DE2733304C2

DE2733304C2 - Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes aus zwei Ferritblöcken

Info

Publication number: DE2733304C2
Application number: DE19772733304
Authority: DE
Inventors: Kenichi Katano Fujimura; Tetsuo Hirakata Hino; Hyogo Neyagawa Hirohata; Tatsuro Kyoto Kikuchi
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1976-07-23
Filing date: 1977-07-21
Publication date: 1984-12-20
Also published as: JPS5312740A; FR2359195B1; JPS5440381B2; FR2359195A1; DE2733304A1

Description

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes aus zwei Ferritblöcken, bei dem zung unterzogen und die beiden Ferritblöcke dann ι ο zunächst eine Oberfläche jedes Ferritblocks geschliffen

mit den bearbeiteten Oberflächen einander zugewandt verbunden werden, dadurch gekennzeichnet, daß die Ätzung der Oberfläche durch elektrolytisches Ätzen in einem elektrolytischen Ätzmittel zum Entfernen der mechanisch verformten Schicht ohne Aufrauhung der Oberfläche des Ferritblocks durchgeführt wird.

2. Verfahren nach Anspruch 1. gekennzeichnet durch die Verwendung des elektrolytischen Ätzmitwird, wobei eine mechanisch verformte Schicht auf jeder geschliffenen Oberfläche gebildet wird, und bei dem die geschliffene Oberfläche jedes Ferritblockes einer Atzung unterzogen und die beiden Ferritblöcke dann mit den bearbeiteten Oberflächen einander zugewandt verbunden werden.

Wenn Ferritmateriaüen zur Bildung z. B. eines Magnetkopfes maschinell bearbeitet werden, werden auf den Ferritmateriaüen durch die Bearbeitung venorime

tels. das Schwefelsäure als einen Hauptbeslandteil 20 Schichten gebildet. Es ist bekannt, daß diese verformten und Wasser in einem solchen Anteil enthält, daß das Schichten die magnetischen Eigenschaften des erhalie-

nen Magnetkopfes sehr nachteilig beeinflussen. Bei einem bekannten Verfahren der eingangs er-

Gewichtsverhältnis von Schwefelsäure zu Wasser zwischen 9 :1 und 2 :1 beträgt.
3. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet wähnten Art (DE-AS 17 74 321) wurden die bearbeite-

durch die Verwendung des elektrolytischen Ätzmit- 25 ten Oberflächen der Ferritblöcke zur Erzielung genauer

tels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure und Wasser besteht.

4. Verfahren nach Anspruch 1. gekennzeichnet durch die Verwendung des eleklrolytischen Ätzmit-Abmessungen im Bereich des Nutzspaltes chemisch geätzt Mit solchen chemischen Ätzungen wird üblicherweise unter Verwendung von z. B. Phosphorsäure und Chromsäureanhydrid versucht, die mechanisch ver-

tels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure, Wasser jo formten Schichten der Oberflächen zu entfernen. Die und nicht menr als 53 Gew.-% Phosphorsäure be- Ferritoberfläche, die chemisch geätzt worden ist, ist jedoch verhältnismäßig rauh und wird in dem Maße rauher, in dem der Ätzgrad bzw. das Ätzausmaß zunimmt.

was zu einer starken Verschlechterung der erhaltenen

steht.

5. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet
durch die Verwendung des elck.' olytischen Ätzmittels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure, Wasser 35 magnetischen Eigenschaften führt.

und nicht mehr als 35 Gcw.-% Glykolsäurc besteht. Daher konnten die mechanisch verformten Schichten

6. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet auf den Ferritmaterialien nach der bisherigen Technik durch die Verwendung des elektrolytischen Ätzmit- nicht in geeigneter Weise entfernt werden.

tels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure. Wasser Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ver-

und nicht mehr als 7 Gew.-% Chlorwasserstoffsäure 40 fahren gemäß der eingangs erwähnten Art zur Verfübesteht. gung zu stellen, mit dem auch bei großem Ätzausmaß

glatte Oberflächen der Ferritblöcke erzielbar sind.

Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß die Ätzung der Oberfläche durch elektrolytisches Ätzen in einem clektrolyiischen Ätzmittel zum Entfernen der mechanisch verformten Schichten ohne Aufrau-

7. Verwendung nach Anspruch 1. gekennzeichnet durch die Verwendung des elektrolytischen Ätzmittels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure, Wasser und nicht mehr als 67 Gew.-% Essigsäure besteht.

8. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung des elektrolytischen Ätzmittels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure, Wasser und maximal 2 Gew.-% Oxalsäure besteht.

hung
wird.

der Oberfläche des Ferritblocks durchgeführt

Elektrolytisches Ätzen ist an sich bekannt (DDR-PS

9. Verfahren nach Anspruch 1. gekennzeichnet 50 72 197). jedoch nicht die Verwendung der clektrolytidurch die Verwendung des elektrolytischen Ätzmit- sehen Ätzung zum Ätzen von Ferriten von Magnetköptels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure, Wasser
und maximal 5 Gew.-% Weinsäure besteht.

10. Verfahren nach Anspruch I, gekennzeichnet durch die Verwendung des elektrolytischen Ätzmittels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure, Wasser und maximal 20 Gew.-% Salpetersäure besteht.

11. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung des elektrolytischen Ätzmittels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure, Wasser M) und maximal 33 Gew.-% Perchlorsäure besteht.

12. Verfahren nach Anspruch 1, gekennzeichnet durch die Verwendung des clektrolyiischen Ätzmittels, das im wesentlichen aus Schwefelsäure, Wasser und maximal 54 Gcw.-% Ameisensäure besieht. M

13. Verfahren nach Anspruch I, gekennzeichnet durch die Verwendung des elektrolytischcn Ätzmittels, das V_b bis 3 Gewichlslcile. bezogen auf einen

Vorteilhafte Weiterbildungen des erfindungsgemäßen Verfahrens sind in den Unteransprüchen beschrieben.

Mit dem erfindungsgemäßen Verfahren können auch bei großem Ätzausmaß einwandfreie glatte Oberflächen der Ferritblöcke erzielt und damit die magnetischen Eigenschaften in der erhaltenen Qualität aufrechterhalten werden.

Vorteilhafterweise wird ein elektrolytisches Ätzmittel verwendet, das Schwefelsäure als einen Hauptbestandteil und Wasser in einem solchen Anteil enthält, daß das Gewichlsvcrhilllnis von Schwefelsäure zu Wasser zwischen 9 :1 und 2 : I beträgt. Durch das Älzmitlcl kann der Ferrit unter Bildung einer glätten Oberfläche geätzt werden, und daher kann der Ferrit bis zu einer genauen Abmessung geätzt werden.

Das Ätzmittel kann im wesentlichen aus Schwefelsäure und Wasser bestehen. Es ist auch möglich, daß das Ätzmittel außerdem eine weitere Säure enthält. Dementsprechend kann das Ätzmittel im wesentlichen aus Schwefelsäure, Wasser und maximal 53Gew.-% Phosphorsäure oder maxims! 35 Gew.-% Glykolsäure oder maximale 7 Gew.-% Chlorwasserstoffsäure oder maximal 67 Gew.-% Essigsäure oder maximal 2 Gew.-% Oxalsäure oder maximal 5 Gew.-% Weinsäure oder maximal 20 Gew.-% Salpetersäure oder maximal 35Gew.-% Perchlorsäure oder maximal 54 Gew.-% Ameisensäure bestehen.

Bei solchen Ätzmitteln kann die Schwefelsäure im allgemejnen das Ätzabdeckmitte! beschädigen. Wenn solche Ätzmittel gemeinsam mit Ätzabdeckmitteln verwendet werden sollen, ist es vorteilhaft, wenn in jedem Ätzmittel ¹A, bis 3 Gewichtsteile, bezogen auf einen Gewichtsteil Schwefelsäure, eines Zusatzes enthalten sind, der aus Glycerin, Athylenglykol, Dioxan und Triäthylcntetramin gewählt worden ist.

Das erfindungsgemäüe Verfahren wird nun anhand der Zeichnungen im einzelnen erläutert. Ir« letzteren sind

F i g. l(a), l(b) und l(c) perspektivische Darstellungen von Ferritblöcken, wie sie beim erfindungsgemäßen Verfahren verwendet werden,

F i g. 2 ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der angelegten Spannung zum elektrolytischen Ätzen und der Anodenstromdichte für mehrere Ätzmittel zeigt.

