DE902713C - Verfahren zum Aufbringen von Kopien auf beliebiges Material - Google Patents

Verfahren zum Aufbringen von Kopien auf beliebiges Material

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DE902713C
DE902713C DEH1815A DEH0001815A DE902713C DE 902713 C DE902713 C DE 902713C DE H1815 A DEH1815 A DE H1815A DE H0001815 A DEH0001815 A DE H0001815A DE 902713 C DE902713 C DE 902713C
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DE
Germany
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vapor
deposited
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layer
carrier
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Expired
Application number
DEH1815A
Other languages
English (en)
Inventor
Dr Johannes Heidenhain
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Firma Wenczler and Heidenhain
Original Assignee
Firma Wenczler and Heidenhain
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Publication date
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Expired legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G03PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
    • G03FPHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
    • G03F1/00Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
    • G03F1/50Mask blanks not covered by G03F1/20 - G03F1/34; Preparation thereof

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Printing Plates And Materials Therefor (AREA)

Description

  • Verfahren zum Aufbringen von Kopien auf beliebiges Material Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zum Aufbringen von Kopien, wie z. B. Bildern, Schriften, meßtechnischen Teilungen, optischen oder physikalischen Hilfsmitteln usw. auf Träger aus beliebigen Material, wie z. B. Glas, Metall, Kunststoff usw., vermittels photomechanischer Reproduktion eines Originals oder einer sonstigen Vorlage.
  • Es ist bereits ein Verfahren zur Herstellung von Transparentbildern bekannt, welches darin besteht, daß man in einem auf einer Transparentplatte erzeugten Bleisulfidspiegel durch Gravieren oder durch Ätzen ein Bild erzeugt. Dieses Verfahren hat jedoch den Nachteil, daß das Gravieren infolge der Härte der Bleisulfidschicht umständlich und zeitraubend ist, während durch das Atzen unscharfe Ränder des erzeugten Bildes entstehen. Trotz dieser Nachteile des vorgenannten, im Patent .S6 392 beschriebenen Verfahrens ist es bis heute praktisch nicht gelungen, ein besseres Verfahren zu finden.
  • Durch die Erfindung ist es nun gelungen, die Nachteile des Bleisulfidverfahrens zu beseitigen. Im wesentlichen besteht das Verfahren gemäß der Erfindung darin, daß zunächst auf den Träger, z. B. eine Glas- oder Metallplatte, eine lichtempfindliche, auswaschbare Schicht aufgebracht wird, welche beispielsweise aus chromatisiertem Eiweiß oder aus Schellack od. dgl. bestehen kann. Diese Schicht wird dann unter Zwischenschaltung einer geeigneten Vorlage belichtet. Diese Vorlage bzw. das Original der gewünschten Kopie kann entweder direkt auf die lichtempfindliche Schicht gelegt werden, oder sie kann auf optischem Wege auf die lichtempfindliche Schicht projiziert werden. Nach erfolgter Belichtung wird diese Schicht ausgewaschen, wobei nur die durch das Licht gehärteten Stellen auf dem Träger zurückbleiben. Hiernach werden auf den mit dieser ausgewaschenen Schicht versehenen Träger eine oder mehrere bildaufbauende Stoffe beliebiger Art aufgedampft. Als solche Stoffe kommen z. B. Metalle, wie Chrom, Silber, Kupfer usw., oder