DE2820046A1

DE2820046A1 - Akustisches oberflaechenwellen- bauelement

Info

Publication number: DE2820046A1
Application number: DE19782820046
Authority: DE
Inventors: Atsushi Inoue; Kenji Suzuki; Hiromichi Yamada
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1977-05-09
Filing date: 1978-05-08
Publication date: 1978-11-16
Also published as: DE2820046C2; AU516202B2; GB1604186A; US4322651A; FR2390830B1; AU3589778A; FR2390830A1

Description

TER MEER · MÜLLER · STEINMEISTER

Murata - FP-0786

BESCHREIBUNG

Die Erfindung betrifft ein akustisches Oberflächenwellen-Bauelement (AOW-Bauelement). Insbesondere betrifft die Erfindung ein AOW-Bauelement mit einer Kombination aus einem piezoelektrischen Substrat und darauf ausgebildeten interdigitalen Elektroden, wodurch ein elektrisches Signal in eine akustische Oberflächenwelle und umgekehrt umgewandelt wird.

Fig. 1 zeigt ein schematisches Diagramm eines bekannten AOW-Bauelements 100, das einen Wandler 20 mit einem piezoelektrischen Substrat 10 aus einer piezoelektrischen Keramik (z.B. PTZ), einen einzelnen Kristall (z.B. LiNbO₃) oder einen piezoelektrischen Dünnfilm (z.B. ZnO) sowie mit einer interdigitalen Elektrode 21 aufweist, die betriebsmäßig mit dem piezoelektrischen Subatrat 10 verbunden ist und ein Paar von Elektrodenfinger-Gruppen 22b, ... 22b und 23b, ... 23b aufweist, die auf der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 10 in interdigitaler Art ausgebildet sind und sich mittels eines Paares von gemeinsamen Elektroden 22a und 23a auf dem gleichen Potential befinden.

Üblicherweise ist das AOW-Bauelement so ausgebildet, daß sich die Elektrodenfinger in der überlappungslänge der benachbarten Elektrodenfinger ändern, die sich miteinander in der Längsrichtung der Elektrodenfinger entsprechend der vorbestimmten Bewertungsfunktion überlappen, um eine gewünschte Durchlaßkennlinie zu erhalten. Die Geschwindigkeit der sich entlang des piezoelektrischen Substrats ausbreitenden akustischen Oberflächenwelle ist jedoch verschieden zwischen einem Bereich, in dem die Elektrodenfinger mehr vorherrschen, und einem Bereich, in dem die Elektrodenfinger weniger vorherrschen, d.h. zwischen einem mehr gewichteten Bereich und einem weniger gewichteten Bereich.

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Demzufolge wird in einem AOW-Bauelement mit sogenannten gewichteten oder bewerteten interdigitalen Elektroden die Geschwindigkeitsverteilung der akustischen Oberflächenwelle in der Ebene senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle ungleich, wodurch an der Ausgangsseite des AOW-Bauelements eine Phasendifferenz verursacht wird. Aus diesem Grund hat auch das sogenannte gewichtete AOW-Bauelement den Nachteil, daß eine vorbestimmte gewünschte Durchlaßkennlinie nicht erreicht werden kann.

Aus der US-PS 3 699 364 ist ein AOW-Bauelement bekannt, das den oben beschriebenen Nachteil bis zu einem gewissen Grade vermeidet. Bei diesem AOW-Bauelement sind Pseudoelektroden 231, ... 231 und 221, .. 221 zwischen benachbarten Elektrodenfingern 22b, ... 22b und 23b, ... 23b im nicht gewichteten Bereich vorgesehen, um die Verteilung der Geschwindigkeit der akustischen Oberflächenwelle gleich zu machen. Derartige Pseudoelektroden haben zur Folge, daß die Differenz in der Geschwindigkeit der akustischen Oberflächenwelle zwischen dem gewichteten Bereich und dem nicht gewichteten Bereich eliminiert wird und sich damit eine verminderte Phasendifferenz an der Ausgangsseite des AOW-Bauelements ergibt. Solche Pseudoelektroden haben jedoch auch den Nachteil, daß eine elektrisch und mechanisch reflektierte Welle der akustischen Oberflächenwelle erhöht wird und sich ein weiteres Problem dadurch ergibt, daß ein unerwünschter Frequenzgang, d.h. eine gewisse Welligkeit im Durchlaßband auftritt und die Welligkeit der Gruppenverzögerungskennlinie zunimmt, wie es in Fig. 3 dargestellt ist. Fig. 3 zeigt dabei die Durchlaßkennlinie eines bekannten AOW-Bauelements, wobei auf der Ordinate der Dämpfungsbetrag und auf der Abszisse die Frequenz der akustischen Oberflächenwelle aufgetragen ist.

