DE3025871A1

DE3025871A1 - Akustische oberflaechenwelleneinrichtung

Info

Publication number: DE3025871A1
Application number: DE19803025871
Authority: DE
Inventors: Seiichi Arai
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 1979-07-09
Filing date: 1980-07-08
Publication date: 1981-01-15
Also published as: DE3025871C2; GB2056809B; GB2056809A; US4307356A; JPS6223490B2; JPS5610725A

Description

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Beschreibung

Die Erfindung betrifft eine akustische Oberflächenwelleneinrichtung für Nachrichtensysteme in Form eines Filters und insbesondere eine Elektrodenanordnung auf einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung, durch die es ermöglicht wird, unerwünschte reflektierte Wellen zu verringern oder zu beseitigen, wie zum Beispiel Dreifach-Durchlauf-Echowellen, ohne daß die Betriebsdämpfung erhöht wird.

Im allgemeinen weist eine akustische Oberflächenwelleneinrichtung (SAW - Surface Acoustic Wave Device) einen Sendewandler und einen Empfangswandler auf, die aus kammähnlichen Vielelektrodenelementen hergestellt sind, deren Zähne ineinandergreifen und die auf einem piezoelektrischen Substrat angeordnet sind. Wird ein elektrisches Wechselpotential an die Elektroden des Sendewandlers angelegt, so wird ein elektrisches Wechselfeld erzeugt, das lokalisierte Schwingungen im Substratmaterial bewirkt. Diese Schwingungen geben Anlaß zu akustischen Wellen, die sich entlang der Oberfläche des Substrats auf einem genau bestimmten Weg senkrecht zu den Elektroden fortpflanzen und die an jeder Stelle dieses Weges durch den Empfangswandler detektiert werden können.

Im Empfangswandler wird ein Teil der akustischen Wellenenergie in elektrische Energie umgewandelt und an das daran angeschlossene Schaltelement abgegeben, während ein Teil der akustischen Wellenenergie über den Empfangswandler hinaus geleitet wird. Dabei wird ein Teil der akustischen Wellenenergie entlang des ursprünglichen Weges zum Sendewandler zurückreflektiert.

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Diese reflektierte Oberflächenwelle, deren Frequenz gleich der der ursprünglichen Oberflächenwelle ist, deren Amplitude jedoch kleiner ist, wird erneut auf ähnliche Weise beim Sendewandler entlang desselben Weges zum Empfangswandler zurückreflektiert. Die auf diese Weise zweifach zurückreflektierten akustischen Oberflächenwellen, die den Weg zwischen den Wandlern dreimal zurückgelegt haben, werden allgemein als Dreifach-Durchgangs-Echowelle (triple transit echo wave - TTE) bezeichnet. Da die Dreifach-Durchgangs-Echowelle das gewünschte Hauptsignal stört und verzerrt, wodurch die Betriebseigenschaften der akustischen Oberflächenwelleneinrichtung negativ beeinflußt werden, sollte sie möglichst beseitigt werden. Die Störung und Verzerrung durch die Dreifach-Durchgangs-Echowelle kann noch wesentlicher werden, wenn jeder Wandler mit einer Abstimmspule gekoppelt ist, die normalerweise vorgesehen ist, um die Betriebsverluste der akustischen Oberflächenwelleneinrichtung möglichst klein zu halten.

Zur Lösung dieses Problems sind verschiedene Verfahren vorgeschlagen worden. Ein Verfahren ist in Figur 1 gezeigt. Dabei werden erste, zweite und dritte Wandler 1,2 und 3 auf einem rechteckigen piezoelektrischen Substrat verwendet. Der erste Wandler 1 hat eine Breite, gemessen in"der Richtung quer zur Richtung der Wellenausbreitung, die gleich ist wie oder größer als die kombinierte Breite des zweiten und dritten Wandlers 2 und 3. Der erste Wandler ist an einem Endbereich des Substrates 6 angeordnet, während die Wandler 2 und 3 gleich groß und gleich aufgebaut sind und am anderen Endbereich des Substrates 6 nebeneinander angeordnet sind, und zwar so,-daß die Wandler 2 und 3 in einer Richtung senkrecht zur Fortpflanzungsrichtung der akustischen Oberflächenwelle gegeneinander verschoben sind. Demgemäß findet die Fortpflanzung der akustischen Oberflächenwellen zwischen den Wandlern 1 und 2 und die Fortpflanzung der akustischen Oberflächenwellen zwischen den Wandlern 1 und 3 auf verschiedenen Wegen 4 bzw. 5 statt.

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Die Entfernung L-_ zwischen den Zentren der ersten und zweiten Wandler 1 und 2 weicht von der Entfernung L.^ zwischen den Zentren der ersten und dritten Wandler 1 und 3 um ein ungerades Vielfaches eines Viertels einer Wellenlänge λο der akustischen Oberflächenwellen bei der Mittelfrequenz der Einrichtung ab. Wenn der Wandler 1 erregt wird, um akustische Oberflächenwellen entlang den Wegen 4 und 5 zu übertragen, wird ein Teil der akustischen Oberflächenwellen, der den Wandler 2 erreicht, in ein elektrisches Signal umgewandelt, während ein Teil durch den Wandler 2 hindurchgeht und ein Teil entlang dem ursprünglichen Weg zum Wandler 1 zurückreflektiert wird. Auf ähnliche Weise wird ein Teil der akustischen Oberflächenwellen, die beim Wandler 3 ankommen, entlang seinem ursprünglichen Weg reflektiert. Da die Entfernungen L₁- und L₁^ unterschiedlich groß sind, hat die akustische Oberflächenwelle, die vom Wandler 2 reflektiert ist, eine Phase, die derjenigen der vom Wandler 3 reflektierten Welle entgegengesetzt ist. Daher werden die beiden reflektierten Wellen mit entgegengesetzer Phase einander während ihrer Bewegung zurück zum Wandler 1 auslöschen. Dieses Auslöschen der reflektierten Wellen kann wirksam sogar dann stattfinden, wenn eine Abstimmspule an jeden Wandler angeschlossen ist.

Obwohl durch die Anordnung der Figur 1 wirksam unerwünschte reflektierte Oberflächenwellen beseitigt werden, so daß keine unerwünschten Dreifach-Durchgangs-Echowellen auf den Empfangswandler 2 übertragen werden, ist es notwendig, zwei parallele Wege 4 und 5 vorzusehen. Daher erfordert diese akustische Oberflächenwelleneinrichtung ein Substrat 6 beträchtlicher Größe, was zu hohen Herstellungskosten führt.

