DE2747727A1

DE2747727A1 - Verfahren zur herstellung eines wechselstrom-betriebenen gasentladungsbildschirms

Info

Publication number: DE2747727A1
Application number: DE19772747727
Authority: DE
Inventors: M Osama Aboelfotoh; Kyu Chang Park
Original assignee: International Business Machines Corp
Current assignee: International Business Machines Corp
Priority date: 1976-10-29
Filing date: 1977-10-25
Publication date: 1978-05-11
Also published as: JPS5355958A; IT1114161B; GB1580064A; US4083614A; FR2369677B1; FR2369677A1; CA1086374A

Description

Anmelderin: International Business Machines

Corporation, Armonk, N.Y. 10504 bu/aue

Verfahren zur Herstellung eines Wechselstrom-betriebenen Gasentladungsbildschirms

Die Erfindung betrifft ein Verfahren, wie es dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1 zu entnehmen ist.

Bei der Herstellung von Wechselstrom-betriebenen Gasentladungsbildschirmen werden zunächst parallel zueinander liegende Leitungszüge auf die Oberfläche eines Substrates, bestehend aus Glas, niedergeschlagen und anschließend wird hierüber eine isolierende dielektrische Glasfritte oder -schlicker schichtweise aufgesprüht und dann zum Aufschmelzen gebracht, so daß sich ein gleichförmiger Film von im wesentlichen gleicher Dicke über die gesamte Substratoberfläche mit den hierauf liegenden Leitungszügen erstreckt. Sind die Glassubstrate abgekühlt, dann wird üblicherweise ein Überzug aus äußerst widerstandsfähigen, Sekundärelektronen emittierenden Materialien, wie zum Beispiel MgO (Magnesiumoxid), auf die Oberfläche der dielektrischen Schicht aufgedampft, indem das, wie oben beschrieben, vorbereitete Substrat in eine Vakuumkammer eingebracht wird. Die Widerstandsfähigkeit dieses Oberzuges bezieht sich auf die Materialeigenschaft, die verhindert, daß beim im Betrieb des Gasentladungsbildschirms auftretenden Ionenbombardement die dielektrische Schicht zerstäubt wird, wohingegen die Sekundärelektronenemissionsfähigkeit zur Herabsetzung der Betriebsspannungen führt. Nach Erstellen j 'dieser Oberflächenschutzschichten werden entsprechende Substrate an den Rändern miteinander versiegelt, so daß sich ein Entladungeraum ergibt, der über der gesamten

Fläche einen gleichmäßigen Abstand besitzt.

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Die Leitungszüge auf den beiden Substraten sind beim Zusammenbau senkrecht zueinander ausgerichtet, üblicherweise wird dann der Gasentladungsbildschirm Im Vakuum ausgeheizt, um Verunreinigungen und Restgase, einschließlich Wasserdampf, von der Oberfläche der dielektrischen Schicht abzuziehen. Ein solcher Aufheizvorgang 1st jedoch sehr zeltaufwendig, da nämlich annähernd 16 Stunden erforderlich sind, um den Gasentladungsbildschirm auf die gewünschte Aufheiztemperatur zu bringen, Ihn auf dieser Temperatur für weitere 5 Stunden zu halten und dann die Temperatur wiederum auf Raumtemperatur abzusenken, so daß Im Ergebnis eine ganz beträchtliche Zeltdauer des Herstellungsvorganges hierfür beansprucht wird.

! Nach dem Aufheizen wird der Gasentladungsbildschirm mit einem geeigneten, ionisierbaren Gas aufgefüllt. Nach Fertigstellung eines derart hergestellten Gasentladungsbildschirms müssen die elektrischen Parameter noch stabilisiert werden, indem ein weiterer Aufheizzyklus Anwendung findet, bei dem alle Entladungszellen des Gasentladungsbildschirms für eine Zeitdauer von 7 Stunden bei vorgegebener Spannung und . Frequenz zur Entladung gebracht werden. Hierbei wird dann der statische BetriebsSpielraum des Gasentladungsbildschirms erfaßt, d. h. der Unterschied zwischen maximaler Stützspannung (Vg max) und minimaler Stützspannung (V_g min), die erforderlich ist, um die Betriebsbereitschaft des Gasentladungebildschirms bei Wecheelepannungsbetrieb aufrechtzuerhalten .

