DE2900382C2 - Spannungsmesser-Druckwandlergerät - Google Patents

Description

Die Erfindung bezieht sich auf ein elektrisches Gerät und betrifft ein Druckwandlergerät mit einer Impedanzbrücke aus Halbleiter-Spannungsmessern oder -Dehnungsmessern.

Als Druckwandler sind bisher verschiedene mit Halbleiter-Spannungsmessern arbeitende Wandlergeräte wegen ihrer verhältnismäßig hohen Spannungsempfindlichkeit und ihres hohen Meß- oder Verstärkungsfaktors vorgeschlagen und in der Praxis ausgeführt worden. Bei einem herkömmlichen Spannungsmeßwandler sind beispielsweise eine Impedanzbrücke und ein Sendeempfangsgerät vorgesehen, wobei die Brücke hauptsächlich aus vier Halbleiter-Druckfühlerelementen oder Spannungsmessern besteht und ein in dem Sende-Empfangsgerät vorgesehener Differenzverstärker in die Brücke angeschlossen ist. In der Verbindung zwischen der Impedanzbrücke und dem Sendeempfangsgerät muß jedoch die Eingangsimpedanz des Differenzverstärkers mit einem viel größeren Wert bemessen werden als die Impedanzbrücke einschließlich den Eingangswiderständen des Differenzverstärkers, um gegenseitige Rückwirkungen auszuschalten.

In der US-Patentschrift 38 36 796 ist ein Halbleiter-Druckwandler mit einer Impedanzbrücke aus piezoelektrischen Widerstandselementen beschrieben, wobei die Brücke vier auf einer dünnwandigen Halbleitermembran aufdiffundierte Widerstände mit gleichen Werten umfaßt und an die Brücke eine Serienschaltung aus einem Operationsverstärker und einem Trennverstärker angeschlossen ist. Der Operationsverstärker hebt dabei das Ausgangssignal der Brücke über den Trennverstärker auf den gewünschten Ausgangspegel.

Bei der bekannten Schaltung ist jedoch der Trenriverstärker, der dazu dient, die Brücke gegen Impedanzschwankungen in der nachgeschalteten Stufe zu isolieren, mit Nachteilen verbunden. Zum einen hat ein derartiges Gerät einen komplizierten Schaltungsaufbau, was die Herstellungkosten erhöht und das Fertigungsverfahren aufwendig gestaltet. Des weiteren ist die Zuverlässigkeit des bekannten Gerätes infolge

des Fehlerfaktors des Trennverstärkers verhältnismäßig gering.

Die oben erwähnten Halbleiter-Spannungsmesser oder Dehnungsmesser weisen zwar eine verhältnismäßig hohe Spannungsempfindlichkeit auf, s.'nd aber auch temperaturempfindlich. Daher ist gemäß der US-Patentschrift 36 54 545 die Impedanzbrücke außerdem mit aus zwei Thermistoren bestehenden Temperatur-Kompensationseinrichtungen versehen, wobei die Thermistoren jeweils zu Schleifdrähten in dem betreffenden Arm der impedanzbrücke parallel geschaltet sind. Derartige von Thermistoren gebildete Temperatur-Kompensationseinrichtungen verteuern jedoch das Gerät

Zum weiteren Stand der Technik werden die US-Patentschriften 38 41 150, 34 57 493 und 39 56 927 genannt

Der Erfindung liegt die generelle Aufgabe zugrunde, Nachteile, wie sie bei vergleichbaren Spannungsmesser-Druckwandlergeräten nach dem Stand Jer Technik auftreten, mindestens teilweise zu beseitigen. Eine speziellere Aufgabe der Erfindung kann darin gesehen werden, ein Spannungsmesser-Druckwandlergerät zu schaffen, das bei einfachem Schaltungsaufbau verhältnismäßig hohe Empfindlichkeit aufweist Zur Aufgabe der Erfindung gehört es ferner, ein derartiges Gerät vorzusehen, das in der Lage ist, Änderungen der Spannungs- oder Dehnungsmesser infolge der Umgebungstemperatur, d. h. Widerstands- und Empfindlichkeitsänderungen, zu kompensieren.

