DE2946222A1 - Piezoelektrischer resonator - Google Patents

Piezoelektrischer resonator

Info

Publication number
DE2946222A1
DE2946222A1 DE19792946222 DE2946222A DE2946222A1 DE 2946222 A1 DE2946222 A1 DE 2946222A1 DE 19792946222 DE19792946222 DE 19792946222 DE 2946222 A DE2946222 A DE 2946222A DE 2946222 A1 DE2946222 A1 DE 2946222A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
piezoelectric resonator
tuning fork
metallic
resonator according
lids
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Withdrawn
Application number
DE19792946222
Other languages
English (en)
Inventor
Raymond Huguenin
Silvano Stolz
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
SSIH Management Services SA
Original Assignee
SSIH Management Services SA
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by SSIH Management Services SA filed Critical SSIH Management Services SA
Publication of DE2946222A1 publication Critical patent/DE2946222A1/de
Withdrawn legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/10Mounting in enclosures
    • H03H9/1007Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
    • H03H9/1035Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by two sealing substrates sandwiching the piezoelectric layer of the BAW device
    • GPHYSICS
    • G04HOROLOGY
    • G04FTIME-INTERVAL MEASURING
    • G04F5/00Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards
    • G04F5/04Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses
    • G04F5/06Apparatus for producing preselected time intervals for use as timing standards using oscillators with electromechanical resonators producing electric oscillations or timing pulses using piezoelectric resonators
    • G04F5/063Constructional details
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/02Details
    • H03H9/05Holders; Supports
    • H03H9/0595Holders; Supports the holder support and resonator being formed in one body
    • HELECTRICITY
    • H03ELECTRONIC CIRCUITRY
    • H03HIMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
    • H03H9/00Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
    • H03H9/15Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
    • H03H9/21Crystal tuning forks