F i g. 3 ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der angelegten Spannung zum elektrolytischen Ätzen und der Anodenstromdichte für mehrere Ätzmittel zeigt,

F i g. 4 und 5 Querschnittsansichten von Ferriten, die mit Ätzabdeckmitteln beschichtet und dann der elektrolytischen Ätzung mit verschiedenen Ätzmitteln unterworfen worden sind,

F i g. 6 eine Kurve, die den Unterschied der Oberflächcnrauheit des Ferrits vor und nach dem elektrolytischen Ätzen schematisch darstellt und

F i g. 7 ein Diagramm, das die Beziehung zwischen der magnetischen Permeabilität eines Ferrits und des Ätzausmaßes zeigt.

Nachfolgend wird ein Beispiel der Durchführung des Verfahrens zur Herstellung eines Magnetkopfes aus zwei Ferritblöcken unter Verwendung eines elektrolytischen Ätzmittels erläutert.

Ein Paar von magnetischen Ferritblöcken 1 und V gemäß der Fig. 1(a) wird hergestellt. Mindestens einer der beiden Ferritblöcke (in diesem Fall der Fsrritblock 1) hat eine Rille 2 für ein Magnetkernfenster und einen geschnittenen bzw. geschaffenen Teil 3, der der Erhöhung der mechanischen Festigkeit des erhaltenen Magnetkopfes dient. Wie in der Fig. l(b) dargestellt ist, sind die beiden Firritblöcke unter Bildung eines Magnetspalts 4 miteinander vereinigt und durch ein G!as miteinander verbunden. Die so verbundene Blockeinheit wird zu einem Magnetkopfkern 6 zugeschnitten, wie in der F i g. 1(c) dargestellt ist. Nachdem der Kern 6 zu einer bestimmten Form geformt worden ist, wird eine Spule um den Magnetkern 6 durch das Magnetkernfenster 7 gewickelt

Bei der Herstellung eines Magnetkopfes werden die Ferritblöcke verschiedenen mechanischen Bearbeitungen, wie /.. I). Schneiden und Schleifen, unterworfen. Durch solche Bearbeitungen werden deformierte Schichten und Restdebnung (innere Dehnung) bei den Ferritblöcken gebildet. Wenn die Wellenlange des Signals, das auf einem Magnetband aufgezeichnet werden soll, relativ lang ist, kann der Einfluß von solchen deformierten Schichten oder dergleichen vernachlässigt werden. Wenn jedoch die Wellenlänge des aufzuzeichnenden Signals kurz ist, wie z. B. 1 Mikron, muß der Magnetspalt eine schmale Spaltbreite, wie z. B. von wenigen zehntel Mikron, haben, und in einem solchen Fail beeinträchtigen die durch die maschinelle Bearbeitung gebildeten deformierten Schichten oder dergleichen nachteilig die magnetischen Eigenschaften des magnetisehen Ferrits. Auch wenn die Spurbreite schmal sein soll, wie z. B. 10 Mikron, z. B. zur Erhöhung der auf einem Magnetband aufgezeichneten Signaldichte, muß die Magnetspaltlänge kurz sein und ist in einem solchen Fall die Beeinträchtigung der magnetischen Eigenschaften aufgrund maschineller Bearbeitungen schwerwiegend.

Herkömmlicherweise wird versuc'nt die verformten Schichten durch chemisches Ätzen zu entfernen und wird der Ferrit geglüht, um die Restspannung zu entfer-

nen. Das chemische Ätzen macht jecv. :h die Ferritoberfiäche rauh. Wenn z. B. ein poiykristaifin?r Mn-Zn-Ferrit unter Verwendung einer Diamantpaste und einer Zinndrehscheibe geschliffen wird, um versuchsweise eine Spiegeloberfläche zu bilden, wird auf der Ferritoberfläche rine verformte Schicht mit einer Dicke von 0,2 bis 03 Mikron gebildet. Wenn die verformte Schicht unter Benutzung eines chemischen Ätzmittels, wie z. B. Salzsäure, chemisch geätzt wird, hat die geätzte Oberfläche im allgemeinen eine Rauheit, die dem Grad des Ätzens entspricht (der Tiefe der geätzten Oberfläche im Vergleich zu dem Niveau der Oberfläche vor dem Ätzen). Daher kann die deformierte Schicht nicht durch chemisches Ätzen entfernt werden ohne Beeinträchtigung der Spiegeloberfläche des Ferrits, wenn nicht die Dicke der