Das hier beschriebene Spannungsmesser-Dri'ckwandlergerät umfaßt dazu eine Impedanzbrücke mit zwei Armen, die an ihrem einen Ende elektrisch miteinander verbunden sind und deren jeder zwei in Serie geschaltete Halbleiter-Druckwandlerelemente enthält, die auf einer dünnwandigen Halbleitermembran, an der der zu messende Druck anliegt, ausgebildet sind. Ferner umfaßt das Gerät eine Energieversorgung, deren einer Pol an die zusammengeschlossenen Enden der beiden Arme der Impedanzbrücke und deren anderer Pol an das andere Ende des ersten Brückenarms angeschlossen ist. Ein weiterhin vorgesehener Operationsverstärker weist einen invertierenden und einen nicht-invertierenden Eingang auf, wobei die beiden Eingänge an die mittleren Verbindungspunkte in den beiden Armen der Impedanzbrücke angeschlossen sind, sowie einen Ausgang, der mit dem anderen Arm des zweiten Brückenarms elektrisch verbunden ist.

Von der Energieversorgung wird die Impodanzbrükke mit einem von der Umgebungstemperatur abhängigen Erregungsstrom ausgesteuert. Zusätzlich oder alternativ können Mittel vorgesehen sein, um die mittleren Verbindungspunkte in den beiden Brückenarmen mit einer Spannung zu beaufschlagen, die derjenigen Spannung gleich ist, die an den mittleren Verbindungspunkten der abgeglichenen Impedanzbrükke bei einer vorgegebenen Umgebungstemperatur auftritt.

Bevorzugte Ausführungsbeispiele der Erfindung werden nachstehend anhand der Zeichnungen näher erläutert. In den Zeichnungen zeigt

F i g. 1 ein schematisches Schaltbild eines Spannungsmesser-Druckwandlergerätes zur Erläuterung der grundsätzlichen Arbeitsweise der Erfindung,

F i g. 2 ein Schaltbild eines Ausführungsbeispiels der Erfindung,

F i g. 3 ein Diagramm, in dem die Schwankungen eines Ausgangssignals in der Schaltung nach F i g. 2 über der Umgebungstemperatur beim Druck Null aufgetragen sind und

F i g. 4 ein Schaltbild einer Variante des Ausführungsbeispiels nach F i g. 2.

Gemäß F i g. 1 ist eine Versorgungsquelle 1 mit ihrem einen Pol an einen Verbindungspunkt a der beiden Arme einer Impedanzbrücke elektrisch angeschlossen, wobei jeder Arm aus zwei Druckwandlerelementen 2,3 bzw. 4, 5 aufgebaut ist, während der andere Pol der Versorgungsquelle 1 sowie das Ende b des die Druckwandlerelemente 2 und 3 enthaltenden Brückenarms direkt geerdet sind. Die weiteren mit c und d bezeichneten Verbindungspunkte der beiden Brückenarme sind mit einem nicht-invertierenden bzw. einem invertierenden Eingang eines Spannungsverstärkers oder Operationsverstärkers 6 mit hohem Verstärkungsfaktor verbunden. Der mit e bezeichnete Ausgang des Operationsverstärkers 6 ist auf das untere Ende /des die Druckwandlerelemente 4 und 5 enthaltenden Brückenarms zurückgeführt

Nimmt man an, daß es sich bei der Versorgungsquelle 1 um eine Stromquelle handelt und daß die Impedanzen der Druckwandlerelemente 2, 3, 4 und 5 die Werte R 2, R 3, R 4 bzw. R 5 haben, so läßt sich das am Ausgang e des Operationsverstärkers 6 auftretende Ausgangssignal Eofolgendermaßen ausdrücken:

Eo =

Ri ■ RA - Rl-R5 R2- R4

Is;

(D

wobei Is den Betrag des von der Versorgungsquelle 1 (Stromquelle) gelieferten Stromes bedeutet.

