DE2910580B2 - Ausrichtvorrichtung - Google Patents

Ausrichtvorrichtung

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    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F9/00Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
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    • G03F9/7088Alignment mark detection, e.g. TTR, TTL, off-axis detection, array detector, video detection

Description

Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Ausrichten eines auf einem in wenigstens einer <i-Achsrichtung einstellbaren Träger im Blickfeld einer Fernsehkamera angeordneten Objekts in bezug auf eine bekannte Bezugsposition, wobei die Fernsehkamera eine Fläche des Objekts und einen das Objekt umgebenden Randbereich in einem Zeilenraster abta- ■;"> stet und elektrische Videosignale erzeugt, die einem Bild des abgetasteten Bereichs entsprechen, mit einer Digitalisierungsanordnung. welche die Videosignale empfängt und daraus digitale Videosignale mit zwei Signalw erten bildet, die für die vom Objekt stammenden "■'> Videosignale überwiegend einen ersten Signalwert und für die vom Randbereich stammenden Videosignale den zweiten Signalwer: !-,Jocn. Analyyeanordnungen zur Analyse der digitalen Videosignale in wenigstens einer Gruppe von Datenfenstern, die getrennten örtlichen v> Bereichen des Videobildes entsprechen, die in einer zugeordneten Achsrichtung vorbestimmte Abstände voneinander und unterschiedliche Abstände von einer zugeordneten Kante des Bildes des Objekts haben, wobei die Analyseanordnungen auf das Erscheinen von w» digitalen Videosignalen des ersten Signalwerts in jedem Datenfenster ansprechen und für jede Datenfenster gruppe Ausgangssignale liefert, welche von der Anzahl der in einem vorgegebenen Sinne in der zugeordneten Achsrichtung in ununterbrochener Reihenfolge gezähl- »ö ten Datenfenster abhängt, in deren Verlauf der Anteil an digitalen Videosignalen des ersten Signalwerts einen vorbestimmten Mindestwert überschreitet, und mit einer Steueranordnung, welche die Stellung des Trägers um einen von den Ausgangssignalen der Analyseanordnungen nach Größe und Richtung abhängigen Betrag verändert.
Eine Vorrichtung der vorstehend angegebenen Art ist Gegenstand der älteren Patentanmeldung P 28 03 635.5. Bei dein in dieser älteren Patentanmeldung beschriebenen Ausführungsbeispiel sind für jede Achsrichtung der Verstellung des Trägers zwei Datenfenstergruppen vorgesehen, die paarweise zu beiden Seiten des Objekts liegen, so daß in der Ausrichtstellung des Objekts keine Überlappung zwischen dem Bild des Objekts und den den Datenfenstern entsprechenden Videobildbereichen besteht, während bei Fehlausrichtung, je nach deren Richtung, die Videobildbereiche von einem oder mehreren Datenfenstern der einen oder der anderen Datenfenstergruppe vom Bild des Objekts überlappt werden. Die Anzahl der überlappten Datenfenstervideobildbereiche ist dann ein Maß für die Größe der Fehlausrichtung, und die Datenfenstergruppe, zu der die überlappten Datenfenster-Videobildbereiche gehören, zeigt die Richtung der Fehlausrichtung an.
Aus der DE-AS 22 25 011 ist andrerseits eine Ausrichtvorrichtung bekannt, bei der jeder Achsrichtung der Verstellung nur eine Datenfenstergruppe zugeordnet ist. Bei dieser bekannten Ausrichtvorrichtung entsprechen die Datenfenstergruppen zusammenhängenden flächenhaften Bereichen des Videobildes, die sich in vertikaler Richtung über mehrere Zeilen des Abtastrasters erstrecken und an zwei Kanten des Bildes des Objekts so angeordnet sind, daß im Fall einer Fehlausrichtung eine Überlappung mit dem Bild des Objekts besteht. Die digitalen Videosignale werden in mehreren aufeinanderfolgenden Abtastrastern analysiert, und wenn in einer Datenfenstergruppe Videosignale des ersten Signalwert festgestellt werden, wird der Träger des Objekts, der durch einen Kreuztisch gebildet ist. in der Richtung verstellt, in welcher das Objekt von dem der Datenfenstergruppe entsprechenden Videobildbereich wegbewegt wird. Dieser Vorgang wird so lange wiederholt, bis in der betreffenden Datenfenstergruppe keine digitalen Videosignale des ersten Signalwerts mehr festgestellt werden, was bedeutet, daß keine Überlappung mehr besteht. Das Objekt ist dann auf die Bezugsposition ausgerichtet. Diese bekannte Ausrichtvorrichtung arbeitet nach dem Prinzip der Stellungsregelung im Sinne der Beseitigung eines Fehlersignals. Die Ausrichtung erfolgt daher im Verlauf von mehreren aufeinanderfolgenden Abtastrastern, in denen jeweils überprüft wird, ob noch eine Überlappung besteht und zutreffendenfalls eine weitere Verstellung des Trägers erfolgt. Das System ist daher verhältnismäßig langsam. Es setzt ferner voraus, daß rings um jedes Objekt ein freier Raum vorhanden ist. dessen Breite mindestens dem doppelten Ausrichtbereich entspricht, damit bei der größten vorkommenden Fehlausrichtung noch keine Überlappung eines einer Datenfenstergruppe entsprechenden Videobildbereichs mit einem anderen Objekt erfolgt. Diese bekannte Ausrichtvorrichtung eignet sich daher nicht für das Ausrichten von Gegenständen, die mit sehr kleinen Zwischenräumen eng nebeneinander auf dem Träger angeordnet sind.
Im Gegensatz dazu werden bei der den Gegenstand der älteren Patentanmeldung P 28 03 6533 bildenden Ausrichtvorrichtung die die Größe und die Richtung der Fehlausrichtung anzeigenden Informationen im Verlauf einer einzigen Abtastung des Zeilenrasters erhalten, und
die Verstellung des Trägers erfolgt entsprechend diesen Informationen anschließend in einem Zuge. Dies entspricht der größtmöglichen Ausrichtgeschwindigkeit, die mit einer Fernsehabtastung erzielbar ist. Die Zwischenräume zwischen den Bildern der Objekte i können dabei sehr viel kleiner als die den Ausrichtbereich bestimmende Breitederden Datenfenstergruppen entsprechenden Bildbereiche sein, denn es ist lediglich erforderlich, daß der einem einzigen Datenfenster der Gruppe entsprechende Bildbereich in einem Zwischen- id raum liegt. Die den einzelnen Datenfenstern innerhalb der Gruppe entsprechenden Bildbereiche können sehr schmal gehalten werden, beispielsweise in der Breite einer einzigen Fernsehzeile. Der maximale Ausrichtbereich entspricht dagegen der Anzahl der Datenfenster in ι => jeder Gruppe, und die Ausrichtgenauigkeit ist durch den Abstand zwischen zwei Datenfenster-Bildbereichen gegeben.
Aufgabe der Erfindung ist die Schaffung einer Ausrichtvorrichtung der eingangs angegebenen Art, die unter Beibehaltung der vorstehenden Funktionsweise und der sich daraus ergebenden Vorteile einen noch einfacheren Aufbau ergibt.
Dies wird nach der Erfindung dadurch erreicht, daß für jede Achsrichtung eine einer einzigen Kante des ;; Bildes des Objekts zugeordnete Datenfenstergruppe vorgesehen ist, und daß dann, wenn das Objekt auf die Bezugsposition ausgerichtet ist, in jede Datenfenstergruppe die Anzahl der in dem vorgegebenen Sinn in der betreffenden Achsrichtung in ununterbrochener Rei- m henfolge gezählten Datenfenster mit einem den Mindestwert überschreitenden Anteil an digitalen Videosignalen des ersten Signalwerts gleich einer vorbestimmten, von Null verschiedenen Zahl ist.
Auch bei der Ausrichtvorrichtung nach der Erfindung r. erfolgt die Feststellung der Größe und Richtung des Ausrichtfehlers durch Abzählen von Datenfenstern, was im Verlauf einer einzigen Abtastung des Zeilenrasters durchgeführt werden kann. Es ist jedoch nur noch eine einzige Datenfenstergruppe für jede Abtastrichtung -»u vorhanden, wodurch der Schaltungsaufwand, insbesondere für die Analyseschaitungen. verringert wird. Durch eine besondere Maßnahme wird erreicht, daß dennoch die Größe und Richtung des Ausrichtfehlers feststellbar ist: Die Ausrichtstellung des Objekts entspricht dem 4^ Fall, daß eine vorbestimmte Anzahl der Datenfenster-Videobildbereiche vom Bild des Objekts überlappt ist und der Rest außerhalb des Bildes des Objekts liegt. Eine Abweichung von der vorbestimmten Anzahl der überlappten Datenfenster-Videobildbereiche in der w einen oder anderen Richtung gibt dann unmittelbar die Größe und Richtung der erforderlichen Ausrichtkorrektur an.
Demzufolge ist die Vorrichtung nach der Erfindung vorzugsweise so ausgestaltet, daß die Steueranordnung « die Stellung des Trägers in jeder Achsrichtung um einen Wert verändert der nach Größe und Richtung der Differenz zwischen der vorbestimmten, von Null verschiedenen Zahl und der Anzahl der im vorgegebe nen Sinn in dieser Achsrichtung in ununterbrochener bo Reihenfolge gezählten Datenfenster der entsprechenden Datenfenstergruppe mit den vorbestimmten Mindestwert überschreitendem Anteil an digitalen Videosignalen des ersten Signalwerts entspricht.
Die Analyseschaitungen können gemäß einer vorteilhaften Ausführungsform der Erfindung so ausgebildet sein, daß die von ihnen gelieferten Ausgangssignale unmittelbar den Betrag und das Vorzeichen der Differenz zwischen der vorbestimmten Zahl und der Anzahl der gezählten Datenfenster angeben.
Ein weiterer Vorteil der erfindungsgemäßen Vorrichtung besteht darin, daß es nicht erforderlich ist, die Lage der Datenfenster jeweils an die Form und Größe der auszurichtenden Objekte anzupassen.
Ein Ausführungsbeispiel der Erfindung ist in der Zeichnung dargestellt. Es zeigt
Fig. 1 ein Übersichtsschema einer Ausricht- und Erkennungsvorrichtung nach der Erfindung,
F i g. 2 einen Träger mit Halbleiter-Chips als Beispiel für Objekte, die mit der Vorrichtung von Fig. 1 ausgerichtet werden können,
F i g. 3 die mit der Vorrichtung von F i g. 1 auf dem Bildschirm erzeugten Markierungen,
Fig. 4 drei verschiedene Beispiele für die Ausrichtung eines Objekts in bezug auf die Markierungen,
Fig. 5 Zeitdiagramme von Signalen, die in der Vorrichtung von F i g. 1 erzeugt werden,
Fig. 6 ein genaueres Schaltbild einiger Bestandteile der Vorrichtung von Fig. 1,
F i g. 7 ein genaueres Schaltbild der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung.
Fig. 8 ein genaueres Schaltbild des Ausrichtdetektors,
F i g. 9 das Blockschema der Vorschubsteueranordnung und eines Fehler-Detektors,
Fig. 10 ein genaueres Schaltbild des Markierungs-Generators,
Fig. 11 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform des Zeilenzählers der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung,
Fig. 12 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform verschiedener Bestandteile der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung, des Ausricht-Detektors und des Markierungs-Generators.
Fig. 13 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform verschiedener weiterer Bestandteile des Ausricht-Detektors und
Fig. 14 das Schaltbild einer praktischen Ausführungsform weiterer Bestandteile des Ausrichtdetektors.
Die in Fig. 1 dargestellte Einstell- und Ausrichtvorrichtung ist dazu bestimmt, ein Objekt 1 in einer horizontalen Ebene in bezug auf einen festen Bezugspunkt, der durch einen vertikalen Pfeil R angedeutet ist. genau auszurichten. Zu diesem Zweck enthält die Einstell- und Ausrichtvorrichtung einen Kreuztisch 2, auf dessen Oberseite das Objekt 1 angebracht ist und der durch zwei Motoren 3 und 4 in zwei zueinander senkrechten Richtungen verstellbar ist. die als X-Richlung und V- Richtung bezeichnet werden. Die Motoren 3 und 4 sind vorzugsweise elektrische Schrittmotoren, die bei jedem Schritt eine genau festgelegte Verstellung des Kreuztisches 2 in der zugeordneten Richtung bewirken, die beispielsweise 10 μΐη beträgt- Der Schrittmotor 3 ist der X-Motor. und der Schrittmotor 4 ist der V-Motor.
Das Objekt 1 kann beispielsweise ein Werkstück sein, an welchem im Verlauf der Fertigung bestimmte Manipulationen vorgenommen werden müssen, für welche die genaue Ausrichtung auf den Bezugspunkt R erforderlich ist Da es sich gewöhnlich um die Massenbearbeitung sehr kleiner Werkstücke mit gleichen Abmessungen handelt kann eine größere Anzahl dieser Werkstücke gleichzeitig auf dem Kreuztisch 2 angebracht werden, die dann der Reihe nach auf den Bezugspunkt Rausgerichtet werden.
Ein bevorzugtes Anwendungsgebiet findet die Einstell- und Ausrichtvorrichtung bei der Fertigung von
Halbleiterbauelementen. Es ist dort bekanntlich üblich, eine große Anzahl von Bauelementen, wie Transistoren oder integrierte Schaltungen, gleichzeitig auf einer einzigen Halbleiterscheibe geringer Dicke zu bilden und diese Scheibe anschließend in die einzelnen Bauelemente zu zertrennen, welche die Form von rechteckigen Plättchen haben, die »Chips« genannt werden. Eine größere Anzahl solcher Chips ist dann beispielsweise in der in F i g. 2 dargestellten Weise auf einem Träger 50 angeordnet.
F i g. 2 zeigt die ursprüngliche kreisrunde Halbleiterscheibe 51, auf der eine größere Anzahl von gleichartigen Halbleitervorrichtungen 52 mit rechteckigem Umriß gebildet sind. Die Halbleitervorrichtungen 52 haben alle die gleiche Größe und sind in regelmäßigen Spalten und Reihen angeordnet. Die Halbleiterscheibe 51 wird auf eine Unterlage 54 geklebt, die beispielsweise eine elastische Kunststoffolie ist, deren Rand in einem Rahmen 55 eingespannt ist. Anschließend wird die Scheibe 51 in die einzelnen Chips 52 getrennt, beispielsweise dadurch, daß die Scheibe entlang zwei zueinander senkrechten Gruppen von in Abständen liegenden parallelen Linien über einen Teil ihrer Dicke eingesägt wird, wodurch die Ränder der Chips 52 definiert werden. Die teilweise eingesägte Scheibe wird dann zerbrochen, und die einzelnen Chips werden seitlich voneinander durch Strecken der Kunststoffolie getrennt, so daß zwischen den Chips Zwischenräume 53 gebildet werden, in denen das Material der Unterlage 54 sichtbar ist.
Die Größe der Chips 52 ist relativ zur Größe der Halbleiterscheibe 51 in Fig.2 übertrieben dargestellt, weshalb die Anzahl der Chips in jeder Reihe und Spalte nur klein ist. In Wirklichkeit kann die Anzahl der auf einer Halbleiterscheibe gebildeten Chips sehr groß sein und mehrere Hundert betragen. Die Größe der Chips kann, je nach Art der Halbleitervorrichtung, sehr verschieden sein, doch liegt die Länge der Kanten im allgemeinen in der Größenordnung von einigen Millimetern.
Wie aus Fig.2 weiter zu erkennen ist, sind die am Rand der Scheibe liegenden Chips, d. h. die letzten Chips in jeder Reihe und Spalte, gewöhnlich unvollständig und daher nicht verwendbar. Es kann auch vorkommen, daß im Innern einer Reihe ein Chip unvollständig ist oder ganz fehlt.
