DE2813394A1 - Transparente elektrisch leitende schichtstruktur - Google Patents
Transparente elektrisch leitende schichtstrukturInfo
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Description
Die Erfindung betrifft eine transparente elektrisch leitende Schichtstruktur oder Yerbundstruktur, die mit
guter optischer Durchsichtigkeit und elektrischer Leitfähigkeit ausgestattet ist und weiterhin eine ausgezeichnete
optisch selektive Transparenz mit einer ausgezeichneten Affinität und Bindefestigkeit insbesondere für
transparente feste Substrate aus einem filmbildenden synthetischen Harz besitzt, die technisch leichter und
mit niedrigen Kosten eine Heproduzierbarkeit von guter Qualität ergibt.
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Insbesondere betrifft die Erfindung eine transparente elektrisch leitende Schichtstruktur oder Verbundstruktur,
die dadurch gekennzeichnet ist, dass das transparente, feste Substrat aus einer filmbildenden synthetischen Harzschicht,
beispielsweise einer PoIyesterharzschicht, besteht,
eine dünne Schicht aus einem in Kontakt mit dem Substrat gebildeten Titanoxid eine sich von einer Schicht
aus einer organischen Titanverbindung ableitende Schicht darstellt und organische Resteinheiten der organischen
Titanverbindung der Schicht aus der organischen Titanverbindung enthält.
Die üblichen transparenten elektrisch leitenden Schichtstrukturen sind bekannt und werden auf weiten
Gebieten eingesetzt und sie bestehen aus einer Struktur, deren Anwendung auf neuen Gebieten zu erwarten ist. Die
Struktur dieser Art wird bei Gebrauchszwecken unter Ausnützung der elektrischen Leitfähigkeit angewandt. Beispielsweise
wird sie in weitem Umfang auf Anwendungen auf dem Gebiet der Elektronik und der Elektrizität, beispielsweise
als Elektroden für Flüssigkristallwiedergabe, Elektroden für die Elektrolumineszenz, Elektroden für
photoleitende empfindliche Substanzen, antistatische Schichten, Heizelemente und dgl., angewandt. Ferner wird
eine ähnliche Struktur mit optisch selektiver Transparenz in weitem Umfang auf dem Gebiet der Ausnützung der Solarenergie
als Fenster, Sammler und dgl. verwendet.
Ferner fanden im Verlauf der Entwicklung der information sorientiert en Gesellschaft Ausbildungen statt vom
Feststofftyp, wie Elektrolumineszenztyp, Flüssigkristalltyp, Plasmatyp, ferroelektrischen Substanztyp anstelle
der üblicherweise eingesetzten Braun-Röhren. Transparente Elektroden sind für solche feste Wiedergaben erforderlich.
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Neue elektrooptisch^ Elemente und Aufzeichnungsmaterialien
unter Ausnutzung der Wechselwirkung oder des Austausches zwischen elektrischen Signalen und Lichtsignalen spielen
die führende Rolle in den zukünftigen Informationsverarbeitungstechniken, jedoch sind als Teile von Bestandteilen
derartiger elektrooptischer Materialien solche Materialien
erforderlich, die mit einer Kombination von Transparenz und elektrischer Leitfähigkeit ausgestattet sind. Abgesehen
von Informationsmaterialien ist Fensterglas mit einem transparenten elektrisch leitenden Film als frostfreies
Fensterglas in Verkehrsmitteln, wie Automobilen und Flugzeugen,erforderlich.
Andererseits ist bei -elektrisch isolierenden Gegenständen,
beispielsweise hochpolymeren Formgegenständen, die Erzeugung von statischer Elektrizität häufig die Ursache
ernsthafter Gefahren. Zu deren Verhinderung wurden beispielsweise bei der Herstellung Versuche unternommen,
indem in die Hochpolymeren Pulver von elektrischen Leitern, wie Metallen und Kohlenstoff, einverleibt wurden, jedoch
ergibt sich dadurch unvermeidlich eine Verfärbung, Trübung oder Erni-edrigung der mechanischen Eigenschaften. Jedoch
ist es ein ausgezeichnetes Verfahren als Verfahren zum Antistatischmachen, einen transparenten elektrisch leitenden
Film auf der Oberfläche des elektrisch isolierenden Formgegenstandes aus dem Hochpolymeren und dgl. auszubilden.
Ferner sindSlektiv transparente Filme hinsichtlich
Licht im sichtbaren Bereich transparent, zeigen jedoch Reflexion hinsichtlich von Infrarotstrahlen einschliesslich
der nahen Infrarotstrahlen. Infolgedessen sinds/ie wert-
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voll als transparente wärmeisolierende Filme. Deshalb
können sie als Sonnenenergie-Kollektor (Wassererhitzer), Solarwärmekrafterzeuger, Gewächshausfenster, Gebäudefenster
und dgl. verwendet werden. In modernen Gebäuden wird insbesondere die Ausnutzung der Sonnenenergie durch
Fenster, die grosse Anteile der Wandoberflächen einnehmen und als transparente wärmeisolierende Fenster wirken, die
die Energiestrahlung verhindern, hinsichtlich der Bedeutung in der Zukunft immer stärker zunehmen. Ferner ist
deren Bedeutung gross als Film zur Anwendung in Gewächshäusern, die für das Reifen von Gemüsen, Zitrusfruchten
und dgl. erforderlich sind.
Somit sind transparente elektrisch leitende Filme wichtig auf dem Gebiet der Elektronik, der Ausnützung der Solarenergie
und der transparenten Wärmeisolatoren. Auf dem technischen befassten Gebiet ist die Ausbildung eines
homogenen und hoch wirksamen Filmes im technischen Massstab von niedrigen Kosten sowie in grossen Mengen von
guter Qualitätsreproduzierbarkeit erforderlich, jedoch
ist es in der Praxis schwierig, eine transparente elektrisch leitende Schichtstruktur auszubilden, die diese
Anfordernisse vollständig erfüllen kann.
Es wurden bereits zahlreiche Vorschläge für transparente elektrisch leitende oder optisch selektiv transparente
Schichtstrukturen gemacht und verschiedene Kombinationen werden je nach der Art des Substrates, der Art
des Oxides in der Schicht aus dem auf dem Substrat ausgebildeten Titanoxid und den Massnahmen für Ausbildung dieser
Schicht, der Art des Metalles in der Schicht aus dem in der Schicht aus dem Titanoxid gebildeten elektrisch leiten-
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den Metall und den Massnahmen zur Ausbildung dieser Schicht, der Art der Schicht des auf dieser Schicht aus dem
elektrisch leitenden Metall ausgebildeten Schicht des Titanoxids und Massnahmen zur Ausbildung dieser Schicht
und dgl. empfohlen.
Bei diesen üblicherweise vorgeschlagenen Strukturen ist die in zahlreichen Fällen allgemein angewandte Struktur
aus den nachfolgenden Bestandteilen (A) bis (E) aufgebaut:
(A) Als transparentes, festes Substrat eine Schicht aus Glas, Quarz, Keramik, synthetischem Harz und dgl,
(B) eine dünne Schicht aus einem Oxid des Titans in Kontakt mit dem Substrat (A),
(C) eine dünne Schicht eines elektrisch leitenden Metalles
in Kontakt mit der Schicht (B), wobei in dieser Dünnschicht als Metalle Ag, Au, Gu, Pd, Sn und dgl.,
beispielsweise verwendet werden,
(D) eine dünne Schicht aus einem Oxid des Titans in Kontakt mit der Schicht (C) und
(E) gegebenenfalls eine transparente Deckschicht in Kontakt mit der Schicht (D).
Beispielsweise ist in der US-Patentschrift 3 698 °A6
eine Schichtstruktur oder Verbundstruktur beschrieben, die aus einer ersten transparenten Schicht aus einer
auf einem transparenten festen Substrat, wie Glas, Quarz, oder Polyester vakuumabgeschiedenen ersten transparenten
Schicht aus Titanmonoxid, einer zweiten Schicht aus einem Metall aus der Gruppe von Cu, Ag, Au, Pd, Sn und Au-Pd-Legierungen,
die auf der ersten Schicht vakuumabgeschieden ist, und einer dritten transparenten auf der zweiten
Schicht vakuumabgeschiedenen transparenten Schicht von
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- β 9 28 Ί 3394
Titanmonoxid besteht.
In den US-Patentschriften 3 962 488 und 4 01? 661
ist als Schicht aus Titanoxid insbesondere die Anwendung einer Schicht aus Titanoxid entsprechend der Formel TiCL·,
worin χ den Wert 1,3 ^ χ έ 1,7 hat, in der gleichen Schichtstruktur
wie vorstehend vorgeschlagen.
Es gibt weiterhin Vorschläge für ähnliche Verfahren, die mit verschiedenen spezifischen Erfordernissen ausgestattet
sind, beispielsweise in der japanischen Patent-Veröffentlichung
51-66841, entsprechend der US-Patentanmeldung Ser. No. 498 160, der US-Patentschrift 4 020 389,
der japanischen Patent-Veröffentlichung 47-6315 entsprechend
der britischen Patentschrift 130 762 und der französischen
Patentschrift 2043002 und dgl.
Gemeinsam ist den vorstehend aufgeführten Vorschlägen die übliche Ausbildung der Schicht aus dem Titanoxid mittells
Vakuumabscheidung. Als weitere Massnahmen finden
sich Erläuterungen für Wärmeaufdampfverfahren, chemische
Dampfabscheidungsverfahren und dgl. in der japanischen
Patent-Veröffentlichung 51-66841, jedoch fehlen dort spezifische Angaben, wie diese Massnahmen in die Praxis
überführt werden sollen.
Ein weiterer Vorschlag für eine ähnliche Struktur ist aus der japanischen Patent-Veröffentlichung 48-27726
entsprechend der belgischen Patentschrift 693528, der canadischen Patentschrift 840513 und der niederländischen
Offenlegungsschrift 67-4581 bekannt. Auch bei diesem Vorschlag wird die Schicht des Titanoxids durch die üblicher-
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weise angewandten Vakuumabscheidungsmassnahmen gebildet, jedoch ist dort ein Beispiel gezeigt, worin die Titanoxidschicht
mittels eines Nassverfahrens gebildet wird (Beispiel
VIII der canadischen Patentschrift 840513). In diesem Beispiel wird eine Goldschicht von 175 α Stärke zwischen den
beiden Titanoxidschichten von 117 bzw. 310 A Stärke zur
Herstellung von "Antiwärmefenstern" mit einer grauen
Reflexionsfärbung abgeschieden. In diesem Beispiel werden die Titanoxidschichten aus einer Lösung von Titanäthylat
mit einem Gehalt von 30 g Titanoxid je Liter Äthylalkohol
abgeschieden. Die Oberfläche der mit den Schichten abzudeckenden Bahn wird zunächst mit dieser Lösung überzogen,
während 10 Minuten bei einer Temperatur von 100° C getrocknet und schliesslich bei einer Temperatur von 500° C
gebrannt. Das heisst, in diesem Beispiel wird die dünne Schicht des Titanoxids durch Umsetzung von Titanäthylat
in Titanoxid mittels einer schliesslich bei 500° C erfolgenden Wärmebehandlung gebildet. Aus diesem Grund können
keine organischen Resteinheiten, die sich aus dem in der gebildeten Schicht verwendeten Titanäthylat ableiten, hinterbleiben.
Wie vorstehend abgehandelt, verblieben zusammenfassend im vorstehenden Stand der Technik auf diesem technischen
Fachgebiet transparente elektrisch leitende Schichtstrukturen vollständig unbekannt, bei denen eine der dünnen
Schichten (B), (C) und (D) eine organische Einheiten enthaltende Schicht ist. Es liess sich auch keinerlei möglicher
Vorteil vorhersagen, der auf Grund des Gehaltes organischer Einheiten auftreten sollte. Infolgedessen gab
es keinerlei Ideen oder Vorschläge, eine organische Einheiten enthaltende Schicht als Dünnschicht (B) des Titanoxids
im Kontakt mit dem Substrat (A) anzuwenden.