Während normaler Gasentladungsbildachirmoperation oder bei Testläufen streben maximale und minimale Stützspannungen, die ja den statischen Betriebsspielraum des Gasentladungsbildschirms definieren, danach zu konvergieren, wobei unter Umständen der Betriebsspielraum vollständig aufgelöst werden kann, so daß die Ausschußrate nach der Endprüfung beträchtlich erhöht wird, was hinwiederum zu einer nicht

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- 5 unwesentlichen Steigerung der Herstellungskosten führt.

Dementsprechend besteht die Aufgabe der Erfindung darin, ein verbessertes Herstellungsverfahren für Gasentladungsbildschirme bereitzustellen, das eine Massenproduktion betriebszuverlässiger Gasentladungsbildschirme unter wesentlich herabgesetztem Aufwand gestattet, indem verhindert wird, daß sich der Betriebsspielraum des Gasentladungsbildschirms bei Endprüfung oder Betrieb auflöst und bei dem gewährleistet ist, daß zeitaufwendige Verfahrensschritt· bei Herstellung in ihrer Zeitdauer beträchtlich reduziert werden.

Erfindungsgemäß wird diese Aufgabe gelöst, wie es dem I Kennzeichen des Patentanspruchs 1 zu entnehmen ist.

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jGemäß vorliegender Erfindung also wird die Magnesiumoxid-Überzugsschicht auf ein auf eine Temperatur zwischen 200 ⁰C bis 400 °C aufgeheiztes, alt einer dielektrischen Schicht bedecktes Substrat aufgebracht. Bei einem derartigen Aufbringungsvorgang des Magneeiumoxidfilms wird der poröse und unter erheblichen Spannungen stehende Oberzug, wie er sich bei Anwendung bisheriger Verfahren ergeben hat, in einen dichten und spannungsfreien Film umgewandelt.

Der Ausdruck Spannung, wie er hier verwendet wird, definiert die Bindungsspannung zwischen Magnesiumionen und Sauerstoffionen im Magnesiumoxid, unter der wirkung einer derartigen Spannung absorbiert nämlich Magnesiumoxid Wasser. Wird aber ein aufgeheiztes Substrat beim Aufbringen von'Magnesiumoxid verwendet, dann entwickelt eich ein extrem geringer Wasserdampfaatell im MgO, so daß der Film weniger reaktionsfreudig gegenüber Wasserdampf ist.

Bei Untersuchung des Betriebsspielraumes von Gaaentladungsbildschimen enthaltend derart behandelte Glassubstrate läßt Ki »7« OC*

jsich feststellen, daß die maximale Stutzspannung im wesentlichen konstant bleibt oder sogar leicht angehoben wird, wobei die minimale Stützspannung im wesentlichen ebenfalls ;konstant bleibt, so daß sowohl der statische als auch der j dynamische Betriebsspielraum des Gasentladungsbildschirms vor und nach der Behandlung gleich bleibt oder sogar noch erhöht wird. Ein gemäß dem Verfahren vorliegender Erfindung hergestellter Gasentladungsbildschirm erfordert eine Aufheizzeitdauer von 5 Stunden bei etwa 150 ⁰C im Vergleich zu einer üblichen AufheiζZeitdauer von 16 Stunden bei etwa 3OO ⁰C, so daß dank der Erfindung eine nicht unbeachtliche Herabsetzung des Aufwands bei Herstellung des Gasentladungsbildschirms zu erzielen ist. Hinzu kommt, daß die Einbrennzeitdauer gegenüber der bei bekannten Verfahren von 7 Stunden !bei 135 V auf 1 Stunde bei 135 V reduziert werden kann, so j daß sich auch hierdurch wiederum dank Anwendung des erf in- !dungsgemäßen Verfahrens eine nicht unbeträchtliche Zeitersparnis erzielen läßt.