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Um die elektrisch reflektierte Welle zu vermindern, wurde bereits vorgeschlagen, die Pseudoelektroden 221, ... 221 und 231, ... 231 auch mit den gemeinsamen Elektroden 22a und 23a zu verbinden, die die entsprechenden Elektroden-

finger 22b, ... 22b und 23b, 23b auf dem gleichen

Potential halten, wie es in Fig. 2 dargestellt ist, wodurch die Pseudoelektroden auf das gleiche Potential wie die benachbarten Elektrodenfinger gebracht werden. Aber selbst bei einem AOW-Bauelement, bei dem die Pseudoelektroden auf das gleiche Potential wie die benachbarten Elektrodenfinger gebracht wurden, wird die oben beschriebene Welligkeit aufgrund der mechanisch reflektierten Welle überhaupt nicht verbessert. Andererseits wird bei der Herstellung eines derartigen AOW-Bauelements ein piezoelektrisches Substrat mit einem größeren elektrischen/ mechanischen Kopplungskoeffizienten Keff hinsichtlich der akustischen Oberflächenwelle verwendet, um den Umwandlungswirkungsgrad zu verbessern. Da die oben beschriebene mechanisch reflektierte Welle annähernd in quadratischem Verhältnis zum elektrischen/mechanischen Kopplungskoeffizienten Keff zunimmt, nimmt die mechanisch reflektierte Welle abrupt zu, wenn der elektrische/mechanische Kopplungskoeffizient Keff größer wird. Dies hat zur Folge, daß die Welligkeit des Durchlaßbandes und die Welligkeit der Gruppenverzögerungskennlinie ( = - - χ ; wobei f die Frequenz und 0 die Phase ist) auch bei einer Zunahme des elektrischen/mechanischen Kopplungskoeffizienten Keff abrupt zunimmt, wie es durch die gestrichelten Linien in Fig. 4 und 5 dargestellt ist und im Detail später beschrieben wird.

Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde,^ein AOW-Bauelement zu schaffen, bei dem die Ausbreitung einer unerwünschten akustischen Oberflächenwelle bzw. eine unerwünschte reflektierte Welle nicht auftritt.

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Das erfindungsgemäße AOW-Bauelement weist einen Wandler zum Umwandeln eines elektrischen Signals in eine akustische Oberflächenwelle und umgekehrt auf, und zwar durch das Zusaitmenwirken eines piezoelektrischen Substrats und von darauf ausgebildeten interdigitalen Elektroden, wobei die interdigitalen Elektroden in der Überlappungslänge von benachbarten, sich in Längsrichtung der Elektrodenfinger entsprechend einer vorbestimmten Bewertungsfunktion überlappenden Fingern gewichtet werden.Dabei wird durch eine Umhüllung der gewichteten Elektrodenfinger ein gewichteter Bereich und ein nicht gewichteter Bereich bestimmt und der nicht gewichtete Bereich weist ein die akustische Oberflächenwelle absorbierendes Material auf, um eine unerwünschte akustische Oberflächenwelle zu dämpfen.

Durch eine derartige Ausbildung des AOW-Bauelements wird die Frequenzkennlinie verbessert. Außerdem kann auch die Gruppenverzogerungs- oder Gruppenlaufzeitkennlxnie verbessert werden.

