DE2523858A1 - Verfahren und vorrichtung zum ausrichten eines ersten gegenstandes auf einen zweiten gegenstand - Google Patents

Description

Western Electric A 34 784

Company; Incorporated

195 Broadway _Den 2 8. Mai 1973

New York, N.Y. 10007 U.S.A.

Verfahren und Vorrichtung zum Ausrichten eines ersten Gegenstandes auf einen zweiten Gegenstand

Die Erfindung "bezieht sich auf ein Verfahren der im Oberbegriff des Anspruchs 1 näher bezeichneten Art sowie auf eine Vorrichtung zur Durchführung eines derartigen Verfahrens. Die Erfindung findet Anwendung beim automatischen, präzisen Positionieren eines Werkstückes bezüglich eines anderen Werkstückes und insbesondere beim Ausrichten von Halbleiterbauelementen auf gedruckte Schaltungen oder dergleichen zum Herstellen von Anschlußverbindungen sowie beim Ausrichten von Halbleiterscheiben oder Dünnfilmsubstraten auf Fotomasken während verschiedener Herstellungsschritte.

Eine direkte automatische Ausrichtung derartiger Werkstücke durch direkten Vergleich der Geometrie des einen Werkstückes mit der Geometrie des anderen Werkstückes ist üblicherweise aufgrund der verwirrenden Vielzahl von nicht notwendigen und sich ändernden geometrischen Details der

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Werkstücke nicht durchführbar.

Bei der Herstellung einer integrierten Halbleiterschaltung mit Anschlußfahnen wird eine Vielzahl von Fotomaskierungsschritten durchgeführt. Bei jedem Schritt muß eine Fotomaske genau auf sehr kleine geometrische Muster ausgerichtet werden, die bei vorangegangenen Maskierungsschritten mit oftmals hunderten oder tausenden extrem kleiner, z.B. 2,54/um großer geometrischer Einzelheiten hergestellt wurden. Wegen der dauernden Aufbringung von fotobeständigen Schichten'und Oxidschichten sowie der verwirrenden Vielzahl von Öffnungen bzw. Fenstern in diesen Schichten zum selektiven Einführen von Dotierstoffen in den Halbleiterkörper oder zum Herstellen elektrischer Verbindungen muß die vorstehend erwähnte Ausrichtung bei dauernd sich ändernden fotografischen und licht-reflektierenden Bedingungen stattfinden.

Bekannte Systeme zum automatischen Ausrichten der vorerwähnten und anderen. Arten von Werkstücken weisen eine mechanisch komplizierte Vorrichtung mit Abtastspiegeln und optischen Bestandteilen (US-PS 3 581 375) oder eine Videokamera (US-PS 3 515 877) auf, wobei das letztgenannte System die spezifischen geometrischen Merkmale des einen Werkstücks durch Beobachtung seiner Lage bezüglich einer bestimmten Abtastzeile des Videosystems ermittelt.

Bei einem weiteren bekannten, automatischen Positionierungs-

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system (Aufsatz "Space-Age Production By .Automatic Image Alignment", in der US-Zeitschrift "Manufacturing Engineering and Management", März 1971) ist eine für eine spiralförmige Abtastung ausgebildete spezielle Videokamera sowie ein Festspeicher zur Speicherung elektronischer Signale vorgesehen, welche den bei der spiralförmigen Abtastung erzeugten Videobildern entsprechen. Bei dem bekannten Positionierungssystem wird im Betrieb ein erstes Werkstück von Hand in eine gewünschte Stellung positioniert und an- · schließend ein Videobild des Werkstücks in dieser Stellung in dem Speicher gespeichert. Die nachfolgenden Werkstücke werden dann in der gewünschten Stellung automatisch positioniert, in-dem ein Videobild des Werkstückes mit dem in dem Speicher gespeicherten Videobild verglichen und das Werkstück solange verschoben wird, bis die miteinander verglichenen Bilder übereinstimmen.

Ein wesentliches Problem bei einem derartigen System besteht in der Ausrichtung einer Vielzahl von Werkstücken auf ein in dem Speicher festgehaltenes Bild. Die Problematik resultiert daraus, daß sich die Betriebseigenschaften der Videokamera mit der Zeit und in Abhängigkeit von der Betriebsspannung derart ändern bzw. verschieben, daß die Ausrichtung eines Echt Zeitbildes mit der dauernd gespeicherten Darstellung des Bildes tatsächlich zu einer Fehlausrichtung führen kann.

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Die Aufgabe der Erfindung bestellt darin, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs erwähnten Art zu schaffen, welches eine genaue, automatische Ausrichtung von Werkstücken ohne die Gefahr falscher Ergebnisse aufgrund von Änderungen der Betriebsparameter ermöglicht.

Die auf die Schaffung eines Verfahrens gerichtete Teilaufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale gelöst.

Vorteilhafte Weiterbildungen und Ausgestaltungen des Verfahrens nach Anspruch 1 sind in den Ansprüchen 2-8 gekennzeichnet.

Die auf die Schaffung einer Vorrichtung gerichtete Teilaufgabe wird erfindungsgemäß durch die im Kennzeichen des Anspruchs 9 angegebenen Merkmale gelöst.

Vorteilhafte Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Vorrichtung nach Anspruch 9 sind in den Ansprüchen 10 - 22 gekennzeichnet.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren werden ein erstes, einen ersten Gegenstand anzeigendes elektrisches Signal und ein zweites, eine Referenzzone anzeigendes elektrisches Signal erzeugt. Das zweite Signal wird in Abhängigkeit von einem Vergleich zwischen dem ersten und zweiten Signal geändert, um die Referenzzone auf den Gegenstand

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auszurichten. Anschließend wird der zweite Gegenstand in Abhängigkeit von einem Vergleich zwischen dem geänderten zweiten Signal und einem dritten, den zweiten Gegenstand anzeigenden Signal "verschoben, um den zweiten Gegenstand auf die Referenzzone auszurichten. Da der zweite Gegenstand auf die Referenzzone ausgerichtet wird, nachdem diese mit dem ersten Gegenstand ausgerichtet wurde, ist auf diese Weise der zweite Gegenstand auf den ersten Gegenstand ausgerichtet.

Insbesondere werden bei einem automatischen Positionierungssystem nach einem nachstehend erläuterten Ausführungsbeispiel der Erfindung Gegenstände dadurch indirekt ausgerichtet, daß zunächst ein künstlich erzeugtes Videobild eines Referenzzonenmusters auf ausgewählte Abschnitte eines Videobildes des ersten Gegenstandes ausgerichtet wird und anschließend ausgewählte Abschnitte des Videobildes des zweiten Gegenstandes auf das Bild der Referenzzonen ausgerichtet werden.

Bei speziellen Ausführungsformen der Erfindung werden einem Videobild der Referenzzonen entsprechende elektronische Signale künstlich synchron mit dem tatsächlichen, von der Vidiconkamera erzeugten Videobild eines Gegenstandes erzeugt, in-dem die horizontalen und vertikalen Synchronisierimpülse der Videokamera einer geeigneten Logikschaltung zugeführt werden.

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Obwohl der Erfindungsgedanke ganz allgemein auf die automatische Ausrichtung beliebiger Gegenstände auf ebenso beliebige Gegenstände anwendbar ist, soll die Erfindung zur Vereinfachung und zum besseren Verständnis anhand eines ersten Ausführungsbeispiels zur automatischen Ausrichtung von Halbleiterbauelementen auf Anschlußsubstrate (z.B. gedruckte Schaltungen) und anhand eines zweiten Ausführungsbeispiels zur automatischen Ausrichtung von Halbleiterscheiben oder Dünnfilmsubstraten auf Fotomasken im grundsätzlichen beschrieben werden.

Bei dem ersten Ausführungsbeispiel wird ein Videobild des Referenzzonenmusters einem Videobild einer Anschlußvorrichtung, z.B. ein Anschlußkopf, oder einem Videobild des Fensters und des Umgebenden Materials eines nachgiebigen Bandes überlagert. Die automatische Ausrichtung der Zonen auf das Fenster erfolgt dadurch, daß zunächst Signale erzeugt und Motoren zur Justierung variabler Widerstände in einer Logikschaltung zur Erzeugung der Zonenmuster zugeführt werden. Weiterhin wird das Bild der Zonenmuster einem Videobild eines an das Substrat anzuschließenden Halbleiterbauelementes überlagert. Anschliessend wird die Koinzidenz bzw. Übereinstimmung ausgewählter Merkmale des Videobildes des Halbleiterbauelementes und des Zonenmusters festgestellt; schließlich werden Signale erzeugt und Motoren zum Verschieben des Halbleiter-

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bauelementes zugeführt, um das Halbleiterbauelement auf das Yideobild der Referenzzonen auszurichten. Da das Zonenmuster auf das nachgiebige Band und anschließend das Halbleiterbauelement auf das Zonenmuster ausgerichtet wurde, ist das Halbleiterbauelement notwendigerweise auf das Fenster in dem nachgiebigen Band ausgerichtet.

Wenn dieses Verfahrensstadium erreicht ist, wird das Halbleiterbauelement aufgegriffen und in Kontakt mit dem nachgiebigen Band gebracht; anschließend wird ein Yideobild des Halbleiterbauelementes und des nachgiebigen Bandes einem Videobild der Referenzzonen überlagert, um einen während des Aufgreifens verursachten Ausrichtungsfehler festzustellen. Gegebenenfalls wird die Lage des Videobildes der Referenzzonen geändert, in-dem Signale erzeugt

ia

und Motoren zur Justierung variabler Widerstände/der Logikschaltung zur Erzeugung dieser Zonen zugeführt werden, um das Bild der Referenzzonen mit dem Bild des Halbleiterbauelementes und des nachgiebigen Bandes wieder zur Deckung zu bringen.

Schließlich wird das Bild der Referenzzonen einem Videobild des Substrates und des darauf befindlichen Leitermusters überlagert, an das die Anschlußfahnen des Halbleitercbjps anzuschließen sind} anschließend wird die Koinzidenz bzw. Übereinstimmung bestimmter Merkmale des Substrates und der Referenzzonen festgestellt und dann Signale

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erzeugt und Motoren zum Verschieben des Substrates zugeführt, um dieses auf die Referenzzonen auszurichten. Das auf diese Weise ausgerichtete Substrat ist notwendigerweise auf das Halbleiterbauelement und das nachgiebige Band ausgerichtet, so daß das nachgiebige Band und das Halbleiterbauelement mit dem Substrat in Kontakt gebracht werden können und das Anschließen stattfinden kann.

Bei der Ausführungsform zum Ausrichten einer Halbleiterscheibe auf eine Fotomaske wird ein Videobild der Referenzzonen einem Videobild bestimmter ausgewählter Merkmale der Maske, üblicherweise besonders gekennzeichneter fester Markierungen überlagert, in-dem in vorteilhafter Weise ein Mischbild-Mikroskop (Spaltfeld-Mikroskop) zur Beobachtung der Fotomaske verwendet wird. Die Übereinstimmung der festen Markierungen mit den Referenzzonen wird ermittelt; ferner werden Signale erzeugt und Motoren zur Justierung variabler Widerstände der zur Erzeugung der Referenzzonen verwendeten Logikschaltung zugeführt, um die Referenzzonen wieder mit den festen Markierungen der Fotomaske auszurichten. Anschließend wird das Bild der Referenzzonen einem Videobild von festen Markierungen auf einer Halbleiterscheibe überlagert, wobei wiederum in vorteilhafter Weise das Mischbild-Mikroskop verwendet wird. Die Übereinstimmung der Referenzzonen mit den festen Markierungen wird ermittelt; ferner werden Signale erzeugt und Motoren zur Verschiebung der Halbleiterscheibe zugeführt, um die fe-

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sten Markierungen wieder mit den Referenzzonen auszurichten.

Bei beiden Ausführungsformen' der Erfindung umfassen die Referenzzonen in vorteilhafter Weise eine Matrix von getrennten, gegenüberliegenden Flächen. Mit Hilfe dieser Zonen kann eine Übereinstimmung von gegenüberliegenden Merkmalen des mit den getrennten Zonen auszurichtenden Werkstückes ermittelt und die Ausrichtung durch einen Abgleich der FläehenübereinStimmung jener gegenüberliegenden Merkmale mit den gegenüberliegenden Zonen erzielt werden.

Die Erfindung wird mit ihren weiteren Einzelheiten und Vorteilen anhand der Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:

Fig. 1 ein schematisches elektrisches und mechanisches Blockschaltbild einer videogesteuerten Anschlußvorrichtung nach einer ersten Ausführungsform der Erfindungj

Fig. 2 ein elektrisches Blockschaltbild der automatischen Ausrichtungssteuereinrichtung der Anschlußvorrichtung nach Fig. 1j

Fign.3A-3E schematische Darstellungen der Referenzzonen und der Yideobilder von erfindungsgemäß positionierten Werkstücken, wie sie bei der Wiedergabe auf einem Fernsehmonitor erscheinen; Fig. 4 ein schematisches elektrisches Blockschaltbild einer Logikschaltung zur Erzeugung der Referenz-

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zonen;

Pig. 5A eine detailliertere schematische Darstellung eines vorteilhaften Referenzzonenmusters für die erste Ausführungsform der Erfindung;

Fig. 5B eine Tabelle der "betreffenden Knotenpunkte der Logikschaltung nach Fig. 4, welche bei der Herstellung der entsprechenden Zonen nach Fig. 5 A in Betrieb sind;

Fig. 5C ein einfaches logisches Schaltungselement zum besseren Verständnis der Tabelle nach Fig. 5Bj

Fign.6 u.7 Zeitdiagramme von SpannungsSignalen zur Veranschaulichung der ZeitbeZiehungen zwischen den wichtigeren Knotenpunkten der Logikschaltung nach Fig. 4;

Fig. 8 ein schematisches elektrisches Blockschaltbild einer Schaltung zur Feststellung der Koinzidenz zwischen den Videobildern des Werkstückes und der Referenzzonen sowie zum Umsetzen der erfaßten Koinzidenz in Signale für Schrittmotoren zur Durchführung der erfindungsgemäßen Ausrichtung entweder der Referenzzonen auf ein Werkstück oder des Werkstückes auf die Referenzzonen;

Fig. 9 ein elektrisches Schaltbild einer Stufenladungsschaltung zur Verwendung bei der Darstellung des G-rades der Übereinstimmung zwischen dem Videobild des Werkstücks und den verschiedenen, erfindungsgemäß vorgesehenen Referenzzonen;

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Fig. 10 ein elektrisches Schaltbild einer Differenz-Detektorschaltung zur Feststellung der als Ladung durch die Stufenladungsschaltung nach Fig. 9 dargestellten Koinzidenz}

Fig. 11 ein elektrisches und mechanisches Blockschaltbild einer Vorrichtung zur automatischen videogesteuerten Ausrichtung von Halbleiterscheiben oder Dünnfilmsubstraten auf Fotomasken nach der zweiten Ausführungsform der Erfindung}

Figo 12A eine schematische Draufsicht auf eine Fotomaske }

Fig. 1233 eine Draufsicht auf eine auf die Fotomaske

nach Fig. 12A auszurichtende Halbleiterscheibe}

Fig. 13 ein vorteilhaftes Referenzzonenmuster zur

Verwendung bei der erfindungsgemäßen automatischen Ausrichtung von Halbleiterscheiben oder Dünnfilmsubstraten auf Fotomasken;

Fig. 14A bzw.14B das Yideobild der Referenzzonen nach Fig.

13, welchem ein Videobild zweier fester Markierungen der Maske nach Pig. 12A überlagert wird, und zwar einmal in der ausgerichteten Position und zum anderen in der nicht-ausgerichteten Position}

FigοHA bzw.15B das Videobild der Referenzzonen, welchem

das Videobild der festen Markierungen der

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Maske nach Fig. 12A sowie die festen Markierungen der auf die Maske auszurichtenden Halbleiterscheibe oder des auf die Maske auszurichtenden Dünnfilmsubstrates überlagert werden, wobei Fig. 15A die ausgerichtete Position und Fig. 15B die nicht-ausgerichtete Position wiedergibt;

Fig. 16 ein schematisches elektrisches Blockschaltbild einer Logikschaltung zur Erzeugung von den Zonen des Musters nach Fig. 13 entsprechenden elektronischen Signalen;

Fig. 17 und 18 Zeitdiagratnme von SpannungsSignalen zur Yeranschaulichung der Zeitbeziehungen zwischen den Spannungen an verschiedenen Knotenpunkten der Schaltung nach Fig. 16, und

Fig. 19 ein schematisches elektrisches Blockschaltbild einer Schaltung zur Feststellung der Koinzidenz zwischen den Videobildern und zur Erzeugung von Signalen für Schrittmotoren zur Durchführung der automatischen Ausrichtung.

Allgemeine Beschreibung der Anschlußvorrichtung

Fig. 1 zeigt ein schematisches elektrisches und mechanisches Blockschaltbild einer videogesteuerten Anschlußvorrichtung nach einer ersten Ausführungsform der Erfindung» Wie aus Fig. 1 hervorgeht, umfaßt die Anschlußvorrichtung eine erste motorgesteuerte Stufe 21, auf welcher sich ein

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Träger 22 für Halbleiterchips oder Halbleiterbauelemente 23 befindet, sowie ferner eine zweite, getrennte,motorgesteuerte Stufe 24, auf welcher sich ein Träger 25 für eine Vielzahl von Substraten 26 befindet, an welche die Halbleiterchips anzuschließen sind.

Die motorgesteuerte Stufe 21 wird von drei unabhängigen Motoren angetrieben, wobei der Motor 27 für eine Bewegung in X-Richtung, der Motor 28 für eine Bewegung in Y-Richtung und der Motor 29 für eine Bewegung in einer Drehoder 0-Richtung vorgesehen sind. Die Motoren 27 - 29 werden von einer Motorsteuerschaltung 30 gesteuert, für welche eine genormte, im Handel erhältliche Motorsteuerschaltung oder ein Allzweckreohner verwendet werden kann, der zur Meßung der für die gewünschte genaue Bewegung jedes Motors 27 - 29 erforderlichen Impulse oder Spannungen vorgesehen ist.

In ähnlicher Weise wird die Stufe 24 von einer getrennten Vielzahl von Motoren angetrieben, wobei der Motor 31 für eine Bewegung in X-Richtung, der Motor 32 für eine Bewegung in Y-Richtung und der Motor 33 für eine Bewegung in Dreh- oder θ -Richtung vorgesehen sind. Die Motoren 31 bis 33 werden wiederum von einer Motorsteuerschaltung 34 gesteuert, die in jeder Beziehung mit der Motorsteuerschaltung 30 identisch sein kann.

