EP0135769B1

EP0135769B1 - Oberflächenwellen-Convolveranordnung

Info

Publication number: EP0135769B1
Application number: EP84109637A
Authority: EP
Inventors: Helge Engan
Original assignee: Siemens AG
Current assignee: Siemens AG
Priority date: 1983-08-19
Filing date: 1984-08-13
Publication date: 1989-12-20
Also published as: EP0135769A3; DE3480814D1; EP0135769A2; JPS6065381A; US4649509A; DE3330034A1

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Oberflächen-Convolveranordnung, wie sie im Oberbegriff des Patentanspruchs 1 angegeben ist.
Convolveranordnungen, die mit Oberflächenwellen (SAW) arbeiten, sind aus dem Stand der Technik bekannt. Es sei hierzu auf die Druckschriften 1. IEEE Ultrasonics (1981), Seiten 186ff.; 2. IEEE Ultrasonics Symposium (1980), Seiten 59 ff.; 3. IEEE Transactions on Sonics and Ultrasonics, Bd. 30 (1983), Seiten 43 ff.; 4. EU-A-0 057 332; FR-A-2 070 465; 6. «Radio Engineering & Electronic. Physics_", Band 28, Nr. 7, Juli 1983, Seiten 49-54 hingewiesen.
Aus der Druckschrift 1. geht eine Anordnung mit den Merkmalen des Oberbegriffs des Patentanspruchs 1 hervor. Die Fig. 1 zeigt in der Mitte die als Wellenleiter ausgebildete Integrationselektrode, die eine durchgehende Metallisierungsbelegung der Oberfläche des dort nicht dargestellten Substratkörpers ist. Dem rechten und dem linken Ende dieses Wellenleiters gegenüberstehend sind je ein Eingangswandler dargestellt, dessen Apertur, gegeben durch die Überlappungslänge der interdigital angeordneten Finger dieses Wandlers, gleich der Breite des jeweils gegenüberliegenden Endes, d. h. gleich der Breite des Metallisierungsstreifens ist. Wie ersichtlich, haben die beiden Eingangswandler nichtäquidistante Abstände der interdigital angeordneten Finger, nämlich entsprechend der notwendigen Dispersionseigenschaft dieser Wandler. Die Dispersion der beiden Wandler kann dabei verschieden groß gewählt werden, womit eine Dispersion des Wellenleiters ausgeglichen werden kann.
Mit einer wie voranstehend beschriebenen und auch mit anderen Convolveranordnungen läßt sich bei Eingabe je eines Eingangssignals, das an die betreffenden Eingangswandler angelegt wird, im Bereich der Integrationselektrode ein Mischprodukt dieser Eingangssignale erzeugen, das - wie in der Figur angedeutet - der Integrations- elektrode entnommen werden kann. Voraussetzung für dieses Auftreten eines derartigen Mischproduktes ist, daß im Bereich der Integrations- elektrode nichtlineare Eigenschaft für die dort laufenden, vom jeweiligen Eingangswandler erzeugten akustischen Wellen vorliegt. Dies bedeutet, daß die Eingangswandler, etwa vergleichbar zu sonstigen Oberflächenwellenanordnungen, sehr intensitätsstarke akustische Wellen in der Oberfläche des Substrates im Bereich der Integrationselektrode erzeugen müssen. Es besteht für solche Convolveranordnungen dementsprechend das Problem, im jeweiligen Eingangswandler erzeugte, intensitätsstarke Oberflächenwellen in das gegenüberliegende Ende des Wellenleiters der Integrationselektrode hereinbringen zu können. Das beinhaltet das weitere Problem, eine intensitätsstarke akustische Welle im Wandler zu erzeugen, wobei hierzu eine Vorbedingung ist, daß der Wandler impedanzmäßig optimal an den im Regelfall vorgegebenen Impedanzwert des Ausgangs derjenigen elektronischen Schaltung angepaßt ist, an die dieser betreffende Eingangswandler angeschlossen ist.