Description

Piezoelektrischer Resonator
Die vorliegende Erfindung betrifft einen piezoelektrischen Resonator in Form einer Stimmgabel von besonders kleinen Abmessungen.
Bei derartigen Resonatoren ist das schwingende Teil eine Stimmgabel aus piezoelektrischem Material, deren Fuß, an dem die wenigsten Schwingungen auftreten, an einer Halterung angelötet oder angeklebt ist. Anschließend wird diese Anordnung in ein Gehäuse gesetzt, das oftmals die Form einer Kapsel oder einer Ampulle aus Glas aufweist, welche von metallischen Anschlüssen durchsetzt wird, oder auch die Form einer Metallkapsel aufweist, die ebenfalls von metallischen Anschlüssen durchsetzt wird, wobei diese jedoch von der Kapsel durch Glasperlen oder Keramik isoliert sein müssen.
Zur Erzielung gleichbleibender Eigenschaften werden hochwertige Resonatoren hermetisch in die Kapsel eingeschlossen und zwar im allgemeinen unter Vakuum um so jegliche Verun-
030022/0735
reinigung zu vermeiden und Energieverluste durch die Gegenwart von Luft zu verhindern. Dabei ist es dann notwendig, daß die Durchbrüche für die elektrischen Anschlüsse vakuumdicht ausgeführt sind, wodurch viele Probleme auftreten.
Ist es nun notwendig,einen möglichst kleinen Resonator herzustellen, so treten Schwierigkeiten bei der Befestigung der Stimmgabel mit ihrem Träger auf und beim vakuumdichten Ausführen der elektrischen Anschlüsse. Insbesondere bei Resonatoren, die im Vakuum arbeiten,erfordert das kleine Innenvolumen eine absolute Dichtigkeit um die Eigenschaften auch bei jahrelangem Betrieb aufrecht zu erhalten, wodurch ein Aufheizen der Bauteile vor dem Verschließen notwendig wird, so daß kein späteres Entgasen der Oberflächen mehr auftreten kann, die sich im Inneren des vakuuirdichten Gehäuses befindet. Dieses Aufheizen erfolgt im Vakuum bei hoher Temperatur, wobei der Zeitraum umso kürzer ist, je höher die Temperatur ist. Eine obere Temperaturgrenze ist durch die Löstellen und Klebestellen sehr schnell erreicht.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, diese Nachteile zu vermeiden und einen piezoelektrischen Stimmgabelresonator zu schaffen, der nur noeh ein Minimum an getrennten Bauteilen aufweist, der in sehr kleinen Abmessungen herstellbar ist und dessen Zusammenbau und Bearbeitung erheblich einfacher ist als bei den bekannten Resonatoren.
Die Lösung dieser Aufgabe erfolgt mit dem im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenari Merkmalen. Vorteilhafte Ausgestaltungen sind in den Unteransprüchen beschrieben.
Im folgenden wird die Erfindung anhand der Zeichnung näher erläutert, in der ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel dargestellt
030022/0735
ist, es zeigen
Figur 1 einen erfindungsgemäßen Stimmgabelresonator
Figur 2 diesen Resonator in einem späteren Bearbeitungsschritt
Figur 3 einen Schnitt durch das schwingende, eingekapselte Teil des erfindungsgemäßen Resonators
Figur 4 den fertig hergestellten Resonator
Figur 5 eine auseinandergezogene Ansicht eines anderen Ausführungsbeispiels.
Figur 1 zeigt einen erfindungsgemäßen Resonator in Form einer Stimmgabel. Er wird durch entsprechendes Einschneiden eines Plättchens aus piezoelektrischem Material erhalten. Seine Form ist im allgemeinen rechteckig, wobei er zwei getrennte Bereiche aufweist, die aus1 einem einzigen ebenen Stück bestehen: Ein Mittelteil, das die Stimmgabel 1 bildet und das das schwingende Element ist,sowie ein Umfangsteil 2, das einen Rahmen bildet, der die Stimmgabel 1 vollständig umgibt und von ihr durch den Ausschnitt 3 getrennt ist. Der Ausschnitt 3 ist derartig,daß die Stimmgabel 1 ohne Unterbrechung mechanisch mit dem Rahmen 2,der als Träger dient, über den Fuß oder das Grundteil 4 verbunden ist, welches eine neutrale Zone ist und durch die Schwingungen der Stimmgabel 1 nicht beeinflußt wird.
Figur 2 zeigt einen späteren Bearbeitungsschritt, wobei eine Anordnung von bipolaren Elektroden 5 als dünne Schicht auf die Arme der Stimmgabel 1 aufmetallisiert ist, wobei die Anschlüsse derart ausgebildet sind, daß jede Elektrode oder jeder Pol mit einem Kontaktstreifen 6 in Verbindung steht, wobei
030022/0735
diese Kontaktstreifen auf gegenüberliegenden Seiten des piezoelektrischen Plättchens in Höhe des Grundteiles 4 der Stimmgabel 1 angeordnet worden sind. Der Rahmen 2 wird anschließend auf beiden gegenüberliegenden Seiten mit einer metallischen Schicht 7 bedeckt, die gut haftet und elektrisch mit dem Kontaktstreifen 6 des entsprechenden Pols verbunden ist.
Wie Figur 3 zeigt werden zwei schalenförmige Deckel 8, z.B. aus metallischen, dünnen Plättchen auf beide metallisierte Seiten 7 des Rahmens 2 über den gesamten Umfang derart aufgelegt, daß ein Umfangsrarid 9 entsteht, wobei die Plättchen keinen Kontakt mit der Stimmgabel 1 erhalten. Die Befestigung der Deckel 8 am Rahmen 2 kann bei metallischen Deckeln z.B. durch Hartlöten oder mittels eines leitenden Klebers oder iines leitendes Zementes erfolgen. Im Falle des Hartlötens kann die metallische Schicht 7 vorher mit einer geeigneten Verbindung bedeckt sein, entweder galvanisch oder durch einen Siebdruck-Prozeß . Das Ausheizen der Anordnung erfolgt anschließend im Vakuum bei einer Temperatur, die den Schmelzpunkt der Verbindung übersteigt, so daß eine Verbindung der Deckel 8 mit dem Rahmen 2 in einer neutralen Atmosphäre im Vakuum durch Schmelzen der Verbindung erfolgt und eine hermetische Abdichtung erzielt wird.
Die Deckel 8 können, sofern sie Metallisch sind, vorteilhafterweise zur Ausbildung der elektrischen Anschlüsse des Resonators dienen. Wie Figur 4 zeigt,in der das fertige Bauteil dargestellt ist, können die Deckel 8 mit Anschlußfahnen 10 jeder beliebigen Form ausgestattet sein, wie es z.B. durch die gestrichelten Teile 15 angedeutet ist. Der Rest der Kapsel kann durch einen geeigneten Lack oder Farbe geschützt und isoliert werden.
030022/0735
Figur 5 zeigt ein anderes Ausführungsbeispiel eines erfindungsgemäßen Resonators. In diesem Fall ist die metallische Schicht 7 auf dem Rahmen 2 erheblich dicker als beim vorhergehenden Ausführungsbeispiel, so daß diese als Deckel 8 verwendet werden kann, der vollständig eben ist und trotzdem keinen Kontakt mit der Stimmgabel 1 aufweist. Die Deckel 8 können entweder metallisch oder aus einem isolierendem Material, wie Glas,Keramik oder sogar Quarz bestehen. In diesem Fall wird dann jeder Deckel 8 auf einer seiner Seiten mit einer metallischen Schicht 11 bedeckt, die den Rahmen bildet. Diese dicke Schicht 11 erhält dann wie im vorhergehenden Fall Anschlußfahnen 10. Der Zusammenbau erfolgt wie oben beschrieben.
030022/0735

