anode und der Kathode der Arbeitskammer 9 verbunden. Sein dritter Eingang steht mit der Vorrichtung 1Ö zum Strommessen in Verbindung, sein Ausgang.ist mit der Strom-Kompensationsbrücke 4 verbunden. An die Arbeitskammer 9 sind ein gasbildender Block 17 und ein Kühlblock 18 angeschlossen.
Die Vorrichtung arbeitet wie folgt:
Die Arbeitskammer 9 ist mit Metall-Werkstücken zur Behandlung angefüllt und hermetisch abgeschlossen. Mit dem Kontakt 3. wird die Versorgungsspannung eingeschaltet. Durch den Block 15 zur Steuerung der ganzen Anlage kann man Automatik- oder Handbetrieb wählen. Nach dem Befehl vom Block 15 wird ein Gas-Vakuum-Block betrieben, welcher nach einer bestimmten Zeit den erforderlichen Druck zum Beginn des Behandlungsprozesses herstellt. Über den Transformator 1 wird die Spannung an die Strom-Kompensationsbrücke 4 und an die zusätzliche Strom-Kompensationsbrücke 4 gegeben, welche so hintereinandergeschaltet sind, daß die Spannungen der beiden Brücken summiert werden.
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Auf Befehl vom Steuerblock 15 wird die zusätzliche Strom-Kompensationsbrücke 6 eingeschaltet und über Anode - Kathode in der Arbeitskammer 9 fließt ein Gleichstrom. Später wird, ebenfalls' auf Befehl von den manuellen Reglern oder vom Programmgeber, der sich im Block 15 befindet, die Strom-Kompensationsbrücke 4 bis zur Erregung der Glimmentladung eingeschaltet. Bei der Erhöhung des Stromes der Glimmentladung vermindert sich die Spannung der Klemmen der zusätzlichen Strom-Kompensationsbrücke 6. Wenn der Entladungsstrom den Kurzschlußstrom der zusätzlichen Strom-Kompensationsbrücke überschreitet, dann beginnt die Diode 7 in Funktion zu treten, wobei eine Information in den Block 14 gelangt, durch die die Sekundärwicklung des sättigbaren Transformators 11 für die Steuerung des Thyristors 13- eingeschaltet wird. Gleichzeitig · wird auf ein Signal, das in Block 15 einläuft, die zusätzliche Strom-Kompensationsbrücke 6 abgeschaltet und die Glimmentladung wird nur von der Strom-Kompensationsbrücke 4 gespeist.
Die chemisch-thermische Behandlung der Metallwerkstücke bei elektrischer Glimmentladung beginnt bei geringem Druck in der Arbeitskammer 9, Hochspannung zwischen Anode und Kathode und geringem Entladungs strom, womit die Voraussetzungen zur Reinigung der Kathodenoberfläche bzw. der zu behandelnden Werkstücke geschaffen werden. Die Reinigung ist mit sehr häufigen Übergängen der Glimmentladung in einen Lichtbogen verbunden. Die Information für diesen Übergang wird durch eine Sekundärwicklung des sättigbaren Transformators 11 eingegeben. Wenn der Entladungsstrom geringer ist als der Strom, bei dem die Diode 7 einschaltet, oder wenn die Bedienungs-Person die entsprechende Weisung über den Block 15 gegeben hat, dann schaltet das Signal der Sekundärwicklung des Transformators 11 den Thyristor 13 bei Auftreten einer Glimmentladung nicht ein. In diesem Falle tritt ein Einschwingungsvorgang zwischen dem Kondensator 12 und der Primärwicklung des Transformators 11 auf. Dieser Prozeß verläuft in vier Etappen.
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In der ersten Etappe, deren Zeitdauer gleich ist mit der zum Wiederaufmagnetisieren des Magnetpfades des sättigbaren Transformators 11 erforderlichen Zeit, sinkt die Spannung des Kondensators 12 unbedeutend. In der zweiten Etappe bilden der Kondensator 12 und die Primärwicklung des Transformators 11 einen Schwingkreis, in dem eine Schwingung mit der Dauer einer Halbperiode erfolgt, deren Zeitdauer bedeutend kürzer ist als die Zeit zur Sättigung des Magnetpfades des Transformators In dieser Periode wird der Kondensator 12 wieder aufgeladen, wobei der Strom zum Wiederaufladen eine bedeutende Amplitude aufweist und durch den Kanal des Lichtbogens fließt. Infolgedessen vermindert der Lichtbogenkanal jäh seinen Querschnitt und trägt damit zu einer intensiveren Reinigung der Oberflächen der zu behandelnden Werkstücke bei.
In der dritten Etappe, deren Zeitdauer gleich der Zeit zur Wiederaufmagnetisierung des Transformators 11 in umgekehrter Richtung ist, sinkt die Spannung des Kondensators 12 unbedeutend ab.
In der vierten Etappe, die analog ist der zweiten Etappe, beginnt ein Einschwingvorgang, jedoch in umgekehrter Phase. Der Strom wird durch den Lichtbogen unterbrochen, an die Arbeitskammer wird mit umgekehrtem Vorzeichen eine Spannung angelegt, die bis zur neuen Erregung der Glimmentladung linear anzuwachsen beginnt.
Wenn der Strom der Glimmentladung größer ist als der Kurzschlußstrom der zusätzlichen Strom-Kompensationsbrücke 6, sperrt das Signal der Sekundärwicklung des Transformators 11 mittels des Blockes 14 den Thyristor 13 beim Auftreten des Lichtbogens, wenn dafür ein zusätzlicher Befehl vom Block 15 eintrifft. In diesem Falle, beim Übergang der Glimmentladung in einen Lichtbogen, wird der Unterschied von der Spannung der Entladung bis zur Spannung der soeben bestehenden Glimmentladung, des kommutierenden Kondensators 12 und des bereits erhaltenen Lichtbogens auf die Primärwicklung des sättigbaren Transformators 11 gegeben. Seine Sekundärwicklung gibt ein
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Signal .zum Einschalten durch den Steuerblock 14 des Thyri-? st or s 13·' Nach dem Einschalten des Thyristors 13 ist der Kon- ' densetor 12 parallel als Teil der Primärwicklung des sättigbaren Transformators 11 eingeschaltet. Durch den Teil dies'er ■Wicklung, welcher nicht vom Thyristor 13 umfaßt ist, wird auf die Anode - Kathode der Arbeitskammer 9 eine umgekehrte Spannung gegeben, welche die Unterbrechung des Stromes des Licht- .· bogens beschleunigt und zur intensiveren Wiederherstellung ihrer elektrischen Festigkeit führt. Nach Ablauf einer bestimmten Zeit, die von der Zeitdauer der Sättigung des Magnetleiters des sättigbaren Transformators 11 abhängt, wird der Kondensator 12 und der Thyristor 13 neu aufgeladen. Nach dem Wiederaufladen des Kondensators 12 wird der Thyristor 13 abgeschaltet und auf die Anoden-Kathoden-Strecke der Arbeitskammer 9 wird abermals eine direkte Spannung für die Zeit aufgegeben, wie auch eine von der Zeit her bestimmte Sättigung des Magnetleiters des sättigbar en Transformators 1 1 , jedoch ^etzt in umgekehrter Richtung. Danach wird auf die Anode - Kathode der Arbeitskammer 9 abermals die ganze Spannung des Kondensators 12 gebracht, und zwar mit umgekehrtem Vorzeichen. Diese Spannung beginnt ungefähr nach einem linearen Gesetz anzuwachsen, bis abermals eine Glimmentladung in der Arbeitskammer 9 auftritt.
Auf diese Weise wird der Lichtbogen, der zwischen der Anode und Kathode auftreten kann, praktisch sofort unterbrochen, während auf die Arbeitskammer 9 für eine bestimmte Zeit eine bestimmte Spannung einwirkt, welche ihre Vorzeichen viermal verändert und eine schnelle Wiederherstellung ihrer elektrischen Festigung begünstigt.
So wird in Abhängigkeit von.der Größe des Entladestroms eine kurz andauernde Erhöhung des Stromes durch einen engen, sich schnell verengenden Kanal der Glimmentladung vorgenommen, zu dem Zwecke der beschleunigten Reinigung der Kathodenoberfläche bzw. der zu behandelnden Werkstücke oder der Lichtbogen wird schnell, praktisch augenblicklich, unterbrochen, automatisch oder manuell durch Befehle, die von Block 15 ausgehen.
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Der Übergang vom Reinigungsbetrieb der zu behandelnden Werkstücke mittels kurz andauernden Lichtbogens mit einer bestimmten Stromdichte·, zum zusätzlichen stabilen Betrieb der Glimmentladung mit großen Werten des Entladestromes, wird ohne zusätzliche spezielle Steuerung und durchaus allmählich dank des Vorhandenseins der Diode 7 und des reaktiven Elements 5 realisiert..Mittels automatischer oder manueller Abschaltung von Block 15 der zusätzlichen Strom-Kompensationsbrücke 6 wird auch eine Verminderung der Leistung erreicht, die von dem Versorgungsnetz 2 kommt. Die Glättungsdrossel 8 hat die Aufgabe, die Pulsierungen des Entladestroms zu vermindern und gleichzeitig den Betrieb der Strom-Kompensationsbrücke 4 während der sich schnell verändernden Prozesse in der Arbeitskammer 9 zu vermindern.
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Claims (1)