Die Erfindung sieht demnach ein AOW-Bauelement mit Wandlern und interdigitalen Elektroden vor, die auf der Oberfläche eines piezoelektrischen Substrats aus Keramik (z.B. PZT), oder eines einzelnen Kristalls (z.B. LiNbO₃) oder eines piezoelektrischen Dünnfilms (z.B. ZnO) ausgebildet sind, wodurch ein elektrisches Signal in eine akustische Oberflächenwelle und umgekehrt umgewandlet wird. Die interdigitalen Elektroden werden in der Überlappungslänge der benachbarten Elektrodenfinger verändert, die sich miteinander entsprechend einer durch eine gewünschte Durchlaßkennlinie bestimmten Bewertungsfunktion überlappen. Ein Teil des Wandlerbereichs, in dem sich eine unerwünschte akustische Oberflächenwelle ausbreitet, d.h. der Teil außerhalb der durch die Bewertungsfunktion bestimmten Umhüllung der interdigitalen Elektroden, weist ein die akustische Oberflächenwelle absorbierendes Material auf,

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wie etwa Siliconkautschuk. Bei einer bevorzugten Ausführungsform können Pseudoelektroden zwischen den Elektrodenfingern der interdigitalen Elektroden vorgesehen werden.

Ausführungsbeispiele der Erfindung werden anhand der Zeichnungen näher beschrieben. Es zeigen:

Fig. 1 und 2 schematische Diagramme von verschiedenen

bekannten AOW-Bauelementen mit Pseudoelektroden; Fig. 3 ein Kurvenschaubild der Frequenzkennlinie eines herkömmlichen AOW-Bauelements mit Pseudoelektroden,

wobei auf der Abszisse die Frequenz und auf der Ordinate der Dämpfungsbetrag aufgetragen ist; Fig. 4 ein Kurvenschaubild der Beziehung zwischen dem elektrischen/mechanischen Kopplungskoeffizienten Keff und der Welligkeit des Durchlaßbandes, wobei die gestrichelte Kurve die Kennlinie des herkömmlichen Bauelements und die durchgezogene Kurve die Kennlinie des erfindungsgemäßen Bauelements zeigt;
Fig. 5 ein Kurvenschaubild der Beziehung zwischen dem elektrischen/mechanischen Kopplungskoeffizienten Keff und der Welligkeit der Gruppenverzögerungsbzw. Gruppenlaufzeitkennlinie, wobei die gestrichelte Kurve die Kennlinie des bekannten Bauelements und die durchgezogene Kurve die Kennlinie

des erfindungsgemäßen Bauelements darstellt; Fig. 6A eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel der

Erfindung;

Fig. 6B eine vergrößerte Schnittansicht eines Teils des erfindungsgemäßen Bauelements; Fig. 7 ein Kurvenschaubild der Frequenzkennlinie zur Verdeutlichung der Wirkung des erfindungsgemäßen Bauelements, wobei auf der Abszisse die Frequenz und auf der Ordinate der Dämpfungsbetrag aufgetragen ist;

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Fig. 8 eine Draufsicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung;

Fig. 9 eine Draufsicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung und

Fig. 10 eine Draufsicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung.