Zur Vornahme weiterer Manipulationen an den Chips 52, die eine genaue Ausrichtung jedes Chips erfordern, wird der Träger 50 auf dem Kreuztisch 2 (Fig. 1) befestigt und winkelmäßig genau ausgerichtet, so daß die Reihen in der ^-Richtung und die Spalten in der V-Richtung liegen. Der Kreuztisch 2 wird absatzweise in der y-Richtung derart verschoben, daß die Chips einer Reihe nacheinander in Deckung mit dem Bezugspunkt R gebracht werden. Zu diesem Zweck wird jeweils der X-Schrittmotor 3 für eine Anzahl von Schritten angetrieben, die einer Verschiebung des Kreuztisches 2 um den Abstand JX zwischen den Mittelpunkten zweier Chips 52 in der X-Richtung entspricht (Fig.2). Wenn eine vollständige Reihe auf diese Weise durchlaufen ist, wird der y-Schrittmotor 4 für eine Anzahl von Schritten betätigt die einer Verschiebung des Kreuztisches 2 in der y-Richtung um den Abstand JY zwischen zwei Chips 52 entspricht; dann wird die nächste Reihe in der entgegengesetzten Vorschubrichtung durchlaufen.
Diese absatzweise Verschiebung des Kreuztisches 2 ergibt jedoch nur eine ungefähre Einstellung der Chips 52 auf den Bezugspunkt R; insbesondere kann sich ein Vorschubfehler bei einer größeren Anzahl von Chips zu einem beträchtlichen Betrag summieren. Für viele Manipulationen ist es jedoch notwendig, daß jedes ■> einzelnen Chip sehr genauf den Bezugspunkt R ausgerichtet wird, beispielsweise so, daß sein Mittelpunkt (Schnittpunkt der Diagonalen) in genauer Deckung mit dem Bezugspunkt R steht.
Diese Ausrichtung wird von der in Fig. 1 dargestell-
H) ten Anordnung im Anschluß an die absatzweise Verschiebung des Kreuztisches 2 vorgenommen.
Für diesen Ausrichtungsvorgang wird der über dem Bezugspunkt R liegende Teil der Oberfläche des Trägers 50 durch ein Objektiv 5 auf die Fotokatode
is einer Fernsehkamera 6 projiziert. Vorzugsweise ist die Vergrößerung des Objektivs 5 zur Anpassung an verschiedene Chipgrößen einstellbar; beispielsweise können die Vergrößerungen 20:1, 40:1 und 80:1 vorgesehen sein. Die Vergrößerung wird jeweils so gewählt, daß außer dem auszurichtenden Chip ein beträchtlicher Umgebungsbereich abgebildet wird, der beispielsweise mehrere vollständige Chips enthält. Zusätzlich zu der stufenweisen Umschaltung der Vergrößerung ist das Objektiv 5 ferner vorzugsweise so ausgebildet, daß in jedem Vergrößerungsbereich eine stufenlose Änderung der Vergrößerung (ZOOM-Effekt) möglich ist.
Die Fernsehkamera 6 kann eine handelsübliche, netzsynchronisierte Fernsehkamera sein, die mit Zeilensprung arbeitet und an ihrer Ausgangsleitung 7 die die abgebildete Fläche darstellenden analogen Videosignale zusammen mit den für die Wiedergabe erforderlichen Teilbild- und Zeilensynchronimpulsen liefert. Diese normalen Videosignale werden über eine Leitung 8 zu einem Video-Wähler und -Mischer 100 übertragen, der sie bei entsprechender Einstellung über eine Leitung 9 zu einem Monitor 10 liefert, so daß ein Fernsehbild der vom Objektiv 5 erfaßten Fläche auf dem Bildschirm des Monitors 10 wiedergegeben wird.
■to Die Aulgangsleitung 7 der Fernsehkamera 6 ist ferner mit dem Eingang 201 eines Video-Digitalisierers 200 verbunden, der die analogen Videosignale mit einem einstellbaren Schwellenwert vergleicht, der mit Hilfe eines Potentiometers 202 einstellbar ist. Der Digitalisierer 200 gibt an seinem Ausgang 204 digitale Videosignale DlCVIDA ab, die einen hohen Pegel (weiß) haben, wenn das analoge Eingangssignal den am Potentiometer 202 eingestellten Schwellenwert überschreitet, und einen niedrigen Pegel (schwarz), wenn das analoge Eingangssignal unter dem Schwellenwert liegt. Der Ausgang 204 des Video-Digitalisierers 200 ist mit einem weiteren Eingang des Video-Wählers und -Mischers 100 verbunden, der mittels einer Einstellvorrichtung 101 so einstellbar ist, daß er das digitale Videosignal DlCVlDA zum Monitor 10 überträgt, wobei gleichzeitig das über die Leitung 8 zugeführte normale Videosignal unterdrückt wird. Der Monitor 10 gibt dann auf seinem Bildschirm ein digitales Videobild wieder, das nur aus weißen und schwarzen Bildelemen ten besteht
Der Schwellenwert für das digitale Videosignal DlGVIDA wird mittels des Potentiometers 202 so eingestellt daß die von der Unterlage 54 und somit auch von den Zwischenräumen 53 stammenden Videosignale durchwegs unter diesem Schwellenwert bleiben, während die von den Chips 52 stammenden Videosignale zum größten Teil den Schwellenwert überschreiten. In dem mittels des Signals DIGVTDA wiedergegebenen
digitalen Fernsehbild erscheinen somit die Chips 52 überwiegend weiß, während die Zwischenräume 53 und der die Scheibe 51 umgebende Träger 54 vollkommen schwarz wiedergegeben werden.
Die Ausgangsleitung 7 der Fernsehkamera 6 ist ferner r> mit dem Eingang 301 einer Synchron-Trennstufe 300 verbunden. Diese trennt die Teilbild- und Zeilensynchronimpulse von den analogen Videosignalen und gibt die Teilbildsynchronimpulse FR und die Zeilensynchronimpulse LN an zwei getrennten Ausgängen ab. ι ο Die Synchron-Trennstufe 300 hat einen dritten Ausgang, an welchem sie ein zusammengesetztes Synchronsignal SYNCabgibt, das sowohl die Teilbildsynchronimpulse als auch die Zeilensynchronimpulse enthält. Dieser dritte Ausgang ist mit einem weiteren Eingang des Video-Wählers und -Mischers 100 verbunden, damit die für die Bildwiedergabe auf dem Monitor 10 benötigten Synchronsignale auch dann zur Verfügung stehen, wenn anstelle des normalen Videosignals das digitale Video signal DIG VID Λ für die Bildwiedergabe benutzt wird.
Die Synchron-Trennstufe 300 hat einen vierten Ausgang, an dem sie ein Signal TOP abgibt, da für die ganze Dauer eines gewählten Teilbildes einen hohen Pegel und während der Dauer des anderen Teilbildes einen niedrigen Pegel hat. Mittels einer Einstellvorrichtung 302 können entweder die geraden oder die ungeraden Teilbilder für die Abgabe des Signals 7"OP gewählt werden; das jeweils gewählte Teilbild wird für die später ausführlich erläuterte Markierung und Auswertung des Fernsehbildes verwendet. An einem fünften Ausgang wird ein kurzer Impuls CLR abgegeben, der mit der Vorderflanke des Signals 7"OP. also mit dem Beginn des gewählten Teilbildes zusammenfällt.
Der das Zeilensynchronsignal LN führende Ausgang der Synchron-Trennstufe 300 ist mit dem Steuereingang τ> eines Bildelementgenerators 11 verbunden, der an seinem Ausgang eine Folge von Bildelementimpulsen PE abgibt, die einzelne Bildelemente entlang jeder Fernsehzeile definieren. Der Bildelementgenerator 11 wird durch die Zeilensynchronimpulse LNso synchroni- ■*< > siert, daß die Bildelementimpulse PE im Verlauf der Abtastung jeder Fernsehzeile in genau definierter, stets gleicher Lage in bezug auf den Anfang der Fernsehzeile auftreten und somit Bildelemente definieren, die in den verschiedenen Fernsehzeilen vertikaluntereinander lie- ^ gen. Die Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE beträgt annähernd 9,3 MHz, sie ist aber mittels einer Einstellvorrichtung 12 zum Zweck einer später noch erläuterten Justierung einstellbar.
Die die Signale FR und LN liefernden Ausgänge der w Synchron-Trennstufe 300 sowie der Ausgang des Bildelementgenerators 11 sind mit entsprechenden Eingängen einer Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 verbunden. Weitere Eingänge 401 der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400, die zur Vereinfachung als eine 5S einzelne Leitung dargestellt sind, sind mit einer Eingabevorrichtung 402 verbunden. Die Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 erzeugt aufgrund der ihr zugeführten Eingangssignale an acht Ausgängen Signale LNXX, LNX2, PEXX, PEXZ LNGA, LNGB, PEG A und PEG B, die in bestimmten Zeitpunkten und für eine festgelegte Dauer in jedem ausgewählten Teilbild auftreten und einerseits einem Ausrichtdetektor 450 und andererseits einem Markierungsgenerator 500 zugeführt werden. Der Markierungsgenerator 500 erzeugt aufgrund der ihm zugeführten Signale Markierungssignale MK A und MK B, die zwei Signalpegel (weiß und schwarz) haben. Er bildet daraus ein zusammengesetztes Markierungssignal MK A-B, das mittels des Video-Wählers und -Mischers 100 dem auf dem Monitor 10 wiedergegebenen Videosignal überlagert werden kann, so daß auf dem wiedergegebenen Fernsehbild weiße Markierungslinien erzeugt werden.
Die mittels der Markierungssignale MK A und MK B auf dem Fernsehschirm wiedergegebenen Markierungen sind in F i g. 3 genauer dargestellt. Die Markierungssignale MK A erzeugen eine Gruppe A von sechzehn Markierungslinien A 15 bis AO, von denen jede einen mittleren Abschnitt einer Fernsehzeile einnimmt. Zwei aufeinanderfolgende Markierungslinien der Gruppe A sind durch einen Zwischenraum getrennt, der einer Fernsehzeile des Teilbildes (also drei Fernsehzeilen des vollständigen Bildes) entspricht. Die Markierungssignale MK B. erzeugen eine Gruppe B von sechzehn veriikalen Markierungslinien B 15 bis SO, die sich in vertikaler Richtung erstrecken. Jede Markierungslinie B hat die Breite eines durch einen Bildelementimpuls PE definierten Bildelements, und zwei aufeinanderfolgende vertikale Markierungslinien 0 haben einen Abstand, der zwei Perioden der Bildelementimpulse PE entspricht. Bei dem dargestellten Beispiel liegen die rechten Enden der Markierungslinien A 15 bis A 0 in der Verlängerung der ersten vertikalen Markierungslinie B15, und die unteren Enden der Markierungslinien B 15 bis B 0 liegen auf der Höhe der ersten horizontalen Markierungslinie A 15. Diese Maßnahme ist jedoch nicht zwingend; die Markierungslinien der beiden Gruppen A und B können sich auch überkreuzen oder in größerem Abstand voneinander liegen.
Die Fernsehkamera 6 ist so ausgerichtet, daß die Zeilenrichtung des Fernsehbildes der X-Richtung des Kreuztisches 2 entspricht. Demzufolge liegen die Ränder des Bildes des jeweils auszurichtenden Chips 52 parallel zu den horizontalen Markierungslinien A bzw. den vertikalen Markierungslinien B. Die Länge der Markierungslinien ist beliebig; es ist aber günstig, wenn sie sich über einen möglichst großen Teil der entsprechenden Abmessung des Chips 52 erstrecken. Ferner nehmen die Markierungslinien auf dem Fernsehschirm in bezug auf das gedachte Bild des Bezugspunktes R eine solche Lage ein, daß der Chip 52 genau auf den Bezugspunkt R ausgerichtet ist. wenn der untere horizontale Rand seines Bildes zwischen den horizontalen Markierungslinien A 8 und A 7 liegt und der rechte vertikale Rand zwischen den Markierungslinien 58 und Bl liegt.
In Fig.3 sind in unterbrochenen Linien die Umrisse der Bilder von drei Chips 52', 52", 52'" angedeutet, die auf dem Träger 50 dem auszurichtenden Chip 52 benachbart sind. Die Abstände zwischen den Markierungslinien jeder Gruppe A und B sind so bemessen, daß mindestens eine Markierungslinie, vorzugsweise sogar mehrere Markierungslinien vollständig innerhalb des Zwischenraums 53 zwischen zwei benachbarten Chips liegen. Dies bedeutet, daß die Teilung der Markierungslinien in jeder Gruppe kleiner ist als der kleinste vorkommende Zwischenraum 53. Bei der in Fig.3 dargestellten ausgerichteten Stellung des Chips 52 liegen dann acht Markierungslinien jeder Gruppe, nämlich die Markierungslinien A 15 bis A 8 und die Markierungslinien B15 bis B 8, innerhalb des Bildes des Chips 52, so daß im Verlauf jeder dieser Markierungslinien definitionsgemäß »weiße« Bildelemente vorkommen, für die das digitalisierte Videosignal DIGVTDA den hohen Signalwert hat Dagegen liegt zumindest die neunte Markierungslinie (A 7 bzw. B 7) jeder Gruppe
vollständig in einem Zwischenraum 53, in welchem definitionsgemäß nur »schwarze« Bildelemente vorkommen, für die das digitalisierte Videosignal DIG- VlD A den niedrigen Sirjnalwert hat. Noch weiter außen liegende Markierungslinien jeder Gruppe können in die Bilder benachbarter Chips fallen, so daß im Verlauf solcher Markierungslinien wieder »weiße« Bildelemente vorkommen.
Hinsichtlich der Auswertung des digitalen Videosignals DIGVlD A gilt also folgendes Kriterium:
Der Chip 52 ist richtig auf den Bezugspunkt R ausgerichtet, wenn in jeder Markierungsliniengruppe A und ß im Verlauf von acht Markierungslinien, in unterbrochener Folge von innen nach außen gezählt, weiße Bildelemente vorkommen und die neunte Markierungslinie die erste Markierungslinie ist, in deren Verlauf keine weißen Bildelemente vorkommen, also das digitale Videosignal DIGVID A nicht den hohen Signalwert annimmt.
Die Angabe »von innen nach außen« bezieht sich dabei auf das Bild des jeweils auszurichtenden Chips.
Wenn dagegen der Chip 52 nicht richtig auf den Bezugspunkt R ausgerichtet ist, ist sein Bild gegenüber den Markierungsliniengruppen A und B verschoben, so daß die Anzahl der in ununterbrochener Folge von innen nach außen gezählten Markierungslinien, in deren Verlauf weiße Bildelemente vorkommen, größer oder kleiner als acht ist. Aus dem Betrag und dem Vorzeichen der Differenz ergibt sich unmittelbar die Größe und die Richtung der durchzuführenden Stellungskorrektur. Diese Differenz wird von dem Ausrichtdetekior 450 festgestellt, der zu dier.-n Zweck außer den Ausgangssignalen der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 die Markierungssignale MKA und MKB vom Markierungsgenerator 500 sowie die digitalen Videosignale r. DIGVIDA empfängt.
In Fig.4 sind drei Fälle der Lage des Bildes eines Chips 52 in bezug auf die Markierungslinien dargestellt. Fig.4a entspricht der Darstellung in Fig.3, also der richtigen Ausrichtung des Chips 52 auf den Bezugs- 4u punkt. Demzufolge liegt der untere Rand des Bildes des Chips 52 zwischen der achten und der neunten Markierungslinie der Gruppe A, und der rechte Rand liegt zwischen der achten und der neunten Markierungslinie der Gruppe B.
Der Ausrichtdetektor 450 enthält Detektorschaltungen, die jeweils während der Zeiten, in denen die Markierungssignale MK A und MK B im Verlauf der Abtastung eines Teilbildes erzeugt werden, das digitale Videosignal DIGVIDA analysieren und ansprechen, wenn in dem einer Markierungslinie entsprechenden Bildbereich ein weißes Bildelement erscheint. Ferner enthält der Ausrichtdetektor 450 für jede der Markierungsliniengruppen A und S eine Zählanordnung, welche die Anzahl derjenigen Markierungslinien der r>5 betreffenden Gruppe in ununterbrochener Folge von innen nach außen zählt, in deren Verlauf weiße Bildelemente im Signal DIGVlDA enthalten sind. Die Zählung wird beendet, sobald in der von innen nach außen gezählten Folge der Markierungslinien die erste t>o Markierungslinie erscheint, in deren Verlauf nur schwarze Bildelemente vorkommen; wenn im Verlauf von weiter außen liegenden Markierungslinien wieder weiße Bildclemente vorkommen, werden diese Markierungslinien bei der Zählung nicht berücksichtigt. bi
Die Größe und Richtung der vorzunehmenden Korrektur, ausgedrückt durch die entsprechende Anzahl Q von Markierungslinienabständen, ergibt sich unmittelbar aus der Größe und dem Vorzeichen der Differenz zwischen der Anzahl M der gezählten Markierungslinien und der Anzahl Nder Markierungslinien, die bei richtiger Ausrichtung im Innern des Bildes des Chips liegen müssen. Bei dem dargestellten Beispiel gilt N = 8, und für die Korrekturgröße (?gilt:
O=B-M.
