DE2658623C2 - Aufzeichnungsträger und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Description

a) die bzw. jede Abstandsschicht (4,25,35) besteht aus anorganischem Material,

b) die bzw. jede Abstandsschicht (4, 25, 35) ist durchgehend und von gleicher Stärke,

c) auf der bzw. jeder Abstandsschicht (4, 25, 35) befinden sich voneinander getrennte, das Muster bildende Bereiche wenigstens einer reflektierenden Schicht (1,2,3,8, 9,10, 22, 23, 24,32,33,34).

2. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die bzw. jede reflektierende Schicht (1, 2, 3, 8, 9, 10, 22, 23, 24, 32, 33, 34) eine metallische oder mindestens eine einzige dielektrische Schicht ist.

3. Aufzeichnungsträger nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß die bzw. jede reflektierende Schicht (1, 2, 3, 8, 9, 10, 22, 23, 24, 32, 33, 34) in unterschiedlichen Bereichen mit unterschiedlichem, der gewünschten Sättigung der Farben entsprechenden Reflexionsvermögen ausgebildet ist.

4. Aufzeichnungsträger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die bzw. jede Abstandsschicht (4,25,35) aus MgF₂, SiO₂, ThF₄, SiO, Ta₂O₅, Fe₂O₃ oder anderen Oxiden, Fluoriden und/oder Sulfiden besteht.

5. Aufzeichnungsträger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (21, 31) aus einem für sichtbares Licht durchlässigen Material besteht.

6. Aufzeichnungsträger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (21, 31) aus einem für sichtbares Licht undurchlässigen Material besteht, das eine spiegelnde Oberfläche aufweist.

7. Aufzeichnungsträger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die bzw. jede Abstandsschicht (4, 25,35) aus einem bei Bestrahlung mit UV-Licht sichtbares Licht aussendenden Material besteht.

8. Aufzeichnungsträger nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die Korngröße des Materials der bzw. jeder Abstandsschicht (4,25,35) kleiner als 20 nm ist.

9. Verfahren zur Hersteliung eines Aufzeichnungsträgers nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Schichten nacheinander auf den Träger aufgebracht werden, wobei die bzw. jede reflektierende Schicht jeweils nach ihrem Aufbringen zur Bildung der das Muster bildenden Bereiche fotolithographisch strukturiert wird.

Die Erfindung betrifft einen Aufzeichnungsträger nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 und ein Verfahren zu seiner Herstellung.

Mit der Mikroverfilmung werden große Archivinhalte (Bibliotheken, Zeichnungen und andere Dokumente) auf sehr kleinem Raum abgespeichert Die Grenzen der Mirkoverfilmung liegen in dem Auflösungsvermögen der verwendeten Bild- oder Aufzeichnungsträger, d. h. der Lesbarkeit bei der Rückvergrößerung auf angenähert die ursprüngliche Originalgröße. Diese Auflösung liegt bei Anwendung üblicher photographischer Feinkorn-Schichten in der Größenordnung von 10 bis 20 μπι. Hierbei kann die Auflösung photographischer Feinkorn-Schichten, wie sie von den Herstellern angegeben wird, nicht ohne weiteres auf die praktisch zu erzielende Verkleinerung angewendet werden. Diese Angabe bezieht sich nämlich auf Linien pro mm, d. h. die gerade noch wiedergegebene Auflösung eines Gitters, die photometrisch ermittelt wird. Die Photometerkurve eines aufbelichteten Gitters zeigt noch deutlich Maxima und Minima. Für die Lesbarkeit werden jedoch wesentlich deutlichere Kontraste, möglichst in Schwarz-Weiß und nicht in Grau/Grauer benötigt. Für eine präzise Dokumentation werden überdies mehr oder weniger scharfe Kanten benötigt Dies bedingt daß die vom Hersteller angegebene Auflösung bei weitem nicht die Feinheit der Wiedergabe von aufbelichteten Zeichen bedeutet.

