DE2643809A1

DE2643809A1 - Verfahren zum einjustieren eines koerpers

Info

Publication number: DE2643809A1
Application number: DE19762643809
Authority: DE
Inventors: Klaus Dipl Phys Schaefer; Alfons Schmitt; Diether Utz
Original assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Current assignee: Licentia Patent Verwaltungs GmbH
Priority date: 1976-09-29
Filing date: 1976-09-29
Publication date: 1978-04-06
Also published as: US4212031A; DE2643809B2

Description

Licantia Patent-Verwaltungs-Onbii

6000 Frankfurt/Main, Theodor-Gtera-Kairti« ,« _{Λ Λ A}

Heilbronn, den 13. Aug. 1976 PT-Ma/sr - HN 76/8

Verfahren zum. Einjustieren eines Körpers

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einjustieren eines Körpers auf eine-Soll-Lage. Derartige Justierverfahren sind beispielsweise in der Halbleitertechnik nötig, wo der Halbleiterkörper bzw. die bereits auf ihm befindlichen Strukturen auf Arbeitsmittel oder Kontaktierungsmittel einjustiert werden muß.

Bei den bisher üblichen Justierverfahren wurde der mit Strukturen oder mit Justierhilfen versehene Halbleiterkörper oder eine Halbleiterscheibe unter mikroskopischer Beobachtung mit Hilfe von Mikromanipulatoren so justiert, daß die Strukturen des Halbleiterkörpers oder der Halbleiterscheibe mit entsprechenden Strukturen der Arbeitsmittel bzw. der Kontaktmittel zur Deckung gelangten. Bei den Arbeitsmitteln handelt es sich beispielsweise um Fotomasken oder um Kontaktierungsmasken, die zur Herstellung von Diffusionsfenstern bzw. von Verbindungshalbleiter benötigt werden. Dieses Justierverfahren erfolgt manuelle und ist somit kostenintensiv und zeitraubend.

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Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Justierverfahren anzugeben, das grundsätzlich zur Lösung aller Justierprobleme bei Körpern beliebiger Art angewendet werden kann und vollautomatisch erfolgt. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß von der Ist-Lage wenigstens einer Justierstelle des Körpers ein Bild erzeugt und dieses Bild in Bildpunkte zerlegt wird, deren Abstand kleiner ist als die geforderte Justiergenauigkeit, daß der Informationsinhalt dieser Bildpunkte digitalisiert und abgespeichert wird, daß in einer Datenverarbeitungsanlage, die die Soll-Lage der Justierstelle gleichfalls in digitalisierter Form abgespeichert enthält, Ist- und Soll-Lage der Justierstelle miteinander verglichen und Abweichungen errechnet werden und daß dann der zu justierende Körper um das Maß der errechneten Abweichungen mit Hilfe von über die Datenverarbeitungsanlage gesteuerten Bewegvorrichtungen verschoben wird.

Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, daß es vollautomatisch abläuft und eine visuelle Beobachtung des Justiervorganges nicht mehr unbedingt erforderlich ist, Mit dem beschriebenen Verfahren kann jeder zu justierende Körper in eine gewünschte und vorgegebene Soll-Lage gebracht werden. Diese Soll-Lage kann beispielsweise durch die definierte Lage von Arbeitsmitteln vorgegeben sein, mit deren Hilfe der einzujustierende Körper weiteren Arbeitsprozessen unterworfen wird. Derartige Arbeitsmittel können bei der Verwendung des

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vorgeschlagenen Justierverfahrens in der Halbleitertechnik beispielsweise Photomasken oder Anschlußkontaktstreifen sein.

Von dem zu justierenden Körper wird vorzugsweise ein Fernsehbild erzeugt, wobei dann von diesem Fernsehbild nur der Bildausschnitt digitalisiert und abgespeichert werden muß, der die Justierstelle enthält. Der Bildausschnitt muß dabei so groß gewählt werden, daß bei Beachtung der Zuführgenauigkeit des zu justierenden Körpers in die Justieranlage die Justierstelle mit Sicherheit innerhalb des genannten Bildausschnittes liegt. Im Bildausschnitt muß somit eine Struktur des zu justierenden Körpers erscheinen, deren Soll-Lage in der Datenverarbeitungsanlage abgespeichert ist. Die nun im Bildausschnitt erscheinende Ist-Lage wird mit Hilfe des neuen Verfahrens mit der Soll-Lage verglichen und die bei diesem Vergleich ermittelten Abweichungen werden durch die Datenverarbeitungsanlage errechnet und danach in eine entsprechende Verschiebung des zu justierenden Körpers umge-