Dabei wird vorausgesetzt, daß die positive Richtung jeweils in der Zählrichtung verläuft, also in der Χ-Richtung nach rechts und in der V-Richtung nach unten.
Wenn das Bild des Chips 52 die in F i g. 4a dargestellte Lage einnimmt, haben die beiden den Markierungsliniengruppen A und B zugeordneten Zählanordnungen nach Beendigung der Analyse jeweils M = 8 Markierungslinien gezählt. Für die durchzuführende Korrektur ergibt sich daher in jeder Richtung der Wert
ζ)=Λ/-Μ=8-8 = 0.
Es ist also in keiner Richtung eine Korrektur erforderlich.
In der Darstellung in Fig.4b ist angenommen, daß das Bild des Chips 52 gegenüber der richtigen Lage derart nach oben (in der negativen K-Richtung) und nach rechts (in ;er positiven A'-Richtung) verschoben ist, daß der untere Rand zwischen der dritten und der vierten Markierungslinie der Gruppe A liegt, während der rechte Rand zwischen der zehnten und der elften Markierungslinie der Gruppe Bliegt. In diesem Fall hat die der Gruppe A zugeordnete Zählanordnung des Ausrichtdetektors 450 nach Beendigung der Analyse M = 3 Markierungslinien gezählt, während die der Gruppe B zugeordnete Zählanordnung M — 10 Markierungslinien gezählt hat. Für die Korrektur in der V-Richtung ergibt sich somit der Wert
Q=N- M = 8-3 = 5,
also eine Verstellung, die fünf Markierungslinienabständen in der positiven K-Richtung entspricht.
Für die Korrektur in der Α-Richtung ergibt sich der Wert
ς>=/ν-Μ=8-10 = 2,
also eine Verstellung, die zwei Markierungslinienabständen in der negativen A-Richlung entspricht.
Je nach dem gewählten Abbildungsmaßstab entspricht der Abstand zwischen zwei Markierungslinien jeder Gruppe einer genau definierten mechanischen Verschiebung des Kreuztisches 2. Beispielsweise kann bei einer Vergrößerung von 20 : 1 der Abstand zwischen zwei Markierungslinien einer Verschiebung des Kreuztisches 2 um 20 μτη entsprechen. Bei dem zuvor angegebenen Zahlenbeispiel, bei welchem jeder Verstellschritt eines der Schrittmotoren 3 und 4 einer Verschiebung des Kreuztisches 2 um 10 μιη entspricht, müßte also für den Fall von F i g. 4b der V-Motor 4 zehn Schritte in dem der positiven V-Richtung entsprechenden Drehsinn und der X-Motor 3 vier Schritte in dem der negativen Α-Richtung entsprechenden Drehsinn ausführen, um den Chip 52 richtig auf den Bezugspunkt R auszurichten. Die genaue Kalibrierung kann in der V-Richtung durch Feineinstellung der optischen Vergrößerung mittels des ZOOM-Effekts des Objektivs 5 erfolgen, in der A'-Richtung durch Änderung dei Frequenz des Bildelementgenerators 11 mittels det Einstellvorrichtung 12. da diese Frequenz die Periode der Bildelementimpulse PE und damit den Abstand dei
Bildelemente entlang der Zeilen bestimmt.
Fig.4c zeigt den Fall, daß das Bild des Chips 52 fünfzehn Markierungslinien der Gruppe A und nur eine Markieiungslinie der Gruppe B überdeckt. In diesem Fall hat am Ende der Analyse die der Gruppe A zugeordnete Zählanordnung M = 15 Markierungslinien gezählt, während die der Gruppe B zugeordnete Zählanordnung M = 1 Markierungslinie gezählt hat. Somit beträgt die in der V-Richtung erforderliche Korrektur
Q= 8- 15 7,
also sieben Markierungslinienabstände in der negativen V-Richtung, und die in der X-Richtung erforderliche Korrektur beträgt '5
Q = 8 - 1 = 7,
also sieben Markierungslinienabstände in der positiven X-Richtung. Dies bedeutet, daß jeder der beiden Schrittmotoren 3 und 4 vierzehn Schritte mit dem 2ü entsprechenden Drehsinn ausführen muß, so daß eine Verschiebung des Kreuztisches 2 um 140 μΐπ in der positiven X-Richtung und um 140 μΐη in der positiven X-Richtung und um 140 μπι in der negativen V-Richtung erfolgt.
Die Darstellung von F i g. 4c zeigt die größtmögliche Ausrichtkorrektur, die mit der beschriebenen Vorrichtung noch durchführbar ist. Wenn das Bild des Chips 52 noch stärker verschoben ist, so daß bei wenigstens einer Gruppe entweder alle sechzehn Markierungslinien oder keine einzige Markierungslinie überdeckt, ist ein Ausrichten nicht mehr möglich; in diesem Fall gibt die zugeordnete Zählanordnung ein Überschreitungssignal ab.
Wie später an Hand von Fig. 8 noch im einzelnen erläutert wird, sind bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel die im Ausrichtdeiektor 450 enthaltenen Zählanordnung so ausgebildet, daß sie unmittelbar die Differenz Q=N-M sowie das Vorzeichen dieser Differenz anzeigen. Der Ausrichtdetektor 450 (Fig. 1) hat zwei Ausgangsgruppen 451/4 und 451 B. Die Ausgangsgruppe 451/4 gehört zu der Zählanordnung, die der Markierungsliniengruppe A zugeordnet ist, und die Ausgangsgruppe 45Iß gehört zu der Zählanordnung, die der Markierungsliniengruppe B zugeordnet ist. Jede Ausgangsgruppe überträgt eine dreistellig Binärzahl sowie ein Überschreitungsbit. Die dreistellige Binärzahl der Ausgangsgruppe 451/4 zeigt den Betrag der zur Markierungsliniengruppe A gehörenden Differenz Q = N — M an. An zwei weiteren Ausgängen wird angezeigt, ob die Verstellung in der positiven V-Richtung oder in der negativen V-Richtung vorzunehmen ist. In entsprechender Weise erscheinen die zur Markierungsliniengruppe B gehörenden Signale an der Ausgangsgruppe 451 B. Das Überschreitungsbit jeder Ausgangsgruppe erscheint, wenn der Betrag der entsprechenden Differenz größer als 7 ist, so daß eine Korrektur der Fehlausrichtung nicht mehr möglich ist.
Im Fall von F i g. 4b liefert somit die Ausgangsgruppe 45M die Binärzahl 101 ( = 5) sowie ein Signal, das B() anzeigt, daß eine Verschiebung des Kreuztisches 2 in der positiven Richtung erforderlich ist, und die Ausgangsgruppe 451 B liefert die Binärzahl 010 ( = 2) sowie ein Signal, das die Notwendigkeit der Verstellung in der negativen X-Richtung anzeigt. 6^
Im Fall von F i g. 4c liefern die beiden Ausgangsgruppen 451 A und 451 B jeweils die Binärzahl 111 ( = 7), und die zugehörigen Richtungssignale zeigen an, daß die Verstellung in der negativen K-Richtung bzw. in der positiven X-Iiichtung erfolgen muß.
Die Ausgangsgruppen 451 A und 451 B sind mit entsprechenden Eingängen einer Vorschubsteueranordnung 14 verbunden, weiche die ihr zugeführten Eingangssignale decodiert und daraus Steuersignale erzeugt, die über eine Leitung 15 dem X-Motor 3 bzw. über eine Leitung 16 dem V-Motor 4 zugeführt werden und die Drehung dieser Motoren um die erforderliche Anzahl von Schritten in der betreffenden Richtung bewirken. Die Vorschubsteueranordnung 14 steuert die Schrittmotoren 3 und 4 auch für die Ausführung der Verstellungen JX und JY, deren Größe mittels ein ?r Einstellvorrichtung 17 zur Anpassung an die jeweils bearbeiteten Chips einstellbar ist.
Es ist möglich, die Lage und gegebenenfalls auch die Länge der Markierungslinien an die Form und Größe der auszurichtenden Chips (oder sonstigen Werkstücke) anzupassen. Dies geschieht mit Hilfe digitaler Daten, die mittels der Eingabevorrichtung 402 dem Eingang 401 der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 zugeführt werden. Die Eingabevorrichtung 402 kann eine handbetätigte Tastatur sein, oder auch eine Quelle gespeicherter oder programmierter Informationen. Die dem Eingang 401 zugeführten digitalen Daten bestimmen die Bildzeilen bzw. Bildelemente des Fernsehbildes, die für die Erzeugung der Markierungslinien verwendet werden.
Der genauere Aufbau der verschiedenen in der Anordnung von Fig. 1 enthaltenen Schaltungen ist in den F i g. 6 bis 10 dargestellt. Die Funktionsweise dieser Schaltung und die Erzeugung der verschiedenen Signale soll insbesondere unter Bezugnahme auf die F i g. 3 und 5 erläutert werden.
Wie bereits zuvor erwähnt wurde, entspricht die Zeilenrichtung (Horizontalablenkrichtung) des Fernsehbildes der A'-Richtung, und die dazu senkrechte Richtung (Vertikalablenkrichtung) entspricht der V-Richtung. Jeder Punkt des Fernsehbildes kann daher durch eine X-Koordinate und eine V-Koordinate eindeutig bestimmt werden. Dadurch ist es insbesondere möglich, die Begrenzungen der verschiedenen Markierungslinien und Markierungsflächen auf dem Bildschirm eindeutig festzulegen.
In Fig. 3 sind am oberen Rand in horizontaler Richtung (X-Richtung) drei X-Koordinaten λ'1, X2, X3 eingetragen. Am linken Rand sind in vertikaler Richtung (Y-Richtung)drei V-Koordinaten Vl, V2, V3 eingetragen.
Die Koordinate X 1 gibt den Abstand des Anfangs der horizontalen Markierungslinien der Gruppe A vom linken Bildrand (Zeilenanfang) an. Die Koordinate X 2 definiert die Lage der ersten vertikalen Markierungslinie B 15 der Gruppe B sowie das Ende der horizontalen Markierungslinien der Gruppe A. Die Koordinate X3 gibt die Lage der letzten Markierungslinie SO der Gruppe San.
In gleicher Weise entspricht die Koordinate Vl dem Abstand des oberen Endes der vertikalen Markierungslinien der Gruppe B vom oberen Bildrand (Beginn des Teilbildes), und die Koordinate V2 entspricht der Lage der ersten horizontalen Markierungslinie A 15 der Gruppe A sowie dem unteren Ende der vertikalen Markierungslinien der Gruppe B. Die Koordinate V3 definiert die Lage der letzten horizontalen Markierungslinie A Oder Gruppe A.
Die Koordinaten X und V bezeichnen nicht nur räumliche Punkte auf dem Fernsehbild, sondern auch
bestimmte Zeitpunkte im Verlauf der Abtastung des Fernsehbildes, jede Koordinate V kann daher durch eine bestimmte Anzahl von Zeilensynchronimpulsen LN eindeutig definiert werden, die vom Beginn des Teilbildes (Teilbildsynchronimpuls FR) oder von einer vorhergehenden Y- Koordinate aus gezählt werden. Ebenso kann jede Koordinate X eindeutig durch eine bestimmte Anzahl von Bildelementimpulsen PE definiert werden, die vom Beginn der betreffenden Fernsehzeile (Zeilensynchronimpulse LN) oder von einer vorhergehenden X-Koordinate aus gezählt werden. Durch Abzählung von Zeilensynchronimpulsen LN und Bildelementimpulsen PE ist es- daher möglich, jeden Punkt im Innern des Fernsehbildes eindeutig zu definieren.
Die nachstehend beschriebenen Schaltungen erzeugen insbesondere bestimmte Steuersignale in Zeitpunkten, die bestimmten zuvor definierten X-Koordinaten und Y-Koordinaten entsprechen, und sie verwenden diese Steuersignale zur Erzeugung der Markierungssignale.
In Fig.5 sind im Innern des kräftig gezeichneten Rahmens schematisch die Markierungssignale MKA und MK B in einer Reihe von horizontalen Zeitachsen dargestellt, die jeweils einer Fernsehzeile des für die Markierung verwendeten Teilbildes entsprechen. Am oberen Rand sind verschiedene Steuersignale dargestellt, die im Verlauf der Abtastung aller oder einiger Fernsehzeilen erzeugt werden und sich somit im wesentlichen mit der Zeilenfrequenz wiederholen. Entlang dem vertikalen linken Rand sind Steuersignale dargestellt, die im Verlauf der Abtastung des Teilbildes erzeugt werden und sich also mit der Teilbildfrequenz wiederholen.
F i g. 6 zeigt nochmals die Bestandteile 6,10,11, 100, 200, 300 der Anordnung von F i g. 1 und läßt insbesondere den Aufbau und die Funktionsweise des Video-Wählers und -Mischers 100 deutlicher erkennen. Dieser enthält einen Video-Mischverstärker 102 und einen Video-Wähler 104. Das über die Leitung 8 zugeführte normale Videosignal wird einem Eingang 103 des Video-Mischverstärkers 102 zugeführt und von diesem nach Verstärkung über die Leitung 9 zum Monitor übertragen, wenn nicht am Video-Wählrer 104 ein digitales Videosignal angefordert wird. Das digitale Videosignal DIGVIDA wird einem Eingang 105 des Video-Wählers 104 zugeführt, der außerdem an einem Eingang 107 das zusammengesetzte Markierungssignal MK A-B empfängt. Der Video-Wähler 104 hat ferner zwei Steuereingänge 109, 111, die mit der Einstellvorrichtung 101 verbunden sind. Der Video-Wähler 104 ist über drei Ausgangsleitungen 113, 114, 115 mit dem Video-Mischverstärker 102 verbunden, der außerdem an einem Eingang 116 das zusammengesetzte Synchronsignal SVTVCvon der Synchrontrennstufe 300 empfängt.
Wenn anstelle des normalen Videosignals das digitale Videosignal DIGVIDA auf dem Monitor 10 wiedergegeben werden soll, wird mittels der Einstellvorrichtung 101 ein Steuersignal DIGVlDA an den Steuereingang 109 angelegt. Der Video-Wähler 104 überträgt dann das digitale Videosignal DIGVIDA vom Eingang 105 über die Ausgangsleitung 113 zum Video-Mischverstärker 102, und er gibt gleichzeitig auf der Ausgangsleitung 114 ein Austastsignal BLK ab, welches im Video-Mischverstärker 102 das dem Eingang 103 zugeführte normale Videosignal sperrt. Die für die Wiedergabe des digitalen Videobildes erforderlichen Synchronsignale stehen gleichzeitig am Eingang 116 des Video-Mischverstärkers 102 zur Verfugung.
Durch Anlegen eines Steuersignals SMK A-Ban den Steuereingang 111 des Video-Wählers 104 wird das dem Eingang 107 zugeführte zusammengesetzte Markierungssignal MK A-S über die Ausgangsleitung 115 zum Video-Mischverstärker 102 übertragen und in diesem dem jeweils dargestellten Videosignal überlagert, also entweder dem am Eingang 103 zugeführten normalen Videosignal oder dem über die Leitung 113 übertragenen digitalen Videosignal DIGVIDA. Die Markierungslinien A und B werden dann auf dem Bildschirm des Monitors 10 in Überlagerung über das dargestellte Videobild wiedergegeben. Die Einstellvorrichtung 101 kann beispielsweise Teil einer handbetätigten Tastatur sein, welche bei Betätigung entsprechender Tasten die erforderlichen Steuersignale in Form von Signalpegeln abgibt.
