DE2729176A1 - Vorrichtung zum ziehen eines einkristalls aus einer schmelze - Google Patents
Vorrichtung zum ziehen eines einkristalls aus einer schmelzeInfo
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Description
VORRICHTUNG ZUM ZIEHEN EINES EINKRISTALLS AUS EINER SCHMELZE
Die Erfindung betrifft Vorrichtungen zum Ziehen eines Einkristalls aus einer Schmelze.
Es sind verschiedene Vorrichtungen zum Ziehen eines Einkristalls aus einer Schmelze des Stoffes, aus dem der Einkristall bestehen soll, bekannt. Die Vorrichtungen halten den
Keim an der Schmelzenoberfläche und ziehen ihn dann langsam nach oben aus der Schmelze heraus, wobei gleichzeitig eine
senkrechte Längsbewegung und eine Drehbewegung um die Zugachse erfolgt.
Nach dem Ziehen wird der gezogene Einkristall entweder durch eine beschleunigte senkrechte Längsbewegung von
der Schmelze getrennt, oder es kann auch wünschenswert sein, die Verbindung zwischen dem Einkristall und der Schmelze während
der Abkühlphase beizubehalten. Dies ist insbesondere dann vom
von
Zeitpunkt der Trennung ("eier Schmelze an im Einkristall seine
LaBt man aber Schmelze und Einkristall zusammen abkühlen, dann kommt es häufig wegen der Kontraktion der Schmelze
zu einem Brechen des Einkristalle, durch das es in der Masse des Kristalls zu Spaltungen kommt. Selbst wenn es nicht zu
einem Bruch kommt, ist der Einkristall während des Abkühlens
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mechanischen Kräften ausgesetzt, die beim Kristall zu Defekten führen, durch die die spätere Nutzung des Einkristalls in
Frage gestellt wird.
Mit der Erfindung soll eine Vorrichtung zum Ziehen eines Einkristalls geschaffen werden*, die die Nachteile der
bekannten Vorrichtungen nicht mehr aufweist, wobei jedoch der Einkristall mit der Schmelze während des Abkühlvorgangs in
Kontakt bleibt.
Gegenstand der Erfindung ist eine Vorrichtung zum Ziehen eines Einkristalls aus einer Schmelze mit einem Halter,
an dem ein Kristallkeim befestigt ist, sowie mit Mitteln, mit denen der Halter senkrecht aus der Schmelze gezogen wird,
dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Ziehen des Halters eine senkrecht über dem Halter angeordnete, die Ziehbewegung
aufprägende Zugstange, eine Feder, die mit einem ihrer Enden an der Zugstange und mit ihrem anderen Ende am Halter befestigt
ist und die Tendenz hat, den Halter gs gen einen Anschlag an der Zugstange hochzudrücken, sowie Schraubmittel zur Einstellung
der Federkompression aufweisen.
Nachfolgend wird die Erfindung unter Bezugnahme auf die beiliegenden zwei Figuren näher erläutert.
Fig. la zeigt im Teilschnitt die zugstange der Vorrichtung
und
Fig. Ib zeigt den den Keim tragenden Teil, der in die
Zugstange von unten einschiebbar ist.
Wie aus Fig. la ersichtlich, ist eine zylindrische Zugstange 1 senkrecht angeordnet. Diese Zugstange 1 weist einen
axialen zylindrischen Hohlraum 2 auf, der an seiner unteren
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Seite eine trichterförmige öffnung 3 besitzt. Auf der zylindrischen Oberfläche der Stange 1 sind zwei gegenüberliegende
Längsöffnungen 4 angeordnet, die in den Hohlraum 2 münden. Auf die Stange 1 ist ein gerändelter Schraubring geschraubt.
Dieser Ring kann durch Drehen um die Achse dieser Stange auf- und abwärts laufen. Um die Stange 1 herum ist eine Feder 6
gewickelt. Das untere Ende dieser Feder ruht über eine Scheibe
7 auf dem Ring 5. Ein durch den Hohlraum 2 und die öffnungen
4 verlaufender Stift 8 ruht horizontal auf einer Scheibe 9, die auf die Feder 6 von oben aufgelegt ist.
Fig. Ib zeigt eine senkrechte Führungsstange 10, die
über ein Seil 12, das aus mehreren Stahlfasern besteht, mit einem Halter 11 verbunden ist. Die Führungsstange 10 ist in
ihrem oberen Bereich mit einer Queröffnung 13 versehen. Der Halter 11 weist an seinem oberen Bereich einen Konus 14 auf,
dessen Form komplementär zur trichterförmigen öffnung 3 an der Unterseite der Stange 1 (Fig. la) ist. Am unteren Teil
des Halters 11 ist ein senkrechter Stab 15 angebracht, der eiKen Kristallkeim (nicht dargestellt) trägt.
