DE2804605A1 - Verfahren und ofen fuer thermochemische behandlung von metallen - Google Patents
Verfahren und ofen fuer thermochemische behandlung von metallenInfo
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Description
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Wiesbaden, den 26. Januar 1978 V 159 S/rd
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VIDE ET TRAITEMENT
Place Charles Andrieu-F-6O53O Neuilly en Thelle
VIDE ET TRAITEMENT
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Verfahren und Ofen für thermochemische Behandlung von Metallen
Priorität: Französische Patentanmeldung
Nr. 77 03 501 vom 08. Febr. 1977
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und einen Ofen für thermochemische Behandlung von Metallen, wie
beispielsweise Eisen oder Eisenlegierungen, durch Ionenbeschuß.
überschlägig weiß man, dass die Art der thermochemiechen
Behandlung von Metallen, die sich besonders für
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DipL-Phys. Heinrldi Seide · Patentanwalt · Bierstadter Höhe 15 · Postfach 5105 · 6200 Wiesbaden 1 · ® (ο 61 2i) 56 53 8a
Nitrierhärten von Metallen und Legierungen eignet, durch elektrische Entladung über ein verdünntes Gas
erzielen lässt.
Dazu setzt man die Werkstücke in einen Ofen, in welchem das Behandlungsgas, beispielsweise Ammoniak (NH.,)
auf einem Druck von einigen Torr gehalten wird.
Dieser Ofen enthält, verbunden mit einer Einrichtung zum Zuführen von elektrischem Strom unter hoher
Spannung, eine Anode und eine Kathode, die als Träger für die Werkstücke dient. Zur Durchführung der
thermochemischen Behandlung in solchen Öfen können zwei Betriebsmöglichkeiten in Betracht gezogen
werden.
Eine erste Betriebsmoglichkeit besteht darin, zwischen
der Kathode und der Anode eine derartige Potentialdifferenz aufrecht zu erhalten, dass man sich nach
einer Übergangsperiode auf einem Teil der Spannungs-Stromstärken-Kurve fällt, der geeignet ist, eine
elektrische Entladung in den im oben enthaltenen Gas nahe dem Bereich der Entstehung von Lichtbogen zu
halten. Dieser Bereich wird allgemein als "Bereich der 'anomalen Entladung" bezeichnet.
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Dipl.-Phys.Heinrich Seids · r.iteiUanwalt · Bierstadter Höhe 15 · Postfaih 5105 · 6200 Wiesbaden 1 · ® (o 61 21) 56 53
Diese Arbeitsmöglichkeit gestattet es, an der Kathode einen beträchtigen Energieüberschuß zu erhalten
■ und demzufolge ein sehr schnelles Erhitzen des Werkstücks
hervorzurufen. Dagegen gestattet sie nicht eine gute Homogenität, insbesondere nicht bei der
Behandlung von Werkstücken komplizierterer Kontur oder solchen Werkstücken, die Durchgänge oder Vertiefungen
aufweisen.
! Im übrigen beruht ihr Hauptnachteil in der Tatsache,
; 10 dass nahe an dem Bereich der Bogenentladung gearbeitet
j wird, so dass häufig Lichtbogenzündungen auftreten mit
der Gefahr, die Werkstücke zu beschädigen, und dies
trotz Benutzung von Systemen zum Abbrechen von Licht-
j bogen.
Eine zweite denkbare Arbeitsmöglichkext für die thermochemische
Behandlung besteht darin, anstelle eines Gleichstromes Stromimpulse hoher Spannung zu benutzen,
deren Gesamtenergie doch einen vorherbestimmten Wert aufweist, der in der jö.se berechnet ist, dass es
nicht möglich wird, auf der Spannungs-Stromstärken-Kurve in den der Bogenentladung entsprechenden Bereich
zu kommen.
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Man erzielt so im wesentlichen Ionen hoher kinetischer Energie in begrenzter Menge, was gestattet, die
Qualität der Behandlung und ihre Homogenität zu erhöhen ohne eine zu starke Temperaturerhöhung vorzunehmen,
die zu einer schlechten Erhaltung der Maßhaltigkeit und der Präzision der Werkstücke während der
Behandlung führen würde.
Jedenfalls besteht ein Nachteil dieser Arbeitsweise darin, dass man die Behandlungstemperatur erst nach
Verlauf eines recht langen Zeitraumes erreicht.