Der Impedanzwert eines wie verwendeten Eingangswandlers ergibt sich im wesentlichen aus seinem Abstrahlungswiderstand und seiner Elektrodenkapazität. Der betreffende Eingangswandler kann schon aus diesem Grunde nicht beliebig dimensioniert werden. Andererseits muß die vom Wandler in die Integrationselektrode ausgesandte Welle diesen möglichst optimal treffen, d. h. die Sendecharakteristik des betreffenden Wandlers muß der Empfangscharakteristik des gegenüberliegenden Endes der Integrationselektrode angepaßt sein.
Für die Anordnung der Fig. 1 der Druckschrift 1. soll durch Entsprechung der Aperturen diese voranstehend erwähnte Anpassung erfüllt sein. Durch die Auslegung des Eingangswandlers als dispersiver Wandler kann auch den Erfordernissen der Erzeugung starker akustischer Wellen (durch entsprechende Länge bzw. Fingeranzahl des Wandlers) entsprochen werden.
Bei der Anordnung nach Fig. 1 der Druckschrift 2. ist dieses Problem durch Verwendung von Eingangswandlern zusammen mit davon getrennten Strahlkompressoren gelöst, wobei die Eingangswandler wenige Finger mit jedoch sehr großer Länge haben, so daß die Apertur des Eingangswandlers sehr viel größer als die Apertur der Integrationselektrode ist. Der erwähnte Strahlkompressor soll diese sehr unterschiedlichen Aperturen zueinander anpassen.
Die Druckschrift 3. beschreibt zur Fig. 1 eine Convolveranordnung mit Eingangswandlern, die im Gegensatz zur Druckschrift 1 gekrümmte Fingerelektroden besitzen. Die Fingerelektroden haben einheitliche Krümmung, die so gewählt ist, daß der betreffende Eingangswandler gewisse Fokussierungseigenschaft für die in diesem Wandler erzeugte akustische Welle hat. Die Länge der einzelnen interdigital angeordneten Finger des jeweiligen Eingangswandlers ist einheitlich groß. Die Anordnung benötigt erheblich große Fläche ohne vergleichbare Fokussierung zu erbringen.
Die Druckschrift 4. zeigt eine für die noch nachfolgend zu beschreibende Erfindung an sich nicht relevante Convolveranordnung. Es sind dort Fingerelektroden gezeigt, die anstelle geradliniger Form eine Fingerform haben, die einen gewissen Fingerversatz ergeben. Es ist aber darauf hinzuweisen, daß im Bereich der Apertur der Integrationselektrode diese insgesamt nicht geradlinigen Finger noch geradlinig sind und die Abknickungen ihrer Form erst außerhalb der Apertur liegt. Abgeknickte Finger kommen auch nur beim Strahlkompressor vor. Die Eingangswandler haben die übliche geradlinige Ausbildung der interdigital angeordneten Finger.
Die Druckschrift 5 beschreibt einen fokussierenden elektroakustischen Wandler mit derart kreisförmigen Fingern, daß eine angegebene Fokussierung auf den gemeinsamen Krümmungsmittelpunkt auftritt. Weiter enthält diese Druckschrift lediglich einen Hinweis, eine Kontur für die Finger zu wählen, bei der die Fokussierung nicht streng auf einen Punkt, sondern auf einen vorgegebenen Bereich der Oberfläche des Kristalls ausgerichtetist. Eine Lösung für diesen Hinweis, nämlich nach welcher Vorschrift dann die Fingerkrümmung zu wählen sei, ist nicht angegeben.
Die Druckschrift 6 beschreibt einen Resonator mit Fingerlängengewichteten Interdigital-Reflektoren, die parabolisch gekrümmte Fingerelektroden haben.
Eingangs war bereits auf die Probleme hingewiesen, die sich bei einer Convolveranordnung aus der Forderung ergeben, intensitätsstarke akustische Wellen auf eine enge Apertur (der Integrationselektrode) konzentriert zu erzeugen.
Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine dem vielfältigen Stand der Technik gegenüber verbesserte Anordnung anzugeben, mit der genügend intensitätsstarke akustische Wellen optimal in die Integrationselektrode eingekoppelt werden können, wobei genügende Freiheit bezüglich der Parameter, die die Impedanz bestimmen, besteht. Auch sollen die Randstörungen bekannter Ausführungen minimiert sein.
Diese Aufgabe wird für eine Oberflächenwellen-Convolveranordnung nach dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 mit Hilfe der Merkmale des Kennzeichens des Anspruchs 1 gelöst. Weitere Ausgestaltungen und Weiterbildungen der Erfindung gehen aus den Unteransprüchen hervor.
Der Erfindung liegt zugrunde, mehrere an sich unabhängig voneinander wählbare Bemessungsgrößen für einzelne Bauteile einer Convolveranordnung derart aufeinander abgestimmt zu wählen, daß die obengenannte Aufgabe optimal gelöst wird. Diese erfindungsgemäße, aufeinander abgestimmte Bemessung der genannten Parameter beruht auf den nachfolgend erläuterten Überlegungen, die im übrigen auch dazu dienen, daß der Fachmann die Erfindung ohne Schwierigkeiten verstehen und mit zweifelsfrei eintretendem Erfolg (ohne noch weiter besondere Überlegungen anstellen zu müssen) nacharbeiten kann.
Im Prinzip könnte kontinuierlich gekrümmte Form der interdigital angeordneten Finger der Eingangswandler vorgesehen werden. Technologisch vorteilhafter und praktisch das gleiche technische Ergebnis liefernd ist es jedoch, gemäß einer Ausgestaltung der Erfindung die Form der einzelnen Finger so zu wählen, daß sie aus geradlinigen, stetig aneinanderschließenden Fingerstücken bestehen. Diese bevorzugte Ausgestaltung weist also Finger auf, die die Form eines Polygonzuges besitzen. In Bereichen geringerer Krümmung des (nachfolgend noch näher zu erläuternden, vorgegebenen Krümmungsverlaufes) können die entsprechenden Polygonabschnitte relativ groß bemessen sein.
Im Zusammenhang mit Fingerformen nach Art eines Polygonzuges, der gemäß dieser Ausgestaltung einem vorgegebenen stetigen Krümmungsverlauf angepaßt ist, ist noch darauf hinzuweisen, daß die gegenüber dem exakten Verlauf zwangsläufig abweichende Lage der Polygonstücke auch in die Wichtung der einzelnen Finger eingeht bzw. einbezogen werden kann. Es kann bei dieser Ausgestaltung somit auch eine gewünschte bzw. notwendige Fingerwichtung mit einbezogen sein.
Dem besseren Verständnis der Erfindung halber werden die weiteren Ausführungen zur Erfindung anhand der Figuren gegeben. Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Ansicht einer Convolveranordnung,
Fig. 2 eine Ausschnittsdarstellung mit einem erfindungsgemäß ausgebildeten Eingangswandler,
Fig. 3 bis 6 Diagramme, die sich auf theoretische Grundlagen einer Bemessungsregel für den Krümmungsverlauf beziehen.

Die Fig. 1 zeigt eine lediglich schematische Darstellung eines Convolvers entsprechend der vorliegenden Erfindung. Mit 1 ist die gesamte Convolveranordnung bezeichnet, die eine Integrations- elektrode 2 und je einen Eingangswandler 3 und 4 hat. Die Integrationselektrode 2 und die Wandler 3 und 4 befinden sich auf der Oberfläche eines nur ausschnittsweise dargestellten Substrates 5 aus piezoelektrischem Material. Mit z und mit ±x sind Achsenrichtungen der mit der Oberfläche des Substrates 5 zusammenfallenden Ebene angegeben.