Den herkömmlichen Mikroverfilmungsverfahren haftet auch der Nachteil an, daß die dargestellten Muster infolge Schrumpfung der Gelatineemulsion im Laufe der Zeit verzeichnet werden und die Träger selbst nur wenig hitzebeständig und bei Farbfilmen lichtbeständig sind.

Wesentlich höhere Auflösung als photographische Feinkorn-Schichten erbringen Photolack-Schichten.

Durch Belichtung mit aktinischem Licht oder Röntgenstrahlen oder Elektronen (Raster-Mikroschreiber) oder Ionen wird die chemische Struktur dieser Photolackschichten verändert Insbesondere macht man von der Veränderung ihrer Löslichkeit in spezifischen Entwicklerlösungen Gebrauch.

Solche Verfahren sind als Mikro-Photolithographie bekannt und werden in der Optik zur Herstellung präziser Strukturen, wie Strichplatten, Teilungen u. a. (vgl. DE-PS 9 02 713), benutzt. Sie werden auch in der Halbleiter-Technologie beim sogenannten Planarverfahren für die Strukturierung von Mikro-Schaltkreisen angewendet. Auch sind bereits größere Informationsgehalte (z. B. Buchserien d. Bibel und stark verkleinerte Botschaften d. US-Präsidenten zum Mondflug o. a.) auf verchromten Glasträgern mit Hilfe der Mikro-Lithographie hergestellt worden.

Nach der US-PS 37 27 233 ist ein Aufzeichnungsträger nach dem Oberbegriff des Anspruchs 1 bekannt, der auf einem Träger aus Glas oder Kunststoff eine erste, durch eine Metallisierung gebildete reflektierende Schicht gleichmäßiger Stärke aufweist, darauf eine als Interferenzschicht wirkende Abstandsschicht in Form eines Reliefs, das einem abzubildenden Objekt entspricht, und darauf wiederum eine zweite, durch eine Metallisierung gebildete reflektierende Schicht gleichmäßiger Stärke. Das Relief der Abstandsschicht wird ι ο dadurch erzeugt daß eine zunächst eine gleichmäßige Stärke aufweisende Schicht aus einem polymeren organischen Material mittels eines Elektronenstrahls, der ein abzubildendes Objekt durchdrungen hat, teilweise polymerisiert oder zersetzt wird, woraufhin die danach verbleibenden lösbaren Bestandteile durch ein Lösungsmittel entfernt werden. Da die zweite reflektierende Schicht durchgehend und von gleicher Stärke ist, ist die Kantenschärfe, die man bei der Bestrahlung des Aufzeichnungsträgers zwecks Abbildung erhält, nicht gut. Außerdem hat der Aufzeichnungsträger, weil seine Interferenzschicht aus organischem Material besteht, keine Dauerbeständigkeit und darf nicht starken Temperaturschwankungen ausgesetzt werden.

Aufgabe der Erfindung ist es, demgegenüber einen Aufzeichnungsträger anzugeben, der bei großer, auf ihm pro Flächeneinheit unterzubringender Informationsdichte auch bei starken Temperaturschwankungen eine große Dauerfestigkeit aufweist und eine Abbildung mit großer Kantenschärfe gestattet

Die Lösung dieser Aufgabe ist im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegeben.

Die Dauerfestigkeit ist eins Folge davon, daß die bzw. jede Abstandsschicht aus anorganischem Material besteht. Eine solche Abstandsschicht ist leicht herzustellen, da sie für die Zwecke der Erfindung durchgehend und von gleicher Stärke sein muß. Die Kantenschärfe bei der Abbildung wird dadurch erreicht daß wenigstens eine der reflektierenden Schichten in das Muster bildende Bereiche voneinander getrennt ist, die Kanten der Bereiche also die Kantenschärfe bedingen.

Bevorzugte Ausbildungen des Aufzeichnungsträgers sind in den Ansprüchen 2 bis 8 angegeben, bevorzugte Herstellungsverfahren in den Ansprüchen 9 bis 11.

Durch die Erfindung lassen sich sehr komplexe mehrfarbige Strukturinhaite (wie sie z. B. in detailreichen mehrfarbigen Landkarten oder Druckseiten oder Binärkombinationen für technische Zwecke vorliegen) in einer präzisen MikroStruktur aufzeichnen.

