HU190769B - Equipment for chemical and heat treatment of metal workpiece by glimm discharge - Google Patents

Equipment for chemical and heat treatment of metal workpiece by glimm discharge Download PDF

Info

Publication number
HU190769B
HU190769B HU80568A HU56880A HU190769B HU 190769 B HU190769 B HU 190769B HU 80568 A HU80568 A HU 80568A HU 56880 A HU56880 A HU 56880A HU 190769 B HU190769 B HU 190769B
Authority
HU
Hungary
Prior art keywords
current
cathode
anode
bridge
working space
Prior art date
Application number
HU80568A
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Szvetoszlav A Szavov
Mincsosz Mincsev
Original Assignee
Vmei "Lenin"Bg
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Vmei "Lenin"Bg filed Critical Vmei "Lenin"Bg
Publication of HU190769B publication Critical patent/HU190769B/hu

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J37/00Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
    • H01J37/32Gas-filled discharge tubes
    • H01J37/32009Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
    • H01J37/32018Glow discharge
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C21METALLURGY OF IRON
    • C21DMODIFYING THE PHYSICAL STRUCTURE OF FERROUS METALS; GENERAL DEVICES FOR HEAT TREATMENT OF FERROUS OR NON-FERROUS METALS OR ALLOYS; MAKING METAL MALLEABLE, e.g. BY DECARBURISATION OR TEMPERING
    • C21D1/00General methods or devices for heat treatment, e.g. annealing, hardening, quenching or tempering
    • C21D1/34Methods of heating
    • C21D1/38Heating by cathodic discharges
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02HEMERGENCY PROTECTIVE CIRCUIT ARRANGEMENTS
    • H02H7/00Emergency protective circuit arrangements specially adapted for specific types of electric machines or apparatus or for sectionalised protection of cable or line systems, and effecting automatic switching in the event of an undesired change from normal working conditions
    • HELECTRICITY
    • H02GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02MAPPARATUS FOR CONVERSION BETWEEN AC AND AC, BETWEEN AC AND DC, OR BETWEEN DC AND DC, AND FOR USE WITH MAINS OR SIMILAR POWER SUPPLY SYSTEMS; CONVERSION OF DC OR AC INPUT POWER INTO SURGE OUTPUT POWER; CONTROL OR REGULATION THEREOF
    • H02M7/00Conversion of ac power input into dc power output; Conversion of dc power input into ac power output
    • H02M7/02Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal
    • H02M7/04Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal by static converters
    • H02M7/12Conversion of ac power input into dc power output without possibility of reversal by static converters using discharge tubes with control electrode or semiconductor devices with control electrode
    • H02M7/125Avoiding or suppressing excessive transient voltages or currents

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Plasma & Fusion (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Arc Welding Control (AREA)
  • Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
  • ing And Chemical Polishing (AREA)
  • Control Of Resistance Heating (AREA)
  • Manufacture And Refinement Of Metals (AREA)
  • Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
  • Cleaning And De-Greasing Of Metallic Materials By Chemical Methods (AREA)
  • Generation Of Surge Voltage And Current (AREA)