Eine weitere Möglichkeit ist in der japanischen Gebrauchsmusteranmeldung von Onishi et al., Veröffentlichungsnummer 4647/1979

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beschrieben, bei der ein Vielfachstreifenkoppler zwischen den Wandlern 1 und den Wandlern 2 und 3 der in Figur 1 gezeigten Einrichtung vorgesehen ist. Bei dieser Anordnung ist es möglich, die Größe des Sendewandlers 1 auf eine Größe zu reduzieren, die derjenigen der Wandler 2 und 3 ähnlich ist. Auch bei dieser Anordnung hat jedoch das Substrat eine beträchtliche Größe, da die Wandler an Stellen angeordnet sind, die gegeneinander in einer Richtung verschoben sind, die senkrecht zur Fortpflanzungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen ist.

Eine weitere Möglichkeit ist in US-PS 3,596,211 von Dias et al. beschrieben. Hierbei werden drei Wandler benutzt, die in einer Reihe angeordnet sind. Der mittlere Wandler und der Wandler auf einer Seite sind zum Senden bzw. Empfangen der akustischen Oberflächenwellen oder umgekehrt vorgesehen, während der übrigbleibende Wandler auf der anderen Seite zum Erzeugen einer reflektierten Oberflächenwelle vorgesehen ist. Bei diesem vorbekannten Stand der Technik werden die Oberflächenwellen, die bei einander gegenüberstehenden Wandlern reflektiert werden, zum mittleren Wandler gerichtet, in dem die empfangenen reflektierten Wellen in ein elektrisches Signal umgewandelt werden. Da die Entfernung zwischen dem mittleren Wandler und dem Wandler auf einer Seite und die Entfernung zwischen dem mittleren Wandler und dem Wandler auf der anderen Seite in bezug auf die Wellenlänge bestimmte Verhältnisse aufweisen, hat das elektrische Signal, das durch das reflektierte Signal vom einen seitlichen Wandler erzeugt wird, eine Polarität, die derjenigen des elektrischen Signales entgegengesetzt ist, das durch das reflektierte Signal vom anderen seitlichen Wandler erzeugt wird, was zu einer Auslöschung der beiden reflektierten Wellen führt. Daher wird bei dieser vörbekannten Einrichtung das Auslöschen im mittleren Wandler durchgeführt.

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Die Hauptaufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung kompakter Größe, mit der unerwünschte Dreifach-Durchgangs-Echowellen beseitigt werden können.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung des oben beschriebenen Typs, mit der auch der Betriebsverlust minimalisiert werden kann.

Eine weitere Aufgabe der Erfindung besteht in der Schaffung einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung des oben beschriebenen Typs, die einfach im Aufbau ist und ohne Schwierigkeiten mit niedrigen Kosten hergestellt werden kann.

Zur Lösung dieser und anderer Aufgaben weist die erfindungsgemäße akustische Oberflächenwelleneinrichtung eine Schicht oder ein Substrat eines piezoelektrischen Materials und drei Wandler auf, die mit der piezoelektrischen Schicht verbunden sind. Ein erster oder Sendewandler ist mit der piezoelektrischen Schicht an einem ersten Ort verbunden und reagiert auf ein Eingangssignal einer vorbestimmten Mittelfrequenz, um eine erste akustische Oberflächenweile entlang eines vorbestimmten Weges in der piezoelektrischen Schicht abzugeben. Ein zweiter oder Empfangswandler ist mit der piezoelektrischen Schicht an einem zweiten Ort auf dem vorbestimmten Weg angeordnet und hat eine vorbestimmte Entfernung von dem ersten Ort. Durch den Empfangswandler kann die erste akustische Oberflächenwelle in ein gewünschtes elektrisches Ausgangssignal umgewandelt werden; gleichzeitig kann jedoch eine unerwünschte reflektierte Welle erzeugt werden. Ein dritter oder reflektierender Wandler ist mit der piezoelektrischen Schicht auf dem vorbestimmten Weg und nahe entweder des ersten oder zweiten Ortes angebracht und reagiert auf die erste akustische Oberflächenwelle, die durch den Sendewandler erzeugt ist. Durch den Reflexionswandler

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kann eine reflektierte Löschwelle erzeugt werden, die sich entlang dem vorbestimmten Weg fortpflanzt. Die reflektierte Löschwelle hat im wesentlichen entgegengesetzte Phase gegenüber der unerwünschten reflektierten Welle, wodurch die unerwünschte reflektierte Welle durch die reflektierte Löschwelle auf ihrem vorbestimmten Weg gelöscht wird.

Die Erfindung wird im folgenden beispielsweise unter Bezugnahme auf die beigefügten Zeichnungen anhand von vorteilhaften Ausführungsformen gezeigt. Dabei sind in den Zeichnungen für gleiche Teile gleiche Bezugszeichen verwendet. Es zeigen:

F i g u r 1 eine schematische Ansicht einer vorbekannten akustischen Oberflächenwelleneinrichtung;

Figur 2 eine schematische Ansicht einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung gemäß einer Ausführungsform der Erfindung;

Figur 3 in einer ähnlichen Ansicht wie in Figur 2 eine Modifikation der Einrichtung der Figur 2^

Figur 4 a und 4 b Draufsichten von oben auf ineinandergreifende Elektroden, bevor und nachdem die Abschnitte entfernt sind;

Figur 5 eine graphische Darstellung der Frequenzcharakteristik der akustischen Oberflächeneinrichtung mit ineinandergreifenden Elektroden der Figuren 4a und 4b;

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eine schematische Ansicht einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung;

Figur 7 eine Draufsicht von oben auf eine ineinandergreifende Elektrodenanordnung für die Verwendung in einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung einer dritten Ausführungsform der Erfindung;

Figur 8 eine schematische Ansicht einer ineinandergreifenden Elektrodenanordnung für die Verwendung in einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung einer vierten Ausführungsform der Erfindung;

Figur 9 eine graphische Darstellung der Charakteristiken der akustischen Oberflächenwelleneinrichtung der Erfindung und derjenigen einer konventionellen akustischen Oberflächenwelleneinrichtung;

Figuren 10 und 1 schematische Ansichten von akustischen Oberflächenwelleneinrichtungen, die verwendet wurden, um die in der graphischen Darstellung von Figur 9 gezeigten Charakteristiken zu erhalten; und

Figur in einer ähnlichen Ansicht wie in Figur 6 eine Modifikation der Ausführungsform dieser Figur.