Aufgabe der Erfindung ist es daher, die Nachteile der
beiden oben angeführten möglichen Arbeitsweisen zu unterdrücken. Die Erfindung schlägt deshalb eine
kombinierte Arbeitsweise vor, die darin besteht, dass
! 15 man in einem ersten Arbeitsschritt zu möglichst schneli
lern Erhitzen des Werkstückes auf Behandlungstemperatur
zwischen der Anode und der Kathode des Ofens eine derar
berechnete elektrische Gleichspannung aufrecht erhält, j dass sich der Arbeitspunkt des Ofens in dem Bereich
J 20 der anomalen Entladung der Spannungs-Stromstärken-Kurve des Ofens legt, aber an einen ausreichend weit
vom Bereich der Bogenentladung entfernten Punkt, um die Möglichkeit zur Bildung eines Lichtbogens völlig
zu vermeiden, und
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in einem zweiten Arbeitsschritt nach Erreichen der Dehandlungstemperatur den Ofen in Betrieb mit Spannungs-
impulsen arbeiten zu lassen, wobei die Wärmeent- ! wicklung dieser Betriebsweise ausreichend ist, um
5 die Behandlungstemperatur des Werkstücks aufrecht zu erhalten.
Durch die Erfindung soll auch ein Ofen geschaffen werden, der das Arbeiten in diesen beiden Betriebsweisen
gestattet. Der Ofen soll vorteilhafterweise eine einzige elektrische Stromzuführungsquelle aufweisen.
Eine Ausführungsform der Erfindung wird im folgenden
als Beispiel anhand der Zeichnung erläutert. Es zeigen:
Fig. 1 eine charakteristische Spannungs-
Stromstärken-Kurve für elektrische
' Gasentladung und
: Fig. 2 ein theoretisches Schema der Strom-
: Zuführung für die Anwendung im erfin-
dungsgemässen Verfahren.
Wie bekannt (vergl. Kohlrausch, Praktische Physik,
Band 2, Teubner-Verlag 1962, Seite 409) enthält die
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charakteristische Spannungs-Stromstärken-Kurve der selbständigen Gasentladung, die zum besseren Verständnis
der beiden gemäss der Erfindung kombinierten Arbeitsweisen des Ofens wiedergegeben wird, im wesentliehen:
- einen Bereich OA, sehr geringer Ströme;
- einen Bereich AB, in welchem die Spannung praktisch konstant ist und dem Bereich der
Dunkelentladung bzw. Townsendentladung entspricht;
- einen Bereich BC, der unternormalen Glimmentladung;
- einen Bereich DE der normalen Glimmentladung;
- einen Bereich EF der anomalen Entladung oder anomalen Glimmentladung, und
- einen Bereich FG der Bogenentladung.
Um so die thermoschemische Behandlung nach der oben erwähnten ersten Arbeitsweise einzurichten benutzt man
zwischen der Kathode und der Anode eine Gleichspannung, die es gestattet, nach einem Übergang einen permanenten
Arbeitspunkt des Ofens einzunehmen, der nahe dem Punkt F, d.h. nahe dem Bereich der Bogenentladung
liegt. Das Interesse, den Arbeitspunkt so nahe wie
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möglich dem Punkt. F zu legen, ruht auf der Tatsache,
dass es zur Erzielung einer wirksamen Behandlung notwtiiidii/ ist, ionen zu erhalten, die mit beträchtlicher
kinetischer Energie geladen sind.
Dabei ist zu beachten, dass vor Erreichen dieses permanenten Arbeitspunktes nahe dem Punkt F sich der
Arbeitspunkt des Ofens zeitlich (Übergangszeit) entlang der Kurvenabschnitte OA, AB, BC, CD, CE entwickelt, um
schliesslich an den permanenten Arbeitspunkt auf dem Kurvenabschnitt EF zu gelangen.
Während dieser Übergangsperiode ist die benutzte Energie Ej. wohl definiert und kann experimentell ermittelt
werden.
Die zweite oben erwähnte Arbeitsweise besteht darin, zwischen der Kathode und der Anode des Ofens Hochspannungsimpulse
anzulegen,die stark oberhalb der Arbeitsspannung der ersten Betriebsweise liegen, deren (Impuls-)
Gesamtenergie in der Weise begrenzt ist, dass nur ein Übergangsregime eingerichtet wird, während dessen
Ablauf der Arbeitspunkt sich auf der Spannungs-Stromstärken-Kurve ausgehend vom Punkt O bis zu einem entfernt
vom Punkt F liegenden Grenzpunkt verschiebt,derart,
dass keinerlei Gefahr zur Bildung eines nennenswerten
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Lichtbogens besteht.
