DE1045887B

DE1045887B - Gasdichte Verbindung zwischen einem Metall und einem isolierenden Werkstoff und Verfahren zu ihrer Herstellung

Info

Publication number: DE1045887B
Application number: DEE12031A
Authority: DE
Inventors: Jack Keyes Brown; Kenneth William Brown; Ronald Henry Joseph Tyson; Roderick Francis Well
Original assignee: English Electric Co Ltd
Current assignee: English Electric Co Ltd
Priority date: 1955-03-02
Filing date: 1956-03-01
Publication date: 1958-12-04

Description

Die Erfindung betrifft gasdichte Verbindungen zwischen einem Metall und einem vorzugsweise formbaren isolierenden Werkstoff, der bei der Temperatur, unter welcher die Verbindung hergestellt wird, nicht flüssig ist. Der Einfachheit halber wird im folgenden zur Beschreibung eines solchen Werkstoffes der Ausdruck »Keramik« verwendet.

An einen solchen Werkstoff, der für diesen Zweck verwendet werden soll, stellt man unter anderem die technischen Anforderungen, daß er gasdicht ist und für eine gasdichte Verbindung mit einem Metall geeignet ist. Außerdem ist es in wirtschaftlicher Hinsicht wünschenswert, daß der Werkstoff billig ist und leicht in jeder gewünschten Form hergestellt werden kann. Bestimmte Arten von Porzellan-Keramik-Werkstoffen erfüllen diese Bedingungen weitgehend und besitzen den zusätzlichen Vorteil guter mechanischer Festigkeit. Nicht poröse, gesinterte oder geschmolzene Oxydkörper können verwendet werden, insbesondere wenn bestimmte elektrische Eigenschaften gewünscht werden.

Die bisher bekannten Einrichtungen waren jedoch teuer und kompliziert im Hinblick auf die erforderlichen Hilfsmittel, die zum Errichten der verschiedenartigen Teile verwendet werden mußten, um diese in ihrer gewünschten gegenseitigen Lage während der Montage und während der Herstellung des vakuumdichten Verschlusses festzulegen. Sofern z. B. scheibenartige Verschlüsse verwendet wurden, die in Form eines Stapels angeordnet waren, war es erforderlich, sowohl die Einzelteile manuell zueinander auszurichten und sie außerdem zusammenzuklemmen, damit die Herstellung des vakuumdichten Abschlusses erfolgen konnte. Oder man war darauf angewiesen, komplizierte Hilfsiehren zu verwenden, um die einzelne Teile in ihrer gegenseitigen Lage während der Herstellung des vakuumdichten Verschlusses zu halten.

Die Metall-Keramik-Verbindung weist in bekannter Weise zwei keramische Endteile zylindrischer Gestalt und einen dazwischengefügten flachen Ring auf, welcher den stirnseitigen Begrenzungen der Endteile entspricht. Das Kennzeichen der Erfindung besteht darin, daß an dem metallischen Ring beiderseits der Ringebene und außerhalb der Keramikteile vorspringende Zentrierteile vorgesehen sind, welche den Ring gegen die beiden angrenzenden Keramikteile radial festlegen, wobei die Stirnseiten der Endteile mit den entsprechenden Flächen des Ringes durch Dichtungsmaterial verbunden sind.

Die Zentrierteile können mit dem Metallteil aus einem Stück bestehen und gegebenenfalls dadurch gebildet werden, daß von dem Rand des Ringteiles Lappen in der einen bzw. anderen Richtung abgebogen werden. Sie können jedoch auch in der Weise gebildet werden, daß der Außenrand des Ringteiles gespalten Gasdichte Verbindung

zwischen einem Metall

und einem isolierenden Werkstoff

und Verfahren zu ihrer Herstellung

Anmelder:

