DE2643809B2 - Verfahren zum Einjustieren eines Körpers - Google Patents

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einjustieren eines Körpers auf eine Soll-Lage gemäß dem Oberbegriff des Anspruches 1. Derartige Justierverfahren sind beispielsweise in der Halbleitertechnik nötig, wo der Halbleiterkörper bzw. die bereits auf ihm befindlichen Strukturen auf Arbeitsmittel oder Kontaktierungsmittel einjustiert werden muß. So ist beispielsweise aus der OS 09 478 ein Verfahren bekannt, bei dem zusätzlich zu dem Bild des zu justierenden Körpers Positionsmarkierungen in Videosignale umgewandelt werden. Mit Hilfe von Stufenladungsschaltungen werden Überlappungen festgestellt und durch Mittelwertbildung zur Lagesteuerung verwendet. Ein ähnliches Verfahren ist aus der DE-OS 25 23 858 bekannt. Ferner ist aus. der US-Zeitschrift »Manufacturing Engineering and Management«, März 1971, Seiten 28 bis 31, ein Justierverfahren

bekannt, bei dem die Soll-Lage eines Werkstücks in einem Festwertspeicher abgespeichert wird, um einen späteren Vergleich mit den Ist-Lagen nachfolgender Werkstücke zu ermöglichen.

Bei weiteren bisher üblichen Justierverfahren wurde der mit Strukturen oder mit Justierhilfen versehene Halbleiterkörper oder eine Halbleiterscheibe unter mikroskopischer Beobachtung mit Hilfe von Mikromanipulatoren so justiert, daß die Strukturen des Halbleitcrkörpers oder der Halbleiterscheibe mit ι ο entsprechenden Strukturen der Arbeitsmittel bzw. der Kontaktmittel zur Deckung gelangten. Bei den Arbeitsmitteln handelt es sich beispielsweise um Fotomasken oder um Kontaktierungsmasken, die zur Herstellung von Diffusionsfenstern bzw. von Verbindungshalbleitern benötigt werden. Dieses Justierverfahren erfolgt manuell und ist somit kostenintensiv und zeitraubend.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Justierverfahren anzugeben, das grundsätzlich zur Lösung aller Justierprobleme bei Körpern beliebiger Art angewendet werden kann und unter Ausnutzung der Möglichkeiten der Datenverarbeitung vollautomatisch erfolgt Diese Aufgabe wird durch die Merkmale gemäß dem Kennzeichen des Anspruchs 1 gelöst.

Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, daß es vollautomatisch abläuft und eine visuelle Beobachtung des Justiervorganges nicht mehr unbedingt erforderlich ist Mit dem beschriebenen Verfahren kann jeder zu justierende Körper in eine gewünschte, vorgegebene und veränderbare Soll-Lage gebracht werden. Diese Soll-Lage kann beispielsweise durch die definierte Lage von Arbeitsmitteln vorgegeben sein, nut deren Hilfe der einzujustierende Körper weiteren Arbeitsprozessen unterworfen wird. Derartige Arbeitsmittel können bei der Verwendung des vorgeschlagenen Justierverfahrens in der Halbleitertechnik beispielsweise Photomasken oder Anschlußkontaktstreifen sein.

Von dem zu justierenden Körper wird vorzugsweise ein Fernsehbild erzeugt wobei dann von diesem Fernsehbild nur der Bildausschnitt digitalisiert und abgespeichert werden muß, der die Justierstelle enthält. Der Bildausschnitt muß dabei so groß gewählt werden, daß bei Beachtung der Zufuhrgenauigkeit des zu justierenden Körpers in die Justieranlage die Justierstelle mit Sicherheit innerhalb des genannten Bildausschnit- tes liegt Im Bildausschnitt muß somit eine Struktur des zu justierenden Körpers erscheinen, deren Soll-Lage in der Datenverarbeitungsanlage abgespeichert ist. Die nun im Bildausschnitt erscheinende Ist-Lage wird mit Hilfe des neuen Verfahrens mit der Soll-Lage verglichen so und die bei diesem Vergleich ermittelten Abweichungen werden durch die Datenverarbeitungsanlage errechnet und danach in eine entsprechende Verschiebung des zu justierenden Körpers umgesetzt.