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Das Fernsehbild des zu justierenden Körpers kann zur visuellen Kontrolle, die jedoch nicht unbedingt erforderlich ist, mit Hilfe eines Monitors wiedergegeben werden. Inner

halb dieses Fernsehbildes wird dann der zu digitalisierende

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und abzuspeichernde Bildausschnitt vorzugsweise aufgehellt wiedergegeben, so daß ein eventueller Beobachter stets feststellen kann, ob die als Justierhilfe herangezogene Struktur des zu justierenden Körpers innerhalb des Bildausschnittes liegt. Dies ermöglicht eine Kontrolle der Zuführgenauigkeit des zu justierenden Körpers in die Justieranlage.

Ein Fernsehbild besteht aus zwei Halbbildern, wobei das erste Halbbild nur die ungeraden Zeilenzahlen des Fernsehbildes enthält, während im zweiten Halbbild dann die geraden Zeilenzahlen wiedergegeben werden. Es hat sich gezeigt, daß es zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ausreicht, wenn nur der Bildausschnitt aus einem der beiden Halbbilder des Fernsehbildes digitalisiert wird. Auf diese Weise kann das Justierverfahren beschleunigt werden, da nicht erst die Abtastung des zweiten Halbbildes abgewartet werden muß.

Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist vorgesehen, daß aus den von der Fernsehkamera abgegebenen Impulsen die Zeilenimpulse und die Startimpulse für die Halbbilder ausgefiltert werden und die Zeilenimpulse nach dem Startimpuls für das vorbestimmte Halbbild auf einen Zeilenzähler gegeben werden. Dieser Zeilenzähler löst erst ab einer durch einen Vorwählschalter vorgegebenen Zeilenzahl die Abspeicherung eines Teils der Bildpunkte einer vorgegebenen Zahl nachfolgender

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Zeilen aus. Dies ist deswegen nötig, da ja nur die Zeilen des Fernsehbildes, die in den Bildausschnitt fallen, abgefragt werden sollen. Die so ausgewählten Bildzeilen, von denen nun ein Teil abgespeichert werden muß, werden mit Hilfe eines Taktgenerators in Bildpunkte zerlegt. Dem Taktgenerator wird ein Bildpunktzähler nachgeschaltet, der erst nach einer wiederum durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Bildpunktzahl jeder Zeile die Abspeicherung einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Bildpunkte auslöst. Dieses Abzählen der Bildpunkte ist nötig, da wiederum nur die in den Bildausschnitt fallenden Bildpunkte digitalisiert und abgespeichert werden sollen.

Um den Informationsinhalt der Bildpunkte abspeichern zu können, muß dem jeweiligen Helligkeitswert jedes Bildpunktes eine binäre Größe zugeordnet werden. Dies geschieht dadurch, daß bis zu einer bestimmten Helligkeit ein Bildpunkt als "schwarz" deklariert wird und mit der einen binären Größe versehen wird, während ein Bildpunkt, dessen Helligkeit den gewählten Schwellwert übersteigt, als "weiß" gilt und mit der anderen binären Größe versehen wird. Hierzu wird während der Abtastzeit des Bildausschnittes das Bildsignal auf einen Komparator gegeben, indem die der Bildhelligkeit entsprechende Spannung mit einer Vergleichspannung, die dem Schwellwert entspricht, derart verglichen wird,, daß bei einer Unterschreitung der Vergleichs-

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spannung der Informationsinhalt das Bildes dem einen binären Wert entspricht und bei Überschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildpunktes dem anderen binären Wert "O" oder "1" entspricht. Der somit einer "Schwarz-Weiß-Information" entsprechende digitalisierte Informationsinhalt der abzuspeichernden Bildpunkte einer Bildzeile wird in ein Schieberegister mit entsprechender Stellenzahl eingeschrieben. Nach der Abspeicherung der Bildpunkte jeder Zeile wird dann der Informationsinhalt des Schieberegisters, der aus einer Serie von "0" und "1"-Werten besteht, in einen Computer übertragen. Nach der Übertragung der Bildpunkte aller abzuspeichernden Bildzeilen wird im Computer der abgespeicherte Gesamtinhalt des Ist-Bildes mit dem gleichfalls abgespeicherten Gesamtbild des Soll-Bildes verglichen. Mit Hilfe eines in den Computer einzugebenden Programms werden nun die Abweichungen zwischen dem Ist-Bild und dem Soll-Bild errechnet und diese in eine entsprechende Verschiebung der zu justierenden Körper umgesetzt.