The English Electric Company Limited,
London

Vertreter: Dipl.-Ing. C. Wallach, Patentanwalt,
München 2, Kaufingerstr. 8

Beanspruchte Priorität:
Großbritannien vom 2. März 1955

Jack Keyes Brown, Roderick Francis Well_r

Kenneth William Brown
und Ronald Henry Joseph Tyson,

Stafford (Großbritannien),
sind als Erfinder genannt worden

und beiderseits ein kurzer Zylinder gebildet wird, indem das Metall aus der Mittelebene durch Bearbeitung, Drücken oder Rollen umgelegt wird. Für viele Zwecke genügt es jedoch, wenn man einen Doppelrand vorsieht, der mit dem Metallteil nicht ein Stück bildet, sondern für sich hergestellt und durch Rollen, Formschmieden oder Pressen angepaßt ist. Ein Vorteil einer derartigen Ausbildung liegt darin, daß der Ringteil auf diese Weise beträchtlich versteift werden kann, wodurch die Gefahr vermindert wird, daß seine Oberflächen nicht genügend eben sind, um einen genügenden Abschluß zu bilden.

Es können Metall-Keramik-Kombinationen mit angepaßter Ausdehnung und ebenso auch nicht angepaßte »weiche« Metall-Keramik-Dichtungen verwendet werden, unter Anwendung von bekannten Bindemitteln, wie Glas- bzw. Lötmetall-Bindemittel.

Durch Verwendung eines doppelten Zentrierrandes für das Metallteil können die Dichtungen in einem Ofen gestapelt werden ohne Verwendung von Lehren, wobei nur die Außenflächen der keramischen Teile genaue Abmessungen haben müssen, um die Schleifbearbeitung zu erleichtern, wo diese erforderlich ist. Durch Anwendung der beschriebenen Maßnahmen kann ein komplizierter Dichtungsaufbau, der mehrere

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Dichtungen umfaßt, in einem Ofen gestapelt aufgebaut oder einem anderen wärmebeständigen Material, des-

werden, ohne daß komplizierte Lehren erforderlich sen Innenbohrung mit der gewünschten Genauigkeit

sind. hergestellt ist. Wenn ein Metallrand außen an jeder

Wenn eine Abdichtung den Abschluß eines Gebildes Scheibe vorgesehen ist, kann er so angeordnet werden,

darstellt, kann der Ringteil des Metallteiles nur an S daß er in das Lehrenrohr bei der Dichtungstemperatur

einer Seite an ein Keramikteil angeschmolzen werden. paßt und die genaue Lage der Keramikteile bei dieser

Es hat sich jedoch gezeigt, daß die Festigkeit der Dich- Temperatur gewährleistet.

tung dabei vermindert ist, insbesondere wenn der Wenn noch höhere Genauigkeit erwünscht ist, kön-

Durchmesser größer ist als etwa 2,5 cm. Nach einer nen die Metallteile eine Innenöffnung von gleicher oder

Ausgestaltung der Erfindung wird daher bei einem io abnehmender Größe erhalten, wobei eine entsprechende

Endabschluß das Metallteil an einer Seite an das letzte Lehre in diese Öffnungen paßt

Keramikteil, welches zu dem gasdichten Kolben ge- Weitere Einzelheiten und Vorteile der Erfindung hört, und ferner an der anderen Seite an ein weiteres ergeben sich aus der folgenden Beschreibung von Aus-Keramikteil, welches nicht zu dem eigentlichen Kolben führungsbeispielen an Hand der Zeichnung. In der gehört, angeschmolzen. 15 Zeichnung zeigen

Die gemäß der Erfindung ausgebildete Dichtung Fig. 1, 2 und 3 geschnittene Ansichten von Dichkann bei allen Geräten Anwendung finden, die üblicher- tungsscheiben, die an ihrem Umfang mit abwechselnweise Glas-Metall- oder andere wärmebeständige den Zentrierteilen versehen sind,
Dichtungen bzw. Verbindungen aufweisen, wodurch Fig. 4 den Schnitt einer Röhre mit drei Dichtungsdie Herstellung wesentlich vereinfacht wird. Dies gilt 20 scheiben,

besonders für elektrische Entladungsgeräte, bei wel- Fig. 5 einen Schnitt eines Endverschlusses,

chen in das Vakuumgefäß zahlreiche Leitungseinfüh- Fig. 6 einen Schnitt einer weiteren Ausführung

rungen eingeführt sind. eines Endverschlusses,

Beispielsweise können bei Beschleunigungsröhren Fig. 7 einen Schnitt einer Dichtung mit einer

für elektrostatische Bandgeneratoren (z. B. Van-de- 25 Scheibe, welche unmittelbar eine Elektrode aus an-

