DE2856233A1

DE2856233A1 - Vorrichtung zum feststellen der scharfeinstellung bei einem optischen system

Info

Publication number: DE2856233A1
Application number: DE19782856233
Authority: DE
Inventors: Hiroshi Shirasu; Ken Utagawa
Original assignee: Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1977-12-24
Filing date: 1978-12-27
Publication date: 1979-07-05
Also published as: US4264810A

Description

PATENTANWÄLTE A. GRUNECKER

CXPU-ING.

H. KINKELDEY

OR-ING.

W. STOCKMAIR

QR-ING - AeE (CALTEO*

K. SCHUMANN

OR RER NAT. · »PL-PKVS

P. H. JAKOB

DlPL-ING

G. BEZOLD

OR RER NAT- DlPL-CHEM

8 MÜNCHEN

MAXIMILIANSTRASSE

IH 13 433/46 - Gl

Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung bei einem optischen System

Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zum automatischen Feststellen der Scharfeinstellung bei einen optischen System.

Es sind bereits verschiedene automatische Vorrichtung zum Feststellen äer Scharf einst el lang vorgeschlagen worden. Beispielsweise ist in der japanischen Offenlegungsschrift Nr. 15432/1976 eine Vorrichtung angegeben, bei der ein erster und ein zweiter Lichtstrahl an zwei von der optischen Achse eines optischen Abbildungssystems beabstandeten Stellen von einem Lichtstrahl getrennt werden, unmittelbar nachdem der Strahl durch das optische Abbildungssystem hindurchgegangen ist. Der erste und der zweite abgetrennte Lichtstrahl beaufschlagen erste und zweite Reihen mit lichtempfindlichen Elementen, die an vorbestimmten Scharfeinstellungslagen der ersten und zweiten Lichtstrahlen gemäß den Scharfeinstellungs- und Unscharfeinstellungsbedingungen des optischen Abbildungssystems angeordnet sind. Die Ausgänge der einzelnen

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TELEFON (Oae) SS SS 63 TELEX O5-SS38O TELEQRAMME MONAPAT TELEKOPIERER

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- 40- -JSf-

lichtempfindlichen Elemente der ersten Reihe werden mit den Ausgängen der entsprechenden lichtempfindlichen Elemente der zweiten Reihe verglichen, und das Feststellen der Scharfeinstellung wird in Übereinstimmung mit dem Ergebnis der einzelnen Vergleiche durchgeführt. Dieses Verfahren weist · einen Nachteil auf., als daß die Unterscheidung nur insofern durchgeführt wird, ob das optische Abbildungssystem scharf eingestellt ist oder nicht, und daß keine insofern getroffen werden kann, ob die tatsächliche Brennebene sich vor (im folgenden als Vorwärtsscharfeinstellung bezeichnet) oder hinter (im folgenden als Rückwärts scharf eins teilung bezeichnet) im Bezug auf eine vorgegebene Brennebene befindet und in welchem Maße eine ETichtscharfeinstellung vorliegt.

Es ist deshalb eine Zielsetzung der vorliegenden Erfindung, eine automatische Scharfeinstellungsvorrichtung zu schaffen, welche zwischen Vorwärtsscharf einstellung, Scharfeinstellung und Rückwärtsscharfeinstellung unterscheiden kann und die auch die Größe der Nichtscharfeinstellung mit großer Genauigkeit feststellen kann.

Gemäß einem Grundgedanken der Erfindung werden die Scharfeinstellung, die Vorwärtsscharfeinstellung und die Rückwärtsscharfeinstellung dadurch festgestellt, daß die Phasen der elektrischen Ausgänge der ersten und zweiten Signalverarbeitungsschaltkreise verglichen werden, welche von de-n Intensitatsvertexlungsmustein. des auf die erste und zweite Reihe mit lichtempfindlichen Elementen auffallenden Lichtes abhängen.

ErfindungsgemalT wird eine Vorrichtung zum Feststellen der

ScharfexnsOellung/

für ein optisches System geschaffen, welches umfaßt: Erste und zweite optische Abbildungseinrichtungen zum Herstellen eines Bildes eines Objektes längs eines ersten und eines

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zxveiten räumlich voneinander getrennten Lichtweges, erste und zweite Reihen mit lichtempfindlichen Elementen, von denen jede' eine Vielzahl von lichtempfindlichen Elementen aufweist und ein elektrisches Signal

erzeugt, welches dem Intensitätsverteilungsmuster des ^³ ' entspricht;⁰

auf sie auffallenden Lichtes jcepräs^rtativ isf, und eine Schaltungsanordnung, um die Scharfeinstellung des optischen Systems gemäß den elektrischen Signalenvon der ersten und der zweiten Reihe festzustellen. Die Schaltungsanordnung umfaßt einen ersten ^rarbeitungsschaltkreis, einen. zweitenVerarbeitungsschalBcreis und einen Phasenvergleiehsschaltkreis- Der erste Verarbeitungsschaltkreis erzeugt gemäß dem elektrischen Signal von der ersten Reihe einen elektrischen Ausgang, dessen Phase für die Lagebeziehung zwischen der ersten Reihe und dem Intensitätsverteilungsmuster des auf die erste Reihe auffallenden Lichtes repräsentativ ist. Der zweite Verarbeitungsschaltkreis erzeugt gemäß dem elektrischen Signal der zweiten Reihe ein elektrisches Signal, dessenPhase für die Lagebeziehung zwischen der zweiten Reihe und dem Intensitätsverteilungsmuster des auf die zweite-Reibe auffallenden Lichtes repräsentativ ist. Der Phasenvergleiehsschaltkreis vergleicht die Phasen der elektrischen Ausgänge von dem ersten und dem zweiten Verarbeitungsschaltkreis und erzeugt ein Ausgangs signal, welches für die Scharfeinstellungslage des optischen Systems repräsentativ ist.

Die Erfindung wird in größerem Maße, aus der folgenden, ins Einzelne gehenden Beschreibung im Zusammenhang mit den anliegenden Zeichnungen deutlich. Es zeigen:

Fig. 1 eine fotoelektrische Wan dl er einrichtung für ein optisches Bild, welche bei der vorliegenden Erfindung verwandt wird,
Fig. 2A-2C eine Ausführungsform einer Reihe mit licnt-

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empfindlichen Elementen, welche bei der fotoelektrischen Wandlereinrichtung verwandt wird,

Vorrichtung zum Feststellen der

Fig. 3 eine Ausführungsform einer/automätischen/Scharfeinstellung? . ■

Fig. 4-A-4C ein auf den lichtempfindlichen Elementen der Vorrichtung der Pig. 3 abgebildetes Bild und die Bedingung für deren Ausgangsvektor,

Fig. 5 eine Anordnung von Linsen und lichtempfindlxchen Elementen bei einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,

Fig. 6 eine Anordnung eines optischen Systems bei einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,

Fig. 7 ein erstes Beispiel einer Ausgestaltung einer Vektorbildungseinrichtung, um einen Ausgang zu erzeugen,

Fig. 8 eine Ausführungsform einer Einrichtung zum Berechnen der Phasendifferenz von zwei Aus gangs vektor en,

Fig. 9 schematisch einen speziellen Schaltkreis bei dem Beispiel der Fig. 7>

Fig. 10 eine verbesserte Ausführung des Schaltkreisbeispiels der Fig. 9,

Fig. 11 ein zweites Beispiel der Herstellung einer Phaseninformation, die einen Ausgangserzeugunecsschaltkreis nach der vorliegenden Erfindung enthält,

Fig. 12 ein Blockschaltbild, mit dem eine spezielle Ausgestaltung des Beispiels der Fig. 11 dargestellt ist,

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Fig. 13A-13D Wellenformen eines fotoelektrischen Ausgangs,

I"ig. 14A-14C die Eingangs- und Ausgangswellenformen der Speicher- und Halteschaltkreise 57a und 57b der Fig. 12,

Fig. 15 ein Blockschaltbild, das eine andere spezielle Ausgestaltung des Beispiels der Fig. 11 zeigt,

Fig. 16 Impulse zum Treiben der Schalt-FET's der Fig. 15,

Fig. 17A-17C den Ausgang des Spitzenhalteschaltkreises der Fig. 15,

Fig. 18 den Ausgang des Addierschaltkreises der Fig. 15 und

Fig. 19 den Ausgang des Bandfilters der Fig. 15·

Vor der Beschreibung der vorliegenden Erfindunk wird zunächst eine Beschreibung des Prinzips der fotoelektrischen Wandler einrichtung für ein optisches Bild gegeben, welche ein bedeutendes Element der vorliegenden Erfindung bildet.