Zur Feststellung von Winkelabweichuhgen der Ist-Lage von der Soll-Lage können aus dem von der Fernsehkamera aufgenommenen Gesamtbild zwei voneinander möglichst weit entfernte BiIdausschnitte des zu justierenden Körpers digitalisiert und abgespeichert werden, wobei natürlich in jedem Bildausschnitt eine, justierfähige Struktur enthalten sein

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muß. Im Computer werden dann aus dem Vergleich der Ist-Lagen beider Justierstellen mit den in der Datenverarbeitungsanlage abgespeicherten beiden Soll-Lagen Winkelabweichungen errechnet und diese in eine Drehbewegung des zu justierenden Körpers umgesetzt. Wenn zwei Bildausschnitte aus dem Gesamtfernsehbild digitalisiert und abgespeichert werden, ist es vorteilhaft, den einen Bildausschnitt dem ersten Halbbild des Fernsehbildes zu entnehmen und den anderen Bildausschnitt dann dem nachfolgenden zweiten Halbbild des Fernsehbildes zu entnehmen, zu digitalisieren und abzuspeichern.

Die Erfindung und ihre weitere vorteilhafte Ausgestaltung soll im weiteren noch anhand eines Ausführungsbeispieles näher erläutert werden.

Als Ausführungsbeispiel wird hierbei die Einjustierung eines Halbleiterkörpers bzw. der auf einem Halbleiterkörper befindlichen Struktur auf eine Soll-Lage geschildert. Bei der zur Justierung herangezogenen Struktur auf dem Halbleiterkörper handelt es sich beispielsweise um einen Metallkontakt, der zur automatischen Justierung in eine Soll-Lage gebracht werden muß, in der sich beispielsweise der zugeordnete Kontaktierungsfinger eines rahmenförmigen Kontaktierungs-Streifens befindet.

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Durch entsprechende Beleuchtung des Halbleiterkörpers kann man erreichen, daß sich dieser Anschlußfleck sehr deutlich von seiner Umgebung abhebt. Ist zum Beispiel die Umgebung hell, der Anschlußkontakt dunkel, so genügt es, zur Digitalisierung des Bildes den Bildinhalt des Fernsehsignals mit einer "Schwarz-Weiß-Schwelle" zu vergleichen.

Zur Erzeugung des Fernsehbildes wird beispielsweise eine handelsübliche Industriefernsehkamera mit 875 Zeilen pro Bild verwendet, die über eine Optik mit der gewünschten Vergrößerung das Bild des zu justierenden Halbleiterbauelementes erfaßt. Da die Kantenlänge von Halbleiterbauelementen bzw. integrierten Schaltkreisen nur wenige mm beträgt, wird die Vergrößerung der Optik beispielsweise so eingestellt, daß 200 Bildzeilen einen Bildbereich von 1 mm Breite überstreichen. In der Figur 1 ist nun das Gesamtbild 1 dargestellt, das von der Fernsehkamera erfaßt wird. Dieses Gesamtbild enthält beispielsweise einen integrierten Halbleiterschaltkreis 2, der an der abgebildeten Oberfläche zahlreiche Anschlußkontakte 4 aufweist. Es genügt, wenn mit Hilfe einer entsprechenden Justieranlage einer dieser Anschlußpunkte in eine vorgegebene Soll-Lage gebracht wird. Wenn diese Justierung mit hinreichender Genauigkeit erfolgt, werden mit ihr auch alle übrigen Anschlußpunkte in die erforderliche Lage gebracht. Mit den heute üblichen technischen Hilfsmittel ist es möglich, ein Halbleiterbauelement oder einen integrierten Schaltkreis mit einer Zuführgenauigkeit von ca. + 100 ,um

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in eine gewünschte Position zu bringen. Diese Genauigkeit reicht aber nicht aus, um die Anschlußkontakte der Halbleiterscheibe beispielsweise vollautomatisch mit Kontaktierungsstegen zu verbinden. Hierzu ist eine Genauigkeit von ca. .+-1O ,um erforderlich, die bei Anwendung des erfindungsgemäßen Justierverfahrens eingehalten werden kann.

Um die Bildzerlegung möglichst schnell durchführen zu können, wird für eine Justierung nur ein Hablbbild des Fernsehbildes ausgewertet. Bei einer Fernsehanlage mit 875 Zeilen pro Bild enthält somit das Halbbild 437 Zeilen, von denen für den Bildinhalt des Gesamtbildes, 1 410 Zeilen ausnutzbar sind. Wenn man davon ausgeht, daß die nachgeschalteten Koordinatensteuerungen, mit denen der Halbleiterkörper verschoben wird, eine Genauigkeit von + 5 .um haben, muß die Auflösung der BiIdzeile ebenfalls bei Hr 5 ,um liegen, wenn die verlangte Justiergenauigkeit eine Größe von +10 ,um hat. Hieraus ergibt sich, daß der Zeilenabstand der erfaßten Bildzeile ca. 5 ,um groß sein muß. Bei der genannten Zuführgenauigkext des Halbleiterkörpers durch die Mechanik der Justieranlagen von jl· 100 ,um und einer Größe des zu erfassenden Kontaktierflecks 4 von 100 χ 100 ,um muß das abzutastende Bildfenster 3 eine Mindestgröße von 300 χ 300 ,um haben, damit die Justierstruktür 4 mit Sicherheit innerhalb des abzutastenden Bildfensters liegt. Bei einem Zeilenabstand von 5 ,um enthält somit das

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Bildfenster 3 in vertikaler Richtung 60 abzutastende Zeilen. Die Gesamtbildgröße beträgt bei 410 Zeilen mit einem Abstand von 5 ,um und einem Bildverhältnis von 4 : 3, 2,73 χ 2,05 mm. Die Optik für die Bilderfassung muß daher so gewählt werden, daß ein Bild dieser Größe von der Fernsehkamera wiedergegeben wird. Jede Bildzeile muß nun in Bildpunkte zerlegt werden, die gleichfalls einen Abstand von 5 ,um voneinander haben. Zur Abtastung einer Zeile stehen 35,5 ,us zur Verfügung, was einer abgebildeten Zeilenlänge von 2,73 mm entspricht. Dies bedeutet, daß jede Bildzeile in 546 Bildpunkte zerlegt wird. Der Abstand zweier Bildpunkte beträgt dann 6 5 ns. In den Bereich des Bildfensters 3 fallen von den gesamten 546 Bildpunkten jeder Zeile 60 Bildpunkte, wenn das Bildfenster eine Breite von 300 ,um aufweist. Da viele Datenverarbeitungsanlagen eine Wortbreite von 16 bit haben, wurde für den Bildausschnitt 3 eine Größe von 64 Zeilen χ 64 Bildpunkten gewählt, was einem Justierbereich von 320 χ 320 ,um entspricht.

Um jeden beliebigen Anschlußpunkt 4 des Halbleiterkörpers erfassen zu können, läßt sich das abzutastende Bildfenster 3 elektronisch an jede beliebige Stelle des Bildes bringen. Das Bildfenster wird durch eine Aufhellung des Bildes am Monitor sichtbar gemacht.

In der Figur 2 ist das Blockschaltbild der erfindungsgemäßen Justieranlage dargestellt. Die handelsübliche Fernsehkamera

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mit 875 Zeilen pro Bild erfaßt über ihre Optik 16 das Bild des zu justierenden Halbleiterbauelementes 2. Aus den bereits geschilderten Gründen wird die Vergrößerung der Optik 16 so gewählt, der Abstand zwischen 2 Zeilen 5 ,um beträgt. Durch eine Auflichtbeleuchtung 18 über einen halbdurchlässigen Spiegel 17 wird das Halbleiterbauelement 2 so beleuchtet, daß ein möglichst kontrastreiches Bild entsteht. Die Anschlußpunkte 4 (Figur 1) erscheinen tiefschwarz gegenüber der sie umgebenden Halbleiteroberfläche. Das Videosignal der Fernsehkamera wird einmal -dem Monitor 19 zugeführt, der das Bild von dem Halbleiterkörper wiedergibt, zum anderen einer Elektronik 21, die aus dem Videosignal den Impuls für den Beginn des zweiten Halbbildes und die Zeilenimpulse herausfiltert. Sobald der Impuls für den Beginn des zweiten Halbbildes erscheint, werden die nachfolgenden Zeilenimpulse auf einen Zeilenzähler 9 gegeben, der über einen Vorwahlschalter 7 auf die Zeilenzahl voreingestellt ist, bei der die Bildabtastung in vertikaler Richtung beginnen soll. Mit dem Vorwahlschalter kann somit die vertikale Lage des abzutastenden Bildaussschnittes eingstellt werden. Mit jedem Zeilenimpuls, der auf den Zeilenzähler 9 gelangt, wird der Zählerstand um 1 erniedrigt, bis die Stellung 0 erreicht ist. Dann zählt ein weiterer Zähler die abzutastenden 64 Zeilen, die in Bildpunkte zerlegt werden müssen. Nach diesen 64 Zeilenimpulsen ist die Abtastung in vertikaler Richtung beendet.

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Mit Beginn der ersten abzutastenden Zeile, die in den Bildausschnitt fällt, wird ein 15,38 MHz-Generator 11 eingeschaltet, der die Zeile in Bildpunkte von 65 ns Dauer zerlegt. Die Impulse des Taktgenerators 11 werden einem Zähler 10 zugeführt, der über den Zeilenimpuls durch einen Vorwahlschalter 8 auf den Bildpunkt voreingestellt wird, bei dem die Abtastung in horizontaler Richtung erfolgen soll. Somit wird über den Vorwahlschalter der Beginn des Bildausschnittes in horizontaler Richtung bestimmt. Mit jedem ankommenden Bildpunktimpuls einer Zeile wird nun der Zählerstand des Bildpunktzählers 10 um 1 erniedrigt, bis der Zählerstand 0 erreicht ist. Dann zählt ein weiterer Zähler die abzutastenden 64 Bildpunkte, die im Schieberegister 13 abgespeichert werden sollen. Nach Ende dieser 64 Zählerschritte ist eine Zeile abgetastet. Die Auswertelektroni^ 12 stellt nun fest, wenn gerade die 64 Bildpunkte einer Zeile abgetastet werden. Während dieser Zeit wird das 64stellige Schieberegister 13 zur Abspeicherung der Bildpunkte freigegeben. Der Schiebetaktimpuls für das Schieberegister wird vom Taktgenerator 11 bezogen. Während der Zeit, in der die Abtastung der Bildpunkte erfolgt, wird durch die Auswertelektronik die Helligkeit des Monitors geringfügig erhöht. Man erhält dadurch auf dem Monitor einen hell erleuchteten Bildausschnitt, der dem abgetasteten Bildausschnitt 3 (Figur 1) entspricht.

Während der Zeit, in der die 64 Bildpunkte abgetastet werden, wird nun, wie bereits erwähnt, das 64stellige Schieberegister

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zur Aufnahme des Informationsinhalts dieser Bildpunkte freigegeben. Um eine Schwarz-Weiß-Entscheidung für jeden Bildpunkt treffen zu können, wird das Videosignal von der Fernsehkamera einer Vergleichsschaltung 5 zugeführt, der ferner eine Vergleichsspannung 6 zugeführt wird, die die Schwelle für die Schwarz-Weiß-Entscheidung definiert. Der Komperator 5 gibt also immer dann, wenn das Videosignal den Schwellert der Vergleichsspannung überschreitet, ein Signal ab/ welches dem Wert "schwarz" entspricht. Bei Unterschreibung des Schweliwertes gibt der Komperator ein Signal ab, das dem Wert "weiß" entspricht. Den Werten "weiß" und "schwarz" wird nun jeweils eine binäre Größe "0" bzw. "1" zugeordnet.

Während der Abtastzeit wird nun alle 65 ns in das Schieberegister eine BinärgrÖ'ße eingeschrieben, die dem zu diesem Zeitpunkt jeweils am Ausgang des Komperators entstehenden Signalwert entspricht. Nach 64 Zählimpulsen sind im Schieberegister 13 die abgetasteten 64 Bildpunkte der entsprechenden Zeile gespeichert. Nach der Äbspeicherung der 64 Bildpunkte einer Bildzeile erhält der Computer 14 vpm der Auswertelektronik 12 einen Befehl zur Übernahme des Schieberegisterinhalts. Dieser wird dann über den schnellen Datenkanal in den Computer 14 übertragen. Auf.diese Weise werden alle 64 gewünschten Zeilen abgetastet und im Computer abgespeichert.

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Sind alle 64 Zeilen abgearbeitet, wird dies über die Auswertelektronik 12 der Rachananlage 14 gemeldet. Nun vergleicht der Computer das abgetastete Bild gemäß einem vorgegebenen Auswertprogramm mit der im Computer abgespeicherten Soll-Lage des Justierfeldes und berechnet aus den Unterschieden die Abweichung des Halbleiterbauelementes 1 von dieser Soll-Lage. Die ermittelten Abweichungen werden vom Computer auf eine X-Y-Koordinatensteuerung 15 übertragen, die Antriebsmotoran enthalten. Mit deren Hilfe wird nun der Halbleiterkörper in die gewünschte Soll-Lage transportiert, in der das Halbleiterbauelement dann weiteren Bearbeitungsschritten unterzogen werden kann.

Wenn der zu justierende Körper nicht nur in x-y-JRichtung justiert werden muß, sondern auch noch in einen Winkel ζ zu drehen ist, so wird die anhand der Figur 2 beschriebene Bilderfassungselektronik zweimal verwendet- Auf diese Weise ist es möglich, gleichzeitig zwei getrennte Bildausschnitte von zwei verschiedenen Justierstellen zu erfassen. Dies ist in der Figur 3 dargestellt. Es wird sowohl ein Bildausschnitt 3a als auch ein hiervon entfernt liegender Bildausschnitt 3b erfaßt _r digitalisiert und abgespeichert. Die beiden Ist-Bilder der Justierstrukturen 4, die wiederum beispielsweise von Kontaktflecken gebildet werden, werden in der Datenverarbeitungsanlage mit zwei Soll-Bildern dieser Strukturen

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verglichen. Aus dem Vergleich wird dann sowohl die notwenidge Verschiebung des Ist-Bildes in x-y-Richtung als auch der erforderliche Drehwinkel berechnet, über eine Koordinatensteuerung werden dann die ermittelten Bewegungen ausgeführt.

Beide Bildausschnitte werden vorzugsweise dem gleichen Halbbild entnommen. In der Figur 4 ist das vereinfachte Blockschaltbild dargestellt. Erforderlich ist wiederum eine Fernsehkamera 20, die über eine Optik 16, einen Spiegel 17 und die Beleuchtungsquelle 18 ein Bild von dem Halbleiterbauelement bzw. dem integrierten Schaltkreis 2 aufnimmt und an einen Monitor 19 bzw. an die beiden Bilderfassungssysteme 23 und 24 abgibt. Die digitalisierten Bildausschnitte werden wiederum in einen Computer 16 eingegeben und dort mit den Soll-Lagen beider Bilder mit Hilfe eines entsprechenden Auswertprogramms verglichen. Aus den Abweichungen werden die erforderlichen Steuerungsbefehle für die Koordinatensteuerung in x-y- und z-Richtung errechnet. Die Verschiebung des Halbleiterkörpers buw. der den Halbleiterkörper tragenden unterlage erfolgt über entsprechend angetriebene Steuermotoren.

Das erfindungsgemäße Justierverfahren kann praktisch für die Lösung sämtlicher Justierprobleme verwendet werden. Die jeweils

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gewählten Auflösungsverhältnisse und die Größe der Bildfenster müssen dann den Gegebenheiten angepaßt werden. In der Halbleitertechnik kann das vorgeschlagene Justierverfahren zur Einjustierung der Halbleiterkörper bzw. Halbleiterscheiben auf die für die Bearbeitung der Halbleiterbauelemente vorgesehenen Bearbeitungsmittel buw. Kontaktierungsmittel verwendet werden.

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Claims

Patentansprüche

1) Verfahren zum Einjustieren eines Körpers auf eine Soll-Lage, dadurch gekennzeichnet, daß von der Ist-Lage wenigstens eine Justierstelle des Körpers ein Bild erzeugt und dieses Bild in Bildpunkte zerlegt wird, deren Abstand kleiner ist als die geforderte Justiergenauigkeit, daß der Informationsinhalt dieser Bildpunkte digitalisiert und abgespeichert
wird, daß in einer Datenverarbeitungsanlage, die die Soll-Lage der Justierstelle gleichfalls in digitalisierter Form abgespeichert enthält, Ist- und Soll-Lage der Justierstelle miteinander verglichen und Abweichungen errechnet werden

und daß dann der zu justierende Körper um das Maß der Abweichungen mit Hilfe von über die Datenverarbeitungsanlage gesteuerten Bewegungsvorrichtungen verschoben wird.

2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
vom dem zu justierenden Körper ein Fernsahbild erzeugt
wird und von diesem Fernsehbild nur der Bildausschnitt, der die Justierstelle enthält, digitalisiert und abgespeichert wird.

3) Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Fernsehbild zur visuellen Kontrolle mit Hilfe eines Monitors wiedergegeben wird.

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4) Verfahren nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Bildausschnitt so groß gewählt wird, daß bei Beachtung der Zuführgenauigkeit des zu justierenden Körpers in die Justieranlage die Justierstelle mit Sicherheit innerhalb des Bildausschnittes liegt.

5) Verfahren nach Anspruch 2 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß nur der Bildausschnitt aus einem Halbbild oder Fernsehbild digitalisiert wird.

6) Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß aus den von der Fernsehkamera abgegebenen Impulsen die Zeilenimpulse und der Startimpuls für das eine Halbbild ausgefiltert wird und die Zeileninoulse nach dem Startimpuls für das vorbestimmte Halbbili. auf einen Zeilenzähler gegeben werden, der erst ab einer durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Zeilenzahl die Abspeicherung eines Teils der Bildpunkte einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Zeilen auslöst.

7) Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildzeilen, von denen ein Teil abgespeichert werden soll, mit Hilfe eines Taktgenerators in Bildpunkte zerlegt werden, daß dem Taktgeber ein Bildpunktzähler nachgeschaltet wird, der erst ab einer durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Bildpunktzahl jeder Zeile die Abspeicherung einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Bildpunkte auslöst.

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8) Verfahren nach Anspruch 6 und 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildpunkte dadurch abgespeichert werden, daß während der Abtastzeit des Bildausschnittes das Bildsignal auf einen Komperator gegeben wird, in dem die der Bildhelligkeit entsprechende Spannung mit einer Vergleichsspannung derart verglichen wird, daß bei einer Untersehreitung der VergleichsSpannung der Informationsinhalt des Bildes mit dem einen binären Wert wiedergegeben und bei Überschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildpunkttes mit dem anderen binären Wert wiedergegeben wird.

9) Verfahren nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß der einer "Schwarz-Weiß"-Information entsprechende digitalisierte Informationsinhalt der abzuspeichernden Bildpunkte einer Bildzeile in ein Schieberegister mit entsprechender Stellenzahl eingeschrieben wird, daß nach der Abspeicherung der Bildpunkte jeder Zeile der Informationsinhalt des Schieberegisters in einen Computer übertragen wird und daß nach der Übertragung der Bildpunkte aller abzuspeichernden Bildzeilen im Computer der abgespeicherte Gesamtinhalt des Ist-Bildes mit dem gleichfalls abgespeicherten Gesamtbild des Soll-Bildes verglichen, die Abweichungen errechnet und diese in eine entsprechende Verschiebung des zu justierenden Körpers umgesetzt wird.

10) Verfahren nach einem der vorangehenden Patentansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß zur Feststellung von Winkelab-

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weichungen der Ist-Lage von der Soll-Lage aus dem von der Fernsehkamera aufgenommenden Gesamtbild zwei voneinander möglichst weit entfernte Bildausschnitte digitalisiert und abgespeichert werden und im Computer aus dem Vergleich mit den beiden Soll-Lagen im Bereich der Justierstellen Winkelabweichungen ermittelt und diese in eine Drehbewegung des zu justierenden Körpers umgesetzt werden.

11) Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Bildausschnitt aus dem ersten Halbbild des Fernsehbildes entnommen und digitalisiert wird, während der andere Bildausschnitt ebenfalls dem ersten der dem nachfolgenden zweiten Halbbild des Fernsehbildes entnommen und gleichfalls digitalisiert abgespeichert wird.

12) Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet, durch seine Verwendung zur Einjustierung von Halbleiterkörpers auf für die Bearbeitung der Halbleiterkörpern vorgesehenen Bearbeitungsmittel.

13) Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, gekennzeichnet durch seine Verwendung zur Einjustierung der Kontaktstellen von Halbleiterbauelementen auf Kontaktierungsmittel.

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