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Die Motorsteuerschaltungen 30 und 34 werden ihrerseits von einer automatischen Ausrichtungssteuereinrichtung 35 gesteuert, welche einen wesentlichen Teil der Erfindung darstellt und die Motorsteuerschaltungen 30 und 34 über die leitungen 36 bzw. 37 mit elektronischen Steuersignalen beaufschlagt. Die Ausrichtungssteuereinrichtung 35 ist über eine Vielzahl von Leitungen 38 bis 40 mit einer Vidicon-Fernsehkamera 41 verbunden. Wie noch nachstehend im einzelnen erläutert werden soll, verbinden die leitungen 38 - 40 die horizontalen Synchronisiersignale, die vertikalen Synchronisiersignale und die den von der Vidicon-Fernsehkamera 41 erzeugten Videobildern entsprechenden elektronischen Signale mit der Ausrichtungssteuereinrichtung 35. Die Vidicon-Fernsehkamera 41 erzeugt mikroskopische Bilder des AnschlußVorganges, soweit das Anschließen von der Vidicon-Fernsehkamera 41 über ein Mikroskop 42 längs eines mit strichpunktierter Linie 43 angedeuteten Strahlenganges gesehen wird.

Fig. 1 zeigt ferner einen Anschlußkopf 44, der zwischen einer Vorratsspule 45 und einer Aufnahmespule 46 für ein nachgiebiges Band 47 angeordnet ist. Die Teile 44 - 47 stellen einen Anschlußmodul vom sogenannten nachgiebigen Typ dar, der im einzelnen in der US-PS 3 64O 444 beschrieben und im Handel erhältlich ist. Es versteht sich, daß eine Ausrichtung auf eine herkömmlichere Anschlußvorrichtung, wie beispielsweise ein Anschlußkopf ohne ein nach-

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giebiges Band,ebenfalls für die erfindungsgemäßen Zwecke in Betracht kommt.

Im Betrieb werden die Spulen 45 und 46 betätigt, um ein Fenster des nachgiebigen Bandes 47 unter die Anschlußspitze des Anschlußkopfes 44 zu verbringen. Ferner wircl eine Lichtquelle 49 betätigt, um einen schematisch mit der strichpunktierten Linie 52 angedeuteten Lichtstrahl auf eine Seite eines Mehrfachprismas 48 zu richten, das seinerseits das Licht auf das Fenster des nachgiebigen Bandes 47 zurückwirft. Das von dem Bandmaterial in der Umgebung des Fensters reflektierte Licht fällt wieder auf das Prisma 48 und wird längs des Strahlenganges 43 zu dem Mikroskop 42 und der Yidicon-Fernsehkamera 41 abgelenkt. Die Yidiconkamera 41 erzeugt elektronische Signale, welche einem mikroskopischen Bild des Fensters und des umliegenden Bandmaterials des nachgiebigen Bandes 47 entsprechen? diese elektronischen Signale werden über die Leitung 40 der Ausrichtungssteuereinrichtung 35 zugeführt.

Fig. 2 zeigt innerhalb des mit strichpunktierten Linien gezeichneten Rechtecks 53 ein schematisches elektrisches Blockschaltbild der erfindungsgemäß vorgesehenen -automatischen Ausrichtungssteuereinrichtung 35. Wie aus Fig. 2 hervorgeht, umfaßt die Einrichtung 35 eine Mustergeneratorschaltung 54, welche mit den horizontalen und vertikalen Synchronisiersignalen der Vidicon-Fernsehkamera 41 auf den Leitungen 38 und 39 gespeist wird, um elektronische

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Signale zu erzeugen, welche ein mit einem von der Vidicon-Fernsehkamera 41 erzeugten Videobild synchronisiertes Videobild eines Referenzzonenmusters darstellen. Die Ausgangssignale der Mustergeneratorschaltung 54 und die über die Leitung 40 übertragenen, das Videobild der Kamera 41 darstellenden elektronischen Signale werden gleichzeitig einer Koinzidenzerfassungs- und -Verarbeitungsschaltung zugeführt, welche in einer noch näher zu beschreibenden Weise den Grad der Übereinstimmung zwischen vorbestimmten Abschnitten der Videobilder ermittelt und verarbeitet. Auf Grund dieser Erfassung und Verarbeitung werden von der Schaltung 55 elektronische Signale erzeugt und geeigneten Motοrsteuerschaltungen 30 und 34 (Fig. 1) sowie 60 (Fig„2) zugeführt, um entweder das Videobild des Referenzzonenmusters oder die Stufe 21 oder die Stufe 24 in Abhängigkeit von dem gerade erreichten Abschnitt der Arbeitsfolge der Anschlußvorrichtung zu verschieben.

Mit Hilfe des vorstehend vermittelten allgemeinen Verständnisses der Betriebsweise der automatischen Ausrichtungssteuereinrichtung 35 soll nunmehr wiederum auf das Videobild des Fensters in dem nachgiebigen Band 47 Bezug genommen werden, das in Verbindung mit Fig. 1 vorstehend erläutert ist. Die Einrichtung 35 überlagert das elektronische Videobild des Fensters des nachgiebigen Bandes 47

dem Videobild des Referenzzonenmusters und justiert durch Signalbeaufschlagung des Motorsteuerkreises 60

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(Mg. 2) variable Widerstände der Must ergener at ors ehalt ung 54, um das Bild der Referenzzonen bezüglich, des Bandfensterbilctoausreichend zu verschieben, damit das Zonenmuster auf das Fenster ausgerichtet ist.

Anschließend wird das Licht der Quelle 49 abgeschaltet und eine Lichtquelle 50 eingeschaltet, um eine andere Fläche des Prismas 48 mit einem zur Beleuchtung eines Halbleiterchips 23 auf der Stufe 21 ausreichenden Licht unter einem unterschiedlichen Winkel zu beaufschlagen. Das von diesem Halbleiterplättchen reflektierte Licht läuft zu dem Prisma 48 zurück und wird auf das Mikroskop 42 gerichtet, wodurch ein Bild des Plattchens von der Kamera 41 erzeugt und der Einrichtung 55 zugeführt wird. Die Einrichtung 35 überlagert das Bild des Plattchens mit dem Bild des Referenzzonenmusters, ermittelt und verarbeitet die Übereinstimmung der beiden Bilder und erzeugt entsprechende elektronische Signale, die der Motorsteuerschaltung 30 zugeführt werden, um das Halbleiterplättchen solange zu verschieben, bis dessen Bild mit dem Bild der Referenzzonen zentriert oder auf irgendeine andere vorbestimmte V/eise auf die Referenzzonen ausgerichtet ist. Wenn dies erreicht ist, ist das Halbleiterplättchen notwendigerweise auf das Bandfenster ausgerichtet, da die Referenzzonen auf das Bandfenster und das Halbleiterplättchen auf die Referenzzonen ausgerichtet sind»

Nach Durchführung der vorstehend erwähnten Ausrichtung wird

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das Prisma 48 mit Hilfe einer nicht dargestellten, üblichen Vorrichtung aus dem Strahlengang geschwenkt und der Anschlußmodul wird längs der Anschlußachse 56 abgesenkt, um das auf das Bandfenster ausgerichtete Halbleiterchip aufzugreifen. Dies kann beispielsweise mit Hilfe einer oberhalb des Bandfensters angeordneten Saugspitze erfolgen, die sich während des Aufgreifvorganges durch das Bandfenster erstreckt und das ausgerichtete Halbleiterchip in Kontakt mit dem Band bringt. Nach dem Aufgreifen des Halbleiterchip wird der Anschlußmodul in seine in Fig. 1 dargestellte Ruhelage zurückgezogen und das Prisma 48 in seine in Fig. 1 dargestellte Ruhelage auf der Anschlußachse zurückgebracht.

Aufgrund mechanischer Ungenauigkeiten kann während des-Aufgreifvorganges eine Fehlausrichtung des Halbleiterchip bezüglich des Bandes 47 verursacht werden. Zur Erzielung einer maximalen Genauigkeit der nachfolgenden Arbeitsvorgänge wird die Lichtquelle 49 wieder eingeschaltet, um das an dem Band festgehaltene Halbleiterchip zu beleuchten und dadurch die Erzeugung eines Bildes des in Kontakt mit dem Band befindlichen Platt ehens durch die Kamera 41 hervorzurufen. Die Einrichtung 35 überlagert dieses Bild den Referenzzonen und richtet ihre Referenzzonen auf das Bild des an dem Band befindlichen Halbleiterchip wieder aus.

Zur Vervollständigung des Anschlußvorganges muß ein Sub-

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strat 26 zunächst auf das Halbleiterchip und das Bandfenster ausgerichtet werden. Zur Durchführung dieser Ausrichtung wird die Stufe 21 mit Hilfe einer nicht dargestellten herkömmlichen Vorrichtung aus der Anschlußachse bewegt und die Stufe 24 wird anstelle der Stufe 21 in die Anschlußaehse positioniert. Bei abgeschaltetem licht der Quellen 49 und 50 wird die Oberfläche des Substrates 26 direkt mit Licht einer dritten Quelle 51 längs eines Strahlenganges 59 beleuchtet, der bezüglich der Substratoberfläche in einem spitzen Winkel geneigt verläuft. Das von dem Substrat

reflektierte Licht
2y durchläuft das in seiner Ruhelage befindliche Prisma 48

und wird auf das Mikroskop 42 und die Kamera 41 gerichtet.

Die Kamera 41 erzeugt ein Bild des Substrates und beaufschlagt über die Leitung 40 die Steuereinrichtung 35 mit den diesem Bild entsprechenden Signalen. Die Steuereinrichtung 35 überlagert das Bild des Substrates dem Bild des Referenzzonenmusters, das, wie erinnerlich, genau auf das Bild des an dem Band 47 befindlichen Halbleiterchip ausgerichtet wurde; ferner wird durch die Einrichtung 35 die Übereinstimmung dieser Bilder festgestellt und verarbeitet. Aufgrund dieser Verarbeitung werden Signale erzeugt und über die Schaltung 55 der Motorsteuerschaltung 34 zugeführt, um das Substrat 26 ausreichend für eine Zentrierung oder sonstige Ausrichtung auf vorbestimmte Weise auf das Referenzzonenmuster zu verschieben. Das auf diese Weise ausgerichtete Substrat 26 ist gleichzeitig auf das Halbleiter-

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chip und das Fenster des nachgiebigen Bandes 47 ausgerichtet.

Zur Vervollständigung der Verbindung braucht lediglich noch das Prisma 48 aus der Verbindungsachse 56 herausgeschwenkt und der Anschlußmodul mit den Bestandteilen 44 bis 47 abgesenkt zuwerden, um das Halbleiterchip und das Fenster des nachgiebigen Bandes mit ausreichender Stärke, Wärme und anderen Parametern zur Fertigstellung des Anschlußes in Kontakt mit dem Substrat zu bringen. Nach Fertigstellung des Anschlußes wird der Anschlußmodul in seine Ruhelage angehoben, das Prisma 48 in die Anschlußachse zurückbewegt, die Stufe 24 aus der Anschlußachse entfernt und die Stufe 21 in ihre in Fig. 1 dargestellte Ursprungslage zurückgebracht, um die Ausrichtung und Verbindung des nachfolgenden Halbleiterchip und Substrates zu gestatten. Es versteht sich, daß bei Anschlußvorgangen, bei denen die Halbleiterchip zuvor auf andere Weise auf dem nachgiebigen Band angeordnet worden sind, nur die letzte Hälfte des vorstehend beschriebenen Arbeitsvorganges, d.h., die Ausrichtung des an dem Band 47 befindlichen Halbleiterchip auf das Substrat zur Vorbereitung des Anschlußes ausgeführt zu werden braucht.

Genaue Beschreibung des Ausrichtungsvorganges

In den Fign. 3A - 33 sind schematisch die Referenzzonen und die Videobilder der Werkstücke dargestellt, wie sie

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bei der Wiedergabe auf einem !Fernsehmonitor während jedes Ausrichtungsvorganges nach der Erfindung auftreten» Wie sich ohne weiteres aus dem Vorangegangenen ergibt, brauchen die Bilder natürlich nicht auf einem Monitor während der Überlagerung und Ausrichtung der Bilder wiedergegeben zu werden. Anstelle dessen brauchen lediglich die diesen Bildern entsprechenden elektronischen Signale in der in Fig. 2 dargestellten Koinzidenzerfassungs- und -Verarbeitungsschaltung 55 überlagert und verarbeitet werden.

Fig. 3A zeigt auf einem Fernsehmonitor 61 ein Referenzzonenmuster, das in vorteilhafter Weise zur Ausrichtung eines mit Anschlußfahnen versehenen Halbleiterplättchens auf Bandfenster und Dünnfilmsubstrate verwendbar ist. Wie aus Fig. 3A hervorgeht, umfaßt das Muster eine Matrix von 16 Zonen Z1 - Z16. Eine Logikschaltung zur Erzeugung der Referenzzonenmuster ist in Fig. 4 dargestellt und wird im Nachfolgenden noch näher erläutert. Für das Verständnis der Figuren 3A bis 3E genügt zunächst die Feststellung, daß die Logikschaltung motorgetriebene variable Widerstände aufweist, welche eine automatische oder manuelle Änderung der Form und Lage jeder Zone Z1 - Z16 ermöglichen.

Wie aus der nachfolgenden Erläuterung hervorgeht, besitzen die in Fig. 3A dargestellten geradlinigen Linien zur Definition der Grenzen der Zonen keine Funktion und brau-

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dien daher nicht auf dem Fernsehmonitor erscheinen; diese Linien sind daher lediglich zum besseren Verständnis der Angabe und Festlegung des Ausmaßes jeder Zone Z1 - Z16 eingezeichnet. Zum Zwecke der Erläuterung sind die Zonen Z1 bis Z16 in vorteilhafter Weise weiß auf schwarzem Hintergrund dargestellt; selbstverständlich kann jede Zone lediglich als optische Darstellung einer selektierten Zeitperiode angesehen werden, die mit einem Abtastrahmen der Vidieon-Fernsehkamera synchronisiert ist.

In Fig. 3B ist die Überlagerung des Musters der Zonen Z1 bis Z16 mit dem Fernsehbild des Fensters des nachgiebigen Bandes 47 dargestellt. Ein nachgiebiges Band enthält üblicherweise einen das Fenster unmittelbar umgebenden versenkten Abschnitt; nur dieser versenkte Abschnitt ist in Fig. 3B dargestellt, da sich der Rest des Bandes 47 außerhalb des Brennpunktes des Mikroskops 42 befindet. Das .von den Linien 63 - 66 umschriebene Rechteck definiert den Rand des Bandfensters; ferner stellt das von den Linien 67 - 70 umschriebene Rechteck den äußeren Rand des versenkten Abschnittes dar. Der auf dem Fernsehbild nach Fig. 3B sichtbare Abschnitt des Bandmaterials ist daher die Fläche 71 zwischen dem von den Linien 63 - 66 umschriebenen Rechteck und dem von den Linien 67 - 70 umschriebenen Rechteck. Üblicherweise erscheint die Fläche 71 als weißes Videobild auf einem schwarzen Hintergrund, mit Ausnahme des weißen Videobildes der Zonen ZI - Z16.

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Zur Ausrichtung des Musters der Zonen Z1 - Z16 auf das Bandfenster wird der mit den Zonen Z2 und Z3 zusammenfallende Abschnitt der Fläche 71 gegen denjenigen Abschnitt der Fläche 71 abgeglichen, der mit den Zonen ZH und Z15 zusammenfällt, um eine Ausrichtung in vertikaler oder Y-Richtung herbeizuführen. In ähnlicher Weise wird der mit den Zonen Z5 und Z9 zusammenfallende Abschnitt der Fläche 71 gegen denjenigen Abschnitt der Fläche 71 abgeglichen, der mit den Zonen Z8 und Z12 zusammenfällt, um eine Ausrichtung in der rechten und linken bzw. X-Richtung herbeizuführen. Gewöhnlich ist die mechanische Einrichtung zur Halterung und zum Yorschub des nachgiebigen Bandes 47 ausreichend genau, so daß keine Ausrichtung der Referenzzonen in Θ- oder Drehrichtung erforderlich ist.

Der Betrag bzw. das Ausmaß der Flächenübereinstimmung mit irgendeiner vorgegebenen Zone kann auf einfache Weise dargestellt und gespeichert werden, in-dem Impulse eines Hochfrequenzoscillators einem Kondensator während desjenigen Teils der Abtastrahmenperiode zugeführt werden, innerhalb welchem die Übereinstimmung auftritt. Dementsprechend wird für jede Zone der betreffende Kondensator auf eine Spannung aufgeladen, die proportional der Dauer der Übereinstimmung zwischen der Fläche und der Zone ist. Diese Spannungen können dann addiert und differentiell erfaßt werden, woraus anschließend zur Bildung.einer geschlossenen Regelschleife Antriebssignale für die Motoren zum

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Verschieben der Zonenmuster erzeugt werden, solange, bis die Übereinstimmung abgeglichen ist.

In Fig. 3G ist eine schematische Darstellung eines Fernseh-Monitorbildes des Musters der Zonen Z1 - Z16 dargestellt, das dem Bild eines mit Anschlußfahnen versehenen, von einem Rechteck mit den Seiten 72 - 75 umschriebenen Halbleiterchip überlagert ist» Wie aus Pig. 3C ersichtlich ist, enthält das Halbleiterchip eine Vielzahl von Anschlußfahnen 76, die sich in die äußeren Zonen Z2, Z3, Z5, Z8, Z9, Z12, Z14 und Z15 erstrecken. Üblicherweise ist das Plättchen mit der Vorderseite nach unten auf dem Träger angeordnet, so daß die mit keiner Metallisierung versehene Rückseite des Plattchens auf dem Fernsehbild schwarz erscheint, während die leuchtenden Anschlußfahnen 76 weiß erscheinen.

Zur Ausrichtung hat es sich als vorteilhaft herausgestellt, die Flächendeckungsbereiche zwischen den Anschlußfahnen und den inneren Zonen Z6, Z7, Z10 und Z11 festzustellen und gegeneinander abzugleichen. Und zwar wird für eine Ausrichtung in Y-Richtung der Betrag des mit den Zonen Z6 und Z7 übereinstimmenden weißen Bildteils gegen den Betrag des mit den Zonen Z10 und Z11 übereinstimmenden weißen Bildteils abgeglichen. In ähnlicher Weise wird für eine Ausrichtung in X-Richtung der Betrag des mit den Zonen Z6 und Z10 übereinstimmenden weißen Bildteils gegen den Betrag

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des mit den Zonen Z7 und Z11 übereinstimmenden weißen Bildteils abgeglichen.