Schließlich zeigt sich, daß Gasentladungsbildschirme, die unter Verwendung von erfindungsgemäß behandelten Glassubstraten hergestellt sind, einen stabilen Arbeitspunkt über längere Zeiträume beibehalten, so daß auch hierdurch Maßnahmen zur Justierung des Arbeitspunktes zur Kompensation von zu erwartenden,neben bereits vorhandenen Betriebsbedingungsänderungen entfallen können.

Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind den Unteransprüchen zu entnehmen.

Die Erfindung wird anschließend anhand einer Ausführungsbeispielsbeschreibung mit Hilfe der unten aufgeführten Zeichnungen näher erläutert.

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- 7 Es zeigen:

Fig. 1 eine schematische Querschnittszeichnung

eines Gasentladungsbildschirms unter Verwendung von erfindungsgemäe hergestellten : Glassubstraten,

Fig. 2 eine schematische Schnittansicht einer

Evakuierungskammer mit angeschlossenem Aufdampfsystem zum Niederschlag von

: Magnesiumoxid auf die jeweilige Oberfläche

^j des dielektrischen Oberzugs der Glassubstrate

Gemäß Fig. 1 besteht ein typischer Gasentladungsbildschirm aus einem Paar von Substraten 4 und 4', auf denen, orthogonal zueinander verlaufend, die parallelen Leitungszüge 6 und 6' aufgebracht sind. Auf die mit diesen elektrischen Leitungszügen versehenen Glassubstrate 4 und 4* werden dann dielektrische Schichten 8 und 8* aufgebracht» indem dielektrisches Material wie Bleiborosilikat-Glasfritte über die entsprechenden Oberflächen aufgesprüht wird, um dann die Fritte in einem Ofenzyklus aufzuschmelzen, so das sich ein homogener, im wesentlichen gleichförmiger, dielektrischer Film über der gesamten Substratoberfläche ausbildet und ^die elektrischen Leitungszüge beim Zusammenbau des Gasentladungsbildschirms gegenüber dem Gasentladungsraum isoliert sind.

Bei normaler Betriebsweise eines Wechselstrom-betriebenen Gasentladungsbildschirms werden Schreibsignale an entsprechend auegewählte, orthogonal zueinander verlaufende Leitungszüge angelegt, so da£ die Gasstrecke zwischen diesen ausgewählten elektrischen Leitungszügen zur Lichtabgabe ionisiert wird. Diese Lichtemission wird nach Zünden durch die Schreibamplitude dank der stets an allen elektrischen Leitungszügen des Gasentladungebildschirms anliegenden Sttitz-

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Signale beibehalten, indem nämlich die Stützsignale in Form entsprechender Wechselspannung dauernd die Polarität ändern. Die hierdurch hervorgerufene Gasionisation hat zur Folge, daß die Ionen vom momentan negativen, elektrischen Leitungs-I zug und die Elektronen vom momentan positiven elektrischen i Leitungszug angezogen werden. Dies hat zur Folge, daß die I Ionen aufgrund ihrer größeren Masse eine Zerstäubung und da- i mit Zerstörung der dielektrischen Schicht herbeiführen können,j sowie sie auf ihre Oberfläche einfallen. Diese Erscheinung ist an sich bekannt.

Es ist weiterhin bekannt, sich gegen diese schädlichen Einwirkungen derart zu schützen, daß die dielektrische Schicht mit einem Alkalierdmetalloxid überzogen wird, so daß die Betriebsspannung von Gasentladungsbildschirmen hierdurch nicht\ unwesentlich herabgesetzt wird. Ein Sekundärelektronen-emittierendes Material, wie Magnesiumoxid, stellt ein äußerst widerstandsfähiges Material dar, das in der Lage ist, die Oberfläche der dielektrischen Schicht gegen Zerstäubung beim Ionenbombardement zu schützen, wobei gleichzeitig die Sekundäremissionseigenschaft die Betriebsspannung in zufriedenstellender Weise reduziert.