Fig. 6A zeigt eine Draufsicht auf ein Ausführungsbeispiel der Erfindung und Fig. 6B eine vergrößerte Schnittansicht davon. Das akustische Oberflächenwellen-Bauelement (AOW-Bauelement) ist allgemein mit dem Bezugszeichen 100 gekennzeichnet. Das AOW-Bauelement 100 weist ein piezoelektrisches Substrat 10 auf. Das piezoelektrische Substrat 10 kann eine Platte aus einer piezoelektrischen Keramik (z.B. PZT), ein einzelner Kristall (z.B. LiNbO₃) oder ein piezoelektrischer Film (z.B. ZnO) sein. Das dargestellte Ausführungsbeispiel weist einen piezoelektrischen Dünnfilm aus ZnO auf. Das AOW-Bauelement 100 weist weiterhin einen Eingangswandler 20 und einen damit gekoppelten Ausgangswandler 30 auf. Der Eingangswandler 20 weist eine gemeinsam wirksame Kombination aus einem piezoelektrischen Substrat 10 und einer interdigitalen Elektrode 21 auf. Wenn das piezoelektrische Substrat 10 eine Platte aus einer piezoelektrischen Keramik oder einem einzelnen Kristall ist, so ist die interdigitale Elektrode 21 auf dem piezoelektrischen Substrat 10 ausgebildet. Im Falle des in dem Ausführungsbeispiel dargestellten piezoelektrischen Dünnfilms aus ZnO jedoch ist die interdigitale Elektrode 21 auf einem Substrat 110 (z.B. Glas) und darauf wiederum ein Isolierfilm 120 aufgebracht. Ein als piezoelektrisches Substrat 10 dienender piezoelektrischer Dünnfilm ist dann auf dem Isolierfilm 120 ausgebildet, wodurch sich die dargestellte Schichtenstruktur ergibt. Es wird jedoch darauf hingewiesen, daß das in den Fig. 6A und 6B dargestellte Ausführungsbeispiel auch eine andere Struktur aufweisen

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Die interdigitale Elektrode 21 weist ein Paar von kaminartig ineinandergreifenden Elektroden 22 und 23 auf.

Die kammartige Elektrode 22 weist eine

gemeinsame Elektrode 22a und mehrere Elektrodenfinger 22b, 22b,... auf, die mit der gemeinsamen Elektrode 22a verbunden sind. In gleicher Weise weist die kammartige Elektrode 23 eine gemeinsame Elektrode 23a und mehrere damit verbundene Elektrodenfinger 23b, 23b,..., auf. Die kammartigen Elektroden 22 und 23 der interdigitalen Elektrode 21 können mit Hilfe einer bekannten Flächenmustertechnik hergestellt werden, wie etwa Kathodenzerstäubung, Ionengalvanisieren, Aufdampfen, Photoätzen, Strahlätzen oder ein chemisches Ätzverfahren, wobei ein metallisches Material wie etwa Aluminium, Silber, Gold oder dergleichen verwendet wird.

Der Ausgangswandler 30 weist ebenfalls eine interdigitale Elektrode 31 auf. Die interdigitale Elektrode 31 weist ein Paar von kammartig ineinandergreifenden Elektroden 32 und auf. Die kammartigen Elektroden 32 und 33 weisen eine gemeinsame Elektrode 32a und mehrere damit verbundene Elektrodenfinger 32b, 32b,... sowie eine gemeinsame Elektrode 33a und mehrere damit verbundene Elektrodenfinger 33b, 33b, auf.

Das in Fig. 6A dargestellte Ausführungsbeispiel ist so gestaltet, daß die interdigitale Elektrode 21 auf der Eingangsseite gewichtet ist. Die Gewichtung bzw. Bewertung wird durch Änderung der Überlappungslängen von benachbarten Elektrodenfingern in deren Längsrichtung erreicht, d.h. in einer Richtung senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle hinsichtlich der kammartigen Elektroden 22 und 23 der interdigitalen Elektrode, und zwar entsprechend einer vorbestimmten Bewertungsfunktion, die aufgrund der für das AOW-Bauelement 100 gewünschten Durchlaßkennlinie bestimmbar ist. In anderen Worten, die Umhüllung bzw. die Umhüllenden der Spitzen der Elektroden-

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finger 22b, ... 22b und 23b, ... 23b der entsprechenden kammartigen Elektroden 22 und 23 stimmt mit der oben beschriebenen Bewertungsfunktion überein. Das dargestellte Ausführungsbeispiel weist weiterhin Pseudoelektroden 221 und 231 auf, die sich in der Verlängerung der entsprechenden Elektrodenfinger 22b und 23b von der gemeinsamen Elektrode 23a und 22a der anderen kammartigen Elektrode 23 und 22 aus erstrecken, die nicht zu dem Finger 22b und 23b gehört, und zwar bis zu einer geeigneten Stelle im Abstand zum Finger 22b bzw. 23b.