Description

A találmány tárgya berendezés fém munkadaraboknak glimmkisülés útján való kémiai és hőkezelésére, amely berendezés főleg a gépgyártásban alkalmazható.
A fém munkadarabnak kémiai-hőkezelésére már ismeretes egy olyan berendezés, amely glimmkisülés útján végzi a munkadarab megmunkálását. Ez az ismert berendezés egy olyan munkatérből áll, amely gáz-vákuumtömbbel rendelkezik és hűtőtömbbel van ellátva. A berendezés a hálózathoz van csatlakoztatva. A munkatérben elhelyezett anód és katód a hálózathoz csatlakozik olyan érintkezők útján, amelyek közül az egyik érintkező közvetlenül csatlakozik a hálózathoz, a másik érintkező egy mágneses erősítő útján csatlakozik egy transzformátor primer tekercséhez. Ezen transzformátor szekunder tekercsének kimenetei átkapcsoló útján egy háromfázisú kompenzáló vagy kiegyenlítő híddal vannak összekötve. A kiegyenlítő híd pozitív pólusa egy simító-fojtótekercs egyik végéhez csatlakozik, míg a másik vég a kapcsolás földpontjához és a munkatérben lévő anódon folyó áramot mérő szervhez csatlakozik. A háromfázisú kompenzáló vagy kiegyenlítő híd negatív pólusa a munkatér katódjához van kötve. A kapcsolásban alkalmazott tirisztor anódja a fojtótekercs közös sarkához és az árammérés céljára szolgáló szervhez csatlakozik, míg a tirisztor katódja a munkatérben elhelyezett katódhoz van kötve. A tirisztorral egy lekapcsolóegység van összekötve. A tirisztor gyújtóelektródája azon kapcsolóegységhez csatlakozik, amelynek bemenete a munkatérben átfolyó áram mérésére szolgáló szervhez csatlakozik. Ezen árammérő szerv első kimenete a tirisztort lekapcsoló szervhez, második kimenete pedig a mágneses erősítő áramvezetését kapcsoló reléhez csatlakozik. A relé érintkezője egy ellenálláshoz van kötve, amelynek egyik vége a mágneses erősítő vezérlőfeszültségforrásához, az ellenállás másik vége a mágneses erősítő tekercsén át a vezérlőfeszültség forrásának másik végéhez van kötve. A berendezés működését a mágneses erősítőn átfolyó áram határozza meg. Abban az esetben, ha a mágneses erősítő a szabályozás mértékét nem értékeli kielégítő nagyságúnak, az átkapcsoló segítségével a transzformátor áttételi viszonyát változtatják.
A munkatérben átfolyó nagyobb áram esetén, amely a megengedett felső határ felett van, a tirisztor bekapcsol, és a munkatérben az anódot és katódot rövidre zárja. Egyidejűleg a mágneses erősítőn átfolyó áram nagymértékben csökken, a tirisztort kikapcsoló egységet működteti, a tirisztort ezáltal lekapcsolja és ennek a következtében az átfolyó áram értéke ismét megnő. A munkatérben létrejövő glimmkisülés 4 sec idő eltelte után ismét helyreáll.
A fent vázolt berendezés hátránya az, hogy a tápáramforrásból származó teljes teljesítmény, a berendezés névleges feszültsége, amelyet a glimmkisülés maximális teljesítménye. határoz meg, nagymértékben megnövekedhet. A berendezés egy további hátránya abban van, hogy a berendezés beindításakor a munkadarab és a munkatér tisztítására fordító műveleti idő nagy.
A fent vázolt berendezés egy további hátránya abban van, hogy a munkatér villamos szilárdságának helyreállítása igen hosszú időt igényel, ugyanis a glimmkisülés a kikapcsolás után csak nagy késéssel - 4 sec idő elteltével - regenerálható. Ez a késleltetés a berendezés gazdaságos alkalmazását rontja, különösképpen ha a villamos ívet nagyfrekvenciájú áram állítja elő.
Célkitűzésünk, hogy találmányunk útján olyan berendezést jéivasoljunk a fém munkadarabok glimmkisülés útján történő kémiai-hőkezelésére, amely glimmkisülés a villamos tápáramforrás hálózata útján közvetlenül nyerhető. A glimmkisülés a berendezés azon névleges teljesítményértékétől lényegében független, amelyet a glimmkisülés maximális teljesítménye határoz meg. Annak érdekében, hogy a munkatérnek és a munkadaraboknak a berendezés első beindítása előtt szükséges tiEztitási műveletének időtartamát lerövidítsük, a munkatérben a villamos szilárdság helyreállításának folyamatát meg kell gyorsítani, ugyanígy meg kell gyorsítani a glimmkisülés gerjesztését a kikapcsolás után, ezáltal a berendezés termelékenysége megnövelhető.