Die in den Fig. la und Ib gezeigte Vorrichtung arbeitet
folgendermaßen t
Der Keim des herzustellenden Einkristalls wird starr am unteren Ende des senkrechten Stabs 15 auf bekannte Weise befestigt. Anschließend wird die Führungsstange 10 in den Hohlraum 2 eingeführt und der Stift 8 durch die öffnung 13 der
Stange 10 gesteckt, so daß die Stange 10 und der Halter 11 an der Scheibe 9 am oberen Ende der Feder 6 mit Hilfe des Stifts
8 aufgehängt sind.
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Anschließend wird der gerändelte Schraubring 5 auf der Stange 1 nach oben geschraubt. Die Feder 6, deren unteres
Ende auf dem Ring 5 ruht, wird auf diese Weise auf der Stange 1 nach oben verschoben, bis der Konus 14 mit der konischen
öffnung 3 in Berührung tritt. Wenn dann der Ring 5 noch ein wenig weiter geschraubt wird, so ist der Halter 11 an der
Unterseite der Stange 1 unter der elastischen Wirkung der Feder 6 blockiert.
Anschließend läßt man auf bekannte Weise die Stange 1 eine doppelte Bewegung, d.h. eine senkrechte Längsbewegung nach
oben entlang ihrer Achse und eine Rotationsbewegung um ihre Achse herum durchführen, wobei der Kristallkeim zu Beginn an
der Gleichgewichtsoberfläche einer Schmelze aus dem Material, aus dem der Einkristall hergestellt werden soll, gerade benetzt
wird.
Wenn die Länge des so aus der Schmelze gezogenen Einkristalls den gewünschten Wert erreicht, so unterbricht man
diese doppelte Bewegung und läßt das Ganze abkühlen. Zu diesem Zeitpunkt wird der Ring 5 ein wenig gelockert, so daß das untere
Ende der Feder 6 sich nach unten bewegt und der Konus 14 sich aus der konischen Öffnung 3 löst.
Der Einkristall wird dann immer noch von der Stange 1 getragen, jedoch kann er wegen der Feder leichte axiale Bewegungen
aufnehmen, und seine Achse kann im Verhältnis zur Stange 1 wegen des Seils 12 leicht hin und herschwingen.
Unter diesen Bedingungen kann der Halter 11 der Schrumpfung des Einkristalls und der Schmelze folgen, vor allem dann,
wenn diese Schrumpfungen in bezug auf die Achse der Vorrichtung
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unsymmetrisch erfolgen. Die Kontraktion des Einkristalls und
der Schmelze ruft ein Zusammendrücken der Feder 6 hervor. Die Elastizität der Feder 6 kann im voraus so bestimmt werden, daβ
selbst noch am Ende der Abkühlperiode die inneren mechanischen Spannungen im Einkristall niemals einen unzulänglich groSen
Wert erreichen. Es ist jedoch auch möglich, den Ring 5 bei fortschreitender Abkühlung langsam weiter loszuschrauben, um
die Kompression der Feder 6 weiter zu verringern.
Bei vollkommen erstarrter Schmelze kann der Ring 5 losgeschraubt und der Stift 8 herausgenommen werden. Dann wird
der Einkristall nur noch von der erstarrten Schmelze gehalten. Nach vollkommener Abkühlung wird der Einkristall von der Schmelze
auf bekannte Weise durch Sägen oder durch Einwirkenlassen einer seitlichen Kraft, durch die in Höhe der Kontaktfläche ein Bruch
hervorgerufen wird, gelöst.
Mit der oben beschriebenen und in den Fig. la und Ib
dargestellten Vorrichtung können Einkristalle hergestellt werden, bei denen beim Abkühlen der Einkristall mit der Schmelze in
Kontakt bleibt und dadurch Brüche, Abspaltungen oder andere Defekte vermieden werden, die bei bekannten Vorrichtungen oft
auftreten.
Die erfindungsgemäße Vorrichtung zum Ziehen eines Einkristalls kann z.B. zum Ziehen von Einkristallen aus Yttrium-Aluminium-Perovskit (γ Al 0-) eingesetzt werden.