auch Salze, wie z. B. Magnesiumfluorid oder andere Fluoride oder andere organische Verbindungen, wie Siliziumoxyd in Frage. Ferner können auch geeignete organische Stoffe hierzu verwendet werden. Dieses Aufdampfen erfolgt vorzugsweise im Hochvakuum in an sich bekannter Weise. Schließlich werden die nicht ausgewaschenen Stellen der lichtempfindlichen Schicht zusammen mit den auf diesen Stellen befindlichen, aufgedampften Stoffen gelöst bzw. zerstört. Besteht die lichtempfindliche Schicht z. B. aus einer Schellackemulsion und der aufgedampfte Stoff aus Chrom, so wird das Chrom zunächst durch Salpetersäure passiviert und dann die Scbellackschicht durch eine mit Spiritus im Überschuß vermischte Natronlauge gelöst. Nach diesem Lösungsvorgang bleiben auf dem Träger lediglich die auf den ausgewaschenen Stellen der Schicht aufgedampften Stoffe in Form einer dem Original entsprechenden Kopie zurück.
  • Es können bei diesem Verfahren gleichzeitig oder nacheinander Stoffe verschiedener Art aufgedampft werden. Zum Beispiel kann man zuerst metallisches Chrom und sodann Silizumoxyd (Si O) aufdampfen.
  • Der durch die Erfindung gegenüber dem Bekannten erzielte Fortschritt besteht vor allem darin, daß die erzeugten Bilder oder sonstigen Kopien viel originalgetreuer sind, als dies bisher möglich war. Die Ränder der Bilder, Schriften usw. werden absolut scharf.
  • Ein sehr wesentlicher Vorteil des neuen Verfahrens besteht darin, daß man die aufgedampften Stoffe in beliebiger Weise derart wählen kann, daß alle gewünschten Eigenschaften der Kopie, wie z. B. Härte, Haftfähigkeit, chemische und mechanische Widerstandsfähigkeit, Farbe, Transparenz, elektrisches Leitvermögen usw., in einfacher Weise erreicht werden können. Dadurch wird das Anwendungsgebiet dieses Verfahrens auf alle möglichen Gebiete außerordentlich erweitert.
  • In weiterer Ausgestaltung des Verfahrens kann man auf den Träger, welcher die zuerst aufgedampften Stoffe in Form der Kopie trägt, weitere Stoffe aufdampfen, die die gesamte Trägerfläche erneut überziehen. Hierbei können die aufgedampften Stoffe derart gewählt werden, daß nach dem Aufdampfen der zweiten Schicht die zuerst aufgedampften Stoffe zusammen mit den sie unmittelbar bedeckenden Stoffen des zweiten Stoffüberzuges gelöst werden können. In diesem Falle bleibt der zweite Stoffüberzug als Negativ der ersten Kopie auf dem Träger zurück. Beispielsweise kann als erster, köpiebildender Stoff Silber aufgedampft, während als zweiter, den nachfolgenden Überzug bildender Stoff Chrom verwendet wird. Die Lösungsmittel ergeben sich hierbei für den Fachmann von selbst, z. B. Salpetersäure, da sie durch die dünne poröse Chromschicht leicht durchdringt, das darunter befindliche Silber löst, wobei die darüber befindliche Chromschicht abgehoben wird.
  • In der Zeichnung ist das Verfahren beispielsweise an Hand einer schematischen Darstellung veranschaulicht, und zwar zeigen die einzelnen Figuren der Zeichnung in Querschnitten mit zwecks Erhöhung der Deutlichkeit stark übertriebenen Schichtstärken die einzelnen Stufen des Verfahrens.
  • Mit i ist ein Träger bezeichnet, welcher beispielsweise aus einer Glasplatte besteht. Auf diese Glasplatte i wird gemäß Fig. i eine lichtempfindliche Schicht :2 aufgetragen, die beispielsweise aus einer lichtempfindlichen Schellackemulsion von an sich bekannter Zusammensetzung besteht. Diese Schicht 2 wird nunmehr unter Zwischenfügung des jeweiligen Orginals belichtet, sodann wird gemäß Fig. 2 die belichtete Schicht 2 ausgewaschen, wobei die dem Originalbild entsprechenden Stellen 3 von der Schicht 2 vollständig befreit werden, so daß an den Stellen 3 die Oberfläche der Glasplatte i frei liegt.