A találmány szerinti fém munkadaraboknak glimmkisülés útján való kémiai-hőkezelésére alkalmazott berendezésünk munkateréhez egy gáz-vákuum egység, egy hűtőegység és egy hálózati kapcsolóval ellátott tápegység van csatlakoztatva, továbbá egy transzformátort, egy tirisztort, egy áramkiegyenlitő hidat tartalmaz, amelyek soros kapcsolásban vannak elrendezve, amelyhez egy simitó-fojtótekercs, egy árammérő egység és a munkatér van csatlakoztatva. A transzformátor primer tekercse a háromfázisú hálózattal hálózati kapcsoló útján csatlakozik. A transzformátor egyik szekundertekercse egy áramkompenzáló híddal van összekötve, a másik szekundertekercs pedig egy reaktív elem utján egy pótlólagos áramkompenzáló hídhoz csatlakozik, amellyel párhuzamosan egy dióda van kapcsolva. A dióda katódja a második áramkompenzáló híd pizitiv pólusához, az anódja pedig annak negatív pólusához van kötve. Az első éramkompenzáló híd negatí\r pólusa második áramkompenzáló hid pozitív pólusához csatlakozik. A második éramkompenzáló hid negatív pólusa a simító-fojtótekercs útján a munkatérben lévő katódhoz csatlakozik, míg az ott elrendezett anód földelve van, és az árammérő egység útján az első éramkompenzáló híd pozitív pólusához csatlakozik. A munkatérben lévő anóddal és katóddal párhuzamosan a transzformátor primertekercsei és egy kondenzátor csatlakoznak; ά tirisztor katódja a telítődő típusú transzformátor primertekercsének leágazásához, az anódja a munkatérben lévő anóddal van összekötve. A dióda anódja és katódja első vezérlőegység egy-egy kivezetésével van összekötve, amelynek kimenetei a tirisztor gyújtóelektródájával és katódjával, bemenetel a transzformátor szekundertekercsének kivezetéseivel, további kivezetése második kompenzáló híd vezérlőbemenetóvel, további kivezetése harmadik vezérlőegységgel van összekötve, a harmadik vezérlőegység kimenele az első áramkompenzáló híd vezérlőbemenetével, bemenete az árammérő egységgel, további két bemenete pedig a munkatérben elrendezeti anóddal és katóddal van összekötve.
A találmány szerinti berendezés előnye abban van, hogy a teljes teljesítmény, amelyet a tápáramforrás hálózata szolgáltat, nem függ észrevehető mértékben a berendezés névleges teljesítményértékétől, amely utóbbit viszont a glimmkisiilós maximális kapacitása határoz mag. A katód felületének tisztítási műveletétől a kémiai-hőkezelési műveletre történő átmenethez nincs szükség a kapcsolásban külön érintkezők alkalmazására. A katódfelület tisztításához szükséges műveleti idő jelentősen csökkenthető. A munkatér villamos szilárdságát igen rövid idő alatt lehet regenerálni. A glimmkisülés gerjesztése a lekapcsolás után késedelem nélkül ismét helyreállítható, minek következtében a berendezés termelékenysége az ismert hasonló berendezésekhez képest jelentősen növelhető.
A találmány szerinti fém munkadarabok glimmkisülés útján történő kémiai-hőkezelésére alkalmas berendezés példakénti kiviteli alakját a csatolt rajz alapján ismertetjük részletesebben.
Amint az 1. ábrán látható, a berendezés 1 transzformátorának primertekercse háromfázisú 2 hálózathoz csatlakozik 3 hálózati kapcsoló útján. Az 1 transzformátor egyik szekundertekercse egy szinkron 4 áramkompenzáló híddal van összekötve. A másik szekundertekercs egy 5 reaktív elemen át egy pótlólagos 6 áramkompenzáló hídhoz csatlakozik, míg párhuzamosan az utóbbihoz egy 7 dióda úgy van kötve, hogy ezen 7 dióda katódja a pótlólagos 6 áramkompenzáló híd pozitív pólusával és a 4 áramkompenzáló híd negatív pólusával, anódja pedig a áramkompenzáló híd negatív pólusával van összekötve. A 6 áramkompenzáló híd negatív pólusa egy 8 simító-fojtótekercs útján 9 munkatérben lévő K kátédhoz csatlakozik. A 9 munkatérben lévő A anód földelve van és 10 árammérő egység útján csatlakozik az áram kiegyenlítésére szolgáló pótlólagos 4 áramkompenzáló híd pozitív pólusához. A 9 munkatérben