Claims (6)

Patentansprüche
1. Piezoelektrischer Resonator in Form einer Stimmgabel, dadurch gekennzeichnet , daß das schwingende Teil und seine Halterung aus einem einzigen, ebenen, aus einem Plättchen geschnittenen Stück bestehen, wobei das Mittelteil die Form der Stimmgabel aufweist und das Umfangsteil den Halterrahmen bildet und beide Teile über den Fuß der Stimmgabel miteinander in Verbindung stehen, und daß die obere und untere Fläche des Halterrahmens die Befestigungsbereiche für zwei ebene oder gewölbte Deckel sind.
030022/0735
ORIGINAL INSPECTED
2. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckel metallisch sind und an einer metallischen Schicht angelötet sind, welche auf der oberen und unteren Fläche des Halterrahmens angeordnet sind, um so die elektrischen Anschlüsse des Resonators zu bilden.
3. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Schicht sehr dünn ist und die Deckel gewölbt sind.
4. Piezoekeltrischer Resonator nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die metallische Schicht sehr dick ist und die Deckel eben sind.
5. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckel isolierend sind und daß der Halterrahnien auf seiner oberen und unteren Fläche eine dicke, metallische Schicht trägt, auf der die Deckel aufliegen, wobei die Schicht mit nach außen ragenden,als elektrische Anschlüsse dienenden Fahnen versehen ist.
6. Piezoelektrischer Resonator nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Deckel eben sind und aus isolierendem Material, wie Glas, Keramik oder Quarz bestehen und auf einer Seite mit einer metallischen einen Rahmen formenden Schicht versehen sind.
030022/0735
DE19792946222 1978-11-16 1979-11-15 Piezoelektrischer resonator Withdrawn DE2946222A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR7833349A FR2441959A1 (fr) 1978-11-16 1978-11-16 Resonateur piezoelectrique a diapason

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2946222A1 true DE2946222A1 (de) 1980-05-29

Family

ID=9215346

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19792946222 Withdrawn DE2946222A1 (de) 1978-11-16 1979-11-15 Piezoelektrischer resonator

Country Status (5)

Country Link
JP (1) JPS5568717A (de)
CH (1) CH633921A5 (de)
DE (1) DE2946222A1 (de)
FR (1) FR2441959A1 (de)
GB (1) GB2040560B (de)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3539504A1 (de) * 1985-11-07 1987-05-21 Schott Glaswerke Flachgehaeuse zur hermetischen kapselung von piezoelektrischen bauelementen

Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CH626479A5 (de) * 1979-07-05 1981-11-13 Suisse Horlogerie
EP0100501B1 (de) * 1982-07-28 1989-02-08 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Schwingungssensor
GB2202989B (en) * 1987-04-02 1991-01-09 Stc Plc Crystal resonnator
JP2591758Y2 (ja) * 1991-10-31 1999-03-10 株式会社小松製作所 切粉処理装置
JP3189620B2 (ja) * 1995-04-12 2001-07-16 株式会社村田製作所 圧電振動子
CA2327734A1 (en) * 1999-12-21 2001-06-21 Eta Sa Fabriques D'ebauches Ultra-thin piezoelectric resonator