Gemäß Fig. 1, wenn ein optisches Bild, welches ein gewisses Beieuchtungsverteilungsmuster aufweist, durch ein optisches Abbildungssystem, welches nicht dargestellt ist, auf einer Elementenreihe 1 erzeugt wird, die aus in einer Ebene angeordneten N lichtempfindlichen Elemente Py. bis Pjt besteht, erzeugen die Elemente P^, bis P^. fotoelektrische Ausgänge f^ bis r^, die den Intensitäten des auf die entsprechenden Elemente auf treffenden Lichtes · entsprechen. Eine Vektorbildungseinrichtung 3 erzeugt einen Vektor der fotoelektrischen Ausgänge Z* bis f«, nämlich, indem jedem Ausgang eine Phaseninformation zugeteilt wird und hat ET

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Multiplikationseinrichtungen 3A_x, bis 3Ajr·

Jede Multiplikationseinrichtung 3A,, bis 3A_W multipliziert die zugeordneten, fotoelektrischen Ausgänge f,, bis f™· mit einem Vektor a^e¹/ 1 bzw. ä^e¹ YlT und erzeugt einen

iV iV

Vektorausgang f^a^e '1 bis f^a^e Γ IT. Die Argumente y'y.

bis ψ _N der entsprechenden Vektoren werden so festgelegt, daß die Beziehung ψ^ψ^ '*^φ< ^Af/^ erfüllt wird. Eine Addiereinrichtung 5 addiert die Vektorausgänge der Multiplikationseinrichtung 3A* bis 3Ajj und erzeugt den kombinierten Vektor I = y f^a^Tn.
n=1

Die Bedeutung des kombinierten Vektors, der auf diese Weise als Ausgang von der Addier einrichtung 5 erhalten wird, wird im folgenden betrachtet. Wenn wegen der Einfachheit der Beschreibung alle absoluten Werte der Vektoren a^, Vg. ¹Zi bis ajj-e^X^ir gleich und ihre Werte 1 sind, d.h., a_n = 1 (n = 1, ....N) und das Argument Vv des Vektormultiplikators des η-ten Elements P von dem am weitesten linksliegenden Elementes P„ festgelegt wird zu ψ = 2 χ |r , sodaß die Vektorreihen e ' 1 bis e / Ή eine Periode werden (in Bezug auf die Phase eine volle Drehung), so gilt

. ^ _βί2πχ B _m N n=l n=

Die rechte Seite dieser Glebhung (i) ist die Fourier-Transformierte oder räumliche Prequenzkomponente, deren räumliche Periode gleich der räumlichen länge d dieser Eeihe ist. Deshalb ist der Ausgang der Addiereinrichtung 5 repräsentativ für die räumliche Frequenzkomponente der speziellen räumlichen Periode d, welche von dem optischen Bild ausgeblendet oder aussortiert wurde.

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Der kombinierte Vektor I¹ wird erhalten, wenn das optische Bild auf dieser Elementenreihe 1 um einen Wert verschoben wird, welcher einem Element in der Linksrichtung der Reihe von Elementen in Pig. 1 entspricht. Zu diesem Zeitpunkt ist der fotoelektrisehe

Ausgang des Elementes P₇. gleich f-.,, und dieser wird mit 12T χ η

12.T χ η
dem Vektor e -^ multipliziert. Nun ist beispielsweise der Ausgang von P^ gleich I^ ^¹¹¹*²- ^der Ausgang von Pjj gleich fjT *. Der Ausgang £^ y. ist der Ausgang, welcher der Intensität des Lichtes zugeordnet wird, welche vor der Verschiebung des optischen Bildes gerade rechts von P_n vorlag.

Daher gilt:

n=l ⁿ⁺¹ n-1 ⁿ

5 - f_re¹²"^X T- ,-12«i . S__x f_n._e«- £

des zweiten Ausdrucks in der Gleichung (2) Ist für das Licht repräsentativ, welches neu wegen der Verschiebung des optischen Bildes auf die Reihe fällt, und f^ ist repräsentativ für das Licht, welches die Reihe verlassen hat. Wenn der zweite Ausdruck (£„ --f,.)e in Bezug auf den ersten Ausdruck vernachlässigbar ist, nämlich, wenn fjj₊/j und f^ im wesentlichen gleich sind, sieht man. aus einem Vergleich der Gleichung (1) mit der Gleichung (2), daß der kombinierte Vektor I¹ nach der Verschiebung gleich

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ie^ kombinierten Vektor I vor der Verschiebung plus

—22 χ Λ
e ' jp i ist. Dies zeigt, daß, v;enn das Bild um eine Größe verschoben wird, die der Breite eines Elementes in der Richtung der Reihe von Elementen entspricht, die Phase des kombinierten. Vektors I hauptsächlich in UbereinstLmaurigidt der Verschiebungsrichtung um —j~ erhöht oder erniedrigt wird.

Wie bereits oben erwähnt wurde, ist der zweite Ausdruck der obigen Gleichung (2) vollständig vernachlässigbar, wenn die Lichtmenge, die neu aufgrund der Verschiebung auf die Reihe fällt, im wesentlichen gleich der Lichtmenge ist, v/elche die Reihe verläßt. TJm sicherzustellen, daß der zweite Ausdruck selbst bei einem optischen Bild nit irgendeiner anderen Beieuchtungsverteilung vernachlässigbar ist, kann die Elementenreihe 1 ausgebildet werden, wie sie in Pig. 2Agezeigt ist. Die lichtempfindliche Eleiaentenreihe Λ wird gebildet, indem verschiedene Sätze von lichtempfindlichen Elementen P,, bis P^ (drei Sätze bei dem gezeigten Beispiel) in Reihe angeordnet und die Elemente (P^, P^, P^), (Pp, P₂, Pp) ···(£«> P-KTi Ε») an den entsprechenden Stellen in den entsprechenden Sätzen mit zugeordneten Addierschaltungen 2A_x., 2Aoj ... 2Ajt verbunden werden. Durch diese Ausgestaltung wird der gesamte fotoelektrische Ausgang der entsprechenden Elemente in den entsprechenden Eleraentsätzen von den Ausgangsanschlüssen 3L , Tp, ··♦, Tinder entsprechenden Addierschaltungen erzeugt. Die fotoelektrischen Ausgänge, die an den Ausgangsanschlüssen T^ bis Q?_w auftreten, können mit Vektoren a^e / bis a-^e /" wie in S¹Xg. Λ multpliziert werden. Bei einer solchen Ausgestaltung der Reihe, bei der mehrere Sätze von einperiodischen Elementen so aufeinanderfolgend in Reihe angeordnet sind, ist der Einfluß auf den kombinierten Vektor I an den Ausgängen der lichtempfindlichen Elemente, welche an gegenüberliegenden Enden der Reihe angeordnet sind, kleiner, als bei der Reihe 1, welche aus nur einem

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Satz von einperiodischen Elementen besteht, sodaß der zweite Ausdruck der obigen Gleichung (2) vernachlässigbar wird. Um dieses Ergebnis zu erreichen, ist, wie es in Fig. 2B dargestellt ist, ein Konzentrationsfilter CF vor der Reihe, die aus drei Sätzen von Elementen besteht, angeordnet. Die Lichtdurchlässigkeitscharakteristik des Filters kann so festgelegt werden, daß die Durchlässigkeit zu den entgegengesetzten Enden der Reihe hin langsam abnimmt, oder, wie es in Fig. 2 C gezeigt ist, daß die lichtempfangenden Oberflächen der Elemente nahe den entgegengesetzten Enden der Reihe allmählich abnimmt, verglichen mit den licht— empfangenden Oberflächen der Elemente in der Mitte der Reihe. Durch diese Maßnahmen sind die Ausgänge der lichtemfindlichen Elemente nahe den entgegengesetzten Enden der Reihe i relativ klein in Bezug auf die Ausgänge der anderen lichtempfindlichen Elemente, und deshalb kann der Einfluß auf den kombinierten Vektor I kleiner gemacht werden. Es ist wünschenswert, die Konzentrations charakteristik des Filters CF oder die Änderung der licht empfangenden Oberflächenbereiche der lichtempfindlichen Elemente so festzulegen, daß der kombinierte Vektor I 0 werden kann, wenn ein optisches Bild von gleichmäßiger Beleuchtungsverteilung auf der Reine gebildet wird. In den Figuren 2B und 2C sind die Addierschaltungen 2A bis 2AjJ- der Fig. 2A schematisch als die Verbindung: zwischen den Ausgangsanschlüssen der entsprechenden Elemente in dam Elementensatz dargestellt, um eine Unübersichtlichkeit der Darstellung zu vermeiden.

Mit der vorliegenden Erfindung kann die Scharfeinstellung eines optischen Abbildungssystems dadurch erzielt werden, daß mindestens zwei Einrichtungen zum Umwandeln des fotoelektrischen Ausgangs von einem jeden Element^· eine Reihe, wie es vorhin beschrieben wurde, in ein elektrisches Signal verwandt wird, dessen Phase hauptsächlich in Übereinstimmung

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mit der relativen Änderung in einem optischen Bild für diese Reihe geändert wird. Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung werden nun folgend im einzelnen beschrieben.