lévő A anód és K katóddal párhuzamosan egy telítődő 11 transzformátor primertekercse és 12 kondenzátor van csatlakoztatva. A telítődő 11 transzformátor primertekercsének leágazásával 13 tirisztor katódja van összekötve, amelynek anódja a 9 munkatérben lévő A anódhoz csatlakozik. A 13 tirisztor katódja és gyújtóelektródája 14 vezérlőegység kimenetéivel, ez utóbbi bemenetel a telítődő 1 1 transzformátor szekundertekercsével, további kivezetései a 7 dióda anódjával és kálód javai, valamint 15 vezérlőegységgel vari összekötve, amely utóbbi pótlólagos 6 áramkompenzáló híddal és 16 vezérlőegységgel van összekötve. A 4 áranikompenzáló híd a 16 vezérlőegység kimenetével, annak két bemenete a 9 munkatér A anódjával és K katódjával van összekötve. A 16 vezérlőegység harmadik bemenete a 10 árammérő egységgel van öszszekötve. A 9 munkatérhez 17 gázvikuum egység és 18 hűtőegység csatlakozik.
A találmány szerinti berendezés működésének módja a következő:
a 9 munkatérbe behelyezzük a kezelendő fém munkadarabokat, majd a 9 munkateret lezárjuk. A 9 munkateret villamos érintkezőjével csatlakoztatjuk a hálózathoz. A teljes berendezés vezérlésére szolgáló 15 vezérlőegység egyaránt működtethető kézi vezérléssel vagy automatikusan. A 15 vezérlőegység által kiadott vezérlőjel hatására a 17 gáz-vákuumegység beindul, amely adott idő múlva előállítja a kezelési eljáráshoz szükséges nyomást. Az 1 transzformátor útján az első 4 áramkompenzáló hídra, valamint a második 6 áramkompenzáló hídra feszültséget adunk. Ez utóbb említett 4 áramkompenzáló híd és a 6 áramkompenzáló híd egymással oly módon vannak összekötve, hogy feszültségeik öszszeadódnak. A vezérlés céljára szolgáló 15 vezérlőegység a második 6 arainkompenzáló hidat bekapcsolja, minek határása a 9 munkatérben lévő A nnódon és K katódon egyenáram van jelen. A későbbiek során a kézzel vagy programszabályozó szerven át. vezérelt 13 vezérlőegység parancsára az első 4 áramkompenzáló híd a glimmkisülés gerjesztésének időtartama alatt bekapcsolt állapotban van. A glimmkisülés áramának növekedéséig a második 6 áranikompenzáló hídon lévő feszültség csökken. Abban az esetben, ha a kisütő áram érléke a második 6 áramkompenzáló híd rövidzárási áramának értékét túllépte, akkor a 7 dióda vezetni kezd, és ennek hatására a 13 tirisztort vezérlő telítődő 11 transzformátor szekundertekercsének bekapcsolására vonatkozó információ, ami a 14 vezérlőegységben van, belép. Ezzel egyidejűleg a 15 vezérlőegység lekapcsolja a második 6 éramkompenzáló hidat, és a glimmkisülést kizárólag a 4 éramkompenzáló híd táplálja.
Ezután a fém munkadarabok villamos glimmkisülés útján történő kémiai-hőkezelése a 9 munkatérben létrehozott kis nyomás mellett elkezdődik. A 9 munkatérben lévő Λ anód és K katód között nagy pontenciálkűlönbség van és kis kisülési áram folyik, ami lehetővé teszi, hogy a katód-felületet, illetőleg a kezelendő munkadarabok felületét tisztítani lehessen. A tisztítási művelet villamos ívben történő igen gyakori ivkisülésseí megy végbe. Ezen művelet elvégzésére vonatkozó információ a telítődő 11 transzformátor szekundertekercsén megy át. Abban az esetben, ha a kisülési áram kisebb, mint az az áram, amely a 7 diódát működteti, vagy pedig ha a vezérlőjelet adó 15 vezérlőegység megfelelő parancsjelet ad, akkor a telítődő 11 transzformátor szekundertekercsének jele a 13 tirisztort glimmkisülés létrejöttekor nern kapceolja be. Ebben az esetben a 12 kondenzátor és a telítődő 11 transzformátor primertekercse között berezgési folyamat indul be. Ez a folyamat négy fázisból áll. Az első fázisban, amelynek időtartama a telítődő 11 transzformátor újrafelmágnesezéséhez szükséges idővel azonos nagyságú, a 12 kondenzátor feszültsége igen kis mértékben csökken. A második fázisban a 12 kondenzátor és a telítődő 11 transzformátor primertekercse olyan rezgőkört alkotnak, amelyben a létrejövő rezgés fél periódusnak megfelelő időtartamú, azaz ez az időtartam jelentősen kisebb, mint a telítődő 11 transzformátor telítődéséhez szükséges idő.