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In Figur 2 ist eine Ausführungsform einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung der Erfindung gezeigt, die ein längliches rechteckiges Substrat 10 aufweist, das durch eine durchgehende Platte aus piezoelektrischem Material, wie zum Beispiel Pb (Zr,Ti)O-. oder LiNBO₃ oder durch eine dünne Schicht von ZnO gebildet ist, die über eine flache Oberfläche einer Unterlage laminiert ist. Das rechteckige Substrat 10 hat drei Wandler 11, 12 und 13, die auf dem piezoelektrischen Material angeordnet und miteinander ausgerichtet sind. Von den drei Wandlern 11, 12 und 13 sollten zwei benachbarte Wandler, zum Beispiel die Wandler 12 und 13, vorzugsweise sehr nahe beieinander angeordnet sein. Jeder der Wandler 11, 12 und 13 schließt ein Paar von metallischen Dünnschichtelektroden ein, wie zum Beispiel Alumiumelektroden, die durch irgendein bekanntes Verfahren hergestellt wurden, wie zum Beispiel Aufbringung oder Photoätzen, und die in Form von Kämmen miteinander greifenden Zähen angeordnet sind. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform ist die Elektrodenanordnung des Wandlers 12 in Größe und Aufbau identisch mit derjenigen des nahe benachbart angeordneten Wandlers 13. Bei der in Figur 2 gezeigten Ausführungsform ist der Wandler 11 mit einer Signalquelle S gekoppelt, um den Wandler 11 als Sendewandler wirken zu lassen. Auf ähnliche Weise ist in Figur 2 der Wandler 12 mit einer Last L gekoppelt, so daß der Wandler 12 als Empfangswandler wirkt. Der Wandler 13 ist mit einer geeigneten Impedanzschaltung 17 verbunden, so daß dieser Wandler 13 als Reflexionswandler wirkt. Ein Element 15 stellt eine Ausgangsimpedanzkomponente der Signalquelle S dar; ein Element 16 stellt eine Eingangsimpedanzkomponente der Last L dar. Jede der Impedanzkomponenten 15 und 16 weist eine induktive Komponente und eine resistive Komponente auf und kann darüber hinaus noch eine kapazitive Komponente aufweisen. Die Impedanzschaltung 17 weist eine Induktivität und

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einen Widerstand auf, die vorher so ausgesucht sind, daß ihr Impedanzwert gleich dem der Impedanzkomponente 16 ist. Die Impedanzschaltung 17 kann darüber hinaus noch einen Kondensator aufweisen.

Die Entfernung L._ zwischen den Zentren der Wandler 11 und 12 und die Entfernung L₁₃ zwischen den Zentren der Wandler 11 und 13 sind so ausgewählt, daß die Differenz [L₁-—L₁^| zwischen diesen gleich einem ungeraden Vielfachen eines Viertels einer Wellenlänge λο der akustischen Oberflächenwellen der Mittelfrequenz fo des Signales ist, für das die akustische Oberflächenwelleneinrichtung empfindlich ist. Diese Beziehung kann wie folgt ausgedrückt werden,

^λο

wobei N eine null einschließende ganze Zahl ist.

Wird ein elektrisches Wechselsignal an die Elektroden des Sendewandlers 11 von der Signalquelle S angelegt, so erzeugt der Wandler 11 akustische Wellen, die sich in entgegengesetzten Richtungen entlang der Oberfläche des Substrates auf einem Weg 14 senkrecht zu den Zähnen der Elektroden fortpflanzen. Die Oberflächenwellen, die in Figur 2 auf dem Substrat 10 nach links sich fortpflanzen, enden am Ende des Substrates 10, wo ein nicht gezeigter geeigneter Absorber für akustische Wellen vorgesehen ist, um die dort ankommenden Oberflächenwellen zu minimalisieren oder zu löschen. Andererseits werden die Oberflächenwellen, die sich entlang des Weges 14 des Substrates 10 in Figur 2 nach rechts fortpflanzen, teilweise durch den Wandler 12 empfangen, teilweise durch den Wandler 12 zurück zum Sendewandler 11 reflektiert und teilweise über den Wandler 12 zum Reflexionswandler 13 weiterge-

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leitet. Da die Oberflächenwellen, die beim Wandler 12 reflektiert werden, Anlaß zu der unerwünschten Dreifach-Durchgangs-Echowelle geben, wird diese reflektierte Welle im folgenden als unerwünschte reflektierte Welle bezeichnet werden.

Von den Oberflächenwellen, die durch den Wandler 12 hindurchgegangen sind, wird ein Teil ähnlich durch den Wandler

13 zurück zum Wandler 12 reflektiert. Da die Oberflächenwelle, die beim Wandler 13 reflektiert ist, zum Löschen der unerwünschten reflektierten Welle in weiter unten beschriebener Weise dient, wird diese reflektierte Welle im folgenden als reflektierte Löschwelle bezeichnet werden.

Da die Wandler 12 und 13 identische Größe und identischen Aufbau haben und da die Impedanzschaltung 17 ungefähr denselben Impedanzwert wie die Impedanzkomponente 16 hat, sind die Reflexionskoeffizienten der Wandler 12 und 13 einander ungefähr gleich. Anders gesagt haben die unerwünschte reflektierte Welle und die reflektierte Löschwelle, wenn die Dämpfung der Wellengröße während ihrer Fortpflanzung vernachlässigbar klein ist, ungefähr dieselbe Größe. Da darüberhinaus der Unterschied |L „.-L..-! gleich einem ungeraden Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge λο ist, hat die reflektierte Löschwelle einen Phasenunterschied von 180° zur unerwünschten reflektierten Welle, wenn diese auf dem Weg 14 erscheinen. Daher löschen sich diese beiden reflektierten Wellen, während sie sich auf dem Weg 14 zum Sendewandler 11 fortpflanzen.

Da die reflektierte Löschwelle sich entlang desselben Weges

14 bewegt, auf dem sich auch die Originaloberflächenwelle oder erwünschte Oberflächenwelle fortpflanzt, kann bei der obigen Anordnung die erfindungsgemäße akustische Oberflächen-

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welleneinrichtung in kompakter Größe hergestellt werden und hat dabei die vorteilhafte Wirkung, eine unerwünschte Dreifach-Durchgangs-Echowelle zu eliminieren. Da in beiden Impedanzkomponenten 15 und 16 eine induktive Komponente enthalten ist, kann der Betriebsverlust verbessert werden.