Fig. 2 zeigt einen Ausschnitt der Fig. 1, und zwar das rechte Ende 21 der Integrationselektrode 2 und den diesem Ende 21 gegenüberstehenden Eingangswandler 3. Die Darstellung der Fig. 2 ist gegenüber Fig. 1 wesentlich vergrößert und durch weitere Einzelheiten ergänzt.
Ebenso wie der Wandler 4 ist der dargestellte Eingangswandler 3 bei der Erfindung ein dispersiver Wandler, bei dem die auf der Achse z gemessenen Abstände der Finger 11 voneinander bekanntermaßen nichtäquidistant sind. Die Abstände sind dem jeweiligen Wellenlängenbereich der Dispersion entsprechend unterschiedlich groß bemessen. Diese für einen dispersiven Wandler unterschiedlichen Fingerabstände sind in der Fig. 2 (insbesondere der Übersichtlichkeit halber) nicht berücksichtigt.
Wie aus Fig. ersichtlich, hat der Wandler 3 jeweils mit 11 bezeichnete Finger, die mit benachbarten Fingern 11 eine Überlappung für wenigstens einen Anteil der Länge dieser Finger haben. Diese Überlappungslänge ist derjenige jeweilige Längenanteil bei zwei benachbarten Fingern 11, für den eine elektrische Wechselwirkung zwischen diesen Fingern und damit für den ganzen Wandler vorliegt. Dabei sind als Fingerpaar jeweils zwei solche Finger 11 betrachtet, von denen der eine Finger 11 mit dem einen Anschluß-Pad 12 und der andere Finger 11 mit dem entgegengesetzt gepolten anderen Anschluß-Pad 112 verbunden ist. Diese abwechselnde elektrische Verbindung der Finger 11 mit den Anschluß-Pads 12 und 112 ist aus Fig. 2 ersichtlich.
Mit 13 sind in dem Wandler 3 vorhandene weitere Finger bezeichnet. Diese Finger 13 sind zum Zwecke eines optischen Unterscheidens, nämlich von den Fingern 11, gestrichelt dargestellt. In der Praxis sind die Finger 13 ebensolche mit Metallisierungsstreifen wie die Finger 11. Der physikalische Unterschied zwischen den Fingern 13 und den Fingern 11 ist, daß der einzelne Finger 13 keinen benachbarten Finger hat, der mit dem entgegengesetzt gepolten Anschluß-Pad 12 oder 112 verbunden ist. Für solche Finger 13 gibt es dementsprechend auch keine Überlappungslänge und die Finger 13 sind elektrisch inaktiv. Sie werden auch als Dummy-Finger bezeichnet. Bekanntermaßen werden diese Finger 13 zum Zwecke der Homogenität der Wellenausbreitung vorgesehen.
Soweit zu dieser Erfindung von Krümmung von Fingern und von erfindungsgemäßer Längenbemessung (der Überlappungslänge) von Fingern die Rede ist, sind solche wie oben beschriebene Finger 11, d. h. die Überlappungslängen von Paaren solcher Finger 11, gemeint (da die Finger 13 für die elektrische Funktion des Wandlers praktisch auch weggelassen sein können).
Die für die Erfindung vorzusehenden Krümmungen bzw. Polygonzüge der Form der Finger 11 und deren Länge bzw. Überlappunslänge können für alle Finger 11 eines jeweiligen Wandlers 3, 4 vorgesehen sein. Ersichtlich ist der Erfindungsgedanke aber auch dann bereits realisiert, wenn nur eine wesentliche Anzahl aller Finger 11 nach der Erfindung geformt und/oder bemessen sind, denn einzelne dieser Vorschrift nicht entsprechende Finger 11 verhindern nicht das Auftreten der erfindungsgemäßen Wirkung der übrigen Vielzahl der Finger 11 des jeweiligen Wandlers.