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Im Rahmen der vorliegenden Erfindung wurde eine Schichtstruktur oder Verbundstruktur untersucht, die aus
einem transparenten festen Substrat (A) aus einem filmbildenden synthetischen Harz, einer Dünnschicht (B) aus
einem Oxid des Titans, die auf dem Substrat (A) ausgebildet ist und das Substrat (A) kontaktiert, einer Dünnschicht (C)
aus einem elektrisch leitenden Material in Kontakt mit der Schicht (B), einer Dünnschicht (D) aus einem Oxid des
Titans in Kontakt mit der Schicht (C) und gegebenenfalls einer transparenten Deckschicht in Kontakt mit der Schicht
(D) sowie eine mit einer optisch selektiven Transparenz zusammen mit optischer Transparent und elektrische Leitfähigkeit
ausgestattete Schichtstruktur mit einer ausgezeichneten
Affinität, insbesondere Bindefestigkeit, für das Substrat (A) aus dem Harz besteht.
Dabei wurde nun gefunden, dass das kritisch bedeutende Erfordernis für die elektrisch leitende und optisch selektiv
transparente Schichtstruktur, deren Substrat (A) aus
einer filmbildenden synthetischen Harzschicht besteht, für die Ausbildung einer zufriedenstellenden Schichtstruktur
darin liegt, dass die Schicht (B) eine Schicht eines Oxides des Titans ist, die sich von einer Schicht
einer organischen Titanverbindung ableitet und dass die Schicht (B) organische Resteinheiten der organischen Titanverbindung
enthält.
Bei den üblichen Vorschlägen wurde es als notwendig betrachtet, dass diese Schicht (B) eine Dünnschicht aus
einem anorganischen Oxid des Titans ist und es liessen sich in keiner Weise irgendwelche möglichen Vorteile aus
dem technischen Konzept erwarten, organische Einheiten
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in die Schicht (B) einzuverleiben und auf Grund der Einverleibung der organischen Einheiten in dieser Schicht (B)
erwarten. Vie bereits im Zusammenhang mit der vorstehend abgehandelten japanischen Patentanmeldung 4-8-27726 dargelegt,
wurde, selbst wenn eine organische Titanverbindung zur Bildung der Schicht (B) verwendet wurde, die Umwandlung
des Titanoxids unter solchen Bedingungen durchgeführt, dass die organische Einheit nicht hinterbleiben konnte und
in den durch Vakuumabscheidung oder ähnlichen Massnahmen
gebildeten Schichten war die organische Einheit in Substanz abwesend. Es wurde nun in überraschender Weise gefunden,
dass, wenn die Schicht (B) als Schicht aus einem Oxid des Titans, das sich von einer Schicht einer organischen Titanverbindung
ableitet, gebildet wird und die Schicht organische Resteinheiten der organischen Titanverbindung enthält,
die Affinität für das Substrat (A) aus dem filmbildenden synthetischen Harz vorteilhaft verbessert werden
kann, die Bindefestigkeit mit dem Substrat markant und mit einer Verbesserung der Transparenz der Schichtstruktur
verbessert wird.
Bei den transparenten elektrisch leitenden Schichtstrukturen
wird die Transparenz der Schichtstruktur durch den Multi-Interferenzeffekt des durch die jeweiligen Bestandteilsschichten
hindurchgehenden Lichtes gebildet. Infolgedessen beeinflussen Unregelmässigkeiten der Kontaktoberflächen
der jeweiligen Schichten, d. h. ganz kleine unregelmässige Änderungen der jeweiligen Filmoberflächen,
direkt die Transparenz der Schichtstruktur. Einzelheiten für diese Ursache sind unbekannt, jedoch wurde gefunden,
dass bei Anwendung einer Schicht, die aus einer Schicht eines Oxides des Titans besteht, die sich von einer Schicht
einer organischen Titanverbindung ableitet und welche
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organische Resteinheiten der organischen Titanverbindung enthält, die Bindefestigkeit mit dem Substrat (A) bemerkenswert
verbessert werden kann und gleichzeitig ungünstige Einflüsse auf den Multi-Interferenzeffekt der Unregelmässigkeiten
vermieden werden können, so dass eine ausgezeichnete Transparenz sichergestellt werden kann.
Ferner kann die Schicht (B) mit niedrigen Kosten durch so einfache Massnahmen wie Oberziehen der Oberfläche des
Substrates (A) mit einer Lösung einer organischen Titanverbindung in einem Lösungsmittel und Trocknen in der
Weise, dass ein Teil der organischen Einheit der Titanverbindung unter derartigen Hydrolysebedingungen hinterbleibt,
es jedoch ermöglicht, dass die organische Titanverbindung in.der Überzugsschicht selbst in ein Oxid des Titans umgewandelt
wird,und wurde gefunden, dass unter diesen Umständen
verschiedene derartige Nachteile, wie Erfordernisse komplizierter Arbeitsgänge und kostspielige Apparaturen,
niedrige !Fertigungsgeschwindigkeit zur Bildung der Schicht und Schwierigkeiten bei der Steuerung der Zusammensetzung
und Filmdicke vermieden werden können hergestellt werden.
Auf Grund der Erfindung ergibt sich somit die Ausbildung einer transparenten elektrisch leitenden Schichtstruktur,
die mit guter optischer Transparenz sowie mit elektrischer Leitfähigkeit und weiterhin optisch selektiver
Transparenz mit einer ausgezeichneten Affinität und Bindefestigkeit insbesondere für transparente feste Substrate
aus einem filmbildenden Harz ausgestattet ist, sowie technisch leicht und mit niedrigen Kosten in guter Reproduzierbarkeit
der Qualität hergestellt werden kann, sowie ein Verfahren zur Herstellung derselben.
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- vr -
Die vorstehenden Aufgaben und zahlreiche weiteren Aufgaben der Erfindung sowie die erzielten Vorteile ergeben
sich aus der nachfolgenden Beschreibung.
Die transparente, elektrisch leitende Schichtstruktur
gemäss der Erfindung ist aufgebaut aus
(i) einem transparenten festen Substrat aus einem filmbildenden synthetischen Harz,
(ii) einer Dünnschicht aus einem Oxid des Titans in Kontakt mit dem Substrat (i), wobei die Schicht sich
von einer Schicht aus organischer Titanverbindung ableitet und organische Restanteile der organischen
Titanverbindung enthält,
(iii) einer Dünnschicht aus einem elektrisch leitenden Metall in Verbindung mit der Schicht (ii),
(iv) eine Dünnschicht aus einem Oxid des Titans in Kontakt mit der Schicht (iii), wobei die Schicht (iv) vorzugsweise
sich von einer Schicht einer organischen Titanverbindung ableitet und organische Restanteile
der organischen Titanverbindung enthält, und
(v) gegebenenfalls einer transparenten Deckschicht in
Kontakt mit der Schicht (iv).
Die vorstehende Struktur gemäss der Erfindung kann in guter Reproduzierbarkeit der Qualität sowie mit niedrigen
Kosten in ausgezeichneter Herstellungsgeschwindigkeit mittels technisch leichter Arbeitsgänge und einfacher
Geräte nach den folgenden Herstellungsverfahren hergestellt werden, welches die nachfolgenden Stufen (1) bis
(5) umfasst:
(1) Eine Stufe des Überziehens der Oberfläche eines transparenten festen Substrates aus einem filmbildenden
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- ie -
synthetischen Harz mit einer Lösung einer organischen
Titanverbindung in einem Lösungsmittel,
(2) eine Stufe der Trocknung der in der Stufe (1) erhaltenen überzogenen Schicht in der Weise, dass ein Teil der organischen
Anteile der organischen Titanverbindung unter Hydrolysebedingungen der organischen Titanverbindung
in der aufgezogenen Schicht hinterbleibt,
(3) eine Stufe der Ausbildung einer Dünnschicht eines elektrisch leitenden Metalls auf der getrockneten Schicht
aus dem in der Stufe (2) gebildeten Oxid des Titans mit dem Gehalt an organischen Restanteilen der organischen
Titanverbindung,
(4) einer Stufe zur Bildung einer Schicht aus einem Oxid des Titans auf der in der Stufe (3) ausgebildeten
Dünnschicht aus dem elektrisch leitenden Metall, wobei diese Stufe die Ausbildung der Schicht durch gleiche
Massnahmen wie bei den Stufen (1) und (2) umfasst, und
(5) gegebenenfalls eine Stufe zur Ausbildung einer transparenten Deckschicht auf der in Stufe (4-) erhaltenen
Schicht.
In der transparenten elektrisch leitenden Schichtstruktur gemäss der Erfindung sollte der Gehalt an organischen
Resteinheiten der Schicht (ii) und vorzugsweise der beiden Schichten (ii) und (iv) vorzugsweise 0,1
bis 30 Gew.% und stärker bevorzugt 1,0 bis 10 %, bezogen
auf die in der Schicht der organischen Titanverbindung enthaltenen organischen Gruppen, betragen.
Gemäss der Erfindung wird der Gehalt an organischen Eesteinheiten in der folgenden Weise bestimmt und.ermittelt.
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Das Verfahren zur Bestimmung und Ermittlung der organischen Resteinheiten der organischen Titanverbindung,
die in der Schicht aus dem Oxid des Titans enthalten sind, welche sich von der Schicht der organischen Titanverbindung
ableitet, ist folgendes:
Eine Lösung wird durch Vermischen von Wasser und Methanol in einem Gewichtsverhältnis von 1:1 hergestellt
und Kaiiumhydroxid wird zu einer Konzentration von
10 Gew.% aufgelöst. Eine Schichtprobe wird in quadratförmige
kleine Stücke geschnitten, wobei jede Seite etwa 2 mm misst und diese Stücke werden zu der Lösung so zügesetzt,
dass ihre Menge 20 cm /ml beträgt. Diese werden in die Lösung während 24 Stunden bei Raumtemperatur
zur Extraktion der organischen Komponenten eingetaucht. Die Menge der organischen Komponenten wird durch die
quantitative Bestimmung der Ionen erhalten, welche durch Massenfragmentographie auf einem gaschromatographxschen
Massenanalysator (Modell LKB-9000 der Shimadzu Seisakusho) unter Anwendung einer Glaskolonne von 3 nun
Durchmesser und 3 m Länge, gepackt mit Chromosorb W (Maschenzahl 576 bis 1225) mit 30 Gew.teilen hieran gebundenem
PEG-20, durchgeführt wurde.
Pur diese Bestimmung wurde im Fall der Anwendung von
Tetrabutyltitanat die Komponente mit der Massenzahl entsprechend Butyl gewogen, jedoch besteht bei Anwendung von
Lösungsmitteln der Alkoholreihe zum Zeitpunkt des Überziehens als Lösungsmittel die Möglichkeit eines Esteraustausches
und infolgedessen wird die Komponente mit der Massenzahl entsprechend der Alkylkomponente des als Lösungsmittel
eingesetzten Alkohols gleichfalls berechnet
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und die Summe von beiden wird als Betrag der organischen Restkomponente in der Titanverbindung angegeben. Ferner
wurde der Rest der organischen Gruppen mit einer zu 2,5 g/cnr festgesetzten Titanoxiddichte unter Anwendung der mit der
Massenfragmentographie bestimmten Konzentration der organischen Gruppen und einer Titanoxidfilmstärke, die durch
das Pluoreszenz-Röntgenverfahren ermittelt wurde, bestimmt.
Die als transparentes festes Substrat im Rahmen der Erfindung eingesetzte filmbildende synthetische Harzschicht
(1) kann aus jedem beliebigen filmbildenden synthetischen Harz gebildet sein, die die bei der Trocknung der
Schicht aus der auf der Schicht aufgezogenen organischen Titanverbindung angewandten Trocknungstemperaturen in der
Weise aushält, dass ein Teil der organischen Einheiten der Komponente unter Hydrolysebedingungen der Titanverbindungen
in der Schicht hinterbleibt.
