DE2800198A1 - Verfahren und vorrichtung zur ausbildung eines metallreflexionsfilms und eines waermeabsorptionsfilms auf der innenflaeche einer bildschirmplatte - Google Patents

Verfahren und vorrichtung zur ausbildung eines metallreflexionsfilms und eines waermeabsorptionsfilms auf der innenflaeche einer bildschirmplatte

Info

Publication number
DE2800198A1
DE2800198A1 DE19782800198 DE2800198A DE2800198A1 DE 2800198 A1 DE2800198 A1 DE 2800198A1 DE 19782800198 DE19782800198 DE 19782800198 DE 2800198 A DE2800198 A DE 2800198A DE 2800198 A1 DE2800198 A1 DE 2800198A1
Authority
DE
Germany
Prior art keywords
chamber
film
vacuum
forming
heat absorbing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Ceased
Application number
DE19782800198
Other languages
German (de)
English (en)
Inventor
Yasuo Ueba
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
Publication of DE2800198A1 publication Critical patent/DE2800198A1/de
Ceased legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J29/00—Details of cathode-ray tubes or of electron-beam tubes of the types covered by group H01J31/00
    • H01J29/02—Electrodes; Screens; Mounting, supporting, spacing or insulating thereof
    • H01J29/10—Screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored
    • H01J29/18—Luminescent screens
    • H01J29/28—Luminescent screens with protective, conductive or reflective layers
    • C—CHEMISTRY; METALLURGY
    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
    • C23C14/568—Transferring the substrates through a series of coating stations
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
    • H01J9/20—Manufacture of screens on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted or stored; Applying coatings to the vessel

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Physical Vapour Deposition (AREA)
  • Formation Of Various Coating Films On Cathode Ray Tubes And Lamps (AREA)
DE19782800198 1977-01-06 1978-01-03 Verfahren und vorrichtung zur ausbildung eines metallreflexionsfilms und eines waermeabsorptionsfilms auf der innenflaeche einer bildschirmplatte Ceased DE2800198A1 (de)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP66177A JPS5385153A (en) 1977-01-06 1977-01-06 Forming method for light reflective metallic film and heat absorbent material film on face panel inside and its unit

Publications (1)

Publication Number Publication Date
DE2800198A1 true DE2800198A1 (de) 1978-07-20

Family

ID=11479899

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
DE19782800198 Ceased DE2800198A1 (de) 1977-01-06 1978-01-03 Verfahren und vorrichtung zur ausbildung eines metallreflexionsfilms und eines waermeabsorptionsfilms auf der innenflaeche einer bildschirmplatte

Country Status (3)

Country Link
JP (1) JPS5385153A (enExample)
DE (1) DE2800198A1 (enExample)
GB (1) GB1604056A (enExample)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2500213A1 (fr) * 1981-02-19 1982-08-20 Rca Corp Dispositif pour appliquer une peinture conductrice sur les elements de support du panneau frontal d'un cinescope en couleur
EP1170771A1 (en) * 2000-07-05 2002-01-09 Sony Corporation Cathode ray tube and method for manufacturing thereof

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE4303462C2 (de) * 1992-03-30 1994-03-31 Leybold Ag Mehrkammerbeschichtungsanlage
GB9225270D0 (en) * 1992-12-03 1993-01-27 Gec Ferranti Defence Syst Depositing different materials on a substrate
GB2273110B (en) * 1992-12-03 1996-01-24 Gec Marconi Avionics Holdings Depositing different materials on a substrate
CN115261799B (zh) * 2022-08-03 2023-12-01 江西艾芬达暖通科技股份有限公司 一种温控阀表层真空镀膜工艺

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB515148A (en) * 1937-05-29 1939-11-28 Bosch Gmbh Robert Apparatus for the metallising of objects in vacuo by metal vaporising or cathode sputtering
US3392297A (en) * 1966-12-21 1968-07-09 Nat Video Corp Color triad tube having heat-absorptive material on aluminum screen backing for cooling shadow mask
DE1282411B (de) * 1964-12-28 1968-11-07 Hermsdorf Keramik Veb Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung und Bearbeitung von Bauelementen der Elektronik unter Vakuum, insbesondere zum Aufdampfen von Schichten
DE1937007A1 (de) * 1969-07-21 1971-01-28 Siemens Ag Vakuumapparatur mit einer Schleuse fuer eine Einrichtung zur Bearbeitung von Bauteilen in kontinuierlicher Folge
DE2242916B2 (de) * 1971-09-21 1974-10-03 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6000 Frankfurt Einrichtung zum Transportieren von zu beschichtenden Substraten durch eine Vakuumanlage