Es werden also Magnesiumoxidüberzüge 22 und 22* auf die Oberflächen der dielektrischen Schichten 8 und 8* aufgebracht. Mit Hilfe von Versiegelungsmaßnahmen 10, die aus zwischen den Glassubstraten an ihren Rändern angebrachten Versiegelungsglaswülsten 10 bestehen können, werden die beiden Substrate im gegenseitigen Abstand voneinander gehalten. Mittels während des Versiegelungsverfahrensschrittes auf dem oberen Substrat 4' aufliegenden Gewichten wird das Zusammenschmelzen beider Glassubstrate begünstigt, wenn das Versiegelungsglas 10 während eines erneuten Ofenzykluses auf die entsprechende Temperatur aufgeheizt wird. Falls erforderlich, lassen sich noch Abstandsstäbchen zwischen den Glassubstraten anbringen, um einen gleichmäßigen Entladungsabstand in der so gebildeten Gasentladungskammer zu gewährleisten.

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Anschliefiend wird eine öffnung 14 durch das obere Glassubstrat eingebohrt, um hier einen Füllstutzen 16 anzulöten, über den der Gasentladungsraum evakuiert und mit Ionisationsgas aufgefüllt wird. Hierzu dient, wie allgemein üblich, eine 'Penninggasmischung, bestehend aus Neon mit 0,1 % Argon, unter einen Druck zwischen 350 bis 500 Torr. Nachdem also i der oben beschriebene Aufheizzyklus abgeschlossen ist, wird ;der Gasentladungsbildschirm mit dem Ionisationsgas gefüllt j und die öffnung 14 verschlossen, indem der Füllstutzen 16 I abgeschmolzen wird.

i :

Das in Flg. 2 gezeigte System zum Auftragen des Magnesium-'oxidüberzuges auf ein geheiztes Substrat besteht aus einer I Evakuierungskammer 25 in der die Magnesiumoxidbeschichtungen ' während des Evakuierungsvorganges stattfinden. Innerhalb der jEvakuierungskanmer 25 befindet sich ein Kupferschiffchen 24, j in das Klumpen von Magnesiumoxideinzelkristallen als Quelle 26 eingebracht werden. Ein Wolframheizfaden 28 in der Schiff-Ϊ chenwandung ist an eine elektrische Stromquelle zur Aufheizung l des Heizfadens 28 angeschlossen. Die vom Heizfaden 28 emit- ' tierten Elektronen werden unter der Wirkung eines Magneten !M längs des angedeuteten Pfades 32 auf die Quelle 26 des !Schiffchens 24 geführt, so daß hierdurch das Magnesiumoxid I aufgeheist wird.

Eine X-Y-Strahlverlagerungseteuerungseinheit 31 gestattet longgitudinale Strahlpositionierung und automatische Steuerung von sowohl longitudinaier als auch lateraler Elektronenstrahl Verlagerung, so daß ein weiter Oberflächenbereich der Quelle 26 gleichförmig aufgeheizt werden kann. Eine Blendenvorrichtung 38 ist vorgesehen, so daß die Quelle 26 das Substrat 4 mit den elektrischen Leitung«augsmueter 6 und der darüberllegenden dielektrischen Schicht 8 gleichmäßig mit einer Magnesiueexidsohicht 22 Überziehen kann, deren Material ja von dieser Quelle 3$ ttpsflifc.Das Auftragen des Magnesiumoxidüberzuge 22 auf die dielektrische Schicht 8 wird durch

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öffnen der Blende 38 beim Verdampfungs Vorgang des gewünschten Betrags von MgO eingeleitet. Die Magnesiumoxidquelle 26 wird dabei, wie gesagt durch Elektronen, die vom Heizfaden 28 ausgehen, bombardiert. Während des Magnesiumoxidschichtniederschlags wird die Dicke der niedergeschlagenen Schicht 22 mittels eines Detektors 42 überwacht, wobei die Heizvorrichtung 48 das Substrat 4, auf dem gewünschten Temperaturwert zwischen 200 bis 400 ⁰C hält.