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR911761A (fr) * 1945-02-02 1946-07-19 Thomson Houston Comp Francaise Perfectionnements aux cristaux piézo-électriques
US3745385A (en) * 1972-01-31 1973-07-10 Matsushita Electric Ind Co Ltd Piezoelectric ceramic resonator
CH578803A5 (de) * 1974-05-14 1976-08-13 Suisse Horlogerie
JPS5291678A (en) * 1976-01-29 1977-08-02 Seiko Instr & Electronics Ltd Profile slide vibrator
JPS5296880A (en) * 1976-02-09 1977-08-15 Citizen Watch Co Ltd Crystal oscillator holder
JPS5375892A (en) * 1976-12-17 1978-07-05 Seiko Instr & Electronics Ltd Crystal vibrator
JPS5387192A (en) * 1977-01-11 1978-08-01 Sharp Corp Production of crystal vibrator
JPS5398793A (en) * 1977-02-09 1978-08-29 Seiko Epson Corp Piezo electric vibrator

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3539504A1 (de) * 1985-11-07 1987-05-21 Schott Glaswerke Flachgehaeuse zur hermetischen kapselung von piezoelektrischen bauelementen
US4742182A (en) * 1985-11-07 1988-05-03 Schott Glaswerke Flatpack for hermetic encapsulation of piezoelectric components

Also Published As

Publication number Publication date
GB2040560B (en) 1983-10-19
FR2441959B1 (de) 1982-03-12
CH633921A5 (fr) 1982-12-31
FR2441959A1 (fr) 1980-06-13
GB2040560A (en) 1980-08-28
JPS5568717A (en) 1980-05-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE2946162C2 (de)
DE2659871B2 (de) Vakuumleistungsschalter und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2843577C2 (de)
DE2105508A1 (de) Piezoelektrisches Element
DE19510850C1 (de) Vakuumschaltröhre
DE3931774C2 (de)
DE2326614A1 (de) Verfahren zum hermetischen abdichten eines behaelters, insbesondere des gehaeuses eines halbleiters, durch aufsetzen einer deckplatte und verfahren zum herstellen einer solchen deckplatte
DE2718273A1 (de) Verfahren zum vakuum-abdichten eines vakuum-gegenstandes
DE3835921C2 (de) Überspannungsableiter mit Luftfunkenstrecke
DE2946222A1 (de) Piezoelektrischer resonator
DE642693C (de) Koernermikrophon, bei dem die Koernerkammer besondere Vorratsraeume enthaelt
WO2002049056A1 (de) Verbindungsbereich zwischen gehäuseteilen einer vakuumschaltröhre und vakuumschaltröhre mit einem solchen verbindungsbereich
DE687870C (de) Entladungsgefaess bildender Glasteile
DE1267305B (de) Vakuumschaltergehaeuse
DE1564665B2 (de) Halbleiterbauelement und Verfahren zu seiner Herstellung
DE2535986A1 (de) Elektrische hochdruck-entladungsroehre
DE424187C (de) Verfahren zur Abdichtung von zwei aufeinanderliegenden Metallflaechen
DE2044277A1 (de) Verfahren zum hermetischen Abdichten und Evakuieren \on Vakuumgehausen
DE1106408B (de) UEberspannungsableiter
DE1045887B (de) Gasdichte Verbindung zwischen einem Metall und einem isolierenden Werkstoff und Verfahren zu ihrer Herstellung
DE3418156A1 (de) Elektrische durchfuehrung durch eine metallplatte
DE1564437C3 (de) Elektrische Entladungsröhre mit einer Gasfüllung und mit einer Metallwand, in der mindestens eine Elektrode durch keramische Körper isoliert und vakuumdicht befestigt ist
DE2253826C (de) Kaltpreßschweißbare Gehausebau teile und Verfahren zur Herstellung derselben
CH543805A (de) Vakuum-Schalter
DE908634C (de) UEberspannungsableiter

Legal Events

Date Code Title Description
8139 Disposal/non-payment of the annual fee