DE2951943A1

DE2951943A1 - Verfahren zum erzielen der ausrichtung zwischen gegenstaenden

Info

Publication number: DE2951943A1
Application number: DE19792951943
Authority: DE
Inventors: Shuji Takeshita
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1978-12-27
Filing date: 1979-12-22
Publication date: 1980-07-03
Also published as: US4319845A; JPS5588347A; JPS5758058B2; DE2951943C2

Description

VERFAHREN ZUM ERZIELEN DER AUSRICHTUNG ZWISCHEN GEGENSTÄNDEN

Priorität: 27. Dezember 1978, Japan, 159981/78

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen Gegenständen und insbesondere auf ein Verfahren zum automatischen Erzielen der Ausrichtung in einem computer-unterstützten Positionier- und Montier-System hinsichtlich mindestens zweier Gegenstände, die einander zur Deckung zu bringen sind.

Bei verschiedenen Arten von Montier-Systemen besteht im allgemeinen einer der wichtigen Vorgänge darin, das Ausrichten zwischen Gegenständen zu erzielen, die einander zur Deckung zu bringen sind. Zum Beispiel in einem System zur Herstellung gedruckter Schaltungsbaugruppen besteht einer der wichtigen Vorgänge darin, die Ausrichtung zwischen ersten Gegenständen, d.h. einer Vielzahl von Anschlußflecken, die auf der Oberfläche der gedruckten Platte angebracht sind, und zweiten Gegenständen, d.h. einer Vielzahl von Anschlüssen eines IC (Integrated Circuit)-Bausteines, zu erzielen, wobei jeder der Anschlüsse mit dem entsprechenden, genannten Anschlußfleck zur Deckung zu bringen ist, so daß die Anschlüsse und die entsprechenden Anschlußflecken exakt mit Lötmittel verbunden werden. Da der IC-Baustein viele Anschlüsse besitzt, z.B. mehrere -zig Anschlüsse, ist es bei dem Vorgang zum Erzielen der Ausrichtung zwischen den genannten Anschlüssen und den genannten, entsprechenden Anschlußflecken sehr schwierig, die Ausrichtung zwischen so vielen Anschlüssen und den entsprechenden Anschlußflecken mit großer Genauigkeit und in sehr kurzer Zeit zu erzielen.

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Gemäß dem Stande der Technik sind viele Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen Anschlüssen und den entsprechenden Anschlußflecken vorgeschlagen und in die Praxis umgesetzt worden. Ein erstes Verfahren dafür wird unter Verwendung eines Strahlenteilers und eines Mikroskops ausgeführt. In dem ersten Verfahren werden die Anschlüsse eines IC-Bausteines über den Anschlußflecken mit einem Abstand von ungefähr 30 cm dazwischen angeordnet, und der IC-Baustein wird in einer horizontalen Ebene durch eine mechanische Hand bewegt. Ein Prüfer beobachtet die Anschlußflecken direkt durch das Mikroskop und den Strahlenteiler. Gleichzeitig beobachtet er ein Bild der Anschlüsse durch das Mikroskop, wobei das Bild von dem Strahlenteiler reflektiert wird. Dann steuert er die mechanische Hand und verschiebt die Lage des IC-Bausteines so, daß das Bild der Anschlüsse sich mit den entsprechenden Anschlußflecken deckt. Wenn eine Koinzidenz erreicht ist, verschiebt er den Baustein nach unten, so daß die Anschlüsse exakt die entsprechenden Anschlußflecken kontaktieren. Dieses erste Verfahren besitzt jedoch einen Mangel, weil es schwierig ist, das Ausrichten zwischen ihnen mit hoher Genauigkeit und in sehr kurzer Zeit zu erzielen. Ein zweites Verfahren dafür wird unter Verwendung einer Vergrößerungsapparatur ausgeführt. In dem zweiten Verfahren werden das Bild der Anschlüsse und das Bild der Anschlußflecken auf einen Schirm projiziert. Der Prüfer steuert die genannte mechanische Hand so, daß sich die beiden genannten Bilder auf dem Schirm decken, um dann, wenn Koinzidenz erreicht ist, den Baustein nach unten zu verschieben und die Anschlüsse exakt mit den entsprechenden Anschlußflecken zu kontaktieren. Dieses zweite Verfahren besitzt jedoch den gleichen Mangel wie das erste Verfahren. Ein drittes Verfahren dafür wird unter Verwendung eines optischen

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Detektors ausgeführt. In dem dritten Verfahren ermittelt der optische Detektor den Endanschluß, der an der Ecke des IC-Bausteines herausragt, und der Prüfer steuert die mechanische Hand so, daß der Endanschluß in eine Position bewegt wird, die direkt über dem entsprechenden Anschlußfleck liegt. Dieses dritte Verfahren besitzt einen Mangel, weil es schwierig ist, eine sehr genaue Ausrichtung zwischen den verbleibenden Anschlüssen und den verbleibenden Anschlußflecken zu erzielen. Das liegt daran, daß dieser Endanschluß infolge von mechanischen Einwirkungen, z.B. während des Transportes des IC-Bausteines, bogenförmig gekrümmt ist, obwohl der Endanschluß, der als Skala für die Ausrichtung wirkt, geradlinig von dem IC-Baustein wegragen sollte. Ein letztes Verfahren dafür ist das sogenannte Mustervergleichs-Verfahren. Bei diesem Verfahren ist der Bestimmungsort der Position jedes Anschlusses im voraus in einer Speicheranordnung eines Computers gespeichert. Der Computer steuert die Position jedes Anschlusses so, daß sich die tatsächlich vorliegende Position jedes Anschlusses mit dem gespeicherten Bestimmungsort der Position des entsprechenden Anschlusses deckt. Dieses letzte Verfahren besitzt Mängel dadurch, daß es erstens schwierig ist, selbst wenn die genannte Koinzidenz erreicht worden wäre, eine sehr genaue Ausrichtung zwischen ihnen zu erzielen, da die Positionen der Anschlußflecken infolge einer leichten Verbiegung, die auf der gedruckten Platte entsprechend der Veränderung der atmosphärischen Temperatur entstanden ist, geringfügig von den vorherbestimmten Positionen abweichen, und dadurch, daß es zweitens unmöglich ist, dieses letzte Verfahren auszuführen, wenn der Bestimmungsort der Position jedes Anschlusses nicht vorbereitet und im voraus in der Speicheranordnung des Computers gespeichert ist.

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Deshalb ist es eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen Gegenständen zu schaffen, die einander zur Deckung zu bringen sind, wobei das Verfahren keine Mängel ähnlich den oben erwähnten Mängeln aufweist, wie sie bei dem ersten bis vierten Verfahren des Standes der Technik auftreten.

Die vorliegende Erfindung wird deutlicher durch die folgende Beschreibung mit Bezugnahme auf die zugehörigen Zeichnungen.

Fig. 1 zeigt schematisch eine allgemeine Ansicht eines Positionier- und Montier-Systems, das vorgesehen ist, um

ein Verfahren eines ersten Ausführungsbeispieles gemäß der vorliegenden Erfindung auszuführen.

Fig. 2 stellt ein Flußdiagramm dar, das zur Erklärung der Ausführung des Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung dient.

Fig. 3A zeigt eine Vorderansicht der in Fig. 1 dargestellten Sensorkamera 15 und von Anschlußflecken 11, die auf einer gedruckten Platte 13 angeordnet sind.

Fig. 3B zeigt eine Teil-Draufsicht der Anschluß flecken 11, die auf der in Fig. 3A dargestellten gedruckten Platte 13 angeordnet sind.

Fig. 4A zeigt eine Vorderansicht der in Fig. 1 dargestellten Anschlußflecken 11, die auf der gedruckten Platte 13 angeordnet sind, der Anschlüsse 12, die aus dem IC-Baustein 14 herausragen, und der Sensorkamera

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Fig. 4B zeigt eine Draufsicht der in Fig. 4A dargestellten Anschlußflecken 11, die auf der gedruckten Platte 13 angeordnet sind, und der Anschlüsse 12, die aus dem IC-Baustein 14 herausragen.

Fig. 5 stellt schematisch "0'7¹¹I"-Bitmuster von zu verarbeitenden Daten dar, welche mit Hilfe der in den Figuren 3A und 4A gezeigten Sensorkamera 15 gesammelt werden.

Fig. 6 ist eine graphische Darstellung, die schematisch eine Beziehung zwischen einem Ausrichtungskoeffizientenfaktor F und einer Verschiebung L wiedergibt.

Fig. 7 ist eine graphische Darstellung, die eine aktuelle Beziehung zwischen dem Faktor F und der Verschiebung L wiedergibt, die aus dem experimentalen Ergebnis der Daten gewonnen wird.

Fig. 8 stellt eine Teil-Draufsicht des IC-Bausteines 14, der mit den Anschlüssen 12 versehen ist, und der Anschlußflecken 11 dar, die zum Erklären einer bestimmten, in die Beziehung zwischen dem Faktor F und der Verschiebung L eingefügten Charakteristik dient.

Fig. 9 gibt graphische Darstellungen wieder, die die Abhängigkeitskurven zwischen dem Faktor F und der Distanz L angeben; diese Beziehungen a), b), c) und d) werden ermittelt, wenn die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 in entsprechender Weise entlang der in Fig. 8 gezeigten Abtastbereiche "a", "b", "c" und "d" abgetastet werden.