Fig. 3 stellt eine schematische Ansicht einer Ausführungsform der automatischen Vorrichtung zum Feststellen der Scsiarf einstellung nach der vorliegenden Erfindung dar, und zeigt insbesondere die Beziehung zwischen der Reihe mit lichtempfindlichen Elementen und dem optischen System. Lichtstrahlen R , R-. von einem nicht dargestellten Objekt, von dem eine Abbildung scharf eingestellt werden soll, gehen durch zwei räumlich verschiedene Abschnitte einer Abbildungslinse Lq, werden von einem Paar von Spiegeln M und M, reflektiert und von anderen Lichtstrahlen des Objektes getrennt. Bei der dargestellten Ausführungsform sind die zwei Spiegel M_ und M- an symmetrischen Stellen

el D

in Bezug auf die optische Achse der Linse Lq angeordnet und reflektieren die Lichtstrahlen R und R^, die auf sie auf treffen, in einer zur optischen Achse senkrechten Richtung. Eine Reihe 1A mit lichtempfindlichen Elementen, welche eine Vielzahl von Sätzen von lichtempfindlichen Elementen, die einer Vielzahl von Perioden entspricht, und Addierschaltungen umfaßt, wie /in Fig. 2A beispielhaft dargestellt ist, wird in einer Ebene in den Weg des von dem Spiegel M reflektierten Lichtes und konjugiert in Bezug auf die feste Brennebene F der Linse Lq angeordnet. Eine Reihe 1B mit lichtempfindlichen Elementen, welche mit der Reihe 1A identisch ist, wird in gleicher Weise an einer Stelle in dem Weg des von dem Spiegel M^ reflektierten Lichtes angeordnet. Die zwei Reihen 1A und ΊΒ sind der Gestalt, daß ein Bild auf den entsprechenden Elementen der|zwei Reihen 1A und 1B gebildet wird, wie es in Fig. 4B gezeigt ist, wenn die Linse Lq scharf eingestellt ist. In den Figuren 4-A bis 4-C ist eine Reihe gezeigt, bei der die Anzahl N der Elemente, die jeden Elementensatz bildet, gleich 4 ist und bei der drei Elementen-

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--Tab.

sätze vorgesehen sind. Mit diesen Reihen IA und 1B sindVerarbeitungsschaltkreise 10A und 1OB (siehe Pig- 3) zum Verarbeiten der fotoelektrischen Ausgänge an den Addierschaltungsausgängen T^, bis ¹S-^ verbunden und erzeugen das elektrische Signal des kombinierten Vektors I, welcher im Zusammenhang mit der Fig. 1 beschrieben wurde.

Wenn die Verbindungsbeziehung zwischen der Reihe 1A und dem Schaltkreis 1OA so festgelegt ist, daß das Argument des Vektors multipliziert mit dem Ausgang des lichtempfindlichen Elementes P * links an das Element P anschließend größer ist als das Argument u/ des Vektors a ^x / η multipliziert mit dem Ausgang irgendeines lichtempfindlichen Elementes P in dieser Seihe, nämlich,in Pig. 3» wenn die Reihe 1A so ausgebildet ist, daß die Elemente P,., P₂, ..·., Pjj von rechts nach links angeordnet sind, dann wird die Verbindungsbeziehung zwischen der Reihe 1B und dem Schaltkreis Ί0 B, umgekehrt festgelegt, nämlich so, daß in Pig.3 die Elemente P^,, ..., P_n- von links nach rechts angeordnet werden. Mit einer solchen Anordnung bildet, wenn die Linse Lq scharf eingestellt ist, wie es in Pig- 4-B gezeigt ist, jeder der Lichtstrahlen R_a und R^ ein scharf eingestelltes Bild des Objektes an der gleichen Stelle der Reihen 1A und 1B, sodaß die Schaltkreise 1OA und 1OB kombinierte Vektoren I bzw. 1-J₃ erzeugen, die identische Argumente «*· und ^^ haben.

Wenn von diesem Zustand aus nun eine Vorwärtsscharf eins teilung vorgenommen wird, wird das Bild des Objektes vor der festen Brennebene P ge_ib^<|e£_n._ksund deshalb wird jedes Bild auf dei Reihen 1A und 1B/verschoben, wie es in Pig. 3 dargestellt ist. Venn stattdessen eine Rückwärtsscharfeinstellung vorgenommen wird, werden die Bilder auf den Reihen 1A. und 1B in Pig. 3 nach rechts verschoben. Im Palle einer VorwäxtssdBrfeinstellung oder einer Rückwärtsscharfeinstellung bilden die Lichtstrahlen

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R_a und R-J₃ kein scharf eingestelltes Bild des Gegenstandes auf den Reihen 1A und 1B ab, v?as jedoch nicht von Bedeutung ist, v/eil dieVorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung noch das Beleuchtungsmuster der Bilder auf den Reihen HA und 1B feststellen kann.

Wenn das Bild wegen der Vorwärtsscharfeinstellung nach links in Fig. 3 verschoben wird, wird das Bild auf der Reihe 1A nach rechts und auf der Reihe 1B nach links verschoben, wie es in Pig. 4A gezeigt ist, in der die Anordnungsrichtung der Elemente in den Elementenreihen 1A und 1B in einer gleichförmigen Weise dargestellt ist, und

hat
demgemäß /der sich dann ergebende Ausgangs vektor i» des

Verarbeitungsschaltkreises 1OA ein Argument uC¹ , welches größer als das Argument <?c beim Vorliegen der Scharfeinstellung ist.und umgekehrt wird das Argument gi. '-^ des-Ausgangsvektors I'b der Verarbeitungseinheit 1OB kleiner. Im Falle der Rückwärtsscharfeinstellung ist die Situation umgekehrt,wie es in Fig. 4-C gezeigt ist. Deshalb sieht man

durch Messen der Phasendifferenz o^ - <sC-^ zwischen den Ausgängen der Verarbeitungsschaltkreise 1OA und 10B mittels einer Phasendifferfinzmeßeinrichtung 13 wie es in Fig. 3 gezeigt ist, daß das optische System scharf eingestellt ist, wenn &C - o£, gleich 0 ist, und daß sich

el D

das optische System in der Vorwartsscharfeinstellungsbedingung befindet, wenn -^L- cC, >0 und sich das optische System in der Rückwärtsscharfeinstellungsbedingung befindet, wenn ^- ^yX 0 ist.

Der absolute Wert '^₃"" ⁰^/ dieser Phasendifferenz wird größer, wenn das optische System stärker von seiner Scharf einstellungsbedingungung abweicht. Deshalb kann, wenn der Ausgang der Phasendifferenzmeßeinrichtung 13 mit einer Anzeigeeinrichtung 15 verbunden wird, die Unterscheidung zwischen der Vorwärtsscharfeinstellung, der Scharfeinstellung und der

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Rückwärt s scharf einst el lung s"be dingung und deren. Größe gemäß dem Vor .zeichen und der Größe des Ausgangs der Phasendiffercnzmeßeinrichtung 13 an der .Anzeigeeinrichtung angezeigt werden. Es ist natürlich auch möglich, eine automatische Scharfeinstellung durchzuführen., wenn beispielsweise der Antriebsmechanismus für die Linse Lq gemäß dem Ausgang der Phasendifferenzmeßeinrichtung 13 "betätigt bzw. gesteuert wird.

In Pig. 5 is« ein Beispiel gezeigt, bei dem Lichtstrahlen, die durch die Abbildungslinse Lq außerhalb der optischen Achse durchgegangen sind, in zwei Eichtungen durch zwei Linsen L und L-. zum Wiederherstellen des Bildes (imagereforming lenses) getrennt werden, die hinter der Brennebene F der Linse L_n und im wesentlichen symmetrisch zu dieser

^u und

optischen Achse angeordnet /zu dem Paar von Elementenreihen IA und 1B scharf eingestellt sind, welche in einer zu der Ebene P in Bezug auf die Linsen L und L^ konjugierten Ebene angeordnet sind. Abgesehen von dieser Abwandlung kann das Sr/stem sonst mit der Aus führung s form der Pig, 3 übereinstimmen.

In den Piguren 3 und 5 sind Beispiele dargestellt, bei denen das durch eine einzelne Abbildungslinse hindurchgegangene Licht in zwei Teile getrennt wird: ein Beispiel eines hiervon abweichenden optischen Systems wird nun unter Bezugnahme auf die Pig. 6 beschrieben. In Pig. 6 sind Spiegel U₁, und Mc hinter einem Paar von Abbildungslinsen L^ bzw. Lc angeordnet, um ein Bild eines Objektes S zu bilden. Der der Linse Ir zugeordnete Spiegel M₁- ist ortsfest, während der der Linse L₁^ zugeordnete Spiegel M^ betriebsmäßig mit; einer Äbbildungslinse, deren Scharfeinstellung festgestellt werden soll, gekoppelt ist und in der Richtung des anschließenden Pfeiles in Abhängigkeit von der axialen Bewegung der Linse L verschwenkbar ist. Irgendeine herkömmliche, mechanische Verbindung kann für diesen Zweck verwandt werden. Ein Prisma

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PL ist vorgesehen, damit das von den Spiegeln M^, und Mcreflektierte Licht weiter zu den entsprechenden lichtempfindlichen Elementenreinen 1A und 1B reflektiert wird. Natürlich sind diese lichtempfindlichen Elementereihen 1A und 1B in den festen Brennebenen der Linsen L,, und L₁-angeordnet. Die Lage des Bildes des Objektes S, welches auf der Elementenreihe 1B durch die Linse L_n- gebildet ist, wird nur durch die Lage des Objektes S relativ zu der Linse Lr bestimmt. Andererseits wird die Lage des Bildes des Objektes S, welches durch die Linse L^ gebildet wird, in der Richtung der Anordnung der Elemente in der Reihe 1A um den Drehwinkel des zugeordneten Spiegels M^ verschoben. Deshalb, wenn die Beziehung zwischen der Linse Lq und den zugeordneten Spiegeln wind den Elementenreihen 1A und 1B derart festgelegt ist, daß das Bild des Gegenstandes S die gleiche Lage in Bezug auf die Reihen 1A und 1B, wie es in Fig. 4-B gezeigt ist, einnimmt, wenn sich die Abbildungslinse Lq in ihrer Scharfeinstellungslage befindet, und daß sich das Bild des Gegenstandes S in die entgegengesetzte Sichtung in Bezug auf die Reihen 1A und 1B, wie es in den Figuren 4A und 4-C gezeigt ist, bewegt, wenn die Abbildungslinse Iiq sich in ihrer Vorwärtsscharfeinstellungslage oder Rückwärts— scharfeinstellui^lage befindet, dann kann das automatische Feststellen der Scharfeinstellung der Abbildungslinse L_Q dadurch erzielt werden, daß die Ausgänge der Elementenreihen 1A und 1B in einer zu der im Zusammenhang mit der Fig. 3 beschriebenen, ähnlichenWeise, verarbeitet werden.