J5 deformierten Schicht sehr gering ist. Außerdem führt das Glühen des Ferrits im allgemeinen zu einer Oxidation oder Reduktion der Ferritoberfläche, und zwar je nach der Temperatur und der Atmosphäre, wodurch der Ferrit thermisch geätzt wird und eine rauhe Oberfläche erhält.

Das Ätzen unter Verwendung von elektrolytischen Ätzmitteln (elektrisches Ätzen) kann in wirksamer Weise die verformte Schicht entfernen, wobei die Oberfläche des Ferrits glatt bleibt im Gegensatz zu dem Fall des

chemischen Ätzens. Das elektrolytische Ätzen wird vorzugsweise unter Anwendung einer Ätzmitteltemperatur unter 60° C (noch vorteilhafter von 0 bis 30° C) und unter Anlegung einer Spannung von nicht weniger als 5 V (noch vorteilhafter zwischen 5 und 25 V) durchgeführt.

Es wird hier davon ausgegangen, daß jede für die elektrolytischen Ätzmittel verwendete Säure rein ist. Das heißt, in der Praxis bt z. B. wasserfreie reine Schwefelsäure nicht erhältlich. Die wäßrige Schwefelsäurelösung, die tatsächlich benutzt wird, enthält 5 Gew.-°/o Wasser. Daher wird hier diese wäßrige Schv/efelsäurelösung in der Weise berücksichtigt, daß sie aus 95Gew.-% Schwefelsäure und 5Gew.-% Wasser besteht. Diese Art Hes Bemessene der Säureanteile wird auch auf die anderen Säuren angewendet. Außerdem

bo wird hier die Kombination von Wasser von einer oder mehreren der Säuren als elektronische Flüssigkeit bezeichnet. Dieses dient der Unterscheidung der elektrolytischen Flüssigkeit von dem Zusatz, wie nachfolgend erläutert wird.

b5 Wenn das elektronische Ätzmittel einen Zusatz, der aus Glycerin, Athylenglykol, Dioxan und Triäthylentetramin gewählt worden ist, außer der elektrolytischen Flüssigkeit in einer solchen Menge enthält, daß der Zu-

satz V₆ bis 3 Gewichtsteile, bezogen auf einen Gewichtsteil Schwefelsäure ausmacht, kann das Atzabdeckmittel (falls es verwendet wird) vor einer Beschädigung durch die Schwefelsäure geschützt werden.

Versuche sind wie folgt durchgeführt worden. Verschiedene Ätzmittel wurden hergestellt. Ein Ferrit (beispielsweise Mangan-Zink-Ferrit oder Nickcl-Zink-Ferrit), der mit einem Ätzabdeckmittcl teilweise beschichtet worden war, wurde in eines der bei Raumtemperatur gehaltenen Ätzmittel gebracht. Dann wurde das clcktrolytische Ätzen durch Anlegen einer geeigneten Gleichspannung zwischen dem Ferrit als Anode und einer korrosionsfesten Stahlplatte als Kathode durchgeführt. Nach dem elektrolytischcn Ätzen wurde der geätzte Ferrit geprüft, um die Ätzgeschwindigkeit, die Rauheit der erhaltenen geätzten Ferritoberfläche und die Beständigkeit des Ätzabdeckmittels festzustellen.

Solche Versuche wurden außerdem unter entspre-

durchgeführt. Die Tabelle 1 zeigt typische Ergebnisse dieser Versuche. Die Tabelle 2 zeigt zum Vergleich typische Ergebnisse, die beim chemischen Ätzen erhalten worden sind, das unter Benutzung von Salzsäure als chemisches Ätzmittel durchgeführt worden ist.