Die Tatsache, dass mit hoher Spannung gearbeitet wird, ergibt, dass man Ionen hoher kinetischer Energie erhält
und demzufolge eine sehr wirksame Behandlung des Werkstücks, und dies mit einem Mindestmaß von Erhitzung,
da die Gesamtenergie und die Ionendichte begrenzt sind.
Wie oben erwähnt, wird gemäss der Erfindung vorgeschlagen
die beiden oben erläuterten Betriebsweisen zu kombinieren, um im ersten Verfahrensschritt die erste Betriebsweise
zu benutzen, bis das Werkstück aif die Behandlungstemperatur
gebracht ist, und dann die zweite Betriebsweise einzusetzen.
Es ist in diesem Zusammenhang zu beachten, dass die erfindungsgemäss vorgeschlagene Kombination nicht eine
blosse Aneinanderreihung oder Gegenüberstellung der beiden Behandlungsweisen darstellt. Tatsächlich hat
die erste Arbeitsweise im wesentlichen den Zweck, ein schnelles Erhitzen des Werkstückes hervorzurufen. Demzufolge
ist es nicht notwendig, dass der Arbeitspunkt so nahe wie möglich an den Bereich der Bogenentladung
herangenommen wird, um erhebliche kinetische Energie der Ionen zu erhalten, aber auch das Risiko der Bildung
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eines Lichtbogenregimes einzugehen. In der Praxis wählt man daher einen Arbeitspunkt, der ausreichend
fern vom Punkt F liegt, damit sich kein Lichtbogenregime entwickelt. Dies stellt keinen Nachteil dar,
weil man sich nicht in einer Behandlungsphase des Werkstücks befindet. Tatsächlich erfolgt die eigentliche
Behandlung im wesentlichen in der zweiten Betriebsweise des Bogens.
Gemäss Figur 2 enthält die elektrische Stromzuführungsvorrichtung,
die die beiden doen erläuterten Arbeitsweisen des Ofens gestattet, eine Schaltereinheit mit
vier Schaltern 1, 2, 3 und 4, die in einer Brückenschaltung angeordnet sind. Die beiden sich gegenüberliegenden
Ecken oder Knotenpunkte 6 und 7 dieser Brückenschaltung sind an eine Gleichspannungsquelle
angeschlossen, während die beiden anderen Eckpunkte oder Knotenpunkte 8 und 9 an die Reihenschaltung
eines elektrischen Kondensators 10 und der Primärwicklung 11 eines Transformators 12 angeschlossen sind. Die
Sekundärwicklung 13 des Transformators ist ihrerseits über einen Gleichrichter 16 an die beiden Elektroden
14 und 15 (Kathode und Anode des Ofens) angeschlossen. so wird .in der zweiten Betriebsweise das impulsregiMe
in zweifachem Schalttakt aufgebaut, nämlich:
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EHpl.-Phy*. Heinrich Seids · Patentanwalt · Bierstadter Höhe ι; ■ Postfach 5105 ' 6200 Wiesbaden 1 · ® (ο 6ι 2χ) ;6 53 '*
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a) Laden des Kondensators 10 durch Schliessen der Schalter 1 und 3 und Offenhalten der Schalter
2 und 4;
b) Entladen des Kondensators 10 über die Primärwicklung 11 des Transformators 12 durch Öffnen
der Schalter 1 und 3 und Schliessen der Schalter 2 und 4.
Es ist ersichtlich, dass die in der Sekundärwicklung 13 des Transformators entwickelten und demzufolge auf
die Anode 14 und die Kathode 15 des Ofens gelegten Impulse erhöhte Spannung (Übersetzungsverhältnis des Transformators)
aufweisen, während ihre Gesamtenergie allein Funktion der Klemmenspannung am Kondensator IO und des
Kapazitätswertes des Kondensators 10 ist. Demzufolge ist nur notwendig, die Spannung des zugeführten Gleichstromes
und bzw. oder die Kapazität des Kondensators 10 zu wählen
bzw. einzurichten, um zu verhindern, dass der Arbeitspunkt des Ofens in einen gefährlichen Bereich läuft.