Ebben a periódusban a 12 kondenzátor ismét feltöltödik, és a töltőáram amplitúdója olyan értékű, hogy az az ívkisülést létre tudja hozni. Az ívkisülós a megmunkálandó munkadarabok felületének intenzív tisztítását végzi.
A harmadik fázisban, amelynek időtartama a telítődő 11 transzformátor újrafelmágnesezéséhez szükséges idővel azonos nagyságú, a 12 kondenzátor feszültsége ellenkező irányban nagymértékben csökken.
A negyedik fázisban a második fázishoz hasonlóan, berezgési folyamat jón létre, azonban ellenkező fázisban. Az áramot a villamos Ívfény szakítja meg, a 9 munkatérben ellenkező előjelű feszültség jelenik meg, amely az újólag létrejött gerjesztés folytán a glimmkisüléshez szükséges feszültség eléréséig növekszik.
Ha a glimmkisülés árama nagyobb, mint a második 6 áramkompenzáló híd rövidzárási árama, úgy a telítődő 11 transzformátor szekundertekercse a 14 vezérlőegység útján a 13 tirisztort a villamos ív keletkezésének pillanatában bekapcsolja, ha erre a 15 vezérlőegységtől további parancsot kap. Ebben az esetben a glimmkisülésből a villamos ívbe való átmenetnél a kisülés feszültsége - mely feszültség értéke a még éppen fennálló glimmkisülés feszültségét eléri - és a már létrejött villamos ív feszültsége közötti különbség, mely a telítődő 11 transzformátor primertekercsére jut. Annak szekundertekercse a 14 vezérlő egységen keresztül bekapcsolódó jelet ad a 13 tirisztorra. A 13 tirisztor bekapcsolása után a 12 kondenzátor a telítődő 11 transzformátor primertekercsének alsó részével párhuzamosan kapcsolódik. A telítődő 11 transzformátor primertekercsének azon része, amely a 13 tirisztorral nincs párhuzamosan kapcsolva, a 9 munkatérben lévő A anód és K katód közé fordított polaritású feszültséget ad, amely feszültség a villamos ív áramának megszakítását gyorsítja és végül is a villamos szilárdság intenzív helyre állításához vezet. Adott idő eltelte után, amely a telítődő 11 transzformátor mágnesvezetőjének telítődéséhez szükséges, a 12 kondenzátor és a 13 tirisztor ismételten feltöltődnek. A 12 kondenzátor ismételt feltöltődése után a 13 tirisztor kikapcsolódik, és a 9 munkatérben lévő A anód és K kat.ód ismét közvetlen feszültséget kap arra az időtartalomra, amely a Lelltődő 11 transzformátor mágnesvezetőjének telítéséhez szükséges, most azonban fordított értelemben. Ezt kővetően a 9 munkatérben lévő A anód és K kától a 12 kondenzátor teljes feszültségét kapja, azonban fordított előjellel. Ez a feszültség megközelítően lineárisan növekszik mindaddig, amíg a 9 munkatérben újabb glimmkisülés be nem következik.
A fenti módon a villamos ív, amely az A anód és K katód között létre tud jönni, gyakorlatilag azonnal megszakad, míg a 9 munkatérben adott ideig olyan feszültség van jelen, amelynek előjele ismételten megváltozik és amely a villamos szilárdság helyreállítását elősegíti.
Ilyen módon a kisütőáram nagyságának függvényében rövid ideig tartó áramnövekedés hatására a glimmkisülésben egy gyorsan vékonyodó csatorna jön létre, melynek célja a katódfelület illetve a kezelendő munkadarab felületének gyorsabb tisztítása és a villamos ív kézi vagy automatikus működtetésű 15 vezérlőegységből kapott vezérlőjel hatására igen gyorsan megszakad.
A kezelendő munkadaraboknak előre meghatározott áramsűrűségű, rövid időtartamú villamos ívfénnyel történő felület-tisztításától a következő stabil üzemű, nagy kisülési áramokkal végzett gliminkisülésig tartó átmenetnél nem alkalmazunk semmiféle pótlólagos ívirányító eszközt, mert a 7 dióda és az 5 reaktív elem a kívánt feladat megoldását biztosítja. A második 6 áramkompenzáló hídnek a vezérlésre szolgáló, azaz a kézzel vagy automatikusan vezérelt 15 vezérlőegységgel való kikapcsolása lehetővé teszi a 2 hálózatról vett teljesítmény csökkenését is. A 8 simító-fojtótekercs feladata az, hogy a kisülési aram pulzéló hatását csökkentsük, és ezzel együtt a 4 áramkompenzáló híd üzemét a 9 munkatérben végzett művelet során csökkentjük.