Graaf-Generatoren) metallische Einführungen etwa in derem Werkstoff trägt,

Abständen von 2,5 cm auf der ganzen Länge der Röhre Fig. 8 einen Schnitt einer Mehrelektrodenröhre mit

(die 1 m oder mehr sein kann) für die Potentialflächen einer dazu passenden Außenlehre,

erforderlich sein. Eine solche Röhre kann in einem Fig. 9 einen Schnitt einer Mehrelektrodenröhre mit

Ofen ohne Lehren mit den die Elektroden tragenden 30 einer dazu passenden Innenlehre,

Dichtungsscheiben gestapelt aufgebaut werden. Die Fig. 10 einen Schnitt eines keramischen Teiles von

Enden können in Flanschen zur Verbindung mit einem besonderer Form.

Vakuumsystem od. dgl. abgeschlossen sein, oder sie Gemäß Fig. 1 ist eine Scheibe 1 an ihrem Umfang

können dauernde Verschlüsse zur Verwendung im ab- mit einer Anzahl von Lappen 1 α und 1 b versehen. Die

geschmolzenen Zustande haben. 35 Lappen la und 1 b sind abwechselnd rechtwinklig nach

Dichtungsanordnungen für Ouecksilberdampfgleich- oben und unten gebogen. Die Scheibe 1 kann dann zur

richter, Mehrelektrodenventile, Transformatoren mit Formung einer Scheibendichtung zwischen zwei zy-

Flüssigkeits- oder Gasfüllung und Kondensatoren wer- lindrischen Porzellanteilen verwendet werden, wobei

den gewöhnlich als mit Metall abgeschlossene Ein- die Lappen 1 α und 1 b dazu dienen, die Scheibe zwi-

heiten ausgebildet, welche nach Dichtung mit Elek- 40 sehen den zylindrischen Teilen zu zentrieren, was da-

troden oder Verbindungen versehen werden. Sie durch geschieht, daß die Lappen an den äußeren Um-

können dann durch Metall-Metall-Verbindungen in fangen der zylindrischen Teile anliegen,

den Hauptkolben oder Behälter eingeschmolzen werden. Gemäß Fig. 2 wird eine Scheibe 2 zunächst längs

Kalte Elektrodenanordnungen, wie Vakuumkonden- ihres Umfanges aufgeschnitten, wodurch zwei Ränsatoren und elektronische Ventile mit Elementen, wel- 45 der 2 a und 2 b gebildet werden, die z. B. durch Rollen ehe der Wärmebehandlung während des Einschmelzens verformt werden, so daß sie die abgebildeten Formen widerstehen, können als vollständiges Gefäß in einer annehmen und Umfangs-Zentrierränder bilden,
geeigneten Atmosphäre mit den angebrachten Elek- Gemäß Fig. 3 ist eine Scheibe 3 mit einem getrenntroden eingeschmolzen werden, wobei nachträglich nur ten Zentrierkranz 3 α versehen, der sich nach beiden die Evakuierung durchzuführen ist. 50 Seiten ihrer Mittelebene erstreckt. Der Kranz 3 a kann

Indem die Abdichtungen in einem Vakuumofen mit an der Scheibe durch einen Preßvorgang angebracht gelöteten Verbindungen hergestellt werden, können werden. Ein verbesserter elektrischer Kontakt und solche Geräte auch in dem Ofen gedichtet und ver- eine erhöhte Festigkeit kann ferner erzielt werden, inschlossen und aus ihm in fertigem Zustande entnom- dem man den Kranz an die Scheibe mit Hartlot, z. B. men werden. 55 Kupfer, anlötet. Gemäß Fig. 4 sind drei Scheiben 3