Um die erste Betriebsweise auszuführen, führt man die Schaltvorgänge an den Schaltern 1,2,3 und 4 in gleicher
Heise durch, aber mit einer sehr stark erhöhten Frequenz derart, dass man am Ausgang des Gleichrichters 16
eine Gleichspannung erhält. Wohlgemerkt muss der
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Spannungswert am Ausgang des Gleichrichters 10 dann merklich unterhalb der Impulsspannung liegen, wie sie
bei der zweiten (Impuls-) Betriebsweise benutzt wird. Demzufolge kann man auf der Sekundärwicklung 13 des
Transformators 12 einen getrennten Ausgang für eine zweite Arbeitsweise vorsehen, zusammen mit einer Schaltvorrichtung,
die je nach vorgesehener Arbeitsweise den einen oder den anderen Ausgang einschaltet.
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Claims (5)
1) Verfahren zur thermochemischen Behandlung von Metallen
wie Eisen oder Eisenlegierungen, durch Ionenbeschuß in einem Ofen, in welchem das Behandlungsgas
unter sehr niedrigem Druck gehalten wird und der eine Kathode enthält, auf der die Werkstücke angeordnet
werden, gekennzeichnet durch:
- einen ersten Verfahrensschritt zu möglichst schnellem Erhitzen des Werkstücks auf Behandlungstemperatur, in welchem man zwischen der Anode und der Kathode eine derart berechnete elektrische Gleichspannung aufrecht erhält, dass sich der Arbeitspunkt des Ofens in den Bereich der anomalen Entladung der Spannungs-Stromstärken-Kurve des Ofens legt, aber an einen ausreichend weit vom Bereich der Lichtbogenbildung entfernten Punkt,
- einen ersten Verfahrensschritt zu möglichst schnellem Erhitzen des Werkstücks auf Behandlungstemperatur, in welchem man zwischen der Anode und der Kathode eine derart berechnete elektrische Gleichspannung aufrecht erhält, dass sich der Arbeitspunkt des Ofens in den Bereich der anomalen Entladung der Spannungs-Stromstärken-Kurve des Ofens legt, aber an einen ausreichend weit vom Bereich der Lichtbogenbildung entfernten Punkt,
um die Möglichkeit zur Bildung eines Lichtbogens möglichst auszuschliessen und
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Dipl.-Phys. Heinrich Scids ■ Patentanwalt · Iiierstadter Höhe 15 · Postfach 5105 · 6200 Wiesbaden 1 · ®" (ο 61 zi) 56 53
- einen zweiten Verfahrensschritt, in welchem man
zwischen der Kathode und der Anode eine Folge von Hochspannungsimpulsen begrenzten Energiegehaltes
anlegt, derart, dass sich im Verlauf jedes Impulses der Arbeitspunkt des Ofens auf der Spannungs-Stromstarken-Kurve
bis zu einem Endpunkt verschiebt,
der ausreichend weit vom Bereich der Lichtbogenbildung entfernt ist, um die Bildung eines Lichtbogens
auszuschliessen.
2) Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
dass die Energie jedes Spannungsimpulses durch eine elektrische Kapazität bemessen wird.
3) Ofen für thermoschemische Behandlung nach Anspruch 1
oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass an die Elektroden des Ofens eine Einrichtung zu elektrischer Energie- '
i zuführung angeschlossen ist, die zum aufeinander- j folgenden, wahlweisen Anlegen von Gleichspannung oder
einer Folge von Sparinungsimpulsen an die Elektroden (14, 15) des Ofens ausgebildet ist.
4) ofen nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, dass
die Einrichtuncj zur elektrischen Energiezuführung eine
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Schalteinheit mit vier in Brückenschaltung angeordneten Schaltern (1, 2, 3, 4) enthält, von der
zwei sich gegenüberliegende Ecken an eine Gleichspannungsquelle angeschlossen sind, während die beiden
anderen Ecken (8, 9) an die Reihenschaltung eines elektrischen Kondensators (lo) und die Primärwicklung
(11) eines Transformat-ors (12) angeschlossen
sind, dessen Sekundärwicklung (13) über einen Gleichrichter (16) an die Elektroden (14, 15) des Ofens
gelegt ist.
5) Ofen nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass die Sekundärwicklung (13) des Transformators zwei Ausgänge,
nämlich einen Ausgang für Gleichspannungsbetrieb und einen Ausgang für Impulsbetrieb, aufweist und
dass ein Schalter zum wahlweisen Einschalten jeweils eines dieser beiden Ausgänge vorgesehen ist.
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Date | Code | Title | Description |
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8110 | Request for examination paragraph 44 | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |