DE1034449B - Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Glimmentladung in einem Reaktionsbehaelter, insbesondere zur Oberflaechenbehandlung von Metallkoerpern - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Glimmentladung in einem Reaktionsbehaelter, insbesondere zur Oberflaechenbehandlung von MetallkoerpernInfo
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32009—Arrangements for generation of plasma specially adapted for examination or treatment of objects, e.g. plasma sources
- H01J37/32018—Glow discharge
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C8/00—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals
- C23C8/06—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases
- C23C8/36—Solid state diffusion of only non-metal elements into metallic material surfaces; Chemical surface treatment of metallic material by reaction of the surface with a reactive gas, leaving reaction products of surface material in the coating, e.g. conversion coatings, passivation of metals using gases using ionised gases, e.g. ionitriding
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Description
DEUTSCHES
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Betreiben einer Glimmentladung
in einem das Entladungsgefäß bildenden Reaktionsbehälter mit an Wechselspannung liegenden Elektroden
und Gleichrichtung des Entladungsstromes im Entladungsgefäß. Die Glimmentladung soll insbesondere
zur Oberflächenbehandlung von Metallkörpern dienen, die in das Entladungsgefäß eingebracht und
als Elektrode geschaltet werden. Glimmentladungen werden vorzugsweise mit Gleichstrom betrieben. Dabei
wird die nötige Gleichstromenergie durch Gleichrichtung der einem Netz entnommenen Wechselstromenergie
erzeugt. Man hat aber auch schon vorgeschlagen, die Gleichrichtung innerhalb des
Entladungsgefäßes vorzunehmen, und zwar durch Ausnutzung des Effektes, daß dem Entladungsstrom
einer mit Wechselspannung betriebenen Glimmentladung sich immer dann eine Gleichstromkomponente
überlagert, wenn die beiden Elektroden verschieden große Oberflächen haben. Damit die Gleichstromkomponente
eine Größe annimmt, die praktisch nutzbar wird, muß der Unterschied zwischen den Oberflächen
der beiden Elektroden beträchtlich sein. Dies erschwert die Durchführung des bekannten Vorschlages.
Denn man hat bei der Bemessung der Oberflächen der Elektroden bei Reaktionsbehältern
für das in Rede stehende Verfahren nur beschränkt freie Hand, kann also im allgemeinen die Flächen
nicht so stark verschieden voneinander machen, daß die Gleichstromkomponente überwiegt.
Beim Verfahren nach der Erfindung wird die Gleichrichtung innerhalb des Entladungsgefäßes durch
periodische Zündimpulse bewirkt, die die Entladung jeweils dann zünden, wenn die zu behandelnde Oberfläche
Kathodenpotential hat. Auf diese Weise ist es möglich, die Glimmentladung mit Gleichstrom zu
betreiben, ohne daß die Gleichstromenergie außerhalb des Reaktionsbehälters in einem gesonderten Gleichrichter
erzeugt werden muß.
Außer der Einsparung des sonst für den Betrieb mit Gleichstrom nötigen Gleichrichters, der wegen der
verhältnismäßig hohen Gleichspannungen und Ströme ein teures Gerät darstellt, hat das Verfahren nach der
Erfindung den Vorteil, daß der sonst bei Gleichstrombetrieb unerläßliche ohmsche Vorwiderstand durch
eine praktisch verlustlose Drossel ersetzt werden kann, der Wirkungsgrad also erhöht wird. Außerdem zeigt
sich, daß eine gemäß der Erfindung betriebene Glimmentladung in geringerem Maße dazu neigt, in
eine Bogenentladung umzuschlagen, als Entladungen, die mit einer an die Elektroden gelegten Gleichspannung
betrieben werden.
Es ist in der Regel- und Steuertechnik bekannt, gitter- oder zündstiftgesteuerte Gasentladungsröhren
Verfahren und Vorrichtung
zum Betreiben einer Glimmentladung
zum Betreiben einer Glimmentladung
in einem Reaktionsbehälter,
insbesondere zur Oberflächenbehandlung
von Metallkörpern
Anmelder:
Dortmund-Hörder Hüttenunion
Aktiengesellschaft,
Dortmund, Rheinische Str. 173
Dortmund, Rheinische Str. 173
Dr. phil. Dr.-Ing. Fritz Härders,
Bürenbruch, Post Ergste über Schwerte/Ruhr,
Dr.-Ing. Helmut Knüppel, Dortmund-Löttringhausen, und Dipl.-Phys. Karl Brotzmann, Dortmund,
sind als Erfinder genannt worden
so zu steuern, daß die Entladung immer nur einmal während jeder Halbperiode gezündet wird. Zweck
dieser Maßnahme ist, die einfache Relaiswirkung solcher Röhren in eine kontinuierliche Verstärkerwirkung
umzuwandeln, nicht aber einen Wechselstrom gleichzurichten.
Beim Verfahren nach der Erfindung kann der Entladungsstrom durch Änderung der Phasenlage der
Zündimpulse gesteuert werden. Damit ist eine weitere Vereinfachung der äußeren Apparatur möglich. Denn
der sonst zur Steuerung des Entladungsstromes meist verwendete, dem Gleichrichter vorgeschaltete Drehtransformator
kann fortfallen.
Eine weitere Vereinfachung der Anlage kann man beim Verfahren nach der Erfindung auch noch durch
die Anwendung eines Gases oder Gasgemisches im Reaktionsbehälter erreichen, bei dem die Brennspannung
der Entladung niedrig ist. Dann kann man unter Umständen darauf verzichten, die am Netz verfügbare
Spannung in einem Transformator herabzusetzen. Bei der Behandlung von Außenoberflächen ist insbesondere
Argon ein Gas, das für diesen Zweck geeignet ist.
809 577/226
Benutzt man das Verfahren statt zur unmittelbaren Behandlung einer Oberfläche zur Beheizung von im
Reaktionsbehälter liegenden Reaktionsgefäßen, die als Kathode geschaltet sind, so kann man die Brennspannung
der Entladung auch durch die Verwendung eines Stoffes als Kathodenmaterial heruntersetzen, der einen
geringen Kathodenfall liefert. Ein solches Material ist beispielsweise Aluminium.
Zur Durchführung des Verfahrens nach der Erfindung können, die Elektroden des Reaktionsbehälters,
deren eine von dem zu behandelnden Gegenstand gebildet wird, an eine Wechselspannungsquelle angeschlossen
und in dem Behälter ein Zündstift angeordnet werden, dem über eine Zündvorrichtung
periodisch Zündimpulse mit einstellbarer Phase zugestellt werden.
Es empfiehlt sich beim Verfahren nach der Erfindung,
sofern relativ hohe Entladungsströme angewendet werden, die Anode im Reaktionsbehälter in
einzelne Teilanoden zu unterteilen, die über getrennte Begrenzungswiderstände oder Drosseln parallel zueinander
geschaltet werden.
An Hand der Zeichnung wird der schaltungsmäßige Aufbau einer zur Durchführung des Verfahrens geeigneten Vorrichtung erläutert.
Die Elektroden A und K eines Reaktionsbehälters B
sind über einen Transformator T an eine Wechselspannungsquelle
Q angeschlossen. Ein Zündstift Z im Gefäß steht über einen Kondensator C3 mit einem
Hochspannungstransformator T2 in einem Entladekreis
in Verbindung, der einen Kondensator C2 und ein als Schaltorgan dienendes gitter- oder zündstiftgesteuertes
Gasentladungsgefäß D enthält. Der Kondensator C2 wird in an sich bekannter Weise über
einen Doppelweg-Gleichrichter G und einen Transformator
T3 aufgeladen. Diei im Entladungskreis auftretenden
Stromimpulse sind durch einen dem Gefäß D vorgeschalteten Impulstransformator T1 in
ihrer Phasenlage einstellbar, und zwar dadurch, daß der Impulstransformator T1 mittels einer aus einem
veränderlichen Widerstand 7? und einem Kondensator C1 bestehenden Brücke in der Phase steuerbar
ist. Zwischen dem Kondensator C2 und dem Gleichrichter liegt ein T-Glied, das aus zwei Widerständen
und einem Kondensator C4 besteht. Die übrigen EIemente
der gezeichneten Schaltung entsprechen dem bei Impulsgeneratoren üblichen und werden daher
keiner näheren Erläuterung bedürfen. Erwähnt sei nur noch, daß C3 klein gegen C4 ist.