Der Video-Digitalisierer 200 enthält einen Schwellenwert-Kcmparator 206 in Form eines Operationsverstärkers, der an seinem nicht-invertierenden Eingang das von der Fernsehkamera 6 abgegebene normale Videosignal empfängt, während der invertierende Eingang mit dem Abgriff des Potentiometers 202 verbunden ist. Entsprechend der üblichen Arbeitsweise gibt der Schwellenwert-Komparator ein Ausgangssignal mit niedrigem Pegel (schwarz) ab, solange das dem nicht-invertierenden Eingang zugeführte Analogsignal unter dem am invertierenden Eingang anliegenden Potential bleibt, während im entgegengesetzten Fall ein Ausgangssignal mit hohem Pegel (weiß) abgegeben wird. Wie bereits erwähnt, wird das Potentiometer 202 so eingestellt, daß der Schwellenwert für den Komparator 206 an den Kontrast zwischen der stark reflektierenden Oberfläche des Chips 52 und der schwach
3r> reflektierenden Oberfläche der Unterlage 54 bzw. der Zwischenräume 53 zwischen den Chips angepaßt ist. Mittels des Potentiometers 202 kann der Schwellenwert entsprechend dem jeweils vorliegenden Anwendungsfall optimal eingestellt werden.
F i g. 7 zeigt in näheren Einzelheiten das Blockschaltbild der Ausricht-Folgesteuerschaltung 400, an die sich nach rechts der in F i g. 8 dargestellte Ausricht- Detektor 450 und daran wiederum die in Fig.9 gezeigte Vorschub-Steueranordnung 14 anschließen. Die Funktionsweise dieser Schaltungen soll insbesondere unter Bezugnahme auf F i g. 5 erläutert werden.
Wenn im Verlauf einer Teilbildabtastung die durch die Koordinate Vl bezeichnete Teilbildzeile erreicht wird, beginnt die Erzeugung der Markierungssignale MK B für die Darstellung der vertikalen Markierungslinien der Gruppe B. Da diese Markierungslinien senkrecht zur Zeilenrichtung verlaufen, kann von ihnen in jeder Zeile jeweils nur ein Bildelement dargestellt werden. Die Markierungssignale MK B bestehen daher in jeder Teilbildzeile aus sechzehn aufeinanderfolgenden kurzen Impulsen mit der halben Frequenz der Bildelementimpulse PE, die zwischen den Zeitpunkten X 2 und X3 erzeugt werden. Diese Impulse wiederholen sich in jeder Teilbildzeile bis zum Erreichen der der Koordinate Y2 entsprechenden Teilbildzeile.
Zwischen den Koordinaten Y2 und V3 werden dann die Markierungssignale MKA erzeugt. Das erste, für die Darstellung der Markierungslinie A 15 verwendete Markierungssignal MKA wird erzeugt, wenn bei der Teilbildabtastung die durch die Koordinate YI bezeichnete Abtastzeile erreicht ist. Im Verlauf der Abtastung dieser Zeile nimmt das Markierungssignal MK A 15 in dem der Koordinate X\ entsprechenden
Zeitpunkt einen hohen Pegel an, den es bis zum Zeitpunkt X 2 behält Der gleiche Vorgang wiederholt sich für die übrigen Markierungssignale MK A 14 bis MK AQm jeder zweiten Teilbildzeile bis zum Erreichen der Koordinate V3, während in den jeweils dazwischenliegenden Zeilen kein Markierungssignal MKA erzeugt wird.
Die Erzeugung der Markierungssignaie MKA und MK B geschieht in Abhängigkeit von Daten, welche die Koordinaten Xi, X 2, Yi und Y2 definieren und in einem Speicher 403 (F i g. 7) aufgezeichnet sind, der eine Kapazität von vier Wörtern ä acht Bits hat Diese Daten bestimmen die Abmessungen und die Lage der Markierungslinien und werden mit Hilfe der Eingabevorrichtung 402 in den Eingang 401 des Speichers eingegeben. Das d^e Koordinate Xi definierende Speicherwort ist die Anzahl der vom Zeilenanfang (Zeilensynchronimpuls LN) bis zur Koordinate ΛΊ abgegebenen Bildelementimpulse PE; das die Koordina te X2 bestimmende Speicherwort ist die Anzahl der zwischen den Zeitpunkten ΑΊ und X 2 abgegebenen Bildelementimpulse PE. Das die Koordinate Yl bestimmende Speicherwort ist die Anzahl der vom Teilbildbeginn (Teilbildsynchronimpuls FR) bis zum Erreichen des Zeitpunkts Yi abgegebenen Zeilensynchronimpulse LN; das die Koordinate Y2 bestimmende Speicherwort ist die Anzahl der zwischen den Zeitpunkten Vl und Y2 abgegebenen Zeilensynchronimpulse LN.
Der Speicher 403 hat einen Ausgang 404 und zwei Adressiereingänge 405 und 406. Der Ausgang 404, der in Wirklichkeit ein Mehrfachausgang ist, an welchem die acht Bits eines gespeicherten Worts parallel abgegeben werden, ist mit den Voreinstelleingängen 409, 410 von zwei voreinstellbaren Rückwärtszählern 407, 408 verbunden. Der Zähler 407 empfängt an seinem Takteingang 411 die Zeilensynchronimpulse LN und dient als Zeilenzähler; der Zähler 408 empfängt an seinem Takteingang 412 die Bildelementimpulse PEund dient als Bildelementzähler. Der Zeilenzähler 407 hat ferner einen Voreinstellsteuereingang 413 und zwei Ausgänge 414,415; der Bildelementzähler 408 hat einen Voreinstellsteuereingang 416 und zwei Ausgänge 417, 418.
Die Adressiereingänge 405 und 406 des Speichers 403 sind mit zwei Ausgängen einer Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 verbunden, die an einem Auslöseeingang 420 die Teilbildsynchronimpulse FR und an einem weiteren Auslöseeingang 421 die Zeilenimpulse LN empfängt. Ein weiterer Auslöseeingang 422 ist mit dem Ausgang 414 des Zeilenzählers 407 verbunden, und ein vierter Auslöseeingang 423 ist mit dem Ausgang 417 des Bildelementzählers 408 verbunden. Die Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 hat zwei weitere Ausgänge 424 und 425, die mit dem Voreinstellsteuereingang 413 des Zeilenzählers 407 bzw. mit dem Voreinstellsteuereingang 416 des Bildelementzählers 408 verbunden sind.
Die Ausgänge 414 und 415 des Zeilenzählers 407 sind mit zwei Eingängen einer Halteschaltung 425 verbunden, die zwei zueinander komplementäre Ausgänge 427,
428 hat, und die Ausgänge 417,418 des Bildelementzählers 408 sind mit zwei Eingängen einer Halteschaltung
429 verbunden, die zwei zueinander komplementäre Ausgänge 430,431 hat.
Bei jedem dem Eingang 420 der Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 zugeführten Teilbildsynchronimpuls FR wird der Speicher 403 über seine Eingänge 405,406 so adressiert und angesteuert daß er an seinem Ausgang 404 das erste Speicherwort abgibt, das in der zuvor geschilderten Weise die Koordinate Y1 in Form einer bestimmten Zeilenzahl angibt. Ein gleichzeitig vom Ausgang 424 der Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 abgegebener Freigabeimpuls, der dem Voreinrtellsteuereingang 413 des Zeüenzählers 407 zugeführt wird, bewirkt, daß dieser Zähler auf die vom Speicher abgegebene Zahl voreingestellt wird. Die Vorderflanke des Teilbildsynchronimpulses FR bewirkt die Adressierung des Speichers 403, während seine Hinterflanke die Übertragung des abgelesenen Speicherworts in den Zähler auslöst Das gleiche gilt auch für die anderen, den Eingängen 421, 422, 423 der
'S Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 zugeführten Auslöseimpulse.
Der Zeilenzähler 407 wird durch die seinem Takteingang 411 zugeführten Zeilenimpulse LN fortgeschaltet, so daß sich sein Inhalt bei jedem Zeilenimpuls um eine Einheit verringert. Sobald er den Zählerstand Null erreicht, gibt er an seinem Ausgang 414 einen Impuls LNXi ab. Dieser Impuls fällt also mit dem Beginn der durch die Koordinate Yi bezeichneten Zeile zusammen (F i g. 5). Der Impuls LNX1 wird auch dem Auslöseeingang 422 der Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 zugeführt und bewirkt in der zuvor geschilderten Weise die Adressierung und Ausgabe des Speicherworts aus dem Speicher 403, das die Koordinate Y2 durch die Anzahl der zwischen den Koordinaten Yi und Y2 liegenden Zeilen angibt. Der Zeilenzähler 407 wird auf diese Zahl voreingestellt und erneut durch die seinem Takteingang 411 zugeführten Zeilensynchronimpulse LN im Sinne einer Abwärtszählung fortgeschaltet. Wenn er den Zählerstand Null erreicht, gibt er an seinem Ausgang 415 einen Impuls LNX 2 ab, der also mit dem Beginn der der Koordinate Y2 entsprechenden Zeile zusammenfällt (Fig.5). Dieser Vorgang wiederholt sich in jedem Teilbild, so daß im Verlauf der Abtastung jedes Teilbilds ein Impuls LNX 1
"o und ein Impuls LNX 2 erscheint.
Durch den ersten nach dem Teilbildsynchronimpuls FR erscheinenden Zeilensynchronimpuls LN wird der Speicher 403 so adressiert und abgefragt, daß er in den Bildelementzähler 408 ein Speicherwort eingibt, das in der zuvor erläuterten Weise die Koordinate X1 durch eine Anzahl von Bildelementen angibt. Der Bildelementzähler 408 wird durch die seinem Takteingang 412 zugeführten Bildelementimpulse PE im Sinne der Abwärtszählung fortgeschaltet, und er gibt beim Erreichen des Zählerstands Null an seinem Ausgang 417 einen Impuls PEXi ab, der somit während der Abtastung einer Zeile in dem der Koordinate Xi entsprechenden Zeitpunkt auftritt (Fig.5). Der Impuls PEXi wird auch an den Auslöseeingang 423 der Speicheradressier- und Aufrufschaltung 419 angelegt und bewirkt, daß aus dem Speicher 403 in den Bildelementzähler 408 das Speicherwort eingegeben wird, das die Koordinate X 2 durch die Anzahl der zwische Xi und X 2 liegenden Bildelemente definiert.
Der Bildelementzähler wird erneut durch die Bildelementimpulse PE im Sinne der Abwärtszählung fortgeschaltet, und er gibt beim Erreichen des Zählerstands Null am Ausgang 418 einen Impuls PEX2 ab, der im Verlauf der Zeilenabtastung in dem der Koordinate X 2 entsprechenden Zeitpunkt auftritt. Der gleiche Vorgang wird durch jeden folgenden Zeilenimpuls LN ausgelöst, so daß in jeder Zeile des Teilbildes ein Impuls PEX1 und ein Impuls PEA"2 erzeugt wird.
Der vom Ausgang 414 des Zeilenzählers 407 an die Halteschaltung 426 angelegte Impuls LNX 1 bringt die Halteschaltung 426 in eine Stellung, in welcher das Potential am Ausgang 427 einen hohen Pegel annimmt und gleichzeitig das Potential am Komplementärausgang 428 einen niedrigen Pegel annimmt. Der am Ausgang 415 des Zeilenzählers 407 abgegebene Impuls LNX 2 bringt die Halteschaltung 426 in die andere Stellung, in welcher das Potential am Ausgang 427 niedrig und das Potential am Ausgang 428 hoch ist. Somit gibt die Halteschaltung 426 am Ausgang 427 ein Signal LNC A ab, das in jedem Teilbild zwischen den Koordinaten Vl und K 2 einen hohen Pegel und im übrigen Teil des Teilbildes einen niedrigen Pegel hat. Dementsprechen hat das dazu komplementäre Signal I.NCi B am Ausgang 428 von der Koordinate Y2 eines Teilbilds bis zur Koordinate Y\ des nächsten Teilbilds einen hohen Pegel, während es zwichen den Koordinaten Vl und Y2 jedes Teilbildes einen niedrigen Pegel hat.
In gleicher Weise bewirken die der Halteschaltung 429 zugeführten Impulse PEX1 und PEX2, daß das am Ausgang 430 abgegebene Signal PEGA (Fig.5) in jeder Zeile zwischen den Koordinaten Xl und X 2 einen hohen Pegel und im übrigen Teil der Zeile einen niedrigen Pegel hat, während das am Ausgang 431 abgegebene komplementäre Signal PEG B von der Koordinate X 2 einer Zeile bis zur Koordinate X 1 der folgenden Zeile einen hohen Pegel und zwischen den Koordinaten X 1 und X 2 einen niedrigen Pegel hat.
Der in F i g. 8 dargestel'te Ausrichtdetektor 450 enthält einen Zeilenadreßzähler 452 in Form eines vierstufigen Binärzählers mit einem Voreinstelleingang. an welchen das Signal LNX 2 vom Ausgang 415 der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 (Fig. 7) angelegt j> wird. Der Takteingang des Binärzählers 452 ist an den Ausgang eines Frequenzteilers 453 angeschlossen, dem die Zeilensynchronimpulse LN zugeführt werden und der an seinem Ausgang Impulse mit der halben Folgefrequenz der Zeilensynchronimpulse Ζ-Λ/abgibt. 4η
Der Zeilenadreßzähler 452 ist so ausgebildet, daß er durch jedem seinem Voreinstelleingang zugeführten impuls LNX2 auf den Zählerstand 15 voreingestellt wird und dann durch die seinem Takteingang zugeführten Impulse mit der halben Folgefrequenz der Zeilensynchronimpulse im Sinne einer Rückwärtszählung fortgeschaltet wird. Während der gesamten Dauer der Zählung vom Beginn der Voreinstellung bis zum Erreichen des Zählerstandes Null gibt der Zeilenadreßzähler 452 an einem Ausgang 455 ein Signal LNCT w hohen Pegels ab (F i g. 5). Dieses Signal L/VCTwird an einen Freigabeeingang des Frequenzteilers 453 angelegt, so dab dieser nur während des Bestehens des Signals L/VCTAusgangsimpulse abgibt. Somit erscheint nach jeder Voreinstellung durch ein Signal LNX 2 am Ausgang des Frequenzteilers 453 eine Gruppe von sechzehn Taktimpulsen A-CLK mit der halben Folgefrequenz der Zeilensynchronimpulse LN, und der Binärzähler 452 bleibt nach dem Erreichen des Zählerstandes Null bis zur nächsten Voreinstellung durch ein Signal ZJVX 2 stehen. Das Signal LNCT erstreckt sich somit im Verlauf jedes Teilbilds von der Koordinate Y2 bis zur Koordinate Yi. Das Signal LNCTund die während seiner Dauer vom Ausgang des Frequenzteilers 453 abgegebenen Impulsgruppen A-CLK werden dem in Fig. 10 dargestellten Markierungssignalgenerator 500 zugeführt wie durch Pfeile angedeutet ist.
Während des Bestehens des Signals LNCT wird der Inhalt des Zeilenadreßzählers 452, ausgehend vom Anfangszählerstand 15, in jeder zweiten Teilbildzeile um Eins verringert, bis der Zählerstand Null erreicht ist; dann wird die Rückwärtszählung beendet. Im Verlauf dieser Zählung gibt der Zählerstand des Zeilenadreßzählers 452 jeweils die Nummer der Markierungslinie A 15, Λ 14, ...Ai, AO an, die der Teilbildzeile zugeordnet ist, zu der der Zeilensynchronimpuls LN gehört, der die Fortschaltung bewirkt. Diese im Zeilenadreßzähler 452 verfügbaren »Zeilenadressen« werden bei der dargestellten Schaltung allerdings nicht verwendet.
Ferner enthält der Ausricht-Detektor 450 einen Bildelementadreßzähler 456 in Form eines vierstelligen Binärzählers mit einem Voreinstelleingang, welcher das Signal PEX 2 vom Ausgang 418 der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 (Fig.7) empfängt, und mit einem Takteingang, der an den Ausgang eines Frequenzteilers
457 angeschlossen ist, der die Bildelementimpulse PE empfängt und Taktimpulse mit der halben Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE abgibt. Der Bildelementadreßzähler 456 ist in gleicher Weise wie der vierstufige Binärzähler 452 aufgebaut; er wird somit durch jeden Impuls PEX 2 auf den Zählerstand 15 eingestellt und anschließend durch die Taktimpulse mit der halben Folgefrequenz der Bildelementimpulse PE im Sinne einer Rückwärtszählung bis zum Erreichen des Zählerstandes Null vorgeschaltet. An einem Ausgang 459 wird während der gesamten Dauer der Zählung ein Signal PfCTabgegeben, das als Freigabesignal an den Frequenzteiler 457 angelegt wird, der somit nach jeder Voreinstellung durch ein Signal PEX2 eine Gruppe von 16 Taktimpulsen B-CLK liefert. Das Signal PfCTist in jeder Bildzeile zwischen den Koordinaten X 2 und X 3 vorhanden. Zusätzlich weist der Bildelementadreßzähler 456 eine Gruppe 458 von vier Ausgängen auf, welche die Ausgänge der binären Zählerstufen sind und Binärsignale ADDA. ADDB, ADDC. ADDD abgeben, die den jeweiligen Zählerstand in Form einer vierstelligen Binärzahl angeben. Die an den Ausgängen
458 erscheinenden Binärzahlen geben somit in jeder Teilbildzeile die Nummern der Markierungslinien ßl5 bis SO an. zu denen die in dieser Teilbildzeile erzeugten Impulse der Markierungssignale MK B 15 bis MKBO gehören. Die Rückwärtszählung in den Zählern 452 und 456 ist der Grund dafür, daß die Markierungslinien A 15 bis A 0 und B 15 bis SO »rückwärts numeriert sind.