Claims (1)

  1. SZABADALMI IGÉNYPONTOK
    Berendezés fém munkadaraboknak gliinmkisülés útján való kémiai és hőkezelésére, amely gáz-vákuum egységgel és hűtőegységgel el-59
    19076S látott munkateret valamint egymással láncbakapcsolt hálózati csatlakozót, transzformátort, tirisztort, áramkompenzáló hidat tartalmazó tápegységet tartalmaz, a munkatérhez simitó-fojtótekercs és árammérő egység van csat- 5 lakoztatva, azzal jellemezve, hogy a transzformátor (1) primer tekercse hálózati kapcsolón (3) keresztül van a hálózathoz (2) csatlakoztatva, egyik szekundertekercse a áramkompenzáló híddal (4) van összekötve, a má- 10 sik szekundertekercs reaktív elemen (5) keresztül második árainkoinpenzáló híddal (fi) van összekötve, amellyel dióda (7) van párhuzamosan kapcsolva úgy, hogy katódja a második áramkompenzáló híd (6) pozitív pólu- 15 savai, anódja pedig annak negatív pólusával van összekötve, a dióda (7) anódja a simító-fojtótekercsen (8) keresztül a munkatér (9) katódjával (K) van összekötve, amelynek anódja (A) le van földelve és árammérő egy- 20 ségen (10) keresztül az első áramkompenzáló híd (4) pozitív pólusával, valamint a munkatér (9) anódja (A) össze van kötve egy kondenzátorral (12) és egy tirisztor (13) anódjával, mely tirisztor (13) katódja telítődő transzformátor (11) primertekerc.sének leágazásával van összekötve, a tirisztor (13) katódja és gyújtóelektródája első vezérlőegység (14) kimenetéivel, a telítődő transzformátor (11) szekundertekercse az első vezérlő egység (14) bemenetéivel van összekapcsolva, az első vezérlő egység (14) két kivezetésével a dióda (7) anódja és katódja van összekötve, az első vezérlőegység (14) harmadik kimenetére második vezérlőegység (15), annak kimenetére harmadik vezérlőegység (16) van kapcsolva, ahol a második vezérlőegység (15) vezérlőjelkimenete a második áramkompenzáló híd (6) vezérlőbemenetével, a harmadik vezérlőegység (16) vezérlőjelkimenete az első áramkompenzáló híd (4) vezérlőbemenetével, további bemenetel a munkatér (9) katódjával (K) illetve anódjával (A) valamint az árammérő egységgel (10) van összekötve.
HU80568A 1979-03-11 1980-03-11 Equipment for chemical and heat treatment of metal workpiece by glimm discharge HU190769B (en)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
BG7943198A BG29362A1 (en) 1979-03-11 1979-03-11 Apparatus for chemical- thermal processing of matal articles in the condition of electrical smouldering charge

Publications (1)

Publication Number Publication Date
HU190769B true HU190769B (en) 1986-11-28

Family

ID=3905917

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
HU80568A HU190769B (en) 1979-03-11 1980-03-11 Equipment for chemical and heat treatment of metal workpiece by glimm discharge

