DE3837042A1 - Vorrichtung zum positionieren von materialien in einem kraftfeld - Google Patents
Vorrichtung zum positionieren von materialien in einem kraftfeldInfo
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- B23Q15/20—Automatic control or regulation of feed movement, cutting velocity or position of tool or work before or after the tool acts upon the workpiece
- B23Q15/22—Control or regulation of position of tool or workpiece
- B23Q15/24—Control or regulation of position of tool or workpiece of linear position
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Description
Die Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zum Positio
nieren von Materialien in einem Kraftfeld, das auf akustische,
elektrische oder dynamische Weise zwischen mindestens zwei
Kraft erzeugenden Einheiten aufgebaut wird, wobei die Position
der Materialien mittels mindestens einer Lichtquelle und
Detektoren erfaßt wird, wobei die von Detektoren erfaßten
Ist-Werte an einer Auswerteeinheit weitergeleitet werden, die
die Materialien von einer erfaßten Ist-Wertposition in die
gewünschte Soll-Wertposition bringt.
Es ist bereits eine Vorrichtung zum Positionieren von Materia
lien der eingangs aufgeführten Art allgemein bekannt die
Materialien mittels einer Halbleiterkamera detektiert werden,
wobei die von der Kamera erfaßten Ist-Werte an eine elektri
sche Auswerteeinheit weitergeleitet werden. Die Auswerteein
heit ist mit einem Mikroprozessor ausgestattet, der die Ab
stände der Elektroden zu der Probe ermittelt und die Ge
schwindigkeit der Probe bestimmt und dann entscheidet, welche
der vier Elektroden auf Hochspannung geschaltet werden soll,
um die Probe in die gewünschte Position zu bringen. Eine
derartige Positionsbestimmung erfolgt alle 20 Millisekunden
durch eine CCD-Kamera. Dadurch, daß erst nach dem Abtasten
eines Halbbildes die Koordinaten bestimmt werden können, gibt
es eine Totzeit. Um diese Totzeit einigermaßen auszuregeln,
wurde bisher ein Filter nachgeschaltet. Alle diese Maßnahmen
ergaben letztlich, daß die Position einer schwingenden Probe
nur bis zu einer Frequenz von ca. 5 kHz mit einem Phasen
fehler < 20° bestimmt werden konnte. Wird beispielsweise bei
einer derartigen Positionsbestimmung der Phasenfehler größer
als 20° so wird die Regelung instabil, so daß dann die Probe
bzw. das Material nicht mehr in der gewünschten Position
gehalten werden kann.
Demgegenüber liegt der Erfindung die Aufgabe zugrunde, die
Vorrichtung zum Positionieren von Materialien derart auszu
bilden und anzuordnen, daß die Materialpositionen wesent
lich schneller erfaßt werden kann, um diese dann in die
gewünschte Sollwert-Position zu bringen. Die Verwendung von
Foto-empfindlichen Bauelementen vermindert die Totzeiten, da
diese Lichtschwankungen in Mikrosekunden erfassen können, um
diese über die Auswerteeinrichtung die exakte und sehr
schnelle Positionierung des Materials herbeizuführen. Hierzu
besteht die elektrische Auswerteeinheit aus einem elektro
nischen Baustein, der die unterschiedlichen Helligkeitswerte
der Fotodioden erfaßt, um die daraus resultierenden Positions
informationen an einen PID-Regler weiterleitet, der den Ist-
Wert mit einem Soll-Wert vergleicht und die daraus resultie
rende Regelgröße an eine Hochspannungsstufe weitergibt, deren
Ausgangssignal an mindestens eine Elektrode weitergegeben
wird. Durch die Verwendung des PID-Reglers ist es möglich, den
HS-DC/DC-Wandler direkt anzusteuern. Hierzu ist es vorteil
haft, daß die Hochspannungsstufe aus einem Hochspannungswand
ler und einem Hochvoltverstärker besteht, die über eine erste
und zweite Frequenzweiche gekoppelt werden. Die Verwendung der
Hochspannungsstufe und der parallel dazu gestaltete Hochvolt
verstärker gestattet es, daß der Hochspannungswandler ein
langsames, eine hohe Spannung aufweisendes Signal erzeugt und
der Hochvoltverstärker ein kleines, aber schnell auf Eingangs
änderungen reagierendes Signal erzeugt. Die aus dem Hoch
spannungswandler und dem Hochvolt-Verstärker abgegebenen
Signale werden über die Frequenzweiche zusammengeführt und
dann mindestens an eine Elektrode abgegeben, die dann die
Ausrichtung des Materials bewirkt. In vorteilhafter Weise
können die Elektroden als Platten, als Kugeln oder als Ringe
ausgebildet sein.
