DE29512381U1

DE29512381U1 - Vorrichtung zum Halten, für den Transport und für die Bearbeitung eines flachen, kreisscheibenförmigen Substrats

Info

Publication number: DE29512381U1
Application number: DE29512381U
Authority: DE
Original assignee: Leybold AG
Current assignee: Balzers und Leybold Deutschland Holding AG
Priority date: 1995-08-01
Filing date: 1995-08-01
Publication date: 1995-10-12
Anticipated expiration: 2005-08-02

Description

Leybold Aktiengesellschaft
Wilhelm-Rohn-Straße 25

63450 Hanau

Vorrichtung zum Halten, für den Transport und für die Bearbeitung eines flachen, kreisscheibenförmigen Substrats

Die Neuerung betrifft eine Vorrichtung zum Halten, für den Transport und für die Bearbeitung eines flachen, kreisscheibenförmigen Substrats, insbesondere einer CD oder CD-ROM, bestehend aus einem Gehäuse mit einer zentralen, an eine Unterdruckquelle anschließbaren Kammer, mit mindestens einem mit dieser über Saugkanäle verbundenen, auf der dem Substrat zugewandten Kammerwand angeordneten Saugnapf.

Bekannt ist eine Greifeinrichtung (CH 519 431) für keramische Formlinge mit einer Öffnung im Bodenbereich, wie Blumentöpfe und Blumenschalen, welche Einrichtung Mittel zum Anschluß an eine Versetzeinrichtung von Transportanlagen für die Form-

linge aufweist, wobei eine Dichtungsplatte, die auf die obere Berandung des zu haltenden Formlings aufgesetzt ist, in deren Mittelbereich ein in Richtung auf die Bodenöffnung des Formlings zu abstrebendes Dichtungselement für die Bodenöffnung angeordnet ist, das unter Druck auf dem Randbereich um die Bodenöffnung herum aufliegt, wobei mindestens eine Durchtrittsöffnung vorgesehen ist, die in den von der Dichtungsplatte und dem Dichtungselement praktisch luftdicht abgeschlossenen Hohlraum des Formlings mündet und an eine Vakuumquelle angeschlossen ist.

Bekannt ist weiterhin (DE 32 2 6 834 C2) eine Vorrichtung zum Erfassen von stückigem Schüttgut, insbesondere von quaderförmigen Gegenständen wie Schachteln oder Behältern, mittels eines Saugstromes, bestehend aus einem Saugnapf, der an einer Rückstellfeder zur Rückstellung desselben befestigt ist, die ihrerseits an einer beweglichen Führung angeordnet ist und der über eine Saugleitung mit einer Unterdruck erzeugenden Einrichtung in Verbindung steht, wobei die Führung aus einer heb- und senkbar angeordneten Stange besteht, die Rückstellfeder eine auf Zug und Druck belastbare Zugfeder ist, die am unteren Ende der Stange angebracht ist und sich in deren Längsrichtung erstreckt und die Arbeitslänge der ausgezogenen Zugfeder relativ zur Bewegungsrichtung der Stange begrenzt ist und die Saugleitung bezüglich der Stange frei beweglich ist.

Bekannt ist schließlich (DE-GM 93 09 935.5) eine Vorrichtung zum Halten und Transportieren von Substraten mit einer im wesentlichen ebenen, glatten Substratoberfläche, beispielsweise CD's, inner- und außerhalb von Vakuumbehandlungsanlagen, im wesentlichen bestehend aus einem ringförmigen Grundkörper, der auf seiner dem Substrat zugewandten Unterseite eine ringförmige Nut aufweist, welche mittels Dichtlippen an ihrem radial inneren und äußeren Rand als Saugkanal ausgebildet ist, wobei die Dichtlippen nach dem Aufsetzen des Grundkörpers auf die Substratoberfläche eine mit dieser vakuumdichte Verbindung bilden und mit mindestens einer Saugleitung, welche den Saugkanal· mit einer Pumpe verbindet, wobei zwischen Grundkörper und Saugleitung jeweils ein flexibles, balgenartiges Zwischenstück vorgesehen ist.

Der vorliegenden Neuerung liegt die Aufgabe zugrunde, eine Vorrichtung zum Halten von Substraten des infragestehenden Typs so auszubilden, daß diese geeignet ist während des Transports des Substrats von der einen zur nächsten Bearbeitungsstation, eine bestimmte Menge Farbe auf die von den Saugnäpfen gehaltene Seitenfläche des Substrats aufzutragen und zwar so, daß diese sich besonders gleichmäßig und besonders rasch auf dieser Fläche verteilen kann.

Gemäß der vorliegenden Neuerung wird diese Aufgabe dadurch gelöst, daß mehrere mit einem im Gehäuse vorgesehenen Verteilerkanal· korrespondierende, etwa in der Ebene der Saugnäpfe endende und sich

parallel zu den Saugkanälen erstreckende Dosierdüsen vorgesehen sind, wobei der Verteilerkanal mit einem Anschluß zur Verbindung mit einer mit Druck beaufschlagbaren Farbquelle versehen ist, so daß auf der Oberseite des Substrats während des Transports gleichzeitig mehrere Farbkleckse aufbringbar sind.

Weitere Einzelheiten und Merkmale ergeben sich aus den Schutzansprüchen.

Die Neuerung läßt die verschiedensten Ausführungsmöglichkeiten zu; eine davon ist in der anhängenden Zeichnung schematisch in der Frontansicht und im Längsschnitt dargestellt.