Die Druckwandlerelemente 2 bis 5, bei denen es sich beispielsweise um vier auf einer dünnwandigen Halbleitermembran, und zwar ein Paar in Radialrichtung und das andere Paar in Tangentialrichtung, angeordnete piezoelektrische Widerstandselemente handelt, haben die folgenden Impedanzen in Abhängigkeit von dem an der Membran angreifenden Druck:

- y X); R3 = R4 = Ro(I +v X);

wobei Ro den bei allen vier Druckwandlerelementen 2 bis 5 gleichen Impedanz-Anfangswert, γ einen Druck/ Impedanz-Umrechnungsfaktor und X die physikalische Größe des an der Membran angreifenden Drucks bedeuten. Die Impedanzen R 2 und R 5 der Druckwandlerelemente 2 bzw. 5 nehmen also mit steigendem Druck ab, während die Impedanzen /?3 und R 4 der Druckwandlerelemente 3 bzw. 4 mit steigendem Druck zunehmen.

Setzt man die Gleichungen (2) und (3) in Gleichung (1) ein, so erhält man für das Ausgangssignal Eo:

Eo = 2Ro- y- X- Is.

(4)

Gemäß der vorstehenden Gleichung (4) ist das Ausgangssignal Eb zu dem an der Membran angreifenden Druck Λ'direkt proportional.

Das gleiche Ergebnis, d. h. ein zum Druck proportionales Ausgangssignal, läßt sich auch unter Verwendung

einer Spannungsquelle als Versorgungsquelle 1 erzielen.

Wie oben erwähnt, sind jedoch die Halbleiter-Druckmesser temperaturempfindlich, weshalb zur genauen Druckmessung eine vollständige Temperaturkompensation erforderlich ist. Einzelheiten eines Ausführungsbeispiels mit einer derartigen Temperaturkompensation werden nachstehend erläutert.

Gemäß F i g. 2 wird die die vier Druckwandlerelemente 2 bis 5 umfassende Impedanzbrücke mit einem Erregungsstrom beaufschlagt, dessen Größe von einem κι Operationsverstärker 10 gesteuert wird. Der Ausgang des Operationsverstärkers 10 ist an das Ende b des die Druckwandlerelemente 2 und 3 enthaltenden Brückenarms angeschlossen. Am invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 10 liegt ein Spannungssignal, das 1 ■-, zur Größe des der !rr.pedanzbriicke zugeführten Stroms proportional ist. Der Verbindungspunkt a der beiden Brückenarme ist dazu über einen Widerstand 11 geerdet, über den die Summe der die beiden Brückenarme durchsetzenden Ströme fließt. Am nichtinvertierenden Eingang des Operationsverstärkers 10 liegt andererseits ein Spannungssignal, das an einem Verbindungspunkt g zwischen in Serie geschalteten Widerständen 12 und 13 und dazu jeweils parallel geschalteten Widerständen 14 und 15 auftritt. Parallel zu 2^ dem Widerstand 14 liegt ferner eine Serienschaltung aus einem temperaturempfindlichen Element, etwa einem Thermistor 16, und einem Widerstand 17. Das Spannungssignal am Verbindungspunkt g ändert sich daher in Abhängigkeit von der Umgebungstemperatur jo und kompensiert somit schädliche Auswirkungen von Änderungen in der Spannung und in der Empfindlichkeit bzw. dem Meß- oder Verstärkungsfaktor der Spannungsmesser.