  1. PATENTANSPRUCE
    Vorrichtung zur chemisch-thermischen Behandlung von Metall-Werkstücken bei Glimmentladung, mit einer Arbeitskammer, mit einem an diese angeschlossenen Gas-Vakuum-Kühlblock und einer Reihenschaltung aus einem Versorgungsblock mit einem Netz-Kontakt, einem Transformator, einem Thyristor und einer Strom-Kompensationsbrücke, in die eine Glättungsdrossel und ein Strom-Meßgerät zur Messung des Stromes in der Arbeitskammer geschaltet sind, dadurch gekennzeichnet , daß die Primärwicklung des Transformators (1) mittels eines Netzkontaktes (3) an ein Versorgungsnetz (2) angeschlossen ist, daß die eine Sekundärwicklung mit der Strom-Kompensationsbrücke (4) und die andere Sekundärwicklung durch ein reaktives
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    Element (5) mit der zusätzlichen Brücke (6) verbunden ist, daß parallel dazu eine Diode (7) angeschlossen ist, so daß ihre Kathode mit der positiven Klemme der Strom-Kompensationsbrücke (4) und seine Anode mit der negativen Klemme der zusätzlichen Strom-Kompensationsbrücke (6) verbunden ist, wobei die negative Klemme der zusätzlichen Strom-Kompensationsbrücke (6) über eine Glättungsdrossel mit der Kathode der Arbeitskammer (9) verbunden ist, während ihre Anode geerdet und über das Strom-Meßgerät (10) an die positive;/Klemme der Strom-Komp ensationsbrücke (4) und den Kondensator (12) angeschlossen ist, wobei die Kathode des Thyristors (13) mit dem Ausgang der Primärwicklung des sättigbaren Transformators (11) in Verbindung ist, während seine Anode mit der Anode der Arbeitskammer (9) verbunden ist,, daß der Steuerungsblöck (14) des Thyristors (13) mit der Sekundärwicklung des sättigbaren Transformators (11), mit der Anode und der Kathode der Diode (7)., mit der Steuerungselektrode und der Kathode des Thyristors (13), mit dem Steuerungsblock (15), der seinerseits mit der zusätzlichen Stromkompensationsbrücke (6) verbunden ist, und mit dem Steuerungsblock (16) der Strom-Korapensationsbrücke (4) mit der Anode und der Kathode der Arbeitskammer (9) verbunden ist, und daß der dritte Eingang mit dem Strom-Meßgerät (10) und sein Ausgang an die Strom-Kompensationsbrücke (4) angeschlossen sind.
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SE (1) SE440169B (de)
SU (1) SU1198132A1 (de)
YU (1) YU41906B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4127505C2 (de) * 1991-08-20 2003-05-08 Unaxis Deutschland Holding Einrichtung zur Unterdrückung von Lichtbögen in Gasentladungsvorrichtungen