Ein wesentliches Merkmal der Erfindung ist die Verwendung eines eine akustische Oberflächenwelle absorbierenden Materials 40. Insbesondere ist ein Absorptionsmaterial 40 vorgesehen, des eine aufgrund der Pseudoelektroden 221 und 231 sowie der Elektrodenfinger 22b und 23b auftretende unerwünschte reflektierte Welle absorbiert. Das Absorptionsmaterial 40 kann aus einer Gruppe ausgewählt werden, die Siliconkautschuk, Epoxiharz, eine Mischung aus Siliconkautschuk und Epoxiharz, eine Mischung aus Siliconkautschuk und einem Oxidpulver, eine Mischung aus Epoxiharz und einem Oxidpulver, eine Beimengung von Oxidpulver, eine Mischung aus Siliconkautschuk, Epoxiharz und einem Oxidpulver, sowie Wachs umfaßt. In anderen Worten, das Absorptionsmaterial 40 ist vorzugsweise ein Material mit größerer Viskosität, ausgezeichneter Adhäsionskraft und größerer Dichte, das die Oberflächenwelle leicht absorbieren kann und einen größeren Eigenverlust besitzt. Vom praktischen Gesichtspunkt aus gesehen ist das Absorptionsmaterial 40 vorzugsweise eine Mischung aus Siliconkautschuk und einem Oxidpulver oder eine Mischung aus Siliconkautschuk, Epoxiharz und einem Oxidpulver. Das Absorptionsmaterial 40 wird mit Hilfe eines Druckoder Beschichtungsverfahrens auf einen Wandlerbereich des Eingangswandlers 20 aufgebracht, wo sich eine uner-

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wünschte akustische Oberflächenwelle ausbreitet. Mit dem Bereich, in dem sich eine unerwünschte akustische Oberflächenwelle ausbreitet, ist ein Bereich gegenüber dem Ausgangswandler 30 gemeint, an dem die Pseudoelektroden 221 und 231 aufgebracht sind, d.h. in einem nicht gewichteten Bereich. Im Falle des Bauelements 100 nach Fig. 6B ist das Absoprtionsmaterial 40 auf dem piezoelektrischen Material 10 des piezoelektrischen Dünnfilms ausgebildet. Wenn das Bauelement 100 eine piezoelektrische Keramik oder einen einzelnen Kristall aufweist, so kann das Absorptionsmaterial direkt auf der Elektrode und dem piezoelektrischen Material aufgebracht sein, wie es in Fig. 6A dargestellt ist.

Obwohl die Dicke des Absorptionsmaterials 40 in geeigneter Weise entsprechend der Art des Materials verändert werden kann, ist es im Falle eines in der Praxis verwendeten Fernseh-Zwischenfrequenz-Filters eine Siliconkautschuk-Schicht mit einer Dicke von vorzugsweise mehr als 150 μΐη. In diesem Zusammenhang wird darauf hingewiesen, daß die Geschwindigkeit der akustischen Oberflächenwelle in Abhängigkeit von der Dichte des Absorptionsmaterials 40 verschieden ist.

Es wurde herausgefungen, daß das Aufbringen eines Absorptionsmaterials 40 in einem Ausbreitungsbereich unerwünschter akustischer Oberflächenwellen diese beträchtlich unterdrückt. Es wird daher erfindungsgemäß eine mechanisch reflektierte Welle, die von einem Teil der Elektrodenfinger und der Pseudoelektroden reflektiert wird, wirkungsvoll eliminiert. Aber selbst wenn eine derartig reflektierte Welle auftritt, so wird sie beträchtlich vermindert und eine wiederum von der

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reflektierten Welle reflektierte Welle wird weiter durch das Absorptionsmaterial 40 unterdrückt. Dies hat zur Folge, daß die Welligkeit des Durchlaßbandes und die Welligkeit der Gruppenverzögerungs- bzw. Gruppenlaufzeitkennlinie beträchtlich vermindert werden, wie es in Fig. 7 dargestellt ist. Da eine mechanisch reflektierte Welle beträchtlich vermindert wird, steigt die oben beschriebene Welligkeit nicht abrupt an, wenn der elektrische/mechanische Kopplungskoeffizient Keff zunimmt, wie es durch die durchgezogene Kurve in Fig. 4 und 5 dargestellt ist. Die oben beschriebene Wirkung der Erfindung ist besonders deutlich, wenn ein Material mit einem erhöhten elektrischen/mechanischen Kopplungskoeffizienten Keff verwendet wird.