Der in Fig. 10 dargestellte Markierungsgenerator 500 enthält eine Λ-Markierungsgeneratorschaltung 501 und eine ß-Markierungsgeneratorschaltung 502. Die /4-Markierungsgeneratorschaltung 501 empfängt an drei Eingängen die folgenden Signale:
A-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 453, F i g. 8) PEGA (vom Ausgang 430 der Halteschaltung 429,
Fig. 7)
LNCT (vom Ausgang 455 des Zeilenadreßzählers 452, Fig. 8).
Aus diesen Signalen werden durch digitale Verknüpfungen Signale gebildet, die in jeder zweiten TeHbüdzei-Ie des durch das Signal LNCT definierten Teilbildabschnitts während des Bestehens des Signals PEG A. also zwischen den Koordinaten Xl und X 2, den hohen Signalwert (weiß) haben. Die durch die Verknüpfung erhaltenen Signale werden als Markiernngssignale MK A am Ausgang 504 abgegeben.
Die B-Markiernngsgeneratorschaltung 502 empfängt
gebracht, in welcher am Ausgang Q ein Signal besteht, das den Zähler 47t am Steuereingang 476 auf Rückwärtszählung einstellt. Beim Erreichen des Zählerstandes Null erscheint am Ausgang 474 des Zählers 471 ein Signal, das das Flip-Flop 472 in die Arbeitsstellung bringt, wodurch der Zähler 471 auf Vorwährszählung umgeschaltet wird.
Der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 471 hat eine Gruppe von vier Ausgängen, die zusammen mit den beiden Ausgängen des Flip-Flops 472 die in F i g. 1 dargestellte Ausgangsgruppe 451 B bilden. Die drei ersten Augänge dieser Gruppe sind wieder die Stufenausgänge der drei letzten Stufen des Zählers, so daß an diesen drei Ausgängen eine Gruppe von drei Binärsignalen BA, BB, BC erscheint, die den erreichten Zählerstand in Form einer dreistelligen Binärzahl darstellen, wenn dieser Zählerstand Meiner als 8 (1000) ist. Der vierte Ausgang des Zählers, der unmittelbar der Ausgang der dem höchsten Stellenwert zugeordneten Zählerstufe ist, liefert ein Überschreitungssignal OVR B, wenn der Zählerstand am Ende des Zähjvorgangs den Wert 8 hat. Die beiden Ausgänge (?und (?des Flip-Flops 472 liefern Signale DIR -X bzw. DIR + X, die anzeigen, ob zur Korrektur eine Verschiebung des Chips in der negativen X-Richtung oder in der positiven X-Richtung erforderlich ist.
Im Gegensatz zu der Verknüpfungsschaltung 463 kann aber die Verknüpfungsschaltung 473 nicht einfach das digitalisierte Videosignal DlGVIDA mit den Markierungssignalen MK B verknüpfen. Die Analyse des digitalisierten Videosignals DIGVIDA innerhalb jedes durch ein Markierungssignal MK B gebildeten Datenfensters kann nämlich nicht unmittelbar zur Zählung verwer.et werden, weil diese Markierungssignale in einer großen Anzahl von aufeinanderfolgenden Teilbildzeilen wiederholt werden. Die in jeder Teilbildzeile erhaltenen Analyseergebnisse müssen daher festgehalten werden, bis die vollständige Bildung der Markierungslinien B beendet ist; erst dann können die Markierungslinien B gezählt werden, in deren Verlauf weiße Bildelemente im digitalen Videosignal DIG- VID A aufgetreten sind.
Zu diesem Zweck sind die vier Ausgänge 458 des Bildelementadreßzählers 456 mit vier zugeordneten Adreßeingängen einer 16-Bit-Halteschaltung 480 verbunden, die außerdem an einem Signaleingang die digitalen Videosignale DIGVIDA, an einem Löscheingang das Signal CLR und an einem Freigabeeingang die Markierungssignale MKB (MK B15 bis MKBO) empfängt. Die 16-Bit-Halteschaltung 480 wird am Beginn der für die Markierung und Analyse verwendeten Teilbilder durch den Impuls CLR gelöscht und anschließend im Verlauf des Teilbilds jeweils während des Bestehens eines Markierungssignals MKB zur Analyse der digitalen Videosignale DIGVIDA freigegeben. Die 16-Bit-Halteschaltung 480 hat eine Gruppe von sechzehn Ausgängen, die jeweils einer der sechzehn möglichen Kombinationen von Eingangssignalen an den vier Adreßeingängen und somit einer der Markierungslinien B15 bis B 0 bzw. dem entsprechenden Markierungssigna] MK β 15 bis MK B 0 zugeordnet sind. So ist der Ausgang Nr. 15 der Markierungslinie B15 zugeordnet, der Ausgang Nr. 14 der Markierungslinie B14 usw., bis zum Ausgang Nr. 0, der der Markierungslinie BO zugeordnet ist Wenn während des Bestehens eines Markierungssignals MK S15 ... MK BO, dessen Nummer durch die an den Ausgängen 458 des Bildelementadreßzählers 456 bestehende Binärzahl angegeben ist, ein weißes Bildelement im digitalen Videosignal DIGVID A erscheint, nimmt der zugeordnete Ausgang der 16-Bit-Halteschaltung 480 den Zustand »1« an, und der hält diesen Zustand fest, bis die 16-Bit-Halteschaltung durch einen neuen Löschimpuls CLR gelöscht wird. Entsprechend der Bildung der Markierungssignale MK B wird somit in aufeinanderfolgenden Teilbildzeilen am Ort jeder Markierungslinie B15 ... ß0 jeweils ein Bildelement des digitalen Videosignals DIGVIDA
iü analysiert. Sobald für das einer Markierungslinie der Gruppe B entsprechende Bildelement in einer beliebigen Teilbildzeile zum ersten Mal ein hoher Signalwert (weiß) im Signal DIGVIDA festgestellt wird, nimmt der dieser Markierungslinie zugeordnete Ausgang der 16-Bit-Halteschaltung 480 den Zustand »1« an, und er behält diesen Zustand bis zum nächsten Löschimpuls CLR bei. Am Ende der vollständigen Erzeugung der Markierungslinien 515 ... BO haben somit diejenigen Ausgänge der 16-Bit-Halteschaltung 480 den Zustand »1« angenommen, die Markierungslinien zugeordnet sind, in deren Verlauf wenigstens ein weißes Bildelement im digitalen Videosignal DlGVIDA war, während diejenigen Ausgänge, die Markierungslinien zugeordnet sind, in deren Verlauf kein weißes Bildelement im digitalen Videosignal DIGVIDA vorhanden war, den Zustand »0« beibehalten haben.
Die vier Ausgänge 458 des Bildelementadreßzählers 456 sind ferner mi! vier Adreßeingängen einer Abfrageschaltung 481 verbunden, die außerdem sech-
3» zehn Dateneingänge hat und so ausgebildet ist, daß sie an einem Ausgang 482 jeweils das Signal abgibt, das an dem Dateneingang anliegt, dessen Nummer durch die an den vier Adreßeingängen anliegende vierstellige Binärzahl angegeben ist. Die sechzehn Dateneingänge
« der Abfrageschaltung 481 sind mit den sechzehn Ausgängen der 16-Bit-Halteschaltung 480 verbunden. Die Abfrageschaltung 481 hat einen Freigabeeingang, an den das Signal PECT angelegt ist, so daß sie nur während der Dauer des Bestehens dieses Signals arbeitet. Die Abfrageschaltung 481 überträgt, somit im Verlauf jeder Teilbildzeile der Reihe nach die an den sechzehn Ausgängen der 16-Bit-Halteschaltung 480 vorhandenen Ausgangssignale zu ihrem Ausgang 482, wobei diese Abfragung in der Reihenfolge der Bildung der Markierungslinien S15, # 14... B 0 erfolgt.
Der Ausgang 482 der Abfrageschaltung 481 ist mit einem Eingang der Verknüpfungsschaltung 473 verbunden. Die Verknüpfungsschaltung 473 empfängt an einem zusätzlichen Steuereingang 477 ein Steuersignal 5, das
so in einer Steuerschaltung 478 aus den Signalen LN, LNX2, PEG, PECTund B-CLK so gebildet ist daß die Verknüpfungsschaltung 473 normalerweise gesperrt ist und nur in der dem Signal LNX 2 entsprechenden Teilbildzeile während der Dauer des Signals PECT freigegeben wird. Die Verknüpfungsschaltung 473 verarbeitet daher die Ausgangssignale der Abfrageschaltung 481 im Verlauf eines Teflbfldes nur ein einziges Mal, und zwar erst nach Beendigung der Bildung der vollständigen Markierungslinien der Gruppe B. Sie liefert dann an ihrem Ausgang jedesmal dann ein Signal, wenn während des Bestehens eines Taktsignals B-CLK ein Signal des Binärwertes »1« am Ausgang 482 vorhanden ist, und zwar so lange, wie solche Ausgangssignale am Ausgang 482 in ununterbrodiener Reihenfolge für jedes der aufeinanderfolgenden Taktsignale B-CLK erscheinen. Sobald zum ersten Mal für ein Taktsignal B-CLK kein Signal »1« am Ausgang 482 vorhanden ist wird die Abgabe weiterer Ausgangs-
signale von der Verknüpfungsschaltung 473 gesperrt.
Die ersten acht Ausgangssignale der Verknüpfungsschaltung 473 werden im Vorwärts-Rückwärts-Zähler 471 rückwärts gezählt, bis dieser den Zählerstand Null erreicht hat, worauf das Flip-Flop 472 umkippt, und die folgenden Ausgangssignale werden vom Vorwärts-Rückwärts-Zähler 472 vorwärts gezählt. Die Zählanordnung 470 gibt also, in gleicher Weise wie die Zählanordnung 460, an der Ausgangsgruppe 451 B unmittelbar die Anzahl der Markierungslinien der Gruppe B an, um die das Bild des Chips 52 in der X-Richtung verschoben werden muß, um die Ausrichtstellung zu erreichen, in der sich der rechte vertikale Rand zwischen der achten Markierungslinie Ö8 und der neunten Markierungslinie B 7 befindet (Fig. 4a), und die beiden Ausgänge des Flip-Flops 472 geben die Richtung an, in der diese Verschiebung stattfinden muß.
Wenn sich der Chip 52 von vorherein in dieser Ausrichtstellung befunden hat, haben im Zeitpunkt der Auswertung die Ausgänge Nr. 15, Nr. 14 ... Nr. 8 der 16-Bit-Halteschaltung 480 den Zustand »1« angenommen, weil die zugeordneten Markierungslinien B 15 ... B 8 im Innern des Bildes des Chips liegen und deshalb im Verlauf der zugeordneten Markierungssignale MK B 15 ... MK Ö8 weiße Bildelemente im digitalen Videosignal DICVIDA aufgetreten sind. Dagegen liegt die Markierungslinie B 7 vollständig außerhalb des Bildes des Chips und, falls ein benachbarter Chip vorhanden ist, vollständig in dem Zwischenraum zwischen den Chips. Im Verlauf des entsprechenden Markierungssignals MK B 7 (d. h. jeweils in den kurzen Zeitintervallen der in den aufeinanderfolgenden Teilbildzeilen erzeugten Einzelimpulse dieses Markierungssignals) sind keine weißen Bildelemente im digitalen Videosignal DIG- VIDA erschienen, und demzufolge hat der Ausgang Nr. 7 der 16-Bit-Halteschaltung 480 den Zustand »0« beibehalten. Die übrigen Ausgänge Nr.6 ... Nr. 0 der 16-Bit-Halteschaltung 480 können beliebige Zustände »0« oder »1« haben, je nachdem, ob die zugeordneten Markierungslinien 56 ... SO im Bild eines Chips liegen oder nicht; dies ist für die Auswertung bedeutungslos.
Wenn somit die Abfrageschaltung 481 im Verlauf der dem Signal LNX 2 entsprechenden Teilbiidzcilc die Ausgänge der 16-Bit-Halteschaltung 480 in der Reihenfolge der vom Bildelementadreßzähler 456 erzeugten Adressen, also beginnend mit dem Ausgang Nr. 15 abfragt, stellt sie in ununterbrochener Reihenfolge acht Ausgänge fest, die das Signal »1« führen, während der neunte abgefragte Ausgang das Signal »0« führt. Dementsprechend erscheinen am Ausgang der Verknüpfungsschaltung 473 nacheinander acht Impulse, worauf die Abgabe weiterer Impulse gesperrt wird. Diese acht Impulse werden von dem Vorwärts-Rückwärts-Zähler 471 rückwärts gezählt, so daß der Zählerstand in acht Schritten auf den Wert Null verringert wird. Der Zählerstand Null des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 471 zeigt am Ende des Zählvorganges an, daß keine Verstellung in der X-Richtung erforderlich ist.
Bei dem in" F i g. 4b dargestellten Fall, in welchem sich der rechte vertikale Rand des Bildes des Chips zwischen der zehnten Markierungslinie B 6 und der elften Markierungslinie B 5 befindet, haben im Zeitpunkt der Auswertung die Ausgänge Nr. 15 ... Nr. 6 der 16-Bit-Halteschaltung 480 den Zustand »1« angenommen, während der Ausgang Nr. 5 das Signal »0« führt. Dementsprechend gibt die Verknüpfungsschaltung 473 zehn Impulse am Ausgang ab. Durch die ersten acht Impulse wird der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 471 auf den Wert Null verringert, bei welchem das Flip-Flop 472 in den Arbeitszustand gebracht wird. Anschließend erreicht der Zähler 471 durch Vorwärts-
s zählung den Zählerstand 2, wodurch angezeigt wird, daß eine Verstellung um zwei Markierungslinienabstände in der X-Richtung vorgenommen werden muß. Das vom Flip-Flop 472 im Arbeitszustand am Ausgang Q abgegebene Signal DIR-X zeigt an, daß die
ι« Verstellung in der negativen X-Richtung erfolgen muß.
Im Fall von Fig. 4c ist dagegen der Ausgang Nr. 14 der 16-Bit-Halteschaltung 480 der erste Ausgang, der im Verlauf der Abfragung das Signal »0« führt, so daß am Ausgang der Verknüpfungsschaltung 473 nur ein einziger Impuls erscheint. Der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 471 wird somit nur um eine Einheit vom Anfangswert 8 auf den Wert 7 verringert, und das Flip-Flop 472 bleibt im Ruhezustand. Der Zählerstand 7 des Rückwärtszählers 471 zeigt an, daß eine Verstellung um sieben Markierungslinienabstände in der X-Richtung erforderlich ist, und das Signal DIR +Xam Ausgang Qdes Flip-Flops 472 zeigt an,daß die Verstellung in der positiven X-Richtung erfolgen muß.
F i g. 9 zeigt die Vorschubsteueranordnung 14. Sie hat zwei Gruppen mit je sechs Eingängen, die an die Ausgänge der Ausricht-Zählanordnung 460 und 470 angeschlossen sind und deren Ausgangssignale empfangen. Die Vorschubsteueranordnung 14 ermittelt aufgrund der Signale DIR+ Y, DIR-Y, DIR+X, DIR —X die Richtung der durchzuführenden Korrekturverschiebung des Kreuztisches 2 und erzeugt aufgrund der Zahlenwerte, die durch die Signalgruppen AA. AB. AC und BA. BB, BC angegeben sind, die
'"· Steuersignale, die über die Ausgangsleitungen 15, 16 an den X-Motor 3 und/oder den K-Motor 4 angelegt werden und veranlassen, daß diese Motoren die erforderliche Anzahl von Verstellschritten im richtigen Drehsinn ausführen. An einem weiteren Eingang wird
·"' der Vorschubsteueranordnung 14 das Signal TOP zugeführt, das bewirkt, daß die Vorschubsteueranordnung 14 nur während des für die Markierung und Analyse ausgewählten Teilbildes in jedem vollständigen Fernsehbild arbeitet. Ferner ist die Einstellvorrichtung
■t-> 17 für die Verstellschritte JXund /Vgezeigt.