Als weiterer wichtiger Begriff ist «Hauptteil» zu definieren. Es ist damit (in Richtung der Achse z gesehen) ein solcher Anteil des Wandlers 3 (bzw. 4) gemeint, der erfindungsgemäß geformte und bemessene Finger 11 hat und der bereits in wesentlichem Maße das erfindunsgemäße Ergebnis liefert. Vorzugsweise ist der Hauptteil des Wandlers 3 der Mittelteil des jeweiligen Wandlers.
Es hat sich nämlich gezeigt, daß abgesehen vom erfindungsgemäß zu erzielenden Ergebnis weitere Vorteile zu erzielen sind, wenn man das jeweilige Maß der Überlappungslängen von Paaren der Finger 11 des Wandlers 3 zum Ende 21 der Integrationselektrode 2 hin auf einen kleinen Wert, insbesondere auf Null, konvergieren läßt. Es hat sich auch als vorteilhaft gezeigt, ein entsprechendes Konvergieren der Überlappungslängen der Finger 11 für das gegenüberliegende andere Ende eines Wandlers 3 vorzusehen.
In Fig. 2 ist der als Hauptteil definierte Anteil des Wandlers 3 mit 14 hervorgehoben. In diesem Hauptteil 14 sind die Überlappungslängen der Finger 11 optimal so groß, daß sie den Zwischenraum zwischen den Einhüllendenkurven 15 überdecken. Auf diese Einhüllenden 15 wird im übrigen noch nachfolgend näher eingegangen.
In dem in der Fig. 2 links vom Hauptteil 14, d h. zwischen Hauptteil 14 und dem Ende 21 befindlichen Anteil des Wandlers 3 konvergieren die Überlappungslängen der Finger 11 entsprechend den Kurven 22. Ein entsprechendes, durch die Kurven 23 hervorgehobenes Konvergieren ist, beim Wandler 3 für den rechts vom Hauptteil 14 liegenden Anteil vorgesehen.
Wie aus der Fig. 2 außerdem ersichtlich, ist die gekrümmte Form der Finger 11 im Hauptteil 14 auf den Zwischenraum zwischen den Einhüllenden 15 beschränkt. An sich könnte die Krümmung (bzw. der jeweilige Polygonzug) auch bis z. B. zu den Anschluß-Pads 12, 112 fortgesetzt sein. Wie jedoch aus der nachfolgenden weiteren Beschreibung hervorgeht, ist dies zur Realisierung der Erfindung nicht erforderlich und für außerhalb der Einhüllenden 15 (und auch außerhalb der Kurven 22 und 23) liegende Anteile des Wandlers 3 genügt die technisch einfachere (abgeknickte) geradlinig parallele Form dieser Außenenden der einzelnen Finger 11, 13. Für die Wellenausbreitung einerseits und für die technische Realisierbarkeit andererseits am günstigsten ist es, zumindest den vorgesehenen Krümmungsverlauf des einzelnen Fingers 11 und gegebenenfalls auch von Fingern 13 über die Einhüllenden 15 bzw. die Kurven 22 und 23 für eine gewisse Länge weiterreichen bzw. sich fortsetzen lassen, damit für die Wellenausbreitung am Übergang in den Bereich außerhalb der Kurven 15 (und 22 und 23) keine abrupte Änderung der physikalischen Ausbreitungsverhältnisse der akustischen Welle vorliegt.
In den Fig. 1 und 2 ist das in der Ebene der Anordnung bzw. in der Ebene des Substrates 5 liegende Achsenkreuz x-z eingetragen, dessen Koordinatenursprung an das Ende 21 der Integrationselektrode 2 gelegt ist. Mit Hilfe dieses Achsenkreuzes lassen sich mathematische Angaben zur Wahl des jeweiligen optimalen Krümmungsverlaufes der einzelnen Finger 11 und zur Länge der einzelnen Finger 11 bzw. zur Lage der Einhüllenden 15 leichter verständlich darlegen.
Nach dem für den einschlägigen Fachmann bekannten Rechenschema «angular spectrum of waves theory_" lassen sich für die Amplitude A und die Phase (p Diagramme nach der Art der Fig. 3 und 4 ermitteln. Fig. zeigt dabei das Amplitudendiagramm und Fig. 4 das Phasendiagramm (Amplitude bzw. Phase jeweils auf der Ordinate aufgetragen) aufgetragen über dem Wert ±x. Der Parameter der einzelnen Kurven ist jeweils die Größe z, nämlich die parallel zur Wellenausbreitungs-Ausrichtung in der Anordnung gemessene Entfernung vom Ende 21 der Integrationselektrode 2 (siehe auch die Fig. 1 und 2). Die Entfernungen z sind ebenfalls in _Jlm gemessen. Man erhält für verschiedene Frequenzen etwas unterschiedliche Diagramme, jedoch sind die Unterschiede z. B. im Bereich von 100 MHz bis 500 MHz für die Erfindung weitgehend vernachlässigbar.
Für den Krümmungsverlauf der Finger 11 ist die Krümmung der Wellenfront, d. h. im wesentlichen das Diagramm des Phasenverlaufes, maßgebend. Die Wellenfronten sind Orte gleicher Phase der fortschreitenden Welle.
Aus dem oben angegebenen Rechenschema ist für die Erfindung eine Näherungsformel ermittelt worden, die sich als gute Arbeitsgrundlage erwiesen hat. Diese Näherungsformel gibt die Orte des gekrümmten Verlaufes der Wellenfront wieder. Die Formel lautet:
Darin sind a = 0,94 und b = 41 810 Konstanten und z der Ausgangspunkt auf der z-Achse und +x der Abstand einer jeweiligen Parallelen zur z-Achse. Auf dieser Parallelen ist die Größe Az von der Größe z hinzuzuzählen. Es ergibt sich dann für den im Abstand ±x von der z-Achse gegebenen einzelnen Ort der Wellenfront der Wert z+Az (= z'(x).
Das oben erwähnte Rechenschema liefert darüber hinaus auch noch das sogenannte Überlappungsintegral
Darin ist a₁ die komplexe Amplitude nach Fig. 3 für die betreffende Welle im Abstand lxi von der z-Achse. Zur weiteren Erläuterung dieses Überlappungsintegrals sei auf Fig. hingewiesen, in der übereinanderliegend und zusammengehörend in der oberen Hälfte das bereits erwähnte Wellenprofil wiedergegeben ist, das sich aufgrund des Wellenleiters ergibt. Die untere Hälfte zeigt für das Nahfeld das Wellenprofil der Überlappungslänge W_n eines Paares (n) der Finger (11), das ein Rechteckprofil mit der Amplitude a₂ ist.
In Fig. 6 ist das Überlappungsintegral aufgetragen, und zwar über der Überlappungslänge w. Der Parameter der Kurvenschar ist wieder der Abstand auf der z-Achse. Man erkennt aus Fig. 6, daß das Maximum des Überlappungsintegrals, d. h. die optimale Überlappungslänge für ein Fingerpaar (n) für geringen Abstand, d. h. für kleine Werte von z klein ist. Für größere Abstände z ergeben sich größere optimale Überlappungslängen. In Fig. 2 ist der Inhalt des Überlappungsintegrals bzw. der Fig. als technische Maßnahme durch die Einhüllendenkurve 15 repräsentiert. Dieser Einhüllendenkurve 15 ist angenähert eine Hyperbel, die für größere Abstände z in die Asymptoten übergeht und sich für kleine Abstände z der Breite der Integrationselektrode 15 am Ende 21 (z = 0) annähert.
Es sei darauf hingewiesen, daß die einzelnen Finger 11 auch als wie bekannte Split-Finger ausgeführt sein können. Dabei können dann auch die Überlappungslängen auf den beiden Seiten eines Split-Fingers unabhängig voneinander gewählt werden.
Wegen der Dispersion bei einem erfindungsgemäßen Wandler 3, 4 kann auch hier der oben erwähnte Ausgleich vorgesehen sein.

Claims

1. Oberflächenwellen-Convolveranordnung (1) . mit einem Substrat (5) und auf dem Substrat vorhandener, als Wellenleiter dienender Integrations-Elektrode (2) und interdigitalen Eingangswandlern (3, 4), die - bezogen auf die Achse (z) der Wellenausbreitung in dieser Convolveranordnung - mit ihrem jeweils einen Ende dem einen bzw. dem anderen Ende (21) der Integrations- Elektrode gegenüberliegend angeordnet sind, wobei die Eingangswandler dispersive Wandler sind und an dem jeweiligen, der Integrationselektrode gegenüberliegenden Ende eine Apertur haben, die vergleichbar groß mit der Apertur der Integrations-Elektrode an ihrem jeweils gegenüberliegenden Ende ist, gekennzeichnet dadurch, daß von den Fingern (11) wenigstens des einen interdigitalen Eingangswandlers (3, 4) wenigstens eine für die Funktion als Eingangswandler ausreichende Anzahl dieser Finger (11), abweichend von gradliniger Form, eine einem ausgewählten Krümmungsverlauf zumindest weitgehend angenäherte Form haben, wobei dieser Krümmungsverlauf - vom jeweiligen gegenüberliegenden Ende (21) der Integrations-Elektrode (2) aus gesehen - konkav ist und dieser Krümmungsverlauf für jeden einzelnen Finger (11) des jeweiligen Eingangswandlers (3) so augewählt ist, daß er wenigstens weitgehend dem Krümmungsverlauf derjenigen Wellenfront gleich ist, die eine vom betreffenden Ende (21) der Integrations-Elektrode (2) bei vorgegebener Apertur dieser Integrations-Elektrode (2) an diesem Ende (21) ausgehenden akustischen Welle, die den vom betreffenden Eingangswandler (3) in der Integrations-Elektrode anzuregenden Ausbreitungsmodus besitzt, am Ort des betreffenden einzelnen Fingers (11) des jeweiligen Eingangswandler (3) hat, daß für die Finger (11) des als Hauptteil (14) des Wandlers (3, 4) bezeichneten Wandleranteils, mit dem bei erfindungsgemäß geformten und bemessenen Fingern zum wesentlichen Umfang die optimale Kopplung zwischen Wandler und Integrationselektrode erzielt ist, die Länge der Überlappung des betreffenden einzelnen Fingers (11) mit seinem entgegengesetzt gepolten Nachbarfinger im jeweiligen Wandler (3, 4) entsprechend der Fingerlängen-Einhüllenden (15) so bemessen ist, daß für diesen betreffenden Finger (11) maximale Empfangsempfindlichkeit (Fig. 3, 5, 6) für die voranstehend angegebene, vom Ende (21) der Integrations-Elektrode (2) ausgehende akustische Welle gegeben ist und daß die über die Fingerlängen-Einhüllenden (15) bis zur jeweils entgegengesetzt gepolten Sammelschiene (12, 112) reichenden Fingerlängen durch dummy-Finger (13) ersetzt sind.

2. Anordnung nach Anspruch 1, gekennzeichnet dadurch, daß für eine Anzahl der Finger (11) des Hauptteils des Wandlers diese Länge entsprechend einer überlagerten Wichtung abweichend von der Länge maximaler Empfindlichkeit bemessen ist, wobei auch ein verkürzter Fingerlängenanteil durch einen Dummy-Fingeranteil (13) ersetzt ist.

3. Anordnung nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet dadurch, daß außerhalb des Hauptteils (14) des betreffenden Wandlers (3, 4) die Fingerlängen (Überlappungslängen) der dort vorhandenen Finger (11) entsprechend weiterer Fingerlängen-Einhüllenden (22, 23) verkürzt und außerhalb dieser weiteren Fingerlängen-Einhüllenden (22, 23) durch dummy-Finger ersetzt sind, so daß der Frequenzgang geglättet ist.