Theoretisch müssen die reflektierte Löschwelle und die unerwünschte reflektierte Welle die gleiche Größe und Phase haben, damit die gewünschte Löschung der Wellen durchgeführt werden kann. Unter diesem Gesichtspunkt sollte die Differenz IL₁₂-L₁₃I genau gleich dem ungeraden Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge λο sein, und es sollte keine Abschwächung der Amplitude der reflektierten Löschwelle während ihres Durchganges auf einem Weg zwischen den Wandlern 12 und 13 und durch den Wandler 12 stattfinden. Unter einem praktischen Gesichtspunkt kann jedoch die tatsächliche Differenz |L-^-L₁ _. | vom gewünschten Wert, das heißt dem ungeraden Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge λο abweichen, während die Amplitude der reflektierten Löschwelle mehr oder weniger während ihrer Fortpflanzung gedämpft sein kann, insbesondere wenn sie durch den Wandler .12 hindurchgeht.

Wenn eine solche Abweichung" und/oder Dämpfung in einem Ausmaß stattfinden sollte, das nicht mehr im vernachlässigbaren Bereich liegt, so sollten sie korrigiert werden. Die Korrektur kann unter Benutzung der Impedanzschaltung 17 in der unten beschriebenen Weise durchgeführt werden.

Wenn die Differenz ]L-^-L₁-I von ihrem gewünschten Wert abweicht, wird der Reaktanzwert der Impedanzschaltung 17 eingestellt, um die Phase der reflektierten Löschwelle zu kontrollieren.

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Wird andererseits die Amplitude der reflektierten Löschwelle während der Fortpflanzung derselben abgeschwächt, so kann dies durch Justieren des resistiven Impedanzwertes in der Impedanzschaltung 17 korrigiert werden, um die Amplitude der reflektierten Löschwelle ungefähr gleich groß wie diejenige der unerwünschten reflektierten Welle zu machen. Anstatt den resistiven Impedanzwert einzustellen, kann man auch die Amplitude der reflektierten Löschwelle durch Änderung der Länge der ineinandergreifenden Zähne steuern. Zum Beispiel kann die Breite des reflektierenden Wandlers 13, gemessen in Querrichtung zur Fortpflanzungsrichtung der Wellen größer als diejenige des Empfangswandlers 12 gemacht werden, wie dies in Figur 3 gezeigt ist. In diesem Fall wird ein größerer Teil von Wellen von dem reflektierenden Wandler 13 als vom Empfangswandler 12 reflektiert werden. Daher wird dann die reflektierte Löschwelle ungefähr die gleiche Amplitude wie die Amplitude der unerwünschten reflektierten Welle haben, wenn sie sich entlang des Weges 14 fortpflanzt.

Bevor die anderen Ausführungsformen der Erfindung beschrieben werden, soll eine Beziehung zwischen der Differenz JL₁₂-L₁-I und eine Phasendifferenz zwischen der reflektierten Löschwelle und der unerwünschten reflektierten Welle beschrieben werden.

Wenn die Differenz |L₁ _ —L₁ -, J einen Wert hat, der durch obige Gleichung (1) beschrieben ist, und wenn die Reflexionskoeffizienten der Wandler 12 und 13 gleich sind, kann die Phasendifferenz Δφ zwischen der reflektierten Löschwelle und der unerwünschten reflektierten Welle wie folgt ausgedrückt werden:

_{Δφ =} (2Ν₊1)λο _mv - (2)

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wobei λ eine Wellenlänge der akustischen Welle ist, die sich entlang des Weges 14 fortpflanzt. Wenn die akustische Welle, die sich entlang dem Weg 14 fortpflanzt, eine Wellenlänge hat, die gleich λο ist, so kann Gleichung (2) wie folgt ausgedrückt werden:

Δφ = 2Νπ + π (3)

Die Gleichung (3) zeigt, daß die reflektierte Löschwelle und die unerwünschte reflektierte Welle Phasen haben, die einander entgegengesetzt sind. Weicht jedoch die Frequenz λ von der Mittelfrequenz λο ab, so wird die Phasendifferenz Δφ von fr abweichen, wodurch die Löschwirkung verschlechtert wird. Die Verschlechterung wird wesentlicher werden, wenn die Zahl N anwächst. Um die Löschwirkung über einen weiten Frequenzbereich der akustischen Wellen zu erhalten, muß demgemäß die Zahl N so klein wie möglich gemacht werden. Die Verkleinerung der Zahl N kann durch Verkleinerung der Entfernung JL₁₂-L₁-I zwischen den Zentren der Wandler 12 und 13 erreicht werden. Für diesen Zweck wird erfindungsgemäß die Elektrodenanordnung sowohl bei dem Empfangswandler als auch beim Reflexionswandler in eine Vielzahl von Abschnitten aufgeteilt, und es werden die Abschnitte des Empfangswandlers und die Abschnitte des Reflexionswandlers abwechselnd nacheinander entlang dem Substrat angeordnet. Es ist auch möglich, Elektrodenzähne in jedem Wandler wegzulassen oder in Gruppen zu entfernen, um wenigstens zwei Abschnitte einer Elektrodenanordnung mit einem dazwischen leergelassenen Raum zu schaffen. In diesem Falle ist der Abschnitt eines Wandlers, zum Beispiel des Empfangswandlers, im leergelassenen Raum des anderen, zum Beispiel des Reflexionswandlers, zwischengeschoben. Die verschiedenen Arten, auf die die Zähne weggelassen werden und auf die die Abschnitte zwischeneinander angeordnet werden, werden unten in Verbindung mit den Figuren 4a und 4b beschrieben. Die Charakteristiken, die von einer solchen diskontinuierlichen Elektrodenanordnung erhalten werden, werden unten in Verbindung mit Figur 5 beschrieben.

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Figur 4a und 4b zeigen Elektrodenanordnungen, bevor und nachdem die Zähne in Gruppen weggenommen bzw. weggelassen sind. In Figur 4b sind die Zähne, die weggelassen oder entfernt sind, durch gestrichelte Linien dargestellt. Die Dämpfungscharakteristik in bezug auf die Frequenz, die erhalten wird, wenn die Elektrodenanordnung von Figur 4a im Wandler benutzt wird, ist in Figur 5 durch eine gestrichelte Linie A dargestellt, während dieselbe Charakteristik, die bei Verwendung der Elektrodenanordnung von Figur 4b erhalten wird, in dieser Figur durch eine ausgezogene Linie B dargestellt ist. Wie aus der graphischen Darstellung ersichtlich ist, hat der Wandler mit der Elektrodenanordnung mit ausgelassenen Zähnen eine Charakteristik, die ziemlich ähnlich derjenigen ist, die von dem Wandler erhalten wird, der die völlig ausgerichtete Elektrodenanordnung hat, und zwar im Hauptarbeitsgebiet, das in der graphischen Darstellung der Figur 5 beispielsweise im Bereich von 53 bis 60 MHz liegt.