Families Citing this family (23)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BG41745A1 (en) * 1984-12-29 1987-08-14 Minchev Device for discontinuing of arc dicharges in gas dicharge vessel
DE3514690A1 (de) * 1985-04-24 1986-10-30 Aeg-Elotherm Gmbh, 5630 Remscheid Gleichspannungsquelle fuer anlagen zur oberflaechenbearbeitung von werkstuecken, insbesondere fuer eine ionitrierhaertanlage
US5281321A (en) * 1991-08-20 1994-01-25 Leybold Aktiengesellschaft Device for the suppression of arcs
CH689767A5 (de) 1992-03-24 1999-10-15 Balzers Hochvakuum Verfahren zur Werkstueckbehandlung in einer Vakuumatmosphaere und Vakuumbehandlungsanlage.
JP3631246B2 (ja) * 1992-09-30 2005-03-23 アドバンスド エナージィ インダストリーズ，インコーポレイテッド 形状的に精密な薄膜フィルムコーティングシステム
DE4239218C2 (de) * 1992-11-21 2000-08-10 Leybold Ag Anordnung zum Verhindern von Überschlägen in einem Plasma-Prozeßraum
DE4242633C2 (de) * 1992-12-17 1996-11-14 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Durchführung von stabilen Niederdruck-Glimmprozessen
US6217717B1 (en) * 1992-12-30 2001-04-17 Advanced Energy Industries, Inc. Periodically clearing thin film plasma processing system
US5427669A (en) * 1992-12-30 1995-06-27 Advanced Energy Industries, Inc. Thin film DC plasma processing system
US5718813A (en) * 1992-12-30 1998-02-17 Advanced Energy Industries, Inc. Enhanced reactive DC sputtering system
RU2048601C1 (ru) * 1993-12-20 1995-11-20 Рыжов Николай Михайлович Способ диагностики процесса химико-термической обработки сталей и сплавов в тлеющем разряде и устройство для его осуществления
US5584972A (en) * 1995-02-01 1996-12-17 Sony Corporation Plasma noise and arcing suppressor apparatus and method for sputter deposition
WO1996031899A1 (en) 1995-04-07 1996-10-10 Advanced Energy Industries, Inc. Adjustable energy quantum thin film plasma processing system
US5576939A (en) * 1995-05-05 1996-11-19 Drummond; Geoffrey N. Enhanced thin film DC plasma power supply
US5584974A (en) * 1995-10-20 1996-12-17 Eni Arc control and switching element protection for pulsed dc cathode sputtering power supply
US5882492A (en) * 1996-06-21 1999-03-16 Sierra Applied Sciences, Inc. A.C. plasma processing system
US5682067A (en) * 1996-06-21 1997-10-28 Sierra Applied Sciences, Inc. Circuit for reversing polarity on electrodes
DE19651615C1 (de) * 1996-12-12 1997-07-10 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Aufbringen von Kohlenstoffschichten durch reaktives Magnetron-Sputtern
US6011704A (en) * 1997-11-07 2000-01-04 Sierra Applied Sciences, Inc. Auto-ranging power supply
US5889391A (en) * 1997-11-07 1999-03-30 Sierra Applied Sciences, Inc. Power supply having combined regulator and pulsing circuits
US5990668A (en) * 1997-11-07 1999-11-23 Sierra Applied Sciences, Inc. A.C. power supply having combined regulator and pulsing circuits
US5910886A (en) * 1997-11-07 1999-06-08 Sierra Applied Sciences, Inc. Phase-shift power supply
US5993613A (en) * 1997-11-07 1999-11-30 Sierra Applied Sciences, Inc. Method and apparatus for periodic polarity reversal during an active state