Für eine genaue Ausrichtung des Halbleiterchip auf die Zonen ist üblicherweise eine Dreh- oder Θ-Ausrichtung erforderlich. Zur Erzielung einer derartigen Ausrichtung könnte der Betrag des mit den diagonal gegenüberliegenden Zonen Z6 und Z11 übereinstimmenden weißen (Anschlußfahnen-) Bildteils gegen den Betrag des mit den diagonal gegenüberliegenden Zonen Z7 und Z10 übereinstimmenden weißen Bildteils abgeglichen werden. Es hat sich jedoch für eine Dreh-Ausrichtung als vorteilhaft herausgestellt, zwei zusätzliche Zonen Z17 und Z18 zu erzeugen, um eine Kante, d.h_o die untere Kante 74 des Halbleiterchip zu überlappen. Der Betrag des mit der Zone Z17 übereinstimmenden weißen (Anschluß fahnen-) Bildteils wird gegen den Betrag des mit der Zone Z18 übereinstimmenden weißen Bildteils abgeglichen. DieserAbgleich des sich deckenden Bildteils erfolgt analog zu dem Abgleich für die X- und Y-Richtung, nämlich (a) durch Beaufschlagen eines Kondensators mit den Impulsen eines Hochfrequenzoscillators, um eine der Zeitdauer der Übereinstimmung zwischen den weißen Bildteilen und der Zone Z17 entsprechende Spannung zu erzeugen und (b) durch gleichzeitiges Beaufschlagen eines anderen Kondensators mit Impulsen während der Zeit, in welcher der weiße Bildteil mit der Zone Z18 übereinstimmt. Die an dem Kondensator erzeugten proportionalen Spannungen werden differentiell

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erfaßt und Signale werden erzeugt und der Motorsteuerschaltung 30 (Fig. 1) zur Beaufschlagung des Θ-Motors 29 mit Signalen zugeführt, um eine Drehung der Stufe 21 und des Trägers 22 entweder in Uhrzeigerrichtung oder in Gegenuhrzeigerrichtung zu bewirken. Sobald das Halbleiterchip auf die Zonen ausgerichtet ist, ist dieses notwendigerweise auch auf das Bandfenster ausgerichtet, da die
Zonen auf das Bandfenster ausgerichtet sind.

Wie vorstehend im Zusammenhang mit Pig. 1 bereits erläutert ist, wird an dieser Stelle des Verfahrensablaufes
das Prisma 48 (Mg. 1) aus der Verbindungsachse herausbewegt und der Anschlußmodul senkt sich nach unten und erfaßt das Halbleiterchip, um es in Kontakt mit dem nachgiebigen Band zu bringen. Anschließend kehrt der Anschlußmodul in seine Ruhelage zurück und das Prisma bewegt sich in seine Lage auf der Anschlußachse zurück.

Mg. 3D zeigt eine schematische Darstellung des Fernsehmonitorbildes des Halbleiterchip und des Bandfensters aus der Sicht des Prismas 48. Wie aus Fig. 3D hervorgeht, stellt das Bild nunmehr die Vorderseite des Halbleiterchip dar, 'welche die gesamten metallisierten Verbindungsmuster für die verschiedenen Bestandteile der darin enthaltenen integrierten Schaltung umfaßt. Selbstverständlich enthält
dieses metallisierte Verbindungsmuster eine beträchtliche Anzahl geometrischer Details, welche für den Ausrichtungs-

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Vorgang nicht notwendig sind und daher für ein automatisches Ausrichtungssystem nur verwirrend sind. Damit der automatische Erfassungsmechanismus diesen Wirrwarr zu ignorieren vermag, wird ein zusätzliches Muster Z19> das nachstehend als "Lösch"-Muster ("Ausweiß"-Muster) bezeichnet werden soll und von dem Rechteck mit den Linien 81 Ms 84 umschrieben wird, von der Logikschaltung erzeugt. Eine dem Bild des Löschmusters entsprechende Information wird der Erfassungsschaltung zugeführt, damit das automatische Ausrichtungssystem sämtliche Videosignale während der dem Löschmuster des Abtastrahmens entsprechenden Zeitdauer unterdrücken kann.

Obwohl sich das Halbleiterchip am Ende der anhand von Fig. 3C beschriebenen Folge von Vorgängen in perfekter Ausrichtung auf das Bandfenster und die Zonen Z1 bis Z16 befindet, ist das mechanische Aufgreifen und Festhalten des Halbleiterchip an dem nachgiebigen Band ungenau; deshalb kann während des Aufgreifens eine Fehlausrichtung des Halbleiterplättchens auf das nachgiebige Band eintreten. Diese Fehlausrichtung tritt, wie die Praxis gezeigt hat, so häufig auf, daß das automatische Ausrichtungssystem in vorteilhafter Weise das Auftreten dieser Fehlausrichtung feststellen sollte und bejahendenfalls die Referenzzonen auf das Halbleiterchip wieder ausrichten sollte. Diese Feststellung und Wiederausrichtung erfolgt durch die in Fig. 3D dargestellten Bilder in der nach-

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stehend beschriebenen Weise.

Wie aus Mg. 3D hervorgeht, erzeugen sowohl die Anschlußfahnen als auch das das Bandfenster umgebende Material des nachgiebigen Bandes einen weißen Bildteil. Diejenigen Teile der Anschlußfahnen, welche sich über die Kanten63 bis 66 des Bandfensters erstrecken, können daher nicht unterschieden werden. Dementsprechend sind diese Teile mit gestrichelten Linien 76A dargestellt, Für eine Y-Ausrichtung wird der Betrag des weißen Bildteils außerhalb des Löschmusters Z19 und innerhalb der inneren Zonen Z6 und Z7 gegen den weißen Bildteil außerhalb des Löschmusters und innerhalb der Zonen Z10 und Z11 abgeglichen. Für die X-Ausrichtung wird der Betrag des weißen Bildteils außerhalb des Löschmusters Z19 und innerhalb der Zonen Z6 und Z10 gegen den Betrag des weißen Bildteils außerhalb des Löschmusters und innerhalb der Zonen Z7 und Z11 abgeglichen.

Da eine Verdrehung des Halbleiterehip bezüglich des Bandes oftmals eine Schwierigkeit bei dem AufgreifVorgang darstellt, sollte das Muster der Zonen Z1 - Z16 bei dem in Pig. 3D dargestellten Vorgang auch in vorteilhafter Weise auf das Halbleiterehip in Dreh- oder Θ-Richtung ausgerichtet werden. Da es schwierig oder unmöglich ist, bei einem Fernsehsystem mit geradliniger Abtastung auf künstlichem Wege verdrehte Zeilen zu erzeugen, wird in der Praxis keine Drehung des Zonenmusters durchgeführt. Indes-

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sen wird eine Fehlausrichtung des Halbleiterchip bezüglich des Zonenmusters festgestellt und in der nachstehenden Weise kompensiert.

Und zwar wird ein Muster mit zwei zusätzlichen Zonen Z20 und Z21 erzeugt, deren untere Kanten mit der unteren Kante des Löschmusters Z19 übereinstimmen. Pur die Feststellung der Ausrichtung in Θ-Richtung wird der mit der Zone Z20 übereinstimmende weiße Bildteil mit dem mit der Zone Z21 übereinstimmenden weißen Bildteil verglichen. Wie vorstehend erläutert, kann der Vergleich durch Aufladung getrennter Kondensatoren während der Zeitdauer erfolgen, in welcher der weiße Bildteil mit den Zonen Z20 und Z21 übereinstimmt. In diesem Falle werden jedoch die an den Kondensatoren erzeugten differentiellen Ladungen nicht verwendet, um Motoren zum Verdrehen der Referenzzonen anzutreiben, sondern werden lediglich gespeichert, um eine Kompensationsverdrehung des Videobildes des Substrates bezüglich des Musters bei dem anhand von Fig. 3E beschriebenen nächsten Vorgang zu bewirken.

Fig. 3E zeigt eine schematische Darstellung eines Fernsehmonitorbildes eines (gedruckten) Leitermusters 91 auf einem Substrat bzw. einer Unterlage, an welches das Halbleiterchip anzuschließen ist. Wie bei den vorangegangenen Ausrichtungsvorgängen, wird das Muster der Zonen Z1 bis Z16 dem Bild des Leitermusters 91 überlagert.

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Wie anhand von Fig. 1 bereits erläutert wurde, wird zur Ausrichtung des Substrates auf die Referenzzonen das Substrat direkt von einer Lichtquelle 51 längs des Strahlenganges 59 schräg beleuchtet. Dies steht im Gegensatz zu den vorangegangenen Ausrichtungsvorgängen, bei denen die Werkstücke durch das Prisma 48 indirekt und vertikal beleuchtet werden. Der Zweck der schrägen Beleuchtung besteht darin, das aus Gold bestehende und daher normalerweise auf dem Videobild weiß erscheinende leitermuster 91 schwarz erscheinen zu lassen. Dies erfolgt zur Kompensation des ümstandes, daß das Leitermuster oftmals Verunreinigungen und unregelmäßige Abschnitte enthält, welche auf dem Fernsehmonitor schwarz erscheinen und daher zu Fehlern bei der automatischen Ausrichtung Anlaß geben würden. Die wichtigsten Arten von Verunreinigungen sehen schwarz aus und erscheinen auf dem Fernsehmonitor ebenfalls schwarz, so daß sie keine Schwierigkeiten verursachen.

Auf diese Weise kann mit Hilfe einer Erfassung des schwarzen Bildteils eine Ausrichtung in Y-Richtung durchgeführt werden, in-dem der Betrag des mit den Zonen Z6 und Z7 übereinstimmenden schwarzen Bildteils gegen den Betrag des mit den Zonen Z10 und Z11 übereinstimmenden Bildteils abgeglichen wird. In ähnlicher Weise wird zur Durchführung einer Ausrichtung in X-Richtung der Betrag des mit den Zonen Z6 und Z10 übereinstimmenden schwarzen Bildteils gegen

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den Betrag des mit den Zonen Z7 und Z11 übereinstimmenden schwarzen Bildteils abgeglichen. Wie bei den vorangegangenen Vorgängen, werden zwei zusätzliche Zonen Z22 und Z23 erzeugt, um obere, mit der Unterkante eines künstlich erzeugten Löschmusters Z24 übereinstimmende Kanten sowie untere, mit den unteren Kanten der Zonen ZH und Z15 übereinstimmende untere Kanten zu besitzen. Der wichtigste Faktor besteht darin, daß die Zonen Z22 und Z23 eine ausreichende vertikale Ausdehnung besitzen, so daß ein Abschnitt des Leitermusters 91 mit dem Zonen Z22 und Z23 sowohl bei vorhandener als auch bei fehlender Ausrichtung übereinstimmte

Für eine Korrektur in Θ-Richtung wird der Betrag des mit der Zone Z22 übereinstimmenden schwarzen Bildteils gegen den Betrag des mit der Zone Z23 übereinstimmenden schwarzen Bildteils analog zu den vorstehend erläuterten Ausrichtungsvorgängen abgeglichen, d.h., durch Beaufschlagen von Kapazitäten mit Hochfrequenzimpulsen und durch Abgleich der an den Kondensatoren erzeugten Spannungen.

Wie anhand von Fig. 3D bereits erläutert wurde, wird im Falle einer Fehlausrichtung des Halbleiterchip bezüglich der Referenzzonen Z20 und Z21 die Ladung in den Kapazitäten gespeichert, um diese Fehlausrichtung darzustellen. Zur Weiterverarbeitung dieser gespeicherten Information wird die bei den Vorgängen nach Fig. 3D in den Kondensa-

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toren gespeicherte Ladung von der Ladung abgezogen, die in den Kondensatoren während der Vorgänge . nach Fig. 3E gespeichert wurde, so daß eine genaue Ausrichtung in Θ-Richtung erreicht werden kann.

Es versteht sich, daß alternativ zu dem Vorstehenden die eine Fehlausrichtung in Θ-Richtung darstellende Information nach Fig. 3D auch auf andere Weise gespeichert werden kann, beispielsweise in Form eines speziellen Wertes eines variablen Widerstandes.

Schaltungen zur Mustererzeugung sowie zur Videοerfassung

und -verarbeitung

Bei herkömmlichen Vidicon-Fernsehkameras mit geradliniger Abtastung wird jeder Abtastrahmen gesteuert, d.h., durch ein Signal, dem sogenannten vertikalen Synchronisierimpuls, ausgelöst . Innerhalb jedes Abtastrahmens wird jede Abtastzeile durch einen horizontalen Synchronisierimpuls ausgelöst. Bei den in den USA üblichen Fernsehsystemen sind 60 Abtastrahmen je Sekunde und wenigstens 200 Abtastzeilen je Abtastrahmen vorgesehen. Ohne unbedingt erforderlich zu sein, können die Zeilen mit de.n vertikalen Synchronisierimpulsen synchronisiert bzw. phasenstarr gekoppelt werden.

Es sei angenommen, daß eine oder eine Vielzahl von rechteckförmigen weißen Zonen auf einem schwarzen Hintergrund

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erzeugt werden soll. Wie ohne weiteres ersichtlich ist, kann eine derartige Erzeugung von weißen rechteckförmigen Zonen durch Steuerung der Spannung von aufeinanderfolgenden, geeigneten Abtastzeilen erfolgen, um während eines geeigneten Teils jeder der aufeinanderfolgenden Abtastzeilen ein weißes Bild zu erzeugen. Auf diese Weise kann eine weiße rechteckförmige Zone mit weißen Abschnitten in aufeinanderfolgenden Abtastzeilen erzeugt werden. Diese Spannungssteuerung kann ihrerseits durch Starten eines Zeitgliedes mit den vertikalen Synchronisierimpulsen erfolgen, um einen zeitverzögerten Impuls zur Bestimmung der zu verwendenden horizontalen Abtastzeilen zu erzeugen. Jeder den betreffenden Abtastzeilen entsprechende horizontale Synchronisierimpuls kann seinerseits einen zeitverzögerten Impuls auslösen, um im Bedarfsfalle die Spannungen für die Wiedergabe der weißen Bilder zu erzeugen.

Die Mustergeneratorschaltung 54 und die Koinzidenzerfassungs- und -Verarbeitungsschaltung 55 nach Fig. 2 können in einer speziellen Logikschaltung vorgesehen werden, welche von der vorstehenden Technik zur Erzeugung weißer rechteckförmiger Zonen Gebrauch macht und im einzelnen anhand von JFign. 4-10 erläutert werden soll.

Pig. 4 zeigt eine mit den horizontalen und vertikalen Synchronisierimpulsen der Videokamera 41 gespeiste Logikschaltung zur Erzeugung eines Musters von weißen rechteck-

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förmigen Referenzzonen, wie sie in den vorangegangenen Figuren veranschaulicht sind. Fig. 4 enthält zusätzlich Videoverstärker und Videodetektoren, die mit dieser Logikschaltung verbunden sind, um die in Fign. 3A - 3E veranschaulichten überlagerten Fernsehbilder zu erzeugen.

Wie aus Fig. 4 hervorgeht, werden die horizontalen und vertikalen Synchronisierimpulse der Vidicon-Fernsehkamera 41 zunächst über die leitungen 38 und 39 einem beliebig ausgebildeten, herkömmlichen Synchronisierimpulsformer 101 zugeführt, um die Synchronisierimpulse in rechte ckförmige Signale mit steilen Flanken umzuformen. Der umgeformte vertikale Synchronisierimpuls wird anschließend einem ersten impulsbreiten-variablen monostabilen Multivibrator ID1 zugeführt»

Ein monostabiler Multivibrator bzw. ein Verzögerungs-Flip-Flop ist ein Logikbauelement, welches einen Impuls bestimmter Dauer in Abhängigkeit von einem vorbestimmten Eingangssignal erzeugt. Die Dauer des von dem monostabilen Multivibrator, z.B. ID1 erzeugten Impulses ist durch Justierung eines variablen Widerstandes, z.B. 103 oder 104 steuerbar. Wie aus Fig_o 4 ersichtlich ist, ist entweder der Widerstand 103 oder der Widerstand 104 über einen Schalter 102 mit dem monostabilen Multivibrator ID1 verbunden» Der Widerstand 103 ist ein motοrgesteuerter Widerstand, der von dem Motor 105 automatisch gesteuert ist. Dagegen

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ist der Widerstand 104 ein von Hand einstellbarer Widerstand.

Der Multivibrator ID1 ist für eine Triggerung durch die abfallende Impulsflanke eines Eingangsimpulses ausgebildet, um einen rechteekförmigen Impuls zu erzeugen, dessen Dauer von den variablen Widerständen 103 oder 104 in Abhängigkeit von der Stellung des Schalters 102 gesteuert wird. Das Ausgangssignal des Multivibrators ID1 wird dem Eingang eines zweiten Multivibrators ID2 zugeführt, der wie alle anderen hier beschriebenen Multivibratoren zur Erzeugung eines Impulses steuerbarer Dauer in Abhängigkeit von der rückwärtigen Flanke eines Eingangssignals ausgebildet ist, wobei zur Steuerung des Multivibrators ID2 ein variabler Widerstand 139 vorgesehen ist. Das Ausgangssignal des Multivibrators ID2 wird dem ersten Multivibrator NL1 einer Kette von vier hintereinander angeordneten MuIt!vibratoren NL1 bis ETL4 zugeführt, von denen jeder zur Erzeugung eines Impulses steuerbarer Dauer in Abhängigkeit von der rückwärtigen Flanke eines Eingangs-Signalimpulses aus geb ild et ist.

Die Erzeugung der Impulse und die zwischen diesen Impulsen bestehenden ZeitbeZiehungen ist aus Fig. 6 ersichtlich, die im Millisekundenmaßstab ein Zeitdiagramm von Signalimpulsen zeigt, welche durch den in dem Impulsformer 101 umgeformten vertikalen Synchronisierimpuls ausgelöst werden,

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Wie aus Fig« 6 ersichtlich ist, triggert der umgeformte , etwa 3 Millisekunden dauernde vertikale Synchronisierimpuls den Multivibrator ID1, welcher einen Impuls von etwa 1 ms Dauer erzeugt. Die rückwärtige Hanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators ID1 triggert den Multivibrator ID2, der einen Impuls von etwa 1,5 ms Dauer erzeugt. Die rückwärtige Planke des Ausgangsimpulses des Multivibrators ID2 triggert den Multivibrator NL1, der einen Impuls von etwa 2 ms Dauer erzeugt. Die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators ULI triggert den Multivibrator NL2, der einen Impuls von etwa 4 ms Dauer erzeugt} die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators NL2 triggert den Multivibrator NL3> der einen Impuls von etwa 4 ms Dauer erzeugt und die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators NL3 triggert den Multivibrator 1YL4, der einen Impuls von etwa 2 ms Dauer erzeugt. Die Dauer der von den MuIt!vibratoren HL1 - NL4 erzeugten Impulse wird von entsprechenden variablen Widerständen 106, 107, 108 bzw. 109 gesteuert.