Hierbei kommt der Erfindung die aus der Farbenlehre bekannte Tatsache zugute, daß sich der Informationsinhalt pro Flächeneinheit bei farbiger Darstellung um eine Größenordnung gegenüber einer einfarbigen (schwarzweiß) Darstellung erhöhen läßt.

Deswegen wird die Erfindung im folgenden auch in erster Linie an Hand farbiger Mikro-Landkarten erläutert. Die Erfindung beschränkt sich jedoch nicht auf farbige Mikro-Landkarten, sondern betrifft allgemein Informationsträger mit Details (Bits), die untereinander durch verschiedenen Farbton und/oder verschiedene Farbsättigung hervortreten.

Die Farbe bringt dabei nicht nur eine physikalische Erweiterung der seither in der Technik benutzten Codes. Es ist auch die physiologische und psychologisehe Wirkung, die sich aus der Farbdarstellung ergibt, bei Anwendung der Erfindung in Betracht zu ziehen. Zum Beispiel ist bei vielen technischen Bilddarstellungen die »farbenfrohe« Darstellung erst mit Hilfe der Erfindung in brauchbarer Weise möglich.

Gemäß der Erfindung werden Farben benutzt die durch Interferenz des Lichtes entstehen und die, da die Interferenzschichten aus anorganischem Material bestehen, zeit-, licht- und wärmebeständig sind.

Interferenzschichten, die durch selektive Absorption des Lichtes farbig sind, können ebenfalls im Rahmen der Erfindung verwendet werden. Die Korngrößen der Interferenzschichten sollen unter 20 nm iiegen; sie sind dann selbst bei tausendfacher Rückvergrößerung »kornlos«.

Nach der Erfindung wurden farbige Mikro-Landkarten des Blattes L 8140 »Traunstein« Maßstab 1 :50 000 der topographischen Karte des Bayerischen Landesvermessungsamtes München im Format ca. 600x600 mm² auf einer Glasfläche von 3x3 mm² in allen Farbtönen und hoher Präzision hergestellt und auch farbige Aufzeichnungsträger von Mikrostrukturen bisher nicht erreichter Haltbarkeit (Lichtechtheit Temperaturbelastbarkeit Farbwiedergabetreue).

Ein Großteil von in der Natur z. B. an Käfern, Schmetterlingen vorkommenden organischen Farben wird dabei übertroffen.

Bei dem Herstellungsverfahren werden beispielsweise für eine Mikrolandkarte, die in einem Maßstab von 1:10 000 000 aufgezeichnet werden soll, Farbauszüge einer Landkarte des Formats 600 χ 600 mm² im Maßstab 1 :50 000 hergestellt, was einer Verkleinerung von 1 :200 entspricht Die Mikro-Landkarte enthält dann auf einer Fläche von 3 χ 3 mm² alle Informationen des Originals und läßt sich randscharf lesbar bis zur fünffachen Originalgröße, d.h. mit dem Faktor von 1 :1000, rückvergrößern.

Beispielsweise läßt sich die Struktur von Seen und Flüssen hellblau mit dunkelblauer Beschriftung und dunkelblauen Tiefenlinien wiedergeben.

Der zur Wiedergabe erforderliche blaue Farbton Nr. 17 nach der DIN-Vornorm 6164 wird durch eine 240 nm optische dicke Interferenzschicht bestimmt. Hierbei hängt die genaue Dicke etwas von den benutzten spiegelnden Schichten ab.

Die Sättigungsstufe ist abhängig von der Reflexion/ Transparenz der an der Interferenzschicht anliegenden spiegelnden Schichten. Diese können aus sehr dünnen Silberschichten oder aber auch aus Paaren hoch- und niederbrechender Schichten bestehen.