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Es erfolgt nun eine Beschreibung von Beispielen der Ausgestaltung der Verarbeitungsschaltkreise lOA.und 1OB, nämlich der Vektorbildungseinrichtung und der Addierschaltungseinrichtung, welche beispielsweise bei den vorhergehenden Ausführungsformen eingesetzt werden können.

Ein erstes Beispiel der Ausgestaltung ist so ausgebildet, daß der Ausgang f eines jeden lichtempfindlichen Elementes mit dem Vektor ^_nS^{1 η}» multipliziert, wird. Der Ausgang f wird mit den χ und y- Komponenten des Vektors multipliziert und die mit der x-Komponente multiplizierten Ausgänge der lichtempfindlichen Elemente werden aufsummiert, um die x— Komponente X des kombinierten Vektors I zu erhalten. Die mit der y-Komponente des Vektors multiplizierten Ausgänge der lichtempfindlichen Elemente werden aufsummiert, um die y-Komponente Y des kombinierten Vektors I zu erhalten. Das heißt, dieses Ausgestaltungsbeispiel ist so gebildet, daß der kombinierte Vektor I in der Form der x— und y-Komponenten X und Y berechnet wird.

In Figur 7 beträgt die Anzahl der eine Periode bildenden Elemente 4 und die Anzahl der Perioden in der Reihe, d.h. die Anzahl der Sätze v^n Elementen beträgt 3· Die lichtempfindlichen Elemente P^ -P^, eines jeden Elementensatzes sind mit Additionsschaltungen 2A,j - 2A^ verbunden. Demgemäß erscheint der gesamte fotoelektrische Ausgang der Elemente P^. der entsprechenden Elementensätze an dem Anschluß Τ,,, und gleiche fotoelektrische Ausgänge 'erscheinen ebenfalls an den Anschlüssen 3?₂ ~ ^4· Um die Ausgänge T₁ - T^ mit Vektoren β^±21Γχ¥, β^±21Γχ¥, eⁱ²¹ⁱ*^x4,

und e T£, zu multiplizieren, werden sie mit den x-y-Komponenten der Vektoren (cos 2Tx-J, sin 2TTxJ) = (0,1), (cos 2Tx| _si sin 2irx^) = (-1,0), (cos 2Tx|, sin 2Tx| ) = (0,^1) und

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(cos 2? Χ7Γ, sin 2^^) ⁼ Ο»⁰) multipliziert. In der Figur

7Γ,

sind die Anschlüsse T^ - T^ mit Multiplizierschaltungen 3χλ verbunden, um mit der x-Komponentenreihe 0, -1, 0, 1 zu multiplizieren und mit Multiplizierschaltungen

verbunden, um mit der y-Komponentenreihe (1, O, — 1,0).zu multiplizieren. Eine Addierschaltung 5x summiert die Ausgänge der Multiplizierschaltungen 3^ bis 3X4. auf und ergibt als Ausgang die x-Kcmponente X des kombinierten Vektors. Eine Addierschaltung 5y summiert in gleicher Weise die Ausgänge der Multiplizierschaltungen 3yV| bis Jy₁, auf und erzeugt an ihrem Ausgang die y-Komponente Y des kombinierten Vektors.

Wenn ein Verarbeitungsschaltkreis zur Berechnung" eines solchen kombinierten Vektors I in der Form seiner Komponenten X, Y in den oben beschriebenen Schaltkreisen 1OA und 103 verwandt wird, liegen die Ausgänge Ia und Ib der Schaltkreise 1OA und 1OB in der Form (Xa, Ya) bzw. (Xb, Yb) vor. Aus diesen (Xa,Ya) und (Xb,Yb) kann die Phasendifferenz von Ia und Ib in irgendeiner von verschiedenen Arten erhalten v/erden und ein· besonders bevorzugtes Berechnungsverfahren wird im folgenden beschrieben. In Figur 8 hängen die absoluten Werte der Vektoren Ia = (Xa, Ya) und Ib = (Xb, Yb) stark von der durchschnittlichen Beleuchtung des optischen Bildes ab, und deshalb werden. Xa, Ya, Xb und Yb durch Operationsschaltkreise 2Ox, 2Oy, 22x und 22y so normiert, daß sie nicht von der Durchschnittsbeleuchtung abhängen und werden umgewandelt in:

^Xa Ya Xb Yb

+ Ya² , Jxa* + Ya² , >/xb^Z + Yb² . - Jxb* + Yb^Z

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Das Außenprodukt dieser normierten Vektoren Ia und Ib, ^ Xa Yb - Ya Xb f

VXa² + Ya² /xb² + Yb²

wird durch einen Operationsschaltkreis 24· erhalten. Dieses Außenprodukt Q steht, wie es bekannt ist, mit dem zwischen den zwei Vektoren Ia und Ib gebildeten Winkel in Beziehung, so daß die Größe der Argumentendifferenz, d.h. der Phasendifferenz zwischen den zwei Vektoren Ia und Ib zusammen mit ihrem Zeichen in Übereinstimmung mit dem Ausgang des Schaltkreises 2Pr bestimmt werden kann. Infolgedessen kann die Unterscheidung zwischen der Vorwärtsscharfeinstellungsbedingung, der Scharfeinstellungsbedingung und der Eückwärtsscharfeinstellungsbedingung und deren Größe aus den Wert Q bestimmt werden.

Bei dem vorhergehenden Beispiel wird eine Periode durch vier lichtempfindliche Elemente gebildet und die absoluten Werte der Vektormultiplikatoren sind einander gleich.. Deshalb, wenn ein optisches Bild mit gleichmäßiger Beleuchtungsverteilung auf der Eeihe gebildet wird, ist der kombinierte Vektor vorzugsweise gleich Null, wobei jedoch, um ein solches Ergebnis zu erzielen, beispielsweise eine Periode aus einer geraden Anzahl von Elementen gebildet werden kann und die absoluten Werte der Vektoren, die um eine halbe Periode abweichen, können, so bestimmt werden, daß sie einander gleich sind.

Unter Bezugnahme auf Figur 5 wird ein spezieller Schaltkreis dieses ersten Beispiels einer Ausgestaltung beschrieben· N = 4·, und deshalb hat die lichtempfindliche Elementenreihe 1A vier Ausgangsanschlüsse T^ bis T^, rtie es besonders in Figur 2B gezeigt ist, und die dort auftretenden Ausgänge werden einzeln durch vier Verstärker 26 verstärkt. Die mit diesen

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Ausgängen multiplizierte x-Komponentenreihe ist 0,-1, 0,1, wie es bereits erwähnt wurde, und um deshalb die x-Eomponente X , zu erhalten, können die Ausgange der Anschlüsse T~ ^un<^ ^/l

mit -1 bzw. 1 multipliziert werden, xroraufhin die beiden zueinander addiert werden. In dem vorliegenden Schaltkreisbeispiel jedoch werden die Ausgänge der Anschlüsse Tp und T^ mit 1 bzw. 1 multipliziert, woraufhin die Differenz zwischen diesen beiden erhalten wird. Dies bedeutet, die Ausgänge der Anschlüsse Tp uttcl· ¹^h werden über Verstärker 26 mit gleichen Widerständen verbunden, wodurch sie mit der oben erwähnten x-Komponente 1 multipliziert werden, und sind mit den beiden Eingängen eines Differentialverstärkers 2dx verbunden. Da die y-Komponenten— reihe 1,0, -1,0 beträgt, kann Xa dadurch erhalten werden, daß jeder der Ausgänge der Anschlüsse T^ und ¹H₇, über Verstärker 26 und Widerstände, die den im Falle von Xa gleich sind, mit einem Differentialverstärker 28y verbunden werden. Im Bezug auf die andere Elementenreihe 1B und den anderen Verarbeitungs— schaltkreis 1OB können Xb und Yb mit einer gleichen Ausgestaltung erhalten werden. Aus diesen (Xa, Ya) und (Xb, Yb) kann, die Phasendifferenz zwischen den kombinierten Vektoren Ia und Ib durch die in Figur 8 gezeigte Ausgestaltung erhalten werden.

Die anderen Anschlüsse der entsprechenden lichtempfindlichen Elemente in jeder Reihe werden mit dem gemeinsamen Ausgangsanschluß Tc einer jeden Elementenreihe verbunden und der gemeinsame Anschluß Tc wird mit einer nicht dargestellten Stromquelle verbunden.