Im Gegensatz dazu weicht in den Gebieten oberhalb und unterhalb des Hauptgebietes, die als unechte Gebiete bezeichnet werden, die Kurve B₇ die durch Benutzung der Elektrodenanordnung mit ausgelassenen Zähnen erhalten wurde, von der Kurve A ab, die bei Benutzung der vollständig ausgerichteten Elektrodenanordnung erhalten wurde. Die Abweichung der Kurve B von der Kurve A bedeutet die Gegenwart einer unerwünschten unechten Betriebsweise. Da eine solche unechte Betriebsweise jedoch bei dem entsprechenden Wandler, das heißt dem Sendewandler, bis zu einem praktisch vernachlässigbaren Pegel unter-· drückt werden kann, so entsteht kein ernsthaftes Problem aus der unterbrochenen Anordnung der Elektrodenanordnung.

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Bei den folgenden Ausführungsformen ist jeder der Wandler 12 und 13 in eine Vielzahl von Abschnitten geteilt, wobei ein Abschnitt eines Wandlers zwischen die Abschnitte des anderen Wandlers zwischengeschoben ist.

In Figur 6 ist eine akustische Oberflächenwelleneinrichtung gemäß einer zweiten Ausführungsform der Erfindung gezeigt. In Figur 6 bezeichnen die Bezugsziffern 12a und 12b erste und zweite Abschnitte eines Empfangswandlers, und die Bezugszeichen 13a und 13b bezeichnen erste und zweite Abschnitte eines reflektierenden Wandlers. Die ersten Abschnitte 12a und 13a des Empfangswandlers und reflektierenden Wandlers haben untereinander gleiche Größe und gleichen Aufbau. Auch die zweiten Abschnitte 12b und 13b haben untereinander identische Größe und identsichen Aufbau. Die ersten und zweiten Abschnitte in jedem Wandler haben einen solchen Abstand voneinander, daß die Phase der akustischen Welle im ersten Abschnitt derjenigen des zweiten Abschnittes entspricht. Die ersten und zweiten Abschnitte sind dabei so auf dem Substrat 10 angeordnet, daß der erste Abschnitt 13a des reflektierenden Wandlers zwischen den ersten und zweiten Abschnitten 12a und 12b des Empfangswandlers angeordnet ist, während der zweite Abschnitt 12b des Empfangswandlers zwischen den ersten und zweiten Abschnitten 13a und 13b des reflektierenden Wandlers angeordnet ist. Die Entfernung zwischen den Zentren der ersten Abschnitte 12a und 13a und die Entfernung zwischen den Zentren der zweiten Abschnitte 12b und 13b sind beide gleich einem ungeraden Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge λο. Demgemäß ist die Entfernung zwischen den Zentren des· Empfangswandlers und des Reflexionswandlers gleich einem ungeraden Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge λο. Die ersten und zweiten Abschnitte 12a und 12b des Empfangswandlers sind parallel zueinander und außerdem mit der Last L verbunden. Die ersten und zweiten Abschnitte 13a und 13b des Reflexionswandlers sind ebenfalls parallel geschaltet und außerdem mit der Impedanzschaltung 17 verbunden.

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Wenn die Abschnitte des Wandlers zwischeneinander in der oben beschriebenen Weise angeordnet sind, ist es möglich, die Differenz | L^ „~^L-i 3 I kleiner zu machen, als dies bei der ersten Ausführungsform möglich ist. Daher kann die Phasendifferenz Δφ ungefähr gleich % über einen weiten Frequenzbereich eingestellt werden, so daß die Auslöschungswirkung verbessert wird.

Wie in Verbindung mit der ersten Ausführungsform beschrieben wurde, ist die Differenz [L..--L₁-J nicht notwendigerweise gleich dem ungeraden Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge λο, sondern kann davon abweichen, da es möglich ist, die Phase der reflektierten Löschwelle durch Steuerung der Impedanz in der Impedanzschaltung 17 zu kontrollieren. Ausserdem können die Abschnitte des reflektierenden Wandlers größer als der Empfangswandler in einer Weise gemacht werden, die ähnlich ist, wie dies im Zusammenhang mit Figur beschrieben wurde.

In Figur 7 ist eine Anordnung der Empfangswandler und Reflexionswandler gemäß einer dritten Ausführungsform der Erfindung beschrieben. Bei dieser Ausführungsform ist die Anzahl der Abschnitte bei entweder dem Empfangswandler oder dem Reflexionswandler größer als die Anzahl der Abschnitte im anderen Wandler. Ist anders gesagt die Anzahl der Abschnitte im Empfangswandler 12 gleich N₁„, kann die Anzahl N₁₃ von Abschnitten im Reflexionswandler 13 wie folgt ausgedrückt werden:

N₁₃ = N₁₂ + 1 (4)

In dem in Figur 7 gezeigten Beispiel ist der Empfangswandler in drei Abschnitte 12a, 12b und 12c unterteilt, während der Reflexionswandler in zwei Abschnitte 13a und 1"3b aufgeteilt ist. Diese Abschnitte sind auf solche Weise angeordnet, daß

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der Abschnitt 13a des Reflexionswandlers zwischen den Abschnitten 12a und 12b des Empfangswandlers und der Abschnitt 13b des Reflexionswandlers zwischen den Abschnitten 12b und 12c des Empfangswandlers angeordnet ist. Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform haben die Abschnitte in einem Wandler alle dieselbe Größe und denselben Aufbau und sind symmetrisch um eine Mittellinie des entsprechenden Wandlers angeordnet, die sich im rechten Winkel zur Fortpflanzungsrichtung der Wellen erstreckt. Bei dieser Anordnung kann die Differenz IL₁₃-L₁-I, gemessen zwischen ihren Mittellinien, einen Wert annehmen, der sogar so klein sein kann wie ein Viertel der Wellenlänge λο. Daher kann die Zahl N in der Gleichung (2) gleich null gesetzt werden, um eine Phasendifferenz Δφ gleich (λο/λ)π.zu erhalten. Die Auslöschung der unerwünschten reflektierten Welle kann daher über einen weiten Frequenzbereich bewirkt werden.