Bei den Druckwandlerelementen 2 bis 5 handelt es sich um auf einer dünnwandigen Halbleitermembran ausgebildete piezoelektrische Widerstandselemente. Die Verbindungspunkte c und d der beiden Brückenarme sind mit dem nicht-invertierenden bzw. dem invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 6 verbunden, dessen Ausgang auf das Ende / des die Druckwandlerelemente 4 und 5 enthaltenden Brückenarms zurückgeführt ist. Daher erscheint zwischen dem Ende b und der Ausgangsklemme e des Operationsverstärkers 6 eine Spannung, die, wie oben erläutert, zum Druck direkt proportional ist

In dem vorliegenden Ausführungsbeispiel kann die Spannung zwischen den Punkten b und e zwar direkt als Drucksignal verwendet werden; sie wird jedoch weiter auf den gewünschten Ausgangspegel verstärkt Zwisehen den oben genannten Punkten b und e sind drei in Serie liegende Widerstände 19,20 und 21 eingeschaltet, wobei die Spannung am Widerstand 20 verstärkt und als Ausgangssignal Ε_Ουτ an der Ausgangsklemme eines Operationsverstärkers 22 verwendet wird. Die beiden Enden h und /des Widerstandes 20 sind dabei mit dem invertierenden bzw. dem nicht-invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 22 über Widerstände 23 bzw. 24 verbunden. Auf den invertierenden Eingang wird ferner über einen Widerstand 25 das Ausgangssignal μ Eout zurückgekoppelt, während dem nicht-invertierenden Eingang fiber einen Widerstand 26 eine Bezugsspannung zugeführt wird, die am Verbindungspunkt / zweier in Serie liegender Widerstände 27 und 28, an denen eine Versorgungsspannung Vcc Hegt, bereitgestellt wird.

Zur Kompensation schädlicher Wirkungen von Schwankungen in der Umgebungstemperatur auf den ursprünglichen Abgleich der Impedanzbrücke, d. h. auf die an den Ausgangsklemmen der Impedanzbrücke bei Nullabgleich erscheinende Spannung, wird eine an dem Verbindungspunkt k zweier in Serie geschalteter Widerstände 29 und 30 erzeugte Spannung über einen Widerstand 31 einem der beiden Verbindungspunkte c und d der Impedanzbrücke zugeführt. An der Serienschaltung aus den Widerständen 29 und 30 liegt die Versorgungsspannung Vcc, und die Auswahl der Verbindungspunkte c bzw. d erfolgt über einen Umschalter 33.

Im folgenden soll die Arbeitsweise des oben beschriebenen Ausführungsbeispiels erläutert werden.

Der Operationsverstärker 10 steuert die Größe des der Impedanzbrücke zugeführten Stroms derart, daß die Spannung Vl am Verbindungspunkt a gleich der Spannung V 2 am Verbindungspunkt g wird. Die Größe dieses durch den Widerstand 11 fließenden Stroms läßt sich daher inform folgender Gleichung ausdrucken:

Is =

Vl ₌ Vl ,
Λ11 RU'

(5)

wobei /?11 den Widerstandswert des Widerstands 11 angibt.

Das Ausgangssignal des Operationsverstärkers 6, d. h. die Differenz zwischen der Spannung V5 an dem Endpunkt b und der Spannung V6 an der Ausgangsklemme e des Operationsverstärkers 6, ergibt sich aus der obigen Erläuterung der grundsätzlichen Arbeitsweise folgendermaßen:

VS - Vd =

Ri ■ RA- Rl- RS R2 + R4

Is; (6)

wobei R 2 bis R 5 die Impedanzen der Druckwandlerelemente 2 bis 5 angeben. Da die Halbleiter-Spannungsmesser der Druckwandlerelemente 2 bis 5, wie oben erwähnt, temperaturempfindlich sind, lassen sich die Impedanzen R 2 bis R 5 unter Berücksichtigung von Größen der Umgebungstemperatur folgendermaßen schreiben:

Rl = Ä5 = Ro(\ + α ■ T) {1 - y ■ X - (1 +ß ■ T));

(7)

X-(\+ß

wobei Γ die Umgebungstemperatur, bezogen auf eine vorgegebene Temperatur, bedeutet,« den Temperaturkoeffizient bezüglich der Spannung der Spannungsmesser, und β den Temperaturkoeffizient bezüglich der Empfindlichkeit der Spannungsmesser. Setzt man Gleichungen (7) und (8) in Gleichung (6) ein, so ergibt sich für das Ausgangssignal V5— V6 folgendes:

V5 - V6 = 2 ■ Ro ■ y ■ X■ O + a - T) ■ α +β ■ T) ■ h~2 ■ Ro - y - X- {1 + (α+β) ■ T) - b.