Wenn die Vorschubsteueranordnung 14 ein Überschreitungssignal OVR A oder OVR Sempfängt, löst sie einen Vorschub des Kreuztisches 2 um die Strecke JX (F i g. 2) aus, um den nächsten Chip in die Ausrichtstel-
·"·'' lung zu bringen. Erst wenn bei einer festgelegten Anzahl von aufeinanderfolgenden Chips (beispielsweise fünf) jedes Mal ein Überschreitungssignal auftritt, wird die Maschine stillgesetzt und ein Alarm ausgelöst. Diese Maßnahme erweist sich als zweckmäßig, weil ein
■" Überschreitungszustand oft nur bei einzelnen Chips besteht; die Anzahl von Maschinenstillständen kann dadurch wesentlich verringert werden.
Die Fig. 11, IZ 13 und 14 zeigen ein mit handelsüblichen integrierten TTL-Schaltungen aufge-
w) bautes Ausführungsbeispiel von Bestandteilen der Ausricht-Ablaufsteuerschaltung 400 von Fig.7, des Ausrichtdetektors 450 von Fi g. 8 und des Markierungs-Generators 500 von F i g. 10.
F i g. 11 zeigt das Schaltbild des Zeilenzählers 407 von
fc1* Fig.7. Er enthält zwei in Kaskade geschaltete vierstufige Binärzähler des Typs SN 74 193, von denen der erste an seinem Rückwärtszähleingang (Stift 4) die Zeilensynchronimpulse LN über eine UND-Schaltung
an drei Eingängen die folgenden Signale:
B-CLK (vom Ausgang des Frequenzteilers 457, F i g. 8) LNG A (vom Ausgang 427 der Halteschaltung 426,
F i g. 7)
PECT (vom Ausgang 459 des Bildelementadreßzählers456,Fig.8).
Aus diesen Signalen werden durch digitale Verknüpfungen Signale gebildet, die in jeder Teilbildzeile des durch das Signal LNC A definierten Teilbildabschnitts, also zwischen den Koordinaten Y\ und Y2, bei jedem Taktimpuls der Taktimpulsgruppen B-CLK den hohen Signalwert (weiß) haben. Die durch die Verknüpfung erhaltenen Signale werden als Markierungssignale MK Sam Ausgang510 abgegeben.
Die Ausgänge 504 und 510 der beiden Markierungsgeneratorschaltungen 501, 502 sind mit den beiden Eingängen einer Oder-Schaltung 511 verbunden. Am Ausgang der Oder-Schaltung 511 wird somit ein zusammengesetztes Markierungssignal MK A-B erhalten, das über den Video-Wähler und -Mischer 100 an den Monitor 10 zur Wiedergabe der Markierungslinien A und Bangelegt werden kann.
Die Markierungssignale MKA und MKB werden außerdem als Datenfenster an die im Ausrichtdetektor 450 (Fig.8) enthaltenen Schaltungen angelegt, mit denen das Auftreten von weißen Bildelementen in den Bereichen des digitalen Videobildes festgestellt werden, die den Markierungslinien A 15 bis A 0 und B 15 bis ß0 entsprechen.
Datenfenster sind bekanntlich definierte Zeitabschnitte innerhalb eines Zeitraums, in deren Innerem eventuell auftretende Daten übertragen oder verarbeitet werden, während die nicht vom Innern der Datenfenster erscheinenden Daten von der Übertragung oder Verarbeitung ausgeschlossen werden. Ein Datenfenster kann einem zusammenhängenden Zeitabschnitt oder auch mehreren in Abständen liegenden Zeitabschnitten entsprechen. Im vorliegenden Fall definiert jedes der Markierungssignale MK A 15 bis MKAO und MKB15 bis MKBO ein Datenfenster innerhalb des einer Teilbildabtastung entsprechenden Zeitraums. Jedes durch ein Markierungssignal MK A 15 bis MK A 0 definierte Datenfenster entspricht einem zusammenhängenden Zeitabschnitt, der im mittleren Teil einer Zeilenperiode liegt. Jedes durch ein Markierungssignal MKBX5 bis MKBO definierte Datenfenster entspricht dagegen einer Vielzahl von sehr kurzen Zeitabschnitten, die im Abstand einer Zeilenperiode aufeinanderfolgen.
Da jeder Zeitpunkt der Teilbildabtastung umkehrbar eindeutig einem Bildpunkt auf dem Bildschirm zugeordnet ist. entspricht jedes Datenfenster auch einem definierten örtlichen Bereich des Videobildes. Diese örtlichen Bereiche können in Form der Markierungslinien auf dem Bildschirm sichtbar gemacht werden. Die Markierungslinien können also als die bildliche Wiedergabe der Datenfenster angesehen werden.
Wie bereits zuvor erläutert wurde, stellt der Ausrichtdetektor 450 im Verlauf einer einzigen Teilbfldabtastung die Markierungslinien jeder Gruppe A bzw. B fest, die Bereichen des digitalisierten Videobildes entsprechen, in denen weiße Bildelemente enthalten sind, und er liefert Ausgangssignale, weiche die in ununterbrochener Reihenfolge von innen nach außen gezählte Anzahl dieser Markierungslinien kennzeichnen, bis zu der ersten Markierungslinie jeder Gruppe, die einem Bereich des digitalisierten Videobil-
des entspricht, in dem keine weißen Bildelemente vorkommen. Dies ist gleichbedeutend mit der Feststellung der den Markierungslinien entsprechenden Datenfenster, in deren Innerem das digitale Videosignal DIG VID A den hohen Signal wert (weiß) annimmt.
Zu diesem Zweck enthält der Ausrichtdetektor 450 für die horizontale Markierungsliniengruppe A eine Ausricht-Zählanordnung 460 und für die vertikale Markierungsliniengruppe B eine Ausricht-Zählanordnung470.
Die Ausricht-Zählanordnung 460 enthält einen vierstufigen Vorwärts-Rückwärts-Binärzähler 461 und ein Flip-Flop 462. Der Zähler 461 ist durch ein seinem Steuereingang 466 zugeführtes Signal auf Vorwäm/äh-
is lung oder Rückwärtszählung einstellbar: dieser Steuereingang 466 ist mit dem komplementären Ausgang Q des Flip-Flops 462 verbunden. Der Finstelleingang des Flip-Flops 462 ist mit einem Ausgang 464 des Zählers 461 verbunden, an dem ein Signal abgegeben wird, wenn
2(i der Zähler den Zählerstand Null (0000) hat. Am Beginn jedes Teilbilds wird durch das Signal CLR der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 auf den Zählerstand 8 (1000) voreingestellt und das Flip-Flop 462 wird in den Ruhestand zurückgestellt, so daß der Zähler 461 aul
2"> Rückwärtszählung eingestellt ist. Der Takteingang 465 des Zählers 461 ist an den Ausgang einer digitalen Verknüpfungsschaltung 463 angeschlossen, die an einem Eingang die Markierungssignale MK A und am zweiten Eingang das digitale Videosignal DICVIDA empfängt.
)'i Die Verknüpfungsschaltung ist so ausgeführt, daß ihr Ausgangssignal den hohen Signalwert annimmt, wenn ihre beiden Eingangssignale gleichzeitig den hohen Signalwert haben, und dann diesen Signalwert, unabhängig von Änderungen des digitalen Videosignals
'"' DIGVID A. beibehält, bis das Markierungssignal MK A wieder auf den niedrigen Signalwert zurückgeht. Die ansteigende Flanke jedes Ausgangssignals der Verknüpfungsschaltung 463 bewirkt einen Zählschritt des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461. Die Verknüpfungs-Schaltung 463 ist ferner so ausgebildet, daß sie die Abgabe weiterer Ausgangssignale sperrt, sobald im Verlaufeines Markierungssignals MK A kein Ausgangssignal erschienen ist, selbst wenn im Verlauf späterer Markierungssignale MK A wieder die Bedingung für
4"> das Erscheinen eines Ausgangssignals, nämlich das gleichzeitige Vorhandensein eines hohen Signalwerts des digitalen Videosignals DlGVID A und des Markierungssignals MK A. erfüllt sein sollte.
Wenn somit im Verlauf jedes der ersten acht
"'" Markierungssignale MK A 15 bis MK A 8 der Gruppe MK A das digitale Videosignal DICVIDA wenigstens ein Mal den hohen Signalwert annimmt, wird der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 für jedes dieser Markierungssignale um eine Einheit
·'■'· verringert, bis er schließlich für das Markierungssignal MK A 8 den Wert Null erreicht. Bei diesem Zählerstand erscheint am Ausgang 464 ein Signal, durch welches der Flip-Flop 462 in den Arbeitszustand gebracht wird, so daß das Ausgangssignal am Ausgang T$ den Signalwert
w wechselt und den Zähler 461 auf Vorwärtszählung umschaltet. Für jedes der folgenden acht Markierungssignale MK A 7 bis MK A 0, für das die gleiche Bedingung erfüllt ist wird dann der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 jeweils wieder um
b=> eine Einheit erhöht bis er schließlich bei dem Markierungssignal MK A 0 den Wert 8 (1000) erreicht. Wenn jedoch im Verlauf eines Markierungssignals MKA das digitale Videosignal DIGVlDA nicht den
hohen Signalwert annimmt, wird der Zählvorgang beendet, und der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 bleibt auf dem bis dahin erreichten Zählerstand stehen, bis er am Beginn der nächsten Teilbildabtastung durch das Signal CLR wieder in seinen Ausgangszustand zurückgestellt wird.
Diese Art der Zählung ergibt den Vorteil, daß der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 unmittelbar die Anzahl der Markierungslinienabstände der Gruppe A angibt, um die das Bild des Chips 52 in der K-Richtung verschoben werden muß, um die Ausrichtstellung zu erreichen, in der sich der untere horizontale Rand zwischen der achten Markierungslinie A 8 und der neunten Markierungslinie Al befindet (Fig.4a). Ob diese Verstellung in der positiven oder in der negativen V-Richtung erfolgen muß, wird durch die Signale an den beiden Ausgängen Q und Q des Flip-Flops 462 angezeigt.
Der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 hat eine Gruppe von vier Ausgängen, die zusammen mit den beiden Ausgängen des Flip-Flops 462 die in F i g. 1 dargestellte Ausgangsgruppe 451 A bilden. Die drei ersten Ausgänge dieser Gruppe sind die Stufenausgänge der drei letzten Stufen des Zählers; an diesen drei Ausgängen erscheint somit eine Gruppe von drei Binärsignalen AA, AB, AC, die den erreichten Zählerstand in Form einer dreistelligen Binärzahl darstellen, wenn dieser Zählerstand kleiner als 8 (1000) ist.
Ein weiterer Ausgang jedes Zählers, der unmittelbar der Ausgang der dem höchsten Stellenwert zugeordneten ersten Zählerstufe ist, liefert ein binäres Signal OVR A. das den Wert »0« hat, wenn der Zählerstand kleiner als 8 ist, und den Wert »1«, wenn der erreichte Zählerstand 8 (oder größer) ist. Der Signalwert »1« erscheint im vorliegenden Fall beim Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 nur dann, wenn dieser entweder auf dem voreingestellten Wert 8 stehen bleibt, wenn also überhaupt keine Markierungssignale MK A gezählt werden, oder wenn bei der Vorwärtszählung wieder der Zählerstand 8 erreicht wird, also alle sechzehn Markierungssignale MK A15 bis MKAO gezählt worden sind. Der erste Fall ist gleichbedeutend damit, daß alle sechzehn Markierungslinien der Gruppe A außerhalb des Bildes des Chips liegen, eine Korrektur der Fehlausrichtung also nicht mehr möglich ist; der zweite Fall ist gleichbedeutend damit, daß alle sechzehn Markierungslinien der Gruppe A innerhalb des Bildes des Chips liegen, also ebenfalls eine Korrektur der Fehlausrichtung nicht mehr möglich ist. Das an dem vierten Ausgang des Zählers erscheinende Signal OVR A des Wertes »1« stellt also unmittelbar dai bereits früher erwähnte Überschreitungssignal dar.
Zwei weitere Ausgänge der Ausgangsgruppe 451 A sind durch die beiden Ausgänge ζ) und ^des Flip-Flops 462 gebildet. Am Ausgang ^ erscheint ein Signal DIR + Vdes Signalwerts »1«, wenn sich das Flip-Flop in der Ruhestellung befindet und somit der Zähler 461 auf Rückwärtszählung eingestellt ist, d. h. während der Zählung der acht ersten Markierungslinien A 15 bis A 8. Am Ausgang Q ersche'nt ein Signal DIR - Y des Signalwerts »1«, wenn sich das Flip-Flop in der Arbeitsstellung befindet und somit der Zähler 462 auf Vorwärtszählung eingestellt ist, also während der Zählung der acht letzten Markierungslinien A 7 bis A 0.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 4a, 4b, 4c soll erläutert werden, wie die Ausrichtzählanordnung 460 die Fehlausrichtung des Chips 52 in der ^-Richtung feststellt und im Verlauf von einer einzigen Teilbildabtastung Signale liefert, die unmittelbar die Größe und Richtung der Verstellung angeben, die erforderlich ist um die Ausrichtstellung zu erreichen, in der sich der untere horizontale Rand des Bildes des Chips zwischen der achten Markierungslinie A 8 und der neunten Markierungslinie A 7 befindet.
Wenn sich der Chip 52 von vornherein in dieser Ausrichtstellung befindet, zählt die Zählanordnung 460 acht Markierungssignale MK A 15 bis MK A 8, in deren
ίο Verlauf weiße Bildelemente im digitalen Videosignal DIG VID A auftreten. Dagegen erscheint im Verlauf des neunten Markierungssignals MK A 7 kein weißes Bildelement im digitalen Videosignal DIGVIDA, so daß die Zählung nach dem achten Markicrungssignal MK A 8 beendet wird... weil die Verknüpfungsschaltung 463 vom Markierungssignal MK Λ 7 an keine Ausgangssignale mehr abgibt. Der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 wird somit in acht Schritten auf den Wert Null verringert, und er bleibt dann auf diesem Zählerstand Null stehen. Der Zählerstand Null des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 zeigt nach Beendigung des Zählvorgangs an, daß keine Korrektur in der Y- Richtung erforderlich ist.
Bei dem in F i g. 4b dargestellten Fall, in welchem sich der untere horizontale Rand des Bildes des Chips zwischen der dritten und der vierten horizontalen Markierungslinie befindet, wird der Zählvorgang nach der Zählung des dritten Markierungssignals MK A 13 beendet. Der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 ist dann um drei Einheiten vom Anfangswert 8 auf den Wert 5 verringert worden. Der Zählerstand 5 des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 zeigt am Ende des Zählvorgangs an, daß zur Korrektur der Fehlausrichtung eine Verstellung um fünf Markie-
!■> rungslinienabstände in der V-Richtung erforderlich ist. Das Flip-Flop 462 ist in der Ruhestellung geblieben, sjo daß nach Beendigung des Zählvorgangs am Ausgang Q das Signal DIR + Y vorhanden ist, das anzeigt, daß die Verstellung in der positiven V-Richtung erfolgen muß.
Im Fall von Fig.4c wird dagegen der Zählvorgang erst nach Zählung des fünfzehnten Markierungssignals MKA 1 beendet. Der Zählerstand des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 461 wird zunächst durch Rückwärtszählung der ersten acht Markierungssignale MK A 15 bis MK A 8 auf den Wert Null gebracht. Beim Erreichen des Zählerstands Null wird das Flip-Flop 462 in die Arbeitsstellung umgeschaltet, und dann wird der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 durch Vorwärtszählung der folgenden sieben Markierungssignale MK A 7 bis MK A 1 auf den Zählerstand 7 gebracht. Der Zählerstand 7 zeigt am Ende des Zählvorgangs an, daß zur Korrektur der Fehlausrichtung eine Verstellung um sieben Markierungslinienabstände in der V-Richtung vorgenommen werden muß; das am Ausgang Q des Flip-Flops 462 vorhandene Signal D//?-V zeigt an, daß die Verstellung in der negativen V-Richtung erfolgen muß.