Als Beispiele für derartige filmbildende synthetische Harze seien beispielsweise thermoplastische Harze, wie
Harze der Polyesterreihe, wie Polyäthylenterephthalathzar,
Polyäthylennaphthalatharz, Polybutylenterephthalatharz
und Polycarbonatharz, Acrylharze, Polystyrolharze, Harze der Polyolefinreihe, wie Polyäthylenharze und Polypropylenharze,
Polyamidharze, Polyvinylfluoridharze und Mischharze hieraus und filmbildende Harze vom lösungsmittellöslichen
Typ, wie Polyvinylalkohol, Polyacrylnitril, Polyurethan, aromatisches Polyamid, Polyimidharze und
dgl., aufgeführt.
Die vorstehend aufgeführen filmbildenden synthetischen Harze sind nicht auf Homopolymere begrenzt und können aus
Copolymeren oder Gemischen oder Schichtgebilden bestehen.
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Die Harze können jede beliebige Form besitzen. Sie können in Filmform, Bogenform, Plattenform, Stabform,
Rohrform, Blockform, Fadenform und anderen beliebigen Formen vorliegen. Im Rahmen der Erfindung sollten sie jedoch
vorzugsweise als film- oder bahnartige Polyesterform vorliegen. Mit besonderem Vorteil wird ein Polyesterfilm
oder -bogen verwendet, der vorzugsweise 80 % oder mehr Transparenz im sichtbaren Licht besitzt und eine Filmstärke
von vorzugsweise 6 bis 250 Aim und stärker bevorzugt
20 bis 200 um , aufweist. Die Anwendung eines Polyesterfilmes
oder -bogens, beispielsweise aus einem Polyalkylenterephthalat oder einem Polyalkylennaphthalat, wird besonders
bevorzugt. Orientierte Polyesterfilme oder -bögen werden für derartige Polyesterfilme oder -bögen bevorzugt.
Besonders bevorzugt wird als Polyesterfilm oder -bogen ein mindestens monoaxial und vorzugsweise biaxial orientiertes
Polyäthylenterephthalat mit einem Refraktionsindex
in der Orientierungsrichtung von 1,57 bis 1»58, einem
Refraktionsindex in Richtung der Dicke von 1,48 bis 1,57 und einer Dichte von 1,3^0 bis 1,390 g/cm*.
In der Schichtstruktur gemäss der Erfindung wird eine
Dünnschicht (ii) aus einem Oxid des Titans ausgebildet, die sich von einer Schicht einer organischen Titanverbindung
ableitet und in Kontakt mit dem Substrat (i) steht, wobei diese Dünnschicht organische Resteinheiten oder
-anteile der organischen Tfitanverbindung enthält.
Die Schicht (ii) kann durch Überziehen der Oberfläche des Substrates (i) mit einer Lösung einer organischen
Titanverbindung in einem Lösungsmittel und Trocknung der Schicht in der Weise, dass ein Teil der organischen Einhei-
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ten der organischen Titanverbindung bei solchen Bedingungen hinterbleibt, wo die organische Titanverbindung in dieser
Weise ausgebildeten aufgezogenen Schicht in das Oxid des Titans durch Hydrolyse überführt wird, hinterbleibt.
Als derartige organische Titanverbindungen werden Alkyltitanate bevorzugt eingesetzt und beispielsweise werden
bevorzugt Alkyltitanate entsprechend der folgenden Formel:
verwendet, worin R eine Alkylgruppe, vorzugsweise eine
Alkylgruppe mit 1 bis 20 Kohlenstoffatomen und stärker bevorzugt 2 bis 11 Kohlenstoffatomen, während 1, m und η
positive Zahlen bedeuten.
Alkyltitanate der vorstehenden Formel, worin
m = 4 + (1-1) χ 3,
η = 4· + (1-1) x 2 und
η = 4· + (1-1) x 2 und
1 - 1-30,
werden bevorzugt hinsichtlich der Fähigkeit zur Bildung der vorstehenden Überzugsschicht angewandt. Der Wert von
"1" braucht nicht einheitlich zu sein, sondern kann eine Verteilung besitzen. Insbesondere werden Alkyltitanate
mit einer solchen Verteilung, dass die Verteilung der Werte von "1" den Maximalwert von 15 oder weniger hat,
hinsichtlich der Viskosität der Überzugslösung und der Hydrolysierbarkeit bevorzugt. Ferner werden Alkyltitanate
entsprechend der vorstehenden Formel, worin R. eine Alkylgruppe mit 2 bis 11 Kohlenstoffatomen bedeutet, bevorzugt
für den Filmbildungsarbeitsgang verwendet und zwar im
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Hinblick auf das leichte Überziehen, ferner der Hydrolysegeschwindigkeit,
den mechanischen Eigenschaften sowie der Transparenz des erhaltenen Films. In diesem Zusammenhang
können Gemische von zwei oder mehr Materialien unter den Alkyltitanaten verwendet werden. Das.Alkyltitanat wird
im organischen Lösungsmittel zu einer Lösung gelöst, auf die Oberfläche des Substrats (i) aufgezogen, in Gegenwart
der Feuchtigkeit der Atmosphäre hydrolysiert und bei der nachfolgenden Kondensationsreaktion desalkylhydroxidiert.
Durch Wahl der Überzugsbedingungen kommt das Alkyltitanat nahe zu Titanoxid.
Gemäss der Erfindung soll, wie bereits früher angegeben,
die Schicht (ii) aus dem Oxid des Titans vorzugsweise 0,1 bis 30 Gew.% und stärker bevorzugt 1,0 bis
10 Gew.% an organischen Eesteinheiten enthalten, bezogen auf die in der organischen Titanverbindung in der Schicht
aus der organischen Titanverbindung enthaltenen organischen Gruppen nach dem Bestimmungs- und Ermittlungsverfahren
gemäss der Erfindung. Bei der Trocknungsbehandlung unter diesen Bedingungen, so dass organische Resteinheiten hinterbleiben,
macht das auf dem Alkyltitanat umgewandelte Oxid des Titans vorzugsweise etwa 70 bis 99,9 Gew.% und
stärker bevorzugt etwa 90 bis etwa 99»0 Gew.%, bezogen auf
das Gewicht der Schicht (ii), aus.
Gemäss der Erfindung darf jedoch die Trocknungsbehandlung nicht unter solchen Bedingungen durchgeführt werden,
dass praktisch die gesamten organischen Gruppen der organischen Titanverbindung in der Schicht aus der organischen
Titanverbindung verloren gehen, woraus sich die Schicht
(ii) ableitet. Die Bedingungen der Trocknungsbehandlung zur
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Überführung des Alkyltitanats in das Oxid des Titans .unter
solchen Bedingungen, dass ein Teil der organischen Anteile des Alkyltitanats hinterbleibt, können in geeigneter Weise
entsprechend der Art der Schicht aus der organischen Titanverbindung, den Heizbedingungen, der Stärke der Schicht
und dgl., modifiziert werden. Es werden beispielsweise solche Bedingungen, wie eine Trocknung während etwa 10 Sekunden
bis etwa 10 Stunden, stärker bevorzugt etwa 60 Sekunden bis etwa 600 Sekunden, beispielsweise bei Temperaturbedingungen
in der Grössenordnung von etwa 30 bis etwa 2000C,
wandt.
wandt.
2000C, stärker bevorzugt etwa 90 bis etwa 150° C, ange-
Beispiele für Einrichtungen für diese Trocknung sind Einrichtungen, wie Heiεsiuftofen, Infrarot-Strahlerhitzer
und dgl.
Als Beispiele für Alkyltitanate entsprechend der vorstehenden Formel seien Tetrabutyltitanat, Tetraäthyltitanat,
Tetrapropyltitanat, Tetrastearyltitanafc, Tetra-2-äthylhexyltitanat,
Diisopropoxytitan-bis-acetylacetonat und dgl., aufgeführt und besonders bevorzugt werden
Tetrabutyltitanat und Tetrapropyltitanat verwendet. Diese Alkyltitanate können als solche verwendet werden, jedoch
werden diejenigen, die zu einem Dimeren, Tetrameren oder Decameren vorkondensiert sind, bevorzugt eingesetzt.
Ferner können diese Alkyltitanate mit Acetylaceton oder ähnlichen Mitteln stabilisiert verwendet werden.
Als allgemein zur Bildung der Überzugεschicht aus dem
Alkyltitanaten eingesetztes organischen Lösungsmittel
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werden bevorzugt diejenigen Lösungsmittel verwendet, welche zur vollständigen Auflösung der eingesetzten Alkyltitanate
fähig sind und welche eine Affinität für die Oberfläche des Substrates besitzen und leicht aufzuziehen und nach
dem Aufziehen leicht zu trocknen sind. Als derartige organische Lösungsmittel können organische Lösungsmittel der
Kohlenwasserstoffreihe, der Alkoholreihe, der Ätherreihe,
der Esterreihe, der Carbonsäurereihe und der halogensubstituierten Kohlenwasserstoffreihe aufgeführt werden, beispielsweise
Hexan, Cyclohexan, Heptan, Octan, Methylcyclohexan,
Toluol, Benzol, Xylol, Octen, Nonen, Lösungsmittel
Naphtha, Methanol, Äthanol, Isopropanol, Butanol, Pentanol, Cyclohexanol, Methylcyclohexanol, Phenyl, Cresol, Äthyläther,
Propyläther, Tetrahydrofuran, Dioxan, Aceton, Cyclohexanon, Methyläthylketon, Methyli sobutylketon,
Methylacetat, Äthylacetat, Propylacetat, Butylacetat, Äthylpropionat, Methylbenzoat, Eisessigsäure, Chloroform,
Tetrachlorkohlenstoff, Trichlene, Trichloräthan, Chlorbenzol, Dibromäthan, Methylcellosolve, Cellosolve, Cellosolveacetat
und dgl. Besonders werden Isopropanol, Butanol, n-Hexan, Toluol und dgl. bevorzugt verwendet.
Diese organischen Lösungsmittel können gewünschtenfalls
entweder allein oder als Gemische von mehr als zwei verwendet werden. Wasserhaltige Lösungsmittel können gegebenenfalls
ebenfalls verwendet werden.
Die Herstellung der Lösungsmittellösung für die Schicht der organischen Titanverbindung zur Bildung der
Dünnschicht (ii) aus dem Oxid des Titans, die sich von der Schicht der organischen Titanverbindung gemäss der Erfindung
ableitet, kann leicht durch Auflösen der organischen Titanverbindung in den vorstehend angegebenen organischen
Lösungsmittel erfolgen. Bei dieser Gelegenheit kann ge-
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wünschtenfalls Wärme innerhalb eines solchen Bereiches zur
Auflösung angewandt werden, dass der gewünschte Effekt der vorliegenden Erfindung zum Hinterbleiben eines Teiles
der organischen Resteinheiten nicht geschädigt wird und
es ist auch möglich, bestimmte Beträge anderer Harzkomponenten, die in den organischen Lösungsmitteln löslich sind,
zum Zweck der Verbesserung der Eigenschaften des aufgezogenen Filmes, wie Haftung, Refraktionsindex, Farbton,
Härte und dgl., zuzusetzen. Als derartige Harzkomponenten seien Harze von lösungsmittellöslichen Typ angegeben, wie
Harze von Silicontyp, Acrylharze, Epoxyharze, Polyurethanharze und dgl. Die Konzentration der Lösung im organischen
Lösungsmittel des Alkyltitanats (Überzugslösung) ist in geeigneter Weise variierbar, wird jedoch günstigerweise
auf eine Konzentration von 0,1 bis 30 Gew.%, vorzugsweise
0,5 bis 10 Gew.% und besonders bevorzugt 1 bis 7?5 Gew.%,
zur Ausbildung eines Dünnfilmes in der Grössenordnung von einigen hundert Angstrom Filmstärke eingesetzt.