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2297927A1 (fr) * 1975-01-17 1976-08-13 Anvar Perfectionnements aux

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE555863A (de) *
NL254957A (de) * 1959-08-17
CH561285A5 (de) * 1973-02-19 1975-04-30 Berghaus Bernhard Elektrophysi
FR2423914A1 (fr) * 1978-04-20 1979-11-16 Aizenshtein Anatoly Procede d'alimentation, en courant electrique, des installations de traitement d'articles, notamment au moyen de decharges luminescentes, et dispositif pour sa mise en oeuvre

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2297927A1 (fr) * 1975-01-17 1976-08-13 Anvar Perfectionnements aux

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4127505C2 (de) * 1991-08-20 2003-05-08 Unaxis Deutschland Holding Einrichtung zur Unterdrückung von Lichtbögen in Gasentladungsvorrichtungen

Also Published As

Publication number Publication date
YU29880A (en) 1983-06-30
NO800613L (no) 1980-09-12
FR2451629B1 (de) 1984-12-07
PL131348B1 (en) 1984-10-31
BG29362A1 (en) 1980-11-14
GB2045553B (en) 1983-08-17
SE8000931L (sv) 1980-09-12
YU41906B (en) 1988-02-29
NO153320C (no) 1986-02-19
CH644398A5 (de) 1984-07-31
AT365659B (de) 1982-02-10
HU190769B (en) 1986-11-28
FR2451629A1 (fr) 1980-10-10
GR68091B (de) 1981-10-30
GB2045553A (en) 1980-10-29
JPS55125275A (en) 1980-09-26
PL222156A1 (de) 1980-11-03
SE440169B (sv) 1985-07-15
NO153320B (no) 1985-11-11
DE3007420C2 (de) 1984-08-30
IT1145262B (it) 1986-11-05
JPS6253593B2 (de) 1987-11-11
DD235802A3 (de) 1986-05-21
SU1198132A1 (ru) 1985-12-15
IT8047884A0 (it) 1980-02-13
CS215904B1 (en) 1982-10-29
ATA62880A (de) 1981-06-15

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