DE2643810C2 - Verfahren zum Einjustieren - Google Patents
Verfahren zum EinjustierenInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Einjustieren der Anschlußkontakte eines Halbleiterbauelementes auf
die Kontaktfinger eines Kontaktierungsstreifens gemäß
dem Oberbegriff des Anspruches 1.
Ein derartiges Verfahren ist beispielsweise aus der US-PS 35 81 375 bekannt Dort werden die Lage eines
Halbleiterchips und die Lage einer vom Halbleiterchip weit entfernten Vertiefung in einem Substrat durch
optische Abtastung dreier Achsen ermittelt. Die Halbleiterchips werden dann zu einer Korrekturvorrichtung
transportiert und dort entsprechend den gemessenen Abweichungen von der Soll-Lage in eine
neue Lage einjustiert. Chip und Substrat werden dann zu einer dritten Station transportiert und dort
zusammengesetzt
Ferner ist aus »IBM Technical Disclosure Bulletin«, VoL 17, No. 10, März 75, S. 2890—2892, ein Justiersystem
bekannt, bei dem eine Justiermarke optisch auf eine Photodiodenmatrix abgebildet und durch Abfragen
der Diodenmatrix Abweichungen von der Scll-Lage der Justiermarke ermittelt werden. Diese Abweichungen
werden in Steuerbefehle für einen Kreuztisch umgesetzt der die Justiermarke in die Soll-Lage bringt
Die bei dem aus der US-PS 35 81 375 bekannten Verfahren benötigte große Anzahl von Transportwegen
bedingt unerwünschte Justierfehler. Ferner können weitere Fehler durch die relativ komplizierte optische
Abtastung in drei Achsen an weit voneinander entfernten Stellen auftreten.
Der Erfindung liegt daher die Aufgabe zugrunde, das Verfahren gemäß dem Oberbegriff des Anspruchs 1 so
weiterzubilden daß es bei vergrößerter Justiergenauigkeit mit nur einem optischen Erfassungssystem auskommt
Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruchs 1 gelöst
Die gezielte Dejustage ist notwendig, um zu verhindern, daß der Kontaktfinger den Anschlußkontakt
teilweise überdeckt, da sonst die exakte Lage der beiden zu justierenden Teile nicht eindeutig bestimmbar
wäre.
Das erfindungsgemäße Verfahren hat den Vorteil, daß es vollautomatisch abläuft und eine visuelle
Beobachtung des Justiervorganges nicht mehr unbedingt erforderlich ist Mit dem beschriebenen Verfahren
können besonders vorteilhaft integrierte Halbleiterschaltkreise auf sogenannte Kontaktierungsstreifen
einjustiert werden, die für jeden Anschlußkontakt einen streifenförmigen Kontaktfinger enthalten. Nach der
Justierung ist es möglich, in einem Arbeitsprozeß alle Anschlußkontakte des Schaltkreises gleichzeitig mit den
zugeordneten Kontaktfingern zu verbinden. Diese Kontaktierung wird vorzugsweise in der auch der
Justierung dienenden Anlage durchgeführt.
Die zu verarbeitenden Bildfenster des aufgenommenen Fernsehbildes müssen so groß gewählt werden, daß
bei Beachtung der Zuführgenauigkeit der zu justierenden Teile in die Justieranlage jede Justierstelle mit
Sicherheit innerhalb des zugeordneten Bildfensters liegt. In jedem Bildfenster muß somit eine Struktur der
aufeinander einzujustierenden Teile erscheinen. Die gewünschte Deckungslage der beiden Justierstellen ist
in der Datenverarbeitungsanlage als Sol'-Lage abge- ι
speichert. Die nun in den Bildfenstern erscheinenden Ist-Lagen werden mit Hilfe des neuen Verfahrens mit
der Soll-Lage verglichen und die bei diesem Vergleich ermittelten Abweichungen werden durch die Datenverarbeitungsanlage
errechnet und danach unter Berück- ι sichtigung der vorgenommenen definierten Dejustage
beider Teile in eitie entsprechende relative Verschiebung derTeile zueinander umgesetzt.
Das Fernsehbild kann zur visuellen Kontrolle, die jedoch nicht unbedingt erforderlich ist, mit Hilfe eines
Monitors wiedergegeben werden. Innerhalb dieses Fernsehbildes werden dann die zu digitalisierenden und
abzuspeichernden Bildfenster vorzugsweise aufgehellt wiedergegeben, so daß ein eventueller Beobachter stets
feststellen kann, ob die als Justierhilfen herangezogenen Strukturen der beiden zu justierenden Teile in je einem
Bilfenster liegen. Dies ermöglicht eine Kontrolle der Zuführgenauigkeit der zu justierenden Teile in die
JustieranJage sowie eine Überprüfung der gezielten Dejustage.
Ein Fernsehbild besteht aus zwei Halbbildern, wobei das erste Halbbild nur die ungeraden Zeilenzahlen des
Fernsehbildes enthält während im zweiten Halbbild dann die geraden Zeilenzahlen wiedergegeben werden.
Es hat sich gezeigt daß es zur Durchführung des erfindungsgemäßen Verfahrens ausreicht, wenn nur die
Bildfenster aus einem der beiden Halbbilder des Fernsehbildes digitalisiert werden. Auf diese Weise
kann das Jujtierverfahren beschleunigt werden, da nicht
erst die Abtastung des zweiten HalLiildes abgewartet
werden muß. Im Bildfenster für den Halbleiterkörper ist
vorzugsweise ein metallischer Anschlußkontakt und dessen unmittelbare Umgebung enthalten, während das
zweite Bildfenster das äußere freie Ende eines Kontakt'ingers und dessen unmittelbare Umgebung
erfaßt
Jedem der beiden Bildfenster ist eine Bilderfassungselektronik zugeordnet, die jeweils durch den Startimpuls
des zugeordneten Halbbildes in Betrieb gesetzt wird.
Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren ist vorgesehen, daß aus den von der Fernsehkamera abgegebenen
Impulsen die Zeilenimpulse und die Siartimpulse für die Halbbilder ausgefiltert werden und die Zeilenimpulse
nach dem Startimpuls für das vorbestimmte Halbbild auf einen Zeilenzähler gegeben werden. Dieser
Zeilenzähler löst erst ab einer durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen Zeilenzahl die Abspeicherung
eines Teils der Bildpunkte einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Zeilen aus. Dies ist deswegen nötig, da ja
nur uie Zeilen des Fernsehbildes, die in das Bildfenster
fallen, abgefragt werden sollen. Die so ausgewählten Bildzeilen, von denen nun ein Teil abgespeichert werden
muß, werden mit Hilfe eines Taktgenerators in Bildpunkte zerlegt. Dem Taktgenerator wird ein
Bildpunktzähler nachgeschaltet, der erst nach einer wiederum durch einen Vorwahlschalter vorgegebenen
Bildpunktzah! jeder Zeile die Abspeicherung einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Bildpunkte auslöst
Dieses Abzählen der Bildpunkte ist nötig, da wiederum nur die in das Bildfenster fallenden Bildpunkte
digitalisiert und abgespeichert werden sollen.
Um j>;n Informationsinhalt der Bildpunkte abspeichern
zu können, muß dem jeweiligen Helligkeitswert jedes Bildpunktes eine binäre Größe zugeordnet
werden. Dies geschieht dadurch, daß bis zu einer bestimmten Helligkeit ein Bildpunkt als »schwarz«
deklariert wird jnd mit der einen binären Größe versehen wird, während ein Bildpunkt, dessen Helligkeit
den gewählten Schwellwert übersteigt, als »weiß« gilt und mit der anderen binären Größe versehet, wird.
Hierzu wird während der Abtastzeit des Bildfensters das Bildsignal auf einen Komparator gegeben, indem die
der Bildhelligkeit entsprechende Spannung mit einer Vergleichsspannung, die dem Schwellwert entspricht,
derart verglichen wird, daß bei einer Unterschreitune
der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildes dem einen binären Wert entspricht und bei
Überschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildpunktes dem anderen binären Wert
»0« oder »1« entspricht. Der somit einer »Schwarz-Weiß-Information« entsprechende digitalisierte Informationsinhalt
der abzuspeichernden Bildpunkte einer Bildzeile wird in ein Schieberegister mit entsprechender
Stellenzahl eingeschrieben. Nach der Abspeicherung der Bildpunkte jeder Zeile wird dann der Informationsinhalt
des Schieberegisters, der aus einer Serie von »0«- und »!«-Werten besteht, in einen Computer übertragen.
Nach der Übertragung der Bildpunkte aller abzuspeichernden Bildzeilen wird im Computer der abgespeicherte
Gesamtinhalt des Ist-Bildes mit dem gleichfalls abgespeicherten Gesamtbild des Soll-Bildes
verglichen. Mit Hilfe eines in den Computer einzugebenden Programms werden nun die Abweichungen
zwischen den Ist-Bildern und dem Soll-Bild errechnet und diese in eine entsprechende Verschiebung der zu
justierenden Körper umgesetzt, wobei die vorgenommene gezielte Dejustage rückgängig gemacht wird.
Die Erfindung und ihre weitere vorteilhafte Ausgestaltung soll im weiteren noch anhand eines Ausführungsbeispieles
näher erläutert werden.
Anhand der F i g. 1 und 2 wird zunächst erläutert, wie eine Justierstelle, und zwar der Anschlußkontakt auf
dem Halbleiterbauelement, erfaßt, abgespeichert und mit einer zugeordneten Soll-Lage verglichen wird.
Durch entsprechende Beleuchtung des Halbleiterbauelements kann man erreichen, daß sich der
Anschlußkontakt sehr deutlich von seiner Umgebung abhebt. Ist zum Beispiel die Umgebung hell, der
Anschlußkontakt dunkel, so genügt es. zur Digitalisierung des Bildes den Bildinhalt des Fernsehsignals mit
einer »Schwarz-Weiß-Schwelle« zu vergleichen.
Zur Erzeugung des Fernsehbildes wird beispielsweise
:ui: I
ι ]~i~:*.ui:~u~
875 Zeilen pro Bild verwendet, die über eine Optik mit der gewünschten Vergrößerung das Bild des zu
justierenden Halbleiterbauelementes erfaßt. Da die Kantenlänge von Halbleiterbauelementen bzw. integrie.
ten Schaltkreisen nur wenige mm beträgt, wird die Vergrößerung der Optik beispielsweise so eingestellt,
daß 200 Bildzeilen einen Bildbereich von 1 mm Breite überstreichen. In der Fig. 1 is: nun das Gesamtbild ί
dargestellt, das von der Fernsehkamera erfaßt wird. Dieses Gesamtbild enthält ein Halbleiterbauelement 2
(beispielsweise einen integrierten Halbleiterschaltkreis), das an der abgebildeten Oberfläche zahlreiche An-Schlußkontakte
4 aufweist. Es genügt, wenn mit Hilfe einer entsprechenden Justieranlage einer dieser Anschlußkontakte
4 in eine vorgegebene Soll-Lage gebracht wird. Wenn diese Justierung mit hinreichender
Genauigkeit erfolgt, werden mit ihr auch alle übrigen Anschlußkontakte in die erforderliche Lage gebracht
Mit den heute üblichen technischen Hilfsmittel ist es möglich, ein Halbleiterbauelement oder einen integrierten
Schaltkreis mit einer Zuführgenauigkeit von ca. ±100 μπι in eine gewünschte Position zu bringen. Diese
Genauigkeit reicht aber nicht aus, um die Anschlußkontakte des Halbleiterbauelements beispielsweise vollautomatisch
mit Kontaktfingern eines Kontaktierungsstreifens zu verbinden. Hierzu ist eine Genauigkeit von
ca. ±10μπι erforderlich, die bei Anwendung des
crfindungsgernäßcn justierveriahrens eingehalten werden
kann.
Um die Bildzerlegung möglichst schnell durchführen
zu können, wird für eine Justierstelle nur ein Halbbild des Fernsehbildes ausgewertet. Bei einer Fernsehanlage
mit 875 Zeilen pro Bild enthält somit das Halbbild 437 Zeilen, von denen für den Bildinhalt des Gesamtbildes
1 dann 410 Zeilen ausnutzbar sind. Wenn man davon ausgeht, daß die nachgeschalteten Koordinatensteuerungen,
mit denen das Halbleiterbauelement verschoben wird, eine Genauigkeit von ±5 μπι haben, muß die
Auflösung der Bildzeile ebenfalls bei ±5 μπι liegen, wenn die verlangte Justiergenauigkeit eine Größe von
± 10 μιη hat. Hieraus ergibt sich, daß der Zeilenabstand der erfaßten Bildzeile ca. 5 μπι groß sein muß. Bei der
genannten Zuführgenauigkeit des Halbleiterbauelements durch die Mechanik der Justieranlagen von
±100 μπι und einer Größe des zu erfassenden
Anschiußkontakts 4 von 100 μιη · 100 μπι muß das
abzutastende Bildfenster 3 eine Mindestgröße von 300 μπι · 300 μπι haben, damit der als Justierstruktur
verwendete Anschlußkontakt 4 mit Sicherheit innerhalb des abzutastenden Bildfensters 3 liegt. Bei einem
Zeilenabstand von 5 μπι enthält somit das Bildfenster 3 in vertikaler Richtung 60 abzutastende Zeilen.
Die Gesamtbildgröße beträgt bei 410 Zeilen mit einem Abstand von 5 μιη und einem Bildverhältnis von
4 :3 etwa 2,73 mm · 2,05 mm. Die Optik für die Bilderfassung muß daher so gewählt werden, daß ein
Bild dieser Größe von der Fernsehkamera wiedergegeben wird. Jede Bildzeile muß nun in Bildpunkte zerlegt
werden, die gleichfalls einen Abstand von 5 μιη
voneinander haben. Zur Abtastung einer Zeile stehen 35,5 μ5 zur Verfügung, was einer abgebildeten Zeilenlänge
von 2,73 mm entspricht. Dies bedeutet, daß jede Bildzeile in 546 Bildpunkte zerlegt wird. Der Abstand
zweier Bildpunkte beträgt dann 65 ns. In den Bereich des Bildfensters 3 fallen von den gesamten 546 Bildpunkten
jeder Zeile 60 Bildpunkte, wenn das Bildfenster eine Breite von 300 μΐη aufweist. Da viele Datenverarbeitungsanlagen
eine Wortlänge von 56 bit haben,
wurde für das Bildfenster 3 eine Größe von 64 Zeilen ■ 64 Bildpunkten gewählt, das einem Justierbereich
von 320 μΐη · 320 μπι entspricht.
Um jeden beliebigen Anschlußkontakt 4 des Halbleiterbauelements erfassen zu können, läßt sich das
abzutastende Bildfenster 3 elektronisch an jede beliebige Stelle des Bildes bringen. Das Bildfenster wird
durch eine Aufhellung des Bildes am Monitor sichtbar gemacht.
In der F i g. 2 ist das Blockschaltbild der erfindungsgemäßen Justieranlage für die Erfassung einer Justierstelle
dargestellt. Die handelsübliche Fernsehkamera 20 mit 875 Zeilen pro· Bild erfaßt über ihre Optik 16 d?s Bild
des zu justierenden Halbleiterbauelementes 2. Aus den bereits geschilderten Gründen wird die Vergrößerung
der Optik 16 so gewählt, daß der Abstand zwischen 2 Zeilen 5 μπι beträgt Durch eine Auflichtbeleuchtung
18 über einen haibdurchlässigen Spiegel 17 wird das Halbleiterbauelement 2 so beleuchteudaß ein möglichst
kontrastreiches Bild entsteht Die Anschlußkontakte 4 (Fig. 1) erscheinen tiefschwarz gegenüber der sie
umgebenden Halbleiteroberfläche. Das Videosignal der Fernsehkamera wird einmal dem Monitor 19 zugeführt,
der das Bild von dem Halbleiterbauelement 2 wiedergibt, zum anderen einer Elektronik 21, die aus dem
Videosignal den Impuls für den Beginn des zweiten Halbbildes und die Zeilenimpulse herausfiltert Sobald
der Impuls für den Beginn des zweiten Kalbbildes
erscheint, werden die nachfolgenden Zeilenimpulse auf einen Zeilenzähler 9 gegeben, der Über einen
Vorwahlschalter 7 auf die Zeilenzahl voreingesiellt ist,
bei der die Bildabtastung in vertikaler Richtung beginnen soll. Mit dem Vorwahlschalter kann somit die
vertikale Lage des abzutastenden Bildfensters 3 eingestellt werden. Mit jedem Zeilenimpuls, der auf den
Zeilenzähler 9 gelangt, wird der Zählerstand um 1 erniedrigt, bis die Stellung 0 erreicht ist. Dann zählt ein
weiterer Zähler die abzutastenden 64 Zeilen, die in Bildpu.'.r.te zerlegt werden müssen. Nach diesen
64 Zeilenimpulsen ist die Abtastung in vertikaler Richtung beendet.
Mit Beginn der ersten abzutastenden Zeile, die in das
Bildfenster 3 fällt, wird ein 15.J8 MHz-Taktgenerator 11
eingeschaltet, der die Zeile in Bildpunkte von 65 ns Dauer zerlegt. Die Impulse des Taktgenerators 11
werden einem Zähler 10 zugeführt, der über den Zeilenimpuls durch einen Vorwahlschalter 8 auf den
Bildpunkt voreingestellt wird, bei dem die Abtastung in horizontaler Richtung erfolgen soll. Somit wird über den
Vorwahischaiier der Beginn des Bildfensters in horizontaler Richtung bestimmt. Mit jedem ankommenden
Bildpunktimpuls einer Zeile wird nun der Zählerstand des Bildpunktzählers 10 um 1 erniedrigt, bis der
Zählerstand 0 erreicht ist. Dann zählt ein weiterer Zähler die abzutastenden 64 Bildpunkte, die im 64stelligen
Schieberegister 13 abgespeichert werden sollen. Nach Ende dieser 64 Zählerschritte ist eine Zeile
abgetastet. Die Auswertelektronik 12 stellt nun fest, wenn gerade die 64 Bildpunkte einer Zeile abgetastet
werden. Während dieser Zeit wird das 64stellige Schieberegister 13 zur Abspeicherung der Bildpunkte
freigegeben. Der Schiebetaktimpuls für das Schieberegister wird vom Taktgenerator 11 bezogen. Während
der Zeit, in der die Abtastung der Bildpunkte erfolgt, wird durch die Auswerteelektronik 12 die Helligkeit des
Monitors geringfügig erhöht. Man erhält dadurch auf dem Monitor einen hell erleuchtenden Bildausschnitt,
rjej. Harn ekwoljetötiin RiMfonctnr ^ /Pi σ 1\ pntsryr'inht
Während der Zeit, in der die 64 Bildpunkte abgetastet werden, wird nun, wie bereits erwähnt, das 64stellige
Schieberegister 13 zur Aufnahme des Informationsinhalts dieser Bildpunkte freigegeben. Um eine Schwarz-Weiß-Entscheidung
für jeden Bildpunkt treffen zu können, wird das Videosignal von der Fernsehkamera
einem Komparator 5 zugeführt, dem ferner eine Vergleichsspannung 6 zugeführt wird, die die Schwelle
für die Schwarz-Weiß-Entscheidung definiert. Der Komparator 5 gibt also immer dann, wenn das
Videosignal den Schwellwert der Vergleichsspannung überschreitet, ein Signal ab, welches dem Wert
»schwarz« entspricht. Bei Unterschreitung des Schwellwertes gibt der Komparator ein Signal ab, das dem
Wert »weiß« entspricht Den Werten »weiß« und »schwarz« wird nun jeweils eine binäre Größe »0« bzw.
»!«zugeordnet
Während der Abtastzeit wird nun alle 65 ns in das Schieberegister 13 eine Binärgröße eingeschrieben, die
dem zu diesem Zeitpunkt jeweils am Ausgang des Komparators 5 entstehenden Signalwert entspricht
Nach 64 Zählimpulsen sind im Schieberegister 13 die abgetasteten 64 Biidpunkte der entsprechenden Zeile
gespeichert Nach der Abspeicherung der 64 Bildpunkte einer Bildzeile erhält der Computer 14 von der
Auswerteelektronik 12 einen Befehl zur Übernahme des Schieberegisterinhalts. Dieser wird dann über den
schnellen Datenkana! in den Computer 14 übertragen. Auf diese Weise werden alle 64 gewünschten Zeilen
abgetastet und im Computer 14 abgespeichert
Sind alle 64 Zeilen abgearbeitet, wird dies über die
Auswertelektronik 12 den Computer 14 gemeldet. Nun vergleicht der Computer 14 das abgetastete Bild gemäß
einem vorgegebenen Auswertprogramm mit der im Computer abgespeicherten Soll-Lage des Justierfeldes
und berechnet aus den Unterschieden die Abweichung des Halbleiterbauelementes 2 von dieser Soll-Lage. Die
ermittelten Abweichungen werden vom Computer 14 auf eine .Y-V-Koordinatensteuerung 15 übertragen, die
ίο Antriebsmotoren enthalten. Mit deren Hilfe kann nun
beispielsweise das Halbleiterbauelement 2 in die gewünschte Soll-Lage transportiert werden.
In der Fig. 3 ist dargestellt, auf welche Weise die
Anschlußkontakte 4 des Halbleiterbauelementes 2 mit den Kontaktfingern 22 eines Kontaktierungsstreifens
verbunden werden. Würde man den Kontaktierungsstreifen mit den Kontaktfingern 22 und das Halbleiterbauelement
2 nicht gezielt desjustieren, so würden im erfaßten Bildfenster 3 ein Kontaktfinger 22 den
2ü Anscnluukoniakt 4 in einer von der Elektronik nicht
exakt erfaßbaren Weise überlappen. Außerdem wäre der meist helle Kontaktfinger 22 gegenüber dem
gleichfalls hellen Halbleiterbauelement nicht genau feststellbar.
Um den genannten Schwierigkeiten zu entgehen werden daher vor der Justierung gemäß Fig.4 der
Kontaktierungsstreifen und das Halbleiterbauelement um einen definierten Abstand a gezielt dejustiert. Die
Größe der Dejustage wird dabei so gewählt, daß mit Sicherheit in einem zu erfassenden Bildfenster 3a nur
das äußere freie Ende des Kontaktierungsfingers 22 erscheint, während im anderen Bildfenster Zb der
Anschlußkontakt 4 erscheint. Die Bildfenster 3a, 3b sind wiederum 320 μπι · 320 μπι groß. Dann ist bei der
j·, bekannten Zuführgenauigkeit der zu justierende Teil in
die Justieranlage sichergestellt, daß die Justierhilfen, also der Anschlußkontakt 4 und das Ende des
Kontaktfingers 22. in dem zugeordneten Bildfenster erscheinen.
Zur Bilderfassung der Bildfenster 3a und 3b wird vorzugsweise das erste Halbbild des Fernsehbildes
verwendet. Selbstverständlich kann zur Erfassung des zweiten Bildfensters 36 auch der entsprechende Teil des
zweiten Halbbildes aus dem Fernsehbild entnommen werden. In der Fig.5 ist das vereinfachte Blockschaltbild
dargestellt. Erforderlich ist wiederum eine Fernsehkamera 20, die über eine Optik 16, einen Spiegel 17 und
die Beleuchtungsquelle 18 ein Bild von dem Halbleiterbauelement 2 aufnimmt und an einen Monitor 19 bzw.
">o an die beiden Bilderfassungssysteme 23 und 24 (Detailbeschreibung siehe F i g. 2) abgibt. Die digitalisierten
Bildfenster werden wiederum in einen Computer 14 eingegeben und dort mit der abgespeicherten
gewünschten Deckungslage bzw. Soll-Lage beider Bilder mit Hilfe eines entsprechenden Auswertprogramms
verglichen, wobei die gezielt vorgenommene Dejustage eingerechnet wird. Aus den Abweichungen
werden die erforderlichen Steuerungsbefehle für die Koordinatensteuerung in x-y-Richtung errechnet Die
Verschiebung des Halbleiterbauelements bzw. der das Halbleiterbauelement tragenden Unterlage, des Kontaktierungsstreifens
oder beider Teile, erfolgt über entsprechend angetriebene Steuermotoren. Hierbei
wird auch die Dejustage rückgängig gemacht, so daß nach dem Justierprozeß die Enden der Kontaktfinger
über den Anschlußkontakten liegen und mit diesen, beispielsweise durch Löten, verbunden werden können.
Hierzu 4 Blatt Zeichnungen
Claims (13)
1. Verfahren zum Einjustieren der Anschlußkontakte eines Halbleiterbauelementes auf die Kontaktfinger
eines Kontaktierungsstreifens, bei dem die Lage des Kontaktierungsstreifens und die Lage des
Halbleiterbauelementes an getrennten Stellen mit Hilfe linienförmiger optischer Abtastsysteme festgestellt
werden, und die mittels einer Meß- und Korrekturlogik ermittelten Abweichungen unter
Einbeziehung des Abstandes zwischen den Meßpositionen in Steuerbefehle für Bewegungsvorrichtungen
umgesetzt werden, mit deren Hilfe die zu justierenden Teile deckungsbildend zueinander
verschoben werden, dadurch gekennzeichnet, daß der Kontaktierungsstreifen und das
Halbleiterbauelement (2) in der Justieranlage um definierte Strecken dejustiert werden, die nur so
groß sind, daß die Justierstelle des Kontaktierungsstreifens
gerade nicht die Justierstelle des HaIbleiterbauekiüentes
(2) überdeckt, daß vom Halbleiterbauelement (2) und dem Kontaktierungsstreifen
ein Fernsehbild erzeugt wird, daß von diesem Fernsehbild nur die Bildfenster (3, 3a, 3b), die die
Ist-Lagen der Justierstellen enthalten, in Bildpunkte zerlegt werden, deren Abstand kleiner ist als die
geforderte Justiergenauigkeit, daß der Informationsinhalt dieser Bildpunkte digitalisiert und abgespeichert
wird, daß in einer Datenverarbeitungsanlage unter Berücksichtigung der vorgenommenen definierten
Dejustage die Lage der beiden Justierstellen miteinander verglichen und Abweichungen errechnet
werden, und daß die zu justierenden Teile um das Maß der errechneten Abweichungen von der
gewünschten Deckungslagt der beiden Justierstellen
unter Einbeziehung der definie-. ten Dejustage mit Hilfe von über die Datenverarbeitungsanlage
gesteuerten Bewegungsvorrichtungen relativ zueinander verschoben werden.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Fernsehbild zur visuellen Kontrolle
mit Hilfe eines Monitors (19) wiedergegeben wird.
3. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildfenster (3, 3a, 3b) so groß
gewählt sind, daß bei Beachtung der Zuführgenauigkeit der zu justierenden Teile in die Justieranlage die
Justierstellen mit Sicherheit innerhalb des Bildfensters (3,3a, 3b) liegen.
4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildfenster demselben
Halbbild des Fernsehbildes entnommen werden.
5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Bildfenster (3, 3a, 3b) je
einem anderen Halbbild des Fernsehbildes entnommen werden.
6. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß das eine
als Justierstelle dienende Bildfenster (3b) einen Anschlußkontakt (4) auf dem Halbleiterbauelement
(2) und seine unmittelbare Umgebung erfaßt, während das zweite als justierstelle dienende
Bildfenster (3a,) das äußere freie Ende eines Kontaktierfingers (22) und dessen unmittelbare
Umgebung erfaßt.