Sämtliche bekannten Überzugseinrichtungen können als Überzugseinrichtungen zum Überziehen des Substrates aus
dem filmbildenden synthetischen Harz mit der Lösungsmittel-Ιο
sung der organischen Titanverbindung gemäss der Erfindung verwendet werden. Im Fall des Überziehens der Oberfläche
des Formgegenstandes mit dieser Lösung stehen ausser dem Eintauchverfahren, dem Sprühverfahren, dem Spinnerverfahren
und dgl. solche Verfahren, wie die Anwendung von Überzugsmaschinen im grossen, d. h. solche Verfahren, die die Anwendung
von Gravürüberzugsgeräten, Meyer-Bügelüberzugsgeräten, Umkehrwalzenüberzugsgeräten und dgl. umfassen,
zur Verfügung. Beispielsweise im Fall des Überziehens eines glatten, festen Substrates, wie eines Filmes, Bogens
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- 21 - q
und dgl. wird die Anwendung eines Gravürüberzugsgerätes
oder eines Meyer-Bügelüberzugsgerätes zur leichteren Steuerung und zur Einheitlichkeit der Filmstärke bevorzugt.
Hingegen wird im Fall des Überziehens eines unebenen festen Substrats bevorzugt das Sprühverfahren angewandt. Gleichzeitig
mit dem Überziehen oder nach dem Aufziehen der Überzugslösung wird das Lösungsmittel bei Temperaturen oberhalb
Raumtemperatur getrocknet.
Diese Trocknung muss, wie bereits erwähnt, in der Weise ausgeführt werden, dass ein Teil der organischen Eesteinheiten,
die sich von der organischen Titanverbindung ableiten, in der Schicht aus dem Oxid des Titans, welche
sich von der Schicht der organischen Titanverbindung ableitet und welche durch Trocknung erhalten wurde, hinterbleibt.
Gemäss der Erfindung werden, indem ein Teil dieser organischen Eestanteile hinterbleiben und besonders bevorzugt^
indem diese Anteile in der Weise hinterbleiben, dass der vorstehende Gehalt erreicht wird, die Bindefestigkeit
mit dem festen Substrat (i) und weiterhin die Verbindbarkeit mit der Dünnschicht (iii) des elektrisch leitenden
Metalles, welches auf der Oberfläche der Schicht (ii) des gebildeten Oxides des Titans ausgebildet ist, verbessert
: · .- und das Auftreten von nachteiligen Einflüssen auf
die Transparenz der Schichtstruktur von Unregelmässigen
auf den Kontaktoberflächen zwischen den jeweiligen Schichten der Schichtstruktur v/ird vermieden. Dadurch wird es
möglich, in guter Eeproduzierbarkeitsqualität transparente, elektrisch leitende Filme oder selektiv transparente Filme
von ausgezeichneter Transparenz und Oberflächenleitfähigkeit,
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die sich, über einen weiten Wellenlängenbereich erstreckt,
zu erhalten.
Da im Rahmen der Erfindung die Dünnschicht (ii) des Oxides des Titans, die sich von der Schicht der organischen
Titanverbindung ableitet, einen Teil der organischen Restanteile enthält, ist der Refraktionsindex dieser Schicht
niedriger als derjenige einer nach dem üblicherweise angewandten Sprüh- oder Vakuumaufdampfungsverfahren erhaltenen
Titanoxidschicht und liegt in der Grössenordnung von 1,6 bis 2,2 im sichtbaren Bereich. Deshalb zeigt das Schiehtgebilde
gemäss der Erfindung die folgenden Vorteile: (a) Es ist von einheitlicher Transparenz, die sich über
einen weiten Bereich erstreckt, (b) Es hat eine ausgezeichnete Haftung zu dem Formgegenstand, (c) Es hat eine
hohe Transparenz, die sich über einen weiten Wellenlängenbereich im sichtbaren Bereich erstreckt, und dgl.
Ferner kann die Schicht (ii) des Oxides des Titans, welche organische Resteinheiten der organischen Titanverbindung
enthält, wie vorstehend erwähnt, durch Überzugsund Trocknungsmassnahmen gebildet werden. Im Vergleich
mit den überlicherweise angewandten Sprüh- und Vakuumaufdampfungsmassnahmen
oder ähnlichen Massnahmen werdenddabei der Vorteil erzielt, dass (d) eine rasche Schichtbildungsgeschwindigkeit
in leichter und einfacher Weise und niedrigen Kosten bei Schichtbildungsarbeitsgang mit einfachen
Apparaturen erzielt wird, die Zusammensetzung der Schicht und die Filmstärke leicht gesteuert werden kann und (e)
eine ausgezeichnete Flexibilität erreicht wird, die kaum zum Brechen bei einer Verformung durch Biegung zu bringen
ist.
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Im Rahmen der Erfindung können die Filmstärken der Dünnschicht (ii) in gewünschter Weise im geeigneten Bereich
geändert werden, sollten jedoch vorzugsweise 50 bis 100 &, stärker bevorzugt 200 bis 500 α und am stärksten
bevorzugt 200 bis 400 £ betragen.
Gemäss der Erfindung wird dann die Dünnschicht (iii)
aus dem elektrisch leitenden Metall auf der in der vorstehenden Weise erhaltenen Dünnschicht (ii) ausgebildet. Als
derartige.elektrisch leitende Metalle sind sämtliche Metalle
oder Legierungen, die einen niedrigen Absorptionsverlust im sichtbaren Bereich zeigen, geeignet. Beispielsweise
wird mindestens eines der Metalle aus der Gruppe von Silber, Gold, Kupfer, Aluminium, Nickel und/oder Palladium
bevorzugt eingesetzt. Besonders werden Kupfer, Silber und Palladium bevorzugt, um sehr transparente elektrisch leitende
Filme (iii) zu erhalten. Ferner sind Gold, Silber und Kupfer und insbesondere Silber bevorzugt, um eine
Schicht (iii) zu erhalten, die mit einer selektiven Transparenz mit hoher Infrarotreflexion ausgestattet ist.
Keine Begrenzungen bestehen hinsichtlich der Stärke der Metalldünnschicht (iii), so lange sie mit den für
eine transparente elektrisch leitende Schicht oder eine selektiv transparente Schicht erforderlichen Eigenschaften
ausgestattet ist, jedoch ist es notwendig, dass sie mindestens in einem bestimmten Ausmass des Bereiches eine Infrarotreflexion
skraf t oder elektrische Leitfähigkeit kontinuierlich besitzt. Als Stärke des Filmes sollte die Verschiebung
von der Inselstruktur zu der kontinuierlichen Struktur etwa 50 A* oder mehr und vorzugsweise 600'S oder
weniger und stärker bevorzugt 500 ä oder weniger hinsicht-
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lieh der Transparenz bezüglich Solarenergie betragen. Je
dünner die Filmstärke der Metalldünnfilmschicht ist, desto
weiter wird der transparente Bereich ausgedehnt. FiImstärken von 200 £ oder weniger und weiterhin von 180 Ä
oder weniger werden für erhöhte Transparenz bevorzugt. Besonders wird eine Filmstärke von 100 2. oder mehr für
die Filmschicht bevorzugt, die elektrische Leitfähigkeit oder Infrarotreflektivität im vollen Ausraass zeigt.
Als Verfahren zur Bildung der Metalldünnfilmschicht
(iii) ist es beispielsweise möglich," das Vakuumaufdampfverfahren, das Kathodensprühverfahren, das Plasmakanonensprühverfahren,
das Gasphasenplattierverfahren, das chemische Plattierverfahren, das Elektroplattierverfahren und
chemische Uberzugsverfahren oder Kombinationen hiervon anzuwenden,
jedoch ist bei den Schichtgebilden, wenn ein Formgegenstand als Substrat verwendet wird, im Falle der
Oberfläche eines Bogens, Filmes und dgl. als glattes Substrat das Vakuumaufdampfverfahren besonders hinsichtlich
der Einheitlichkeit der gebildeten Dünnschicht (iii), der Leichtigkeit zur Ausbildung der Filmschicht und der Filmbildungsgeschwindigkeit
zu bevorzugen. Anders als im Fall der physikalischen Abscheidung der Verbindung wie bei
der Schicht (ii) aus dem Titanoxid, stellt die physikalische Abscheidung des Metalles keinerlei technische oder
praktische Hinderung dar.
Gemäss der Erfindung wird es besonders besonders bevorzugt, dass die Dünnschicht (iii) aus dem elektrisch leitenden
Metall mit der Dünnschicht (ii) zu einem einheitlichen Metalldünnschichtfilm verbunden ist, worin Silber und
Kupfer gemeinsam vorliegen. Unter einer einheitlichen Metalldünnfilmschicht wird hier ein Metalldünnfilm ver-
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standen, worin Silberatome und Kupferatome in Substanz gemeinsam vorliegen und eine einzige Schicht bilden, ohne
dass Silber und Kupfer ihre jeweiligen unabhängigen Schichten bilden. In einigen Fällen ist diese Schicht vollständig
einheitlich, jedoch in anderen Fällen ist sie in gewissem Ausmass nicht einheitlich. Sie muss jedoch als Einzelschicht
vorliegen, zumindest ein Teil hiervon.
In dieser bevorzugten Ausführungsform wird es möglich, vorteilhaft Schädigungseigenschaften, mit der Dünnschicht
(iii), die völlig aus Silber besteht, zu überwinden, die leicht im Fall der Aussetzung an eine intensive Bestrahlung
des Sonnenlichtes und dgl. in der Luft erfolgen, falls sde einer Bestrahlung während eines langen Zeitraumes selbst
mit schwachem Licht ausgesetzt werden, oder falls sie auf hohe Temperaturen in der Luft erhitzt werden, und beispielsweise
an reaktive Gasatmosphären von Schwefelwasserstoff, Schwefeldioxid und dgl. ausgesetzt werden. Als Ursache für
diese Schädigung wurde bei den Untersuchungen im Rahmen der Erfindung gefunden, dass diese Schädigung hauptsächlich
auf Grund der Wanderung des Silbers zur Schicht (D) im Fall der Anwendung einer Dünnschicht (iii), die vollständig
aus Silber besteht, verursacht wird. In der bevorzugten Ausführungsform der vorliegenden Erfindung wird deshalb eine
aus Silber und Kupfer aufgebaute Schicht, wobei das '.Kupfer
gemeinsam vorliegt, als derartige Dünnschicht (iii) eingesetzt.
Das neue im Rahmen der Erfindung gefundene technische Konzept wird nachfolgend im einzelnen erläutert.
In der Fig. 1"ist ein Beispiel für die Änderung der
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- 26 -2$
Beständigkeit gegenüber Licht im Hinblick auf die Beständigkeitszeit
im Fall der Anwendung von Silber als Dünnschicht (iii) des elektrisch leitenden Metalles und der Erhöhung
des Kupferbetrages, das gemeinsam mit diesem Silber vorliegt, gegeben. Die verwendete Schichtstruktur hatte die
folgende Zusammensetzung:
Substrat (i): Biaxial gestreckter Polyäthylentere-
phthalatfilm mit einer Dicke von 75 Vim,
dessen Transparenz 86 % betrug.
Schicht (ii): Titanoxid mit einer Stärke von 300 S,
wobei der Gehalt an organischen Restanteilen 5if? Gew.% betrug.
Schicht (iii): Stärke 160 Ä.
Schicht (iv): Titanoxid mit einer Stärke von 300 S,
wobei der Gehalt an organischen Resteinheiten 3,5 Gew.% betrug.