Aufgrund der Ergebnisse, die bei den obigen Versuchen erhalten worden sind, von denen typische Beispiele in der Tabelle 1 gezeigt werden, wurde gefunden, daß das Vorhandensein von Schwefelsäure in einem geeigneten Anteil in dem elektrolytischen Ätzmittel in wirksamer Weise die Ffrritoberfläche davor schützen kann, daß sie rauh geätzt wird. Wenn das Gewichtsverhältnis von Schwefelsäure zu Wasser größer als 9 :1 ist, wird die Ätzgeschwindigkeit unerwünscht niedrig. Wenn andererseits das Gewichtsverhältnis von Schwefelsäure zu Wasser kleiner als 2 :1 ist, wird die erhaltene Oberfläche des geätzten Ferrits unerwünscht rauh. Es ist ferner σρίιιηΗρη wnrH^n HaR Λακ VnrhanHnncj>in nin/»c eajkiolösung (enthaltend 60 Gew.-% Perchlorsäure) besieht, die zwischen der Anode und der Kathode angelegte Spannung 8 V beträgt, die Anodenstromdichte 50 inA/ cm^; beträgt und die Ätzmitleltemperatur 20°C ist. Die Kurve Cgibt den Fall wieder, in dem das Ätzmittel nur aus einer wäßrigen Phosphorsäurclösung (enthaltend 85Gew.-% Phosphorsäure) besteht, die angelegte Spannung 3 V ist, die Anodenstromdichte 40 bis 60 mA/ cm² beträgt und die Ätztemperatur 20°C ist. Die Kurve

to D gibt den Fall wieder, in dem das Ätzmittel nur aus einer wäßrigen Pcrchlorsäurelösung (enthaltend 60 Gew.-% Perchlorsäure) besteht, die angelegte Spannung 3 V ist, die Anodenstromdichte 50 bis 70 mA/cm¹ beträgt und die Ätzmitteltemperatur 20⁰C ist.

Demgegenüber stellt die Kurve Eden Fall dar, in dem das Ergebnis unter Anwendung chemischer Ätztechnik erhalten wird und das Ätzmittel 10 Mol/l Salzsäure enthält. Wie der F i g. 2 zu entnehmen ist, führt das clektro-Iytische Äizen unier Benützung eines Äizümieis, das eine wirksame Menge Schwefelsäure enthält, zu einer sehr glatten geätzten Ferritoberfläche, und zwar ohne Rücksicht auf das Ausmaß des Ätzens.

Die F i g. 3 zeigt die Beziehung zwischen der angelegten Spannung und der Anodenstromdichte für vier Ar-

ten von Ätzmitteln. Die Kurve Fgibt den Fall wieder, in dem das Ätzmittel nur aus einer wäßrigen Phosphorsäurelösung (enthaltend 85Gcw.-% Phosphorsäure) besteht. Diι Kurve C gibt den Fall wieder, in dem das Ätzmittel nur aus einer wäßrigen Perchlorsäurelösung

jo (enthaltend 60Gew.-% Perchlorsäure) besteht. Die Kurve H gibt den Fall wieder, in dem das Ätzmittel aus 50 Vol.-% wäßriger Schwefelsäurelösung (enthaltend 95Gcw.-% Schwefelsäure) und 50Vol.-% wäßriger Phosphorsäurclösung (enthaltend 85 Gew.-%

J5 Phosphorsäure) besteht. Die Kurve /gibt den Fall wieder, in dem das Ätzmittel aus 50 Vol.-% wäßriger

SUn** /AnlhaltAnrt 95 GcW.-

neten Zusatzes, wie z. B. von Glycerin, in einer geeigneten Menge wirksam verhindern kann, daß das Ätzabdeckmittel durch die Schwefelsäure in dem Ätzmittel beschädigt wird. Wenn das Gewichtsverhältnis von dem Zusatz zu der Schwefelsäure größer als 3 :1 ist, ist die Ätzgeschwindigkeit unerwünscht langsam. Wenn andererseits das Gewichtsverhältnis von dem Zusatz zu der Schwefelsäure kleiner als I : 6 ist, ist der Effekt der Zugabe des Zusatzes schwach.

Die Oberfläche des erhaltenen geätzten Ferrits unter Benutzung des Ätzmittels mit oder ohne Zusatz ist sehr glatt und glänzend. Demgegenüber ist die unter Verwendung eines chemischen Ätzmittels, wie z. B. Salzsäure, erhaltene geätzte Ferritoberfläche ungeachtet der Ätzgeschwindigkeit sehr rauh, wie in der Tabelle 2 gezeigt ist.