Bei dem vorhergehenden Beispiel sind natürlich die mit dem fotoelektirschen Ausgang zu multiplizierende x-Komponente und y-Komponente, mit Ausnahme von Null einander gleich, und daher sind die Werte der Widerstände einander gleich. Wenn jedoch die x-Komponente oder die y-Komponente sich ändert wird ein Widerstand mit einem Wert gewählt, welcher der Größe der Komponente entspricht.

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Eine verbesserte Abänderung der vorgehend beschriebenen Ausführungsform wird nun unter Bezugnahme auf die Fig. IO beschrieben. Bei dieser Abänderung werden Fotodioden als lichtempfindliche Elemente verwandt, der gemeinsame Anschluß Tc der Fotodiodenreihen 1A und ΊΒ liegt an Hasse und die entsprechenden Ausgangsanschlüsse T^ - T₁, werden mit zugeordneten FET-Schaltelementen SI? verbunden. Diese Art Schalt— elemente SW werden alle "synchron durch einen Steuerschaltkreis 30 an- und ausgeschaltet. Deshalb speichert jede Fotodiode in den Eeihen 1A und 1B laufend die in ihr durch das auffallende Licht angeregte Ladung an einer Sperrschichtkapazität (junction capacity) der Fotodiode während die Schaltelemente SW ausgeschaltet sind und erzeugt augenblicklich einen. fotoelektrischen Strom, der sowohl der Länge der Ausschaltzeit der Schaltelemente SW und der Intensität des einfallenden Lichtes während der Zeit entspricht, während der die Schaltelemente SW. eingeschaltet sind. Die geschalteten (Wechselstrom) Ausgänge von diesen Fotodioden haben die gleiche Periode und die gleiche Phase. Die so erfolgten fotoelektrischen Ströme der Fotodioden der Reihe 1A werden als Eingänge über zugeordnete Widerstände Diff erentSalverstärkern 28x und 28y zugeführt. Sampling-Halteschaltkreise 32x und 32y richten die Ausgänge der Differential verstärker 28x und 28y gemäß einem Signal entspreche

der An-Aus-Schaltperiode der Schaltelemente SW gleich, welches durch den Steuerschaltkreis 30 gesteuert wird, und wandeln diese in Gleichstrom-Ausgänge Za und Ta um. Der Steuerschaltkreis 30 erhält als Eingang die oben beschriebenen Xa und Ya, und wenn die Summe deren Absolutwerte klein ist, nämlich, wenn die Durchschnittsbeleuchtung des „optischen Bildes gering ist, vergrößert sie die An-Aus-Schaltperiode der Schaltelemente SB gemäßder Stärke der Durchschnittsbeleuchtung, erhöht die Ausschaltzeit der Elemente SW, erhöht jeden fotoelektrisch^ Strom und bringt die Größe der fotoelektrischen Ströme im wesentlichen in einen gewissen Bereich ungeachtet der Änderung der Durchschnitts-·

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beleuchtung des optischen Bildes. Natürlich v/erden die fotoelektrischen Ströme von der Elementenreihe 1B ebenfalls in Xb und Yb durch den gleichen Vorgang umgewandelt.

Bei diesem besonderen Beispiel weist der Schaltkreis, fürdie Phasendifferenz zwischen den Vektoren Ia = (Xa, Ya) und Ib = (Zu), Tb) eine unterschiedliche Ausgestaltung gegenüber den der Fig. 8 auf. Dieser Schaltkreis wird im folgenden im einzelnen beschrieben. Xa wird durch ein Wechselstromsignal sin LU < t und Ya wird mit einem ¥echselstromsignal cos ^-1 multipliziert, und wenn beide zueinander addiert vrerden,erhält man ein Signal

/xa² + Ya² sin (ü,t + Ct ),

mit oC dem Argument des Vektors Ia. In gleicher Weise wird

el

Xb mit cos U-1 und Yb mit sin t^-t multipliziert, und wenn letzterer von ersterem subtrahiert wird, so erhält man

Xb² + Yb² cos (oat

mit cL dem Argument des Vektors Ib. Auf diese Weise können die Argumente der Vektoren Ia und Ib als die Phase eines Wechselstromsignals mit einer gewissen Frequenz co ausgedrückt werden. Wenn die Argumente der Vektoren Ia und Ib miteinander übereinstimmten, nämlich während der Scharfeinstellungsbedingung, wird den beiden Wechselstromsignalen eine Phasendifferenz von Τξ zugeteilt, mit anderen Worten, ein Sinussignal wird für einen Vektor Ia erhalten, während ein Kosinussignal für den anderen Vektor Ib erhalten wird. Die Multiplikation der beiden Signale und deren Integration, um dadurch sin (°(-_α -Λ^) ^zu erhalten, läßt sich ausdrücken durch:

ψ /^ °sin..(uj t +Ot _a) x cos (o> t +Ot^) dt = sin (OC_& -QC₁₅)-

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Dieser Integrations aus gang ist während der Scharfeinstellungbedingung 0, was das Feststellen der Scharfeinstellung erleichtert.

Dies wird unter Bezugnahme auf die Tig. 10 beschrieben. Die Gleichstromausgänge Ya und Xb werden mit der gleichen Frequenz u) durch die FET-Schalt elemente 36y und 38x an— und ausgeschaltet, und die Gleichstromausgänge Xa und Yb werden durch gleiche FET-Schaltelemente 36x und 38y mit der gleichen Frequenz <^> jedoch mit einer Phasenverschiebung von ? an- und ausgeschaltet. Diese vier FET-Schaltelemente 36x, 36y, 38x und 38y werden durch den Ausgang einer Steuerschaltung 34 gesteuert. Somit v/erden Xa und Ya in rechteckige Wellensignale konvertiert, die die gleiche Frequenz ου jedoch mit einer Phasenverschiebung von ^ haben, woraufhin sie durch eine Additions schaltung 40 zueinander addiert werden. Ein Bandfilter 41A für die Frequenz oo blendet die Frequenzkomponente 4, von dem Ausgang der Additions schaltung 40 aus. Somit enthält der Ausgang dieses Filters 41A viel von dem vorhergehend beschriebenen YXa + Ya sin (tu t + &-)« In gleicher V/eise wird in Bezug auf Xb und Yb yXb + Yb cos (cc t + a. ^) als der Ausgang eines Bandfilters 41B erhalten, in dem eine Subtrakti ons schaltung 42 statt einer Additionsschaltung 40 verwandt wird. Ein Wellenf orm-Forinschaltkreis 44A wandelt den Ausgang des Bandfilters 41A in ein rechteckiges Wellensignal mit gleichförmiger Amplitude um, wobei die Phase und Frequenz des Ausgangs unverändert aufrechterhalten wird. In gleicher Weise wandelt ein Wellenform-Formschaltkreis 44B den Ausgang des Bandfilters 41b in ein rechteckiges Wellensignal mit gleichförmiger Amplitude um. Ein Multiplizierschaltkreis 46 multipliziert die rechteckigen Wellenausgänge der zwei Schaltkreise 44A und 44B miteinander, und ein Integrator-Glättungsschaltkreis 47 integriert und glättet den Ausgang der Multiplikationsschaltung 46. Hierdurch erhält der Ausgang des Integrator-GlättungsSchaltkreises 47 einen Wert, der der Argumentendifferenz zwischen den Vektoren Ia und Ib zugeordnet ist, und deshalb können sowohl

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die Vorwärtsscharfeinstelluagsbedingung und die Rückwärtsscharf einstellungsbedingung "und deren Größe als auch die Scharf eins te llungsbedingung bei einem Ifull-Ausgang gemäß dem positiven oder negativen Zeichen und der Größe dieses Ausgangs "bestimmt werden.

Der Vektor I kann auch in der Form seiner Komponenten X u:ad Y durch Verwendung von Fotodiodenreihen oder ladungsgekoppelten Einrichtungen wie lichtempfindlichen Elementenreihen und Ausgabe der Beieuchtungsverteilung eines optischen Bildes als ein elektrisches Zeitreihensignal erhalten v/erden, wobei dieser fotoelektrische Ausgang mit cos tx» tr multipliziert und integriert und der fotoelektrische Ausgang mit sin <-c>-t multipliziert und integriert wird. Dies bedeutet:

X = v/I(t) coswt <3L·, Y = /I(t) sin out dt, mit I(t) dem fotoelektrischen Zeitreihenausgang.

Es erfolgt nun die Beschreibung einer anderen Form eines Verarbeitungsschaltkreises nach der vorliegenden Erfindung.