Die Lichtbeständigkeit wurde mittels eines Xenon-Weatherometer
(Modell XW-1 der Toyo Rika Kogyo Company) mit den jeweiligen Proben der vorstehenden Schichtstruktur
getestet, wobei die Kupfermenge in der Schicht (iii). variierte. Die Änderung der Lichtbeständigkeit wurde durch
Änderung der Infrarotreflektivität verfolgt und sie wurde durch Peststellung als Schädigungszeit ermittelt, wie
viele Stunden bis zu dem Zeitpunkt verflossen waren, wo die Reflektivität 80 % oder weniger des Anfangswertes
erreichte. Es wurde die Polyesterfilmflächenseite der Lichtquelle ausgesetzt. Die Ergebnisse sind aus Pig. 1
ersichtlich.
Wie sich aus den Ergebnissen der Pig. 1 leicht ersehen lässt, zeigt es sich, dass bei diesem Beispiel im Fall der
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- .27 -
Anwendung von Silber als DünnSchicht (iii) aus dem elektrisch
leitenden Metall, falls Kupfer gemeinsam in einer Menge von etwa 1 bis etwa 30 Gew.%, insbesondere etwa 3 bis etwa
25 Gew.% und speziell etwa 5 bis etwa 20 Gew.% vorlag, dass die Lichtschädigungseigenschaft in kritischer Weise
verhindert wurde, so dass sich eine Verbesserung der Dauerhaftigkeit oder Beständigkeit ergab.
In einer der bevorzugten Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung ist deshalb zur Anwendung als Metall
der Dünnschicht (iii) eine Dünnschicht aus Ag zu empfehlen, worin Kupfer gemeinsam in einer Menge von etwa 1 bis etwa
30 Gew.%, insbesondere etwa 3 bis etwa 25 Gew.% und stärker bevorzugt etwa 5 bis etwa 20 Gew.% vorliegt. Hierbei
können beispielsweise Gold, Aluminium, Nickel, Palladium, Platin, Indium, Zinn, Cadmium, Germanium, Zink und dgl.
in solch kleineren Mengen zusätzlich vorliegen, dass die vorstehend erzielte Verbesserung der Beständigkeit nicht
geschädigt wird.
Sprühverfahren unter Anwendung einer Legierungsschutzschicht oder mehrerer Schutzschichten sind zur Ausbildung
der Dünnschicht (iii) bei dieser bevorzugten Ausführungsform geeignet. Kombinationen von mehreren Verdampfungsquellen
oder Legierungsverdampfungsquellen und Elektronenstrahlen-Heizverfahren,
Radiofrequenz-Induktionsheizverfahren, Viderstandserhitzungsverfahren,
Entspannungsverdampfungsverfahren und dgl. werden auch beim Vakuumaufdampfungsverfahren bevorzugt
.
Gemäss der Erfindung wird weiterhin eine Dünnschicht
(iv) aus einem Oxid des Titans auf der Oberfläche der Dünnschicht (iii) aus dem elektrisch leitenden Metall, die
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in der vorstehenden Weise hergestellt wurde, ausgebildet.
Diese Dünnschicht (iv) sollte vorzugsweise die gleiche Schicht sein, wie sie als Dünnschicht (ii) aus dem Oxid
des Titans beschrieben wurde.
Lediglich hinsichtlich der Verbesserung der Biegefähigkeit
mit dem Substrat (i) tritt keine Schwierigkeit mit der Dünnschicht aus dem Oxid desTitans, welches durch
andere Formungsmittel gebildet wurde, auf. Diese letztere Dünnschicht aus dem Oxid des Titans wird nach bekannten
Verfahren, wie Vakuumaufdampfung, reaktiver Dampfaufdampfung
oder Aufsprühen des Titanmetalls oder Titanoxides gebildet.
Für die Filmstärke innerhalb der Dünnschicht (iv) aus dem Oxid des Titans gemäss der Erfindung wird auf
die gleichen Filmstärken verwiesen, die in Verbindung mit der Schicht (ii) gemacht wurden. Insbesondere im Fall
einer Dünnschicht (iv), die aus einer Schicht eines Oxides des Titans besteht, welche sich von einer Schicht einer
organischen Titanverbindung ableitet und restliche organische Einheiten enthält, werden solche Vorteile erhalten,
dass ein grösserer Kontaktwinkel mit Wasser auftritt und eine höhere Wasserabweisung sich einstellt als bei einer
Dünnschicht aus einem Oxid des Titans, welches keine organischen
Restanteile enthält.
Das Schichtgebilde gemäss der Erfindung kann gewünschtenfalls
(v) eine transparente Deckschicht in Kontakt mit der Schicht (iv) zusätzlich zu den Schichten (i), (ii), (iii)
und (iv) aufweisen. Das heisst, es ist möglich, eine transparente
Deckschicht zur Verbesserung der Oberflächenhärten
der Witterungsbeständigkeit und dgl. aufzubringen.
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Als für eine derartige Schicht verwendbare Materialien
seien anorganische Materialien, wie Siliciumoxid, Magnesiumfluorid
und dgl., zusätzlich zu organischen Materialien, wie Acrylharzen, wie Polymethylmethacrylat und dgl.,
Siliconharzen, wie ein aus Äthylsilikat und dgl. erhaltenes Polymeres, Polyesterharze, Melaminharze, fluorhaltige Harze
und dgl. aufgeführt. Insbesondere im Fall der Verbesserung der Witterungsbestandigkeit oder der Oberflächenhärte
werden bevorzugt Acrylharze oder Siliconharze verwendet.
Als Massnahme zur Ausbildung einer derartigen transparenten Deckschicht seien die folgenden Verfahren aufgeführt.
Die Schicht des organischen Materials, beispielsweise aus Acrylharz, Polyesterharz, Melaminharz, fluorhaltigen
Harz oder dgl., kann mittels einer Sprüh- oder Überzugsmaschine durch Anwendung eines Lösungsmittels,
einer Lösung oder einer Emulsion, gebildet werden, während die Schicht aus dem anorganischen Material, wie Siliciumoxid
Magnesiumfluorid und dgl., durch solch allgemeine
Massnahmen, wie Vakuumaufdampfung, Sprühverfahren und dgl., gebildet werden können.
Das Transparenz und Elektroleitfahigkeit zeigende Schichtgebilde, wie es die Aufgabe der Erfindung, ist,
besitzt 10 % oder mehr und vorzugsweise 50 % oder mehr
Transparenz im sichtbaren Licht und einen Oberflächenwiderstand von 10 -Ω. /cm oder weniger.
Durch Einstellung der Filmstärke der Metalldünnschicht (iii) und der Titanoxiddünnschicht (ii) und (iv), die
das Schichtgebilde gemäss der Erfindung aufbauen und ihre
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-p-
Schichtungsverfahren können in gewünschter Weise die Transparenz im sichtbaren Bereich, der Oberflächenwiderstand
und die Infrarotreflektivität geändert werden. Zum Beispiel wird auf folgende Sachverhalte hingewiesen:
(a) Als Schichtgebilde mit transparenter Leitfähigkeit, das für antistatische oder photoleitende empfindliche
Substanzen in elektrisch leitenden Schichten verwendbar ist, werden solche gewählt, deren ' Transparenz im sichtbaren
Licht 75 % oder mehr und deren Oberflächenwiderstand
It Q ye^ O
10 bis 10 iL/cm beträgt $ . · -
(b) Im Fall der Anwendung als transparente Elektroden vom Feststofftyp der flüssigen Kristalle, Elektrolumineszenz
und dgl. werden solche gewählt, deren Transparenz im sichtbaren Licht 60 % oder mehr und deren Oberflächenwiderstand
10 il/cm oder weniger betragen.
(c) Als Heizeinheit wie Entfrostungserhitzer an Kraftfahrzeugfenstern
und dgl. werden solche gewählt, deren
P /~\ P
Oberflächenwiderstand 10 il/cm oder weniger und deren Durchlässigkeit für sichtbares Licht 65 % oder mehr betragen.
Oberflächenwiderstand 10 il/cm oder weniger und deren Durchlässigkeit für sichtbares Licht 65 % oder mehr betragen.
(d) Im Fall der Anwendung als selektiv transparenter Film werden solche gewählt, die so eingestellt sind, dass sie
10 % oder mehr und vorzugsweise ^>5>
% oder mehr Transparenz des sichtbaren Lichtes und 60 % oder mehr Infrarotreflektivität
erreichen.
Stärker bevorzugt werden solche, deren Transparenz für sichtbares Licht 85 % oder mehr beträgt, für den vorstehenden
Zweck (a) gewählt, solche, deren Transparenz für sichtbares Licht 75 % oder mehr beträgt und deren
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Oberflächenwiderstand 10^AZ-/cm oder weniger beträgt,
für den vorstehenden Zweck (b) gewählt, solche deren Transparenz für sichtbares Licht 75 % oder mehr beträgt
und deren Oberflächenwiderstand 50A)-/cm oder weniger
beträgt, für den vorstehenden Zweck (c) gewählt, und für den Zweck (d) wird ein selektiv transparentes Schichtgebilde
durch Einstellung der Bedingungen in der Weise ausgebildet, dass eine Durchlässigkeit für sichtbares Licht
von 65 % oder mehr und eine Infrarotreflektxvitat von 75 % oder mehr erreicht werden.
Das als Heizelement für den vorstehenden Zweck (c) verwendete transparente elektrisch leitende Schichtgebilde
braucht nicht stets eine leitende Oberfläche besitzen und kann in der äussersten Schicht isolierend sein, da die
Me talldünnschicht (iii) als elektrisch leitende Schicht
dient. In diesem Fall muss die isolierende Schicht dux'ch Ätzung und dgl. lediglich in demjenigen. Teil entfernt werden,
aus dem die Elektrode genommen wird.
Selbst im Fall der Anwendung des selektiv transparenten Filmes zum vorstehenden Zweck (d) wirkt im Fall (c)
die Metalldünnschicht als infrarotreflektierende und
elektrisch leitende Schicht und es ist nicht stets erforderlich, dass die Oberfläche leitend ist, sondern, dass
die Oberfläche leitend ist, dient zur Verhinderung der Aufladung und zur leichten Aufnahme der Elektrode.
Die die organischen Resteinheiten enthaltende Titan oxiddünnschicht (ii) oder diese Schieneten (ii) und (iv),
die das Schichtgebilde gemäss der Erfindung bilden, enthalten
das aus der Metalldünnschicht (iii) diffundierte Metall und erhöhen den Tunneleffekt oder Isolierungsbruch-
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effekt, so dass diese Schichten die Elektrizität besser
leiten als eine durch Vakuumaufdämpfung oder ein Sprühverfahren
erhaltene Titanoxiddünnschicht. Infolgedessen zeigt das transparente, elektrisch leitende Schichtgebilde,
wobei die die organischen" Resteinheiten enthaltende Titanoxiddünnschicht (iv) in der äussersten Schicht
untergebracht ist, eine Oberflächenleitfähigkeit und infolgedessen kann beispielsweise, falls die Metallschicht
geerdet ist, dieses transparente, elektrisch leitende Scnichtgebilde durch Koronaentladung und dgl. nicht aufgeladen
werden. Infolgedessen ist das transparente, elektrisch leitende Schichtgebilde mit dieser Oberflächenleitfähigkeit
besonders wertvoll, insbesondere als antistatische Schicht oder Elektroden für Feststoffzwecke,
wie vorstehend unter (a) und (b) aufgeführt.
Die Schichtstruktur oder Verbundstruktur gemäss der
Erfindung wird in transparenten Elektroden verwendet, die elektrische Energie abgeben und Lichtenergie aufnehmen,
oder die Lichtenergie abgeben und elektrische Energie aufnehmen, oder als antistatische Schicht. Das mit den
Schichten· (ii) bis (iv) auf der Schicht (i) ausgestattete Schichtgebilde mit ausgezeichneter selektiver Transparenz
wird besonders bevorzugt als selektiv transparentes Material zur wirksamen Ausnützung des Sonnenlichtes und/oder
als Energieeinsparungsmaterial, wobei Anwendung von seinen Wärmeisolierungseigenschaften gemacht wird, eingesetzt.