Fig. 1OA, Fig. 1OB und Fig. 1OC geben Teil-Draufsichten der Anschlüsse 12 und der Flecken 11 wieder, die einander entsprechende irreguläre Teile enthalten.

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Fig. 11 ist eine graphische Darstellung, die die Abhängigkeitskurve zwischen dem Faktor F und der Distanz L wiedergibt, die unter Verwendung der in einer der Figuren 1OA, 10B und 10C gezeigten Anordnung der Anschlüsse 12 und der Flecken 11 gewonnen wird.

Fig. 12 zeigt schematisch eine allgemeine Ansicht eines Positionier- und Montier-Systems, das dafür vorgesehen ist, um ein Verfahren eines zweiten Ausftihrungsbeispieles gemäß der vorliegenden Erfindung auszuführen.

Fig. 13 stellt eine Teil-Draufsicht des IC-Bausteines 14, der mit den Anschlüssen 12 versehen ist, und der Anschlußflecken dar, die zum Erklären des zweiten Verfahrens der vorliegenden Erfindung benutzt wird.

Fig. 14 ist eine graphische Darstellung, die schematisch eine Beziehung zwischen einer Lichtmenge Q und einer Verschiebung wiedergibt.

Fig. 15 stellt eine Teil-Draufsicht des IC-Bausteines 14, der mit den Anschlüssen 12 versehen ist, und der Anschlußflecken dar, die auch zum Erklären des zweiten Verfahrens der vorliegenden Erfindung benutzt wird.

Fig. 16 zeigt schematisch eine allgemeine Ansicht eines Positionier- und Montier-Systems, das dafür vorgesehen ist, um ein Verfahren eines dritten Ausführungsbeispieles gemäß der vorliegenden Erfindung auszuführen.

Fig. 17 stellt Wellenformen von Signalen dar, die in dem in Fig. 12 gezeigten System auftreten.

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Fig. 18 zeigt,sowohl eine Wellenform als auch eine graphische Darstellung, die zum Erklären des dritten Verfahrens der vorliegenden Erfindung benutzt werden.

Fig. 19 gibt eine allgemeine Ansicht eines Positionier- und Montier-Systems wieder, das geeignet ist, ein modifiziertes drittes Verfahren gemäß der vorliegenden Erfindung auszuführen.

Fig. 20 stellt Wellenformen eines Signals dar, die in dem System der Fig. 19 auftreten.

Die Figuren 21A und 21B sind graphische Darstellungen, die die Abhängigkeitskurven zwischen einem Komponentenwert a und der Ordnungszahl η einer Harmonischen wiedergeben.

In Fig. 1, die schematisch eine allgemeine Ansicht eines Positionier- und Montier-Systems zeigt, das dafür vorgesehen ist, um ein Verfahren eines ersten Ausführungsbeispieles gemäß der vorliegenden Erfindung auszuführen, stellt die Bezugszahl 11 im allgemeinen einen ersten Gegenstand, z.B. einen Anschlußfleck, dar, der ausgerichtet werden soll. Die Bezugszahl 12 stellt im allgemeinen einen zweiten Gegenstand dar, der mit dem ersten Gegenstand ausgerichtet werden soll. Der zweite Gegenstand ist z.B. der Anschluß eines IC-Bausteines. Eine Vielzahl von Anschlußflecken 11 ist auf einer gedruckten Platte 13 angeordnet. Eine Vielzahl von Anschlüssen 12 ragt aus dem IC-Baustein 14 hervor. Eine Sensorkamera 15 ist direkt sowohl über den Anschlußflecken 11 als auch über den Anschlüssen 12 fest angeordnet. Ein von der Kamera 15 erzeugtes Videosignal V wird an einen Schwingungsformerschaltkreis 16 angelegt und darin in ein Rechtecksignal umgewandelt. Das von dem Schaltkreis 16 erzeugte

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Rechteck-Videosignal wird als digitale Daten DT an eine Eingangsstufe einer Mikroprozessoreinheit (MPU) 18 übergeben. Die Mikroprozessoreinheit 18 und der Schaltkreis 16 werden miteinander über ein konventionelles Ein-/Ausgabe-Interface 17 gekoppelt. Der Schaltkreis 16 kann außer den digitalen Daten DT ein Taktsignal CKL und auch ein Startsignal ST erzeugen. Die Mikroprozessoreinheit 18 speichert im Inneren die Daten DT und verarbeitet die Daten DT gemäß dem ersten Verfahren der vorliegenden Erfindung. Dann werden die durch die Bearbeitung der Einheit 18 gewonnenen, resultierenden Daten als Vorwärts-Bewegungssignal F und Rückwärts-Bewegungssignal B über das Interface 17 an einen Antriebssteuerschaltkreis 19 angelegt. Der Schaltkreis 19 steuert den IC-Baustein 14 zusammen mit den Anschlüssen 12 mit Hilfe eines Impulsmotors (MOTOR) 20, einer Antriebsgewindespindel 21, einer Laufmutter-Einrichtung 23 und einer Greifeinrichtung 24, die mit einer Spannfeder versehen ist, um ihn vorwärts oder rückwärts in Pfeilrichtung X gemäß dem Signal F oder dem Signal B zu bewegen. Der IC-Baustein 14 wird in Pfeilrichtung X bewegt, bis jeder der Anschlüsse 12 mit jedem der entsprechenden Anschlußflecken 11 exakt ausgerichtet ist. Zuletzt wird der IC-Baustein 14 zusammen mit den Anschlüssen 12 so nach unten bewegt, daß er sich exakt mit den entsprechenden Anschlußflecken 11 verbindet, und die Anschlüsse 12 und die Anschlußflecken 11 werden einem Lötprozeß unterworfen, so daß die Anschlüsse 12 fest mit den entsprechenden Anschlußflecken 11 verbunden werden. Die vorbestimmten Programme werden durch eine Tastatur 25 über ein Ein-/Ausgabe-Interface 26 in die Einheit 18 eingegeben.

Im folgenden wird der Ablauf des ersten Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung mit Bezugnahme auf die Figuren 2, 3A, 3B, 4A, 4B und 5 erklärt. In Fig. 2, die das

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Flußdiagramm des Verlaufes der Ausführung des ersten Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung darstellt, bezeichnet die Bezugszahl (T) einen Verarbeitungsschritt, in dem die gedruckte Platte 13 zusammen mit den Anschlußflecken 11 bewegt wird, so daß die Anschlußflecken 11 in das von der Sensorkamera 15 gesehene Gesichtsfeld kommen. Das bedeutet, der Verarbeitungsschritt (jj entscheidet, ob die gedruckte Platte 13 in der gewünschten Position exakt angeordnet ist oder nicht ("IST PLATTE 13 EXAKT ANGEORDNET?")· Dieser Verarbeitungsschritt (Y) kann unter Verwendung eines sogenannten Grenzschalters (nicht in der Fig. 1 gezeigt) erreicht werden, wobei die gedruckte Platte 13 bewegt wird, bis sie gegen den Grenzschalter stößt. Am Ende des Verarbeitungsschrittes (T) sind die Anschlußflecken 11 auf der Platte 13 und die Sensorkamera 15 in einer Anordnung positioniert, wie sie in Fig. 3A gezeigt ist, die eine Vorderansicht der in Fig. 1 gezeigten Sensorkamera 15 und der Anschluß flecken 12, die auf der gedruckten Platte 13 angebracht sind, darstellt. Fig. 3B stellt eine Teil-Draufsicht der Anschlußflecken 11 dar, die auf der gedruckten Platte 13 angebracht sind. Wie der Fig. 3A zu entnehmen ist, enthält die Sensorkamera 15 ein optisches Linsensystem 31 und einen CCD (Charge Coupled Device) 32. Das Bildmuster, das mit Hilfe des CCD 32 mit Unterstützung des Linsensystems 31 gesammelt wird, entspricht dem in Fig. 3B gezeigten, gedruckten Muster. Der Verarbeitungsschritt Q) in Fig. 2 bezeichnet einen Verarbeitungsschritt, in dem das sowohl durch die Anschlußflecken 11 als auch durch die gedruckte Platte 13 erzeugte Bildmuster durch die Sensorkamera 15 gesammelt wird ("SAMMELN DES BILDMUSTERS DER FLECKEN 11 UND DER PLATTE 13"). Das gesammelte Bildmuster wird an den Schwingungsformerschaltkreis 16 übergeben. Der Schalt-