Die Vorrichtung besteht im wesentlichen aus einem Gehäuse 3 mit einer zentralen Kammer 4 mit einem Anschluß 5 für eine Vakuumquelle, wobei die Kammer 4 an dem dem Substrat zugekehrten Wandteil 6 mit kreisringförmigen Dichtleisten 7, 8 versehen ist, die konzentrisch zur Längsachse L am Gehäuse 3 fest angeordnet sind und zusammen eine Ringnut 9 bilden. Diese Ringnut 9 ist über Bohrungen 10, 11 mit der Kammer 4 verbunden. Die Kammer 4 ist von einem Ringkanal 12' umschlossen, der über einen Stutzen 13 mit einer nicht näher dargestellten Farbquelle in Verbindung steht, die den Ringkanal 12 ständig mit Farbe gefüllt hält. Der Ringkanal 12 korrespondiert über vier sich parallel zur Längsachse L erstreckende Kanäle 14,14',... mit Dosierdüsen 15,15',..., über deren jeweils nahe der Ringnut 9 angeordneten Düsenöffnungen

16,16',... die Farbe austreten kann, wenn der Druck im Ringkanal 12 bzw. in der Farbquelle erhöht wird. Das Substrat (nicht näher dargestellt) wird vom Saugnapf 17 erfaßt und für den Transport von der ersten zur nächsten Bearbeitungsstation (beispielsweise von der Sputtervorrichtung zur Lackierstation) transportiert. Während des Transportvorgangs wird gleichzeitig aus allen vier Dosierdüsen 15,15',... Lack auf das Substrat gefördert und zwar in vier gleich großen Portionen. Das Substrat (z.B. die CD) wird dann auf einem Drehteller (nicht dargestellt) abgelegt (indem der Unterdrcuk in der Kammer 4 aufgehoben wird) und anschließend vom Drehteller in rasche Rotation versetzt. Infolge dieser Rotation verteilen sich die vier Lack-Portionen gleichmäßig über die gesamte Substratoberfläche, was gegenüber einer bekannten Vorrichtung mit nur einer ortsfesten Dosierdüse sehr schnell erfolgt.

Es ist klar, daß anstelle eines Saugkopfes 17 mit Ringnut 9 auch ein solcher Verwendung finden kann, der mit einer Vielzahl von einzelnen Saugköpfen ausgestattet ist.

Bezugszeichenliste

3	Gehäuse
4	Kammer
5	Anschluß
6	Wandteil
7	Dichtleiste
8	Dichtleiste
9	Ringnut
10	Bohrung
11	Bohrung
12	Ringkanal
13	Stutzen
14,14', . . .	Kanal
15,15', . . .	Dosierdüse
16,16», . . .	Düs enö f fnung
17	Saugkopf

Claims

Schutzansprüche

Vorrichtung zum Halten, für den Transport und für die Bearbeitung eines flachen, kreisscheibenförmigen Substrats, insbesondere einer CD oder CD-ROM, bestehend aus einem Gehäuse mit einer zentralen, an eine Unterdruckquelle anschließbaren Kammer, mit einer Vielzahl mit dieser über Saugkanäle verbundenen, auf der dem Substrat zugewandten Kammerwand verteilt angeordneten Saugnäpfen aus einem elastischen Werkstoff und mit mehreren mit einem im Gehäuse vorgesehenen Verteilerkanal korrespondierenden, etwa in der Ebene der Saugnäpfe endenden und sich parallel zu den Saugkanälen erstreckenden Dosierdüsen, wobei der Verteilerkanal mit einem Anschluß zur Verbindung mit einer Farbquelle versehen ist.

Vorrichtung zum Halten, für den Transport und für die Bearbeitung eines flachen, kreisscheibenförmigen Substrats, insbesondere einer CD oder CD-ROM, bestehend aus einem Gehäuse (3) mit einer zentralen, an eine Unterdruckquelle anschließbaren Kammer (4), mit einem mit dieser über mindestens einen Saugkanal (10,11) verbundenen, auf der dem Substrat zugewandten Kammerwand (6) angeordneten Saugkopf (17) mit Ringnut (9) und mit zwei diese begrenzenden, konzentrisch zueinander angeordneten ringförmigen Dichtleisten

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(7,8) aus einem elastischen Werkstoff und mit einer oder mehreren mit einem im Gehäuse (3) vorgesehenen Verteilerkanal (12) korrespondierenden, etwa in der Ebene der Dichtleisten (7,8) endenden und sich parallel zur Gehäuseachse (L) erstreckenden Dosierdüsen (15,15',...), wobei der Verteilerkanal (12) mit einem Anschluß (13) zur Verbindung mit einer Farbquelle versehen ist.

3. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Gehäuse (3) als rotationssymmetrischer Körper, vorzugsweise als Kreiszylinder ausgeformt ist, wobei die an die Unterdruckquelle anschließbare Kammer (4) konzentrisch zur Rotationsachse (L) des Gehäuses (3) angeordnet ist und der Verteilerkanal (12) die Kammer (4) ringförmig umschließt.

4. Vorrichtung nach den Ansprüchen 1 oder 2 und 3, dadurch gekennzeichnet/ daß die über die Kammerwand (6) hervorstehenden und auf einem Kreisbogen gleichmäßig verteilt angeordneten Dosierdüsen (15,15',...) lösbar mit dem Gehäuse (3) verbunden, beispielsweise mit diesem verschraubt sind.

5. Vorrichtung nach den vorhergehenden Ansprüchen, dadurch gekennzeichnet, daß die Saugnäpfe aus einem elastischen Werkstoff gebildet und/oder über einen Balgen mit dem Gehäuse verbunden sind.