Die Fig.2 zeigt die Beziehung zwischen dem Ausmaß des Ätzens und der erhaltenen Oberflächenrauheit eines Ferrits. Die Kurven .4 bis D geben die Ergebnisse wieder, die bei Anwendung elektrolytischer Ätztechniken erhalten worden sind. Die Kurve A gibt den Fall wieder, in dem das Ätzmittel aus 50 Vol.-% wäßriger Schwefelsäurelösung (enthaltend 95 Gew.-% Schwefelsäure) und 50Vol.-% wäßriger Phosphorsäurelösung (enthaltend 85Gew.-% Phosphorsäure) besteht, die zwischen der Anode und der Kathode angelegte Spannung 10 V ist. die Anoden-(Ferrit)-Stromdichte 50 bis 70 mA/cm² beträgt und die Ätzmittellempcratur 20° C ist. Die Kurve ßgibt den Fall wieder, in dem das Ätzmittel aus 50 Vol.-% Schwefelsäure (enthaltend 95 Gew.-% Schwefelsäure) und 50 Vol.-% wäßriger Perchlorsäuresäure) und 50 Vol.-% wäßriger Perchlorsäurelösung (enthaltend 60 Gew.-% Perchlorsäure) besteht. Die Ätzmittellösung hat in jedem Fall eine Temperatur von 20 bis25^t>C.

Wie der F i g. 3 zu entnehmen ist, sind in dem Fall der Kurven H und /, bei denen Schwefelsäure verwendet wird, die Kurven nicht gleichförmig. Das elcktrolytischc

4S Ätzen findet effektiv statt, wenn die angelegte Spannung den ersten Spitzenpunkt überschreitet. Das heißt, in dem Fall der Kurve H ist es erforderlich, daß die angelegte Spannung nicht unter 6 V liegt, während im Fall der Kurve /die angelegte Spannung nicht unter 4 V

so liegen sollte, um als Ergebnis eine glatte und glänzende geätzte Oberfläche von Ferriten zu erhalten.

Die F i g. 4 und 5 zeigen die erhaltenen Ferritblöcke 8, die mit einem Photoabdeckmitte! 9 als Ätzabdeckmittel beschichtet sind, wobei ein unbeschichteter Teil mit einer Breite von 100 Mikron zurückgeblieben ist. und die dann dem elektrolytischen Ätzen unterworfen worden sind. Das in dem Fall der Fig. A benutzte Ätzmittel bestand aus 50 Vol.-% wäßriger Schwefelsäure (enthaltend 95 Gew.-% Schwefelsäure) und 50 Vol.-% wäßriger Phosphorsäure (enthaltend 85 Gew.-% Phosphorsäure). Das in dem Fall der Fig.5 benutzte Ätzmittel bestand aus einer elektrolytischen Flüssigkeit, die aus 50Vol.-% wäßriger Schwefelsäurelösung (enthaltend 95Gew.-% Schwefelsäure) und 50Vol.-% wäßriger Phosphorsäürelösüng (enthaltend 85Gew.-% Phosphorsäure) bestand, und einer Zusatzflüssigkeit die aus einem Volumenteil Glycerin bestand, bezogen auf einen Volumenteil der wäßrigen Schwefelsäurelösung.

Wie den Fig. 4 und 5 zu entnehmen ist, ist es erforderlich, daß das Ätzmittel einen Zusatz, wie z. B. Glycerin, enthält, wenn das Schwefelsäure enthaltende Ätzmittel zusammen mit einem Äizabdeckmiitcl benutzt wird (das hier benutzte Ätzabdeckmiucl wird nicht durch ein Ätzmittel beschädigt, das nur aus der wäßrigen Phosphorsäurelösung besteht), weil sonst das Ätzabdcckmittel durch das Ätzmittel beschädigt und dementsprechend der Einsatz des Ätzabdeckmittels unwirksam wäre.