Die in Fig. 11 gezeigte Ausgestaltung der Fotodiodenreihe 1 ist mit der der Fig. 7 identisch. Die fotoelektrischen Ausgänge, die an den Ausgangsanschlüssen T^, — T₁, auftreten, sind S-I ~ %· Diese fotoelektrischen Ausgänge g,j - g^ werden mii; Wechselströmen multipliziert, die die gleichen Frequenzen haben,^ deren Phase jedoch jeweils um -j— vorläuft, d. h. mit β^χ^^ω ..⁺ 2?"*

_ei Ot 4-^), _ei

Multiplikationsschaltungen 5^ - 5^ Verv/endung finden. Somit werden die fotoelektrischen Ausgänge g^ - g;^ umgev/andelt in

^{1 (a;t +} ^s) bis ge^{1 (cü} * ⁺

g₁e^{1 (a;t +} ^s) bis g^e^{1 (cü} * ⁺ ²^\deren Wechselstromausgänge gleiche Frequenzen aufweisen, jedoch jeweils in der Phase um 2p vorlaufen, und die Amplituden haben, die den Größen der fotoelektrischen Ausgänge proportional sind. Eine Additions schaltung

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summiert die Wechselstromausgänge der Multiplikationsschaltungen 51 - 54- saxf und erzeugt einen kombinierten Wechselstromausgang Iq. Hier bei diesem Beispiel "bilden vier lichtempfindliche Elemente eine Periode, und deshalb sind die Wechselstromausgänge jeweils zueinander um η& außer Phase, jedoch gilt allgemein, daß wo IT Elemente eine Periode bilden, Wechselstromausgänge verwandt werden, die jeweils um 27Tx^ außer Phase sind. Bun soll für einen allgemeinen Fall der kombinierte Ausgang Iq der Additionsschaltung 55 erhalten werden:

I₀ - \__λ S_n . e«<" * ^{+ 2jr}=f) . e¹** |₌₁ g_n . e^i2jr*t (3)

Wie es sich aus einem Vergleich dieser Gleichung mit der Gleichung (1) ergibt, wird der kombinierte Ausgang Iq hauptsächlich in der Phase verändert, wenn das optische Bild relativ zu der Reihe 1 in der Richtung der Anordnung seiner Elemente verschoben wird. Unter Bezugnahme auf die Fig. 12 xd.rd nun £n spezieller Schaltkreis für dieses zweite Ausführungsbeispiel beschrieben.

Die lichtempfindliche Elementenreihe 1 in 5¹Ig. 12 ist in ihrer Ausgestaltung mit der in Fig. 2B identisch tmd hat vier Ausgangs anschlüsse T_x, - T₁,, xirelche mit einem ^Multiplexer 100 verbunden sind. Dieser Multiplexer 100 besteht aus vier FET 's 101 bis 104, die mit den Aus gangs anschluss en T^ - T₁, in Reihe geschaltet sind und aus einer Treiberschaltung (diese ist nicht dargestellt), um diese FET's mit gleichen An-Ausschaltzeiten und mit einer Periode T an- und auszuschalten. Diese Treiberschaltung verzögert die An-Ausschaltperiode der FET¹S 102, 103 und 104, die mit den Ausgangsanschlüssen T₀- T_x bzw. T#, verbunden sind, jeweils um -j^- relativ zu der An-Ausschaltperiode des FET 101, der mit dem Aus gangs ans chluß T^ verbunden ist. Deshalb wird der an dem Aus gangs ans chluß T^ auftretende Ausgang, welcher die Summe der fotoelektrischen Ausgänge der ersten Foto-

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dioden der Elementensätze darstellt, durch die An-Auswellenform des FET 101 moduliert, und, wie es in Fig. 13A dargestellt ist, fließt augenblicklich ein großer Strom G zur Anstiegszeit wegen der hauptsächlich in der Sperrkapazität der Fotodiode während des Aus-Zustandes des FET's gespeicherten Ladung und unmittelbar danach tritt ein gleichmäßiger Strom S auf. Auch die Ausgänge, die an den Anschlüssen T^, T^, T* auftreten, die die Summe des zweiten, des dritten und des "vierten der Elementensätze darstellen, werden in Wechselstromsignale umgewandelt, die jeweils in der Phase um -jrf- verzögert sind, wie es in den Figuren 13B, 13C und 13D dargestellt ist. Da die Ausgangsanschlüsse der FET's 101 bis 104 mit einem gemeinsamen Anschluß 100a verbunden sind, treten die in den Fig. 13A, 13B, 13C und 13D gezeigten Signale nacheinander an dem Ausgangsanschluß 100a des Multiplexers in der Form einer Zeitreihe auf. Dies bedeutet, daß ein Ausgang, der sich aus der Addition der Signale der Fig. 13A, 13B, 13C und 1JD ergibt, an dem Ausgangsanschluß 100a auftritt.

Bei der vorliegenden Ausführungsform ist es erwünscht, nicht den gleichmäßigen Strom S sondern einen rechteckigen Wellenstrom zu verwenden, der dadurch hergestellt wird, daß die Spitze des augenblicklich großen Stromes G während einer Zeit

5· gehalten wird. Wenn der große Strom G der Fig. 13A, welcher

als erster auftritt, während einer Zeit -^ gehalten werden soll, wird es unmöglich, den ersten großen Strom G der Fig. 13B, der als nächster Auftritt, zu halten. TJm eine solche Situation zu vermeiden, wird ein Demultiplexer 200 verwandt. Genauer gesagt wird der an dem Ausgangsanschluß 100a des Multiplexers 100 auftretende Ausgang durch einen 'Wechselstromverstärker ^6 verstärkt, woraufhin jener als Eingang an den Demultiplexer 200 gegeben wird. Dieser Demultiplexer 200 arbeitet synchron mit dem Multiplexer 100 und zerlegt das Eingangssignal und gibt Ausgangssignale, wie es in den Fig. 13A, 13B, 13C und 13D gezeigt

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ist, an seinen Ausgangsanschlüssen 200a "bis 20Od in der Weise einer Zeitreihe ab. Die Ausgänge an den Ausgangsanschlüssen

100a und 100c werden einen ersten Sample—Halteschaltkreis 57a zugeführt, der synchron mit dem Multiplexer 100 arbeitet, so daß dieser Sample-Halte-Schaltkreis 57a das verstärkte Signal in Fig. 13A und das verstärkte öignal 1JB empfängt, wie es durch die unterbrochene Linienführung in 5¹Xg. 14-a angedeutet ist, und die Spitzen der großen Ströme G für eine Zeit ^- hält. Deshalb erzeugt der Schaltkreis 57a einen Ausgang, xirie es durch die durchgezogene Linienführung in Fig. 14-A dargestellt ist. In gleicher Weise hält ein zweiter Ssmple-Halte-Schaltkreis 57b die Ausgänge von den Ausgangsanschlüssen 200b und 20Od, wie es durch unterbrochene Linienführung in I¹Xg. 14-B angegeben ist, und erzeugt einen Ausgang, wie es durch die durchgezogene Linienführung in I¹Xg. 14-B dargestellt ist. Wenn die Ausgänge des ersten und des zweiten Sample-Halte-Schaltkreises 57a. und-57b mittels einer Additionsschaltung 58 addiert werden, erhält man den Ausgang, wie er in Pig. 14C dargestellt ist. "Federn dieser

Ott"

Ausgang durch ein Bandfilter 59 für ψ- hindurciigeschickt wird, erhält man einen Sinuswellenausgang, dessen Phase gemäß der Verschiebung des optischen Bildes verändert wird.

Es wird nun auf die Pig. 15 Bezug genommen, um einen anderen besonderen Sch?¹^ kreis des zweiten Ausführungsbeispiels der Pig. 11 zu beschreiben. Bei diesem Beispiel werden. Fotodioden als lichtempfindliche Elemente verwandt, wobei sechs Elemente eine Periode bilden mit E = 6 und die Ausgestaltung des Paares von Elementenreihen 1A und 1B ebenso wie die in der Fig. 2C gezeigt ist. Die Ausgangsanschlüsse T^. und Tg der Reihen 1A und 1B sind mit FET-Schaltelementen S^. - Sg bzw. S^_Q - S^q verbunden. Diese Schaltelemente S,, - Sg werden während einer kurzen Zeit mit der gleichen Periode T durch einen Impuls von einem Zeitimpuls generator 60, wie es in Fig. 16 dargestellt ist, eingeschaltet, wobei die Zeitpunkte, zu denen die Schalter S^ - S^

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eingeschaltet werden, in Phase um ^- jeweils verzögert sind. Ebenso werden die Schaltelemente S^_n, - S_cr, für die Reihe

IU OU

1B nit der gleichen Periode T und mit einer Phasenverzögerung von jeweils -t? durch einen Impuls von dem Impulsgenerator 60 eingeschaltet. Die Beziehung zwischen den Zeiten, zu denen die Paare von Schaltelementen S_x, - Sg und S^₀ - Sg₀ eingeschaltet v/erden, wird so festgelegt, daß das Einschalten des Schaltelement es S^₀ mit einer Zeitverzögerung von ^ C*f hinsichtlich der Phase) in Bezug auf das Anschalten des Schaltelementes S^ stattfindet. In Abhängigkeit von den nacheinander Anschalten der Schaltelemente S^ - Sg und S^₀ - Sg₀ treten die fotoelektrischen Ströme der Fotodioden nacheinander an den gemeinsamen Anschluß Tc der Reihen 1A und 13 auf. Dieser fotoelektrische Strom hat einen Spitzenwert, der der Lichtintensität und der Ausschaltzeit der Schaltelemente zugeordnet ist, wie es "bereits erwähnt wurde. Ein Impulsformerschaltkreis 62 ist mit dem gemeinsamen Anschluß Tc dieser Reihen 1A und 13 verbunden und umfaßt einen Operationsverstärker 62a, einen Rückkopplungskondensator 62b und einen FET 6 ^, der parallel zu dem Hückkopplungskondensator geschaltet ist und durch den Schaltkreis 60 ein- und ausgeschaltet wird. Der Schaltkreis 62 formt den foto elektrischen Strom, von dem Anschluß Tc in ein Impulssignal um, welches eine vorgegebene Impulsweite und eine seinem Spitzenwert zugeordnete Amplitude aufweist. Demgemäß wird an dem Ausgang des Formschaltkreises ein Impuls erzeugt, der dem Einschalten der Schaltelemente S^, SgQ, Sp, S^q, S,, Sp₀, S^, S^q *.. entspricht, wobei der Zeitablauf in der Fig. 16 mit der Ausnahme der Iiapulsamplitude gezeigt ist. FET's S₁ ¹ - S₆ ¹, S₁₀' - S₆₀ ¹, die mit dem Ausgang des Formsnhaltkreises 62 in Reihe verbunden sind, werden durch den Impulsgenerator 60 synchron mit den FET's S^, - Sg, S^₀ - Sg₀ (Sn entspricht Sn¹) ein- und ausgeschaltet. Somit tritt der fotoelektrische Strom, welcher beim Einschalten, des FET S^ erzeugt wird, am Ausgang des Formschaltkreises 62 als ein Impuls mit geformter Wellenform auf, wie es in Fig. 16 (S^) gezeigt ist, und zu diesem Zeitpunkt ist nur S^' eingeschaltet und dieser Impuls-