Für die meisten Zwecke kann eine genügend genaue der in Fig. 3 dargestellten Art mit inneren zylindri-Ausrichtung erreicht werden, indem man einfach die sehen Ansätzen 3 b zwischen zylindrische Porzellankeramischen Teile und die Metallteile stapelt und die teile 4 eingesetzt. Die Stirnflächen der Porzellanteile Dichtungen in einem Ofen fertigstellt. Es kann jedoch sind eben geschliffen. Die äußeren Flächen der Zylindie anfängliche Genauigkeit während der Wärme- 60 der 4 sind ebenfalls geschliffen, so daß sie in die Kränze behandlung so weit beeinträchtigt werden, daß dies für 3a der Scheiben 3 hineinpassen,
manche Anwendungen nachteilig wäre. Nach einer Der keramische Teil kann jede beliebige Form haben, weiteren Ausgestaltung der Erfindung können daher ist jedoch gewöhnlich eine Variante eines Zylinders die über die Außenseite der keramischen Teile vor- oder Kegels, der Hochspannungsschirme u.dgl. je springenden Stücke der Metallteile während der 65 nach den Erfordernissen aufweisen kann. Die Isolator-Wärmebehandlung durch eine Lehre festgelegt oder teile 4 werden zur Bildung der Dichtungsflächen durch zentriert werden. Die keramischen Teile und die Flachschleifen ihrer Stirnflächen vorbereitet. Jede Metallteile sind vorzugsweise in Form von Zylindern zylindrische Fläche ist außen mindestens in dem und Scheiben ausgebildet, und in diesem Falle besteht schmalen Bereich geschliffen, mit welchem er den Zenclk' Lehre zweckmäßig aus einem Rohr aus Graphit 70 trierkranzSa berührt. Die weitere Bearbeitung hängt

von der Art der zu verwendenden Verbindung ab und kann im Vorglasieren, Emaillieren oder Vormetalliüieren bestehen, wobei die Überzüge dieser Materialien genau aufgebracht werden. Für die Metallteile 3 kann eine ähnliche Vorbereitung erforderlich sein. Da es bei vielen Anordnungen nicht möglich ist, innerhalb der geschlossenen Anordnung zu hantieren, werden an den Metallteilen 3 der Verbindung vor dem Herstellen der Verbindung Elektroden oder Elektrodenhalter angebracht.

Die Keramikteile 4 werden in die Zentrierkränze 3 a der Metallteile eingesetzt und werden, in dieser Weise ineinandergesteckt, in den Ofen gesetzt, in welchem die Einschmelzung stattfindet. Gewöhnlich, wenn auch nicht notwendigerweise, wird in dem Ofen eine geregelte Atmosphäre eines inerten oder reduzierenden Gases verwendet. Einige Einschmelzungen, z. B. die, bei denen Titan- oder Zirkonbindungen verwendet werden, werden im Vakuumofen ausgeführt.

Die Anordnung wird von Zimmertemperatur bis über den Fließpunkt des Dichtmittels erhitzt, in einigen Fällen durch stufenweises Erhitzen, und dann abgekühlt. Bei der Temperatur, bei welcher das Dichtmittel fließt, setzen sich die aufeinandergesteckten Teile, und überflüssiges Dichtmittel wird seitlich nach außen gequetscht, so daß ein die gasdichte Verbindung bewirkender Film zurückbleibt. Zur Durchführung dieses Vorganges kann die ineinandergesteckte Anordnung mit Gewichten belastet werden. Eine Bewegung der Teile in jeder anderen als der axialen Richtung während des Abdichtens wird durch die Zentrierkränze oder -ränder verhindert.