In Figur 8 ist eine Elektrodenanordnung einer akustischen Oberflächenwelleneinrichtung gemäß einer vierten Ausführungsform der Erfindung gezeigt. Der Empfangswandler und der Reflexionswandler sind bei dieser Ausführungsform aus drei getrennten Anordnungen von Elektroden aufgebaut, die erste und zweite Elektroden' 3 0 und 32 und eine gemeinsame oder Erdelektrode 34 sind. Der Empfangswandler wird durch die erste Elektrode 30 in Verbindung mit der Erdelektrode 34 gebildet, der Reflexionswandler wird durch die zweite Elektrode 32 in Verbindung mit der Erdelektrode 34 gebildet. Die erste Elektrode 30 schließt einen länglichen Basisabschnitt 30a und eine Vielzahl von Elektrodenzähnen ein, die sich parallel zueinander in derselben Richtung vom Basisteil 30a erstrecken, wobei jeder Zahn eine Breite von λο/8 hat. Die Elektrodenzähne sind paarweise vorgesehen, so daß die beiden Elektroden in einem Paar nahe beieinander mit einem Abstand von λο/8 dazwischen angeordnet sind. Die beiden benachbarten Paare haben einen Abstand 5λο/8 vonein-

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ander, um es zu ermöglichen, daß ein ähnliches Elektrodenpaar der Erdelektrode 34 dazwischen angeordnet wird. Diese paarweisen Elektroden werden allgemein gespaltene Elektroden genannt. Die Zähne der ersten Elektrode 3 0 sind in zwei Gruppen aufgeteilt: die erste Gruppe, die am linken Endabschnitt des Basisteiles 30a in Figur 8 angeordnet ist, und die zweite Gruppe, die am rechten Endabschnitt des Basisteiles 30 a angeordnet ist. Die ersten und zweiten Gruppen weisen einen vorbestimmten Abstand voneinander auf, um die Elektroden des reflektierenden Wandlers anzuordnen.

Die zweite Elektrode 32 weist einen länglichen Basisteil 32a und eine Vielzahl von gespaltenen Elektroden auf, die in ähnlicher Weise wie diejenigen der ersten Elektrode 30 angeordnet sind. Die Elektrodenzähne in der zweiten Elektrode 32 sind ebenfalls in zwei Gruppen aufgeteilt, die erste Gruppe, die zwischen den ersten und zweiten Gruppen der ersten Elektrode 30 angeordnet ist, und die zweite Gruppe, die auf der rechten Seite der zweiten Gruppe der ersten Elektrode 30 angeordnet ist.

Die Erdelektrode 34 weist einen Basisteil 34a von allge-

mein Zickzackform und eine Vielzahl von gespaltenen Elektroden auf, die sich vom Basisteil 34a erstrecken. Die gespaltenen Elektroden der Erdelektrode 34 sind alternativ mit den gespaltenen Elektroden der ersten und zweiten Elektroden 30 und 32 angeordnet.

In Figur 8 bezeichnen die Bezugsziffern 12a und 12b zwei Abschnitte, die den Empfangswandler bilden, während die Bezugsziffern 13a und 13b zwei Abschnitte bezeichnen, die den Reflexionswandler bilden. Es sollte bemerkt werden, daß die Entfernung zwischen den Zentren des Empfangswandlers und des Reflexionswandlers so eingestellt ist, daß sie ein ungerades Vielfaches eines Viertels der Wellen-

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länge λο beträgt. Für diesen Zweck hat ein Teil des Basisteiles 34a, der zwischen den ersten Gruppen der ersten und zweiten Elektroden 30 und 32 angeordnet ist, und ein anderer Teil des Grundteiles 34a, der zwischen den zweiten Gruppen der ersten und zweiten Elektroden 30 und 32 angeordnet ist, eine Breite, die gleich 5λο/8 ist.

Die elektrische Verbindung mit den drei Elektroden 30, 32 und 34 ist so, daß die Last L zwischen den Elektroden 30 und 34 angeschlossen ist und die Impedanzschaltung 17, die durch eine variable Induktivität 17a und einen variablen Widerstand 17b gebildet wird, zwischen den Elektroden 32 und 34 verbunden ist. Elemente 16a und 16b stellen induktive und kapazitive Komponenten der Eingangsimpedanzkomponente der Last L dar. Zusätzlich zu Obigem kann die Impedanzschaltung 17 noch einen variablen Kondensator 17c aufweisen, und es kann angenommen werden, daß die Impedanzkomponente 16 eine kapazitive Komponente haben kann, wie dies durch eine gestrichelte Linie gezeigt ist.

Es sollte bemerkt werden, daß die Induktivität und der Kondensator in der Impedanzschaltung 17 so gesteuert werden können, wenn der Unterschied zwischen den Zentren des Empfangwandlers und des Reflexionswandlers nicht gleich einem ungeraden Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge λο ist, daß die Phase der reflektierten Löschwelle entgegengesetzt zu derjenigen der unerwünschten reflektierten Welle eingestellt werden kann. Darüber hinaus kann der Widerstand in der Schaltung 17 so gewählt werden, daß die Größe der reflektierten Löschwelle gleich wie diejenige der unerwünschten reflektierten Welle eingestellt werden kann.

Da man sich den Empfangswandler der Figur 8 so vorstellen kann, daß sein Mittelteil und sein rechter Endteil auf eine Weise weggelassen sind, wie dies oben im Zusammenhang mit

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den Figuren 4a und 4b beschrieben wurde, und da die Abschnitte des Reflexionswandlers in die ausgelassenen Räume des Empfangswandlers zwischengeschoben sind, nehmen der Empfangswandler und der Reflexionswandler der Figur δ ungefähr dasselbe Gebiet ein, wie das Gebiet, das notwendig ist, um den Empfangswandler auf der konventionellen akustischen Oberflachenwelleneinrichtung unterzubringen. Daher kann die erfindungsgemäße akustische Oberflachenwelleneinrichtung so angeordnet werden, daß ihre Größe ungefähr gleich der Größe einer akustischen Oberflachenwelleneinrichtung vom konventionellen Typ ist, wobei jedoch die erfindungsgemäße Einrichtung den Vorteil hat, daß unerwünschte reflektierte Wellen ausgelöscht werden.