7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet,
daß jedes Bildfenster (3a, 3b) eine Fläche der Größe von ca. 300 [im ■ 300 μπι umfaßt und daß
die das Bild erfassende Optik (16) so gewählt wird.
daß auf jedes Bildfenster (3a, 3b) ca. 60 Zeilen des
Fernsehhalbbildes entfallen.
8. Verfahren nach Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß jede Bildzeile in ca. 550 Bildpunkte
zerlegt wird, wobei auf jedes Bildfenster (3a, 3b) ca. 60 Bildpunkte pro Zeile entfallen.
9. Verfahren nach Anspruch 4, 5 oder 6, dadurch gekennzeichnet, daß jedem durch die beiden
verschiedenen Halbbilder des Fernsehbiides wiedergegebenen Bildfenster (3a, 3b) eine Bilderfassungselektronik
zugeordnet ist, die jeweils durch den Startimpuls des zugeordneten Halbbildes in Betrieb
gesetzt wird.
10. Verfahren nach einem der vorangehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß aus den
von der Fernsehkamera abgegebenen Impulsen die Zeilenimpulse und die Startimpulse für die Halbbilder
ausgefiltert werden und die Zeilenimpulse nach dem Startimpuls für das vorbestimmte, eine
Justierstelle erfassende Halbbild auf einen Zeilenzähler gegeben werden, der erst ab einer durch einen
»orwSiiiSCiiaitcr vorgegebenen ^.ciicnzaiu «ic /-tuspeicherung
eines Teils der Bildpunkte einer vorgegebenen Zahl nachfolgender Zeilen auslöst.
11- Verfahren nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet,
daß die Bildzeilen, von denen ein Teil abgespeichert werden soll, mit Hilfe eines Taktgenerators
(11) in Bildpunkte zerlegt werden, daß im
Taktgeber (11) ein Bildpunktzähler nachgeschaltet wird, der erst ab einer durch einen Vorwahlschalter
vorgegebenen Bildpunktzahl jeder Zeile die Abspeicherung einer vorgegebenen Zahl nachfolgender
Bildpunkte auslöst.
12. Verfahren nach Anspruch 10 und 11, dadurch
gekennzeichnet, daß die Bildpunkte dadurch abgespeichert werden, daß während der Abtastzeit des
Bildfensters das Bildsignal auf einen Komparator (5) gegeben wird, in dem die der Bildhelligkeit
entsprechende Spannung mit einer Vergleichsspannung (6) derart verglichen w'rd. daß bei einer
Unterschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des Bildes mit dem einen binären Wert
wiedergegeben und bei Überschreitung der Vergleichsspannung der Informationsinhalt des BiId-
4ι punktes mit dem anderen binären Wert wiedergegeben
wird.
13. Verfahren nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet,
daß der einer »Schwarz-Weißw-Information entsprechende digitalisierende Informationsin-
■>(> halt der abzuspeichernden Bildpunkte einer Bildzeile
in ein Schieberegister (13) mit entsprechender Stellenzahl eingeschrieben wird, daß nach der
Abspeicherung der Bildpunkte jeder Zeile der Informationsinhalt des Schieberegisters (13) in einen
■>i Computer (14) übertragen wird und daß nach der Übertragung der Bildpunkte aller abzuspeichernden
Bildzeilen im Computer (14) der abgespeicherte Gesamtinhalt der Bilder miteinander verglichen, die
Abweichungen errechnet und diese in eine entspre-
Mi chende relative Verschiebung der zu justierenden
Teile umgesetzt werden.
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2643810A DE2643810C2 (de) | 1976-09-29 | 1976-09-29 | Verfahren zum Einjustieren |
US05/837,889 US4203132A (en) | 1976-09-29 | 1977-09-29 | Method of alignment |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE2643810A DE2643810C2 (de) | 1976-09-29 | 1976-09-29 | Verfahren zum Einjustieren |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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