Nach Herausnehmen aus dem Ofen können weitere Elektroden an den Tragröhren oder Ansätzen angebracht werden, um die Anordnung in eine Haupthülle einzuschweißen oder zu löten. Bei der Mehrzahl der Anwendungen für technische Entladungsventile und Durchführungen ist die Zentrierung der Bestandteile in der beschriebenen Weise von befriedigender Genauigkeit. Dies trifft insbesondere für die keramischen Teile zu, da sie einen Teil der Hülle bilden, wo die radiale Genauigkeit über diejenige hinaus, welche durch den Zentrierrand gewährleistet ist, die Arbeitsweise der Einrichtungen nicht beeinträchtigt.

Zur Dichtung der Keramik-Metall-Verbindung kann jeder der bekannten Dichtungsstoffe verwendet werden. Bei Bindungen von geringer Festigkeit, wie von Glasemail und Glas, kann eine Ausdehnungsanpassung wünschenswert sein. Es können auch metallische Bindungen verwendet werden, wobei ihre Art von der Anwendung des Gerätes abhängt. Zur Verwendung in Vakuumröhren müssen beispielsweise Lötlegierungen mit niedrigem Dampfdruck verwendet werden. Bindemittel der Art von Reaktionsmetallen, wie Titan und Zirkon und Wolfram—Nickel, Molybdän—Eisen, welche auch zur Bildung von metallbenetzenden Bindungen mit Keramikteilen reagieren, müssen vorgesehen werden, um Übergangsschichten zwischen den Keramik- und den Metallteilen der Dichtung zu bilden.

Wenn eine keramische Hülle abgeschlossen werden soll, so kann der Endverschluß durch eine Dichtungsscheibe zwischen dem zylindrischen Keramikteil und einer keramischen Kappe vorgesehen werden. In anderer Weise kann auch als Endverschluß ein Metallteil vorgesehen werden, welches als Elektrodenhalter gemäß Fig. 5 dienen kann. In diesem Falle wird ein keramischer Zylinder 5 mit einer Scheibe 6 vereinigt, die einen doppelten äußeren Zentrierrand 6 α aufweist und aus welcher ein Napf 7 herausgedrückt ist, durch welchen ein Leiter oder eine Elektrode 8, z. B. durch Schweißverbindung, dicht herausgeführt ist. Um die Beanspruchungen der Dichtung zwischen Scheibe 6 und Zylinder 5, welche z. B. auf Abweichungen der Wärmeausdehnung zwischen dem keramischen Stoff und dem Metall beruhen, möglichst zu vermindern, ist ein weiteres keramisches Teil 9 in Form eines Ringes oder eines kurzen Zylinders auf die Scheibe 6 auf der dem Zylinder 5 gegenüberliegenden Seite aufgedichtet.

Fig. 6 zeigt eine Bauart, bei welcher eine am Ende

ίο eines keramischen Kolbens 10 angeordnete Dichtungsscheibe die Verbindung mit einem Kolbenteil aus einem anderen Material, z. B. aus Stahl, vermittelt. Die Scheibe 11 weist einen langen Flansch 12 auf, welcher längs seines Umfanges bei 13 mit einer Sicke versehen ist, die einen Zentrierrand bildet. Außerdem ist ein weiterer Zentrierring 14 auf der anderen Seite vorgesehen. Die Scheibe 11 ist zwischen dem Kolben 10 und einem keramischen Ring oder einem kurzen Zylinder 15 eingeschmolzen, um die Beanspruchungen der

ao Dichtung zwischen Scheibe 11 und Kolben 10 möglichst herabzumindern. Der Flansch 12 ist an dem metallischen Kolbenteil 16 angeschweißt.

Wenn, wie beispielsweise in Fig. S dargestellt, die Dichtungsscheibe mit einem Leiter oder einer Elektrode aus anderem Material durch eine napfförmige Ausdrückung verbunden wird, ist eine gewisse Länge des Napfes erforderlich, um die Beanspruchungen, welche auf die Dichtung infolge verschiedener Ausdehnung ausgeübt werden, auf ein zulässiges Maß zu beschränken.