Eine zweite Blende 39 ist außerdem im Niederschlagspfad zwischen Quelle 26 und Substrat 4 angeordnet. Sie versperrt den Aufdampfungspfad bis die Materialquelle 26 in einen gleichförmigen Verdampfungszustand gelangt. Nach Erreichen dieses Zustandes öffnet dann die zweite Blende 39 den Aufdampfungspfad zwischen Verdampfungsquelle 26 und Substrat 4. An sich könnte die Magnesiumoxidschicht in einer Dicke zwischen 100 und 10 000 8 aufgetragen werden; die bevorzugte Dicke zum Erreichen niedriger Betriebsspannungswerte und zufriedenstellender Widerstandsfähigkeit liegt jedoch zwischen 2000 und 4000 R, wobei eine zweckmäßige Niederschlagsrate zwischen 1300 bis 1500 S/min bei Hochvakuum von 1O~ Torr liegt.

Aus obenstehender Beschreibung ergibt sich, daß der hauptsächliche Unterschied vorliegender Erfindung zu bekannten Herstellungsverfahren darin zu sehen ist, daß der Niederschlag des Magnesiumoxidüberzugs auf das aufgeheizte Substrat in einem speziell festgelegten Temperaturbereich stattfindet, anstatt wie sonst üblich, bei Raumtemperatur (etwa 40 ⁰C).

Es läßt sich zeigen, daß erhebliche Unterschiede bei Endprüfung und bei den elektrischen Parametern eines fertiggestellten Gasentladungsbildschirms auftreten. Nach Herstellen der Substrate in oben beschriebener Weise, ist es üblich, vor Gaseinfüllung in den GasentladungsbiIdschirm einen Aufheizzyklus anzuwenden, um Verunreinigungen und Restgase aus der

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Oberfläche des MgO-Uberzugs abzuziehen. Hierzu werden die Substrate versiegelt, der hierbei gebildete Gasentladungsraum evakuiert und dann mit der zuvor erwähnten Penninggasmischung aufgefüllt. Der mit dem üblichen Herstellungsvorgang verbundene Aufheizzyklus macht es erforderlich, daß der Gasentladung8bild8chirm auf einer Temperatur von 300 ⁰C ;eine Zeitdauer von 5 h gehalten wird, wobei dann die Gesamtzeitdauer einschließlich Temperaturerhöhung und -erniedrigung insgesamt 16 h für einen Gasentladungsbildschirm beträgt.

Gasentladungsbildschirme, die unter Verwendung erfindungs-I gemäß hergestellter Glassubstrate zusammengebaut sind, erforder demgegenüber einen Aufheizzyklus bei etwa der j Hälfte der Temperatur, nämlich bei 150 ⁰C für 5 h, gegenüber !300 ⁰C für 16 h bei üblicher Herstellung von Gasentladungsbildschirmen, so daß dank der Erfindung eine erhebliche Zeitaufwandsreduzierung zu verzeichnen ist. Hinzu kommt, daß Gas- :entladungebildschirme, die unter Anwenden der Lehren der Erfindung hergestellt sind, insofern eine nicht unerhebliche Verbesserung zeigen, als die Reproduzierbarkeit bei Betrieb ¹ in beträchtlichem Maße heraufgesetzt ist, so daß die Aus- :schußrate bei Endprüfung dank der Erfindung ebenfalls weeent-'lieh herabgesetzt wird.