Die spiegelnde Schicht kann mittels eines lonographen auf ein gereinigtes Glasplättchen aufgebracht werden. In dem Ionographen befinden sich Kathoden aus einem zur Erzeugung von spiegelnden Schichten geeigneten Material, vorzugsweise aus Silber. Die Kathoden verbleiben dauernd unter Vakuum. Nach dem Einschleusen des Glasplättchens und Füllen des Ionographen mit gerenigtem Argongas wird an die Kathoden bei einem Vakuumdruck von etwa 1 Pa eine 27-MHz-Hf-Spannung von etwa 3000 Vss gelegt und zwar über einen Hochleistungskondensator, der für eine Frequenz von 27 MHz nur einige Ohm kapazitiven Widerstandes bietet, für Gleichspannung aber äußerst hochohmig ist. Dabei zündet ein Plasma. Die Elektronen, die während der positiven Halbwelle der Hochfrequenz die Kathode negativ aufladen, rekombinieren während der negativen Halbwelle nur zum geringen Teil mit Argonionen. Damit bleibt die Kathode negativ geladen, wodurch beschleunigte Argon-Ionen das Kathodenmateriai zerstäuben und einen kornlosen, für die weiteren Arbeitseänpe haltbaren Sniptrpl auf

dem Glassubstrat erzeugen. Das Entstehen der spiegelnden Schicht läßt sich durch Messungen genau verfolgen und z. B. bei 16 nm Dicke unterbrechen.

Unmittelbar nachdem die nichtstrukturierte spiegelnde Schicht auf dem Glassubstrat hergestellt ist, erfolgt der Kopierschritt. Dazu wird die spiegelnde Schicht mit einem Photolack beschichtet. Dann wird die Photolackschicht etwa durch eine Mikromaske »dunkelblau« (dunkelblaue Schriften, Tiefenlinien in Seen u. a. Zeichen) belichtet und entwickelt. Die danach unmaskierten Bereiche der spiegelnden Schicht werden nun im lonographen bei umgekehrter Polung, d. h. bei Verwendung des Glasträgers als Kathode wieder abgetragen. Die Bereiche der spiegelnden Schicht unter dem entwickelten Photolack bleiben jedoch erhalten. Anschließend wird der Photolack durch Ablösen mit Azeton oder einem ähnlichen Lösungsmittel abgewaschen.

Nun wird neuerlich eine spiegelnde Schicht und eine Photolackschicht aufgebracht und paßgenau in einen weiteren Kopierschritt durch eine Mikromaske »hellblau« (Seen und Flüsse) belichtet, entwickelt und wie beschrieben im lonographen abgetragen und abgewaschen.

Nunmehr trägt das Glasplättchen in aller Feinheit und Präzision alle dunkel- und hellblau wiederzugebenden Details der Landkarte als kornlose spiegelnde Schichten, die an den Stellen, an denen eine dunkelblaue Farbe erscheinen soll, 32 nm dick und an den Stellen, an denen eine hellblaue Farbe erscheinen soll, 16 nm dick sind, auf.

Nunmehr wird das Glasplättchen auf der Seite der spiegelnden Schichten mit einer glasklaren Interferenzschicht einer optischen Dicke von 238 nm bedampft. Dies entspricht bei Verwendung MgF2 als Schichtmaterial einer tatsächlichen Dicke von 172 nm. Darüber wird wieder ganzflächig eine spiegelnde Schicht von 16 nm aufgebracht, die ebenso wie die zuletzt beschriebene spiegelnde Schicht für die hellblaue Farbe behandelt wird.

Durch Ändern der Schichtdicke der Interferenzschicht kann jeder gewünschte Farbton von 13 bis 24 nach DIN 6164 erzielt werden. Die Farbtöne 1 bis 12 nach dieser Norm lassen sich jedoch nicht ohne weiteres bilden. Es treten nämlich bei Schichten über 210 nm Interferenznebenmaxima aus dem UV-Bereich im sichtbaren Bereich und damit Mischfarben auf. Die Herstellung der gelb-roten Farbtöne 1 bis 12 nach der DIN-Norm 6164 ist deswegen komplizierter. Jede gewünschte Sättigungsstufe nach DIN 6164 läßt sich bei den Farben 13 bis 24 durch geeignete Dicke der spiegelnden Schichten einstellen.

Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den beigefügten Zeichnungen dargestellt.