Fig. 7 zeigt eine Anordnung, bei welcher die Beanspruchungen auf ein zulässiges Maß herabgesetzt werden und welche weniger Raum in Anspruch nimmt als eine entsprechende flache Napfausdrückung. In diesem Falle ist eine Scheibe 17 zwischen zwei keramischen Zylindern 18, 19 eingeschmolzen und an der Innenfläche mit mehreren einwärts gerichteten Lappen 20 versehen, die durch Ausschneiden der Scheibe gebildet sind. Die Lappen 20 sind winklig aus der Scheibenebene herausgebogen, wobei ihre Enden an einer Elektrode 21 angeschweißt oder irgendwie befestigt sind. Die Lappen können so gestaltet und im Querschnitt geschwächt sein, daß sie einerseits zum Halten der Elektrode genügend kräftig sind und andererseits an der Dichtung keine übermäßige Beanspruchung infolge der Befestigung der Elektrode auftritt.

Fig. 8 zeigt eine Mehrfachdichtung eines keramischen Kolbens, bei welcher Scheiben 22 zwischen keramischen Zylindern 23 eingeschmolzen sind, wobei die Anordnung derjenigen nach Fig. 4 entspricht und das Dichtungsverfahren in gleicher Weise durchgeführt wird. Es sei bemerkt, daß zwischen den Innenflächen der Ränder 22 α und den Außenflächen der Zylinder 23 ein gewisses Spiel erforderlich ist und daß in der Ausrichtung der Zylinder ein additiver Fehler auftreten kann, wenn nur die Ringe 22 α zur Zentrierung der Scheiben 22 vorgesehen sind. In den Fällen, wo ein solcher Fehler nicht zulässig wäre, kann eine Lehre benutzt werden, die aus einer Grundplatte 24 und einem Teil 25 besteht, welches den ganzen Aufbau umgibt und die Ringe 22 α genau zueinander zentriert. Die Lehre kann aus Graphit oder einem anderen feuerfesten Material bestehen.

Fig. 9 veranschaulicht einen anderen Lehrenaufbau, der in solchen Fällen anwendbar ist, wo Scheiben 26 mit ausgerichteten öffnungen von gleicher oder allmählich abnehmender Größe vorgesehen werden können. In diesem Falle ist eine Lehre 27 vorgesehen, deren Teile in die verschiedenen Öffnungen passen, wodurch die Scheiben 26 während der Herstellung der

Dichtung, d.h. beim Verschmelzen mit den keramischen Zylindern 28, in genauer Ausrichtung gehalten werden.

Bei zahlreichen Anwendungen werden die keramischen Teile gemäß der Erfindung im wesentlichen zylindrische Form haben. Die Stirnflächen dieser Teile werden geschliffen, so daß sie auf die entsprechenden Metallteile passen, während die äußeren Zylinderflächen gewöhnlich geschliffen werden, damit sie in die betreffenden Ränder der Metallteile passen.

Fig. 10 zeigt im Querschnitt eine bevorzugte Form eines keramischen Zylinders 29. Dieser Zylinder ist mit einem vorspringenden Bund oder Flansch 30 an jedem Ende geformt. Um den Zylinder zum Einpassen in den Rand eines Metallteiles zu schleifen, wird nur der Bund 30 geschliffen, während die dazwischenliegende Außenfläche 31 des Zylinders in seinem ursprünglichen Zustand verbleibt. Diese Form eines keramischen Zylinders ist besonders vorteilhaft, wenn die Fläche 31 glasiert ist.

Claims

Patentansprüche:

1. Gasdichte Verbindung zwischen einem Metall und einem Keramikteil mit zwei keramischen Endteilen zylindrischer Gestalt und einem dazwischengefügten flachen metallischen Ring, welcher den stirnseitigen Begrenzungen der Endteile entspricht, dadurch gekennzeichnet, daß an dem metallischen Ring beiderseits der Ringebene und außerhalb der Keramikteile vorspringende Zentrierteile vorgesehen sind, welche den Ring gegen die beiden angrenzenden Keramikteile radial festlegen, wobei die Stirnseiten der Endteile mit den entsprechenden Flächen des Ringes durch Dichtungsmaterial verbunden sind.