Claims (6)
1. Verfahren zum Betreiben einer Glimmentladung in einem Reaktionsbehälter, insbesondere
zur Oberflächenbehandlung von Metallkörpern, die in den als Entladungsgefäß dienenden Reaktionsbehälter
eingebracht und als Elektrode geschaltet werden, mit einer an den Elektroden dieses Entladungsgefäßes
liegenden Wechselspannung und Gleichrichtung des Entladungsstromes im Entladungsgefäß,
dadurch gekennzeichnet, daß die Gleichrichtung durch periodische Zündimpulse bewirkt
wird, die die Entladung jeweils dann zünden, wenn die zu behandelnde Oberfläche Kathodenpotential
besitzt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Entladungsstrom durch Änderung
der Phasenlage der Zündimpulse gesteuert wird.
3. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 und 2, gekennzeichnet durch die Anwendung eines Gases
oder Gasgemisches im Reaktionsbehälter, insbesondere von Argon bei Behandlung von Eisenoberflächen,
bei dem die Brennspannung der Entladung niedrig ist.
4. Verfahren nach einem der Ansprüche 1 bis 3 zur Beheizung von im Reaktionsbehälter untergebrachten
weiteren Reaktionsgefäßen, die als Kathode geschaltet sind, gekennzeichnet duirch 'Äie
Verwendung eines Stoffes als Kathodenmaterial, der einen geringen Kathodenfall liefert, beispielsweise
Aluminium.
5. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet
durch einen Reaktionsbehälter, dessen Elektroden (A, K), deren eine von dem zu behandelnden
Gegenstand gebildet wird, an eine Wechselspannungsquelle angeschlossen sind und dessen Zündelektrode (Z) über eine Zündvorrichtung
periodische Zündimpulse mit einstellbarer Phase zugeführt werden.
6. Vorrichtung nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet,
daß der Reaktionsbehälter bei stromstarken Entladungen mit einzelnen, über getrennte Begrenzungswiderstände oder Drosseln
parallel zueinander geschalteten Teilanoden ausgerüstet ist.
In Betracht gezogene Druckschriften:
Deutsche Patentschriften Nr. 601 847, 731 866,
793,736 900,743 402,750 596.
Deutsche Patentschriften Nr. 601 847, 731 866,
793,736 900,743 402,750 596.
Hierzu 1 Blatt Zeichnungen
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DED19612A DE1034449B (de) | 1955-01-22 | 1955-01-22 | Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Glimmentladung in einem Reaktionsbehaelter, insbesondere zur Oberflaechenbehandlung von Metallkoerpern |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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DED19612A DE1034449B (de) | 1955-01-22 | 1955-01-22 | Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Glimmentladung in einem Reaktionsbehaelter, insbesondere zur Oberflaechenbehandlung von Metallkoerpern |
Publications (1)
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DE1034449B true DE1034449B (de) | 1958-07-17 |
Family
ID=7036436
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DED19612A Pending DE1034449B (de) | 1955-01-22 | 1955-01-22 | Verfahren und Vorrichtung zum Betreiben einer Glimmentladung in einem Reaktionsbehaelter, insbesondere zur Oberflaechenbehandlung von Metallkoerpern |
Country Status (1)
Country | Link |
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DE (1) | DE1034449B (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1955
- 1955-01-22 DE DED19612A patent/DE1034449B/de active Pending
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