Wie aus Fig. 4 ferner hervorgeht, werden die jeweiligen Signale an den Ausgängen A bis D der Multivibratoren NL1, NL2, NL3 bzw. NL4 den Eingängen eines ODER-Gliedes 0R1 zugeführt, dessen Ausgangssignal dem einen Eingang eines NAND-Gliedes NG1 zugeführt wird. Das ODER-Glied 0R1 dient lediglich als Mischer für die Ausgangssignale der Multivibratoren NL1 bis NL4 und führt diese Ausgangssignale dem

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Eingang des NAND-Gliedes NG1 zu.

Dem anderen Eingang des NAND-G-Iiedes NG1 wird τοη dem Impulsformer 101 der umgeformte horizontale Synchronisierimpuls zugeführt. Wie ersichtlich, wird der umgeformte horizontale Synchronisierimpuls zunächst einem Multivibrator JR1 zugeführt, um in dem von der Schaltung nach Pig. 4 erzeugten Musterbild ein Klirren zu unterdrücken. Üblicherweise wird der zur Unterdrückung des Klirrens vorgesehene Verzögerungs-Multivibrator JR1 derart justiert, daß er in Abhängigkeit von der rückwärtigen Planke eines umgeformten horizontalen Synchronisierimpulses einen rechteckförmigen Impuls mit steilen Planken und einer Dauer von nur etwa 1 ms erzeugt.

Das NAND-Glied NG1 ist ein positiv logisches NAND-Glied, dessen Ausgang ständig auf hohem bzw. L-Pegel liegt, außer wenn seine beiden Eingänge auf L-Pegel liegen, worauf der Ausgang des NAND-Gliedes NG1 auf niedrigen bzw. O-Pegel

übergeht. Der Übergang von dem L-Pegel auf den O-Pegel wird zur Triggerung eines Multivibrators LD1 verwendet, um einen Impuls bestimmter Dauer zu erzeugen. Die Dauer des von dem Multivibrator LD1 erzeugten Impulses ist in Abhängigkeit von der Stellung eines Schalters 112 von einem der beiden variablen Widerstände 110 und 111 steuerbar. Wie vorstehend bereits erwähnt ist, wird der variable Widerstand 110 von einem Motor 113 gesteuert.

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An den Ausgang des Multivibrators LD1 ist der Eingang eines ersten Multivibrators LL1 einer Kaskadenfolge von vier Multivibratoren LL1 - LL4 angeschlossen, deren Ausgänge mit den Bezugszeichen E, F, G bzw. H bezeichnet sind, Die Dauer des von jedem Multivibrator LL1 bis LL4 erzeugten Impulses wird von jeweils einem der variablen Widerstände 114, 115, 116 bzw. 117 gesteuert. Die Ausgänge E bis H der Multivibratoren LL1 bis LL4 sind über ein ODER-Glied 0R2 verknüpft und führen über eine Richtungssteuerungsdiode 118 an den einen Eingang eines Videomonitors 119.

Die bis hierher beschriebene Schaltung nach Fig. 4 ist in der Lage, die den Zonen Z1 - Z16 nach Fign. 3A bis 3E und 5A entsprechenden elektronischen Signale zu erzeugen. Die Ausgangssignale der Multivibratoren ID1, ID2 und UL1 bis NL4 treten jeweils in einem steuerbaren zeitlichen Abstand nach der rückwärtigen Flanke des umgeformten vertikalen Synchronisierimpulses auf. Die Dauer jedes der von diesen Multivibratoren erzeugten Impulse kann daher gesteuert werden, um während einer bestimmten Periodendauer aufzutreten, welche eine gewünschte der aufeinanderfolgenden horizontalen Abtastzeilen enthält. Durch Verknüpfung eines dieser Impulse mit dem horizontalen Synchronisierimpuls (über das NAND-Glied NG1 und das ODER-Glied 0R1) werden ferner Zeitglieder wie beispielsweise

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die Multivibratoren LD1 und LL1 - LL4 gestartet, um das Anlegen der zur Erzeugung des weißen Videoteils vorgesehenen Spannungen an einen gewünschten Abschnitt der aufeinanderfolgenden Abtastzeilen zu steuern.

Fig. 7 zeigt im Mikrosekunden-Zeitmaßstab ein Zeitdiagramm der Ausgangssignale der Multivibratoren LD1 und LL1 - LL4 sowie verschiedener anderer wichtiger Ausgangssignale, die von dem horizontalen Synchronisierimpuls ausgelöst werden. Wie aus Pig. 7 oben hervorgeht, führt bei eingeschaltetem ODER-Glied 0R1 ein geformter horizontaler Synchronisierimpuls, der den Multivibrator JR1 triggert, worauf dieser einen Impuls von 1 /us Dauer erzeugt, zu einem L-Pegel an beiden Eingängen des NAND-Gliedes NG1. Dementsprechend geht der Ausgang des NAND-Gliedes NG1 von seinem normalerweise vorhandenen L-Pegel auf den O-Pegel über, welcher in Übereinstimmung mit dem Ausgangsimpuls des Multivibrators JR1 1 /us dauert. Beim übergang des Multivibrators NG1 von dem L-Pegel auf den O-Pegel wird der Multivibrator LD1 getriggert und erzeugt einen Impuls von etwa 9/us Dauer. Die rückwärtige Planke des von dem Multivibrator LD1 erzeugten Impulses triggert den Multivibrator LL1, der einen Impuls von etwa 6/us Dauer erzeugt. Anschließend triggert die rückwärtige Planke des Ausgangsimpulses des Multivibrators LL1 den Multivibrator LL2,der einen Impuls von etwa 16 /us Dauer erzeugt; die rückwärtige Planke des Ausgangsimpulses des Multivibrators LL2 triggert den Multi-

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vibrator LL3, der einen Impuls von etwa 16/us Dauer erzeugt; schließlich triggert die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators LL3 den Multivibrator IL4, der einen Impuls von etwa 6/us Dauer erzeugt. Selbstverständlich treten sämtliche von den Multivibratoren LD1 und LL1 - LL4 erzeugten Impulse längs einer einzigen horizontalen Abtastzeile auf. Während der Dauer jeder Abtastzeile erzeugen die Impulse der Multivibratoren LL1 bis LL4 an deren Ausgänge E, F, G- bzw. H einen weißen Bildteil auf dem Monitor 119, dessen Dauer der Länge jedes dieser Impulse entspricht.

Da das ODER-Glied 0R1 für eine Dauer von 12 ms eingeschaltet bleibt, erzeugt eine große Anzahl aufeinanderfolgender horizontaler Synchronisierimpulse, z.B. in Abständen von etwa 60 /us, jeweils einen weißen Bildteil in aufeinanderfolgenden Abtastzeilen, der mit dem von der einen Abtastzeile erzeugten, im einzelnen beschriebenen Bildteil synchronisiert ist. Das Ergebnis sind die vorstehend erläuterten Zonen Z1 - Z16.

Pig. 5A zeigt das Muster der Zonen Z1 - Z16 zusammen mit der Löschzone Z19 und den Θ-Zonen Z20 und Z21, die mit gestrichelten Linien veranschaulicht sind. Wie aus der vorstehenden Erläuterung hervorgeht, ist es günstig, wenn die Zone Z1 derjenigen Zeitdauer entspricht, in welcher die Multivibratoren NL1 und LL1 eingeschaltet sind. Die

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Zone Z2 entspricht derjenigen Zeitdauer, in welcher die MuIt!vibratoren NU und LL2 eingeschaltet sind. In ähnlicher Weise wird jede der Zonen Z1 - Z16 durch die Koinzidenz zwischen einem der Multivibratoren IiLI - NL4 und einem der MuItivibratoren LL1 - LL4 erzeugt.

Zum besseren Verständnis zeigt Fig. 5C ein UND-Glied mit den Eingängen X und Y sowie einem Ausgang Z; ferner zeigt Fig. 5B eine Tabelle, welche die jeweiligen X- und Y-Eingänge anzeigt, die¹ zur Erzielung eines speziellen, einer Zone Z zugeordneten Ausgangssignals des UND-Gliedes nach Mg. 5C erforderlich sind. Wie beispielsweise aus der Tabelle nach Fig. 5B hervorgeht, wird ein Impuls am Ausgang Z, welcher die EinschaItdauer der Zone Z1 darstellt, durch Verknüpfung des an den Eingang X angelegten Signals am Ausgang A des Multivibrators NL1 mit dem an den Eingang Y angelegten Signal am Ausgang E des Multivibrators LL1 erzeugt. Ähnliche Verknüpfungen zur Erzeugung jeder Zone Z1 - Z16 gehen aus Fig» 5B hervor.

Wie aus Fign. 3D und 5A hervorgeht, tritt die Löschzone Z19 während eines Teils des von den Zonen Z6, Z7, Z10 und Z11 eingenommenen ZeitintervalIs auf. Dieser Umstand wird bei der Zone Z24 ausgenutzt, die durch Starten von Zeitgliedern zu Beginn der Zone Z6 erzeugt wird, um den weißen Bildteil bestimmter Abschnitte der aufeinanderfolgenden horizontalen Abtastzeilen zu steuern und somit das Lösch-

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muster zu erzeugen. Insbesondere wird, wie Pig. 4 zeigt, der Eingang des Multivibrators IDB über einen normalerweise geöffneten Schalter 123 mit dem Ausgang A des Multivibrators NL1 verbunden. Ein zusätzlicher Multivibrator NLB ist mit seinem Eingang an den Ausgang des Multivibrators IDB angeschlossen. Der Ausgang des Multivibrators NLB führt über eine Richtungssteuerungsdiode 124 an den einen Eingang eines NAND-Gliedes NG2. Der Ausgang i¹ des Multivibrators LL2 ist mit dem anderen Eingang des NAND-Gliedes NG2 verbunden.

Es sei darauf hingewiesen, daß die obere linke Ecke der Zone Z6 dem Zeitpunkt entspricht, zu dem der Multivibrator NL2 eingeschaltet ist und der Multivibrator LL2 gerade eingeschaltet wird. Weiterhin besitzt die Löschzone Z19 in jeder horizontalen Abtastzeile einen festgelegten Zeitabstand zu dem Beginn der Zone Z6. Dieser festgelegte Zeitabstand wird von einem Multivibrator LDB vorgesehen, dessen Eingang mit dem Ausgang des NAND-Gliedes NG2 verbunden ist.

Wenn der Multivibrator LL2 eingeschaltet wird, d.h., zu Beginn der Zone Z6, geht das NAND-Glied NG2 von dem L-Pegel auf den O-Pegel über, wodurch am Ausgang des Multivibrators LDB ein Impuls erzeugt wird. Wenn der Multivibrator LDB abgeschaltet wird, wird die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators LDB auf ein Zeilen-

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längen-Zeitglied LLB gekoppelt und löst dort einen Impuls aus. Der Ausgangsimpuls des Zeitgliedes LLB bestimmt die Zeilenlänge der Löschzone Z19 und beeinflußt auf diese Weise sämtliche horizontalen Zeilen, die während der Einschaltdauer des Zeilenzahl-Zeitgliedes NLB auftreten.

Die Polarität des Ausgangsimpulses des Zeitgliedes LLB wird mittels eines invertierenden Verstärkers 125 invertiert und anschließend über eine Richtungssteuerungsdiode 126 dem gleichen Eingang des Videomonitors 119 zugeführt, der mit den Ausgängen E-H der MuIt!vibratoren LL1 bis LL4 verbunden ist. Da der Ausgang des Zeitgliedes LLB invertiert ist, besteht die Wirkung der von diesem Ausgang dem Monitor 119 zugeführten Signale darin, daß die Wirkung der Ausgangssignale der Multivibratoren LL1 bis LL4 beseitigt wird. Somit werden die Ausgangssignale der Multivibratoren LL1 - LL4 tatsächlich "ausgelöscht" bzw. "ausgeweißt"; dadurch kann während des Auslöschintervalls keine Übereinstimmung mit den Videosignalen der Kamera 41 (Fign. 1 und 4) festgestellt werden.

Fign. 6 und 7 zeigen Zeitdiagramme für die Ausgangssignale der vorstehend beschriebenen Schaltung zur Erzeugung des Löschmusters. Unter der Annahme, daß ein Löschmuster erzeugt werden soll und der Schalter 123 geschlossen ist, zeigt Pig. 6, daß der Multivibrator IDB beim Abschalten des Zeilenzahl-Zeitgliedes HL1 einschaltet. Die rückwärti-

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ge Planke des Ausgangsimpulses des Multivibrators IB triggert das Zeitglied NLB, das für etwa 5 ms eingeschaltet bleibt und die Anzahl der Zeilen bestimmt, d.h., der horizontalen Abtastzeilen, welche die Löschzone Z19 ausmachen.

daß

Pig. 7 zeigt,/für den Pail, daß das Zeit glied NLB eingeschaltet ist, das NAND-Glied NG2 vom L-Pegel auf den 0-Pegel bei Beginn des Ausgangsimpulses des Multivibrators LL2 übergeht. Hierdurch wird das Zeilenverzögerungs-Zeitglied LDB getriggert, das einen Impuls von etwa 4/us Dauer erzeugt. Die rückwärtige Planke des Ausgangsimpulses des Zeitgliedes LDB triggert das Zeilenlängen-Zeitglied LLB, das einen Impuls von etwa 24/us Dauer erzeugt, um die horizontale Abtastzeilenlänge des Löschmusters zu bestimmen. Da das Zeitglied NLB für 5 ms eingeschaltet bleibt, führen aufeinanderfolgende horizontale Synchronisierimpulse ferner zur Erzeugung von Impulsen durch die Zeit glieder LDB und LLB, um entsprechende Teile aufeinanderfolgender horizontaler Abtastzeilen auszulöschen, bis der Ausgangsimpuls des Zeitgliedes NLB endet.

In Pig ο 4 ist ferner eine Schaltung zur Erzeugung der Zonen Z20 und Z21 nach Pign. 3D und 5A dargestellt, die eine Ausrichtung in Dreh- bzw. O-Richtung ermöglichen. Aufgrundder Lage und Form der Zonen Z20 und Z21, die unmittelbar unterhalb der Löschzone Z19 angeordnet sind und

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die gleiche Länge wie diese Zone aufweisen, werden die Zonen Z20 und Z21 in vorteilhafter Weise durch die rückwärtige Planke des Ausgangsimpulses des Zeitgliedes NLB gestartet, der die letzte Abtastzeile der Löschzone Z19 bestimmt.

Der Ausgang des Zeilenzahl-Zeitgliedes HLB ist über einen weiteren, normalerweise geöffneten Schalter 127 mit dem Eingang eines Multivibrators NLÖ verbünden, der bei geschlossenem Schalter 127 von der rückwärtigen Planke des Ausgangsimpulses des Zeitgliedes NLB getriggert wird und einen Impuls (Pig. 6) erzeugt, dessen Dauer von etwa 1,5 ms die Zahl der Abtastzeilen innerhalb der Zonen Z20 und Z21 bestimmt. Die Länge jeder horizontalen Abtastzeile innerhalb der Zonen Z20 und Z21 wird durch die Zeilenlängen-MuIt!vibratoren LL2, LL3 und LDB gesteuert. Der Ausgang P des Multivibrators LL2 ist ebenso wie der Ausgang des Multivibrators LDB und der Ausgang des Zeitgliedes NLG mit einem UND-Glied AG1 verbunden, während der Ausgang G des Multivibrators LL3 ebenso wie der Ausgang des Multivibrators LDB und der Ausgang des Zeitgliedes NLQ mit einem weiteren UND-Glied AG2 verbunden ist. Der Ausgang des UND-Gliedes AG1 liegt daher nur während der Dauer der Zone Z20 auf L-Pegel, d.h., nur wenn die Schaltungsteile NL0, LDB und LL2 eingeschaltet sind. In ähnlicher Weise liegt der Ausgang des UND-Gliedes AG2 nur während der Dauer der Zone Z21 auf L-Pegel, d.h., nur wenn die Schal-

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tungsteile HLÖ, LDB und LL3 eingeschaltet sind.

Die im Zusammenhang mit Pig. 30 beschriebenen Zonen Z17
und Z18 sowie die im Zusammenhang mit Fig. 3E beschriebenen Zonen Z22 und Z23 zur Ausrichtung in Dreh- bzw. O-Richtung werden vorteilhaft ebenfalls auf die Art erzeugt, die vorstehend zur Erzeugung der Zonen Z20 und Z21 erläutert ist. Da indessen bei den im Zusammenhang mit Fign. 30 und 3Ξ beschriebenen Ausrichtungsvorgängen keine Löschmuster verwendet werden, sind diese in Pig. 3C als Phantomzonen Z24 und in Pig. 3E als Phantomzonen Z25 dargestellt. Die Schaltung zur Erzeugung der Zonen Z17, Z18, Z22 und Z23
ist nicht veranschaulicht und braucht auch nicht erläutert zu werden, da sie völlig analog der beschriebenen Schaltung zur Erzeugung der Zonen Z20 und Z21 ist.

Nachdem vorstehend im einzelnen die Schaltung zur Erzeugung der Referenzzonenmuster sowie die vorteilhaften Zusammenhänge dieser Referenzzonen mit den Werkstücken beschrieben worden sind, sollen nachstehend spezielle Ausführungsformen der Schaltung zur Erfassung einer Übereinstimmung bzw. Koinzidenz zwischen den Zonen und den Bildern der Werkstücke sowie zur Verarbeitung und Weiterverwendung der erfaßten Koinzidenzinformationen beschrieben werden.