2. Verbindung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrierteile mit dem Metallteil ein Stück bilden und durch Verformung des Außenrandes des Ringteiles hergestellt sind.

3. Verbindung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrierteile durch mehrere Randlappen (1 a, 1 b) gebildet sind, von denen wenigstens je drei nach der einen bzw. anderen Seite aus der Ebene des Ringteiles (1) abgebogen sind.

4. Verbindung nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrierteile durch ringsum laufende Ränder (2 a, 2 b) gebildet sind, welche durch Abbiegen der längs des Umfanges aufgeschnittenen Scheibe (2) geformt sind.

5. Verbindung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zentrierteile aus einem getrennten Kranz (3 a) bestehen, der an dem Metallteil (3) befestigt ist.

6. Verbindung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallteil (3) mit dem Kranz (3 a) durah Preßsitz verbunden ist.

7. Metallischer Abschluß eines zylindrischen Keramikteiles nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das abschließende Metallteil (7,12) einen ebenen Ringteil (6,11) aufweist, welcher der Stirnfläche des Keramikteiles (5,10) entspricht, und daß ein weiteres zylindrisches Keramikteil (9,15) auf der gegenüberliegenden Seite der Ringflädhe (6,11) des Metallteiles vorgesehen ist, wobei Zentrierteile (6 a, 13, 14) von diesem Metallteil beiderseits der Ringebene die beiden Keramikteile zentrieren.

8. Verbindung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallteil (7,8) einen gasdichten Verschluß einer rohrförmigen Einheit bildet.

9. Verbindung nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß das Metallteil (11) einen rohrförmigen Ansatz (12) aufweist, welcher mit einem Metallteil (16) des Hauptgefäßes einer elektrischen Entladungseinrichtung zu verbinden ist.

10. Verbindung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der rohrförmige Ansatz (12) in der Nähe seiner Verbindung mit dem Metallteil (11) verformt ist, um Zentrierteile zu bilden, die mit dem weiteren Keramikteil (15) zusammenwirken, wobei ein besonderer Kranz (14) mit dem Ansatz verbunden ist, um Zentrierteile zu bilden, die mit dem ersten Keramikteil (10) zusammenwirken.

11. Anordnung nach den Ansprüchen 1 bis 6,. dadurch gekennzeichnet, daß das Metallteil (17) einen Elektrodenhalter aufweist, der aus mehreren aus der Ebene des Metallteiles (17) abgebogenen Lappen (20) besteht, an dessen Enden die Elektrode (21) befestigt ist.

12. Anordnung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß die Lappen (20) mit dem Metallteil (17) ein Stück bilden und derart geschwächt oder gestaltet sind, daß die Beanspruchungen der Verbindung, welche auf der unterschiedlichen Ausdehnung der Elektrode (21) bzw. des Metallteiles beruhen, herabgesetzt werden.

13. Anordnung nach einem der Ansprüche 1 bis 12, dadurch gekennzeichnet, daß das an der Verbindung beteiligte Keramikteil (31) einen Bund oder Flansch (30) aufweist, welcher in den Kranz des entsprechenden Metallteiles paßt.

14. Anordnung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß der Bund oder Flansch (30) zur Einpassung geschliffen ist.

15. Verfahren zur Herstellung einer dichten Verbindung nach einem der Ansprüche 1 bis 14, dadurch gekennzeichnet, daß die Keramikteile und Metallteile unter Zwischenfügung von Dichtungsmaterial gestapelt und der Stapel der Wärmebehandlung unterworfen wird, um die dichte Verbindung mit den beiden angrenzenden Flächen zu bewirken.

16. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallteile während der Herstellung der dichten Verbindungen durch eine Lehre ausgerichtet werden, welche sie umgibt und ihre Ränder zentriert.

17. Verfahren nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß die Metallteile während der Herstellung der dichten Verbindungen durch eine Lehre ausgerichtet werden, welche in innere Öffnungen der Metallteile eingreift.

In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschriften Nr. 882 827, 948 343.

Hierzu 1 Blatt Zeichnungen