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kreis 16 erzeugt die digitalen Daten DT in Form von logischen "O'V'T'-Bit-Daten und übergibt diese der Mikroprozessoreinheit 18 (Siehe Fig. 1). Die digitalen Daten DT werden in einer Speicheranordnung (nicht gezeigt) der Einheit 18 als gesammelte Meister-Bildmuster-Daten gespeichert. Die Meister-Bildmuster-Daten sind aus ¹¹O"/ "1"-Bit£olgen zusammengesetzt; die Zahl der Bitfolgen ist z.B. 512, wenn der CCD 32 als 512-Bit-CCD ausgeführt ist. Jedes der ^MO"-Bits der Meister-Bildmuster-Daten stellt ein durch den gedruckten Plattenbereich (13) in der Fig. 3B definiertes Muster dar. Jedes der 'T'-Bits der Meister-Bildmuster-Daten stellt ein durch den Anschlußfleckenbereich (11) in der Fig. 3B definiertes Muster dar. Als Ergebnis können die Meister-Bildmuster-Daten gewonnen werden, die eine wie in Reihe a) der Fig. 5 gezeigte Bit-Anordnung besitzen. In der Reihe a) der Fig. 5 entspricht jeder "O"-Bitbereich dem Bildmuster der gedruckten Platte 13, und jeder "1"-Bitbereich entspricht dem Bildmuster der Anschlußflecken 11. Der Verarbeitungsschritt (?) in Fig. 2 bezeichnet einen Verarbeitungsschritt, in dem der IC-Baustein, der die Anschlüsse 12 besitzt, so bewegt wird, daß die Anschlüsse 12 in das von der Sensorkamera 15 gesehene Gesichtsfeld kommen. Das bedeutet, der Verarbeitungsschritt QT) entscheidet, ob der IC-Baustein 14 exakt an der gewünschten Position angeordnet ist oder nicht ("IST BAUSTEIN 14 EXAKT ANGEORDNET"). Dieser Verarbeitungsschritt (?) kann unter Verwendung eines Grenzschalters (nicht in der Fig. 1 gezeigt) erreicht werden, wobei der IC-Baustein 14 bewegt wird, bis er gegen den Grenzschalter stößt. Am Ende des Verarbeitungsschrittes (?) sind die auf der Platte angebrachten Anschlußflecken 11, die aus dem IC-Baustein 14 herausragenden Anschlüsse 12 und die Sensorkamera 15 in einer Anordnung, wie sie in der Fig. 4A gezeigt ist,

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die eine Vorderansicht der in Fig. 1 gezeigten, oben erwähnten Teile 11, 12, 13, 14 und 15 wiedergibt. Fig. 4B stellt eine Teil-Draufsicht der oben erwähnten Teile 11 bis 14 dar; die Teile 31 und 32 in der Fig. 4A sind schon unter Bezugnahme auf Fig. 3A erklärt worden. Ein Bildmuster, das mit Hilfe des CCD 32 mit Unterstützung durch das Linsensystem 31 gesammelt wird, entspricht der Anordnung sowohl der Flecken 11 als auch der Anschlüsse 12. Der Verarbeitungsschritt (V) in Fig. 2 bezeichnet einen Verarbeitungsschritt, in dem der IC-Baustein 14 zusammen mit den Anschlüssen 12 entlang der in der Fig. 1 gezeigten Pfeilrichtung X vorwärts oder rückwärts bewegt wird. Mit anderen Worten, der Verarbeitungsschritt (a) ist ein Verarbeitungsschritt zur Ausführung eines Abtastvorganges ("ABTASTEN") durch die Kamera 15. Das durch diesen Abtast-Verarbeitungsschritt (V) erhaltene Signal wird als ¹¹O¹V¹¹I"-Bit-Daten DI über den Schwingungsformerschaltkreis 16 an die Mikroprozessoreinheit 18 übergeben (siehe Fig. 1). Die Bildmuster-Daten, die durch diesen Verarbeitungsschritt (V) gewonnen werden, werden nachstehend als abgetastete Bildmuster-Daten bezeichnet. Diese abgetasteten Bildmuster-Daten unterscheiden sich von den vorgenannten, im Verarbeitungsschritt (?) der Fig. 2 gesammelten Meister-Bildmuster-Daten. Anfangs sind die Anschlüsse 12 noch nicht exakt mit den Anschlußflecken 11 ausgerichtet, wie in den Figuren 4A und 4B gezeigt ist, und folglich können die abgetasteten Bildmuster-Daten, die eine wie in Reihe b) der Fig. 5 gezeigte Bitanordnung besitzen, gewonnen werden. Die Zahl der in Reihe b) gezeigten Bits "1" ist größer als die Zahl der in Reihe a) der Fig. 5 gezeigten Bits "1". Das liegt daran, daß die den Anschlüssen 12 entsprechenden Bits "1" teilweise in die den Bereichen 13 entsprechenden "O"-Bitbereiche gelangen. Wenn jedoch

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während des Abtastverarbeitungsschrittes (V) der Fig. 2 die Anschlüsse 12 exakt zu den Anschlußflecken 11 ausgerichtet sind, wird die Zahl der in Reihe b) der Fig. 5 gezeigten Bits "1" gleich der Zahl der in Reihe a) gezeigten Bits "1". Somit dürfte es klar sein, daß, wenn die Gesamtzahl der Bits Ί" der abgetasteten Bildmuster-Daten (siehe Reihe b) der Fig. 5) während des Abtastverarbeitungsschrittes (T) der Fig. 2 einen minimalen Wert annimmt, diese Tatsache aus einem anderen Gesichtspunkt heraus angibt, daß die Anschlüsse 12 exakt zu den Anschlußflecken 11 ausgerichtet sind. Zu diesem Zeitpunkt ist demzufolge der Vorgang zum Erzielen der Ausrichtung abgeschlossen. In diesem Fall gelangt kein dem Bildmuster jedes Anschlusses 11 entsprechendes Bit "1" in die in der Reihe a) der Fig. 5 gezeigten "O"-Bitbereiche

Das Prinzip des ersten Verfahrens gemäß der vorliegenden Erfindung ist durch die oben erwähnten Verarbeitungsschritte (T) bis (^) der Fig. 2 erklärt worden. In der praktischen Nutzung jedoch entsteht oft ein Problem, wenn das Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung von Gegenständen nur gemäß diesem Prinzip ausgeführt wird. Das Problem besteht darin, daß die Ausrichtung nicht immer perfekt, d.h. ohne Fehler erzielt wird. Der Grund dafür, daß das oben erwähnte Problem entsteht, ist folgender. Da die Anschlußflecken 11 bei der Vorbereitung mit Lötmittel überzogen werden, ist im allgemeinen die Stärke des von ihnen reflektierten Lichtstrahles nicht hoch, aber gleichmäßig. Deshalb können die den mit Lötmittel überzogenen Anschlußflecken 11 entsprechenden Bildmuster-Daten immer ohne Fehler als "1"-Bit-Daten aufgesammelt werden. Da die Anschlüsse 12 einen Vorverzinnungsprozeß durchlaufen, ist im allgemeinen, im Gegensatz zu oben, die Stärke des von ihnen reflektierten Lichtstrahles

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nicht gleichmäßig, aber hoch. Deshalb können die den vorverzinnten Anschlüssen 12 entsprechenden Bildmuster-Daten nicht immer als "1"-Bit-Daten gesammelt werden und sind oft in unkorrekte "O"-Bit-Daten geändert. Das liegt daran, daß die Oberfläche jedes der vorverzinnten Anschlüsse 12 einen Bereich, von dem der Lichtstrahl stark reflektiert wird,.oder einen Bereich, von dem kein Lichtstrahl reflektiert wird, besitzt. Demzufolge können die abgetasteten Bildmuster-Daten, die eine wie in Reihe c) der Fig. 5 gezeigte Bitanordnung besitzen, gewonnen werden. In der Reihe c) der Fig. 5 stellen die ^MO"-Bits, die oben Punkte haben, die unkorrekten "O"-Bit-Daten dar, die von den genannten, keinen Lichtstrahl reflektierenden Bereichen der Oberflächen der vorverzinnten Anschlüsse 12 gesammelt werden. Es ist einleuchtend, daß die Ausrichtung nicht mit hoher Genauigkeit erzielt werden kann, wenn solche unkorrekten "O"-Bits in den Bildmuster-Daten enthalten sind. Das liegt daran, daß die oben erwähnte Gesamtzahl der "1"-Bits infolge der Anwesenheit der unkorrekten "O"-Bits einen minimalen Wert annehmen würde, obwohl die Anschlüsse 12 nicht exakt zu den Anschlußflecken 11 ausgerichtet sind.

Um das oben erwähnte Problem zu lösen, ist es wünschenswert, einen neuen Ausrichtungskoeffizientenfaktor F in das System einzuführen. Dieser Faktor F wird durch die folgende Gleichung definiert:

F= Σ
n=l

Wenn der Wert dieses Faktors F ein Minimum erreicht, kann die Ausrichtung perfekt ohne Erzeugung irgendwel-

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eher Fehler vollendet werden, selbst wenn die unkorrekten "O"-Bits noch in den abgetasteten Bildmuster-Daten enthalten sind. In der obigen Gleichung

m _

F=E (M 'S),

, π η
n=l

bezeichnet das Symbol M die invertierten Bitdaten des

η-ten Bits in den Meister-Bildmuster-Daten (siehe Reihe a) der Fig. 5). Folglich wird die Logik von R_n nur ¹¹I", wenn das n-te Bitdatum logisch "0" ist. Insbesondere wird nur die den "O"-Bitbereichen 13 in den Meister-Bildmuster-Daten entsprechende Logik von ü "1". Da das Symbol S die Bitdaten des η-ten Bits in den abgetasteten Bildmuster-Daten bezeichnet, wird nur die den "1"-Bitbereichen 11 entsprechende Logik von S logisch "1". Alle logischen Produkte von M_n und S , d.h. (^M _n*^s _n)» werden unter Einbeziehung aller Werte von η Zahlen, die von 1 bis m laufen, aufsummiert, d.h.