  • Nunmehr wird auf die die ausgewaschene Schicht 2 tragende Glasplatte eine Schicht 4, 4' aus geeigneten Stoffen aufgedampft. Beispielsweise wird ein Metall, wie Chrom, im Hochvakuum aufgedampft. Der Träger mit seinen Schichten 2 und q., 4.' zeigt nunmehr einen Querschnitt gemäß Fig. 3.
  • Anschließend werden nun die nicht ausgewaschenen Stellen der ursprünglich lichtempfindlichen Schicht 2 zusammen mit den diese Stellen unmittelbar bedeckenden Stoffen 4 gelöst bzw. zerstört. Dieses Lösen kann durch Einwirken von Lösungsmitteln, Säuren od. dgl. bewirkt werden, welche entsprechend dem Material der Stoffschichten 2 bzw. 4. ausgewählt werden.
  • Fig. 4. zeigt, daß nach diesem Lösungsvorgang auf dem Träger i lediglich an den ursprünglich ausgewaschenen Stellen 3 (s. Fig. 2) die aufgedampfte Stoffschicht . zurückbleibt, welche nunmehr hinsichtlich ihrer Abmessungen und ihres Aussehens eine getreue Kopie des zur Belichtung verwendeten Originals bildet. Im allgemeinen wird diese Kopie ein Spiegelbild des Originals sein.
  • Fig. 5 zeigt, wie gemäß einer weiteren Ausgestaltung des Verfahrens auf dem Träger i mit Kopie q.' eine weitere Schicht 5 aufgedampft wird, welche zunächst die gesamte Oberfläche des Trägers i bedeckt. Der Träger kann schon in diesem Zustand für beliebige Zwecke verwendet werden, da infolge der stellenweise verschiedenen Schichtdicken und Reflexionen hierbei schon eine Art Bild entstanden ist. Man kann aber auch die erste Stoffschicht q.' zusammen mit dem sie unmittelbar bedeckenden Teil der zweiten Stoffschicht 5 lösen, worauf eine Kopie bzw. ein Bild gemäß Fig.6 zurückbleibt, welches gewissermaßen ein Negativ der Fig. q. bildet. Es ist klar, daß auch in diesem Falle die aufgedampften Stoffe und die Lösungsmittel derart gewählt werden müssen, daß lediglich die gewünschte Negativkopie auf dem Träger i übrigbleibt.
  • Das Verfahren gemäß der Erfindung eignet sich vorzugsweise zur Herstellung von meßtechnischen Teilungen für physikalische oder optische Geräte aller Art. Die Schichtstärke der auf dem Träger i aufgebrachten, kopiebildenden Stoffe ist praktisch außerordentlich gering, sie liegt vorzugsweise zwischen ein zehntausendstel und ein tausendstel Millimeter (zwischen o,i bis i,u). Die durch das Verfahren erreichbare große Härte und Widerstandsfähigkeit eines solchen Teilungsbildes ist gerade bei den genannten Geräten außerordentlich erwünscht und gibt den Teilungen eine lange Lebensdauer. Gegenüber einer durch das bekannte Bleisulfidverfahren hergestellten Teilung hat die Erfindung den Vorteil einer weitaus größeren Haltbarkeit und einer Lebensdauer, die derjenigen einer geätzten Teilung entspricht. Gegenüber der geätzten Teilung hat die Teilung gemäß der Erfindung überdies noch den Vorteil einer besseren Ablesbarkeit, da das Ablesen von dem Einfall des Lichtes weitgehend unabhängig ist, weil die teilungsbildende Bildschicht infolge ihrer minimalen Stärke praktisch in bzw. auf der Ebene der Trägeroberfläche liegt.
  • Selbstverständlich ist das Anwendungsgebiet der Erfindung auf die vorstehend genannten Beispiele in keiner Weise beschränkt, sondern die Erfindung erstreckt sich auf alle sonstigen Gebiete der Technik, bei denen auf einem Träger aus beliebigem Material Kopien eines Originals aufgebracht werden sollen.

