DE29921694U1 - Plasmadüse - Google Patents

Plasmadüse

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Claims (10)

1. Plasmadüse zur Behandlung von Oberflächen, insbesondere zur Vorbe­ handlung von Kunststoffoberflächen, mit einem rohrförmigen, elektrisch leitfähi­ gen Gehäuse (10), das einen von einem Arbeitsgas durchströmten Düsenkanal (12) bildet, einer koaxial im Düsenkanal angeordneten Elektrode (18) und einem Hochfrequenzgenerator (20) zum Anlegen einer Spannung zwischen der Elektro­ de (18) und dem Gehäuse, dadurch gekennzeichnet, daß der Auslaß des Dü­ senkanals (12) als quer zur Längsachse des Düsenkanals verlaufender schmaler 1 Schlitz (32) ausgebildet ist.
2. Plasmadüse nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (10) eine Dralleinrichtung (16) enthält, die das Arbeitsgas im Düsenkanal (12) verdrallt.
3. Plasmadüse nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenkanal (12) in einen parallel zu dem Schlitz (34) verlaufenden Querkanal (32) mündet, der seinerseits mit dem Schlitz (34) in Verbindung steht.
4. Plasmadüse nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Düsenka­ nal (12) am auslaßseitigen Ende konisch verjüngt ist und nur im Mittelbereich des Querkanals (32) mit diesem Querkanal in Verbindung steht.
5. Plasmadüse nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Querkanal (32) an beiden Enden offen ist.
6. Plasmadüse nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Innen­ wände des Gehäuses (10) am auslaßseitigen Ende der Plasmadüse in Abstand zu den offenen Enden des Querkanals (32) liegen und das aus diesen Enden austretende Plasma zur Seite des Schlitzes (34) hin ablenken.
7. Plasmadüse nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Enden des Querkanals (32) in einen durch das Gehäuse (10) begrenzten Ringkanal (30) münden, der zur selben Seite wie der Schlitz (34) offen ist.
8. Plasmadüse nach einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekenn­ zeichnet, daß der Schlitz (34) und das auslaßseitige Ende des Düsenkanals (12) in einem Mundstück (24) ausgebildet sind, das in das Ende des Gehäuses (10) eingesetzt ist.
9. Plasmadüse nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß das Mund­ stück (24) aus Metall besteht.
10. Plasmadüse nach einem der vorstehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch einen außen am Gehäuse (10) angebrachten Luftverteiler (42), der Hilfs­ luft (44) in der zur Ebene des Schlitzes (34) rechtwinkligen Richtung konvergie­ rend auf den aus dem Schlitz (34) austretenden Plasmastrahl (36) lenkt.
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