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Le e
rs e i r e
Claims (1)
- Fo 10 511 DCOMPAGNIE GENERALE D*ELECTRICITE S.A. 54, rue La Boetie, 75382 PARIS CEDEX 08 FrankreichPATENTANSPRÜCHE1 - Vorrichtung zum Ziehen eines Einkristalls aus einer Schmelze mit einem Halter, an dem ein Kristallkeim befestigt ist, sowie mit Mitteln, mit denen der Halter senkrecht aus der Schmelze gezogen wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Mittel zum Ziehen des Halters (11) eine senkrecht über dem Halter angeordnete, die Ziehbewegung aufprägende Zugstange (1), eine Feder (6), die mit einem ihrer Enden an der Zugstange (1) und mit ihrem anderen Ende am Halter (11) befestigt ist, und die Tendenz hat, den Halter gegen einen Anschlag an der Zugstange hochzudrücken, sowie Schraubmittel (5) zur Einstellung der Federkompression aufweisen.2 - Vorrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Zugstange (1) einen axialen Hohlraum (2) aufweist, in den längliche öffnungen (4) münden, und daß die Feder (6) um die Zugstange (1) herumgewickelt ist, sich mit ihrem unteren Ende gegen die Schraubmittel abstützt und mit ihrem oberen Ende durch die öffnungen (4)hindurch mit einer im Hohlraum (2) laufenden Führungsstange (10) verbunden ist, an der der Halter (11) hängt.70 9883/0725ORIGINAL INSPECTED2729 1 7B3 - Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß/'Schraubmittel (5) als Schraubring ausgebildet sind, der auf einem Außengewinde der Stange (1) befestigt ist, wobei das untere Ende der Feder (6) auf diesem Ring (5) aufsitzt.4 - Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der obere Rand (14) des Halters konisch ist und daß eine dazu komplementäre trichterförmige Öffnung (3) unten an der Zugstange (1) vorgesehen ist,5 - Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Halter (11) an der Führungsstange (10) mit Hilfe eines Seils (12) befestigt ist.6 - Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß das obere Ende der Führungsstange (10) mit einem Stift (8) versehen ist, der durch die länglichen Öffnungen (4) und den Hohlraum (2) verläuft und sich auf dem oberen Ende der Feder (6) abstützt.70 9883/0725
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR7620442A FR2357302A1 (fr) | 1976-07-05 | 1976-07-05 | Dispositif de tirage d'un monocristal a partir d'un bain en fusion |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2729176A1 true DE2729176A1 (de) | 1978-01-19 |
DE2729176C2 DE2729176C2 (de) | 1986-01-16 |
Family
ID=9175230
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2729176A Expired DE2729176C2 (de) | 1976-07-05 | 1977-06-28 | Vorrichtung zum Ziehen eines Einkristalls aus einer Schmelze |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
BE (1) | BE855611A (de) |
DE (1) | DE2729176C2 (de) |
FR (1) | FR2357302A1 (de) |
GB (1) | GB1533509A (de) |
IT (1) | IT1080678B (de) |
NL (1) | NL187170C (de) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19758945B3 (de) * | 1996-09-03 | 2012-09-06 | Sumitomo Mitsubishi Silicon Corp. | Vorrichtung zum Ziehen von Einkristallen |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5102933A (en) * | 1990-05-22 | 1992-04-07 | Witco Corporation | Polyvinylchloride composition and stabilizers therefor |
CN105541308B (zh) * | 2016-01-23 | 2018-06-01 | 胡海波 | 一种高增透蓝宝石晶棒制造设备及制造工艺 |
-
1976
- 1976-07-05 FR FR7620442A patent/FR2357302A1/fr active Granted
-
1977
- 1977-06-13 GB GB24591/77A patent/GB1533509A/en not_active Expired
- 1977-06-13 BE BE1008189A patent/BE855611A/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-06-15 IT IT24704/77A patent/IT1080678B/it active
- 1977-06-22 NL NLAANVRAGE7706926,A patent/NL187170C/xx not_active IP Right Cessation
- 1977-06-28 DE DE2729176A patent/DE2729176C2/de not_active Expired
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Publication number | Publication date |
---|---|
GB1533509A (en) | 1978-11-29 |
DE2729176C2 (de) | 1986-01-16 |
NL7706926A (nl) | 1978-01-09 |
NL187170C (nl) | 1991-06-17 |
IT1080678B (it) | 1985-05-16 |
FR2357302B1 (de) | 1978-12-15 |
NL187170B (nl) | 1991-01-16 |
BE855611A (fr) | 1977-12-13 |
FR2357302A1 (fr) | 1978-02-03 |
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