In weiterer Ausgestaltung der Erfindung ist es vorteilhaft,
daß zur multiaxialen Positionierung des Materials mindestens
zwei elektronische Bausteine und mindestens zwei Detektoren
vorgesehen sind.
Ferner ist es möglich, daß dem elektrischen Baustein
mindestens vier Hochspannungsstufen nachgeschaltet sind, wobei
zwischen den elektrischen Bausteinen und der Hochspannungs
stufe ein Prozeßrechner vorgesehen ist, der die Regelgröße aus
der sich fortlaufend ändernden Position des Materials erfaßt,
und die Hochspannungsstufen ansteuert. Eine derartige
Anordnung eignet sich insbesondere zur Positionierung von
Materialien, beispielsweise in einem Spacelab.
Im folgenden wird die Erfindung anhand von einen Ausführungs
weg darstellenden Zeichnungen näher erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine schematische Darstellung der Vorrichtung zum
Positionieren von Materialien in einem Kraftfeld;
Fig. 2 die aus Fotodioden gebildeten Detektoren mit einem
elektrischen Baustein;
Fig. 3 eine Anordnung von jeweils vier Elektroden einer
multiaxialen Positionierungsvorrichtung;
Fig. 4 bis 6 das Schattenbild des Materials auf den ein
zelnen Dioden;
Fig. 7 bis 8 verschiedene Ausführungsformen der Dioden;
Fig. 9 eine schematische Anordnung eines einachsigen Po
sitionierers mit den beiden Elektroden und der
Probe sowie einer Beleuchtungseinrichtung.
In der Zeichnung ist in Fig. 9 eine Vorrichtung zum Positio
nieren von Materialien in einem Kraftfeld dargestellt, das
einen Positionssensor 10 aufweist, der gemäß Fig. 4 bis 8 und
Fig. 2 aus mindestens vier Foto-empfindlichen Bauelementen bzw.
Fotodioden 12 besteht, die die Lage des Schattens des
Materials bzw. der Probe 14 registrieren und den aufgrund des
Helligkeitswertes erfaßten Ist-Wert dann einen elektronischen
Baustein 20 weitergibt, der die unterschiedlichen Helligkeits
informationen auswertet und die sich daraus resultierenden X
bzw. Y-Positionen an einen PID-Regler (Proportional-Integral-
Differential-Regler) weitergibt. Der PID-Regler 22 bildet mit
einer Hochspannungsstufe 8 die elektrische Auswerteeinheit 16.
Der von dem PID-Regler 22 erfaßte Ist-Wert aus dem
elektrischen Baustein 20 wird mit einem Soll-Wert verglichen
und die daraus resultierende Regelgröße an die Hochspannungs
stufe 8 weitergegeben.
Die Hochspannungsstufe 8 besteht aus einem Hochspannungs
wandler 40 und einem Hochvoltverstärker 30, die über eine
erste Frequenzweiche 50 und eine zweite Frequenzweiche 52
gekoppelt sind. Der Hochspannungswandler 40 erzeugt ein lang
sames, eine hohe Spannung aufweisendes Signal während der
Hochvolt-Verstärker 30 ein kleines aber schnelles auf
Eingangsänderungen reagierendes Signal erzeugt. Die aus dem
Hochspannungswandler 40 und aus dem Hochvoltverstärker 30 aus
tretenden Signale werden über die Frequenzweiche 52 zusammen
geführt und addiert.