Die dem Yideobild des WerkStückes, beispielsweise dem

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Halbleiterchip oder dem Substrat entsprechenden, von der Kamera 41 (Pig. 4) erzeugten elektronischen Signale werden auf der Leitung 40 an einen Videoverstärker 131 mit steuerbarer Verstärkung und geeigneten Piltereigenschaften und anschließend an zwei Videodetektoren übertragen, wovon der Videodetektor 132 zur Erfassung des weißen Videoanteils und der Videodetektor 133 zur Erfassung des schwarzen Videoanteils vorgesehen ist. Die in digitaler Porm vorliegenden Ausgangssignale der Videodetektoren 132 und 133 entsprechen im L-Zustand einem starken weißen Videosignal und im O-Zustand einem starken schwarzen Videosignal. Grautöne von weiß bis zu einem Schwellwertpegel werden als weiße Videosignale erfaßt, während Grautöne unterhalb des Schv/ellwertpegels bis zu reinem Schwarz als schwarze Videosignale erfaßt werden. Darüberhinaus werden bei der automatischen Ausrichtungseinrichtung keine Graupegel berücksichtigt. Die elektronischen Signale von der Kamera 41 werden ferner auf einer gesonderten Leitung direkt einem Videomonitor 119 zugeführt, so daß eine optische Darstellung dessen, was die Kamera 41 erzeugt, beobachtet und überwacht werden kann.

Die Videodetektoren 132 und 133 sind nur dann zu den obigen Peststellungen in der Lage, wenn das ODER-Glied 0R2 eingeschaltet ist, d.h», wenn einer der Multivibratoren LL1 - LL4 eingeschaltet ist. Hierfür ist der Ausgang des ODER-Gliedes 0R2 über eine gesonderte Richtungsdiode 134

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mit einem Starteingang jedes Videodetektors 132, 133 verbunden.

Wie aus Pig. 4 ersichtlich ist, werden die dem ermittelten weißen Videoanteil oder dem ermittelten schwarzen Videoanteil entsprechenden Signale von den Detektoren 132 und 133 über zwei leitungen 136 und 137 anderen, in Pig. 8 veranschaulichten Teilen der automatischen Ausrichtungseinrichtung zugeführt. Die Signale auf den Leitungen 136 und 137 werden ferner über einen Schalter 128, eine Richtungsdiode 129, einen Schalter 130 und gegebenenfalls über ein Invertierglied 138 dem Monitor 119 zugeführt, um das, was ermittelt worden ist, sichtbar zu machen und ferner im Bedarfsfalle den Kontrast der ermittelten Abschnitte auf dem Monitor zu vergrößern.

Die Schaltung nach Pig. 8 dient zur Peststellung der Übereinstimmung bzw. Koinzidenz zwischen den Videosignalen der Bilder der Werkstücke und den den Referenzzonenmustern entsprechenden elektronischen Signalen. Wie anhand der Pign. 4 und 5B bereits erläutert wurde, tritt beispielsweise die Zone Z2 auf, wenn am Ausgang A des Multivibrators NU und am Ausgang P des Multivibrators LL2 ein L-Signalpegel anliegt. Diese Signalkombination kann mit Hilfe eines UND-Gliedes 141 (Pig. 8) festgestellt werden, dessen Eingänge mit den Ausgängen A und P verbunden sind und das nur während derjenigen Zeit ein

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L-Signal erzeugt, d.h., eingeschaltet ist, in der die Zone Z2 vorhanden ist. In ähnlicher Weise ist ein UND-Glied 142 mit seinen Eingängen an den Ausgang A des Multivibrators NL1 und an den Ausgang G des Multivibrators LL3 angeschlossen, welche bei Vorhandensein der Zone Z3 einen L-Pegel besitzen. Dementsprechend liegt am Ausgang des UND-Gliedes 142 nur dann ein L-Pegel, wenn die Zone Z3 vorhanden ist. Die UND-Glieder 141 und 142 sind über Richtungsdioden 143 bzw. 144 mit dem einen Eingang eines UND-Gliedes 145 verbunden, so daß dieser Eingang des UND-Gliedes 145 immer dann einen L-Signalpegel besitzt, wenn entweder das UND-Glied 141 oder das UND-Glied 142 durchgeschaltet ist.

Für eine erste Betriebsart, d.h., bei der das Zonenmuster entsprechend der Darstellung nach Pig. 3B auf das Bandfenster ausgerichtet wird, wird der weiße Videoanteil erfaßt und diedem erfaßten weißen Videoanteil entsprechenden Signale auf der Leitung 136 über die Schalter 146 und 147 einem zweiten Eingang des UND-Gliedes 145 zugeführt. An einen dritten Eingang des UND-Gliedes 145 sind die Ausgangssignale eines 3 MHz Impulsoscillators 159 angekoppelt, der ferner mit einem Eingang einer Vielzahl von UND-Gliedern 148 - 158 verbunden ist.

Wenn entweder die Zone Z2 oder die Zone Z3 vorhanden ist und wenn ein weißer Videoanteil festgestellt wird, werden

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die Ausgangsimpulse des Oscillators 159 über das UND-

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Glied 145 an einen Impulsverstärker/und von dort an einen der Kondensatoren eines Stufenladungsmoduls 162 übertragen. In ähnlicher Weise werden die den Zonen Z14 und Z15 entsprechenden Ausgangssignale über Richtungsdioden 160 und 161 einem Eingang des UND-Gliedes 148 zugeführt, das mit einem anderen Eingang über einen Schalter 146 an eine leitung 136 für weiße Videosignale angeschlossen ist. Wenn eine der Zonen Z14 oder Z15 vorhanden ist und wenn gleichzeitig ein weißer Videoanteil vorliegt, werden die Ausgangsimpulse des Oscillators 159 über das UND-Glied 148 einem Impulsverstärker 161 und von dort einem anderen Kondensator innerhalb des Moduls 162 zugeführt.

Die den Zonen Z14, Z15 und allen anderen Zonen entsprechenden Ausgangssignale können mit Hilfe von UND-Gliedern in gleicher Weise wie die den Zonen Z2 und Z3 entsprechenden Ausgangssignale erzeugt werden, d.h., durch Verbindung geeigneter Knotenpunkte der Schaltung nach Fig. 4 mit Hilfe von den UND-Gliedern 141 und 142 entsprechenden UND-Gliedern. Zum besseren Verständnis und zur besseren Übersicht der Zeichnung sind diese Verbindungen in Fig. 8 nur für die Zonen Z2 und Z3 veranschaulicht. Die geeigneten Knotenpunktverbindungen zur Erzeugung der betreffenden Zonen sind auf einfache Weise der Tabelle nach Fig. 5B zu entnehmen .

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Wie bereits vorstehend bei der ersten Betriebsart erläutert ist, d.h., bei der die Zonenmuster auf das Bandfenster ausgerichtet werden, wird der mit den Zonen Z2 und Z3 übereinstimmende weiße Bildteil gegen den mit den Zonen Z14 und ZI5 übereinstimmenden weißen Bildteil abgeglichen, um das Zonenmuster in Y-Richtung auf das Bandfenster auszurichten. Wenn daher mit den Zonen Z2 und Z3 ein grösserer weißer Bildteil übereinstimmt als mit den Zonen ZI4 und Z15> muß das Zonenmuster für eine exakte Ausrichtung nach unten bewegt werden. In diesem Zustand hat der über das UND-Glied 145 aufgeladene Kondensator in dem Modul 162 von dem Oscillator 159 mehr Impulse erhalten als der über das UND-Glied 148 aufgeladene Kondensator. Die resultierende Spannungsdifferenz zwischen diesen beiden Kondensatoren wird mittels des Moduls 163 festgestellt;

werden

ferner/entsprechende Impulse erzeugt und mittels einer herkömmlichen Motorsteuerschaltung oder mittels eines nicht dargestellten Rechners dem Motor 105 (Fig. 4) zugeführt, um den Widerstand 103 in Richtung auf eine Erhöhung der Impulslänge der von dem Multivibrator ID1 erzeugten Impulse zu verstellen. Dies besitzt die Wirkung, daß sich die gesamte Musterstruktur nach unten bewegt, ohne daß sich die Form irgendeiner Zone verändert.

Für eine Ausrichtung in X-Richtung werden, wie Fig. 8 zeigt, bei der ersten Betriebsart die den Zonen Z5 und Z9 entsprechenden Ausgangssignale über Richtungsdioden

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164 und 165 dem einen Eingang eines UND-Gliedes 149 zugeführt; ferner werden die den Zonen Z8 und Z11 entsprechenden Ausgangssignale über Richtungsdioden 162 und 167 einem Eingang eines anderen UND-Gliedes 150 zugeführt. Der Oscillator 159 sowie die ermittelten weißen Videosignale auf der Leitung 136 werden mit anderen Eingängen der UND-Glieder 149 und 150 gekoppelt.

Wenn die Zonen Z5 und Z9 mit einem größeren weißen Bildteil übereinstimmen als die Zonen Z8 und Z12, muß das Zonenmuster nach rechts, d.h. in +X-Richtung bewegt werden. In diesem Zustand hat der über das UND-Glied 149 aufgeladene Kondensator in dem Modul 163 mehr Impulse von dem Oscillator 159 aufgenommen als der über das UND-Glied 150 aufgeladene Kondensator. Die resultierende Spannungsdifferenz zwischen diesen beiden Kondensatoren wird mittels des Moduls I63 ermittelt; ferner werden entsprechende Impulse erzeugt und mittels einer- herkömmlichen Motorsteuerschaltung oder mittels eines nicht dargestellten Rechners dem Motor 113 (Mg. 4) zugeführt, um den Widerstand 110 in Richtung auf eine Vergrößerung der Länge der von dem Zeitglied LD1 erzeugten Impulse zu verstellen. Dies bewirkt, daß sich die gesamte Musterstruktur nach rechts bewegt, ohne daß sich die Form irgendeiner Zone verändert.

Obwohl bei der ersten Betriebsart keine Ausrichtung in Θ-Richtung erfolgt, ist aus Fig. 8 ersichtlich, daß eine

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derartige Ausrichtung dadurch erfolgen könnte, daß ein der Zone Z2 entsprechendes Ausgangssignal dem einen UND-Glied 151 und ein der Zone Z3 entsprechendes Ausgangssignal dem anderen UND-Glied 152 zugeführt wird, und zwar zusammen mit den ermittelten weißen Videosignalen und den Ausgangsimpulsen des Oscillators 159.

Die vorstehend erläuterten Ausrichtungsvorgänge bei der ersten Betriebsart werden über eine Vielzahl von Abtastrahmen der Vidicon-Fernsehkamera 41 hinweg im geschlossenen Regelkreis wiederholt, um eine maximale Genauigkeit zu erzielen. Bei der Durchführung der Ausrichtungsvorgänge über eine Vielzahl von Abtastrahmen hinweg wird eine Mittelung aufgrund der dabei erfolgenden vielfachen Ausrichtungen und Wiederausrichtungen erzielt. Diese Mittelung wird noch wirkungsvoller erzielt, wenn bet der Vidicon-Pernsehkamera eine Zufallsverkettung (random interlace) verwendet wird. Diese Zufallsverkettung bezieht sich auf die Lage der horizontalen Abtastzeilen während jedes Abtastrahmens. Die Lage der horizontalen Abtastzeilen ändert sich wie die normale Wobbelung der 60 Hz-Zeilenspannung, wodurch sich die horizontalen Abtastzeilen dauernd auf und ab bewegen. Kommerzielle Fernsehkameras besitzen Einstellungen sowohl für die Zufallsverkettung als auch für die Gleich-Ungleich-Verkettung. Billige Vidicon-Fernsehkameras besitzen üblicherweise nur die Zufallsverkettung, die aufgrund der nor-

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malen Wobbelung der 60 HZ-Zeilenspannung auftritt. Eine Verkettung ist insofern günstig, als sie wie ein drehender Ventilator oder wie eine abrollende Jalousie wirkt, da die Abtastzeilen in aufeinanderfolgenden Abtastrahmen nicht an der gleichen Stelle bleiben und man die Abtastzeilen tatsächlich untereinander sehen und dadurch eine viel größere Genauigkeit beim Unterscheiden von Einzelheiten feststellen kann.

Bei der zweiten Betriebsart, bei der ein Halbleiterchip auf das Referenzzonenmuster ausgerichtet wird (Fig. 3C), werden die weißen Videosignale ermittelt und die Zonen Z6, Z7j Z10 und Z11 in der vorstehend beschriebenen Weise für die Ausrichtung in X- und Y-Richtung verwendet.

Diese Verwendung ist in Figo 8 veranschaulicht, wo die

den Zonen Z6 und Z7 entsprechenden Ausgangssignale über Richtungsdioden 168 und 169 auf einen Eingang eines UND-Gliedes 153 gekoppelt sind} ferner sind den Zonen Z10 und Z11 entsprechende Ausgangssignale über Richtungsdioden 170 und 171 auf einen Eingang eines anderen UND-Gliedes 154 gekoppelt. Ein ermitteltes weißes Videosignal auf der Leitung 136 wird über die Schalter 147 und 146 auf andere Eingänge der UND-Glieder 153 und 154 gekoppelt; ferner werden die Ausgangsimpulse des Oscillators 159 auf noch weitere Eingänge der UND-Glieder 153 und 154 gekoppelt, um eine Ausrichtung in Y-Richtung zu

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erzielen.

Wenn mit den Zonen Z6 und Z7 ein größerer weißer Bildteil übereinstimmt als mit den Zonen Z10 und Z11, muß das Halbiert erchiρ in dem VideoMld nach oben bewegt werden, d.h., in +Y-Richtung. In diesem Zustand hat der über das TJUD-Glied 15 3 aufgeladene Kondensator in dem Modul 162 von dem Oscillator 159 mehr Impulse empfangen als der über das UND-Glied 150 aufgeladene Kondensator. Die resultierende Spannungsdifferenz zwischen diesen beiden Kondensatoren wird mittels des Moduls 163 festgestellt; ferner werden geeignete Impulse erzeugt und einer Motorsteuerschaltung 30 (Pig. 1) zugeführt, um die Bewegung des Halbleiterchip in +Y-Richtung zu bewirken.

Pur eine Ausrichtung in X-Richtung bei der zweiten Betriebsart werden, wie Pigο 8 zeigt, die den Zonen Z6 und Z10 entsprechenden Ausgangssignale über Richtungsdioden 172 und 173 auf einen Eingang eines UND-Gliedes 155 gekoppelt, während die den Zonen Z7 und Z11 entsprechenden Ausgangssignale über Richtungsdioden 174 und 175 auf einen Eingang eines weiteren UND-Gliedes 156 gekoppelt werden. Perner werden auf die Eingänge der UND-Glieder und 156 die ermittelten weißen Videosignale von der Leitung 136 und die Ausgangsimpulse des Oscillators 159 gekoppelt.

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Wenn mit den Zonen Z6 und Z10 ein größerer weißer Bildteil übereinstimmt als mit den Zonen Z7 und Z11, muß das Halbleiterchip für eine exakte Ausrichtung nach links, d.h., in -X-Richtung bewegt werden. In diesem Zustand hat der über das UND-Glied 149 aufgeladene Kondensator in dem Modul 162 von dem Oscillator 159 mehr Impulse erhalten als der über das UND-Glied 150 aufgeladene Kondensator. Die resultierende Spannungsdifferenz zwischen beiden Kondensatoren wird mittels des Moduls 162 festgestellt; ferner werden geeignete Impulse erzeugt und der Motorsteuerschaltung (Fig. 1) zugeführt, um eine Bewegung des Halbleiterchip in -X-Richtung zu bewirken.

Für eine Ausrichtung in Dreh- bzw. Θ-Richtung bei der vorstehend im Zusammenhang mit Fig. 3C beschriebenen zweiten Betriebsart wird der Betrag des mit der Zone Z17 übereinstimmenden weißen Bildteils mit dem Betrag des mit der Zone Z18 übereinstimmenden weißen Bildteils verglichen. Fig. 8 zeigt ein der Zone Z17 entsprechendes Ausgangssignal, das auf einen Eingang eines UND-Gliedes 157 gekoppelt ist sowie ein der Zone Z18 entsprechendes Ausgangssignal, das auf einen Eingang eines UND-Gliedes 158 gekoppelt ist. Auf andere Eingänge der UND-Glieder 157 und 158 sind über die Schalter 146 und 147 die ermittelten weißen Videosignale von der Leitung 136 sowie die Ausgangsimpulse des Oscillators 159 gekoppelt.

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Wenn das Halbleiterchip im Gegenuhrzeigersinn (-Θ-Richtung) bezüglich der Muster verdreht wird, stimmt mit der Zone Z18 ein größerer weißer Bildteil (Anschlußfahnenbild) überein als mit der Zone Z17· In diesem Zustand hat der über das UND-Glied 158 aufgeladene Kondensator in dem Modul 162 von dem Oscillator 159 mehr Impulse erhalten als der über das UND-Glied 157 aufgeladene Kondensator. Die resultierende Spannungsdifferenz zwischen diesen beiden Kondensatoren wird mittels des Moduls 163 festgestellt? ferner werden entsprechende Impulse erzeugt und der Llotorsteuerschaltung 30 (Fig. 1) zugeführt, um eine Bewegung des Halbleiterchip im Uhrzeigersinn bzwo in der +0-Richtung zu bewirken.

Die Schaltung zur Durchführung der Ausrichtungen nach der dritten und vierten Betriebsart, d.h., bei denen das Zonenmuster auf das am Band festgehaltene Halbleiterchip wieder ausgerichtet und . das Substrat auf die Zonenmuster wieder ausgerichtet wird, ist vollständig analog der in Pig. 8 dargestellten Schaltung und braucht zur Vermeidung überflüssiger Wiederholungen nicht dargestellt zu werden.

Fig. 9 zeigt eine Stufenladungsschaltung, die zum Einbau als eine der vielen Speicherschaltungen in dem Stufenladungsmodul 162 gemäß Fig. 8 geeignet ist. Wie aus Fig. 9 hervorgeht, besteht das Eingangssignal der dargestellten

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Schaltung aus Impulsen, die über eines der vielen UND-Glieder 145 - 158 (Figo 8) von dem Oscillator 159 übertragen werden. Diese Impulse werden über eine Serienschaltung aus einem Koppelkondensator 180 und einer Diode 181 der einen Belegung eines Speicherkondensators 182 zugeführt, dessen andere Belegung geerdet ist. Die ungeerdete Belegung des Kondensators 182 ist auf die Verbindung 183 zwischen dem Kondensator 180 und der Diode 181 rückgekoppelt. Diese Rückkopplung erfolgt mittels Transistoren 184 und 185, die in Emitterfolgerschaltung verbunden sind und ferner an die Verbindung 186 zwischen Widerständen 187 und 188 angeschlossen sind, welche ihrerseits in Serie zwischen Masse und der Verbindung 183 liegen. Eine Diode 189 liegt parallel zu dem ungeerdeten Widerstand 188. Weiterhin ist mit der ungeerdeten Belegung des Speicherkondensators 182 der Kollektorausgang eines Transistors 190 verbunden, dessen Basis über einen Koppelkondensator 189 mit den Ausgangsimpulsen des Multivibrators ID2 (Fig. 4) beaufschlagt ist.