(9)

Die Spannung V2 am Verbindungspunkt g der in 14, 15 und 17 und des Thermistors 16 auf den in der Serie liegenden Widerstände 12 und 13 läßt sich durch nachstehenden Gleichung (10) angegebenen Wert Verstellen bzw. entsprechende Wahl der Widerstände einstellen:

Vl =

(RU + RM) (\ + a- T) (\ + ß- T)

Vcc

Λ 12

(«12 + Ä13) {1 +(a+ß)T)

Vcc;

(10)

wobei Λ12 und Λ13 die Widerstandswerte der Widerstände 12 bzw. 13 angeben.
Unter Berücksichtigung von Gleichung (5) läßt sich ferner der Strom Is folgendermaßen ausdrücken:

Is =

V\ ₌ _K2_
RU RU

R\l

/Ul («12 +Λ 13) (1 + (a+ß)T\

(11)

Daher wird die
Gleichung (9) zu

VS- Vk

Ausgangsspannung VS-Vd von

2 · Ro ■ y ■ X ■ R 12
RU(RIl + RM)

Wie aus der obigen Gleichung (12) hervorgeht, enthält die Ausgangsspannung VS- V6 weder den Temperaturkoeffizient λ der Spannung noch den Temperaturkoeffizient β der Empfindlichkeit oder des Meßfaktors. Dies bedeutet, daß schädliche Einflüsse aufgrund von Änderungen in der Spannung und/oder Empfindlichkeit der Spannungsmesser kompensiert werden.

Die Spannung am Verbindungspunkt k zwischen den in Serie liegenden Widerständen 29 und 30 wird auf einen Wert eingestellt, der gleich ist der bei einer vorgegebenen Umgebungstemperatur, beispielsweise 20°C, am Verbindungspunkt coder t/der abgeglichenen

Impedanzbrücke auftretenden Spannung, und wird über den Widerstand 31 dem Verbindungspunkt c oder d

2(i zugeführt. Steigt oder fällt die Umgebungstemperatur, Vcc (12) ^so ändert sich die Spannung an dem erwähnten

Verbindungspunkt k bzw. die Spannung an dem Zwischenpunkt der abgeglichenen Brücke gegenüber der Spannung am Punkt c oder d, so daß durch den Widerstand 31 ein dieser Spannungsdifferenz entsprechender Strom fließt. Dieser Strom ruft zwischen den Punkten b und / der beiden Brückenarme eine Spannungsdifferenz hervor, deren Polarität davon abhängt, ob die Spannung an dem Verbindungspunkt k

M dem Punkt c oder dem Punkt d der Brücke zugeführt wird.

Angenommen, die Spannung am Verbindungspunkt A: wird dem Punkt d zugeführt, und der Verstärkungsfaktor des Operationsverstärkers 22 beträgt G, so wird die sich aus der Zuführung der Spannung vom Verbindungspunkt j ergebende Ausgangssignaländerung Δ Εουτzu

AE_n

RS
Λ 31

All +

RZ ■ R4
R2+R4

Ä30

Λ29 + Λ30

• Vcc

(13)

worin R 29, Ä30 und Ä31 die Widerstandswerte der Widerstände 29,30 bzw. 31 bedeuten.

bungstemperatur (20⁰C) gleichen Temperatur besteht da die Spannung vom Verbindungspunkt k gleich ist der k d

Zum einfacheren und besseren Verständnis sei 45 Spannung am Punkt c oder d der abgeglichenen angenommen, daß die physikalische Größe X des Impedanzbrücke, die folgende Beziehung zwischen dem Druckes Null ist. Bei der der vorgegebenen Umge- Strom /5 und der Versorgungsspannung Vcc.

/5 =

Ä30

Ä29 + Ä30

Vcc.