Die Frequenzweiche 50 besteht aus einem Widerstand 54, der an
Masse 56 angelegt ist und der über einen Kondensator 58 mit
dem PID-Regler 22 und den Hochspannungswandler 40 verbunden
ist. Ferner ist die Frequenzweiche an den Hochvoltverstärker
30 angeschlossen. Die Frequenzweiche 52 besteht aus mindestens
einem Kondensator 60, dem jedoch auch ein zweiter oder mehrere
Kondensatoren 62 nachgeschaltet werden können. Ferner weist
die Frequenzweiche 52 mindestens einen Widerstand 64 auf. Wie
aus Fig. 1 ferner hervorgeht, sind zwischen den Kondensatoren
60 bzw. 62 und dem Hochvoltverstärker 30 Schutzdioden 68
vorgesehen.
Im Bereich der Detektoren bzw. der Fotodioden 12 befinden sich
mindestens zwei Elektroden 2, wobei die eine Elektrode 2 an
Masse 56 angelegt sein kann und die andere Elektrode 2 über
einen Schutzwiderstand 66 an die Frequenzweiche 52
angeschlossen ist.
Wie aus Fig. 9 hervorgeht, wird die Probe 14 mittels einer
Lichtquelle 70 beleuchtet, die in vorteilhafter Weise aus einer
Lasereinrichtung bestehen kann. Die Lasereinrichtung weist
eine Laserdiode 72, einen Kollimator 74, einen Spiegel 76 auf.
Über den Spiegel 76 wird das parallele Lichtbündel 80 auf die
Probe 14 geleitet, die einen Schatten 14′ bildet. Der Schatten
14′ wird von den in Fig. 4 bis 8 dargestellten Fotodioden 12
erfaßt und, wie bereits beschrieben, an den elektronischen
Baustein über die elektrischen Signale weitergegeben.
In Fig. 3 ist ein multiaxialer Positionierer dargestellt, wobei
der rechte Positionierer 90′ um 90° aus der Ebene gezeichnet
ist. Die einzelnen Elektroden 2 des Positionierers 90 sind
jeweils tetraederförmig angeordnet. Die in Fig. 9 dargestellte
Lichtquelle 70 sowie der Positionssensor 10 sind zweimal
vorgesehen, so daß die Probe bzw. das Material 14 und ein
Winkel von 90° beobachtet werden kann. Die elektrischen
Bausteine 20, die auch zweimal vorhanden sein müssen, liefern
drei Raumkoordinaten. Die elektrostatische Positionierung wird
von beispielsweise vier kugelförmig ausgebildeten Elektroden 2
vorgenommen. Diese sind tetraederförmig angeordnet und werden
von vier getrennten Hochspannungsstufen 8 angesteuert. Als
Verbindung zwischen den gemessenen Raumkoordinaten und der
Hochspannungsansteuerung kann eine Analogelektronik oder ein
Prozeßrechner (Mikroprozessor) dienen. Der Prozeßrechner 92
ist in Fig. 1 in gestrichelten Linien dargestellt und nur bei
einer derartigen Anordnung notwendig. Diese Elektronik bzw.
dieser Prozeßrechner 92 beinhaltet die Funktion des PID-
Reglers und der Koordinatentransformation.
Die Anordnung der einzelnen Elektroden 2 ist, wie bereits
dargestellt, aus der Sicht des optischen Meßsystems in Fig. 3
wiedergegeben.
Wortliste
2 Elektrode
8 Hochspannungsstufe
10 Positionssensor bzw. Detektoren
12 Fotodiode (Bauelemente)
14 Material
16 Auswerteeinheit
14′ Schatten des Materials
20 elektronischer Baustein
22 PID-Regler
30 Hochvoltverstärker
40 Hochspannungswandler
50 1. Frequenzweiche
52 2. Frequenzweiche
54 Widerstand
56 Masse
58 Kondensator
60 Kondensator
62 Kondensatoren
64 Widerstand
66 Schutzwiderstand
68 Schutzdioden
70 Lichtquelle
72 Laserdiode
74 Kollimator
76 Spiegel
80 parallele Lichtbündel
90 multiaxialer Positionierer
92 Prozeßrechner
8 Hochspannungsstufe
10 Positionssensor bzw. Detektoren
12 Fotodiode (Bauelemente)
14 Material
16 Auswerteeinheit
14′ Schatten des Materials
20 elektronischer Baustein
22 PID-Regler
30 Hochvoltverstärker
40 Hochspannungswandler
50 1. Frequenzweiche
52 2. Frequenzweiche
54 Widerstand
56 Masse
58 Kondensator
60 Kondensator
62 Kondensatoren
64 Widerstand
66 Schutzwiderstand
68 Schutzdioden
70 Lichtquelle
72 Laserdiode
74 Kollimator
76 Spiegel
80 parallele Lichtbündel
90 multiaxialer Positionierer
92 Prozeßrechner
Claims (6)
1. Vorrichtung zum Positionieren von Materialien (14) in
einem Kraftfeld, das auf akustische, elektrische oder
dynamische Weise zwischen mindestens zwei Kraft erzeugenden
Einheiten aufgebaut wird, wobei die Position der Materia
lien (14) mittels mindestens einer Lichtquelle (70) und
Detektoren (10) erfaßt wird, wobei die von den Detektoren
(10) erfaßten Ist-Werte an eine Auswerteeinrichtung (16)
weitergeleitet werden, die die Materialien (14) von einer
erfaßten Ist-Wert-Position in die gewünschte Soll-Wert-
Position bringt, dadurch gekennzeichnet, daß die Detektoren
(10) als Foto-empfindliche Bauelemente (12) ausgebildet
sind, die unterhalb einer Zeit von kleiner als 10-3 Sec.
die Änderung der Lichtintensität erfaßt und der Auswerte
einrichtung (16) zuführt.
2. Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß
die elektrische Auswerteeinheit (16) aus einem elektro
nischen Baustein (20), der die unterschiedlichen Hellig
keitswerte, der Fotodioden (2) erfaßt und die daraus re
sultierenden Positionsinformationen an einen PID-Regler
(22) weiterleitet, der den Ist-Wert mit einen Soll-Wert
vergleicht und die daraus resultierende Regelgröße an eine
Hochspannungsstufe (8) weitergibt, deren Ausgangssignal an
mindestens eine Elektrode (2) weitergegeben wird.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß
die Hochspannungsstufe (8) aus einem Hochspannungswandler
(40) und einem Hoch-Volt-Verstärker (30) besteht, die über
eine erste Frequenzweiche (50) und eine zweite Frequenz
weiche (52) gekoppelt wird.
4. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die
Elektroden (2) als Platte, als Kugeln oder als Ring ausge
bildet sein können.
5. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zur
multiaxialen Positionierung des Materials mindestens zwei
elektronische Bausteine (20) und mindestens zwei Detektoren
(10) vorgesehen sind.
6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß dem
elektrischen Baustein (20) mindestens vier Hochspannungs
stufen (8) nachgeschaltet sind, wobei zwischen dem elek
trischen Baustein (20) und der Hochspannungsstufe ein
Prozeßrechner (92) vorgesehen ist, der die sich fortlaufend
ändernde Position des Materials erfaßt und die Hoch
spannungsstufen (8) ansteuert.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19883837042 DE3837042A1 (de) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | Vorrichtung zum positionieren von materialien in einem kraftfeld |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19883837042 DE3837042A1 (de) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | Vorrichtung zum positionieren von materialien in einem kraftfeld |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE3837042A1 true DE3837042A1 (de) | 1990-05-03 |
Family
ID=6366248
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19883837042 Withdrawn DE3837042A1 (de) | 1988-10-31 | 1988-10-31 | Vorrichtung zum positionieren von materialien in einem kraftfeld |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE3837042A1 (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0545788A1 (de) * | 1991-12-03 | 1993-06-09 | Framatome | Verfahren und Anordnung zur Positionierung eines Werkzeugs gegenüber der Achse einer Rohr |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2231776A1 (de) * | 1972-06-29 | 1974-01-24 | Licentia Gmbh | Lichtschranke zur messung der lage oder abmessung von gegenstaenden |
DE2907648A1 (de) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Canon Kk | Justiergeraet |
DE2934603A1 (de) * | 1978-08-30 | 1980-03-06 | Dainippon Screen Mfg | Verfahren und vorrichtung zur photoelektrischen positionierung eines gegenstands unter bezug auf eine ausrichtmarkierung |
DE2910580A1 (de) * | 1979-03-17 | 1980-09-18 | Texas Instruments Deutschland | Ausrichtvorrichtung |
DE2311676B2 (de) * | 1973-03-09 | 1980-10-30 | Intermadox Ag, Zug (Schweiz) | |
US4679940A (en) * | 1984-08-01 | 1987-07-14 | Hamar M R | Control system for a continuous cell target readout in a laser measurement system |
US4720631A (en) * | 1985-12-12 | 1988-01-19 | The Laitram Corporation | Electro-optical compass card wherein transmissive member has random patterns that repeat for particular rotational positions |
DE3211928C2 (de) * | 1981-04-03 | 1988-01-21 | N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven, Nl | |
EP0263261A1 (de) * | 1986-09-05 | 1988-04-13 | BBC Brown Boveri AG | Optoelektronischer Wegaufnehmer |
DE3720294C1 (de) * | 1987-06-19 | 1988-09-08 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Optoelektrischer Positionierungs-Abgriff |
-
1988
- 1988-10-31 DE DE19883837042 patent/DE3837042A1/de not_active Withdrawn
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2231776A1 (de) * | 1972-06-29 | 1974-01-24 | Licentia Gmbh | Lichtschranke zur messung der lage oder abmessung von gegenstaenden |
DE2311676B2 (de) * | 1973-03-09 | 1980-10-30 | Intermadox Ag, Zug (Schweiz) | |
DE2907648A1 (de) * | 1978-02-27 | 1979-09-06 | Canon Kk | Justiergeraet |
DE2934603A1 (de) * | 1978-08-30 | 1980-03-06 | Dainippon Screen Mfg | Verfahren und vorrichtung zur photoelektrischen positionierung eines gegenstands unter bezug auf eine ausrichtmarkierung |
DE2910580A1 (de) * | 1979-03-17 | 1980-09-18 | Texas Instruments Deutschland | Ausrichtvorrichtung |
DE3211928C2 (de) * | 1981-04-03 | 1988-01-21 | N.V. Philips' Gloeilampenfabrieken, Eindhoven, Nl | |
US4679940A (en) * | 1984-08-01 | 1987-07-14 | Hamar M R | Control system for a continuous cell target readout in a laser measurement system |
US4720631A (en) * | 1985-12-12 | 1988-01-19 | The Laitram Corporation | Electro-optical compass card wherein transmissive member has random patterns that repeat for particular rotational positions |
EP0263261A1 (de) * | 1986-09-05 | 1988-04-13 | BBC Brown Boveri AG | Optoelektronischer Wegaufnehmer |
DE3720294C1 (de) * | 1987-06-19 | 1988-09-08 | Messerschmitt Boelkow Blohm | Optoelektrischer Positionierungs-Abgriff |
Non-Patent Citations (3)
Title |
---|
- DE-Buch: NAUMANN, H., SCHRÖDER, G.: Bauelemente der Optik, Carl Hanser Verlag München-Wien, 1983, S. 559, 560 * |
DE-Buch: Monographie: SCHMIDT, W., FEUSTEL * |
O.: Optoelektronik - kurz und bündig, Vogel-Verlag, 1975, S. 70, 71 und 80,81 * |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0545788A1 (de) * | 1991-12-03 | 1993-06-09 | Framatome | Verfahren und Anordnung zur Positionierung eines Werkzeugs gegenüber der Achse einer Rohr |
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Legal Events
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OM8 | Search report available as to paragraph 43 lit. 1 sentence 1 patent law | ||
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