Da bei dem oben beschriebenen Ausführungsbeispiel Pseudoelektroden 221 und 231 verwendet werden, ist die Geschwindigkeitsverteilung der akustischen Oberflächenwelle bezüglich der Ebene senkrecht zur Ausbreitungsrichtung gleichförmig. Da zudem die Pseudoelektroden 221 und 231 mit der entsprechenden gemeinsamen Elektrode 22a bzw. 23a so verbunden sind, daß die benachbarten Elektrodenfinger 22b und 23b das gleiche elektrische Potential aufweisen, kann die elektrische Reflektion weiter vermindert werden.

Fig. 8 zeigt eine Draufsicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Das in Fig. 8 dargestellte Aus- führungsbeispiel weist gegenüber dem in Fig. 6A dargestellten die folgenden Unterschiede auf. So sind die Pseudoelektroden 221 und 231 nicht mit der gemeinsamen Elektrode 22a bzw. 23a verbunden. Demzufolge sind die Pseudoelektroden 221 und 231 elektrisch von den kammartigen Elektroden 22 und 23

30 isoliert.

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Fig. 9 zeigt eine Draufsicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Das in Fig. 9 dargestellte Ausführungsbeispiel weist gegenüber den in den Fig. 6A und dargestellten Ausführungsbeispielen den Unterschied auf, daß es überhaupt keine Pseudoelektroden vorgesehen sind.

Fig. 10 zeigt eine Draufsicht auf ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Dieses Ausführungsbeispiel weist gegenüber dem in Fig. 6A dargestellten die folgenden Unterschiede auf. So sind keine Pseudoelektroden vorgesehen und die gemeinsamen Elektroden 22a und 23a zum gemeinsamen Verbinden der Elektrodenfinger 22b, ... 22b und 23b,... 23b der kammartigen Elektroden 22 und 23 sind in einer Kurvenform ausgebildet, ähnlich der Hüllkurve, die die Spitzen der Elektrodenfinger in einem Bereich der Elektrodenfinger verbindet, wo sich eine unerwünschte akustische Overflächenwelle ausbreitet. In anderen Worten, die gemeinsamen Elektroden 22a und 23a sind entlang der oben beschriebenen Hüllkurve von einer Stelle, die vom einen Wandler 30 aus am weitesten entfernt ist, bis zu einer Stelle, wo die Elektrodenfinger anfangen kürzer zu werden, kurvenförmig ausgebildet. Das Absorptionsmaterial 40 ist auf dem piezoelektrischen Material 10 in einem Bereich außerhalb des Wandlers 20 von den oben beschriebenen gemeinsamen Elektroden 22a und 23a und

vorzugsweise bis zum Ende

des piezoelektrischen Materials 10 aufgebracht. Der Ausgangswandler 30 weist eine auf dem piezoelektrischen Material ausgebildete bekannte interdigitale Elektrode 31 auf, ähnlich dem in Fig. 6A dargestellten Ausführungsbeispiel. Beim dargestellten Ausführungsbeispeil wird eine durch den Wandler 20 aus der akustischen Oberflächenwelle erregte unerwünschte Welle nicht durch einen überflüssigen Teil der Elektrodenfinger oder durch die Pseudoelektroden eines herkömmlichen Bauelements reflektiert. Zusätzlich dazu wird eine sich zur Außenseite des Wandlers 20 hin ausbreitende

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unerwünschte Welle durch das Absorptionsmaterial 40 absorbiert.