Der Speicherkondensator 182 ist bezüglich den anderen Parametern nach Fig. 9 zur Bestimmung der Zeitkonstante so gewählt, daß seine Aufladedauer nicht viel langer, vorzugsweise kürzer ist als die Periodendauer des Ausgangssignals des Oscillators 159 (Fig. 8). Jeder Ausgangsimpuls des Oscillators 159 ist daher in der lage, den Kondensator im wesentlichen vollständig aufzuladen. Die entsprechende,

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an der Verbindung 186 erzeugte Spannung bildet das Ausgangssignal der Stufenladungsschaltung nach Fig. 9, das dann einem Differenzdetektor, beispielsweise nach Jig.10 zugeführt wird, der nachstehend beschrieben werden soll. Ferner tritt diese Spannung auch an der Verbindung 183 auf, wo sie durch die Diode 189 begrenzt wird. Aufeinanderfolgende Ausgangsimpulse des Oscillators 159 werden daher dieser Rückkoppelspannung überlagert, welche sich aufgrund der additiven bzw. kummulativen Spannungserzeugungswirkung der vorangegangenen Oscillatorimpulse ergibt. Die an dem Kondensator 182 erzeugte Spannung wächst daher im wesentlichen proportional der Anzahl der Ausgangsimpulse des Oscillators 159 und bildet so das Ausgangssignal der Stufenladungsschaltung.

Die Ausgangsimpulse des Multivibrators ID2 (Fig. 1), welche über den Kondensator 191 dem Transistor 190 zugeführt werden, treiben den Transistor 190 in die Sättigung, entladen den Speicherkondensator 182 und setzen die Stufenladungsschaltung für die nächste Summation bzwο Anhäufung von impulsförmigen, durch die Anzahl der Ausgangsimpulse des Oscillators 159 bestimmten Ausgangsspannungen zurück. Wie heraus ersichtlich ist, besteht der Zweck des'Multivibrators ID2 (Fig. 4) darin, die Rücksetzung der Stufenladungsschaltungen auszulösen. Hierfür wird die länge des von dem Multivibrator ID2 erzeugten Impulseseirgesteilt, um zu gewährleisten, daß ungeachtet der Länge des von dem

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Multivibrator ID1 erzeugten Impulses die Stufenladungsschaltungen ausreichend Zeit zur Rücksetzung vor dem Beginn der ersten Zone des zur Ausrichtung verwendeten Zonenmusters haben« Diese Zeit braucht, wie aus Fig. 6 ersichtlich ist, lediglich in der Größenordnung von etwa 1 bis 1 V2 Millisekunden sein.

In Pig. 10 ist eine Differenzdetektorschaltung dargestellt, die für den Einbau in den Differenzdetektormodul 163 nach Figo 8 geeignet ist. Wie aus Fig. 10 ersichtlich ist, umfaßt die Differenzdetektorschaltung erste und zweite, kreuzweise verbundene Emitterfolger-Transistoren 201 und 202, wobei in den Kreuzverbindungsleitungen Widerstände 203 und 204 angeordnet sind. Die Emitter der Transistoren 201 und 202 sind über Widerstände 205 bzw. 206 mit Masse verbunden, während die Kollektoren der Transistoren 201 und 202 über Relaiswicklungen 207 bzw. 208 an eine mit dem Bezugszeichen +V bezeichneten Versorgungsspannungs-Q[UeIIe angeschlossen sind.

Die Spannung vom Ausgang 186 einer Stufenladungsschaltung, z.Bο der Stufenladungsschaltung nach Figo 9, ist auf die eine Seite des Differenzdetektors über eine Begrenzerschaltung mit einer Diode 209 und einem Kondensator 210 sowie über einen Widerstand 211 und zwei, in Darlington-Schaltung angeordnete Emitterfolger-Transistoren 212 und 213 gekoppelt. Die mit den Ausgangssignalen der ersten

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Stufenladungsschaltung zu vergleichenden Ausgangssignale einer anderen Stufenladungsschaltung sind auf die andere Seite des Differenzdetektors über eine Abgleichschaltung gekoppelt, welche eine Begrenzerschaltung mit einer Diode 214, einen auf Masse führenden Kondensator 215, einen Widerstand 216 und eine zweite Emitterfolger-Darlington-Schaltung mit Transistoren 217 und 218 aufweist.

Je nach dem, welches Ausgangssignal der betreffenden Stufenladungsschaltungen am längsten ist, schaltet einer der Transistoren 201 und 202 durch, wodurch lediglich über eine der beiden Wicklungen 207 und 208 ein Strom gezogen wird. Die stromführende Wicklung bewirkt das Schließen des zugehörigen Relais 219 oder 220, was ein Signal für einen Motor darstellt, entweder im Uhrzeigersinn (cw) oder im Gegenuhrzeigersinn (ccw) zu laufen.

In vorteilhafter Weise sind die Motoren derart eingestellt, daß sie bei Anliegen eines Ausgangssignals der Relais 219 oder 220 mit verhältnismäßig niedriger Drehzahl laufen. Wenn jedoch die Werkstücke soweit außer Deckung sind, daß eine höhere Motordrehzahl erwünscht ist, so wird dieser Zustand durch ein sehr langes Signal am Ausgang eine* oder beider Stufenladungsschaltungen angezeigt. Dieses sehr lange Signal bewirkt die Erzeugung einer so großen Spannung an dem Widerstand 205 oder dem Widerstand 206, daß einer von zwei Emitterfolger-Transisto-

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ren 221 und 222 durch.gesch.altet wird, wodurch über die Relaiswicklung 223 ein Strom fließt. Dieser Stromfluß in der 7/icklung 223 führt zum Schließen des Relais 224, was eine Anzeige für einen Lauf der Motoren mit hoher Drehzahl darstellt. Die Drehrichtung für die Motoren wird mittels eines noch geschlossenen Relais 219 oder angezeigt. Der Motorlauf mit hoher Drehzahl dauert solange, bis aufeinanderfolgende Bildrahmen einer Yideoübereinstimmung festgestellt und verarbeitet worden sind und die an den Stufenladungsschaltungen erzeugte Spannung zu gering ist, um das Relais 224 in geschlossenem Zustand zu halten.

Allgemeine Beschreibung der Ausrichtungseinrichtung In Pig. 11 ist ein elektrisches und mechanisches Blockschaltbild einer videogesteuerten Ausrichtungseinrichtung nach der zweiten Ausführung^ form der Erfindung dargestellt« Die Aufgabe der Einrichtung nach Fig. 11 besteht darin, eine Halbleiterscheibe 301 auf eine Fotomaske 302 auszurichten.

Wie aus Fig. 11 hervorgeht, enthält die Ausrichtungseinrichtung eine motorgesteuerte Stufe 303, auf welcher die Halbleiterscheibe angeordnet ist. Die Stufe 303 wird von drei unabhängigen Motoren angetrieben, von denen der Motor 304 für eine Bewegung in X-Richtung, der Motor 305 für eine Bewegung in Y-Richtung und der Motor 306 für eine

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Bewegung in Dreh- oder Θ-Richtung vorgesehen ist. Die Motoren 304 - 306 werden durch eine Motorsteuerschaltung 307 gesteuert, die in jeder Beziehung mit der Motorsteuerschaltung 30 nach Figo 1 identisch sein kann. Die Motorsteuerschaltung 307 wird ihrerseits von einer automatischen Ausrichtungssteuereinrichtung 308 gesteuert, die analog der Steuereinrichtung 35 nach Pig» 2 ist.

Ein Mischbild-Mikroskop (Spaltfeld-Mikroskop) 309 mit Objektivlinsen 310 und 311 erzeugt mikroskopische Bilder getrennter Abschnitte der Scheibe 301 und/oder der Maske 302 für eine Vidieon-Fernsehkamera 312. Eine Vielzahl von Leitungen 313 - 315 koppelt die horizontalen Synchronisiersignale, die vertikalen Synchronisiersignale und die den Videobildern der Kamera 12 entsprechenden elektronischen Signale auf die Ausrichtungssteuereinrichtung 308.

Sine Beleuchtungsquelle 316 erzeugt Licht zur Beobachtung der Scheibe 301 und/oder der Maske 302; ferner wird eine getrennte Quelle 317 für paralleles Licht zur Belichtung der Fotoschicht auf der Scheibe 301 durch die Maske 302 verwendet. Im Betrieb wird die Maske bei eingeschalteter Beleuehtungsquelle 316 festgehalten, während eine Scheibe in Deckung mit der Maske 302 gebracht wird. Anschließend wird das Licht der Quelle 316 abgeschaltet und paralleles licht von der Quelle 317 über einen nicht dargestellten gesonderten Teil des Mikroskops 309 auf die gesamte Ober-

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fläche der Maske 302 und der Scheibe 301 gerichtet, um selektiv Abschnitte der nicht dargestellten Fotoschicht auf der Scheibe 301 zu belichten.

Zur besseren Erläuterung zeigt Fig. 12A eine schematische Draufsicht auf eine Fotomaske 302, während Fig. 12B eine Draufsicht auf eine Halbleiterscheibe 301 zeigt, die auf die Fotomaske nach Fig. 12A auszurichten ist. Die Maske 302 enthält eine große Anzahl von nur schematisch dargestellten Primärmustern 321 in Matrixform, um die geometrie einer entsprechenden großen Anzahl von Halbleiterbauelementen auf der Scheibe 301 zu definieren. Die Maske 302 enthält zusätzlich zwei besonders ausgebildete, rautenförmige, schwarze bzw. undurchsichtige Festmarkierungen 322 und 323.

Die Halbleiterscheibe 301 enthält zwei entsprechende Ausrichtungsmerkmale, die dort bei einer vorangegangenen Maskierung angebracht wurdeaund auf welche die Maske auszurichten ist. Das mit der Markierung 322 in Deckung zu bringende Ausrichtungsmerkmal auf der Scheibe 301 enthält eine äußere Raute 331 und eine innere Raute 332. Das mit der Festmarkierung 323 in Deckung zu bringende Ausrichtungsmerkmal enthält ebenfalls eine äußere Raute und eine innere Raute 334. Die Ausrichtung erfolgt durch Überlagerung und Positionierung der Festmarkierungen und 323 zwischen de Rauten 331 und 332 bzw. ate Rauten

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333 und 334. Dieser Vorgang soll im einzelnen anhand von Fign. HA, HB, 15A und 15B "beschrieben werden.

Zuvor soll noch auf Fig. 13 Bezug genommen werden, die ein auf einem Fernsehmonitor 341 wiedergegebenes Referenzzonenmuster zeigt, das bei der automatischen Ausrichtung von Halbleiterscheiben oder Dünnfilmsubstraten auf Fotomasken nach der zweiten Ausführungsform der Erfindung verwendet werden kann. Wie aus Fig. 13 ersichtlich ist, sind die Zonen P1 - P8 auf gegenüberliegenden Hälften des Blickfeldes des Monitors 341 in zwei Gruppen von Zonen, nämlich P1 bis P4 und P5 bis P8 eingeteilt.

Fig» HA zeigt die Festmarkierungen 322 und 323 der Maske 302, welche den Zonen P1 - P8 in vollkommener Ausrichtung überlagert sind. Dagegen zeigt Figo HB die Festmarkierungen 322 und 323, die den Zonen P1 - P8 ohne Ausrichtung überlagert sind. In analoger Weise wie vorstehend für die Anschlußvorrichtung werden die Muster der Zonen P1 - P8 auf die Festmarkierungen 322 und 323 ausgerichtet, in-dem der Betrag des schwarzen Bildteils jener Festmarkierungen ermittelt wird, die mit jeder Zone übereinstimmt. Aufgrund dieser Übereinstimmung werden Signale erzeugt und Motoren in einer zur Erzeugung der Zonen verwendeten Logikschaltung zugeführt, um die Zonen in die in Figo HA dargestellte Stellung zu bewegen, wo der Betrag des mit jeder Zone übereinstimmenden schwarzen Bildteils gleich ist,

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Die Verwendung von rautenförmigen Merkmalen oder von anderen Merkmalen, deren Seiten nicht parallel zu den horizontalen geradlinigen Abtastzeilen der Vidicon-Pernsehkamera sind, bietet große Vorteile. Derzeit wird die Rautenform bevorzugt.

V,^renn die Zonen P1 - P8 bezüglich der Maske, d.h., bezüglich den Pestmarkierungen 322 und 323 verdreht sind, ist eine Ausrichtung in Dreh- oder Θ-Richtung erforderlich. Diese Ausrichtung kann durch einfache Verschiebung der Maske von Hand oder durch Steuerung eines Motors erfolgen, bis die Pehlausrichtung korrigiert ist. Ein alternativer und bevorzugter Mechanismus besteht jedoch darin, die Zonen P1 - P4 durch eine Logikschaltung zu erzeugen, die in ausreichendem Maße von der Logikschaltung zur Erzeugung der Zonen P5 - P8 unabhängig ist, so daß die Zonen P1 bis P4 unabhängig von den Zonen P5 - P8 auf und ab bewegt werden können. Sine derartige Schaltung wird nachstehend anhand von Pig. 16 erläutert und ist insofern von Vorteil, da es, wie vorstehend bereits erwähnt, weder üblich noch durchführbar ist, geradlinige Zonen zu erzeugen, welche bezüglich den horizontalen Abtastzeilen einer herkömmlichen Vidicon-Pernsehkamera verdreht sind.

Pig. 15A zeigt die Pestmarkierungen322 und 323 der Maske 302 sowie die Ausrichtungsmerkmale 331 - 334 der Halbleiterscheibe 301, welche den Zonen PI - P8 überlagert sind.

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Dabei sind die in Form von Rechtecken ausgebildeten Merkmale 351 und 332 in vollkommener Ausrichtung auf die lestmarkierung 322 und die Zonen P1 - P4, während die in Form von Rechtecken ausgebildeten Merkmale 333 und 334 ebenfalls in vollkommener Ausrichtung auf die Festmarkierung 323 und die Zonen P5 - P8 sind. In dieser Stellung stimmt das Videobild der Merkmale 322, 323 und 331 - 334 mit jeder der Zonen P1 - P8 um einen gleichen Betrag überein.

Fig. 15B zeigt die geometrischen Verhältnisse von Fig.15A im nicht ausgerichteten Zustand. Wie hieraus ersichtlich ist, sind die Festmarkierungen 322 und 323 in vollkommener Ausrichtung auf die Zonen P1 - P8, wobei diese Ausrichtung bei den anhand von Fig. HA und 14B beschriebenen Vorgängen erfolgt ist. Dagegen sind die in Form von Rechtecken ausgebildeten Merkmale 331 - 334 und dementsprechend die Halbleiterscheibe 301 nicht auf die Festmarkierungen 322 und 323 und damit nicht auf die Zonen P1 - P8 ausgerichtet. Bei der in Fig. 15B dargestellten Stellung stimmt ein erheblich größerer Bildteil beispielsweise mit den Zonen P3> P4, P5 und P6 überein als mit den anderen Zonen. Diese nicht-abgeglichene Bild- bzw. Videoübereinstimmung kann in gleicher Weise wie die im Zusammenhang mit der Anschlußvorrichtung erörterte nicht-abgeglichene Videoübereinstimmung verwendet werden, um die Ausgangssignale eines Oscillators mit einer Vielzahl von Speicherkondensatoren zu verknüpfen, die jeder Zone oder den Kombinationen der Zonen entsprechen. Die an diesen Kondensatoren erzeugten Spannun-

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gen können zur Steuerung der Erzeugung und der Übertragung von Signalen an Schrittmotoren 304 - 306 verwendet werden, um die Halbleiterseheibe 301 und damit die in Fig. 15A und Pig. 1 5B dargestellten Yideobilder in die in Mg. 15A dargestellte Stellung zu verschieben.

Die Schaltung zur Erzeugung der Zonenmuster P1 - P8 ist in Fig. 16 dargestellt. Wie hieraus ersichtlich ist, werden die horizontalen und vertikalen Synchronisierimpulse der Yidicon-Fernsehkamera 312 zunächst auf der Leitung 313 bzw. 314 einem Synchronisierimpulsformer 341 zugeführt. Der geformte vertikale Synchronisierimpuls wird anschliessend einem ersten impulsbreiten-variablen monostabilen Multivibrator ID1 zugeführt. Die Dauer des von dem Multivibrator ID1 erzeugten Impulses kann durch Verstellen eines -variablen Widerstandes, z.B. des Widerstandes 342 oder des Widerstandes 343 gesteuert werden, welche über einen Schalter 344 getrennt mit dem Multivibrator ID1 verbindbar sind. Der Widerstand 34.2 wird für einen automatischen Betrieb von dem Motor 345 gesteuert. Wie im Falle der anhand von Fig.4 beschriebenen Multivibratoren sind sämtliche Multivibratoren der Schaltung nach Figo 16 derart ausgebildet, daß sie durch die rückwärtige Flanke eines Eingangimpulses getriggert werden und einen rechteckförmigen Impuls erzeugen, dessen Dauer durch einen variablen Widerstand steuerbar ist.

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Das Ausgangssignal des Multivibrators ID1 wird den Eingängen zweier zusätzlicher Multivibratoren ID2A und ID2B zugeführt, von denen jeder den ersten Multivibrator einer Kette von MuIt!vibratoren darstellt, die zur Erzeugung rechteckförmiger Impulse ausgebildet sind; diese rechteckförmigen Impulse erzeugen für die Zonen in jeder Hälfte des vorstehend beschriebenen Monitor-Blickfeldes einen weißen Videoteil. Die Dauer des von dem Multivibrator ID2A erzeugten Impulses wird durch einen variablen Widerstand 346 gesteuert. Das Ausgangssignal des Multivibrators ID2A wird über eine Richtungsdiode 347 dem Eingang eines weiteren Multivibrators NLA zugeführt, dessen Impulsdauer durch einen variablen Widerstand 34ö steuerbar ist. Das Ausgangssignal des Multivibrators ID2A wird zusätzlich auf den Eingang eines weiteren Multivibrators YSA gekoppelt, dessen Impulsdauer mittels eines variablen Widerstandes 349 gesteuert wird. Das Ausgangssignal des Multivibrators TSA wird über eine Richtungsdiode 350 auf den Eingang des Multivibrators NLA gekoppelt.