Gemäß dem vorher erwähnten Beispiel beträgt der Wert von m 512, wenn der CCD 32 als 512-Bit-CCD ausgeführt ist. Auf diese Weise gibt der Faktor F die Gesamtzahl der "Γ'-Bits an, die in den in der Reihe a) der Fig. 5 gezeigten "O"-Bitbereichen 13 erscheinen. Solche ^M1"-Bitdaten werden in der Reihe c) der Fig. S insbesondere als mit einem Kreis versehene 1, d.h. (T), bezeichnet. Deshalb kann das Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung ohne Rücksicht auf die Anwesenheit der genannten unkorrekten "0" Bitdaten, die als ό in der Reihe c) der Fig. 5 gezeigt sind, ausgeführt werden. Der Verarbeitungsschritt \S) in Fig. 2 bezeichnet einen Verarbeitungsschritt, in dem ein Verfahren zum bitweisen Vergleichen der Meister-Bildmuster-Daten (M_) mit den abgetasteten Bildmuster-Daten (S_n) sequentiell ausgeführt wird ("VER-

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GLEICHE DAS ABGETASTETE BILDMUSTER MIT DEM MEISTER-BILDMUSTER") · Die Meister-Bildmuster-Daten sind während des Verarbeitungsschrittes (2) der Fig. 2 gesammelt und in der Mikroprozessoreinheit 18 (siehe Fig. 1) gespeichert worden. Folglich wird in dem Verarbeitungsschritt (s) ein Verfahren ausgeführt, das auf dem logischen Produkt von (M_n^S_n) basiert. Der Verarbeitungsschritt (ö) in Fig. 2 bezeichnet einen Verarbeitungsschritt, in dem der Wert des Faktors F berechnet wird ("BERECHNE DEN AUSRICHTUNGSKOEFFIZIENTENFAKTOR") . Der Verarbeitungsschritt (jj bezeichnet einen Verarbeitungsschritt, in dem der IC-Baustein 14 in Pfeilrichtung X (siehe Fig. 1) so vorwärts und rückwärts bewegt wird, daß der Wert des genannten Faktors F einen minimalen Wert annimmt, so daß die Anschlüsse 12 exakt zu den Anschlußflecken 11 durch einen Verarbeitungsschritt (_§) in Fig. 2 ausgerichtet werden ("SIND DIE ANSCHLOSSE 12 EXAKT ZU DEN FLECKEN AUSGERICHTET?"). In dem Verarbeitungsschritt (§) wird der IC-Baustein 14 vor- und rückwärts bewegt ("BEWEGE BAUSTEIN 14"). Dann ist das Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung bezüglich eines IC-Bausteines beendet ("ENDE") .

Der Ausrichtungskoeffizientenfaktor F wird im Detail mit Bezugnahme auf die Figuren 6 und 7 erklärt. Fig. 6 ist eine graphische Darstellung, die schematisch die Abhängigkeit zwischen den Variablen F und L wiedergibt, wobei F der oben erwähnte Faktor und L ein Wert der Verschiebung des IC-Bausteines 14 ist. Das Symbol D bezeichnet die Position des Bestimmungsortes, an den der IC-Baustein transportiert werden muß, um die Anschlüsse 12 mit den betreffenden Flecken 11 auszurichten. An diesem Bestimmungsort D wird der Faktor F im Prinzip Null, jedoch infolge der Anwesenheit eines optischen und elektrischen

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Rauschsignals nicht exakt Null. Der Wert des Faktors F vergrößert sich allmählich, wenn der IC-Baustein von dem Bestimmungsort D abweicht, und nimmt schließlich den konstanten maximalen Pegel P an. Der maximale Pegel P wird dann erhalten, wenn die Anschlüsse 12 in der Mitte der Bereiche, die zwischen zwei entsprechenden, angrenzenden Flecken 11 existieren, angeordnet sind. Mit anderen Worten, die Anschlüsse 12 sind nicht über den Flecken 11 sondern direkt über den entsprechenden gedruckten Plattenbereichen 13 angeordnet. Wie der Fig. 6 zu entnehmen ist, wird der Faktor F nicht nur am Bestimmungsort D im Prinzip Null, sondern auch innerhalb eines Bereiches, der durch das Symbol W dargestellt wird. Wenn die Breite jedes Anschlusses 12 gleich oder größer als die jedes Fleckens 11 ist, wird der Faktor F nur am Bestimmungsort D im Prinzip Null. Da die Breite jedes Anschlusses 12 jedoch gewöhnlich kleiner als die jedes Fleckens 11 gewählt wird, bleibt der Faktor F im Prinzip Null, sofern jeder Anschluß 12 direkt über jedem Flecken 11 und innerhalb dessen Breite angeordnet ist, und folglich entsteht der Bereich W der Fig. 6. Wenn gefordert wird, daß die Mitte jedes Anschlusses 12 zur Mitte jedes Fleckens 11 ausgerichtet ist, um auf diese Weise die Ausrichtung mit einer sehr hohen Genauigkeit auszuführen, muß der IC-Baustein 14 während des Verarbeitungsschrittes Q) der Fig. 2 direkt zu dem Bestimmungsort D bewegt werden. Die Ermittlung des Bestimmungsortes D kann mit Unterstützung durch die Mikroprozessoreinheit 18 (Fig. 1) durch folgende zwei Schritte erreicht werden. Im ersten Schritt werden die Koordinaten der beiden Enden des Bereiches W (Fig. 6) ermittelt. Ia zweiten Schritt wird der Mittelpunkt der Koordinaten, die in dem oben erwähnten ersten Schritt ermittelt wurden, berechnet. Der berechnete Mittelpunkt stellt die Position des

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Bestimmungsortes D selbst dar. Fig. 6 ist eine graphische Darstellung, die schematisch die Beziehung zwischen den Variablen F und L wiedergibt; Fig. 7 ist jedoch eine graphische Darstellung, die die aktuelle Beziehung zwischen ihnen wiedergibt. Diese graphische Darstellung ist in Übereinstimmung mit den experimentellen Ergebnissen der Daten gezeichnet worden. Das Experiment zur Erlangung der in Fig. 7 gezeigten Beziehung wurde unter Bedingungen ausgeführt, wo jeder Anschluß 12 eine Breite von 0,2 Mil, jeder Fleck 11 eine Breite von 0,3 Mil, der Abstand, mit dem die Anschlüsse 12 angeordnet sind, eine Länge von 20 Mil und der Abstand, mit dem die Flecken angeordnet sind, eine Länge von 20 Mil besitzt. In Fig. 7 gibt die Abszisse die Verschiebung L in Mil an und die Ordinate den Faktor F, der durch die Zahl der eine logische "1" besitzenden Bits ausgedrückt wird. Der Bestimmungsort D der Fig. 7 ist identisch mit dem Bestimmungsort D der Fig. 6. Die Symbole +D¹ und -D' bezeichnen Quasi-Bestimmungsorte, die nachfolgend erklärt werden.

Wenn das oben erwähnte erste Verfahren der vorliegenden Erfindung ausgeführt wird, entsteht ein weiteres Problem, das anders ist als das vorher erwähnte. Das Problem liegt darin, daß während des Verarbeitungsschrittes Q) der Fig. 2 viele Bestimmungsorte D ermittelt werden. Das liegt daran, daß die Anschlüsse 12 jedesmal zu den Flecken 11 ausgerichtet sind, wenn der IC-Baustein 14 um das k-fache (k ■ 1, 2, 3 ...) des Abstandes, mit dem die Anschlüsse 12 und auch die Flecken 11 angeordnet sind, versetzt wird. Deshalb ist es notwendig, daß der IC-Baustein 14 nur in Richtung des wahren Bestimmungsortes bewegt wird. Um den wahren Bestimmungsort zu finden, ist es wünschenswert, eine besondere Charakteristik in die Beziehung zwischen den in den Figuren 6 und 7 angegebenen Variablen F und L einzufügen. Die besondere Charak-

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teristik wird mit Bezugnahme auf die Figuren 8, 9, 10A, 1OB, 10C und 11 erklärt. Fig. 8 stellt eine Teil-Draufsicht des IC-Bausteines 14, der mit den Anschlüssen 12 versehen ist, und der Anschlußflecken 11 dar, die zum Erklären der Erzeugung der oben erwähnten besonderen Charakteristik dient. In einem Fall, wo die Sensorkamera 15 (Fig. 1) die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 entlang eines Abtastbereiches "a" der Fig. 8 abtastet, wird die in Reihe a) der Fig. 9 dargestellte Abhängigkeitskurve erhalten. Es soll darauf hingewiesen werden, daß alle in Fig. 9 dargestellten Abhängigkeitskurven beim Bewegen des IC-Bausteines 14 nach rechts oder links bezüglich der Anschlußflecken 11 erhalten werden. Wie aus der in Reihe a) dargestellten Kurve zu entnehmen ist, ist diese Kurve eine monotone Kurve und enthält keine besondere Charakteristik. Deshalb werden viele Bestimmungsorte, die gleich dem in Fig. 6 dargestellten Bestimmungsort D sind, ermittelt, und folglich ist es unmöglich, nur einen wahren Bestimmungsort D zu finden. Das oben erwähnte Problem beruht insbesondere auf dieser Tatsache. Um dieses Problem gemäß der vorliegenden Erfindung zu lösen, tastet die Kamera 15 (Fig. 1) entlang eines besonderen Abtastbereiches ab, wie durch die Abtastbereiche "b", "c" oder ^Md" der Fig. 8 angegeben ist. Wenn die Kamera 15 die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 entlang des Abtastbereiches "b" der Fig. 8 abtastet, ergibt sich, wie in Reihe b) der Fig. 9 gezeigt, die besondere Charakteristik in der Abhängigkeitskurve. Wenn der IC-Baustein 14 von der in Fig. 8 angegebenen Anordnung der Anschlüsse 12 und der Flecken 11 links abweicht, vergrößert sich die Abhängigkeitskurve links in der in Reihe b) angegebenen graphischen Darstellung nach oben hin. Wenn der IC-Baustein 14 von der in Fig. 8 angegebenen Anordnung der Anschlüsse 12 und der Flecken 11 rechts

m · - ■ 030027/1843

abweicht, vergrößert sich die Abhängigkeitskurve rechts in der in Reihe b) angegebenen graphischen Darstellung nach oben hin. Daher drückt die V-förmig gestrichelte Linie die oben erwähnte besondere Charakteristik aus. Auf diese Weise wird der Bestimmungsort D am unteren Ende der Abhängigkeitskurve erreicht. Wenn die Kamera 15 die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 entlang der Abtastlinie "c" oder "d" der Fig. 8 abtastet, erscheint die besondere Charakteristik in der entsprechenden Abhängigkeitskurve, wie in Reihe c) oder d) der Fig. 9 angegeben (siehe entsprechende gestrichelte Linien). Daher erscheint der wahre Bestimmungsort D an dem Punkt, von dem aus die Abhängigkeitskurve links oder rechts in der in den Reihen c) oder d) angegebenen graphischen Darstellung nach oben hin in entsprechender Weise zunimmt.