Das Fernsehbild des zu justierenden Körpers kann zur visuellen Kontrolle, die jedoch nicht unbedingt erforderlich ist, mit Hilfe eines Monitors wiedergegeben werden. Innerhalb dieses Fernsehbildes wird dann der zu digitalisierende und abzuspeichernde Bildausschnitt vorzugsweise aufgehellt wiedergegeben, so daß ein eventueller Beobachter stets feststellen kann, ob die als Justierhilfe herangezogene Struktur des zu justierenden Körpers innerhalb des Bildausschnittes liegt. Dies ergmöglicht eine Kontrolle der Zuführgenauigkeit des zu justierenden Körpers in die Justieranlage. <>5

Ein Fernsehbild besteht aus zwei Halbbildern, wobei das erste Halbbild nur die ungeraden Zeilenzahlen des Fernsehbildes enthält, während im zweiten Halbbild dann die geraden Zeilenzähler wiedergegeben werden. Es hat sich gezeigt, daß es zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ausreicht wenn nur der Bildausschnitt aus einem der beiden Halbbilder des Fernsehbildes digitalisiert wird. Auf diese Weise kann das Justierverfahren beschleunigt werden, da nicht erst die Abtastung des zweiten Halbbildes abgewartet werden muß.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist vorgesehen, daß aus den von der Fernsehkamera abgegebenen Impulsen die Zeilenimpulse und die Startimpulse für die Halbbilder ausgefiltert werden und die Zeilenimpulse nach dem Startimpuls für das vorbestimmte Halbbild auf einen Zeilenzähler gegeben werden. Dieser Zeilenzähler löst erst ab einer durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Zeilenzahl die Abspeicherung eines Teils der Bildpunkte einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Zeilen aus. Dies ist deswegen nötig, da ja nur die Zeilen des Fernsehbildes, die in den Bildausschnitt fallen, abgefragt werden sollen. Die so ausgewählten Bildzeilen, von denen nun ein Teil abgespeichert werden muß, werden mit Hilfe eines Taktgenerators in Bildpunkte zerlegt Dem Taktgenerator wird ein Bildpunktzähler nachgeschaltet der erst nach einer wiederum durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Bildpunktzahl jeder Zeile die Abspeicherung einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Bildpunkte auslöst. Dieses Abzählen der Bildpunkte ist nötig, da wiederum nur die in den Bildausschnitt fallenden Bildpunkte digitalisiert und abgespeichert werden sollen.

Um den Informationsinhalt der Bildpunkte abspeichern zu können, muß dem jeweiligen Helligkeitswert jedes Bildpunktes eine binäre Größe zugeordnet werden. Dies geschieht dadurch, daß bis zu einer bestimmten Helligkeit ein Bildpunkt als »schwarz« deklariert wird und mit der einen binären Größe versehen wird, während ein Bildpunkt, dessen Helligkeit den gewählten Schwellwert übersteigt als »weiß« gilt und mit der anderen binären Größe versehen wird. Hierzu wird während der Abtastzeit des Bildausschnittes das Bildsignal auf einen Komparator gegeben, indem die der Bildhelligkeit entsprechende Spannung mit einer Vergleichsspannung, die dem Schwellwert entspricht, derart verglichen wird, daß bei einer Unterschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildes dem einen binären Wert entspricht und bei Überschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildpunktes dem anderen binären Wert »0« oder »1« entspricht Der somit einer »Schwarz-Weiß-Information« entsprechende digitalisierte Informationsinhalt der abzuspeichernden Bildpunkte einer Bildzeile wird in ein Schieberegister mit entsprechender Stellenzahl eingeschrieben. Nach der Abspeicherung der Bildpunkte jeder Zeile wird dann der Informationsinhalt des Schieberegisters, der aus einer Serie von »0« und »!«-Werten besteht, in einen Computer übertragen. Nach der Übertragung der Bildpunkte aller abzuspeichernden Bildzeilen wird im Computer der abgespeicherte Gesamtinhalt des Ist-Bildes mit dem gleichfalls abgespeicherten Gesamtbild des Soll-Bildes verglichen. Mit Hilfe eines in den Computer einzugebenden Programms werden nun die Abweichungen zwischen dem Ist-Bild und dem Soll-Bild errechnet und diese in eine entsprechende Verschiebung der zu justierenden Körper umgesetzt.