Die Dauer des von dem Multivibrator ID2B erzeugten Impulses wird von einem der beiden variablen Widerstände 351 und 352 in Abhängigkeit von der Stellung eines Schalters 353 gesteuert. Der variable Widerstand 352 ist manuell betätigbar, während der variable Widerstand 351 durch einen Motor 354 betätigt wird. Das Ausgangssignal des Multivibrators ID2B wird über eine Richtungsdiode 355 auf einen Multi-

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vibrator NLB gekoppelt, dessen Impulsdauer durch einen variablen Widerstand 356 gesteuert wird. Das Ausgangssignal des Multivibrators ID2B wird ferner auf einen Multivibrator YSB gekoppelt, dessen Impulsdauer durch einen variablen Widerstand 357 gesteuert wird. Das Ausgangssignal des Multivibrators YSB wird über eine Richtungsdiode 358 auf den Eingang des Multivibrators NLB gekoppelt .

Das Ausgangssignal des Multivibrators NLA wird auf einen Eingang eines ersten NAND-Gliedes NG1 gekoppelt, während das Aus gangssignal des Multivibrators NLB auf einen Eingang eines zweiten NAND-Giiedes NG-2 gekoppelt wird. Die anderen Eingänge der NAND-Glieder NG1 und NG2 sind über ein Invertierglied 396 mit dem Ausgang eines Multivibrators LD1 gekoppelt, an dessen Eingang die Ausgangsimpulse eines Multivibrators JR1 angelegt werden. An den Eingang des Multivibrators JR1, der ein Verzögerungsglied zur Unterdrückung des Klirrens darstellt, werden die geformten horizontalen Synchronisierimpulse von dem Impulsformer 341 angelegt. Der Multivibrator LD1, der ein erstes Zeilenverzögerungsglied darstellt, erzeugt in Abhängigkeit von der rückwärtigen Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators JR1 einen Impuls, dessen Dauer durch einen von zwei variablen Widerständen 361 und 362 in Abhängigkeit von der Stellung eines Schalters 363 gesteuert wird. Der variable Widerstand 361 wird durch einen Motor 364 ge-

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steuert.

Lie Erzeugung der Impulse sowie die Zeifbeziehungen zwischen diesen Impulsen sind anhand der Signaldiagramme nach Fign. 17 und 18 näher erläutert. Wie hieraus hervorgeht, triggert die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators ID1 die MuIt!vibratoren ID2A und ID2B, die jeweils einen Impuls von etwa 2 ms Dauer erzeugen. Die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators ID2A triggert über die Diode 347 zum einen den Multivibrator NLA, der einen ersten Impuls von etwa 2 ms Dauer erzeugt, und andererseits den Multivibrator YSA, der einen Impuls von etwa 4 ms Dauer erzeugt. Die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators YSA triggert wiederum über eine Diode 350 den Multivibrator NLA, der einen zweiten Impuls mit der gleichen Impulsdauer wie der erste Impuls erzeugt. Der erste von dem Multivibrator NLA erzeugte Impuls bestimmt die Lage der Oberseite und die vertikale Ausdehnung der Zonen P1 und P2. Der zweite von dem Multivibrator NLA erzeugte Impuls bestimmt die Lage der Oberseite und die vertikale Ausdehnung der Zonen P3 und P4. Der Ausgangsimpuls des Multivibrators YSA bestimmt den vertikalen oder Y-Abstand zwischen den Zonen P1 und P3 sowie zwischen den Zonen P2 und P4.

Die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators ID2B triggert über die Diode 355 einerseits den Multi-

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vibrator NLB, der einen Impuls von etwa 2 ms Dauer erzeugt und andererseits den Multivibrator YSB, der einen Impuls von etwa 4 ms erzeugt. Die rückwärtige Planke des Ausgangsimpulses des Multivibrators YSB triggert wiederum über die Diode 358 den Multivibrator NIB, der einen weiteren Impuls von etwa 2 ms Dauer erzeugt. Der erste von dem Multivibrator NLB erzeugte Impuls bestimmt die Lage der Oberseite und die vertikale Ausdehnung der Zonen P 5 und P6. Der von dem Multivibrator YSB erzeugte Impuls bestimmt den vertikalen oder Y-Abstand zwischen den Zonen P5 und P7 sowie zwischen den Zonen P6 und P8_O

Bei dem in Fig. 17 veranschaulichten Zustand, bei dem die Ausgangsimpulse der MuIt!vibratoren NLA und NLB zeitlich übereinstimmen, d.h., zur gleichen Zeit auftreten und die gleiche Dauer besitzen, erscheinen die Oberseiten der Zonen P1, P2, P5 und P6 auf der gleichen horizontalen Abtastzeile, wobei diese Zonen die gleiche vertikale Ausdehnung besitzen, d.h., die gleiche Anzahl von aufeinanderfolgen~ den horizontalen Abtastzeilen umfassen. Wenn die Ausgangsimpulse der MuIt!vibratoren NLA und NLB zeitlich nicht übereinstimmen, ist die Lage und/oder die Ausdehnung der Zonen P1 bis P4 von der Lage und/oder der Ausdehnung der Zonen P5 bis P8 verschieden.

Die NAND-Glieder NG-1 und NG-2 werden durch die Ausgangsimpulse der MuIt!vibratoren NLA bzw. NLB durchgeschaltet, um

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jeden auftretenden Ausgangsimpuls des Multivibrators LD1 zu übertragen, wobei die NAND-Glieder NGM und NG-2 positiv logische NAND-Glieder sind, an deren Ausgänge dauernd ein L-Pegel anliegt, außer wenn sämtliche ihrer Eingänge einen L-Pegel führen, worauf die Ausgänge auf den O-Pegel umschalten. Das Umschalten von dem L-Pegel auf den O-Pegel kann als rückwärtige Planke eines Impulses gedacht werden; diese rückwärtige Planke kann zur Triggerung aufeinanderfolgender MuIt!vibratoren verwendet werden, um Impulse mit steuerbarer Dauer zu erzeugen.

Die Ausgänge der NAND-Glieder NG1 und NG2 sind entsprechend auf die Eingänge zweier Multivibratoren LD2A und ID2B gekoppelt. Die Dauer der von den Multivibratoren LD2A und

erzeugten Impulse

LD2B/ist mittels variabler Widerstände 366 bzw. 367 steuerbar. Wie im einzelnen anhand des Signaldiagramms nach Pig.18 ersichtlich ist, liegt an den Ausgängen der NAND-Glieder NG1 und NG2 ein O-Pegel, außer wenn ein Ausgangsimpuls des Multivibrators LD1 vorhanden ist. Sobald der invertierte Ausgangsimpuls LD1 des Multivibrators LD1 negativ wird, werden die Ausgangsimpulse der NAND-Glieder NG1 und NG2 positiv; wenn dagegen der Ausgangsimpuls des Multivibrators LD1 andauert und der invertierte Ausgangsimpuls LD1 des Multivibrators LD1 auf seinen normalen L-Pegel zurückkehrt, schalten die NAND-Glieder NG1 und NG2 vom L-Zustand auf den O-Zustand um. Dieser L-O-Übergang triggert die Multivibratoren LD2A und LD2B, wodurch jeder dieser Multivibratoren

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Impulse erzeugt, deren Dauer mittels der variablen Widerstände 366 bzw. 367 steuerbar ist.

Die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators LD2A triggert über die Steuerdiode 368 einen Multivibrator LLA, der einen Impuls von etwa 4/US Dauer erzeugt. Die Dauer des von dem Multivibrator LLA erzeugten Impulses ist mittels eines variablen Widerstandes 369 steuerbar. Die rückwärtige Planke des Ausgangsimpulses des Multivibrators LD2A triggert ferner einen weiteren Multivibrator XSA, der einen Impuls von etwa 6/us Dauer erzeugt. Die Dauer des von dem Multivibrator XSA erzeugten Impulses ist mittels eines variablen Widerstandes 370 steuerbar. Die rückwärtige Planke des Ausgangsimpulses des Multivibrators XSA triggert wiederum über die Steuerdiode 371 den Multivibrator LLA, der wieder einen Impuls mit der gleichen Dauer wie der erste Impuls erzeugt, d.h., von etwa 4/Us.

Der Ausgang des Multivibrators LLA, nämlich der Knotenpunkt E, ist über Richtungsdioden 372 und 373 sowie über einen variablen Widerstand 374 zur Einstellung der Musterintensität mit einem Eingang eines Videomonitors 375 gekoppelt. Der zur Zeilenverzögerung dienende Multivibrator LD2A legt zusammen mit dem Multivibrator LD1 die Lage des linken Randes der Zonen P1 und P3 fest. Der erste Ausgangsimpuls des Multivibrators LLA, welcher ein Zeilenlängen-Zeitglied ist, bestimmt in Abhängigkeit von der rückwärti-

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gen Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators LD2A die horizontale Breite der Zone P1. Der zweite Ausgangsimpuls des Multivibrators LLA bestimmt in Abhängigkeit von der rückwärtigen Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators XSA die horizontale Breite der Zone P2. Der Multivibrator XSA bestimmt daher den horizontalen oder X-Abstand zwischen den Zonen P1 und P2.

Wenn der Multivibrator LD2A über das NAND-Glied NG-1 durch den zweiten Ausgangsimpuls des Multivibrators NLA wieder getriggert wird und einen weiteren Impuls erzeugt, werden die als Zeitglieder wirksamen MuIt!vibratoren LD2A, LLA und XSA wieder in Tätigkeit gesetzt und erzeugen Impulse, welche die Lage der Zonen P3 und P4 in einer völlig analogen Weise zu der vorstehend beschriebenen Erzeugung der Zonen P1 und P2 bestimmen.

Der Zeilenverzögerungs-Multivibrator LD2B, der durch das NAND-Glied NG2 zur gleichen Zeit wie der Multivibrator LD2A durch das NAND-Glied NG1 getriggert wird, ist über den Widerstand 367 einstellbar und erzeugt einen Impuls, der, wie aus Figo 18 ersichtlich ist, bis nach dem Ende des zweiten Ausgangsimpulses des Multivibrators LLA vorhanden ist. Die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators LD2B triggert über die Diode 376 den Multivibrator LLB, der ein zweites Zeilenlängen-Zeitglied darstellt und einen Impuls von etwa 4/us Dauer erzeugt»

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Die Dauer des von dem Multivibrator LLB erzeugten Impulses ist mittels eines variablen Widerstandes 3.77 steuerbar. Die rückwärtige Flanke des Ausgangsimpulses des Multivibrators LD2B triggert ferner den Multivibrator XSB, der einen Impuls von etwa 6/us Dauer erzeugt. Die Dauer des Ausgangsimpulses des Multivibrators XSB ist über einen variablen Widerstand 378 steuerbar. Die rückwärtige Planke des Ausgangsimpulses des Multivibrators XSB, der über die Eichtungsdiode 379 auf den Eingang des Multivibrators LLB gekoppelt wird, triggert diesen Multivibrator, der einen zweiten Impuls mit der gleichen Impulsdauer wie der erste Impuls, doh., von etwa 4/us Dauer erzeugt.

In völlig analoger Weise wie vorstehend unter Bezugnahme auf die als Zeitglieder dienenden Multivibratoren LD2A, LLA und XSA erläutert ist, bestimmt die rückwärtige Planke des ersten Ausgangsimpulses des Multivibrators LD2B den linken Rand der Zonen P5 und P6, während die rückwärtige Planke des zweiten Ausgangsimpulses des Multivibrators LD2B den linken Rand der Zonen P7 und P8 festlegt. Die Dauer des von dem Multivibrator LLB erzeugten Impulses bestimmt die horizontale Breite der Zonen P5 - P8. Der als Zeitglied dienende Multivibrator XSB bestimmt analog zu dem als Zeitglied dienenden Multivibrator XSA den horizontalen oder X-Abstand zwischen den Zonen P5 und P6 sowie zwischen den Zonen P7 und P8.

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Der Ausgang des Multivibrators LLB ist über eine Richtungsdiode 380, einen einstellbaren Widerstand 374 zur Einstellung der Musterintensität und eine Richtungsdiode 373 mit dem gleichen Eingang des Videomonitors 375 wie der Ausgang des Multivibrators LLA gekoppelt. Die dem tatsächlichen Videobild der Vidicon-Pernsehkamera 312 entsprechenden elektronischen Signale werden über die Leitung 315 auf einen anderen Eingang des Videomonitors gekoppelt, um eine Überlagerung des tatsächlichen Videobildes und der von der Schaltung nach Fig. 16 erzeugten Musterbilder hervorzurufen.

In analoger Weise wie vorstehend unter Bezugnahme auf Fig. 4 erläutert ist, werden der Videodetektor 381 für den weißen Videoanteil und der Videodetektor 382 für den schwarzen Videoanteil über die Richtungsdiode 383 zu einem Zeitpunkt in Betrieb gesetzt, wenn entweder der Multivibrator LLA oder der Multivibrator LLB eingeschaltet ist, d.h., wenn irgendeine der Zonen P1 - P8 vorhanden ist. Ein Videoverstärker 390 mit geeigneten Verstärkungs- und Filtereigenschaften bereitet die dem Videobild der Vidicon-iernsehkamera 312 entsprechenden elektronischen Signale vor deren Übertragung über die Leitung 391 auf die Videodetektoren 381 und 382 auf. Der ermittelte Videoanteil wird über die Leitungen 384, 385, über die Schalter 386, 387, gegebenenfalls bei entsprechender Stellung des Schalters 387 über einen Invertierverstärker 388 sowie über eine

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Riehtungsdiode 389 mit dem ersten erwähnten Eingang des Videomonitors 375 gekoppelt.

In Fig. 16 sind die wichtigsten Knotenpunkte mit den Bezugszeichen A-J aufgezählt. Der Knotenpunkt A (d.h., der Ausgang des Multivibrators YSA) ist über ein Invertierglied 392 mit dem Knotenpunkt B gekoppelt; der Knotenpunkt C (d.h., der Ausgang des Multivibrators YSB) ist über ein Invertierglied 393 mit dem Knotenpunkt D gekoppelt; der Knotenpunkt G (d.h., der Ausgang des Multivibrators XSA) ist über ein Invertierglied 394 mit dem Knotenpunkt H gekoppelt und der Knotenpunkt I (d.h., der Ausgang des Multivibrators XSB) ist über ein Invertierglied 395 mit dem Knotenpunkt J gekoppelt. Der Knotenpunkt Ξ ist der Ausgang des Multivibrators LLA, während der Knotenpunkt F der Ausgang des Multivibrators LLB ist.

Es sei darauf hingewiesen, daß dieser Aufbau und die Funktionsweise der Schaltung nach Fig. 16 in vielfältiger Weise dem Aufbau und der Funktionsweise der Schaltung nach Fig. 14 analog ist. Wie daher ohne nähere Erörterung ersichtlich ist, liegen beispielsweise sämtliche drei Kno-

der Zone tenpunkte A, E und G nur während der Dauer/P1 (Fig. 13) auf einem L-Pegel. In ähnlicher Weise befinden sich sämtliche Knotenpunkte A, E und H nur während der Dauer der Zone P2 (Fig. 13) im L-Zustand. Ähnliche Kombinationen von Knotenpunkten A-J können ohne weiteres durch Bestimmung der Zeitpunkte hergeleitet werden, wenn im Yer- "

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lauf eines Abtastrahmens jede der Zonen P1 - P8 vorhanden ist ο

Die Schaltung nach Fig. 19 dient zur Ermittlung einer Übereinstimmung zwischen dem von der Vidicon-Fernsehkamera erzeugten Videobild und jedem Zonenmuster P1 - P8. Die entsprechenden Kombinationen von Knotenpunkten werden mittels acht UND-Glieder 401 - 408 gebildet, die zusätzlich mit den Bezugszeichen P1 - P8 versehen sind, um die Zone anzudeuten, die von dem jeweiligen UND-Glied festgestellt wird. . Wie aus Fig. 19 ersichtlich ist, sind die Knotenpunkte A, E und G mit getrennten Eingängen des UND-Gliedes 401 gekoppelt; ferner ist ein mit dem Bezugszeichen V bezeichneter vierter Eingang des UND-Gliedes 401 mit dem ermittelten Videoanteil auf der Leitung 384 oder 385 gekoppelt, je nach dem, ob ein schwarzer oder ein weißer Videoanteil gewünscht ist. Dementsprechend befindet sich der Ausgang des UND-Gliedes 401 dann und nur dann im L-Zustand, wenn die Zone P1 vorhanden ist und der erfaßte weiße oder schwarze Bildteil am Eingang V mit dieser Zone übereinstimmt. In ähnlicher Weise sind die Knotenpunkte A, E und H mit getrennten Eingängen des UND-Gliedes 402 gekoppelt, und zwar zusammen mit dem ermittelten schwarzen oder weissen Bildteil am vierten Eingang V; dementsprechend befindet sich der Ausgang des UHD-Gliedes 402 nur dann im L-Zustand, wenn der ermittelte schwarze oder weiße Bildteil des von der Vidicon-Fernsehkamera 312 erzeugten Videobil-

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des mit der Zone P2 übereinstimmt. Die restlichen UND-glieder 403 - 4-08 funktionieren analog für die Zonen P3 bis P8.