Die besondere Charakteristik der Abhängigkeitskurve kann auch erzeugt werden, indem die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 mit einer speziellen Anordnung hergestellt werden. Drei Beispiele der speziellen Anordnung sind in den Figuren 1OA, lOB und 1OC wiedergegeben. Jede der Figuren 1OA, 1OB und 1OC gibt eine Draufsicht der Anschlüsse 12 und der Flecken 11 wieder. In einem ersten Beispiel gemäß der Fig. 1OA ist einer der Anschlüsse 12 von den IC-Baustein 14 und auch ein entsprechender Fleck 11 von der gedruckten Platte entfernt worden. In einem zweiten Beispiel gemäß der Fig. 1OB ist einer der Anschlüsse 12 von dem IC-Baustein 14 und auch ein entsprechender Fleck 11 von der gedruckten Platte entfernt worden. Die Breite des in Fig. 1OB angegebenen entfernten Bereiches ist jedoch aus rationeller Sicht kleiner als die des in Fig. 1OA angegebenen entfernten Bereiches gewählt. In einem dritten Beispiel gemäß der Fig. 1OC ist einer der Anschlüsse 12, dargestellt durch einen breiten

■ K . '

V-

O30O27/0843

Anschluß 12', breiter im Vergleich zu den verbleibenden Anschlüssen 12. Ein Anschlußfleck, dargestellt durch einen breiten Anschlußflecken 11', ist entsprechend dem breiten Anschluß 12' ebenfalls breiter im Vergleich zu den verbleibenden Anschlußflecken 11. Auf diese Weise enthalten die Anschlüsse 12 und auch die Anschlußflecken 11 mindestens einen irregulären Teil. Die Abhängigkeitskurve, die bei Benutzung eines der oben erwähnten irregulären Teile erhalten wird, ist eine Kurve, wie sie in Fig. 11 wiedergegeben ist. In diesem Fall tastet die Kamera 15 die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 entlang des Abtastbereiches "a" der Fig. 8 ab. Wie der Fig. 11 zu entnehmen ist, unterscheidet sich der wahre Bestimmungsort deutlich von den anderen Quasi-Bestimmungsorten -D¹ und ⁺D', die auch in Fig. 7 dargestellt sind. Wenn die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 in einer normalen Anordnung liegen, wie jeweils in Teil a) der Figuren 1OA, 1OB und 1OC angegeben, kann der wahre Bestimmungsort D ermittelt werden. Wenn sich jedoch der IC-Baustein 14 in einer um das k-fache (k = 1, 2, 3...) des Abstandes, mit dem die Anschlüsse 12 und auch die Flecken 11 angeordnet sind, abweichenden Position gegenüber der gewünschten Position befindet, kann der Quasi-Bestimmungsort -D¹ oder +D¹ ermittelt werden. In diesem Fall liegen die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 in einer abnormen Anordnung, wie jeweils in Teil b) der Figuren 1OA, 1OB und 1OC angegeben ist.

Es ist vorzuziehen, jeden der oben erwähnten unregelmäßigen Teile in dem Mittelbereich einer Gruppe von Anschlüssen 12 und ebenso in dem Mittelbereich einer Gruppe von Anschlußflecken 11 herzustellen. Dies deshalb, weil diese mittleren Bereiche gewöhnlich nicht einer Beschädigung durch einen äußeren mechanischen Stoß ausge-

ti

030027/4843

setzt sind. Es ist weiterhin besser, in dem dritten Beispiel den breiten Anschluß 12· und die breiten Anschlußfleck 11' herzustellen, weil diese außerdem als Masseanschlüsse oder Stromversorgungsanschlüsse verwendet werden können, durch die ein Strom großer Stärke fließt. Außerdem ist es nützlich, mindestens einen unregelmäßigen Teil in der Gruppe von Anschlüssen 12 und ebenso in der Gruppe von Flecken zu schaffen, um die spezielle Charakteristik, wie sie in Fig. 11 gezeigt ist, zu erzielen.

Die oben erwähnte erste Methode der vorliegenden Erfindung wird nach dem sogenannten Digitalmodus ausgeführt. Im Gegensatz dazu wird eine Methode zum Erzielen der Ausrichtung nach einem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden Erfindung nach dem sogenannten Analogmodus ausgeführt. Bei der zweiten Methode der vorliegenden Erfindung wird die oben erwähnte Beziehung nicht durch den Ausrichtungskoeffizientenfaktor F, sondern durch die Menge des von den Anschlüssen 12 und den Flecken 11 reflektierten Lichtes bestimmt. In Fig. 12, die schematisch eine allgemeine Ansicht eines Positionier- und Montiersystems zeigt, das vorgesehen ist, die Methode nach dem zweiten Ausführungsbeispiel gemäß der vorliegenden Erfindung auszuführen, sind die Teile, die mit den gleichen Bezugszeichen oder Symbolen wie in Fig. 1 bezeichnet sind, mit diesen identisch. Deshalb sind eine Sensorkamera 41 und ein Analog/Digital-Wandler (A/D) 42 die neue verwendeten Teile. Die Kamera 41 besteht aus einem optischen Linsensystem 43 und einem Fototransistor 44. Im allgemeinen ist die Menge des sowohl von den Anschlüssen 12 als auch von den Flecken 11 reflektierten Lichtes groß; die Menge des von der Leiterplatte 13 reflektierten Lichtes ist dagegen klein. Die

030027/1843

2/30.

Gesamtmenge des Lichtes wird durch den Fototransistor über die Linse 43 festgestellt. In dem Fall, daß sich die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 in einer solch abnormen Anordnung befinden, wie es im Teil (a) von Fig. 13 gezeigt ist, erreicht die Gesamtmenge des von den Anschlüssen 12, den Flecken 11 und der Leiterplatte 13 reflektierten Lichts einen Maximalwert. In dem Fall jedoch, wo die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 in einer derart normalen Anordnung zueinander liegen, wie es im Teil (b) von Fig. 13 gezeigt ist, erreicht die Menge des Lichtes einen Minimalwert. Wenn der IC-Baustein 14 nach links oder rechts bewegt wird, wird die Veränderung der Gesamtmenge des reflektierten Lichtstrahles durch den Fototransistor 44 (Fig. 12) ermittelt. Dann erzeugt das analoge Ausgangssignal von dem Fototransistor 44 die Abhängigkeitskurve, wie sie im Diagramm von Fig. 14 gezeigt ist. Die in dem unteren Teil dieser Abhängigkeitskurve liegende Mitte stellt den Bestimmungsort D dar, was oben bereits erläutert wurde. Weil die Breite der Anschlüsse 12 jeweils geringer als die der Flecken 11 ist, befindet sich der flache Teil W der Abhängigkeitskurve im unteren Teil. Das digitale Signal, welches die Abhängigkeitskurve von Fig. 14 darstellt, wird mit Hilfe eines Analog/Digital-Wandlers 42 erzeugt und der Mikroprozessoreinheit 18 (Fig. 12) zugeleitet. Die Einheit verarbeitet das digitale Signal, um den flachen Teil der Abhängigkeitskurve, die den Bestimmungsort D enthält, zu ermitteln. Wenn es erforderlich ist, die Mitte eines jeden Anschlusses 12 zu der Mitte eines jeden Fleckens auszurichten, um die Ausrichtung mit einem sehr hohen Grad an Genauigkeit auszuführen, muß der IC-Baustein auf den Bestimmungspunkt D hinbewegt werden. Die Feststellung des Bestimmungsortes D selbst kann, wie oben erwähnt, mit Hilfe der Einheit 18 ausgeführt werden. Die

630027/8843

Einheit 18 ermittelt die entsprechenden Koordinaten der beiden Enden des flachen Bereiches W (Fig. 14) und errechnet den Mittelpunkt der oben erwähnten beiden Koordinaten, an dem der Bestimmungsort D liegt.

Es ist selbstverständlich, daß die Ausrichtung auch durch Ausnutzen des Maximalwertes des reflektierten Lichtes erreicht werden kann (Siehe den in Fig. 14 gezeigten maximalen Pegel P). Der Maximalwert des reflektierten Lichtstrahles (P) wird erhalten, wenn die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 in einer solchen Anordnung zueinander liegen, wie sie im Teil (a) von Fig. 13 gezeigt ist. Daher werden die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 zueinander ausgerichtet durch Bewegen des IC-Bausteines 14 um den halben Abstand, in welchem die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 angeordnet sind. Die Bewegung des IC-Bausteines 14 um den halben Abstand kann mit Hilfe der Mikroprozessoreinheit 18 durchgeführt werden. Die Bewegung des IC-Bausteins 14 um den halben Abstand des Pegels P (Fig. 6) ist bei der oben erläuterten ersten Methode ebenfalls anwendbar.

Weil die Menge des Lichtes proportional denjenigen Bereichen der Anschlüsse 12 und der Flecken 11 ist, die den Lichtstrahl reflektieren, ist es ferner selbstverständlich notwendig, das von der Kamera 41 (Fig. 2) aus gesehene Gesichtsfeld zu begrenzen. In Fig. 13 stellen die durch gestrichelte Linien angedeuteten umschlossenen Bereiche schematisch das von der Kamera 41 aus gesehene begrenzte Gesichtsfeld dar. Die Begrenzung des Gesichtsfeldes kann durch geeignete Wahl des Vergrößerungsfaktors des optischen Linsensystems 43 (Fig. 12) erzielt werden. Eine Begrenzung des Gesichtsfeldes kann aber auch durch Verwendung einer Platte 45 erzielt werden,

030027/0843

die mit einem (nicht dargestellten) rechteckigen Schlitz versehen ist.

Die zweite Methode hat dadurch einen Vorteil, daß es außerdem möglich ist, festzustellen, ob der IC-Baustein 14 nahe den Flecken 11 angeordnet ist oder nicht. Dieser Vorteil wird unter Bezugnahme auf Fig. 15 erläutert. Wenn der IC-Baustein 14 nicht nahe den Flecken 11 angeordnet ist, wie in Fig. 15 gezeigt ist, dann ist die Differenz zwischen der Lichtmenge, die durch das begrenzte Gesichtsfeld festgestellt wird, das mit der Anordnung nach Teil (a) erhalten wird, und der Lichtmenge, die auf gleiche Weise in der in Teil (b) gezeigten Anordnung festgestellt wird, sehr klein. Die begrenzten Gesichtsfelder sind durch gestrichelte Linien angedeutet. Auf diese Weise kann auch festgestellt werden, daß der IC-Baustein 14 sich nicht nahe den Flecken 11 befindet.

Es ist natürlich zu bevorzugen, die besondere Charakteristik in die Abhängigkeitskurve (Fig. 14) einzubeziehen, um eine Fehlausrichtung auszuschalten, wie es durch die erste Methode getan wird. Die besondere Charakteristik ist schon unter Bezugnahme auf die Figuren 8, 9, 1OA, 10B, 1OC und 11 erläutert worden.

Die oben erwähnte erste Methode der vorliegenden Erfindung wird unter Verwendung derjenigen Variablen ausgeführt, die sich auf die Länge der Anschlüsse und der Flecken beziehen. Die oben erwähnte zweite Methode der vorliegenden Erfindung wird durch Verwendung derjenigen Variablen ausgeführt, die sich auf die Fläche der Anschlüsse und der Flecken beziehen. Die Methode eines dritten Ausführungsbeispiels gemäß der vorliegenden Er-

f! .

030027/1843

findung wird jedoch durch Verwendung derjenigen Variablen ausgeführt, die sich auf ein Frequenzspektrum beziehen, welches in dem Ausgangssignal der Sensorkamera 15 enthalten ist. In Fig. 16 hat das Videosignal V, das durch einen Verstärker (AMP) 51 verstärkt wird, eine Wellenform, wie sie in Zeile a) von Figur 17 gezeigt ist. Das verstärkte Videosignal V, das von einer Signalformer-Schaltung 52 erzeugt wird, hat eine Wellenform, wie sie in Zeile b) von Fig. 17 gezeigt ist. Das geformte Wellensignal, welches von einem Bandpaßfilter 53 erzeugt wird, hat eine Wellenform, wie sie in Zeile c) von Fig. 17 gezeigt ist. Das Filter 53 hat die Funktion, nur die Grundwellenkomponente aus dem Signal V herauszufiltern. Diese Grundwellenkomponente hat eine Frequenz fgpp. Die Frequenz f_BPF wird durch die folgende Gleichung ausgedrückt.

^fBPF

wobei das Symbol V die Abtastgeschwindigkeit des CCD 32 bezeichnet, der angesteuert wird durch einen CCD-Treiber 532, und das Bezugszeichen P¹ einen Abstand bezeichnet, in welchem die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 angeordnet sind. Wenn der in dem Durchlaßband des Filters 53 verursachte Verlust gleich Null ist, es entspricht das Ausgangssignal von dem Filter 53 einem Signal, welches erhalten wird, wenn die Zahl (n) der Ordnung einer Harmonischen in einer Fourierreihe gleich 1, d.h. η = 1 ist. Andererseits kann allgemein gesehen ein Rechteckwellensignal, wie es in dem oberen Teil von Figur 18 gezeigt ist, das Spektrum a. der Grundwelle, die in dem oben erwähnten Rechtecksignal enthalten ist, durch die folgende Gleichung ausgedrückt werden:

030027/1843

(O < τ < T and 0 < -Jj- < 1)

In Hinblick auf den Abstand P* und die Breite W* verän-

W
dert sich der Wert von ^-r innerhalb des Bereiches von 0,5 * J_n- « 1, wobei die Breite W definiert ist durch den Abstand zwischen einem Ende des Anschlusses 12 und einem Ende des entsprechenden Fleckens 11 (siehe auch W

W
in Fig. 4B) und der Wert Y_n- gesetzt werden kann für den Wert von £, d.h. prr ^β γ. Das Symbol tr bezeichnet die Impulsbreite des Rechtecksignals und das Symbol T bezeichnet eine Periode desselben (siehe Fig. 18). Wenn

W¹
der Wert von p-r ein Minimalwert wird, fluchten die Anschlüsse 12 mit den entsprechenden Flecken 11. In diesem Fall wird natürlich der Wert von y ein Minimalwert. Der Wert von τ--wird ein Minimalwert, wenn der Wert von w sich innerhalb des Bereiches von 0,5 ^s γ ~ 1 verändert, wie in Fig. 18 gezeigt ist, und die Grundwellenkomponente aj wird ein Minimalwert. Mit anderen Worten, der IC-Baustein 14 wird bewegt, bis die Grundwellenkomponente gleich einem Minimalwert wird. In Fig. 16 wird die Komponente a« von dem Bandpaßfilter 53 über eine Gleichrichterschaltung 54, ein Tiefpaßfilter (LPF) 55 und einen Analog/Digital-Wandler (A/D) 56 erhalten. Ein Mittelwert a_Q, d.h. a_Q ^β γ Έ , wird von einer Signalformerschaltung 52 über eine Gleichrichterschaltung 57, ein Tiefpaßfilter (LPF) 58 und einen Analog/Digital-Wandler (A/D) 59 erhalten. Der minimale Mittelwert a_Q ist für die Erzielung einer Ausrichtung nur in dem Fall nützlich, wo jeder Anschluß 12 breiter ist als jeder Fleck 11.

090027/1843

Damit steuert die Mikroprozessoreinheit 18 die Steuerschaltung 19 so, daß der Wert der Grundwellenkomponente
ein Maximum wird. Der Maximalwert der Komponente a« entspricht dem oben erwähnten Bestimmungsort D. Es sei darauf hingewiesen, daß bei dem dritten Ausführungsbeispiel ebenfalls viele Bestimmungsorte D festgestellt werden,
wie bei der oben genannten ersten und zweiten Methode,
obwohl es nur einen wahren Bestimmungsort gibt. Dies
kommt daher, daß die Anschlüsse 12 jedesmal mit den
Flecken 11 ausgerichtet sind, wenn der IC-Baustein 14 um k mal (k = 1, 2, 3...) den Abstand verschoben wird, in
welchem die Anschlüsse 12 und die Flecken 11 angeordnet
sind. Deshalb wird in dem System von Fig. 16 ein Impulszähler 60 vorgesehen, der das Herausragen eines oder
mehrerer Anschlüsse 12 aus dem Fleckenbereich überwacht. Bei einer modifizierten dritten Methode werden der breite Anschluß 12' und der breite Fleck 11', die bereits
unter Bezugnahme auf Figur 1OC erläutert worden sind, in dem System verwendet. Das System, welches den breiten
Anschluß 12' und den breiten Fleck 11' verwendet, ist
schematisch in Figur 19 dargestellt. In Figur 19 sind
diejenigen Teile, die mit den gleichen Bezugszeichen
oder Symbolen wie in Figur 16 bezeichnet sind, identisch mit diesen. In Figur 19 tastet der CCD 32 die Anschlüsse 12 einschließlich dem breiten Anschluß 12' sowie die
Flecken 11 einschließlich dem breiten Fleck 11' ab. Der
Abtastbereich des CCD 32 ist der gleiche wie der in Figur 8 gezeigte Abtastbereich "a". Das Ausgangssignal des CCD 32 nach dem Verstärker 51 unÄ der Formerschaltung 52 wird im folgenden erläutert. Figur 20 stellt die von der Schaltung 52 erhaltenen Wellenformen des Ausgangssignals des CCD 32 dar. Die Wellenform des in Zeile a) von Figur 20 gezeigten Signals stellt eine normale Wellenform dar, die festgestellt wird, wenn die Anschlüsse 12 mit den

030027/&843

Flecken 11 fluchten (im folgenden als Fall "1" bezeichnet). Die Wellenformen des in den Zeilen b) , c) und d) von Figur 20 gezeigten Signale stellen anormale Wellenformen dar, die festgestellt werden, wenn die Anschlüsse 12 mit den Flecken 11 nicht korrekt ausgerichtet sind (im folgenden als "Fall 2", "Fall 3" bzw. "Fall 4" bezeichnet). Entsprechend den Wellenformen von Figur 20 wird der Wert a im Fall 1 aus den folgenden Gleichungen erhalten, wobei das Symbol a eine Komponente einer Harmonischen n-ter Ordnung (n = 1, 2_t 3...) bezeichnet.

_ 3 7

a = —r— {J cosnxdx + J- cosnxdx + ⁰ f

f il· Γ if*

Jn cosnxdx +,/. _ cosnxdx

IT* IT* "

_! ⁷

2 _rr ι . , 16^π . _r ι . . IeT*

"IT- ""BT ^sxnnxl . ⁺ Ι-ΞΓ ^sinnxl 5

⁰ 16*

sinnx

f sin _πηΐ + sin -s-^ ηττ - sin ^-^

η ir I 16 Io 16

ηπ

+ sin Tj-i ηπ - sin -τ? mr + sin -^ ηπ - εχη γ| nn}

Ib 16 Xo

Die Komponentenwerte a , die sich auf die restlichen Fälle 2 bis 4 beziehen, werden durch Gleichungen ähnlich den oben für den Fall 1 zitierten Gleichungen erhalten. Im folgenden werden die Komponentenwerte a der Fälle 1 bis 4 in entsprechender Weise durch Symbole CI, C2, C3

030027/0843

und C4 dargestellt. Dann werden die Werte C1 bis C4 unter Verwendung von Fourierreihen ausgedrückt.

Im allgemeinen kann nach den Fourierreihen eine periodi sche Funktion f(x) ausgedrückt werden durch die folgenden Gleichungen, d.h.

^a0 F

f (x) = —-χ- ♦ , la cosnx + b sinnx] 2 n=i η η

wobei r π

^ao " T" J- ^Ux) «*

¹ L

"π

a = —— J f(χ) cosnxdx η τι —ir

b =

η ir -'-ir

/ f(x) sinnxdx -'-ir

und weil jede Wellenform von Figur 20 durch eine gerade Funktion ausgedrückt ist, werden die Werte b und d

^ö ' η η

ausgedrückt durch

2 f"
^bn ⁼ °' ^an ⁼ J-O ^f(x) cosnxdx.

Auf diese Weise sind die Komponenten C1, C2, C3 und C4 in entsprechender Weise durch die folgenden Gleichungen ausgedrückt:

030027/0843

¥f Λ

Falli

Cl

{sin -Λ ηπ + sin -Λ ηπ - sin y^ ηπ ^ι 16 Io χβ

" "ϋπ" ^ls>iU 16 "* ^{τ OJ}-" 16

+ sin ig ηπ - sin yg ηπ + sin yg ηπ - sin -j-j ηπ}

Fall 2

2 5 9 ~t

C2 = —— {sin -j^ ηπ + sin -j^ ηπ + sin y^ ηπ

♦ Sin ig ηπ - sin -j^ ηπ - sin -j-g ηπ}

Fall 3

{ sin jj ni - sin -j| ηπ + sin yj

C3 = -~ { sin jj ni - sin -j| ηπ + sin yj ηπ - sin. -jjr ηπ + sin ^r ηπ - sin yg· ηπ}

Fall ₄

C4 = -^- {sin -J^ ηπ + sin yg ηπ - sin jg ηπ

+ sin ig nif - sin γξ ηπ - sin -j-g ηπ}

Nunnehr wird der Wert jeder der Komponenten C1 bis C4 berechnet im Hinblick auf jede Ordnung der Harmonischen (n) innerhalb des Bereiches von η zwischen 1 und 34. Die Figuren 21A und 21B stellen grafische Darstellungen dar, welche die Veränderung der berechneten Werte der Komponenten CI bis C4 im Hinblick auf jede Ordnung η zwischen 1 und 34 zeigen. Mit anderen Worten, die Figuren 21A und 21B zeigen das in dem Ausgangssignal des CCD 32 (Fig. 19) enthaltene Frequenzspektrum.

Wie aus den Figuren 2IA und 21B zu ersehen ist, wird in allen Fällen außer dem Fall 1, d.h. in all denjenigen

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Fällen, wo die Anschlüsse 12 mit den entsprechenden Flecken 11 nicht korrekt ausgerichtet sind, der Komponentenwert der Harmonischen vierter Ordnung, d.h. a. in den Fällen C2 und C4, gleich Null, und der Komponentenwert der Harmonischen dritter Ordnung, d.h. a, in dem Falle C₃, gleich Null. Im Gegensatz zu dem Obigen wird in dem Falle C1, in welchem die Anschlüsse M mit den Flecken 11 fluchten, der Komponentenwert der Harmonischen achter Ordnung, d.h. a«, ein Minimalwert. Folglich sind, wenn die folgenden drei Bedingungen 1), 2) und 3) gleichzeitig erfüllt werden, die Anschlüsse 12 mit den entsprechenden Flecken 11 korrekt ausgerichtet.

1) Die Komponente a_g wird ein Minimalwert

2) die Komponente a? *^st nicht gleich Null

3) die Komponente a. ist nicht gleich Null.

Gemäß Figur 19 filtern die Bandpaßfilter 61, 62 bzw. 63 die Signale mit den Frequenzen fg, fj ^un<* ^4 aus dem Ausgangssignal des CCD 32 heraus. Die Frequenzen fg, iy bzw. f. entsprechen den Komponentenwerten von a«, a? und a₄. Mit anderen Worten, f_g, f₂ bzw. f₄ sind gleich 8f_Q, 2fg und 4f~, wobei die Frequenz f_Q ausgedrückt ist durch £q ^b ψ. Das Symbol t bezeichnet die Zeit, die für die Ausführung jeder Abtastoperation durch den CCD 32 erforderlich ist. Die Durchlaßbandsignale von den Filtern 61, 62 und 63 werden in entsprechender Weise einem Analogschalter 69 zugeführt. Der Schalter 69 sammelt, unter der Steuerung der Einheit 18, die Werte a«, a, und a... Jeder der gesammelten Werte ag, a, und a. wird der Einheit 18 über einen Analog/Digital-Wandler (A/D) 70 zugeführt. Die Einheit 18 bewegt den IC-Baustein 14, bis die oben erwähnten drei Bedingungen 1), 2) und 3) erfüllt sind.

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Es ist vorzuziehen, eine sogenannte FFT (Schnell-Fouriertransformations-) Einrichtung zur Berechnung der oben genannten Fourierreihen zu benutzen.

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Claims

Patentansprüche

y 1../Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen ersten Gegenständen und zweiten Gegenständen, gekennzeichnet durch folgende Schritte:

a) Anorden der zweiten Gegenstände etwas oberhalb der mit den zweiten Gegenständen auszurichtenden ersten Gegenstände,

b) Abbilden der ersten und zweiten Gegenstände mit Hilfe einer Sensorkamera, die direkt darüber angeordnet ist,

c) Bewegen der ersten und zweiten Gegenstände relativ zueinander innerhalb des von der Sensorkamera aus gesehenen Gesichtsfeldes,

d) Erzeugen einer Abhängigkeitskurve im Hinblick auf die Veränderungen einer ersten Variablen und einer zweiten Variablen, wobei die erste Variable die Verschiebung der zweiten Gegenstände gegenüber den ersten Gegenständen anzeigt und die zweite Variable die Veränderung des Ausgangssignals der Sensorkamera darstellt, und

e) Stoppen der Bewegung der zweiten Gegenstände während der Ausführung des Schrittes c, wenn der Wert der die Abhängigkeitskurve bestimmenden zweiten Variablen

- · gleich einem vorherbestimmten gewünschten Wert ist.