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Da die übrige Struktur, Funktion und Wirkung der in den Fig. 8, 9 und 10 dargestellten Ausführungsbeispiele im wesentlichen gleich sind wie bei dem in Fig. 6A dargestellten Ausführungsbeispiel, wird eine erneute Beschreibung nicht für erforderlich gehalten.

Bei den oben beschriebenen Ausführungsbeispielen sind die Elektrodenfinger 22b, ... 22b und 23b, .... 23b im gleichen Abstand zueinander angeordnet. Selbstverständlich kann auch der Abstand zwischen den Elektrodenfingern je nach der gewünschten Durchlaßkennlinie verändert werden. Außerdem kann das Absorptionsmaterial nicht nur in Verbindung mit dem Eingangswandler 20, sondern auch in Verbindung mit dem Ausgangswandler 30 vorgesehen werden.

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Claims

PATENTANWÄLTE

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D-8000 München 22 D-48OO Bielefeld 2820046

Triftstraße 4 Siekerwall 7

Mü/Bt/hm . 8. Mai 1978

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Murata Manufacturing Company Ltd. 26-10, Tenjin 2-chome, Nagaokakyo-shi, Kyoto-fu - Japan

Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement

Prioritäten: 9. Mai 1977, Japan, No. 53613/1977; 20. Mai 1977, Japan, No. 59011/1977.

PATENTANSPRÜCHE

( 1./Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement mit einem zur Ausbreitung akustischer Oberflächenwellenenergie geeigneten piezoelektrischen Medium, dem Substrat, gekennzeichnet durch

- mindestens eine mit der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats an einen Wandlerbereich angeschlossenen elektromechanischen Wandler (20, 30) der eine Interdigitalelektrode (21, 31) mit einem Paar von gemeinsamen Elektroden (22a, 23a, 32a, 33a) sowie ein Gruppenpaar von mehreren Elektrodenfingern (22b, 23b, 32b, 33b) aufweist, die jeweils mit der entsprechenden gemeinsamen Elektrode verbunden sind zur Umwandlung eines

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elektrischen Signals in eine akustische Oberflächenwelle und umgekehrt, wobei die Elektrodenfinger der interdigitalen Elektroden sich in der Überlappungslänge der benachbarten, sich miteinander überlappenden Elektrodenfinger ändern, sowie

- ein die akustische Oberflächenwelle absorbierendes Material (40) , das in einem Bereich des Wandlerbereichs (20, 30) vorgesehen ist, in dem sich eine unerwünschte akustische Oberflächenwelle ausbreitet.
2. Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß als Absorptionsmaterial (40) ein Material mit guter Absorption für akustische Oberflächenwellen und einem größeren Eigenverlust verwendet ist.
3. Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Absorptionsmaterial (40) aus einer Gruppe von Materialien ausgewählt ist, die Siliconkautschuk, Epoxiharz eine Mischung aus Siliconkautschuk und Epoxiharz, eine Mischung aus Siliconkautschuk und einem Oxidpulver, eine Mischung aus Epoxiharz und einem Oxidpulver, eine Mischung aus Siliconkautschuk, Epoxiharz, einem Oxidpulver und Wachs umfaßt.
4. Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die interdigitale Elektrode (21, 31) Pseudoelektroden (221, 231) umfaßt, die sich in der Verlängerung der Elektrodenfinger erstrecken und elektrisch von diesen isoliert sind.

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5. Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die in der Verlängerung der Elektrodenfinger vorgesehenen Pseudoelektroden entsprechend mit der den Pseudoelektroden gegenüberliegenden gemeinsamen Elektrode verbunden sind.
6. Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die in der Verlängerung der Elektrodenfinger vorgesehenen Pseudoelektroden von allen anderen Elektroden elektrisch isoliert sind.
7. Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die gemeinsamen Elektroden der interdigitalen Elektroden ähnlich einem Umschlag oder einer Umhüllung ausgebildet sind, um die Enden der Elektrodenfinger zu verbinden, die in einem Bereich liegen, in dem sich nur eine unerwünschte akustische Oberflächenwelle ausbreitet.

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