Die Ausgänge der UND-Glieder 401 - 404 sind mit getrennten Eingängen eines ODER-Gliedes 409 gekoppelt, dessen Ausgang sich, im L-Zustand befindet, wenn einer der Ausgänge der UND-Glieder 401 - 404 ein L-Signal führt. In ähnlicher Y/eise sind die Ausgänge der UND-Glieder 405 niit getrennten Eingängen eines ODER-Gliedes 410 gekoppelt, dessen Ausgang sich in entsprechender V/eise im L-Zustand befindet, wenn an einem der Ausgänge der UND-Glieder 405 bis 408 ein L-Signal anliegt«,

Der Ausgang des ODER-Gliedes 409 ist mit dem einen Eingang eines UND-Gliedes 410 gekoppelt, während der Ausgang des ODER-Gliedes 410 mit dem einen Eingang eines UND-Gliedes 412 gekoppelt ist. Die anderen Eingänge der UND-Glieder 411 und 412 sind mit einem Hochfrequenz-Oscillator 413» z.B. einem 3 MHz-Oscillator gekoppelt. Immer dann, wenn sich das ODER-Glied 409 im L-Zustand befindet, was einer Übereinstimmung des weißen bzw. schwarzen Bildteils mit einer der Zonen P1, P2, P5 oder P6 entspricht, wird das UND-Glied 411 durchgeschaltet und überträgt die Ausgangsimpulse des Oscillators 413 auf eine Stufenladungsschaltung 414. In ähnlicher Weise ist immer dann, wenn sich das ODER-Glied 410 im L-Zustand befindet, was einer Über-

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einStimmung zwischen dem weißen bzw= schwarzen Bildteil mit einer der Zonen P3, P4, P7 oder P8 entspricht, das DUD-Grlied 412 durchgeschaltet und überträgt die Ausgangsimpulse des Oscillators 413 auf eine zweite Stufenladungsschaltung 415·

Die an den Stufenladungsschaltungen 414 und 415 erzeugten Spannungen entsprechen den Zeitabschnitten, in denen der ermittelte weiße bzw. schwarze Bildteil mit den jeweiligen Zonen übereinstimmt. Insbesondere entspricht die an der Stufenladungsschaltung 414 erzeugte Spannung der Zeitdauer, in welcher der festgestellte weiße bzw. schwarze Bildteil mit einer der Zonen P1, P2, P5 und P6 übereinstimmt. In ähnlicher Weise entspricht die an der Stufenladungsschaltung 415 erzeugte Spannung der Zeitdauer, in welcher der ermittelte weiße bzw. schwarze Bildteil mit einer der Zonen P3, P4, P7 und P8 übereinstimmt. Diese Spannungen werden mittels eines Differenzspannungsdetektors 416 verglichen, an dessen Ausgang gegebenenfalls ein Signal anliegt, das eine erforderliche Verschiebung der Zonen oder des Werkstücks in +Y- oder -Y-Richtung anzeigt»

Für eine Ausrichtung in X-Richtung wird eine nicht dargestellte Schaltung analog zu der Schaltung nach Figo 19 verwendet, um Immer dann die Ausgangsimpulse eines Oscillators auf eine Stufenladungsschaltung zu übertragen, wenn der ermittelte weiße bzw. schwarze Bildteil mit einer der

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Zonen P1, P3, P5 und P7 übereinstimmt, und ferner um immer dann die Ausgangsimpulse des Oscillators auf eine weitere Stufenladungsschaltung zu übertragen, wenn der ermittelte weiße bzw. schwarze Videoanteil mit einer der Zonen P2, P4, P6 und P8 übereinstimmt. Ein zweiter Differenzspannungsdetektor vergleicht die Spannungen dieser beiden Stufenladungsschaltungen und erzeugt ein Signal, das gegebenenfalls eine erforderliche Verschiebung in X-Richtung anzeigt.

Pur eine Ausrichtung in Dreh- oder Θ-Richtung kann eine nicht dargestellte Schaltung analog zu der Schaltung nach Pig» 19 verwendet werden, um den mit den Zonen P1 und P2 übereinstimmenden Bildteil festzustellen und gegen den mit den diagonal gegenüberliegenden Zonen P5 und P6 übereinstimmenden Bildteil abzugleichen. Für eine größere Empfindlichkeit kann alternativ hierzu der mit den Zonen P1, P2, P7 und P8 übereinstimmende Bildteil gegen den mit den diagonal gegenüberliegenden Zonen P3, P4, P5 und P6 übereinstimmenden Bildteil abgeglichen werden. Pur diese Abgleichzwecke können selbstverständlich bei dem ersten Beispiel die Zonen P1 und P2 als diagonal gegenüberliegende Zonen zu den Zonen P5 und P6 gedacht werden, um die Bildteile abzugleichen. In ähnlicher Weise kann die Kombination der Zonen P1, P2, P7 und P8 als diagonal gegenüberliegend zu der Kombination der Zonen P3, P4, P5 und P6 gedacht werden.

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Für eine Ausrichtung in X-Richtung kann die Kombination der Zonen P1, P3, P5 und P7 als Kombination gedacht werden, welche gegen die horizontal gegenüberliegende Kombination aus den Zonen P2, P4, P6 und P8 abzugleichen ist. In ähnlicher Weise kann für eine Ausrichtung in Y-Richtung die Kombination der Zonen P1, P2, P5 und P6 als eine Kombination gedacht werden, die gegen die vertikal gegenüberliegende Kombination der Zonen P3, P4, P7 und P8 abzugleichen ist.

Hinsichtlich der Verschiebung der Zonen für eine Ausrichtung in Dreh- bzw. Q-Richtung auf eine Maske sei an die vorstehenden Erläuterungen erinnert, wonach die Zonen nicht verdreht werden, sondern die Kombination der Zonen P1 bis P4 einfach bezüglich der Kombination der Zonen P5 bis P8 verschoben wird. Diese Verschiebung der Zonen durch automatisch über Motoren justierbare variable Widerstände in der Schaltung nach Pig. 16 ist aus der Schaltung nach Fig. 16 ohne weiteres ersichtlich. Der Motor 345, welcher die Dauer der Ausgangsimpulse des Multivibrators ID1 steuert, steuert die Bewegung und die Lage der gesamten Musterstruktur mit den Zonen P1 - P8 in Y- oder vertikaler Richtung. Der Motor 354, der die Dauer der Ausgangsimpulse des Multivibrators ID2B steuert, verschiebt die Kombination der Zonen P5 - P8 in vertikaler Richtung, ohne die Lage der ZonenPI - P4 zu beeinflussen, sofern die Zonen P1 bis P4 durch Kombination der Multivibratoren ID2, NLA und YSA

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erzeugt werden. Schließlich, verschiebt der Motor 364, der die Bauer der Ausgangsimpulse des Multivibrators LD1 steuert, die gesamte Musterstruktur mit den Zonen P1 "bis P8 in horizontaler Richtung.

Es sei darauf hingewiesen, daß die anhand der Anschlußvorrichtung erläuterte Stufenladungsschaltung nach Pig.9 auch für die Stufenladungsschaltungen 414 und 415 nach Pig» 19 verwendet werden kann. Ferner ist der Differenzdetektor nach Pig. 10 für eine Verwendung als Differenzdetektor 416 nach Pig. 19 geeignet. Alternativ hierzu kann jeder im Handel erhältiche und geeignete Differenzdetektor oder Differenzmesser im Bedarfsfalle anstelle der Differenzdetektoren nach Pig. 10 und 19 verwendet werden, sofern deren Punktionsweise genügend schnell und empfindlich ist, um die vorstehend-erläuterten Punktionen zu bewirken .

Es versteht sich, daß die vorstehende Erläuterung der Erfindung anhand zweier spezieller Ausführungsformen nur beispielhaft ist und den Erfindungsgedanken in keiner Weise beschränkt. Im Rahmen des Erfindungsgedankens und des Schutzumfangs der vorliegenden Erfindung kann der Aufbau und die Betriebsart der erfindungsgemäßen Vorrichtung auf vielfältige Weise durch den Durchschnittsfachmann variiert und verändert werden»

Beispielsweise kann die Dauer jedes von den zahlreichen

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Schaltungen erzeugten Impulses veränderbar und steuerbar sein, wobei die speziellen Zeitangaben für jeden dieser Impulse lediglich beispleibhaft sind.

Weiterhin können die logischen Torschaltungen und Verzögerungsvorrichtungen auf vielfältige Weise geändert und ersetzt werden, sofern deren Punktionen entsprechend de vorstehend gegebenen Lehren erhalten bleiben.

Weiterhin sei darauf hingewiesen, daß für die Referenzzonen-Muster eine große Vielzahl von verschiedenen Musterstrukturen verwendet werden kann. Die vorstehend beispiel haft erwähnten Musterstrukturen werden gegenwärtig als vorteilhaft angesehen. Bs versteht sich ferner, daß der vorstehend erläuterte Erfindungsgedanke ebenso auf ein Videosystem mit spiralförmiger Abtastung und indirekter Ausrichtung angewandt werden kann. In diesem Falle kann es natürlich vorteilhaft sein, die geradlinigen Zonen in Polarkoordinaten umzusetzen, wo sie als gekiummte Zonen erscheinen.

Ss sei weiterhin darauf hingewiesen, daß die mit den Stufenladungsschaltungen verknüpften Ausgangsimpulse des Oscillators anstelle einer Verknüpfung mit den Stufenladungsschaltungen durch geeignete Zähler gezählt werden können„

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Schließlich versteht es sich, daß Zähler, Dekodiereinrichtungen und andere logische Schaltkreise und Verzö'gerungs-Zeitglieder verwendet werden können, um die einzelnen Abtastzeilen sowie die Abschnitte dieser Abtastzeilen zu selektieren, die die zur Ausrichtung verwendeten Zonen ausmachen. Der Aufbau dieser Schaltungen in Form von Äquivalenten oder von Modifikationen der Schaltungen nach Fign. und 16 kann von dem Durchschnittsfachmann bei Befolgung der vorstehend gegebenen Lehren ohne weiteres durchgeführt werden _o

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Claims (22)

1. Patentanwalt
   Dipl.-ing. Walter Jackisch

   Stuttgart N. Menzelstraße40. rj r *y ο O C O

   Western Electric J^ ' " "

   Company, Incorporated

   Broadway Den 2 8. Mai 1975

   New York, H.Yo 10007
   U.S.A.

   Patentansprüche

   .) Verfahren zum Ausrichten eines ersten Gegenstandes auf einen zweiten Gegenstand, bei dem ein erstes, den ersten Gegenstand anzeigendes elektrisches Signal erzeugt wird, gekennzeichnet durch folgende Verfahrensschritte:

   a) Erzeugung eines zweiten, eine Referenzzone anzeigenden elektrischen Signals;

   b) Änderung des zweiten Signals in Abhängigkeit von einem Vergleich zwischen dem ersten und dem zweiten Signal zur Ausrichtung der Referenzzone auf den ersten Gegenstand;

   c) Erzeugung eines dritten, den zweiten Gegenstand anzeigenden Signals, und

   d) Verschiebung des zweiten Gegenstandes in Abhängigkeit von einem Vergleich zwischen dem dritten Signal und dem geänderten zweiten Signal zur Ausrichtung des zweiten Gegenstandes auf die Referenzzone.

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2. 2. Verfahren nach Anspruch 1, "bei dem die ersten, zweiten und dritten elektrischen Signale Videosignale sind, dadurch gekennzeichnet, daß das erste und dritte Videosignal mittels einer Kamera und das zweite Videosignal mittels einer von einer Kamera verschiedenen elektronischen Schaltung erzeugt werden.
3. 3. Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet , daß das zweite Videosignal durch Veränderung der Parameter der elektronischen Schaltung verändert wird.
4. 4. Verfahren nach Anspruch 2 oder 3, dadurch gekennzeichnet , daß die elektronische Schaltung auf die horizontalen und vertikalen Synchronisiersignale der Kamera derart anspricht, daß das zweite Videosignal zusammen mit dem ersten Videosignal synchronisiert wird.
5. 5. Verfahren nach einem der Ansprüche 1-4, dadurch gekennzeichnet, daß bei Koinzidenz bzw. Übereinstimmung des ersten und des zweiten Signals eine Vielzahl von gleichmäßig getakteten Impulsen erzeugt wird und daß die erzeugten Impulse während der Übereinstimmung zwecks Erzeugung einer das Ausmaß bzw. den Betrag der Übereinstimmung entsprechenden Spannung gespeichert werden.

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6. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet , daß bei Peststellung einer Übereinstimmung Signale erzeugt und Motoren zugeführt werden, um die Parameter der elektronischen Schaltung automatisch entsprechend der Übereinstimmung zu ändern.
7. 7. Verfahren nach Anspruch 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet , daß bei Übereinstimmung zwischen dem dritten und dem geänderten zweiten Signal eine Serie von gleichmäßig getakteten Impulsen erzeugt wird und daß die erzeugten Impulse während der letztgenannten Übereinstimmung zwecks Erzeugung einer das Ausmaß bzw. den Betrag dieser Koinzidenz entsprechenden Spannung gespeichert werden.
8. 8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet , daß bei Feststellung der letztgenannten Übereinstimmung Signale erzeugt und Motoren zum Verschieben des zweiten Gegenstandes zugeführt werden.
9. 9. Vorrichtung zum Ausrichten eines ersten Gegenstandes auf einen zweiten Gegenstand entsprechend dem Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

   a) Eine Einrichtung zur Erzeugung eines ersten, den ersten Gegenstand anzeigenden elektrischen Signals;

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   SO

   b) Eine Einrichtung zur Erzeugung eines zweiten, eine . Referenzzone anzeigenden elektrischen Signals;

   c) eine Einrichtung zum Indern des zweiten Signals in Abhängigkeit von einem Vergleich zwischen dem ersten und dem zweiten Signal zum Zwecke einer Ausrichtung der Referenzzone auf den ersten Gegenstand;

   d) eine Einrichtung zur Erzeugung eines dritten, den zweiten Gegenstand anzeigenden elektrischen Signals, und

   e) eine Einrichtung zum Verschieben des zweiten Gegenstandes in Abhängigkeit von einem Vergleich zwischen dem dritten Signal und dem geänderten zweiten Signal zum Zwecke einer Ausrichtung des zweiten Gegenstandes auf die Referenzzone, derart, daß der zweite Gegenstand auf den ersten Gegenstand ausgerichtet ist.
10. 10. Vorrichtung nach Anspruch 9> dadurch gekennzeichnet , daß die Einrichtungen zur Erzeugung des ersten und des dritten Signals eine Videokamera umfassen und daß die Einrichtung zur Erzeugung des zweiten Signals eine von der Videokamera verschiedene und auf die horizontalen und vertikalen Synchronisierimpulse der Videokamera ansprechende elektronische Schaltung aufweist.
11. 11. Vorrichtung nach Anspruch 10, dadurch g e -

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    kennzeichnet , daß die elektronische Schaltung eine erste, auf die vertikalen Synchronisierimpulse ansprechende Einrichtung zur Erzeugung eines zeitverzögerten Impulses aufweist, der zur Selektion der horizontalen Äbtastzeilen dient, in welchen das Zonenmuster auftritt und daß die elektronische Schaltung eine zweite, auf die horizontalen Synchronisierimpulse sowie auf die erste Einrichtung ansprechende Einrichtung zur Erzeugung eines weiteres zeitverzögerten Impulses aufweist, der zur Ermittlung der Lage des Musters auf den selektierten Abtastzeilen dient.
12. 12. Vorrichtung nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet , daß die ersten und zweiten Einrichtungen seriengeschaltete, monostabile Multivibratoren zur Erzeugung der Zeitverzögerungen und der Impulse aufweisen.
13. 13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet , daß die elektronische Schaltung ein variables Impedanzelement aufweist, das mit bestimmten MuIt!vibratoren gekoppelt ist zwecks Steuerung der Länge der von diesen Multivibratoren erzeugten Impulse.
14. 14. Vorrichtung nach Anspruch 13, dad.urch gekennzeichnet , daß zur automatischen Ein-

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    SZ

    stellung des Impedanzelementes ein Motor mit dem variablen Impedanzelement verbunden ist.
15. 15. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 9—14, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zur Erfassung einer Ü.b er ein Stimmung zwischen ausgewählten Abschnitten des ersten und des zweiten Signals und durch eine Einrichtung zur Erfassung einer Übereinstimmung zwischen ausgewählten Abschnitten des zweiten und des dritten Signals.
16. 16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet , daß die Einrichtung zur Erfassung einer Übereinstimmung zwischen ausgewählten Abschnitten des ersten und des zweiten Signals folgende Teile aufweisti

    a) Eine erste Einrichtung zur Erfassung einer Übereinstimmung zwischen dem ersten Signal und demjenigen Abschnitt des zweiten Signals, welcher wenigstens einem Zonenmuster entspricht, und

    b) eine zweite Einrichtung zur Erfassung einer Übereinstimmung zwischen dem ersten Signal und demjenigen Abschnitt des zweiten Signals, welcher einem gegenüberliegenden Zonenmuster entspricht.
17. 17. Vorrichtung nach Anspruch 16, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

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    a) Eine Vielzahl von Speichereinrichtungen zur Ausbildung einer einer Anzahl von zugeführten Impulsen gleicher Amplitude entsprechenden Spannung;

    b) eine Einrichtung zur Verknüpfung einer Vielzahl von gleichmäßig getakteten Impulsen mit einer ersten Speichereinrichtung während der Zeitspanne, in welcher die erste Erfassungseinrichtung eine Übereinstimmung feststellt, und

    c) eine Einrichtung zur Verknüpfung einer anderen Vielzahl von gleichmäßig getakteten Impulsen mit einer zweiten Speichereinrichtung während der Zeitspanne, in welcher die zweite Erfassungseinrichtung eine Übereinstimmung feststellt.
18. 18. Vorrichtung nach Anspruch 17, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Vergleichen der von der ersten und der zweiten Speichereinrichtung erzeugten Spannungen sowie zur Änderung eines Parameters der zur Änderung des zweiten Signals vorgesehenen elektronischen Schaltung, derart, daß die von der ersten und der zweiten Speichereinrichtung erzeugten Signale im wesentlichen gegeneinander abgeglichen werden.
19. 19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 15-18, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Erfassung einer Übereinstimmung zwi-

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    SV

    sehen ausgewählten Abschnitten des zweiten und des dritten Videosignals folgende Teile aufweist:

    a) Eine erste Einrichtung zur Erfassung einer Übereinstimmung zwischen dem dritten Signal und demjenigen Abschnitt des geänderten zweiten Signals, welcher wenigstens einem Zonenmuster entspricht, und

    b) eine zweite Einrichtung zur Erfassung einer Übereinstimmung zwischen dem dritten Signal und demjenigen Abschnitt des geänderten zweiten Signals, welcher einem gegenüberliegenden Zonenmuster entspricht.
20. 20. Vorrichtung nach Anspruch 19» gekennzeic hn e t durch folgende Merkmale:

    a) Eine Vielzahl von Speichereinrichtungen zur Ausbildung einer der Anzahl von zugeführten Impulsen gleicher Amplitude entsprechenden Spannung;

    b) eine Einrichtung zur Verknüpfung einer Vielzahl von gleichmäßig getakteten Impulsen mit einer ersten Speichereinrichtung während der Zeitspanne, in welcher die erste Erfassungseinrichtung'eine Übereinstimmung feststellt, und

    c) eine Einrichtung zur Verknüpfung einer anderen Vielzahl von gleichmäßig getakteten Impulsen mit einer zweiten Speichereinrichtung während der Zeitspanne, in welcher die zweite Erfassungseinrichtung

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    Jj

    eine Übereinstimmung feststellt.
21. 21. Vorrichtung nach Anspruch 20, gekennzeichnet durch eine Einrichtung zum Vergleichen der von
    der ersten und der zweiten Speichereinrichtung erzeugten Spannungen sowie zum Verschieben des zweiten Werkstücks, derart, daß das dritte Signal ausreichend stark verändert wird, damit die von der ersten und der zweiten Speichereinrichtung erzeugten Spannungen im wesentlichen gegeneinander abgeglichen werden.
22. 22. Vorrichtung nach Anspruch 10, gekennzeichnet durch eine in der elektronischen Schaltung vorgesehene Einrichtung zur Einstellung der Lage wenigstens einer Zone ohne die Beeinflussung der Lage anderer Zonen.

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