Durch Verwendung des dargelegten elektrolytischen-Ätzmittels kann das Ferritmaterial in sehr geeigneter Weise geätzt werden, um die Oberflächenschicht davon zu entfernen (wie z. B. eine durch maschinelles Bearbeiten gebildete verformte Schicht), wobei eine glatte Oberfläche zurückbleibt, welche zu einer Wiederherstellung der dem Ferritmaterial eigenen magnetischen Eigenschaften führt, die durch die rauhe oder verformte Oberflächenschicht des magnetischen Ferritmaierials beeinträchtigt worden sein können.

F.s ist ferner außerdem ersichtlich, daß, wenn das Ätzmittel einen geeigneten Anteil von einem Zusatz, wie z. B. Glycerin, enthält, eine glatte geätzte Oberfläche auch in dem Fall eines mit einem Ätzabdcckmittel beschichteten Ferrit» erhalten werden kann, ohne daß das Ätzabdeckmittel beschädigt wird. Dieses zeigt, daß eine Fcinprofilicrung bzw. Feinformgebung (durch Schneiden, Gravieren usw.) eines Ferrits unter Anwendung elcktrolytischer Ätztechniken mit Hilfe eines Ätzabdeckmittels möglich ist. jo

Die F i g. 6 zeigt ein typisches Beispiel für die Oberfläche des Ferrits, der unter Anwendung eines Ätzausmaßes von 0,4 Mikron unter der durch die Kurve A in der F i g. 2 dargestellten Bedingung geätzt worden ist, im Vergleich zu der nicht geätzten Oberfläche. Der F i g. 6 u ist zu entnehmen, daß das bei dem Verfahren benutzte eiekiroiyiische Ätzmittel die Ferritoberiiäche nicht rauh macht.

Die Beziehung zwischen der Ätzmittelmenge und der Wiederherstellung der magnetischen Eigenschaften des Ferrits kann durch Testen y. B. der magnetischen Permeabilität (μ,,) eines aus Ferritmaterial bestehenden Ringkerns bestätigt werden. Die F i g. 7 zeigt die so erhaltenen Testergebnisse bei Benutzung eines Mn-Zn-Fcrrits (gemessen bei 1 MHz). Wie der Fig. 7 zu entnehmen ist, wird die magnetische Permeabilität in dem Maße wieder hergestellt, in dem das Ausmaß des Ätzens der deformierten Schichten zunimmt. Der Effekt des Ätzens wird schon bemerkenswert, wenn das Ätzausmaß einige wenige zehntel Mikron überschreitet, und wenn das Ätzausmaß ein Mikron überschreitet, wird die magnetische Eigenschaft vollkommen wieder hergestellt.

Das Ätzausmaß nimmt mit Erhöhung der zum elektrolytischen Ätzen verwendeten Stromdichte zu und außerdem mit Zunahme der Ätzdauer. Dementsprechend kann das Ätzausmaß durch die Ätzdauer und die Stromdichte eingestellt werden.

Das bei dem Verfahren eingesetzte beschriebene elektrolytische Ätzen ermöglicht, einem Magnetkopf ei- μ ne sehr genaue Form zu verleihen, auch wenn das Ätzausmaß bzw. der Ätzgrad groß ist, was mittels herkömmlicher chemischer Ätzmittel nicht möglich ist. Ferner können unerwünschte deformierte Schichten auf Ferritoberflächen leicht entfernt werden, wobei geätzte b5 Oberflächen hoher Glätte zurückbleiben. Außerdem kann mit dem Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes unter Anwendung elektrolytischer Ätztechniken ein ausgezeichneter Magnetkopf hergestellt werden, was aus Sicht der herkömmliche Ätzmittel verwendenden Technik überraschend ist.

Hierzu 4 Blatt Zeichnungen

Claims

Patentansprüche:

1. Verfahren zur Herstellung eines Magnetkopfes aus zwei Ferritblöcken, bei dem zunächst eine Oberfläche jedes Ferritblocks geschliffen wird, wobei eine mechanisch verformte Schicht auf jeder geschliffenen Oberfläche gebildet wird, und bei dem die geschliffene Oberfläche jedes Ferritblockes einer Äl-Gewichlsteil Schwefelsäure, eines Zusatzes enthält, der aus Glycerin, Äthylenglykol, Dioxan und Triäthylentetramin gewählt worden ist.