Die F i g. 1 bis 4 zeigen jeweils Querschnitte durch den Schichtaufbau der Aufzeichnungsträger.

F i g. 1 zeigt eine dunkelblaue Stelle eines Musters definierende Silberschicht 1 einer Dicke von 16 nm zusammen mit einer ihr überlagerten, hellblaue Stellen des Musters definierenden Silberschicht 2 von ebenfalls 16 nm Dicke. Für durchscheinendes bzw. von einem nicht dargestellten Schichtträger reflektiertes Licht ist an den dunkelblauen Stellen eine Silberschicht von insgesamt 32 nm Dicke wirksam. Auf der Silberschicht 2 befindet sich eine Interferenzschicht 4 einer Dicke von 238 nm. Eine darauf befindliche Silberschicht 3 ist wiederum 16 nm dick.

Dadurch erscheint das im Bereich des Pfeiles 5 austretende Licht dunkelblau (Farbe 17:8), das im Bereich des Pfeiles 6 austretende Licht hellblau (Farbe 17:4) und das daneben austretende Licht, z.B. im Bereich des Pfeiles 7, weiß (unbunt).

F i g. 2 zeigt, daß anstelle der Silberschichten jeweils Paare aus hoch- und niederbrechenden Schichten verwendet werden können. Im Gegensatz zu der Ausführung nach F i g. 1 sind in einem Bereich, in welchem Blau wiedergegeben werden soll, eine Interferenzschicht 4 begrenzende, niederbrechende

to Schichten 8 und 9 durch hochbrechende Schichten 10 sowohl gegenüber der Interferenzschicht 4 als auch untereinander als auch nach außen abgedeckt. Dadurch ergibt sich, daß außerhalb der Schichten 10, beispielsweise im Bereich des Pfeiles 11, weißes Licht (unbunt)

is austritt, während im Bereich der Schichten 10, beispielsweise im Bereich des Pfeiles 12. blaues Licht austritt.

Bei der Ausführungsform nach Fig.3 befindet sich auf einem Schichtträger 21 eine erste spiegelnde Schicht 22, die von einer unstrukturierten Interferenzschicht 25 abgedeckt ist. Auf einem erhabenen Bereich der unstrukturierten Interferenzschicht 25 befindet sich eine zweite spiegelnde Schicht 23 und darauf in einem engeren Bereich eine dritte spiegelnde Schicht 24. Die Bemessungen sind derart getroffen, daß in Pfeilrichtung 26 austretendes Licht hellblau ist, in Pfeilrichtung 27 austretendes Licht dunkelblau und in Pfeilrichtung 28 austretendes Licht unbunt (weiß).

Bei der Ausführungsform nach Fig.4 befindet sich auf einem Schichtträger 31 eine hochbrechende Schicht 32, die von einer niedrigbrechenden Schicht 33 abgedeckt ist. Über der genannten hochbrechenden Schicht 32 befindet sich eine weitere hochbrechende Schicht 32 gleicher Abmessungen, die seitlich durch eine niedrigbrechende Schicht 34 begrenzt ist. Auf der zuletzt genannten hochbrechenden Schicht 32 befindet sich eine zweite niedrigbrechende Schicht 34, die wiederum von einer hochbrechenden Schicht 32 abgedeckt ist. Die beiden letztgenannten Schichten sind von einer unstrukturierten Interferenzschicht 35 umschlossen und abgedeckt Auf der unstrukturierten Interferenzschicht ist die gleiche Schichtfolge aufgebracht wie auf den Schichtträger 31 und daher mit gleichen Bezugsziffern versehen. Die Abmessungen sind so getroffen, daß in Pfeilrichtung 37 blaues Licht austritt und in Pfeilrichtung 36 unbuntes (weißes) Licht

Als Materialien für die Interferenzschichten eignen sich besonders MgFi SiO₂, ThF₄, SiO, Ta₂O₅, Fe₂O₃ oder andere Oxide, Fluoride und/oder Sulfide.