Der Niederschlag von Magnesiumoxid bei den speziellen Temperaturwerten gemäß der Erfindung ruft eine stabile Oberfläche eines dichten und spannungsfreien Magnesiumoxidfilms hervor, la Gegensatz zum Magnesiumoxidfilm üblicher Verfahren, der eine poröse und unter Spannung stehende Struktur aufweist. Wie oben erwähnt, enthält ein bei normaler Raumtemperatur niedergeschlagener Magnesiumoxidfilm Wasseranteile, wohingeben bei Niederschlag auf einem aufgeheizten Substrat ein extrem geringer Wasserdampfanteil im niedergeschlagenen Magnesiumoxidfilm beibehalten bleibt.

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Ein gemäß der Erfindung hergestellter Gasentladungsbildschirm wird einem Einbrennzyklus unterworfen, um die Betriebs- !spannungen zu stabilisieren. Beim normalen Einbrennzyklus üblicher Gasentladungsbildschirme werden alle Gasentladungsstrecken im Gasentladungsbildschirm in den Entladungszustand bei einer Spannung von 135 V und einer Frequenz von 30 KHz der Stützwechselspannung für eine Zeitdauer von 7 Std. versetzt. Bei Gasentladungsbildschirmen, hingegen, die gemäß der Erfindung hergestellt sind, lässt sich die Einbrenndauer von 7 Std. auf 1 St. reduzieren, was damit zu einer weiteren Herabsetzung in der Herstellungszeit führt.

Der weitaus grüßte Vorteil bei Anwendung des erfindungsgemäßen Verfahrens besteht wahrscheinlich darin, daß der Betriebsspielraum des fertiggestellten Gasentladungsbildschirms in vorteilhafterweise beibehalten bleibt. Unter Betriebsspielraum wird dabei die Differenz zwischen maximaler und minimaler Stützspannung für die einzelnen Leitungszüge verstanden. Der dynamische Betriebsspielraum hingegen bezieht sich auf die entsprechenden Werte für die Schreib- oder Löschsignale. Typische Betriebswerte für einen Gasentladungsbildschirm sind 90 V für die maximale Stützspannung V_gmax und 80 V für die minimale Stützspannung V__m. , so daß sich also ein Betriebsspielraum von D nun

10 V ergibt und der Arbeitspunkt auf irgendeinen Wert zwischen V und V . zu liegen kommt. Bei üblichen Gasentladungsbildschirmen streben jedoch unter Test- und Betriebsbedingungen, die V_emax- und ^v _smj__n~^Werte danach zu konvergieren, indem dann hauptsächlich der Wert für V_emax verringert wird.

Eines der bei Gasentladungsbildschirmen angewendeten Untersuchungsverfahren besteht in der sogenannten "alternierenden Leitungszugsalterung", bei welchem alle ungeraden Leitungszüge, sowohl horizontale als auch vertikale, für eine

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Zeitdauer bis zu 400 h zur Bereitstellung des Ionisationszustandes angeregt werden. Diese Leitungszüge werden dann bei ^_9010x ^_8nI_n untersucht und mit den Werten aller gradzahligen Leitungszüge verglichen, wobei dann im allgemeinen eine Erniedrigung der maximalen Stützspannung und dementsprechend eine Herabsetzung des Betriebsspielraums zu verzeichnen ist. Bei Gasentladungsbildschirmen, die gemäß der Erfindung hergestellt sind, stellt sich heraus, das die maximale Stützspannung V_ff|Mtv nach wie vor die gleiche Spannung nach Abschluß der Untersuchung zeigt oder sogar einen geringfügig erhöhten Wert im Vergleich zum entsprechenden Wert vor der Untersuchung; der Wert für V_gjnin bleibt also konstant, so daß das "Fenster" oder der Betriebsspielraum insgesamt beibehalten bleibt, wenn nicht gar erhöht wird.

Bei konstantem Betriebsspielraum laßt sich der Arbeitspunkt der Gasentladungsbildschirme in einer stabilen Lage beibehalten, so daß dann dl· Erfassungsainrichtungen und nachgeordneten Schaltungen zur Änderung des Arbeitspunktes in Abhängigkeit von der Änderung der Stütsspannungswerte vollständig entfallen. Auf diese Weise ergibt sich, daß nicht nur eine größere Anzahl von Gasentladungsbildschirmen bei der Endprüfung den vorgeschriebenen Spezifikationen entsprechen, sondern daß auch die Lebensdauer derart hergestellter Gasentladungsbild schiene wesentlich erhöht wird, indem die normalerweise auftretende Konvergens oder Verschiebung der Stützspannungsparameter unter dem Einfluß des Alterns ausgeschaltet ist.