Die Ausricht-Zählanordnung 470 ist in gleicher Weise aufgebaut wie die Ausricht-Zählanordnung 460. Sie
bo enthält einen vierstufigen Vorwärts-Rückwärts-Zähler 471 und ein Flip-Flop 472, die in gleicher Weise geschaltet sind wie der Vorwärts-Rückwärts-Zähler 461 unu das Flip-Flop 462. Der Takteingang 475 des Vorwärts-Rückwärts-Zählers 471 ist mit dem Ausgang einer digitalen Verknüpfungsschaltung 473 verbunden. Am Beginn jeder Teilbildabtastung wird durch das Signal CLR der Zähler 471 auf den Zählerstand 8 voreingestellt und das Flip-Flop 472 in die Ruhestellung
dss Typs SN 74S08 empfängt An die Voreinstelleingänge (Stifte 15,1,10,9) der beiden Zähler werden die acht Bits des Speicherworts angelegt, das von dem in F i g. 11 nicht gezeigten Speicher 403 kommt Das vom zweiten Binärzähler beim Erreichen des Zählerstands Null (am Stift 13) abgegebene Signal wir;! in einer nachgeschalteten Verknüpfungsschaltung mit zwei D-Flipflops des Typs SN 7474 und zwei NAND-Schaltungen des Typs SN 7420 zur Bildung der Signale LNX 1 und LNX 2 verwendet.
Der Bildelementzähler 408 ist in der gleichen Weise aufgebaut, jedoch mit dem Unterschied, daß die Eingangssignale LN und FR von Fig. 11 durch die Eingangssignale PE bzw. LN ersetzt sind, und daß anstelle der Ausgangssignale LNXt und LNX 2 von Fig. 11 die Ausgangssignale PEX1 und PEX2 abgegeben werden.
Die Halteschaltungen 426 und 429 von F i g. 7 sind in Fig. 12 gezeigt; sie sind durch ein D-Flip-Flop des Typs SN 7474 bzw. des Typs SN 74S74 gebildet.
F i g. 12 zeigt ferner den Zeilenadreßzähler 452, der durch einen vierstufigen Binärzähler des Typs SN 74193 gebildet ist und an seinem Rückwärtszähleingang (Stift 4) das Signal A-CLK vom Ausgang des Frequenzteilers 453 empfängt, der durch ein D-Flipflop des Typs SN 7474 gebildet ist, an dessen Takteingang (Stift 3) die Zeilensynchronimpulse LN, angelegt sind. Der Zähler 452 empfängt das Signal LNX 2 an seinem Voreinstellsteuereingang (Stift 11), und er liefert das Signal LNCT am »Borrow«-Ausgang (Stift 13). An den Stufenausgängen (Stifte 3, 2, 6, 7) liefert der Zähler 452 vierstellige Binärzahlen, welche die Adressen der gezählten Zeilen angeben, doch werden diese Adressen im vorliegenden Fall nicht verwendet.
In gleicher Weise ist der Bildelementadreßzähler 456 durch einen vierstufigen Binärzähler des Typs SN 74193 gebildet, der an seinem Rückwärtszähleingang (Stift 4) das Signal B-CLK vom Ausgang des Frequenzteilers 457 empfängt, der ebenfalls durch ein D-Flipflop des Typs SN 7474 gebildet ist, das am Takteingang (Stift 3) to die Bildelementimpulse PE empfängt. Der Zähler 456 empfängt das Signal PEX 2 an seinem Voreinstellsteuereingang (Stift 11). Er liefert am »Borrow«-Ausgang (Stift 13) das Signal PECT und an den Stufenausgängen (Stifte 3, 2, 6, 7) die Binärsignale «5 ADD A, ADD B, ADD C, ADD D.
Fig. 13 zeigt die Ausricht-Zählanordnung 460 und die zugehörige Verknüpfungsschaltung 463. Der Zähler 461 ist ein vierstufiger programmierbarer Vorwärts-Rückwärts-Binärzähler des Typs SN 74191, der am Takteingang (Stift 14) die Ausgangssignale der Verknüpfungsschaltung 463 empfängt. Das Flipflop 462 ist ein //C-Flipflop des Typs SN 7473, dessen komplementärer Ausgang ζί (Stift 8) mit dem Steuereingang (Stift 5) des Zählers 461 verbunden ist. Die Stufenausgänge (Stifte 3, 2, 6, 7) des Zählers 461 liefern_die Signale AA, AB. AC. OVR A, und die Ausgänge Q, (?(Stifte 8,9) des Flipflops 462 die Signale DIR - Kund DIR + Y.
Die Verknüpfungsschaltung 463 enthält zwei D-Flipflops des Typs SN 7474, eine NAND-Schaltung des Typs «> SN 7400, eine UND-Schaltung des Typs SN 7408 und zwei Inverter des Typs SN 7404, die in der dargestellten Weise miteinander verbunden sind. Sie empfängt die Signale MK A und DIG VlD A.
Fig. 14 zeigt die Ausricht-Zählanordnung 470, die in M gleicher Weise aufgebaut ist wie die Ausrichtzählanordnung 460. Der vierstufige Vorwäi ts-Rückwärts-Binärzähler 471 ist wieder vom Typ SN 74191, und das Flipflop 472 ist ein /K-Flipflop des Typs SN 7473. Der Zähler 471 empfängt am Takteingang (Stift 14) das Ausgangssignal der Verknüpfungsschaltung 473 und am Steuereingang (Stift 5) das Signal vom Ausgang Q (Stift 8) des Flipflops 472. Die Stufenausgänge (Stifte 3,2,6,7) des Zählers 471 liefern die Signale BA, BB, BC, OVR B, und die Ausgänge Q, Ό (Stifte 8, 9) des Flipflops 472 liefern die Signale DIR - A'und DIR +X.
Die Verknüpfungsschaltung 473 besteht in diesem Fall aus einem D-Flipflop des Typs SN 74S74, einer NAND-Schaltung des Typs SN 74S00, einer UND-Schaltung des Typs SN 74Sl 1 und einem Inverter des Syps SN 74S04. Sie empfängt einerseits das Ausgangssignal vom Ausgang 482 der Abfrageschaltung 481 und andrerseits am Eingang 477 das Signal 5 vom Ausgang der Steuerschaltung 478.
Die Steuerschaltung 478 enthält ein D-Flipflop des Typs SN 7474, eine NAND-Schaltung des Typs SN 7410 und eine NOR-Schaltung des Typs SN 7402. Sie empfängt die Signale LN, LNX 2, PECT, PEC B, B-CLK und bildet daraus das Signal S.
Die 16-Bit-Halteschaltung 480 ist durch zwei adressierbare 8-Bit-Latches des Typs Am 93L34 ( = SN 74259) in Verbindung mit einem 16-zu-1 Multiplexer des Tpys SN 74150 gebildet, der zugleich die Abfrageschaltung 481 bildet.
In Fig. 12 sind noch die -4-Markierungsgeneratorschaltung 501 und die S-Markierungsgeneratorschaltung 502 des Markierungsgenerators 500 (Fig. 10) dargestellt. Die /4-Markierungsgeneraiorschaltung 501 enthält zwei D-Flip-Flops des Typs SN 7474 mit den zugehörigen Eingangsschaltungen und eine NAND-Schaltung des Typs SN 7420, welche die Ausgangssignale der beiden Flipflops sowie die Signale LNCT und LNC B empfängt und nach Invertierung in einem Inverter des Typs SN 74S04 die Markierungssignale MK A liefert. Die ß-Markierungsgeneratorschaltung 502 enthält ebenfalls zwei D-Flipflops des Typs SN 74S74 und eine NAND-Schaltung des Typs SN 74S20, die außer den Ausgangssignalen der beiden Flipflops die Signale PECT und PEG B empfängt und nach Invertierung in einem Inverter des Typs SN 74S04 die Markierungssignale MK B liefert.
Es sind verschiedene Abänderungen des beschriebenen Ausführungsbeispiels möglich, ohne daß dadurch die Funktionsweise beeinträchtigt wird. So ist die Anzahl von sechzehn Markierungslinien in jeder Gruppe nur als Beispiel anzusehen; es können auch mehr oder weniger Markierungslinien vorgesehen werden, je nach dem gewünschten Ausrichtbereich.
Ferner ist es nicht zwingend erforderlich, daß alle Abstände zwischen den Markierungslinien jeder Gruppe gleich groß sind. Insbesondere kann es vorteilhaft sein, den Abstand zwischen den beiden Markierungslinien, welche in der Ausrichtstellung zu beiden Seiten des Randes des Bildes des Objekts liegen, größer zu wählen als die Abstände zwischen den übrigen Markierungslinien. Bei dem zuvor beschriebenen Ausführungsbeispiel wäre dies der Abstand zwischen den Markierungslinien A 8 und A 7 der Gruppe A und zwischen den Markierungslinien BS und B7 der Gruppe B. Auf diese Weise wird ein etwas größerer Toleranzbereich in der Ausrichtstellung erzielt.
Bei dem beschriebenen Ausführungsbeispiel wird jedes Datenfenster als im Bild des Objekt liegend angesehen, wenn auch nur ein einziges weißes Bildelement in dem digitalen Videosignal im Verlauf dieses Datenfensters festgestellt wird. Auch diese
Bedingung ist nicht zwingend; es ware möglich, einen Schwellenwert festzulegen, so daß erst die eine bestimmte Mindestzahl überschreitenden weißen Bildelemente in jedem Datenfenster gezählt werden.
Schließlich ist es auch möglich, anstatt des unteren und des rechten Randes des Bildes des Objekts den linken und/oder den oberen Rand für die Ausrichtung zu verwenden. Die Verwendung des unteren und des rechten Randes ergibt jedoch den Vorteil, daß die Markierungslinien in der Reihenfolge in bezug auf das Bild des Objekts von innen nach außen gezählt werden, wie sie im Videobild erzeugt werden, nämlich die horizontalen Markierungslinien von oben nach unten (Richtung der Teilbildabtastung) und die vertikalen Markierungslinien von links nach rechts (Richtung der Zeilenabtastung).
Hierzu 14 Blatt Zeichnungen

Claims (25)

Patentansprüche:
1. Vorrichtung zum Ausrichten eines auf einem in wenigstens einer Achsrichtung einstellbaren Träger ί im Blickfeld einer Fernsehkamera angeordneten Objekts in bezug auf eine bekannte Bezugsposition, wobei die Fernsehkamera eine Fläche des Objekts und einen das Objekt umgebenden Randbereich in einem Zeilenraster abtastet und elektrische Video- ι ο
• signale erzeugt, die einem Bild des abgetasteten Bereichs entsprechen, mit einer Digitalisierungsanordnung, welche die Videosignale empfängt und daraus digitale Videosignale mit zwei Signalwerten bildet, die für die vom Objekt stammenden η Videosignale überwiegend einen ersten Signalwert und für die vom Ründbereich stammenden Videosignale den zweiten Signalwert haben, Analyseanordnungert zur Analyse der digitalen Videosignale in wenigstens einer Gruppe von Datenfenstern, die getrennten örtlichen Bereichen des Videobildes entsprechen, die in einer zugeordneten Achsrichtung vorbestimmte Abstände voneinander und unterschiedliche Abstände von einer zugeordneten Kante des Bildes des Objekts haben, wobei die Analysean-Ordnungen auf das Erscheinen von digitalen Videosignalen des ersten Signalwerts in jedem Datenfenster ansprechen und für jede Datenfenstergruppe Ausgangssignale liefern, welche von der Anzahl der in einem vorgegebenen Sinne in der jo zugeordneten Achsrichtung in ununterbrochener Reihenfolge gezählten Datenfenster abhängt, in deren Verlauf der Anteil an digitalen Videosignalen des ersten Signalwerts einen vorbestimmten Mindestwert überschreitet, und mit einer Steueranord- s> nung, welche die Stellung des Trägers um einen von den Ausgangssignalen der Analyseanordnungen nach Größe und Richtung abhängigen Betrag verändert, daß für jede Achsrichtung (X, Y) eine einer einzigen Kante des Bildes des Objekts -to zugeordnete Datenfenstergruppe (MK A, MK B) vorgesehen ist, und daß dann, wenn das Objekt (1; 52) auf die Bezugsposition (R) ausgerichtet ist, in jede Datenfenstergruppe (MK A, MK B)d\e Anzahl der in dem vorgegebenen Sinn in der betreffenden Achsrichtung in ununterbrochener Reihenfolge gezählten Datenfenster (MK A 15 bis MK A 0, MKBtS bis MK BO) mit einem den Mindestwert überschreitenden Anteil an digitalen Videosignalen (DIGVIDA) des ersten Signalwerts gleich einer V) vorbestimmten, von Null verschiedenen Zahl (N)ist.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Steueranordnung (14) die Stellung des Trägers (2) in jeder Achsrichtung um einen Wert verändert, der nach Größe und Richtung der Differenz (Q) zwischen der vorbestimmten, von Null verschiedenen Zahl (N) und der Anzahl (M) der im vorgegebenen Sinn in dieser Achsrichtung in ununterbrochener Reihenfolge gezählten Datenfenster (MK A 15 bis MK A 0,MK B 15 bis MK BO) der entsprechenden Datenfenstergruppe (MK A, MK B) mit den vorbestimmten Mindestwert überschreitendem Anteil an digitalen Videosignalen (DIGVID A) des ersten Signalwerts entspricht.
3. Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch einen Monitor (10) für die Sichtbarmachung des Videobildes, das durch die von der Fernsehkamera (6) erzeugten Videosignale darge
stellt ist.
4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Datenfenster (MK A 15 bis MK A 0, MK B 15 bis MK B 0) jeder Datenfenstergruppe (MK A, MK B) Videobildbereichen (A 15 bis AO, B15 bis 50) in Form von parallelen Linien entsprechen.
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, gekennzeichnet durch Generatorschaltungen (500) zur Erzeugung von Markierungssignalen (MK A 15 bis, MK A 0; MKBiS bis MKBO), die als Datenfens.ter an die Analyseanordnung (450) angelegt werden und bei Überlagerung über die von der Fernsehkamera (6) gelieferten Videosignale Markierungslinien (A 15 bis AO; 515 bis 50) darstellen, die den parallelen Linien entsprechen.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Generatorschaltungen (500) eine erste Gruppe (MKA) von Markierungssignalen (MK A 15 bis MK A 0) erzeugen, die sich jeweils über gleiche Abschnitte von Fernsehzeilen erstrekken und der Darstellung von horizontalen Markierungslinien (A 15 bis A 0) im Videobild entsprechen, und eine zweite Gruppe (MK B) von Markierungssignalen (MKBiS bis MKBO), die in einem Abschnitt jeder Fernsehzeile in Abständen liegende Impulse enthalten und der Darstellung von senkrecht zu den Fernsehzeilen verlaufenden vertikalen Markierungslinien (B 15 bis 50) im Videobild entsprechen.
7. Vorrichtung nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß bei einer mit Zeilensprung arbeitenden Fernsehkamera (6) die Markierungssignalgruppen (MK A, MK B) nur in einem ausgewählten Teilbild jedes vollständigen Fernsehbildes erzeugt werden.
8. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 7, gekennzeichnet durch eine Synchrontrennstufe (300), welche die Ausgangssignale der Fernsehkamera (6) empfängt und an zwei getrennten Ausgängen die Teilbildsynchronimpulse (FR) und die Zeilensynchronimpulse (LN) liefert, durch einen Impulsgenerator (11), der durch die Zeilensynchronimpulse derart synchronisiert ist, daß er im Verlauf der Abtastung jeder Fernsehzeile eine Folge von Bildelementimpulsen (PE) liefert, deren Frequenz groß gegen die Zeilenfrequenz ist und die definierte zeitliche Lagen in bezug auf den entsprechenden Zeilensynchronimpuls (LN) haben, und durch eine Ablaufsteuerschaltung (400), welche die Teilbildsynchronimpulse (FR), die Zeilensynchronimpulse (LN) und die Bildelementimpulse (PE) empfängt und in der Zahlen werte einstellbar sind (bei 401, 402), welche die Lage und Ausdehnung der Datenfenster (MK A15 bis MKAO; MKBlS bis MKBO) kennzeichnen, und welche durch Abzählung von Zeilensynchronimpulsen (LN) und Bildelementimpulsen (PE) Steuersignale (LNX 2, PEX 2, LNG A, LNGB, PEGA, PEGB) erzeugt, die durch die eingestellten Zahlenwerte bestimmte zeitliche Lagen und Ausdehnungen in jedem Teilbild bzw. jeder Teilbildzeile haben.