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ORIGINAL INSPECTED
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß die die Veränderung des Ausgangssignals von der Sensorkamera anzeigende zweite Variable die Gesamtlänge des Bildes der ersten und zweiten Objekte darstellt, und daß der vorherbestimmte gewünschte Wert durch die minimale Gesamtlänge der Bilder ausgedrückt ist.
3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß das Abbilden nach Schritt b) aus einem ersten Schritt und einem zweiten Schritt besteht, daß in dem ersten Schritt die Sensorkamera die ersten Bilder und außerdem dritte Gegenstände abbildet, auf welchen die ersten Gegenstände befestigt sind, in dem die zweiten Gegenstände aus dem Gesichtsfeld herausbewegt werden, um ein Meister-Bildmuster zu erzeugen, welches in einer Speichereinrichtung gespeichert wird, und daß in dem zweiten Schritt die Sensorkamera die Gesamtheit aus den ersten, den zweiten und den dritten Gegenständen abbildet durch Anordnen der zweiten Gegenstände direkt oberhalb der ersten Gegenstände, um ein abgetastetes Gesamtbildmuster zu erhalten, daß in dem Schritt d) die zweite Variable, die die Veränderung des Ausgangssignals der Sensorkamera anzeigt, die Veränderung der Gesamtlänge der zweiten Gegenstände darstellt, die nur oberhalb derjenigen dritten Objekte angeordnet sind, auf denen die ersten Objekte nicht befestigt sind, und daß in dem Schritt e) der vorbestimmte gewünschte Wert ausgedrückt ist durch die minimale Gesamtlänge der Bilder, die den zweiten Gegenständen entsprechen, die nur oberhalb der dritten Gegenstände angeordnet sind.
4. Verfahren nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß in dem Schritt d) die zweite Variable definiert ist durch einen Ausrichtungskoeffizientenfaktor F der gegeben ist durch die Gleichung

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2S519A3

m _

F= Σ (M_n-S_n), n=l

wobei das Symbol M die invertierten Datenbits des n-ten

' η

Bits in den Daten des Meisterbildmusters bezeichnet, das

Symbol S die Bitdaten des η-ten Bits in den Daten des η

abgetasteten Gesamtbildmusters bezeichnet, das Symbol · ein logisches Produkt bezeichnet und das Symbol m die Gesamtzahl von Bits bezeichnet, die durch die Sensorkamera abzutasten sind, und daß in dem Schritt e) der vorbestimmte gewünschte Wert durch den Minimalwert des Faktors F ausgedrückt ist.
5. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Schritt e) der Bestimmungsort, an welchem die zweiten Gegenstände mit den ersten Gegenständen fluchten, in der Mitte eines Bereiches festgestellt wird, in welchem der Minimalwert des Faktors F erhalten wird.
6. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß in dem Schritt e) die zweiten Gegenstände an dem Bestimmungsort gestoppt werden, an welchem die zweiten Gegenstände mit den entsprechenden ersten Gegenständen fluchten, und zwar durch Verschieben um einen halben Abstand, in dem die ersten und zweiten Gegenstände von der Lage aus angeordnet sind, wo der Maximalwert des Faktors F erhalten wird.
7. Verfahren nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet , daß die Abhängigkeitskurve so erzeugt wird, daß sie eine bestimmte Charakteristik enthält, um nur einen wahren Bestimmungsort, an welchem die

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zweiten Gegenstände mit den entsprechenden ersten Gegenständen fluchten, zu unterscheiden von einem ähnlichen Quasi-Bestimmungsort, an welchem die zweiten Gegenstände zwar mit den ersten Gegenständen fluchten, aber um k mal (k » 1, 2, 3 ...) den Abstand fehlausgerichtet sind, in welchem die ersten und zweiten Gegenstände angeordnet sind.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß in dem Schritt b) die Sensorkamera die ersten und zweiten Gegenstände innerhalb eines von ihr aus gesehenen Gesichtsfeldes abbildet und das Gesichtsfeld mindestens die Gesamtheit aus ersten und zweiten Gegenständen umfaßt.
9. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Schritt b), bei dem die Sensorkamera die ersten und zweiten Gegenstände innerhalb eines von ihr aus gesehenen Gesichtsfeldes abbildet, das Gesichtsfeld entweder die beiden benachbarten Enden der ersten und zweiten Gegenstände oder die gegenüberliegenden beiden benachbarten Enden der ersten und zweiten Gegenstände umfaßt.
10. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß in den zweiten Gegenständen ein irregulärer Teil erzeugt wird und daß ein ähnlicher irregulärer Teil auch in den ersten Gegenständen erzeugt wird.
11. Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet, daß der irreguläre Teil erzeugt wird durch Entfernen eines der zweiten Gegenstände und daß ein ähnlicher irregulärer Teil erzeugt wird durch Entfernen des entsprechenden ersten Gegenstandes.

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12. Verfahren nach Anspruch tO, dadurch gekennzeichnet, daß der irreguläre Teil erzeugt wird durch Einfügen eines zweiten Gegenstandes, der im Vergleich zu den übrigen zweiten Gegenständen größer ist und daß ein ähnlicher irregulärer Teil erzeugt wird durch Einfügen eines entsprechenden größeren ersten Gegenstandes.
13. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet , daß in dem Schritt d) die zweite Variable, die die Veränderung des Ausgangssignals von der Sensorkamera anzeigt, die Lichtmenge darstellt, die von den ersten und zweiten Gegenständen reflektiert wird, und daß in dem Schritt e) der vorbestimmte gewünschte Wert ausgedrückt ist durch die minimale Menge an reflektiertem Licht.
14. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch g e k^ennzeichnet, daß in dem Schritt e) der Bestimmungsort, an welchem die zweiten Gegenstände mit den ersten Gegenstände fluchten, im Mittelpunkt eines Bereiches festgestellt wird, in welchem die minimale Menge des reflektierten Lichtstrahles erhalten wird.
15. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet , daß in dem Schritt e) die zweiten Gegenstände an dem Bestimmungsort gestoppt werden, wo die zweiten Gegenstände mit den entsprechenden ersten Gegenständen fluchten, und zwar durch Verschieben UH den halben Abstand, mit dem die ersten und die zweiten Gegenstände angeordnet sind, von der Lage aus, wo der Maximalwert des reflektierten Lichtes erhalten wird.
16. Verfahren nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet , daß in dem Schritt d) die Abhängigkeitskurve so erzeugt wird, daß sie eine bestimmte

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Charakteristik enthält, um nur einen wahren Bestimmungsort, an welchem die zweiten Gegenstände mit den entsprechenden ersten Gegenständen fluchten, zu unterscheiden vpn einem ähnlichen Quasi-Bestimmungsort, an welchem die zweiten Gegenstände zwar mit den ersten Gegenständen fluchten, aber um k mal (k ■ 1, 2, 3 ...) den Abstand fehlausgerichtet sind, in welchem die ersten und zweiten Gegenstände angeordnet sind.
17. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß in dem Schritt b) die Sensorkamera die ersten und zweiten Gegenstände innerhalb eines von ihr aus gesehenen Gesichtsfeldes abbildet und daß das Gesichtsfeld mindestens die Gesamtheit der ersten und zweiten Gegenstände umfaßt.
18. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch g e kennzeichn et , daß in dem Schritt b) die Sensorkamera die ersten und zweiten Gegenstände innerhalb eines von ihr aus gesehenen Gesichtsfeldes abbildet und daß das Gesichtsfeld entweder die benachbarten Enden der ersten und zweiten Gegenstände oder die entgegengesetzten beiden benachbarten Enden der ersten und zweiten Gegenstände umfaßt.
19. Verfahren nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet , daß ein irregulärer Teil in den zweiten Gegenständen erzeugt wird und daß ein ähnlicher irregulärer Teil in den ersten Gegenständen erzeugt wird.
20. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet , daß der irreguläre Teil erzeugt wird durch Entfernen eines der zweiten Gegenstände und außerdem der ähnliche irreguläre Teil erzeugt wird

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durch Entfernen des entsprechenden ersten Gegenstandes.
21. Verfahren nach Anspruch 19, dadurch gekennzeichnet, daß der irreguläre Teil erzeugt wird durch Einfügen eines zweiten Gegenstandes, der größer ist verglichen mit den übrigen zweiten Gegenständen, und daß auch der ähnliche irreguläre Teil erzeugt wird durch Einfügen eines entsprechenden größeren ersten Gegenstandes.
22. Verfahren zum Erzielen der Ausrichtung zwischen ersten Gegenständen und zweiten Gegenständen, gekennzeichnet durch die folgenden Schritte:

a) Anordnen der zweiten Gegenstände etwas oberhalb der mit den zweiten Gegenständen auszurichtenden ersten Gegenständen,

b) Abbilden sowohl der ersten als auch der zweiten Gegenstände mit Hilfe einer Sensorkamera, die direkt über ihnen angeordnet ist,

c) Bewegen der ersten und zweiten Gegenstände relativ zueinander innerhalb des von der Sensorkamera aus gesehenen Gesichtsfeldes,

d) Erzeugen einer Abhängigkeitskurve, die ein Frequenzspektrum der Schwingungen des von der Sensorkamera erzeugten Ausgangssignals darstellt, und

e) Stoppen der Bewegung der zweiten Gegenstände während der Ausführung des Schrittes c), wenn das Frequenzspektrum ein vorbestimmtes gewünschtes Merkmal des Spektrums anzeigt.
23. Verfahren nach Anspruch 22, dadurch gekennzeichnet , daß in dem Schritt e) die Bewegung der zweiten Gegenstände gestoppt wird, wenn das Frequenzspektrum bezüglich der Grundwellenkomponente einen Maximalwert anzeigt und die Grundwellenkomponente

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ρ, entspricht, wobei das Symbol V die Abtastgeschwindigkeit der Sensorkamera bezeichnet und das Symbol P' einen Abstand bezeichnet, in welchem die ersten Gegenstände bzw. die zweiten Gegenstände angeordnet sind.
24. Verfahren nach Anspruch 23, dadurch gekennzeichnet , daß in dem Schritt e) die Zahl der ersten und zweiten Gegenstände gezählt und mit einer vorgegebenen Zahl verglichen wird, um nur einen wahren Bestimmungsort, an dem die zweiten Gegenstände mit den entsprechenden ersten Gegenstände fluchten, zu unterscheiden von einem ähnlichen Quasi-Bestimmungsort, an welchem die zweiten Gegenstände zwar mit den ersten Gegenständen fluchten, aber um k mal (k « 1, 2, 3 ...) den Abstand fehlausgerichtet sind, in welchem die ersten und zweiten Gegenstände angeordnet sind.

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