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ausgang wird während einer Zeit -^ mittels eines Spitzenhalteschaltkreises 64 in Bezug auf seine Spitze gehalten "und in

eine rechteckige Wellenform nit einer Länge ψ umgewandelt, wie es in "Pig. 17A dargestellt ist. nachfolgend, wenn der FET Sg₀ eingeschaltet wird, wird sein fotoelektrischer Strom in gleicher Weise in eine rechteckige Wellenform durch den Spitzenhalteschaltkreis 69 umgewandelt, da dann der FET eingeschaltet ist. Anschließend, naclijden Einschalten der I¹ST¹S Sp, S^q, S-,, Sog... werden ihre entsprechenden fotoelektrischen Ströme in rechteckige Wellenfomen durch Spitzenhalteschal tkreise 65, 67, 65, 68 umgewandelt, die durch die ihnen zugeordneten J¹ET¹S Sp', S^₀ ¹, S^¹, Sp₀' ausgewählt werden. Die Paare von Schaltelementen S^₁ und S,., S₀ und S_c, und S-, und

¹ ^" £■ m y s

Sg haben Einschaltperioden, welche jeweils um p- voneinander abweichen, und deshalb kann eine Vereinfachung der Ausgestaltung erzielt werden, in dem die Schaltelemente S^', Sp' und S · parallel zu den Schaltelementen S^.¹, S₁-¹ "bzw. Sg¹ verbunden, und gemeinsame Spitzenhalteschaltkreise 64, 65 und 66 vearwandt werden. Dies gilt auch für die Schaltelemente S^₀' - Sg₀ ¹. Bei einer solchen Ausgestaltung treten abwechselnd eine rechteckige Wellenform 1S, die dem Einschalten des Schalt elements S^ zugeordnet ist, und eine rechteckige Wellenform 4S, die dem Einschalten des Schaltelementes S^ zugeordnet ist, wie dies in Fig. I7A dargestellt ist, in dem Spitzenhaltesclialtkreis 64 auf. Eechteckige Wellenformen 2S₁ 5$, 6S und JS, die den Schaltelementen Sp undrS- bzw. den Schaltelementen Sg -und S^ zugeordnet sind, treten abwechselnd, wie es in den Fig. I7B und I7C gezeigt ist, in den Spitzenhalteschaltkreisen 65 bzw. 66 auf. Ein Additionsschaltkreis 7OA summiert die Ausgänge dieser Schaltkreise 64-66 und erzeugt einen in der Fig. 18 gezeigten Ausgang. Ein Bandfilter 72A mit der Hauptfrequenz -ψ- blendet die Frequenzkomponente tJt- aus dem Additions auf gang des Additionsschaltkreises ?OA aus und erzeugt eine Sinuswelle, wie sie in Fig. 19 dargestelli; ist. Diese Sinuswelle entspricht der Gleichung

τ - « p. _i (ου t +

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--2S=

die im Zusammenhang mit der Fig. 11 beschrieben worden ist. Auch der fotoelektrische Ausgang der Reihe 1B wird in gleicher Weise in eine Sinuswelle durch einen Additionsschaltkreis 70S und ein. Bandfilter 72B mit der Hauptfrequenz ^- umgewandelt. Diese Sinuswelle ist

T-? e- ρ^{1 (wt +} ϊ⁺ ² ^^x#> 0 "¹¹Bi=I ^sn *

während der Scharfeinstellungsbedingung, nämlich, wenn ein optisches Bild identisch dem optischen Bild auf der Reihe 1A auf der Reihe 1B gebildet wird. Ia dieser Gleichung ergibt sich % aus der Tatsache, daß das Einschalten des FET S^₀ in der Reihe 13 in der Phase um ^ in Bezug auf das Einschalten des FET S^ in der Reihe 1A verzögert wird. Die Ausgänge der zwei Filter 62A und 72b werden in Rechteckwellen durch Wellenform-Formschaltkreise 44A und 44B ähnlich denjenigen der Fig. 10 umgewandelt, woraufhin sie mittels eines Kultiplikationsschaltkreises 46 und eines Integrator-Glättungsschaltkreises 47 multipliziert und geglättet werden, woraufhin der Ausgang-des Integrator-Glättungsschaltkreises 4-7 während der Scharfeinstellungsbedingung gleich Hull wird und Ausgänge verschiedenen Zeichens während der Vorx-rärtsscharfeinstellungsbedingung und der Rückwärtss charf einstsllungsbedingung erhalten werden.

In den Beispielen der Figuren 12 und I5 werden die Ausgänge der lichtempfindlichen Elemente direkt durch Schaltelemente bis 104, S_-1 - Sg und S^q- S^₀ gesteuert, Jedoch können die Ausgänge der lichtempfindlichen Elemente zuerst verstärkt und dann durch die Schaltelemente gesteuert werden.

Gemäß der vorliegenden Erfindung kann durch die Verwendung von zwei lichtempfindlichen Elementenreihen die Vorwärts scharf einst ellungsbedingung, die Scharfeinstellungsbedingung und die Rückwärtsscharf einstellungsbedingung und deren Größe äußerst

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genau aus der Phasendifferenz zwischen Ausgängen festgestellt werden, die den fotoelektrischen Ausgängen der beiden Reihen zugeschrieben werden.

Während "bevorzugte Ausführungsf ormeii. der Erfindung dargestellt und beschrieben worden sind, ist es für den Durchschnittsfachmann offensichtlich, daß bei diesen Ausführungsformen Änderungen •vorgenommen werden können, ohne von dem Grundgedanken und Geist der Erfindung abzuweichen, deren Umfang in den beigefügten Ansprüchen angegeben ist.

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Claims

Pat ent ansprüche

1. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung bei ^ einem optischen System mit ersten und zweiten optischen Abbildungseinrichtungen, die Licht von einem Objekt längs erster und zweiter räumlich getrennter Lichtwege empfangen und eine Abbildung des Objektes erzeugen, mit ersten und zweiten lichtempfindlichen Elementenreihen, die in vorbestimmten Bildebenen der ersten und zweiten Abbildungseinrichtungen angeordnet sind, wobei jede der Reihen eine Vielzahl von lichtempfindlichen Elementen aufweist und wobei durch die Reihen elektrische Signale erzeugbar sind, die für das Intensitätsverteilungsmuster des auf sie auffallenden Lichtes maßgebend sind und von denen mindestens eines bei der Scharfeinstellung des optischen Systems veränderbar ist, und mit einer Schaltungsanordnung zum Feststellen der Scharfeinstellung des optischen Systems gemäß den elektrischen Signalen von der ersten und

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der zweiten Reihe, dadurch gekennzeichnet , daß die Schaltungsanordnung einen ersten Verarbeitungsschaltkreis (10A) zum Erzeugen eines elektrischen Ausgangssignals, dessen Phase für die Lagebeziehung zwischen der ersten Reihe (1A) und dem Intensitätsverteilungsmuster des auf die erste Reihe. (1A) auffallenden Lichtes gemäß dem elektrischen Signal von dieser Reihe maßgebend ist, einen zweiten Verarbeitungsschaltkreis (10B) zum Erzeugen eines elektrischen Ausgangssignals, dessen Phase für die Lagebeziehung zwischen der zweiten Reihe (1B) und dem Intensitätsverteilungsmuster des auf die zweite Reihe (1B) auffallenden Lichtes ge~.äß dem elektrischen Signal von dieser Reihe maßgebend ist, und einen Phasenvergleichsschaltkreis (13) umfaßt, um die Phasen der elektrischen Ausgangssignale von dem ersten und dem zweiten Verarbeitungs— schaltkreis (1OA, 1OB) zu vergleichen und ein Ausgangssignal zu erzeugen, welches für die Scharfeinstellungslage des Optischen Systems (L_Q) maßgebend ist.

2. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß jeder der ersten und zweiten Verarbeitungsschaltkreise (1OA, 1OB) eine Vektorbildungseinrichtung (3) zum Multiplizieren der Signale der lichtempfindlichen Elemente (P,,..., Ρ«) der zugeordneten Reihen mit Vektoren umfaßt, deren Phase in der Reihenfolge der Anordnung der lichtempfindlichen Elemente der zugeordneten Reihe fortschreitet, und daß eine Additions einrichtung (5) vorgesehen ist, um die als Vektoren dargestellten Ausgänge der lichtempfindlichen Elemente (P^..., P^·) auf zusummieren, und wobei durch den Phasenvergleichsschaltkreis (13) die Phasendifferenz zwischen dem kombinierten Vektorausgang der Additionseinrichtung (5) des ersten Verarbeitungs schaltkreis es (10A)und dem kombinierten Vektorausgang der Additionseinrichtung des zweiten Verarbeitungsschaltkreises (10B) bestimmbar ist.

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_ 3 —

3. Vorrichtung zum Peststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 2, dad urch gekennzeichnet, daß durch den Vergleichsschaltkreis (13) ein für eine Vor;värt Seinstellungsbedingung maßgebendes Ausgangs signal, wenn die Phase des Ausgangs signals von einem der beiden Verarbeitungsschaltkreise (1OA bzw. 10B) in Bezug auf die Phase des Ausgangssignals des anderen Verarbeitungsschaltkreises (1OB bzw. 10A) vorgeschritten ist, ein für eine Sückwärtsscharfeinstellungsbedingung maßgebendes Ausgangssignal, wenn die Phase des Ausgangssignals des anderen Verarbeitungsschaltkreises (1OB bzw. 10A) in Bezug auf die Phase des Ausgangssignals des einen Verarbeitungsschaltkreises (1OA bzw. 10B) vorgeeilt ist und ein für eine Scharfeinstellungsbedingung maßgebendes Ausgangssignal erzeugbar ist, wenn die beiden Ausgangssignale miteinander in Phase sind.

4. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Vektorbildungseinrichtung (3) von einem jeden der ersten und zweiten Verarbeitungsschaltkreise {10A, 10B) die Signale von zugeordneten, lichtempfindlichen Elementen mit Vektoren multipliziert, deren Phase fortschreitend um 2.Ύ in der Reihenfolge der Anordnung der zugeordneten

Elemente (P^ ,...,V-^) zunimmt, wobei IT eine natürliche Zahl ist, die gleich oder kleiner als die Anzahl der zugeordneten, lichtempfindlichen Elemente ist.

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5- Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch ή-, dadurch. gekennzeichnet, daß jede Reihe (1A, 1B) eine Vielzahl von Sätzen von lichtempfindlichen Elementen (Py,,..., P^) umfaßt und Additionsschaltkreise (3) aufweist, um die Signale von entsprechenden lichtempfindlichen Elementen der Sätze zu addieren, und daß die Vektorbildungseinrichtung (3) eines jeden Verarbeitungsschaltkreises (1OA, 10B) die Ausgänge der Additionsschaltkreise (3) mit Vektoren multipliziert.

6. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Vektorbildungseinrichtung (3) der ersten und zweiten Verarbeitungsschaltkreise (1OA, 10B) Einrichtungen umfaßt,um die Signale, die dem auf die lichtempfindlichen Elemente der zugeordneten Reihen (1A, 1B) auffalenden Licht zugeordnet sind, in rechteckige V/ellensignale mit der gleichen Periode umzuwandeln, die jedoch ein fortschreitendes Fhasenvoreilen von 2TT in der Reihenfolge der Anordnung der Elemente aufweisen und deren Amplituden den Größen der elektrischen Signale der lichtempfindlichen Elemente (P^,-,.,P^) proportional sind.

7. Vorrichtung zum Peststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß die Additions einrichtung der ersten und zweiten Ver— arbeitungsschaltkreise (1OA, 10B) die Aus gangs signale der zugeordneten Einrichtung zum Umwandeln in rechteckige Wellen— signale aufaddiert, und daß jeder der ersten und zweiten Verarbeitungsschaltkreise (1OA, 10B) einen Filterscnaltkreis zum Filtern des Ausgangssignals der zugeordneten Additionseinrichtung aufweist, wobei durch den Filterschaltkreis ein Signal mit der gleichen Frequenz wie die rechteckigen Wellensignale hindurchgeht.

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8. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 1 oder 2,dadurch gekennzeichnet , daß eine Einrichtung zum allmählichen Verringern des Einflusses der Signale -von einer Vielzahl von lichtempfindlichen Elementen, die nahe den gegenüberliegenden Enden der jeweiligen ersten und zweiten Reihe (1A,1B) angeordnet sind, auf die Ausgangssignale der ersten und zweiten Verarbeitungsschaltkreise (1OA, 10B) gegen beide Enden einer jeden Reihe vorgesehen sind.

9- Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 8,dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Verringern des Einflusses die Verringerung des Einflusses dadurch bewirkt, daß die licht— empfangenden Flächenbereiche der Vielzahl von lichtempfindlichen Elementen (P^ ,... ,Ijx) nahe den gegenüberliegenden Enden einer jeden Reihe (1A, 1B) allmählich zu den gegenüberliegenden Enden der Reihe verringert sind.

10. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die den Einfluß verringernde Einrichtung ein optisches Filter aufweist, welches vor der lichtempfangenden Oberfläche einer jeden Reihe (1A, 1B) angeordnet ist, wobei die Lichtdurchlässigkeit des Filters allmählich zu den gegenüberliegenden Enden der Reihe nahe ihren gegenüberliegenden Enden abnimmt.

11. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite optische Abbildungseinrichtung Lichtstrahlen an gegenüberliegenden Seiten der optischen Achse des optischen Systems verwendet und Bilder erzeugt,die

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sich über de erste und zweite Reihe (1A, 1B) parallel zur Reihenfolge der Anordnung der entsprechenden Reihen bewegen, wenn sich die Scharfeinstellungsbedingung des optischen Systems (Ijq) verändert.

12. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die erste und zweite optische Abbildungseinrichtung Lichtstrahlen von dem Objekt verwendet, wobei einer von diesen ein Bild erzeugt, welches sich über die entsprechende Reihe (1A) parallel zur Reihenfolge der Anordnung der Reihe bewegt, wenn sich die Scharfeinstellungsbedingung des optischen Systems (L_Q) ändert.

1J. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der ersten und zweiten Verarbeitungsschaltkreise (1OA, 10B) Einrichtungen (3X₁, ...,3XJj, 3y₁,--._J 3y_H, 5^c, 5y) zum Erzeugen eines elektrischen Ausgangssignals aufweist, welches in orthogonale Vektorkomponenten (Xa,Ya,Xb,Yb) aufgeteilt ist.

14. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 13, dadurch gekennzeichnet, daß die Schaltkreiseinrichtung Einrichtungen (20x,20y,22x,22y) umfaßt, um die Komponenten (Xa,Xb,Ya,Yb) zu normalisieren, wodurch die Wirkung der Durchschnittsbeleuchtung der Bilder verringerbar ist.

15· Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch I3, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Erzeugen der orthogonalen Vektor-

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komponenten (Xa,Ta,Xb,Yb) Schalteinrichtungen (SW) umfaßt, um die elektrischen Signale von den lichtempfindlichen Elementen (P^,...,Pjt) zu vorgegebenen Zeiten durchzulassen.

16. Vorrichtung zum Feststellen der Schärfeinstellung nach Anspruch 15» dadurch gekennzeichnet, daß jeder der ersten und zweiten Verarbeitungsschaltkreise (1OA, 10B) ferner Einrichtungen umfaßt, um vorbestimmt hindurchgelassene Signale zu kombinieren, wodurch ein Paar von kombinierten Ausgangssignalen erzeugbar ist, und ein Paar von Einrichtungen (J2x, 32y) aufweist, um die kombinierten Ausgangssignale abzutasten (sampling) und zu halten.

17. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 16, dadurch gekennzeichnet, daß jeder der ersten und zweiten Verarbeitungsschal"tkreise (1OA, 10B) ferner eine Einrichtung aufweist, um die Ausgangssignale von den zugeordneten Paaren von Abtast (sampling)— und Halteeinrichtungen (32x,32y) zu kombinieren, und daß der Phasenvergleichsschaltkreis eine Einrichtung aufweist, um die von den letztgenannten Kombinierungseinrichtungen abgeleiteten Signale zu vergleichen.

18. Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 1,dadurch gekennzeichnet, daß die Vorrichtung eine Einrichtung (60) zum Erzeugen einer Zeitfolge von Signalen der lichtempfindlichen Elementen (Ρ^,.,.,Ρ^) der ersten und zweiten Reihen ("IA, 1B) aufweist und daß die ersten und zweiten Signalverarbeitungsschaltkreise (10A, 10B) Einrichtungen aufweisen, die auf Signale dieser Zeitfolge ansprechen, um die elektrischen Ausgangssignale zu erzeugen.

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19· Vorrichtung zum Feststellen der Scharfeinstellung nach Anspruch 18, dadurch gekennzeichnet, daß die Einrichtung zum Erzeugen der Zeitfolge eine Einrichtung zum Erzeugen eines Impulszuges aufweist, und daß die Einrichtung, welche auf Signale der Zeitfolge anspricht, eine Einrichtung zum Erzeugen eines rechteckigen Wellensignals in Abhängigkeit von den Impulsen des Impulszuges umfaßt.

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