Zur Feststellung von Winkelabweichungen der Ist-Lage von der Soll-Lage können aus dem von der

Fernsehkamera aufgenommenen Gesamtbild zwei voneinander möglichst weit entfernte Bildausschnitte des zu justierenden Körpers digitalisiert und abgespeichert werden, wobei natürlich in jedem Bildausschnitt eine justierfähige Struktur enthalten sein muß. Im Computer werden dann aus dem Vergleich der Ist-Lagen beider Justierstellen mit den in der Datenverarbeitungsanlage abgespeicherten beiden Soll-Lagen Winkelabweichungen errechnet und diese in eine Drehbewegung des zu justierenden Körpers umgesetzt. Wenn zwei Bildausschnitte aus dem Gesamtfernsehbild digitalisiert und abgespeichert werden, ist es vorteilhaft, den einen Bildausschnitt dem ersten Halbbild des Fernsehbildes zu entnehmen und den anderen Bildausschnitt dann dem nachfolgenden zweiten Halbbild des Fernsehbildes zu entnehmen, zu digitalisieren und abzuspeichern.

Die Erfindung und ihre weitere vorteilhafte Ausgestaltung soll im weiteren noch anhand eines Ausführungsbeispiels näher erläutert werden.

Als Ausführungsbeispiel wird hierbei die Einjustierung eines Halbleiterkörpers bzw. der auf einem Halbleiterkörper befindlichen Struktur auf eine Soll-Lage geschildert Bei der zur Justierung herangezogenen Struktur auf dem Halbleiterkörper handelt es sich beispielsweise um einen Metallkontakt, der zur automatischen Justierung in eine Soll-Lage gebracht werden muß, in der sich beispielsweise der zugeordnete Kontaktierungsfinger eines rahmenförmigen Kontaktierungsstreifens befindet.

Durch entsprechende Beleuchtung des Halbleiterkörpers kann man erreichen, daß sich dieser Anschlußfleck sehr deutlich von seiner Umgebung abhebt. Ist zum Beispiel die Umgebung hell, der Anschlußkontakt dunkel, so genügt es, zur Digitalisierung des Bildes den Bildinhalt des Fernsehsignals mit einer »Schwarz-Weiß-Schwelle« zu vergleichen.

Zur Erzeugung des Fernsehbildes wird beispielsweise eine handelsübliche Industriefernsehkamera mit 875 Zeilen pro Bild verwendet, die über eine Optik mit der gewünschten Vergrößerung das Bild des zu justierenden Halbüeiterbauelementes erfaßt Da die Kantenlänge von Halbleiterbauelementen bzw. ingegrierten Schaltkreisen nur wenige mm beträgt wird die Vergrößerung der Optik beispielsweise so eingestellt, daß 200 Bildzeilen einen Bildbereich von 1 mm Breite überstreichen. In der F i g. 1 ist nun das Gesamtbild 1 dargestellt das von der Fernsehkamera erfaßt wird. Dieses Gesamtbild enthält beispielsweise einen integrierten Halbleiterschaltkreis 2, der an der abgebildeten Oberfläche zahlreiche Anschlußkontakte 4 aufweist Es genügt, wenn mit Hilfe einer entsprechenden Justieranlage einer dieser Anschlußpunkte 4 in eine vorgegebene Soll-Lage gebracht wird. Wenn diese Justierung mit hinreichender Genauigkeit erfolgt, werden mit ihr auch alle übrigen Anschlußpunkte in die erforderliche Lage gebracht Mit den heute üblichen technischen Hilfsmitteln ist es möglich, ein Halbleiterbauelement oder einen integrierten Schaltkreis mit einer Zuführgenauigkeit von etwa ± 100 μίτ. in eine gewünschte Position zu bringen. Diese Genauigkeit reicht aber nicht aus, um die Anschlußkontakte der Halbleiterscheibe beispielsweise vollautomatisch mit Kontaktierungsstegen zu verbinden. Hierzu ist eine Genauigkeit von etwa ± 10 um erforderlich, die bei Anwendung des erfindungsgemäßen Justierverfahrens eingehalten werden kann.

Um die Bildzerlegung möglichst schnell durchführen zu können, wird für eine Justierung nur ein Halbbild des Fernsehbildes ausgewertet Bei einer Fernsehanlage mit 875 Zeilen pro Bild enthält somit das Halbbild 437 Zeilen, von denen für den Bildinhalt des Gesamtbildes, 1410 Zeilen ausnutzbar sind. Wenn man davon ausgeht, daß die nachgeschalteten Koordinatensteuerungen, mit denen der Halbleiterkörper verschoben wird, eine Genauigkeit von ± 5 μπι haben, muß die Auflösung der Bildzeile ebenfalls bei ±5 μπι liegen, w nn die verlangte Justiergenauigkeit eine Größe von ± 10 μηι hat Hieraus ergibt sich, daß der Zeilenabstand der erfaßten Bildzeile ίο etwa 5 μηι groß sein muß. Bei der genannten Zuführgenauigkeit des Halbleiterkörpers durch die Mechanik der Justieranlagen von ±100 μπι und einer Größe des zu erfassenden Kontaktierflecks 4 von 100 χ 100 μΐη muß das abzutastende Bildfenster 3 eine is Mindestgröße von 300 χ 300 μπι haben, damit die Justierstruktur 4 mit Sicherheit innerhalb des abzutastenden Bildfensters 3 liegt. Bei einem Zeilenabstand von 5 μηι enthält somit das Bildfenster 3 in vertikaler Richtung 60 abzutastende Zeilen. Die Gesamtbildgröße beträgt bei 410 Zeilen mit einem Abstand von 5 μπι und einem Bildverhältnis von 4 :3, 2,73 χ 2,05 mm. Die Optik für die Bilderfassung muß daher so gewählt werden, daß ein Bild dieser Größe von der Fernsehkamera wiedergegeben wird. Jede Bildzeile muß nun in Bildpunkte zerlegt werden, die gleichfalls einen Abstand von 5 μιτι voneinander haben. Zur Abtastung einer Zeile stehen 35,5 \is zur Verfügung, was einer abgebildeten Zeilenlänge von 2,73 mm entspricht. Dies bedeutet, daß jede Bildzeile in 546 Bildpunkte zerlegt wird. Der Abstand zweier Bildpunkte beträgt dann 65 ns. In den Bereich des Bildfensters 3 fallen von den gesamten 546 Bildpunkten jeder Zeile 60 Bildpunkte, wenn das Bildfenster eine Breite von 300 μπι aufweist Da viele Datenverarbeitungsanlagen eine Wortbreite von 16 bit haben, wurde für den Bildausschnitt 3 eine Größe von 64 Zeilen χ 64 Bildpunkten gewählt, was einem Justierbereich von 320 χ 320 μηι entspricht

Um jeden beliebigen Anschlußpunkt 4 des Halbleiterkörpers erfassen zu können, läßt sich das abzutastende Bildfenster 3 elektronisch an jede beliebige Stelle des Bildes bringen. Das Bildfenster wird durch eine Aufhellung des Bildes am Monitor sichtbar gemacht

In der F i g. 2 ist das Blockschaltbild der Justieranlag« dargestellt Die handelsübliche Fernsehkamera 20 mi 875 Zeilen pro Bild erfaßt über ihre Optik 16 das Bile des zu justierenden Halbleiterbauelementes 2. Aus der bereits geschilderten Gründen wird die Vergrößerung der Optik 16 so gewählt der Abstand zwischen 2 Zeilei 5 μπι beträgt Durch eine Auflichtbeleuchtung 18 übei zo einen halbdurchlässigen Spiegel 17 wird das Halbleiter bauelement 2 so beleuchtet daß ein möglichs kontrastreiches Bild entsteht Die Anschlußpunkte ' (Fig. 1) erscheinen tiefschwarz gegenüber der si< umgebenden Halbleiteroberfläche. Das Videosignal de: Fernsehkamera wird einmal dem Monitor 19 zugeführt der das Bild von dem Halbleiterkörper wiedergibt, zun anderen einer Elektronik 21, die aus dem Videosigna den Impuls für den Beginn des zweiten Halbbildes un< die Zeilenimpulse herausfiltert Sobald der Impuls fü den Beginn des zweiten Halbbildes erscheint, werdei die nachfolgenden Zeilenimpulse auf einen Zeilenzähle 9 gegeben, der über einen Vorwahlschalter 7 auf dl· Zeilenzahl voreingestellt ist, bei der die Bildabtastung ii vertikaler Richtung beginnen solL Mit dem Vorwahl schalter kann somit die vertikale Lage des abzutasten den Bildausschnittes eingestellt werden. Mit jeder Zeilenimpuls, der auf den Zeilenzähler 9 gelangt, win der Zählerstand um 1 erniedrigt, bis die Stellung

erreicht ist. Dann zählt ein weiterer Zähler die abzutastenden 64 Zeilen, die in Bildpunkte zerlegt werden müssen. Nach diesen 64 Zeilenimpulsen ist die Abtastung in vertikaler Richtung beendet.

Mit Beginn der ersten abzutastenden Zeile, die in den Bildausschnitt fällt, wird ein 15,38 MHz-Generator 11 eingeschaltet, der die Zeile in Bildpunkte von 65 ns Dauer zerlegt. Die Impulse des Taktgenerators 11 werden einem Zähler 10 zugeführt, der über den Zeilenimpuls durch einen Vorwahlschalter 8 auf den Bildpunkt voreingestellt wird, bei dem die Abtastung in horizontaler Richtung erfolgen soll. Somit wird über den Vorwahlschalter der Beginn des Bildausschnittes in horizontaler Richtung bestimmt. Mit jedem ankommenden Bildpunktimpuls einer Zeile wird nun der Zählerstand des Bildpunktzählers 10 um 1 erniedrigt, bis der Zählerstand 0 erreicht ist. Dann zählt ein weiterer Zähler die abzutastenden 64 Bildpunkte, die im Schieberegister 13 abgespeichert werden sollen. Nach Ende dieser 64 Zählerschritte ist eine Zeile abgetastet. Die Auswertelektronik 12 stellt nun fest, wenn gerade die 64 Bildpunkte einer Zeile abgetastet werden. Während dieser Zeit wird das 64stellige Schieberegister 13 zur Abspeicherung der Bildpunkte freigegeben. Der Schiebetaktimpuls für das Schieberegister wird vom Taktgenerator 11 bezogen. Während der Zeit, in der die Abtastung der Bildpunkte erfolgt, wird durch die Auswertelektronik die Helligkeit des Monitors geringfügig erhöht. Man erhält dadurch auf dem Monitor einen hell erleuchteten Bildausschnitt, der dem abgetasteten Bildausschnitt 3 (F i g. 1) entspricht.

Während der Zeit, in der die 64 Bildpunkte abgetastet werden, wird nun, wie bereits erwähnt, das 64stellige Schieberegister 13 zur Aufnahme des Informationsinhalts dieser Bildpunkte freigegeben. Um eine Schwarz-Weiß-Entscheidung für jeden Bildpunkt treffen zu können, wird das Videosignal von der Fernsehkamera einer Vergleichsschaltung 5 zugeführt, der ferner eine Vergleichsspannung 6 zugeführt wird, die die Schwelle für die Schwarz-Weiß-Entscheidung definiert. Der Komparator 5 gibt also immer dann, wenn das Videosignal den Schwellwert der Vergleichsspannung überschreitet, ein Signal ab, welches dem Wert »schwarz« entspricht. Bei Unterschreitung des Schwellwertes gibt der Komparator ein Signal ab, das dem Wert »weiß« entspricht Den Werten »weiß« und »schwarz« wird nun jeweils eine binäre Größe »0« bzw. »!«zugeordnet

Während der Abtastzeit wird nun alle 65 ns in das Schieberegister eine Binärgröße eingeschrieben, die dem zu diesem Zeitpunkt jeweils am Ausgang des Komparators entstehenden Signalwert entspricht Nach 64 Zählimpulsen sind im Schieberegister 13 die abgetasteten 64 Bildpunkte der entsprechenden Zeile gespeichert Nach der Abspeicherung der 64 Bildpunkte einer Bildzeile erhält der Computer 14 von der Auswertelektronik 12 einen Befehl zur Übernahme des Schieberegisterinhalts. Dieser wird dann über den schnellen Datenkanal in den Computer 14 übertragen. Auf diese Weise werden alle 64 gewünschten Zeilen abgetastet und im Computer abgespeichert

Sind alle 64 Zeilen abgearbeitet, wird dies über die Auswertelektronik 12 der Rechenanlage 14 gemeldet. Nun vergleicht der Computer das abgetastete Bild gemäß einem vorgegebenen Auswertprogramm mit der τ im Computer abgespeicherten Soll-Lage des Justierfeldes und berechnet aus den Unterschieden die Abweichung des Halbleiterbauelementes 1 von dieser Soll-Lage. Die ermittelten Abweichungen werden vom Computer auf eine X-K-Koordinatensteuerung 15

in übertragen, die Antriebsmotoren enthalten. Mit deren Hilfe wird nun der Halbleiterkörper in die gewünschte Soll-Lage transportiert, in der das Halbleiterbauelement dann weiteren Bearbeitungsschritten unterzogen werden kann.

i^ri Wenn der zu justierende Körper nicht nur in x-y- Richtung justiert werden muß, sondern auch noch um einen Winkel ζ zu drehen ist, so wird die anhand der F i g. 2 beschriebene Bilderfassungselektronik zweimal verwendet. Auf diese Weise ist es möglich, gleichzeitig zwei getrennte Bildausschnitte von zwei verschiedenen Justierstellen zu erfassen. Dies ist in der F i g. 3 dargestellt. Es wird sowohl ein Bildausschnitt 3a als auch ein hiervon entfernt liegender Bildausschnitt 3b erfaßt, digitalisiert und abgespeichert. Die beiden Ist-Bilder der Justierstrukturen 4, die wiederum beispielsweise von Kontaktflecken gebildet werden, werden in der Datenverarbeitungsanlage mit zwei Soll-Bildern dieser Strukturen verglichen. Aus dem Vergleich wird dann sowohl die notwendige Verschiebung des Ist-Bildes in

jo x-y-Richtung als auch der erforderliche Drehwinkel berechnet. Über eine Koordinatensteuerung werden dann die ermittelten Bewegungen ausgeführt.

Beide Bildausschnitte werden vorzugsweise dem gleichen Halbbild entnommen. In der Fig.4 ist das

r> vereinfachte Blockschaltbild dargestellt. Erforderlich ist wiederum eine Fernsehkamera 20, die über eine Optik 16, einen Spiegel 17 und die Beleuchtungsquelle 18 ein Bild von dem Halbleiterbauelement bzw. dem integrierten Schaltkreis 2 aufnimmt und an einen Monitor 19 bzw. an die beiden Bilderfassungssysteme 23 und 24 abgibt. Die digitalisierten Bildausschnitte werden wiederum in einen Computer 16 eingegeben und dort mit den Soll-Lagen beider Bilder mit Hilfe eines entsprechenden Auswertprogramms verglichen. Aus den Abweichungen werden die erforderlichen Steuerungsbefehle für die Koordinatensteuerung in x-y- und z-Richtung errechnet. Die Verschiebung des Halbleiterkörpers bzw. der den Halbleiterkörper tragenden Unterlage erfolgt über entsprechend angetriebene

so Steuermotoren.

Das erfindungsgemäße Justierverfahren kann praktisch für die Lösung sämtlicher Justierprobleme verwendet werden. Die jeweils gewählten Auflösungsverhältnisse und die Größe der Bildfenster müssen dann den Gegebenheiten angepaßt werden. In der Halbleitertechnik kann das vorgeschlagene Justierverfahren zur Einjustierung der Halbleiterkörper bzw. Halbleiterscheiben auf die für die Bearbeitung der Halbleiterbauelemente vorgesehenen Bearbeitungsmittel bzw. Kontaktierungsmittel verwendet werden.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims (13)

Patentansprüche:

1. Verfahren zum Einjustieren eines Körpers auf eine Soll-Lage, bei dem von der Ist-Lage wenigstens einer Justierstelle des Körpers ein Bild erzeugt und dieses Bild in Bildpunkte zerlegt wird, deren Abstand kleiner ist als die geforderte Justiergenauigkeit und bei dem der Informationsinhalt des Bildes mit einem weiteren, der Justierung dienenden Bild verglichen wird, welches in digitalisierter Form in einer ι ο Datenverarbeitungsanlage abgespeichert ist, und die sich aus dem Vergleich ergebende Abweichung zur Lagesteuerung des zu justierenden Körpers verwendet wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildpunkte des Bildes von der Ist-Lage in an sich is bekannter Weise digitalisiert und in der Datenverarbeitungsanlage abgespeichert werden und daß die gespeicherten Ist- und Soll-Lagen der Justierstelle miteinander verglichen und Abweichungen errechnet werden und daß dann der zu justierende Körper um das Maß der ermittelten Abweichungen mit Hilfe von über die Datenverarbeitungsanlage gesteuerten Bewegungsvorrichtungen verschoben wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß von dem zu justierenden Körper ein Fernsehbild erzeugt wird und von diesem Fernsehbild nur der Bildausschnitt, der die Justierstelle enthält, digitalisiert und abgespeichert wird.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Fernsehbild zur visuellen Kontrolle mit Hilfe eines Monitors wiedergegeben wird.

4. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Bildausschnitt so groß gewählt wird, daß bei Beachtung der Zuführgenauigkeit des zu justierenden Körpers in die Justieranlage die Justierstelle mit Sicherheit innerhalb des Bildausschnittes liegt

5. Verfahren nach Anspruch 2 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß nur der Bildausschnitt aus einem Halbbild oder Fernsehbild digitalisiert wird.

6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß aus den von der Fernsehkamera abgegebenen Impulsen die Zeilenimpulse und der Startimpuls für das eine Halbbild ausgefiltert wird und die Zeilenimpulse nach dem Startimpuls für das vorbestimmte Halbbild auf einen Zeilenzähler gegeben werden, der erst ab einer durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Zeilenzahl die Abspeicherung eines Teils der Bildpunkte einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Zeilen auslöst.

7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildzellen, von denen ein Teil abgespeichert werden soll, mit Hilfe eines Taktgenerators in Bildpunkte zerlegt werden, daß dem Taktgeber ein Bildpunktzähler nachgeschaltet wird, der erst ab einer durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Bildpunk'.zahl jeder Zeile die Abspeicherung einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Bildpunkte auslöst.

8. Verfahren nach Anspruch 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildpunkte dadurch abgespeichert werden, daß während der Abtastzeit des Bildausschnittes das Bildsignal auf einen Komparator gegeben wird, in dem die der Bildhelligkeit entsprechende Spannung mit einer Vergleichsspannung derart verglichen wird, daß bei einer Unterschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildes mit dem einen binären Wert wiedergegeben und bei Überschreitung der Vergleichsspannung der informatioKsinhalt des Bildpunktes mit dem anderen binären Wert wiedergegeben wird.

9. Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der einer »Schwarz-Weißa-Information entsprechende digitalisierte Informationsinhalt der -abzuspeichernden Bildpunkte einer Bildzeile in ein Schieberegister mit entsprechender Stellenzahl eingeschrieben wird, daß nach der Abspeicherung der Bildpunkte jeder Zeile der Informationsinhalt des Schieberegisters in einen Computer übertragen wird und daß nach der Übertragung der Bildpunkte aller abzuspeichernden Bildzeilen im Computer der abgespeicherte Gesamtinhalt des Ist-Bildes mit dem gleichfalls abgespeicherten Gesamtbild des Soll-Bildes verglichen, die Abweichungen errechnet und diese in eine entsprechende Verschiebung des zu justierenden Körpers umgesetzt wird.

10. Verfahren nach einem der vorangehenden Patentansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Feststeliung von Winkelabweichungen der Ist-Lage von der Soll-Lage aus dem von der Fernsehkamera

, aufgenommenen Gesamtbild zwei voneinander möglichst weit entfernte Bildausschnitte digitalisiert und abgespeichert werden und im Computer aus dem Vergleich mit den beiden Soll-Lagen im Bereich der Justierstellen Winkelabweichungen ermittelt und diese in eine Drehbewegung des zu justierenden Körpers umgesetzt werden.

11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet daß der eine Bildausschnitt aus dem ersten Halbbild des Fernsehbildes entnommen und digitalisiert wird, während der andere Bildausschnitt ebenfalls dem ersten der dem nachfolgenden zweiten Halbbild des Fernsehbildes entnommen und gleichfalls digitalisiert abgespeichert wird.

12. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch seine Verwendung zur Einjustierung von Halbleiterkörpern auf für die Bearbeitung der Halbleiterkörper vorgesehenen Bearbeitungsmittel.

13. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch seine Verwendung zur Einjustierung der Kontaktstellen von Halbleiterbauelementen auf Kontaktierungsmittel.