Die Interferenzschicht kann zunächst auf eine mit den spiegelnden Schichten versehene Schichtträgeroberfläche in einer übermäßigen Dicke, z. B. lOmal dicker als für die Verwendung benötigt aufgetragen und dann entsprechend den gewünschten Farben durch plasmachemische Bearbeitung abgetragen werden. Bei dem fertigen Aufzeichnungsträger bestimmt dann die Dicke der Interferenzschicht den Farbton, während die Sättigung durch das Reflexionsvermögen der spiegelnden Schichten bestimmt wird.

«ο In der geschilderten Weise können auch Mischfarben hergestellt werden, indem Interferenzschichten in unterschiedlichen Mustern übereinander aufgebracht werden. Auch können in einem Bereich zwei Interferenzschichten verschiedener Dicke ohne Zwischenschicht übereinander aufgebracht wenden und in einem andere Bereich zwischen die beiden Interferenzschichten eine spiegelnde Schicht eingefügt werden, so daß in diesem Bereich eine Mischfarbe entsteht

Es ist auch möglich, mehrfarbige Strukturen mit fluoreszierenden Leuchtfarben zu erzeugen, indem für die Interferenzschichten Stoffe verwendet werden, die auf einfallendes UV-Licht sichtbares Licht emittieren. Derartige Stoffe sind MgF₂ und ZnS.

Als Schichtträger für die aufzubringenden Mikrostrukturen eignet sich besonders Hartglas (Quarzglas). Hartglas verträgt eine Rückprojektion mit hoher Lichtstärke, bei der übliche Farbfilme innerhalb von Sekunden verkohlen, ohne großen Aufwand hinsichtlich der Wärmefilterung.

Im folgenden wird als Beispiel ein Verfahren beschrieben, mittels dem auf einem Schichtträger aus Glas eine Mikro-Landkarte als Diapositiv hergestellt werden kann.

Zunächst wird der Schichtträger aus Glas mit einer dünnen spiegelnden Schicht aus CdS oder Fe₂Os oder Asä oder einer ähnlichen anorganischen Verbindung belegt. Dann erfolgt Beschichten mit Photolack und Belichten durch eine Negativ-Mikromaske »Seen und Flüsse« für die Farbe Blau. Danach wird die spiegelnde Schicht in den Bereichen »Seen und Flüsse« bis zur Oberfläche des Schichtträgers abgetragen und anschließend der Photolack abgelöst.

Der Schichtträger ist nun wieder in den Bereichen »Seen und Flüsse« glasklar, sonst überall farbig, z. B. gelb-braun infolge der Eigenfarbe der dünnen Fe₂Oj-Schicht.

Als zweiter Schritt wird nun eine spiegelnde Schicht durch eine Positiv-Mikromaske »Seen, Flüsse und Wälder« aufgebracht und — wie oben beschrieben — weiterbehandelt. Damit sind alle blauen Bereiche (Seen, Flüsse) und grünen Bereiche (Wälder) erfaßt. Unter den grünen Bereichen (Wälder) liegt die Fe₂O₃-Schicht (oder eine andere passende Schicht); unter den blauen Bereichen (Seen) ist hingegen der Schichtträger glasklar. Die Seen und Flüsse sind somit blau (Farbton 17), die Wälder und ähnliche Bereiche aber grün (Farbton 22) als Mischfarbe von Gelb und Blau. Die übrigen Gebiete (Felder usw.) sind gelb. Beschriftungen bleiben farblos (unbunt) durchsichtig.

Mittels der beiden Kopierschritte, nämlich dem mit der Negativ-Mikromaske »Seen, Flüsse« und dem mit der Positiv-Mikromaske »Seen, Flüsse und Wälder« werden somit insgesamt vier Farben, nämlich Farbton 17 (blau), Farbton 22, Farbton 2 (gelb) und Farbton O (unbunt) erhalten.

Jeder mit einem weiteren Kopierschritt hergestellte neue Farbton ergibt durch Mischung mit den bereits vorher hergestellten Farbtönen in Teilbereichen des Musters doppelt so viele neue Farben. Bei der technischen Anwendung eines binären Farbcodes entstehen also mit iö Kopierschritten 2^is = iö24 Farbtöne.