In einer großen Anzahl von Gasentladungsbildschirmen, die gemäß den Lehren der Erfindung hergestellt sind und anschließend bei Endprüfung unter Anwenden des alternierenden Leitungszugsalterungsverfahrens unterworfen gewesen sind, hat sich gezeigt, daß sieh der Betrlebssplelraum derartiger Gasentladungsbildschirme um wesentlich weniger als 1 V geändert «976 008 809819/0676

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hat. Es 1st welter festgestellt worden, daß sehr stabile
i und reproduzierbare Gasentladungsblldschlrme unter Anwenden
;des erflndungsgemäßen Verfahrens herzustellen sind) und zwar
aufgrund der Tatsache, daß der niedergeschlagene MgO-FlIm
unter gleichzeitiger Einwirkung einer hohen Substrattemperatur sehr dicht und bindungs-spannungsfrei ist. !

Ein zusätzlicher Vorteil bei Niederschlag des Magnesiumoxidfilijis unter erhöhter Temperatur ist darin zu sehen, daß die niedergeschlagene Schicht sehr stabil und beträchtlich weniger j reaktionsfreudig mit bei den Herstellungsprozessen des Gasent-| ladungsbiIdschirms auftretenden Umgebungsatmosphären ist. :

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Claims

PATENTANS PRt)CHE

Verfahren zur Herstellung eines Wechselstrom-betriebenen Gasentladungsbildschirms, bei dem die auf den jeweiligen Glassubstraten angebrachten elektrischen Leitungszüge mit dielektrischen Schichten überzogen werden, deren Oberflächen hinwiederum durch Magnesiumoxidüberzüge bedeckt werden, dadurch gekennzeichnet, daß nach Aufbringen der dielektrischen Schicht über die auf den Glassubstraten angebrachten Leitungszüge das jeweilige Glassubstrat auf eine Temperatur zwischen etwa 200 ⁰C und 400 ⁰C aufgeheizt wird, um dann anschließend den Magnesiumoxidüberzug auf die aufgeheizte Oberfläche der dielektrischen Schicht niederzuschlagen.

Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnesiumoxidüberzug auf eine durch Aufsprühen mit anschließendem Wiederaufschmelzen aufgebrachte Glasfritte ale dielektrische Schicht aufgetragen wird.

Verfahren nach den Ansprüchen 1 und 2, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufheizen der beschichteten Glassubstrate in einer evakuierten Kammer erfolgt, um die hierin enthaltenen Verunreinigungen nach Aufschmelzen und Abkühlen der aufgetragenen dielektrischen Schicht abzuziehen.

4. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß der Magnesiuaoxidüberzug auf das aufgeheiste Glaasubstrat durch Aufdampfen in einer evakuierten Knwer erfolgt.

5. Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß ein unter Verwendung derart KI 976 008 00 ge 1 Q / Q 6 71

ORIGINAL INSPECTED

beschichteter Glassubstrate aufgebauter Gasentladungsbildschirm nach Fertigstellung und Gaseinfüllung einem weiteren AufheiζVorgang unterzogen wird.

Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet/ daß der statische Betriebsspielraum nach dem letztgenannten AufheiζVorgang festgelegt wird.

Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß nach dem letztgenannten Aufheizvorgang der dynamische BetriebsSpielraum erfaßt wird.

Verfahren nach den Ansprüchen 1 bis Ί, dadurch gekennzeichnet, daß der Gasentladungsbildschirm in einem AlterungsVerfahrensschritt mit Treibersignalen gespeist wird/ bis die Betriebsspannungen sich asymptotisch ihrem Minimalwert genähert haben.

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