9. Vorrichtung nach Anspruch 8, gekennzeichnet durch einen Ausrichtdetektor (450), der die Steuersignale (LNX 2, PEX 2, LNGA, LNGB, PEGA. PEG B), die Markierungssignale (MK A15 bis MKAO; MKB15 bis MKBO) und die digitalen Videosignale (DlGVIDA) empfängt und für jede
Markierungssignalgruppe (MK A, MK B) eine Analyseschaltung (460, 463; 470, 473, 478, 480, 481) enthält, die durch die Markierungssignale (MK A 15 bis MK A 0; MK B15 bis MK B 0) der zugeordneten Markierungssignalgruppe (MK A, MK B) zrr Analy- ·*> se der digitalen Videosignale fD/GVYZ?/ψ freigegeben wird.
10. Vorrichtung nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß der Ausrichtdetektor (450) für jede Markierungssignalgruppe (MKA, MK B) emc in Ausricht-Zählanordnung (460, 470) enthält, die aufgrund .der durch die Analyse der digitalen Videosignale (DIG VID A) erhaltenen Signale einen Zählerstand annimmt, der von der Anzahl (M) der in dem vorgegebenen Sinne in ununterbrochener '"' Reihenfolge gezählten Markierungssignale (MK A 15 bis MK A 0; MK B 15 bis MK BO) in der entsprechenden Markierungssignalgruppe (MK A, MK B) abhängt, in deren Verlauf der Anteil des ersten Signalwerts in den digitalen Videosignalen :o (DIGVlD A)den vorbestimmten Mindestwen überschreitet.
11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß jede Ausricht-Zählanordnung (460, 470) so ausgebildet ist, daß sie an ihren :s Ausgängen (451Λ; 451 B) digitale Signale (AA, AB. AC, DIR-Y, DIR +Y; BA, BB, BC, DIR-X, DIR + X) abgibt, welche den Betrag und das Vorzeichen der Differenz (Q) zwischen der vo; bestimmten Zahl (N)und der Anzahl (M)der gezählten w Markierungssignale (MK A 15 bis MK AO; MK B 15 bis MK BO) angeben.
12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß jede Ausrichtzählanordnung (460, 470) einen Vorwärts-Rückwärts-Zähler (461, r> 471) enthält, der vor Beginn jeder Analyse auf einer, der vorbestimmten Zahl /TV)entsprechenden Zählerstand und auf Rückwärtszählung eingestellt wird, sowie eine Zählrichtungs-Steuerschaltung (462; 472), die beim Erreichen des Zählerstandes Null den -»o Vorwärts-Rückwärts-Zähler (461; 471) von Rückwärtszählung auf Vorwärtszählung umschaltet.
13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, daß die Zählrichtungs-Steuerschaltung (462: 472) durch ein Flip-Flop gebildet ist, ·»? dessen Umschalt-Steuereingang an einen Ausgang (464; 474) des Vorwärts-Rückwärts-Zählers (461) derart angeschlossen ist, daß das Flip-Flop beim Erreichen des Zählerstands Null umgeschaltet wird, und daß ein Ausgang (Q) des Flip-Flops (462; 472) w mit einem die Zählrichtung bestimmenden Eingang (466; 476) des Vorwärts-Rückwärts-Zählers (461; 471) verbunden ist.
14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die an den Ausgängen (Q, Q~) « des Flip-Flops (462; 472) erscheinenden Signale (DIR - Y, DIR + Y; DIR -X, DIR -f-A^zur Anzeige des Vorzeichens der Differenz (Q) verwendet werden.
15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis bo 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Vorwärts-Rückwärts-Zähler (461; 471) ein mehrstufiger Binärzähler ist, und daß die an den Ausgängen von Stufen des Binärzählers erscheinenden digitalen Signale (AA, AB, AC; BA, BB, BC) zur Anzeige des t>5 Betrags der Differenz fQ)verwendet werden.
16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, daß das am Ausgang einer weiteren Stufe des Binärzählers (461; 47?) erscheinende Signal (OVRA; OVRB) zur Anzeige eines das Ausrichten nicht zulassenden Überschreitungszustandes verwendet wird.
17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 12 bis 16, dadurch gekennzeichnet, daß der Zählsignaleingang (465; 475) des Vorwärts-Rückwärts-Zählers (461; 471) jeder Ausricht-Zählanordnung (460; 470) mit dem Ausgang einer Verknüpfungsschaltung (463) verbunden ist, die für jedes Markierungssignal (MKAiS bis MKAO; MK B15 bis MKBO der zugeordneten Markierungssignalgruppe (MKA, MK B), in dessen Verlauf der Anteil des ersten Signalwerts im digitalen Videosignal (DICVIDA) den vorbestimmten Mindestwen überschreitet, ein und nur ein Ausgangssignal abgibt und die Abgabe weiterer Ausgangssignale sperrt, wenn im Verlauf eines Markierungssignals der vorbestimmte Anteil des ersten Signalwerts im digitalen Videosignal (DIG VID A) nicht erreicht worden ist.
18. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Verknüpfungsschaltung (463) der Analyseschaltung (460, 463), die für die Analyse der den horizontalen Markierungslinien (A 15 bis A 0) entsprechenden Markierungssignaie (MK A 15 bis MK A 0) vorgesehen ist, an einem Eingang die digitalen Videosignale (DIGVID A) und am anderen Eingang die Markierungssignale (MK A 15 bis MK A 0) empfängt.
19. Vorrichtung nach Anspruch 17, dadurch gekennzeichnet, daß die Analyseschaltung (470,473, 478,480,481), die für die Analyse der den vertikalen Markierungslinien (B 15 bis SO) entsprechenden Markierungssignale (MK B15 bis MK BO) vorgesehen ist, eine Halteschaltung (480) aufweist, die für jedes einer Markierungslinie (B 15 bis SO) entsprechende Markierungssignal (MKBiS bis MKBO) eine Haltestufe aufweist, die in einen vorbestimmten Zustand gebracht wird, wenn der Anteil des ersten Signalwerts im digitalen Videosignal (DlGVlDA) während des Bestehens dieses Markierungssignals den vorbestimmten Mindestwert überschreitet, und daß eine Auswerteschaltung (481, 473, 478) zur Auswertung der am Ende der vollständigen Bildung der Markierungssignale (MKBXS bis MKBO) der betreffenden Markierungssignalgruppe (MK B) bestehenden Zustände der Haltestufen vorgesehen ist.
20. Vorrichtung nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der Halteschaltung (480) eine Abfrageschaltung (481) zugeordnet ist, welche die Ausgänge der Haltestufen der Reihe nach auf das Bestehen des vorbestimmten Zustands abfragt und deren Ausgang (482) mit einem Eingang der Verknüpfungsschaltung (473) verbunden ist.
21. Vorrichtung nach Anspruch 20, dadurch gekennzeichnet, daß eine Steuerschaltung (478) vorgesehen ist, die ein Steuersignal (S) erzeugt, das im Verlauf der letzten F.ernsehzeile, in der die Markierungssignale (MKBXS bis MKBO) der betreffenden Markierungssignalgruppe (MK B) erzeugt werden, während der Dauer dieser Markierungssignale vorhanden ist, und daß der das Steuersignal (S) liefernde Ausgang der Steuerschaltung (478) mit einem Steuereingang (477) der Verknüpfungsschaltung (473) verbunden ist.
22. Vorrichtung nach Anspruch 20 oder 21, gekennzeichnet durch einen im Takt der den vertikalen Markierungslinien (B 15 bis SO) entspre-
chenden Markierungssignalen (MK B 15 bis MK ß O) im Verlauf jeder Teilbildzeile fortgeschalteten Bildelementadreßzähler (456), der eine die Nummer jeder vertikalen Markierungslinie (B 15 bis SO) darstellende Gruppe von Ausgangssignalen (ADDA, ADD B, ADD C. ADD D) erzeugt, die an Adresseneingänge der Halteschaltung (480) und der Abfrageschaltung (481) angelegt sind.
23. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der vorbestimmte Mindestwert des Anteils am ersten Signalwert im digitalen Videosignal (DIGVID A) dem einmaligen Erreichen dieses Signalwerts entspricht.
24. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei einem in zwei Achsrichtungen (X, Y) einstellbaren Träger (2) die Datenfenstergruppen (MK A, MK B) Videobildbereichen (A, B) entsprechen, die am unteren Rand bzw. am rechten Rand des Videobildes des Objekts liegen.
25. Vorrichtung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß bei in Abständen nebeneinander auf dem Träger (2) angeordneten Objekten (1; 52) die Teilung der den Datenfenstern (MK A 15 bis MK A 0; MK B 15 bis MK BO) jeder Datenfenstergruppe (MKA; MK B) entsprechenden Videobildbereiche (A 15 bis A 0: Ö15 bis SO) kleiner als der Zwischenraum (53) zwischen zwei nebeneinanderliegenden Objekten (1; 52) ist. so daß in jeder Stellung des auszurichtenden Objekts wenigstens ein Datenfenster-Videobildbereich (A 15 bis A 0; B 15 bis ß0) vollständig in dem Zwischenraum (53) liegt.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3340705A1 (de) * 1982-11-22 1984-05-24 View Eng Hochgeschwindigkeits-mustererkennungsgeraet
DE3342491A1 (de) * 1982-11-27 1984-05-30 Ferranti plc, Gatley, Cheadle, Cheshire Automatische vorrichtung zum herstellen oder pruefen von geraeten
DE3343206A1 (de) * 1982-12-01 1984-06-07 Canon K.K., Tokio/Tokyo Mit ausrichtungsmarken versehenes blattfoermiges element sowie ausrichtungsvorrichtung fuer dasselbe
EP0482553A2 (de) * 1990-10-22 1992-04-29 Karl SÀ¼ss KG Präzisionsgeräte für Wissenschaft und Industrie - GmbH & Co. Messanordnung für x,y,gamma-Koordinatentische

Families Citing this family (32)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US5600734A (en) * 1991-10-04 1997-02-04 Fujitsu Limited Electron beam tester
US4389669A (en) * 1981-02-27 1983-06-21 Ilc Data Device Corporation Opto-video inspection system
US4414573A (en) * 1981-04-08 1983-11-08 Ampex Corporation Pattern recognition circuit for reliably distinguishing between different portions of a diascope pattern during video camera setup
US4475122A (en) * 1981-11-09 1984-10-02 Tre Semiconductor Equipment Corporation Automatic wafer alignment technique
JPS58114178A (ja) * 1981-12-26 1983-07-07 Fujitsu Ltd 2値化装置
US4466073A (en) * 1982-04-26 1984-08-14 The Perkin Elmer Corporation Wafer prealigner using pulsed vacuum spinners
US4550374A (en) * 1982-11-15 1985-10-29 Tre Semiconductor Equipment Corporation High speed alignment method for wafer stepper
JPS59119204A (ja) * 1982-12-27 1984-07-10 Toshiba Corp マ−ク位置検出方法
US4672557A (en) * 1983-03-26 1987-06-09 Disco Abrasive Systems, Ltd. Automatic accurate alignment system
US4546260A (en) * 1983-06-30 1985-10-08 International Business Machines Corporation Alignment technique
JPS60122304A (ja) * 1983-11-09 1985-06-29 Shinetsu Eng Kk 自動寸法測定装置
US4825394A (en) * 1985-05-07 1989-04-25 General Dynamics Corporation Vision metrology system
US4651203A (en) * 1985-10-29 1987-03-17 At&T Technologies, Inc. Video controlled article positioning system
JPS6362245A (ja) * 1986-09-02 1988-03-18 Canon Inc ウエハプロ−バ
JPH07123135B2 (ja) * 1986-09-30 1995-12-25 東京エレクトロン株式会社 プローバの誤差補正方法
US4972311A (en) * 1988-08-15 1990-11-20 Kulicke And Soffa Industries Inc. X-Y table error mapping apparatus and method
DE3837042A1 (de) * 1988-10-31 1990-05-03 Battelle Institut E V Vorrichtung zum positionieren von materialien in einem kraftfeld
JPH02165699A (ja) * 1988-12-20 1990-06-26 Matsushita Electric Ind Co Ltd 産業用ロボットによるフラットパッケージ型icの装着方法
DE3911357A1 (de) * 1989-04-07 1990-10-18 Nokia Unterhaltungselektronik Verfahren zum gegenseitigen justieren zweier bauteile einer anzeigeeinrichtung
US5097602A (en) * 1990-07-09 1992-03-24 Westinghouse Electric Corp. Apparatus and method for automated inspection of a surface contour on a workpiece
JP2991593B2 (ja) * 1993-08-19 1999-12-20 株式会社東京精密 ダイシング装置の半導体ウェハ形状認識装置
US6026172A (en) * 1996-09-06 2000-02-15 Lewis, Jr.; Clarence A. System and method for zoom lens calibration and method using same
US5734594A (en) * 1996-09-25 1998-03-31 Chartered Semiconductor Manufacturing Pte Ltd. Method and system for enhancement of wafer alignment accuracy
US6374149B1 (en) * 1998-05-18 2002-04-16 Texas Instruments Incorporated System and method for determining the center of a wafer on a wafer table
US6252631B1 (en) * 1998-09-14 2001-06-26 Advancedinteractive, Inc. Apparatus and method for encoding high quality digital data in video
US6705925B1 (en) * 2000-10-20 2004-03-16 Lightwave Microsystems Apparatus and method to dice integrated circuits from a wafer using a pressurized jet
JP2002141310A (ja) * 2000-11-06 2002-05-17 Tokyo Seimitsu Co Ltd ダイシング装置
DE10232026B3 (de) * 2002-07-16 2004-01-08 Man Roland Druckmaschinen Ag Vorrichtung zur Einstellung des Seitenregisters für Druckwerke von Rotationsdruckmaschinen
US7054477B2 (en) * 2002-11-13 2006-05-30 Uni-Tek System, Inc. Automatic accurate alignment method for a semiconductor wafer cutting apparatus
CN100439855C (zh) * 2004-01-29 2008-12-03 麦克罗尼克激光系统公司 用于在偏转器系统中测量标记位置的方法
JP2008538866A (ja) * 2005-04-25 2008-11-06 マイクロニック レーザー システムズ アクチボラゲット マイクロ・リソグラフィ・デフレクタ・システムの中でのマークの位置を測定するための方法
WO2017128043A1 (en) * 2016-01-26 2017-08-03 Microsoft Technology Licensing, Llc. Alignment of objects to multi-layer grid layouts

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CA968439A (en) * 1971-05-26 1975-05-27 Western Electric Company, Incorporated Video controlled positioning method and apparatus
US3899634A (en) * 1971-05-26 1975-08-12 Western Electric Co Video controlled positioning method and apparatus
DE2643810C2 (de) * 1976-09-29 1983-08-11 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zum Einjustieren
DE2643809B2 (de) * 1976-09-29 1980-10-09 Licentia Patent-Verwaltungs-Gmbh, 6000 Frankfurt Verfahren zum Einjustieren eines Körpers
DE2803653C3 (de) * 1978-01-27 1986-05-28 Texas Instruments Deutschland Gmbh, 8050 Freising Ausrichtvorrichtung

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE3340705A1 (de) * 1982-11-22 1984-05-24 View Eng Hochgeschwindigkeits-mustererkennungsgeraet
DE3342491A1 (de) * 1982-11-27 1984-05-30 Ferranti plc, Gatley, Cheadle, Cheshire Automatische vorrichtung zum herstellen oder pruefen von geraeten
DE3343206A1 (de) * 1982-12-01 1984-06-07 Canon K.K., Tokio/Tokyo Mit ausrichtungsmarken versehenes blattfoermiges element sowie ausrichtungsvorrichtung fuer dasselbe
EP0482553A2 (de) * 1990-10-22 1992-04-29 Karl SÀ¼ss KG Präzisionsgeräte für Wissenschaft und Industrie - GmbH & Co. Messanordnung für x,y,gamma-Koordinatentische
EP0482553A3 (en) * 1990-10-22 1992-06-17 Karl Suess Kg Praezisionsgeraete Fuer Wissenschaft Und Industrie - Gmbh & Co. Measuring device for x,y, gamma alignment tables

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DE2910580C3 (de) 1982-01-21
US4301470A (en) 1981-11-17
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