Country Status (17)

Country Link
JP (1) JPS55125275A (hu)
AT (1) AT365659B (hu)
BG (1) BG29362A1 (hu)
CH (1) CH644398A5 (hu)
CS (1) CS215904B1 (hu)
DD (1) DD235802A3 (hu)
DE (1) DE3007420C2 (hu)
FR (1) FR2451629A1 (hu)
GB (1) GB2045553B (hu)
GR (1) GR68091B (hu)
HU (1) HU190769B (hu)
IT (1) IT1145262B (hu)
NO (1) NO153320C (hu)
PL (1) PL131348B1 (hu)
SE (1) SE440169B (hu)
SU (1) SU1198132A1 (hu)
YU (1) YU41906B (hu)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BG41745A1 (en) * 1984-12-29 1987-08-14 Minchev Device for discontinuing of arc dicharges in gas dicharge vessel
DE3514690A1 (de) * 1985-04-24 1986-10-30 Aeg-Elotherm Gmbh, 5630 Remscheid Gleichspannungsquelle fuer anlagen zur oberflaechenbearbeitung von werkstuecken, insbesondere fuer eine ionitrierhaertanlage
US5281321A (en) * 1991-08-20 1994-01-25 Leybold Aktiengesellschaft Device for the suppression of arcs
DE4127505C2 (de) * 1991-08-20 2003-05-08 Unaxis Deutschland Holding Einrichtung zur Unterdrückung von Lichtbögen in Gasentladungsvorrichtungen
CH689767A5 (de) 1992-03-24 1999-10-15 Balzers Hochvakuum Verfahren zur Werkstueckbehandlung in einer Vakuumatmosphaere und Vakuumbehandlungsanlage.
EP0663019B1 (en) * 1992-09-30 1998-12-02 Advanced Energy Industries, Inc. Topographically precise thin film coating system
DE4239218C2 (de) * 1992-11-21 2000-08-10 Leybold Ag Anordnung zum Verhindern von Überschlägen in einem Plasma-Prozeßraum
DE4242633C2 (de) * 1992-12-17 1996-11-14 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zur Durchführung von stabilen Niederdruck-Glimmprozessen
US5718813A (en) * 1992-12-30 1998-02-17 Advanced Energy Industries, Inc. Enhanced reactive DC sputtering system
US5427669A (en) * 1992-12-30 1995-06-27 Advanced Energy Industries, Inc. Thin film DC plasma processing system
US6217717B1 (en) 1992-12-30 2001-04-17 Advanced Energy Industries, Inc. Periodically clearing thin film plasma processing system
RU2048601C1 (ru) * 1993-12-20 1995-11-20 Рыжов Николай Михайлович Способ диагностики процесса химико-термической обработки сталей и сплавов в тлеющем разряде и устройство для его осуществления
US5584972A (en) * 1995-02-01 1996-12-17 Sony Corporation Plasma noise and arcing suppressor apparatus and method for sputter deposition
WO1996031899A1 (en) 1995-04-07 1996-10-10 Advanced Energy Industries, Inc. Adjustable energy quantum thin film plasma processing system
US5576939A (en) * 1995-05-05 1996-11-19 Drummond; Geoffrey N. Enhanced thin film DC plasma power supply
US5584974A (en) * 1995-10-20 1996-12-17 Eni Arc control and switching element protection for pulsed dc cathode sputtering power supply
US5882492A (en) * 1996-06-21 1999-03-16 Sierra Applied Sciences, Inc. A.C. plasma processing system
US5682067A (en) * 1996-06-21 1997-10-28 Sierra Applied Sciences, Inc. Circuit for reversing polarity on electrodes
DE19651615C1 (de) * 1996-12-12 1997-07-10 Fraunhofer Ges Forschung Verfahren zum Aufbringen von Kohlenstoffschichten durch reaktives Magnetron-Sputtern
US5990668A (en) * 1997-11-07 1999-11-23 Sierra Applied Sciences, Inc. A.C. power supply having combined regulator and pulsing circuits
US5910886A (en) * 1997-11-07 1999-06-08 Sierra Applied Sciences, Inc. Phase-shift power supply
US5993613A (en) * 1997-11-07 1999-11-30 Sierra Applied Sciences, Inc. Method and apparatus for periodic polarity reversal during an active state
US5889391A (en) * 1997-11-07 1999-03-30 Sierra Applied Sciences, Inc. Power supply having combined regulator and pulsing circuits
US6011704A (en) * 1997-11-07 2000-01-04 Sierra Applied Sciences, Inc. Auto-ranging power supply

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
BE555863A (hu) *
NL254958A (hu) * 1959-08-17
CH561285A5 (hu) * 1973-02-19 1975-04-30 Berghaus Bernhard Elektrophysi
FR2297927A1 (fr) * 1975-01-17 1976-08-13 Anvar Perfectionnements aux
FR2423914A1 (fr) * 1978-04-20 1979-11-16 Aizenshtein Anatoly Procede d'alimentation, en courant electrique, des installations de traitement d'articles, notamment au moyen de decharges luminescentes, et dispositif pour sa mise en oeuvre

Also Published As

Publication number Publication date
ATA62880A (de) 1981-06-15
IT8047884A0 (it) 1980-02-13
FR2451629A1 (fr) 1980-10-10
DD235802A3 (de) 1986-05-21
JPS55125275A (en) 1980-09-26
NO153320B (no) 1985-11-11
GB2045553B (en) 1983-08-17
SE8000931L (sv) 1980-09-12
CH644398A5 (de) 1984-07-31
IT1145262B (it) 1986-11-05
FR2451629B1 (hu) 1984-12-07
SE440169B (sv) 1985-07-15
GB2045553A (en) 1980-10-29
JPS6253593B2 (hu) 1987-11-11
DE3007420A1 (de) 1980-09-25
AT365659B (de) 1982-02-10
BG29362A1 (en) 1980-11-14
SU1198132A1 (ru) 1985-12-15
NO153320C (no) 1986-02-19
CS215904B1 (en) 1982-10-29
YU41906B (en) 1988-02-29
PL131348B1 (en) 1984-10-31
DE3007420C2 (de) 1984-08-30
GR68091B (hu) 1981-10-30
PL222156A1 (hu) 1980-11-03
YU29880A (en) 1983-06-30
NO800613L (no) 1980-09-12

Similar Documents

Publication Publication Date Title
HU190769B (en) Equipment for chemical and heat treatment of metal workpiece by glimm discharge
HU199324B (en) Device for breaking the arc discharge of spark machining equipments
WO1991010280A1 (en) A power inverter snubber circuit
EP0026072B1 (en) A generator of high current pulses
US4514677A (en) Two stage electrical braking for a variable speed AC induction motor
JPH0241777A (ja) アーク加工用電源装置
DE3443637A1 (de) Bremsschaltung fuer wechselstrommotoren
US4978829A (en) Electric discharge machining power supply circuit
KR0140858B1 (ko) 직기의 운전장치 및 운전방법
US3456087A (en) Power supply and automatic control system for high-speed electric discharge machining apparatus
US5140247A (en) Control system for polyphase induction machines
WO1987007860A1 (en) Discharge machining controller
US3826889A (en) System for automatic control of electron beam heating device
JPS6416316A (en) Electric discharge machine
JPH0343119A (ja) 電解仕上げ加工装置の異常検出回路
KR830002269B1 (ko) 와이어-커트 방전 가공 전원
US2907943A (en) Alternator-rectifier generating system
JPH07322485A (ja) 突入電流抑制装置
KR950001779B1 (ko) 플라즈마 아크 절단용 전원 장치
SU1436237A1 (ru) Источник электропитани
SU1064374A1 (ru) Пусковое устройство дл автоматического ввода резервного питани потребителей электроэнергии
SU1232409A1 (ru) Источник питани
JP2665860B2 (ja) オゾン発生用電源装置の制御方法
JPS646634B2 (hu)
RU1773635C (ru) Способ возбуждени дуги плазмотрона

Legal Events

Date Code Title Description
HU90 Patent valid on 900628
HMM4 Cancellation of final prot. due to non-payment of fee