Nach dem Vierfarbensatz der Topologie würden also zwei Kopierschritte theoretisch vollständig zur Herstellung einer beliebig komplexen Kartenstruktur ausreichen. Praktisch wird jedoch auch eine Mikro-Landkarte durch Hinzunehmen von noch mehr Farben einer konventionellen Karte angepaßt, z. B. durch Rot (Hauptstraßen) und Schummerung und schwarze Beschriftung.

Der Farbton Rot (8 nach DIN 6164) kann ι η beispielsweise auf folgende Weise erhalten werden:

1) 10 Minuten reaktiv Bestäuben mit einer Fe-Kathode zur Bildung einer Fe₂O3-Schicht.

2) Kopieren durch Positiv-Mikromaske »Hauptstra-Ben u. a.« (rot).

3) Abtragen und Ablösen. Es verbleiben auf den roten Details (Hauptstraßen) interferenzsehichlen aus Fe₂O3 mit η = 2,9 und einer Dicke von 45 nm.

4) Bedampfen mit MgF₂ bis zu einer Dicke von 284 nm. Diese Schichtdicke ergibt für Grün (Wälder) und Blau (Seen) mit der Ag-Schicht nach den Verfahrensschritten 5) bis 20) den Farbton Rot, wobei gleichzeitig Wälder und Seen grün und blau strukturiert werden.
5) Ag 20 nm-Verspiegeln.

6) Kopierschritt 2) MM-Positiv »Wald«.

7) 2 Minuten Abtragen und Ablösen Photolack.

8) MgF₂ 153 nm-Bedampfen (T = 22 grün) und Ag 20 nm-Verspiegeln.

9) Kopierschriit 3) MM-Positiv »Wald und Hauptstraßen«.

10) 2 Minuten Abtragen und Ablösen Photolack.

11) Zwischenschicht MgF2 75 nm (Interferenzfarbe im UV).

12) Ag 16 nm-Verspiegeln.

13) Kopierschritt 4) MM-Positiv »Tieflinien dunkelblau«.

14) Abtragen und Ablösen.

15) Ag 16 nm-Verspiegeln.

16) Kopierschritt 5) MM-Positiv »Seen und Flüsse«.

17) Abtragen und Ablösen.

18) MgF₂-Interferenzschicht »blau« bedampfen und Ag 16 nm-Verspiegeln.

19) Kopierschritt 6) MM-Positiv »Seen, Flüsse und Straßen«.

20) Abtragen und Ablösen Photolack.

21) Schutzschicht aufdampfen.

22) Chrom verspiegeln (Cr-Maske schwarz).

23) Kopierschritt 7) MM-Positiv »schwarze Beschriftung, Bebauung usw.«.

24) Abtragen der ungeschützten Cr-Schicht.

25) Ablösen des Photolacks.
2b) Schutzschicht aufbringen.

Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (1)

1. Patentansprüche:

   1. Aufzeichnungsträger mit einem bei Bestrahlung mit Licht in wenigstens zwei unterschiedlichen Farben erscheinenden Muster, das durch auf einem Träger befindliche Interferenzfilter für unterschiedliche Wellenlängenbereiche des Lichtes gebildet ist bei dem jedes Interferenzfilter wenigstens eine durch wenigstens eine Abstandsschicht gebildete Interferenzschicht aufweist, die beidseitig mit reflektierenden Schichten versehen ist und bei dem wenigstens einige Interferenzfilter auf dem Träger nebeneinander angeordnet sind, gekennzeichnet durch folgende Merkmale:

   10. Verfahren zur Herstellung eines Aufzeichnungsträgers nach einem der Ansprüche 1 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß die einzelnen Schichten nacheinander aufgebracht werden, wobei die bzw. jede reflektierende Schicht zur Bildung der das Muster bildenden Bereiche ionographisch aufgebracht wird.

   11. Verfahren nach Anspruch 9 oder 10, dadurch gekennzeichnet, daß die aufgebrachten Abstandsschichten auf ihre gewünschte Stärke plasmachemisch abgetragen werden.