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB515148A (en) * 1937-05-29 1939-11-28 Bosch Gmbh Robert Apparatus for the metallising of objects in vacuo by metal vaporising or cathode sputtering
DE1282411B (de) * 1964-12-28 1968-11-07 Hermsdorf Keramik Veb Vorrichtung zur kontinuierlichen Herstellung und Bearbeitung von Bauelementen der Elektronik unter Vakuum, insbesondere zum Aufdampfen von Schichten
US3392297A (en) * 1966-12-21 1968-07-09 Nat Video Corp Color triad tube having heat-absorptive material on aluminum screen backing for cooling shadow mask
DE1937007A1 (de) * 1969-07-21 1971-01-28 Siemens Ag Vakuumapparatur mit einer Schleuse fuer eine Einrichtung zur Bearbeitung von Bauteilen in kontinuierlicher Folge
DE2242916B2 (de) * 1971-09-21 1974-10-03 Balzers Hochvakuum Gmbh, 6000 Frankfurt Einrichtung zum Transportieren von zu beschichtenden Substraten durch eine Vakuumanlage

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
FR2500213A1 (fr) * 1981-02-19 1982-08-20 Rca Corp Dispositif pour appliquer une peinture conductrice sur les elements de support du panneau frontal d'un cinescope en couleur
EP1170771A1 (en) * 2000-07-05 2002-01-09 Sony Corporation Cathode ray tube and method for manufacturing thereof
US6713121B2 (en) 2000-07-05 2004-03-30 Sony Corporation Cathode ray tube and method for manufacturing thereof

Also Published As

Publication number Publication date
JPS5385153A (en) 1978-07-27
GB1604056A (en) 1981-12-02
JPS6153814B2 (enExample) 1986-11-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
DE3317349C2 (enExample)
DE69011052T2 (de) Chemische Gasphasen-Beschichtungsanlage der In-Line-Bauart.
DE3047441C2 (enExample)
DE68909988T2 (de) Vorrichtung zur kontinuierlichen Vacuumbeschichtung.
DE4341173B4 (de) Vorrichtung und Verfahren zur Abscheidung unterschiedlicher Materialien auf einem Substrat
DE4037580C2 (enExample)
DE69226520T2 (de) Anlage zur Gasquellen-Molekularstrahlepitaxie
DE2047749A1 (de) Zirkuläres System zur kontinuierlichen Verrichtung verschiedener im Vakuum durch zuführender Prozesse
DE2307649B2 (de) Anordnung zum Aufstäuben verschiedener Materialien auf einem Substrat
EP0307539A2 (de) Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Substraten
DE4126236A1 (de) Rotierende magnetron-katode und verfahren zur anwendung
DE3507337A1 (de) Vorrichtung zur durchfuehrung von prozessen im vakuum
DE1446199B2 (de) Kontinuierliches verfahren zum ueberziehen von gegen staenden, insbesondere glasscheiben, durch vakuumaufdampfen und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens
DE19606463C2 (de) Mehrkammer-Kathodenzerstäubungsvorrichtung
DE2800198A1 (de) Verfahren und vorrichtung zur ausbildung eines metallreflexionsfilms und eines waermeabsorptionsfilms auf der innenflaeche einer bildschirmplatte
DE2114470A1 (de) Vorrichtung zum kontinuierlichen, einseitigen Beschichten von Platten wie Glasscheiben, Keramik- oder Kunststoffplatten und dergl. mittels Kathodenzerstäubung
DE102010042839B4 (de) Durchlauf-Vakuumbeschichtungsanlage zum Beschichten von Substraten
DE10147708C5 (de) Targetanordnung
DE69400404T2 (de) Beschichtungsvorrichtung zum aufdampfen von metallischem material auf ein substrat
DE102016110884A1 (de) Vorrichtung und Verfahren zum Abscheiden organischer Schichten auf ein oder mehreren Substraten
DE19509440A1 (de) Sputtervorrichtung
CH663220A5 (de) Verfahren zum herstellen von schichtwerkstoff oder schichtwerkstuecken.
DE19500964A1 (de) Vorrichtung zum Beschichten
DE112019007323B4 (de) Ionenanalysator
DE1767863A1 (de) Vakuumvorrichtung und Verfahren zum Regeln des Druckes in einer bestimmten Zone einer Vakuumkammer

Legal Events

Date Code Title Description
OD Request for examination
8125 Change of the main classification

Ipc: H01J 9/46

8126 Change of the secondary classification

Free format text: H01J 9/20 H01J 29/28 C23C 13/10

8131 Rejection