(14)

Die Impedanzen R2, A3, A4 und R5 der Druckwandlerelemente 2 bis 5 haben dabei folgende Werte:
R2 = R3=R4 =R5 = Ro(l + a- T). (15)

Setzt man Gleichungen (14) und (15) in Gleichung (13) ein, so ergibt sich die Ausgangssignaländerung A E₀Ur folgendermaßen:

_ΛΤ, Ro(I +a- T) a T-Ro _τ „ „ Ro² τ , r

^AEour= RTl 2 ^b' ^G--Rn^a'^T'^bG-

(16)

Wie aus Gleichung (16) hervorgeht, ist die Ausgangssi- punkt-Spannung der abgeglichenen Brücke an den gnaländerung ΔΕουτ, die durch die Zuführung der Punkt t/bewirkt wird, zur Temperaturänderung Fdirekt Spannung vom Verbindungspunkt Jt oder der Zwischen- proportional.

In dem Diagramm nach Fig.3 ist die Temperatur T an der Abszisse und das Ausgangssignal Εουτ an der Ordinate aufgetragen, wobei das Ausgangssignal Εουτ ohne die Kompensation durch Zuführung der Zwischenpunktspannung der abgeglichenen Brücke in der Kurve A wiedergegeben ist. Die Ausgangssignaländerung ΔΕουτ, die durch Zuführung der Zwischenpunktspannung der abgeglichenen Brücke hervorgerufen wird, ist in der Kurve B wiedergegeben. Wie aus Fig.3 ersichtlich, läßt sich die zwischen den Ausgangsklemmen der Brücke infolge von Temperaturschwankungen auftretende Fehlerspannung durch Einstellung oder entsprechende Wahl des Widerstandswertes des Widerstandes 31 im wesentlichen kompensieren. Dieser Widerstandswert Ä31 des Widerstandes 31 wird dabei nach folgender Gleichung gewählt:

Λ31 =

Ro¹ AE₁

a-T- Is-G.

out

maßen bestimmt:

20

In Kurve C der Fig.3 ist beispielsweise das Ausgangssignal Εουτ dargestellt, das auftritt, wenn die auf Temperaturschwankungen beruhende Fehlerspannung kompensiert wird. In diesem Fall ist der Widerstandswert R 31 des Widerstandes 31 folgender-25

Λ31 =

Ro²

AE.

■ a ■ (100 - 20) · Is ■ G.

■ΟΙ/Π IUO)

wobei ΔΕουτοοο) die Ausgangssignaländerung gemäß Kurve A bei der Temperatur 100⁰C bedeutet. Der anfängliche Widerstandswert Ro, der Temperaturkoffizient ä der Spannung des Halbleiter-Spannungsmessers, der Strom Is und der Verstärkungsfaktor G lassen sich experimentell ohne weiteres ermitteln. Liegt die Temperatur T unter der vorgegebenen Temperatur (20° C), so ist die Spannung vom Verbindungspunkt k bzw. die Zwischenpunktspannung der abgeglichenen Brücke durch Betätigung des Umschalters 33 dem Brückenpunkt canstelledem Punkt d zuzuführen.

Bei der in Fig.4 gezeigten Variante des Ausführungsbeispiels nach Fig.2 wird die Spannung am Verbindungspunkt k zwischen den beiden in Serie liegenden Widerständen 29 und 30 oder die oben erwähnte Zwischenpunktspannung der Brücke über Widerstände 35 bzw. 36 sowohl dem nicht-invertierenden als auch dem invertierenden Eingang des Operationsverstärkers 6 zugeführt, wobei statt dessen der Umschalter 33 nach F i g. 2 fehlt.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (10)

Patentansprüche:

1. Spannungsmesser-Druckwandlergerät mit einer Impedanzbrücke mit zwei Armen, die an ihrem einen Ende (a) miteinander elektrisch verbunden sind und deren jeder zwei in Serie liegende Spannungsmesser-Druckwandlerelemente (2 ... 5) enthält, die auf einer dem Meßdruck ausgesetzten dünnwandigen Halbleitermembran angeordnet sind, einer Versorgungsquelle (1), die mit ihrem einen Pol an den Verbindungspunkt (a) zwischen den beiden Armen der Impedanzbrücke angeschlossen ist, und einem Operationsverstärker (6), dessen Eingänge an Zwischenpunkte (c, d) in den beiden Armen der Impedanzbrücke angeschlossen sind, dadurch gekennzeichnet, daß die Versorgungsquelle

(I) mit ihrem anderen Pol an das andere Ende (b) eines Armes der Impedanzbrücke angeschlossen ist, daß ein Eingang des Operationsverstärkers (6) ein nichtinvertierender Eingang und der andere ein invertierender Eingang ist, und daß der Ausgang (e) des Operationsverstärkers (6) mit dem anderen Ende (f) des anderen Armes der Impedanzbrücke elektrisch verbunden ist

2. Gerät nach Ansprach 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeweils eines (3,4) der beiden Druckwandlerelemente in den beiden Armen der Impedanzbrücke eine Impedanz aufweist, die mit steigendem Druck zunimmt, während die Impedanzen der anderen beiden Druckwandlerelemente (2,5) mit steigendem Druck abnehmen.

3. Gerät nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (11) zur Ermittlung des der Impedanzbrücke zugeführten Stroms; eine Einrichtung (16) zur Erzeugung eines sich mit Änderungen der Umgebungstemperatur ändernden Spannungssignals; und eine Einrichtung (10) zur Steuerung des der Impedanzbrücke zugeführtsn Stromes entsprechend dem Vergleich zwischen dem Signal aus der Stromermittlungseinrichtung (11) und dem Signal der Spannungssignal-Erzeugungseinrichtung (16).

4. Gerät nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Spannungssignal-Erzeugungseinrichtung einen Thermistor (16) zur Kompensation des der Impedanzbrücke zugeführten Stromes in Abhängigkeit von Temperaturänderungen umfaßt.

5. Gerät nach Anspruch 3 oder 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Stromermittlungseinrichtung einen Differenzverstärker (10) zum Vergleich der Signale aus der Stromermittlungseinrichtung

(II) und der Spannungssignal-Erzeugungseinrichtung (16) umfaßt

6. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (29 ... 31) zur Erzeugung einer Zwischenpunktspannung, die gleich ist derjenigen Spannung, die an den Zwischenpunkten (c, φ der Impedanzbrücke auftritt, wenn diese bei einer vorgegebenen Temperatur abgeglichen ist, sowie eine Einrichtung (33) zur to Zuführung der Zwischenpunktspannung an einen der Zwischenpunkte (c, c/^der Impedanzbrücke.

7. Gerät nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Erzeugung der Zwischenpunktspannung in Serie geschaltete b5 Widerstände (29, 30) umfaßt, deren Verbindungspunkt über einen Widerstand (31) an jeweils einen der Zwischenpunkte (c, d) der Impedanzbrücke

anschließbar ist

8. Gerät nach Anspruch 6 oder 7, dadurch gekennzeichnet daß die Einrichtung zur Zuführung der Zwischenpunktspannung einen Umschalter (33) umfaßt

9. Gerät nach einem der Ansprüche 1 bis 5, gekennzeichnet durch eine Einrichtung (29, 30) zur Erzeugung einer Zwischenpunktspannung, die gleich ist derjenigen Spannung, die an den Zwischenpunkten (c d) der Impedanzbrücke auftritt wenn diese bei einer vorgegebenen Temperatur abgeglichen ist sowie eine Einrichtung (35, 36) zur Zuführung der Zwischenpunktspannung an beide Zwischenpunkte (c, djder Impedanzbrücke.

10. Gerät nach Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zur Erzeugung der Zwischenpunktspannung in Serie geschaltete Widerstände (29, 30) umfaßt deren Verbindungspunkt an jeden der beiden Zwischenpunkte (c, d) der Impedanzbrücke über jeweils einen Widerstand (35, 36) angeschlossen ist