Das mit den Schichten (ii), (iii) und (iv) auf der Oberfläche unter Anwendung eines gefärbten transparenten
Filmes oder Bogens (i) ausgestattete Schichtgebilde kann elektrische Leitfähigkeit ohne Schädigung der Farbe
des Formgegenstandes erteilen und dient beispielsweise zur Verhinderung, dass der Formgegegenstand durch stati-
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sehe Elektrizität aufgeladen wird. Das mit den Schichten
(ii), (iii) und (iv) mit ausgezeichneter Infrarotreflektivität ausgestattete Schichtgebilde kann die Infrarotreflektivität
ohne Verschlechterung der Farbe oder Gestalt des Formgegenstandes erteilen. Insbesondere das
mit den Schichten (ii), (iii) und (iv) ausgestattete Schichtgebilde mit ausgezeichneter selektiver Transparenz
auf der Oberfläche des Formgegenstandes (i), der in einer solchen Färbung gefärbt ist, das das Sonnenlicht gut
absorbiert, beispielsweise schwarz und dgl., kann das Sonnenlicht gut absorbieren und kann wirksam als Material
mit selektiver Absorptionsfähigkeit und niedriger Wärmestrahlung verwendet werden.
Insbesondere^ falls ein derartig selektiv absorbierendes
Material als Wärmeabsorber in einem Solarwärme-Wasser erhitz er zur Erzielung von warmem Wasser unter Ausnützung
des Sonnenlichtes verwendet wird, wird die Wirksamkeit zur Ausnutzung der Solarwärme markant erhöht.
Beispielsweise kann ein Schichtgebilde mit ausgezeichneter
selektiver Transparenz gemäss der Erfindung, das auf der Oberfläche eines durch Wasser führenden geformten
Gegenstandes ausgebildet ist, wie einem Rohr, dessen Oberfläche so gefärbt ist, dass das Sonnenlicht
gut absorbiert wird, wirksam als Solarwärmekollektor mit einem derartigen selektiven Absorptionseffekt verwendet
werden.
Insbesondere hat das Schichtgebilde gemäss der Erfindung mit einem transparenten Hochpolymeren als Bogen oder
PiIm als Substrat solche Vorteile wie leichtes Gewicht,
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erhöhte Flexibilität, schwierige^· Bruch und leichte Herstellung.
Beispielsweise wird es bevorzugt als transparente Elektrode für die Elektrolumineszenz, als transparente
Elektrode für photoleitende empfindliche Substanz, als wärmeisolierender Film zur Verhinderung von Wärmeverlust
aus den auf den Fenstern in den Gebäuden angebrachten Fensterglas oder nahe den Fenstern verwende^. Da das Substrat
ein Bogen oder Film ist, wird es möglich, die kontinuierliche Herstellung leicht auszuführen, beträchtlich die
Herstellungsgeschwindigkeit zu erhöhen und ein ausgezeichnetes Material in erheblichen Mengen ,.sowie mit niedrigen
Kosten zu liefern. Der technische Wert bei Anwendung eines derartigen Substrates ist sehr hoch.
Die Erfindung wird nachfolgend anhand der Arbeitsbeispiele erläutert.
Falls nichts anderes angegeben ist, ist als Transparenz ein Wert bei der Wellenlänge von 500 nm angegeben.
Für die Infrarotreflektivitat wurde eine Reflektivitäts-Messvorrichtung
auf einem Infrarotspektrograph Modell EPI-II der Hitachi Ltd. befestigt und er wurde durch Feststellung
von 100 % der EeIlektivitat des vakuumabgeschiedenen
Silbers von ausreichender Dicke (etwa 3000 Ä)
auf einem Dia-Glas bestimmt. Die Bestimmung erfolgte bei einer Wellenlänge von 10 Mikron.
Zur Bestimmung des Oberflächenwiderstandes wurde
das Probestück in 1 cm Breite geschnitten und eine elektrisch leitende Farbe von 5 mm Breite wurde auf die
volle Breite in Abständen von 1 cm aufgezogen und wie wurde durch Bestimmung des Widerstandes zwischen diesen
elektrisch leitenden Überzügen ermittelt»
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- 35--38
Für die Filmstärke der Titanoxidschicht und der
Metallschicht wurden vorgehend Eichkurven zwischen der tatsächlich mittels eines Multi-Interferenzmikroskopes gemessenen Filmstärke und der Zählungszahl der Fluoreszenz-Röntgenstrahlen aufgestellt und sie wurde aus der Zählungszahl der Fluoreszenz-Röntgenstrahlen durch Anwendung der Eichkurve ermittelt. In diesem Zusammenhang
wurde die Filmdicke des Titanoxids in der dritten Schicht (Deckschicht) aus der Differenz zwischen der Zählzahl
des Titanoxids in der vorgehend zunächst gemessenen
ersten Schicht und der Gesamtzählungszahl des Titanoxids berechnet.
Metallschicht wurden vorgehend Eichkurven zwischen der tatsächlich mittels eines Multi-Interferenzmikroskopes gemessenen Filmstärke und der Zählungszahl der Fluoreszenz-Röntgenstrahlen aufgestellt und sie wurde aus der Zählungszahl der Fluoreszenz-Röntgenstrahlen durch Anwendung der Eichkurve ermittelt. In diesem Zusammenhang
wurde die Filmdicke des Titanoxids in der dritten Schicht (Deckschicht) aus der Differenz zwischen der Zählzahl
des Titanoxids in der vorgehend zunächst gemessenen
ersten Schicht und der Gesamtzählungszahl des Titanoxids berechnet.
Hierbei wurde auf dem Film ein Schichtgebilde mit einer transparenten elektrischen Leitfähigkeit und selektiver
Transparenz gebildet, indem auf einen biaxial gestreckten Polyäthylenterephthalatfilm von einer Stärke
von 75/um, dessen Transparenz 86 % betrug, eine Titanoxid dünn schicht von 250 S Stärke als erste Schicht,
eine Silberdünnschicht von 14Q 2. Stärke als zweite Schicht und eine Titanoxiddünnschicht von 300 5. Stärke als
dritte Schicht aufgezogen wurden.
eine Silberdünnschicht von 14Q 2. Stärke als zweite Schicht und eine Titanoxiddünnschicht von 300 5. Stärke als
dritte Schicht aufgezogen wurden.
Die Titanoxidschichten wurden jeweils durch Überziehen mittels eines Bügelüberzugsgerätes und Erhitzen
auf 110° C während 5 Minuten aus einer Lösung aus 3 Teilen eines Tetrameren des Tetrabutyltitanats, 65 Teilen Isopropylalkohol
und 32 Teilen η-Hexan hergestellt.
Die Silberschicht wurde bei einem Vakuum von
5 x 10 Torr im Vakuum abgeschieden. Der Gesamtgehalt an Isopropylgruppen und Butylgruppen in den Titanoxiddünnschichten als erste und dritte Schicht betrug 7,5> %·
5 x 10 Torr im Vakuum abgeschieden. Der Gesamtgehalt an Isopropylgruppen und Butylgruppen in den Titanoxiddünnschichten als erste und dritte Schicht betrug 7,5> %·
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Der erhaltene PiIm zeigte eine Transparenz von 83 %■, einen
Oberflächenwiderstand von 15ΓΙ/cm und eine Infrarotreflektivität
von 96 %.
Transparente, elektrisch leitende und selektiv transparente Filme wurden in der gleichen Weise wie in Beispiel 1
hergestellt, wobei jedoch die Filmdicke der Titanoxiddünnschichten
als erste und dritte Schicht geändert wurde, wie aus Tabelle I ersichtlich. Die erhaltenen Eigenschaften
des Filmes sind gleichfalls aufgeführt.
Filmstärke in der ersten Schicht (Ä) |
Tabelle I | Transpa renz (%) |
Infrarot- reflektivi- tät (%) · |
|
Bei spiel |
100 | Filmstärke in der dritten Schicht (S) |
72 | 98 |
2 | 180 | 100 | 76 | 98 |
3 | 220 | 180 | 82 | 98 |
4 | 300 | 220 | 83 | 98 |
5 | 420 | 300 | 76 | 97 |
6 | 500 | 420 | 71 | 95 |
7 | 500 | |||
Die nachfolgende Tabelle II zeigt die Wellenlängen, bei denen die Transparenz das Maximum der Transparenz
erreicht.
8098A1/0805
Tabelle II | Transparenz (%) |
|
Beispiel | Wellenlänge (nm) |
75 |
2 | 440 | 76 |
3 | 450 | 83 |
460 | 84 | |
5 | 490 | 77 |
6 | 590 | 73 |
7 | €50 | |
TiOp, Ag und TiOp wurden mit Radiofrequenz aufeinanderfolgend aus den jeweiligen Schutzschichten auf die Oberfläche
eines Pyrex-Glases in einer Argon-Gasatmosphäre zur Herstellung eines Schichtgebildes aufgesprüht. Die
Dicke des Silberfilmes wurde bei 140 Ä gehalten und die Stärke der Titanoxiddünnfilme in der ersten Schicht und
der dritten Schicht wurde geändert, wie aus der nachfolgenden Tabelle III ersichtlich. Tabelle III zeigt die Wellenlängen,
bei denen die erhaltenen Probestücke die maximale Transparenz zeigten. Wie sich klar aus der Tabelle
ergibt, waren bei Variierungen der Filmdicke der TitanoxidT
dünnschichten, d. h. der Filmstärke in der dritten Schicht,
die hauptsächlich die spektralen Eigenschaften beeinflusst, die Inderungen des Farbtones und der selektiven Transparenzeigenschaften
äusserst gross im Vergleich zu den Massen unter.Anwendung von Titanoxidfilmen, die organische
Reste enthielten. Wie z. B. in den Beispielen 2 bis 7 angegeben, ist bei den Massen unter Anwendung eines organi-
809841/0805
sehe Reste enthaltenden Titanoxids die Farbe bläulich-grün
und einheitlich im Farbton, selbst wenn die Filmstärke der Titanoxidschicht in der Grössenordnung von 300 2. + 50 S.
variiert und es werden die selektiven Tranparenzeigenschaften
nicht stark beeinflusst. Im Gegensatz hierzu wird bei den Massen der vorliegenden Vergleichsbeispiele
eine grosse Unregelmassigkext des Farbtons, wie bläulichgrün gelb rötlich-braun verursacht und die
selektive Transparenz wird stark beeinflusst.
Es ergibt sich hieraus, dass die Schichtgebilde der vorliegenden Vergleichsbeispiele im Vergleich zu
Schichtgebilden unter Anwendung der Titanoxidschicht, die organische Reste enthält, zur Erzielung eines Schichtgebildes
mit einem optisch homogenen, stabil auf der Substratschicht gebildeten Filmes mit einem weiten Bereich
oder auf einem langen Film nicht zu bevorzugen sind.
Vergleichs- Filmstärke der Titanoxid- Wellenlänge, bei beispiel Nr. schicht der die maximale
(a) Transparenz ge-
erste Schxcht zweite Schicht zeigt wird
(nm)
1 | 220 | 220 |
2 | 300 | 300 |
3 | 420 | 420 |
4 | 500 | 500 |
809841 /0805
TiO, Ag und TiO wurden im Vakuum aufeinanderfolgend
auf der Oberfläche eines Pyrex-Glases durch Widerstandserhitzung
eines Wolframschiffchens zur Herstellung eines Schichtgebildes vakuumabgeschieden. Zum Zeitpunkt der
Vakuumverdampfung des TiO wurde der Glockenkäfig einmal zu einem Vakuum von 5 x 10 Torr gezogen. Anschliessend
-4-
wurde Op-Gas mit 1,5 x 10 Torr eingeführt und gleichzeitig
wurde die Substratschicht bei 150° C gehalten und
eine reaktive Dampfabscheidung durchgeführt, um den Titanoxidfilm
zu erhalten. Silber wurde zu 140 A Stärke unter einem Vakuum von 5 x 10 Torr dampfabgeschieden. Die
Filmstärke der Titanoxiddünnfilmschichten in der ersten und der dritten Schicht wurden geändert, wie aus Tabelle
IV ersichtlich. Tabelle IV zeigt auch die Wellenlängen, bei denen die erhaltenen Probestücke die maximale Transparenz
zeigten.
Wie sich klar aus dieser Tabelle IV ergibt, sind bei den Schichtgebilden dieser Vergleichsbexspxele die
Unregelmässigkeiten des Farbtones und die auf die selektive
Transparenzeigenschäften ausgeübten Einflüsse auf Grund
der Änderung der Filmstärke gross im Vergleich zu den Schichtgebilden unter Anwendung einer Titanoxidschicht,
die organische Reste enthält.
Ferner wird bei den vorliegenden Filmen eine grosse Ungleichmässigkeit der optischen Eigenschaften des gebildeten
Filmes auf Grund von Fluktuierungen der Op-Konzentration
und der Substrattemperatur zum Zeitpunkt der Bildung des Filmes verursacht und den Filmen fehlt
die Stabilität.
8 09841/0805
■- 40 -
Vergleichs- Filmstärke der Titanoxid- Wellenlänge, bei
beispiel Nr. schicht ^o% der die maximale
erste-Schxclrt dritte Schicht ^J^iST ^"
(nm)
5 220 220 470
6 300 300 550
7 420 420 650
8 500 500 710
Vergleiche des Verhaltens wurden zwischen der Probe von Beispiel 1 und einer in der Weise hergestellten Probe,
dass sie die gleiche Zusammensetzung wie in Vergleichsbeispiel 1 hatte, nach dem Niedertemperatur-Eadiofrequenz-Sprühverfahren
vom Magnetrontyp vorgenommen, wobei als Substratfilm der gleiche EiIm wie in Beispiel 1 verwendet
wurde. Die Ergebnisse sind in der nachfolgenden Tabelle V enthalten.
809841/080B
Menge des abge | *1 | Haftung * | Tabelle V | •♦•3 | Abschälung | ♦4 | |
Probe | schiedenen Wassers (g/cm2) |
2 ' Kontaktwinkel | Ab schäl spannung (g/cm) |
Verschiebung des Silbers zum Kleb band |
|||
6,7 x 10"3 1 |
100/100 | (Grad) | 600-650 | ohne | |||
Bei spiel |
31 - 37 | ||||||
Ver-
beispiel 9'5 x 10"3 0/Λ0° 12 ~ 17 550-600 Ja
cd *1 Menge des abgeschiedenen Wassers: '
oo Eine Probe mit etwa 60 cm Fläche wurde aufrecht|gehalteh, mit Wasser aus einem Abstand von
•c- etwa 60 cm besprüht. Nach dem Besprühen wurde die Probe rasch in eine Wägeflasche gegeben und
—" verschlossen. Die Menge des abgeschiedenen Wassers wurde aus der Differenz des Gewichtes vor und
""■" nach dem Besprühen bestimmt und die Menge des abgeschiedenen Wassers wurde durch den Oberflächen-
*? bereich dividiert, so dass der Betrag an abgeschiedenem Wasser je Flächeneinheit erhalten wurd·?.
g *2 Haftung:
(Ji Die Jeweiligen Proben wurden in siedendem Wasser 45 Minuten lang erhitzt. Anschliessend wurden
die Proben entnommen und zwischen Filterpapier gebracht, um das Wasser zu entfernen. Die in dieser
Weise behandelte Probe wurde bei Raumtemperatur während 2 Stunden stehengelassen und getrocknet.
Dann wurde die Oberfläche der Probe in Karomuster in Abständen von 1 ram mittels eines Rasieren
messers zerschnitten. Ein Cellophanband wurde durch Anwendung von Druck auf die Oberfläche dieser
Ξ , Karos gebracht. Das Cellophanband wurde rasch abgeschält. Dabei wurden die Proben hinsichtlich
Q ihrer Haftung verglichen. Diese wird durch die Anzahl der unverändert nach dem Abschältest ver-ξ
bliebenen Karos angegeben, wobei die anfänglichen Karos zu 100 gesetzt werden (Kreuzschnittest).
τ *5 Kontaktwinkel:
=g Unmittelbar nach der Herstellung wurde die Probe in einem ExSikkator mit N2-Atmosphäre gelagert
φ und unter Anwendung dieser Probe wurde der Kontaktwinkel bei Raumtemperatur mittels eineiPKon-
J5fl taktwinkelmessvorrichtung des Modelles CA-1 Contact angle-meter der Kyowa Kagaku Co., Ltdr1 be-
O1 stimmt. °°
Ά
ω
4* Abschälung:
Ein Polyesterklebband von 0,9 cm Breite und 2 cm Länge wurde an der Oberfläche der Probe befestigt. Das Klebband
wurde unter einer Belastung von 5 kg mit einer harten Kautschukwalze von 3 cm Durchmesser zur Preshaftung
gebracht. Anschliessend erfolgte die Bestimmung mittels eines Spannungsmessgerätes (Modell TW-M, Messgerät
der Instron Company) der erforderlichen Spannung, um in einer Geschwindigkeit von 2 cm/min, das Klebband
abzuschälen, wobei das Klebband 180° gebeut wurde.
Ferner erfolgten nach dieser Untersuchung Beobachtungen jeder abgeschälten Oberfläche des Klebbandes, um die
Anwesenheit oder das Fehlen einer Verschiebung zur Klebfläche des Klebbandes nach dem Abschälen von metallischem
Silber mittels eines Elektronenmikroskops vom Rastertyp festzustellen (Modell MSM-II der Hitachi
Akashi).
Die jeweiligen Proben von Beispiel 1 und Vergleichsbeispiel 6 wurden in den überzogenen Oberflächen während
Stunden mittels eines Xenon-Weatherometers (Modell XW-1 der Toyo ßika Kogyo Company) bestrahlt. Die Ergebnisse
sind in Tabelle VI enthalten.
Probe Infrarotreflektivitat (%) Oberflächenzustand
VorderNach der nach der Bestrahlung Bestrahlung Bestrahlung
Beisp.1 98 >80 verblieb gleich wie
vor der Bestrahlung
Vergleichsbeispiel 6 98 30 Risse traten auf der
Oberfläche auf
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2813334
Die Oberfläche eines Glasträgers von 1mm Dicke wurde mit einer Hexanlösung mit dem Gehalt von 3 Gew.%
eines Tetrameren aus Tetrabutyltitanat zur Bildung eines Filmes von etwa 300 £ Stärke überzogen. Anschliessend
wurde das Material bei 450° C während 1 Stunde behandelt.
Dann wurde Silber zu einer Dicke von etwa 160 £ dampfabgeschieden. Dieser Silberfilm war hinsichtlich der Haftung
so schwach, dass er sich vollständig und leicht lediglich beim Reiben mit Gaze abschälte.
Hier wurde entsprechend dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 1 ein Schichtgebilde mit einer Titanoxidschicht
von 300 S Stärke als erste Schicht, einer Schicht
aus Silber mit 160 £ Stärke als zweite Schicht und einer
Titanoxidschicht von 320 £ Stärke als dritte Schicht aufeinem
OPP-FiIm (orientierter Polypropylenfilm) von 50 um
Stärke hergestellt. Jedoch wurde die Trocknungstemperatur des Tetrabutyltitanats auf 90° C oder weniger festgesetzt.
In gleicher Weise wurde ein Schichtgebilde mit einer Titanoxidschicht von 300 £ Stärke als erste Schicht, einer
Schicht aus Silber von 160 £ Stärke als zweite Schicht und einer Titanoxidschicht von 300 £ Stärke als dritte
Schicht auf einem OPP-FiIm von 50 lim Stärke hergestellt.
Die erste Schicht und die dritte Schicht wurden mittels eines Niederteraperatur-Radiofrequenz-Sprühverfahrens
vom Magnetrontyp mit Titanoxid als Schutzschicht gebildet und die zweite Schicht wurde wie in Beispiel 1 nach dem
Vakuumabscheidungsverfahren aufgebracht.
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Ml
Die Oberfläche der beiden Materialien wurde einmal schwach mit Gaze gewischt, um ihren Oberflächenzustand
zu vergleichen. Die nach dem erfindungsgeraässen Verfahren hergestellte Probe verblieb unverändert, während die nach
dem Sprühverfahren hergestellte Probe eine grosse Änderung des Farbtones auf Grund der Abschälung der Oberfläche
erkennen Iiess.
Es wurde ein transparenter elektrisch leitender und selektiv transparenter Film entsprechend dem gleichen
Verfahren wie in Beispiel 1 hergestellt, wobei jedoch die Filmstärke der SiIberdünnschicht variiert wurde. Die
nachfolgende Tabelle VII zeigt die Stärken der Silberdünnschicht und die Eigenschaften des erhaltenen Filmes.
Bei- Filmstärke der Lichtdurch- Oberflächen- Infrarotspiel Silberdünnschicht lässigkeit widerstand reflekti-(Ä)
(%) (Ji/cm2) vität
10 | 110 | Beispiele | 83 | 30 | 92 |
11 | 180 | 80 | 6 | 98 | |
12 | 230 | 77 | 4- | 99 | |
13 bis 19 | |||||
Ein transparentes, elektrisch leitendes und selektiv
transparentes Schichtgebilde wurde auf dem Film nach dem gleichen Verfahren wie in Beispiel 1 hergestellt, wobei
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jedoch die Silberdünnschicht durch eine Dünnschicht aus
Gold, aus Palladium, aus Kupfer und aus Aluminium ersetzt wurde.
Gold, Palladium, Kupfer und Aluminium wurden in einem Vakuum von 2 χ 10 Torr vakuumabgeschieden und lieferten
eine Dünnschicht mit der in Tabelle III aufgeführten Filmstärke. Die Eigenschaften der erhaltenen Filme sind in
Tabelle VIII aufgeführt.
ei- piel |
Art des Metalles |
Film stärke (Ä) |
Transparenz (%) |
Infrarot- reflektivi- tät (%) |
Ober flächen widerstand CTL/cm2) |
13 | Gold | 140 | 73 | 75 | 30 |
14 | Aluminium | 300 | 57 | 85 | 50 |
15 | Aluminium | 120 | 68 | - | 104 |
16 | Kupfer | 220 | 74 | 72 | 30 |
17 | Kupfer | 90 | 87 | - | 107 |
18 | Palladium | 80 | 65 | 45 | 60 |
19 | Palladium | 40 | 80 | — | |
Beispiel 20 |
Es wurden aufeinanderfolgend auf einen biaxial gestreckten Polyäthylenterephthalatfilm von einer Dicke von
75 Mm? dessen Transparenz 86 % betrug, eine Titanoxiddünnschicht
von 300 2. Stärke als erste Schicht, eine Dünnschicht
aus Silber und Kupfer von 160 A Stärke (9 Gew.% Kupfer und 91 Gew.% Silber) als zweite Schicht und eine
Titanoxidschicht von 300 2. Stärke als dritte Schicht auf-
8098 4 1/0805
geschichtet, so dass auf dem Film ein Schichtgebilde mit
Transparenz, elektrischer Leitfähigkeit und selektiver Transparenz gebildet wurde.
Die Titanoxiddünnschichten wurden Jeweils durch Aufziehen
mittels eines Bügelüberzugsgerätes und Erhitzen auf 110° C während 5 Minuten einer Lösung aus 3 Teilen
eines Tetrameren von Tetrabutyltitanat, 65 Teilen Isopropylalkohol
und 32 Teilen η-Hexan hergestellt-
Die vereinigte oder einheitliche Dünnschicht, worin Silber und Kupfer gemeinsam vorlagen, wurde durch Vakuumabscheidung
nach den Widerstands-Erhitzungssystem unter Anwendung einer Silber-Kupfer-Legierung (70 % Silber und
30 % Kupfer) ausgebildet.
Der Gesamtgehalt an Isopropylgruppen und Butylgruppen
in den Titanoxiddünnschichten in der ersten und dritten Schicht betrug 7»5 % (bestimmt durch Massenfragmentographie
mit denjenigen mit Massenzahlen von 42 und 56).
Der erhaltene Film zeigte eine Transparenz von 84 %,
einen Oberflächenwiderstand von 12-Tl/cm und eine Infrarotreflektivität
von 97 %. ·
Es wurden hierbei transparente, elektrisch leitende und selektiv transparente Schichtgebilde durch Änderung der
Zusammensetzung der Metallschicht in der zweiten Schicht hergestellt, wie aus Tabelle IX ersichtlich. Ausser der
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Zusammensetzung der Metallschicht wurde völlig unverändert
wie im Fall des Beispiels 1 gearbeitet. Die dabei erhaltenen Schichtgebilde wurden hinsichtlich ihrer Lichtbeständigkeit
mittels eines Xenon-Weatherometers (Modell
XW-1 der Toyo Rika Kogyo Company) untersucht. Die Änderung
der Lichtbeständigkeit wurde durch Änderung der Infrarotreflektivität
verfolgt und sie wurde bestimmt, indem als Schädigungszeit die Anzahl an vergangenen Stunden bis zu
dem Zeitpunkt festgestellt wurde, wo die Reflektivität 80 % oder weniger des Anfangswertes erreichte. Die PoIyesterfilmflächenseite
wurde zur Lichtquelle gerichtet. Die Ergebnisse sind in Tabelle IX enthalten. Fig. 1 stellt
eine graphische Darstellung dar, worin sie aufgetragen sind.
809841/0805
«8 -
Nr. | 21 | 13 | Metalldünnschicht- zusammensetzung (Cu-Gew.%) |
Schädigungsz eit (Std.) |
Beispiel | 22 | 14 | 1 | 100 |
ti | 23 | 15 | 2 | 800 |
Il | 24 | 16 | 5,5 | > 1000 |
Il | 25 | 7,6 | > 1000 | |
Il | 26 | 12 | > 1000 | |
Il | 27 | 16 | > 1000 | |
It | 28 | 20 | y 1000 | |
Il | 29 | 25 | 600 | |
Il | Vergleichs beispiel 12 |
30 | 120 | |
It | 0 | 10 | ||
Il | 0,5 | 40 | ||
11 | 36 | 90 | ||
Il | 50 | 80 | ||
70 | 40 | |||
Beispiel 30 |
Ein Schichtgebilde wurde auf einem biaxial getreckten
Polyäthylenterephthalatfilm von 75/um Stärke gebildet,
dessen Transparenz 86 % betrug, wobei das gleiche Verfahren wie in Beispiel 1 angewandt wurde mit der Ausnahme, dass
die Dünnschicht durch gleichzeitige Aufdampfung von Silber und Kupfer bei einem Vakuum von 4 χ 10""^ Torr aus jeweils
unterschiedlichen Verdampfungsquellen gebildet wurde. Das
Verhältnis der Zusammensetzung von Silber zu Kupfer in der Metalldünnschicht betrug 92 %/8 %. Der erhaltene Film
8098 41/0805
- ύβ -
zeigte eine Transparenz von 80 % und eine Infrarotreflektivität
von 92 %.
Ein Tetrameres aus Tetrabutyltitanat wurde in n-Hexan
zu einer Lösung mit 3 Gew.% gelöst. Diese wurde mittels eines Spinngerätes auf die Oberfläche eines Polyethylenterephthalat
filmes von 75 yu& Stärke, eines Polyimidfilmes
(ΚΑ,ΡΤΟΙί H-FiIm, Produkt der du Pont, 50/um) und
einen Objektträger von 1 mm Stärke z.ur Bildung eines Diinnfilmes von 300 A aufgezogen.
Die mit dem Dünnfilm ausgebildeten Substratschichten wurden entsprechend dem analytischen Verfahren zur Bestimmung
der Beziehungen zwischen der in den jeweiligen Schichten enthaltenen Restmenge an Butylgitppen und
den Trocknungsbedingungen analysiert. Die Ergebnisse sind in Tabelle X enthalten.
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feehandlungs- Itemperatur |
Tabelle | X | 120 | 180 | 6 | 300 | mm | 450 | |
Substrat material |
Behandlungs- zeit |
Eaum- tempe- |
2,0 0,9 |
o, 0, |
8 | ,1 | - | ||
5 Minuten 60 Hinuten |
ratur | 60 | — | o, | 6 | 0 | ,1 | — | |
Polyäthylen- terephtha- latfilm |
5 Minuten | 28 13 |
12 | o, | 0 | ,3 ,2 |
- | ||
Polyimid- | 60 Minuten | — | — | - | — | ■0 0 |
0,1 oder weniger 0,1 oder |
||
film | 5 Minuten 60 Minuten |
— | - | weniger | |||||
Glasplatte | - | - | |||||||
Hierbei wurden transparente, elektrisch leitende und selektiv transparente Eilme entsprechend dem gleichen
Verfahren wie in Beispiel 1 erhalten, wobei jedoch Tetrabutyltitanat jeweils durch Gemische aus 4 Teilen Tetrapropyltitanat,
Tetrastearyltitanat, Tetrabutyltitanat und
1 Teil Tetrapropyltitanat,einem Gemisch aus 19 Teilen Tetrabutyltitanat und 1 Teil Tetrastearyltitanat, einem
Decameren von Tetrabutyltitanat und einem Monomeren von Tetrabutyltitanat ersetzt wurde. Die erhaltenen Materialien
zeigten eine Transparenz von 81 %, 78 #, 82 %, 80 %, 81 %
bzw. 81 %. Die Infrarotreflektivität betrug 96 % in jedem
ITaIl und der Oberflächenwiderstand betrug 18 bis 20„n_/cm
in jedem Pail.
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Ein Schichtgebilde mit dem gleichen Filmstärkenaufbau
wie in Beispiel 1 wurde auf dem gleichen Polyäthylenterephthalatfilm
wie in Beispiel 1 ausgebildet. Jedoch wurden die Titanoxiddünnschichten jeweils durch Überziehen
mittels einer Bügelüberzugsgerätes unter Erhitzen auf 130 C während 5 Minuten einer Lösung in Isopropylalkohol
mit 3 Gew.% Zusatz von drei Teilen des Tetrameren des
Tetrabutyltitanats und der 2fachen Molmenge, bezogen auf
das Titanatom, an Acetylaceton hergestellt. Der erhaltene Film hatte eine Transparenz von 80 %, einen Oberflächenwiderstand
von 15_O-/cm und eine Infrarotreflektivität
von 96 %.
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Claims (13)
- PatentansprücheTransparente, elektrisch leitende Schichtstruktur, aufgebaut aus(A) einem transparenten festen Substrat,(B) einer Dünnschicht aus einem Oxid des Titans, die mit dem Substrat in Kontakt steht,(C) einer Dünnschicht aus einem elektrisch leitenden Metall in Kontakt mit der Schicht (B),(D) einer Dünnschicht aus einem Oxid des Titans in Kontakt mit der Schicht (C) und(E) gegebenenfalls einer transparenten Deckschicht in Kontakt mit der Schicht (D),dadurch gekennzeichnet, dass(i) das Substrat (A) aus einer filmbildenden synthetischen Harzschicht besteht und(ii) die Schicht (B) aus einer Schicht eines Oxids des Titans besteht, welche sich von einer Schicht einer organischen Titanverbindung ableitet und organische Resteinheiten der organischen Titanverbindung enthält.
- 2. Schichtstruktur nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass (iii) die Schicht (D) aus einer Schicht eines Oxids des Titans besteht, die sich von einer Schicht einer organischen Titanverbindung ableitet und organische Hesteinheiten der organischen Titanverbindung enthält.
- 3· Schichtstruktur nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass der Gehalt an organischen Einheiten 0,1 bis 30 Gew.% beträgt, bezogen auf die in der Schicht aus der organischenTitanverbindung enthaltenen organischen Gruppen.809841 /080BORIGINAL INSPECT.- 53 -
- 4-, Schi cht Struktur nach Anspruch 1 bis 3i dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht mit den organischen Resteinheiten aus einer Schicht eines Oxids des Titans besteht, die sich von einer Schicht eines Alkyltitanats mit Alkylgruppen mit 1 bis 20 Kohlenstoffatomen ableitet.
- 5- Schichtstruktur nach Anspruch 1 bis 4-, dadurch gekennzeichnet, dass das Metall der Schicht (C) aus mindestens einem der Metalle Ag und/oder Cu besteht.
- 6. Schichtstruktur nach Anspruch 5> dadurch gekennzeichnet, dass das Metall der Schicht (C) aus Ag und Cu besteht, wobei der Gehalt an Cu 1 bis 30 Gew.%, bezogen auf die Gesamtmenge an Ag und Cu, beträgt.
- 7· Schichtstruktur nach Anspruch 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass das Substrat (A) aus einer Polyesterschicht besteht, welche eine Transparenz für sichtbares Licht von 80 % oder mehr und eine Filmstärke von 6 bis 250 tun besitzt.
- 8. -Schichtstruktur nach Anspruch 1 bis 7? dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (B) eine Filmstärke von 50 bis 1000 S besitzt.
- 9. Schichtstruktur nach Anspruch 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (C) eine Filmstärke von 50 bis 600 S besitzt.
- 10. Schichtstruktur nach Anspruch Λ bis 9i dadurch gekennzeichnet, dass die Schicht (D) eine Filmstärke von 50 bis 1000 £ besitzt.809841 /0805
- 11. Verfahren zur Herstellung einer transparenten, elektrisch leitenden Schichtstruktur nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die folgenden Stufen (1) bis -(5) angewandt werden:(1) Eine Stufe des Überziehens der Oberfläche eines transparenten festen Substrates aus einem filmbildenen Harz mit einer Lösung einer organischen Titanverbindung in einem Lösungsmittel,(2) eine Stufe der Trocknung dieser in der Stufe (1) erhaltenen aufgezogenen Schicht in der Weise, dass ein Teil der organischen Anteile der organischen Titanverbindung unter Hydrolysierbedxngungen der organischen Titanverbindung in der Überzugsschicht hinterbleibt,(3) eine Stufe der Bildung einer Dünnschicht aus einem elektrisch leitenden Metall auf der getrockneten, in der Stufe (2) erhaltenen Schicht aus dem Oxid des Titans, die die organischen Resteinheiten enthält,(4·) eine Stufe der Ausbildung eines Oxids des Titans auf der in der Stufe (3) ausgebildeten Dünnschicht aus dem elektrisch leitenden Metall,(5) eine Gegebenenfalls-Stufe der Ausbildung einer transparenten Deckschicht auf der in der Stufe (4·) erhaltenen Schicht.
- 12. Verfahren nach Anspruch 11, dadurch gekennzeichnet, dass die Stufe (4) durch gleiche Massnahmen wie die Stufen (1) und (2) durchgeführt wird.
- 13. Verfahren nach Anspruch 11 oder 12, dadurch gekennzeichnet, dass der Betrag der in der Stufe (2) hinterbliebenen organischen Einheiten auf 0,1 bis 30 Gew.%, bezogen auf die organischen Gruppen in der auf dem Substrat aufgezogenen organischen Titanverbindung, gesteuert wird.809841/0606
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3427577A JPS53119987A (en) | 1977-03-28 | 1977-03-28 | Laminate |
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Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2813394A1 true DE2813394A1 (de) | 1978-10-12 |
DE2813394B2 DE2813394B2 (de) | 1980-04-24 |
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ID=27288375
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2813394A Expired DE2813394C3 (de) | 1977-03-28 | 1978-03-28 | Transparente elektrisch leitende Schichtstruktur |
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