Als nächstes soll der Vergleich der Charakteristiken zwischen den akustischen Oberflächenwelleneinrichtungen der Erfindung und des konventionellen Typs beschrieben werden. Die akustischen Oberflächenwelleneinrichtungen, die für den Vergleich benutzt werden, sind von dem Typ mit einem einzelnen Weg, auf dem sich die Wellen fortpflanzen, und sind schematisch in den Figuren 10 und 11 gezeigt. Die akustische Oberflachenwelleneinrichtung des konventionellen Typs ist in Figur 10 gezeigt und hat einen Sendewandler 11 und einen Empfangswandler 12. Die erfindungsgemäße akustische Oberflachenwelleneinrichtung ist in Figur 11 gezeigt und hat einen Sendewandler 11, Empfangswandler 12a und 12b und Reflexionswandler 13a und 13b, die auf eine Weise angeordnet sind, wie dies in Figur 8 gezeigt ist. Die Wandler sowohl in der konventionellen als auch in der erfindungsgemäßen akustischen Oberflachenwelleneinrichtung weisen eine Impedanzkomponente auf, wobei die resistive Ausgangskomponente des Sendewandlers ungefähr 75Ω ist, während die resistive Einganskomponente des Empfangswandlers und des Reflexionswandlers ungefähr 1,2 kß ist. Die Charakteristiken, die von den akustischen Oberflächenwelleneinrichtungen erhalten werden, sind in der Figur 9 dargestellt,

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in der auf der Abszissen-Achse die Frequenz und auf der Ordinaten-Achse die Dämpfung für die Kurven C und D und die Gruppenverzögerungszeit für die Kurven E und F dargestellt ist. In der graphischen Darstellung zeigen die Kurven C und E Charakteristiken der konventionellen akustischen Oberflächenwelleneinrichtung, und die Kurven D und F zeigen die Charakteristiken der erfindungsgemässen akustischen Oberflächenwelleneinrichtung.

Wie aus der Figur ersichtlich ist, sind, obwohl die Dämpfungscharakteristik-Kurve C, die von der konventionellen akustischen Oberflächenwelleneinrichtung erhalten wurde, einen Betriebsverlust von nur ungefähr 6,5 dB zeigt, unerwünschte Welligkeiten im Durchlaßbereich vorhanden. Im Gegensatz dazu zeigt die Dämpfungscharakteristik-Kurve D, die mit der erfindungsgemäßen akustischen Oberflächenwelleneinrichtung erhalten wurde, im wesentlichen keine Welligkeiten im Durchlaßbereich. Wenn die Gruppenverzögerungszeitcharakteristik in Betracht gezogen wird, so zeigt die Kurve E, die mit der konventionellen akustischen Oberflächenwelleneinrichtung erhalten wurde, mehr deutliche Welligkeiten als diejenigen der Kurve F, die durch die erfindungsgemäße akustische Oberflächenwelleneinheit erhalten wurde. Diese Welligkeiten können als durch die Gegenwart von Dreifach-Durchgangs-Echowellen verursacht angesehen werden. Da fast keine Welligkeiten auf den Kurven D und F erscheinen, versteht man, daß die unerwünschten reflektierten Wellen, die Anlaß zu den Dreifach-Durchgangs-Echowellen geben, bis auf einen vernachlässigbaren Pegel in der erfindungsgemäßen akustischen Oberflächenwelleneinrichtung verringert sind.

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Obwohl bei den beschriebenen Ausführungsformen der Reflexionswandler auf der Seite des Empfangswandlers in einer Entfernung von dem Sendewandler vorgesehen ist, ist es möglich, den Reflexionswandler auf der Seite des Empfangswandlers vorzusehen, die dem Sendewandler nahe ist. Anders gesagt kann die Entfernung L-, ₃» die in den Zeichnungen als größer dargestellt ist als die Entfernung L., kleiner sein als die Entfernung L₁₇.

Bei den oben beschriebenen Ausführungsformen ist beschrieben, daß der Wandler, der neben dem Reflexionswandler angeordnet ist, als Empfangswandler verwendet wird. Es ist jedoch auch möglich, den Wandler als Sendewandler zu schalten. In diesem Falle dient der Wandler, der in Entfernung vom Reflexionswandler angeordnet ist, als Empfangswandler. Zum Beispiel dient in der in Figur 6 gezeigten Ausführungsform, wenn die externe elektrische Schaltung, die mit dem Wandler 11 verbunden ist, und die Schaltung, die mit den Wandlerabschnitten 12a und 12b verbunden sind, ausgewechselt werden, der Wandler 11 als Empfangswandler, während die Wandlerabschnitte 12a und 12b als Sendewandler dienen, wie dies in Figur 12 gezeigt ist. Die Auslöschung der unerwünschten reflektierten Welle kann auch mit dieser Anordnung ausgeführt werden.

Es sollte bemerkt werden, daß der Reflexionswandler außerdem ganz nahe neben dem Wandler 11 vorgesehen sein kann, um die Auslöschwirkung der unerwünschten reflektierten Welle zu verbessern.

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Claims

Patentansprüche

Akustische Oberflächenwelleneinrichtung mit einem Substrat, mit einem auf dem-Substrat an einem ersten Ort angeordneten Sendewandler zum Umwandeln eines elektrischen Wechselsignales in akustische Oberflächenwellen des Substrats, und mit einem an einem zweiten Ort auf dem Substrat angeordneten'Empfangswandler zum Umwandeln der Oberflächenwellen des Substrats in ein elektrisches Signal, dadurch gekennzeichnet, daß auf dem Substrat (10) in der Nähe des ersten oder zweiten Ortes ein Reflexionswandler (13) auf dem Weg (14) der akustischen Oberflächenwellen angeordnet ist, der zum Reflektieren einer Oberflächenwelle, die gegenüber der vom Empfangswandler (12) reflektierten Welle um 180° phasenverschoben ist, ausgebildet ist.

Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflexionswandler (13) in. der Nähe des zweiten Ortes so angeordnet ist, daß die

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Entfernung zwischen den Zentren des Empfangswandlers (12) und des Reflexionswandlers (13) im wesentlichen gleich·
einem ungeraden Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge der Mittelfrequenz der Einrichtung ist.

3. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflexionswandler (13)
nahe dem ersten Ort so angeordnet ist, daß die Entfernung zwischen den Zentren des Sendewandlers und, Reflexionswand lers im wesentlichen gleichen einem ungeraden Vielfachen eines Viertels der Wellenlänge der vorbestimmten Mittelfrequenz der Einrichtung beträgt.

4. Akustische Öberflächenwelleneinrichtung nach einem der
Ansprüche T bis'3, daß der Empfangswandler (12) eine
Vielzähl von Abschnitten (12a, 12b, 12c) aufweist, die
am zweiten Ort auf dem piezoelektrischen Substrat (10)
in dem Weg CT4) der" Wellen angeordnet sind, wobei die
Abschnitte (T2a/ 12b, i2c) des Empfangswandlers (12) miteinander entlang' des' Weges (14) ausgerichtet sind, wobei je zwei Kenachbarte Abschnitte (12a, 12b, 12c) einen vorbestimmten Abstand Voneinander aufweisen,, und wobei· das
Zentrum der Abschnitte des Empfangswandlers (12) vom
Zentrum des Sendewandlers (11) um eine erste vorbestimmte Entfernung (L₁₂) entfernt ist, und daß der Reflexionswandler (13) eine Vielzahl von Abschnitten (13a, 13b) aufweist, die auf dem" piezoelektrischen Substrat (10) am
zweiten Ort auf dem vorbestimmten Weg (14) angeordnet
sind, wobei die' Abschnitte (13a, 13b) des Reflexionswandlers (13) abwechselnd mit den Abschnitten (12a, 12b, 12c) des Empfangswandlers (12) so angeordnet sind, daß die Abschnitte" des Empfangswandlers und Reflexionswandlers abwechselnd entlang dem Weg (14) miteinander ausgerichtet

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sind, wobei ein Zentrum der Abschnitte (13a, 13b) des Reflexionswandlers (13) vom Zentrum des Sendewandlers (11) um eine zweite vorbestimmte Entfernung (L.,.,) entfernt ist, die von der ersten vorbestimmten Entfernung (!»..„) verschieden ist.

5. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß Empfangswandler (12, 12a, 12b, 12c) und Reflexionswandler (13, 13a, 13b) gleiche Größe und gleichen Aufbau haben.

6. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Impedanzschaltung (17) aufweist, die mit dem Reflexionswandler (13, 13a, 13b) verbunden ist und die eine im wesentlichen gleiche Impedanz wie eine Ausgangslast (L) hat, die mit dem Empfangswandler (12, 12a, 12b, 12c) zum Empfangen des gewünschten elektrischen Ausgangssignales verbunden ist.

7. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß die erste (L₁₂) ^un<^ zweite (L...,) vorbestimmte Entfernung, um ein ungerades Vielfaches eines Viertels der Wellenlänge der vorbestimmten Mittelfrequenz verschieden sind.

8. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Abschnitte (12a, 12b, 12c) im Empfangswandler (12) gleich der Anzahl der Abschnitte (13a, 13b) im Reflexionswandler

(13) ist.

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9. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch 4 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Abschnitte (T2a, 12b, 12c) im Empfangswandler (12) um eins größer ist als die Anzahl der Abschnitte (13a, 13b) im Reflexionswandler (13).

10. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch 4 oder 7, dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Abschnitte (12a, 12b, 12c) im Empfangswandler (T2) um eins geringer ist als die Anzahl der Abschnitte (13a, 13b} im Reflexionswandler (13)^

11. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 10-, dadurch gekennzeichnet, daß sowohl der Empfangswandler (12) als auch der Reflexionswandler (13) aus einem Paar von kammförmigen Elektroden mit ineinandergreifenden Zähnen aufgebaut ist.

12. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch

11, dadurch gekennzeichnet, daß jeder Zahn zur Bildung eines Paares von Zahnsegmenten gegabelt ist.

13. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch

12, dadurch gekennzeichnet, daß jedes Zahnsegment eine Breite hat, die gleich einem Achtel der Wellenlänge der vorbestimmten Mittelfrequenz der Einrichtung ist.

14. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung mit einem Substrat, einem auf dem Substrat an einem ersten Ort angeordneten Sendewandler zum Umwandeln eines elektrischen Wechselsignales in akustische Oberflächenwellen des Substrats, und mit einem an einem zweiten Ort auf dem Substrat angeordneten Empfangswandler zum Umwandeln der Oberflächenwellen des Substrats in ein elektrisches Signal, dadurch gekennzeichnet, daß der Sendewandler eine Vielzahl von Abschnitten hat, die mitein- 030083/0*4*.

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ander entlang des Signalweges ausgerichtet sind, wobei jeweils zwei benachbarte Abschnitte des Sendewandlers einen vorbestimmten Abstand voneinander haben, daß der Empfangswandler vom Zentrum der Abschnitte des Sendewandlers eine erste vorbestimmte Entfernung aufweist, und daß der Reflexionswandler eine Vielzahl von Abschnitten hat, die am ersten Ort des Signalweges der Oberflächenwellen auf dem piezoelektrischen Substrat angeordnet sind, wobei die Abschnitte des Reflexionswandlers zwischen den Abschnitten des Sendewandlers abwechselnd entlang des Weges der Oberflächenwellen ausgerichtet sind, wobei ein Zentrum der Abschnitte des Reflexionswandlers vom Zentrum des Empfangswandlers eine zweite vorbestimmte Entfernung aufweist, die von der ersten vorbestimmten Entfernung verschieden ist, wobei der Reflexionswandler zum Reflektieren einer Oberflächenwelle, die gegenüber der vom Empfangswandler reflektierten Welle um 180° phasenverschoben ist, ausgebildet ist.

15. Akustische Oberf lächenwelieneinrichturtg nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß der Sendewandler und der Reflexionswandler gleiche Größe und gleichen Aufbau haben.

16. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch 14 oder 15* dadurch gekennzeichnet, daß sie eine Impedanzschaltung aufweist, die mit dem Reflexionswandler verbunden ist und im wesentlichen die gleiche Impedanz hat wie eine Ausgangslast, die mit dem Sendewandler zum Anlegen des Eingangssignales verbunden ist.

17. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach Anspruch 14, dadurch gekennzeichnet, daß die ersten und zweiten vorbestimmten Entfernungen um ein ungerades Vielfaches eines Viertels der Wellenlänge der vorbestimmten Mittelfrequenz der Einrichtung verschieden sind.

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18. Akustische Oberflachenwelleneinrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 17 _r dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Abschnitte im Sendewandler gleich der Anzahl der Abschnitte im Reflexionswandler ist.

19. Akustische Oberflachenwelleneinrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 17_r dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Abschnitte im Sendewandler um eins größer als die Anzahl der Abschnitte im Reflexionswandler ist.

20. Akustische Oberflächenwelleneinrichtung nach einem der Ansprüche 14 bis 17 _t dadurch gekennzeichnet, daß die Anzahl der Abschnitte im Sendewandler ixra. eins kleiner als die Anzahl der Abschnitte im Reflexionswandler ist.

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