Claims (7)

  1. PATENTANSPRÜCHE: i. Verfahren zum Aufbringen von Kopien, wie z. B. Bildern, Schriften, meßtechnischen Teilungen usw. auf Träger aus beliebigem Material, wie z. B. Glas, Metall, Kunststoff usw., vermittels photomechanischer Reproduktion eines Originals oder einer sonstigen Vorlage, dadurch gekennzeichnet, daß zunächst auf dem Träger eine lichtempfindlicheSchicht aufgebe acht wird, mit der ein Auswaschrelief erzeugt werden kann, diese unter Zwischenfügung eines Originals oder einer sonstigen Vorlage belichtet und ausgewaschen wird, und sodann auf den mit dieser ausgewaschenen Schicht versehenen Träger bildaufbauende Stoffe beliebiger Art aufgedampft werden, worauf die nicht ausgewaschenen Stellen oder Zonen der Schicht zusammen mit den diese Stellen bedeckenden aufgedampften Stoffen gelöst werden, bis auf dem Träger lediglich die auf den ausgewaschenen Stellen oder Zonen der Schicht aufgedampften Stoffe in Form einer dem Original entsprechenden Kopie zurückbleiben.
  2. 2. Verfahren nach Anspruch i, dadurch gekennzeichnet, daß das Aufdampfen der bildaufbauenden Stoffe auf die ausgewaschene Schicht im Vakuum erfolgt.
  3. 3. Verfahren nach Anspruch i bzw. i und 2, dadurch gekennzeichnet, daß gleichzeitig oder nacheinander Stoffe verschiedener Art aufgedampft werden. q..
  4. Verfahren nach Anspruch i bzw. i bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß zuerst Chrom und sodann Siliziumoxyd (Si O) aufgedampft wird.
  5. 5. Verfahren nach Anspruch i bzw. i und einem oder mehreren der Ansprüche 2 bis q., dadurch gekennzeichnet, daß auf den die zuerst aufgedampften Stoffe in Form der Kopie tragenden Träger weitere Stoffe aufgedampft werden, welche den Träger erneut überziehen.
  6. 6. Verfahren nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die aufzudampfenden Stoffe derart gewählt werden, daß nach dem Aufdampfen des zweiten Stoffüberzuges die zuerst aufgedampften Stoffe zusammen mit den sie unmittelbar bedeckenden Stoffen des zweiten Stoffüberzuges gelöst werden können, so daß der zweite Stoffüberzug als Negativ der ersten Kopie auf dem Träger zurückbleibt.
  7. 7. Verfahren nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß als erster aufzudampfender Stoff Silber und als zweiter aufzudampfender, den nachfolgenden Überzug bildender Stoff Chrom verwendet wird.
DEH1815A 1950-02-28 1950-02-28 Verfahren zum Aufbringen von Kopien auf beliebiges Material Expired DE902713C (de)

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Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE1262027B (de) * 1965-07-22 1968-02-29 Leitz Ernst Gmbh Verfahren zur Herstellung von Teilungen, Messmarken, Gittern u. dgl.
DE2658623A1 (de) * 1976-12-23 1978-06-29 Heidenhain Gmbh Dr Johannes Aufzeichnungstraeger zur wiedergabe von mustern mit hohem aufloesungsvermoegen und verfahren zu seiner herstellung
DE2952230A1 (de) * 1979-12-22 1981-07-02 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh, 8225 Traunreut Verfahren zur herstellung eines aufzeichnungstraegers mit einer aufzeichnung hoher informationsdichte
DE3105934A1 (de) * 1980-02-22 1982-01-07 Kabushiki Kaisha Mitutoyo Seisakusho, Tokyo Metallskala und verfahren zu ihrer herstellung
US4359519A (en) 1979-01-31 1982-11-16 Dr. Johannes Heidenhain Gmbh Process for forming a high resolution recording medium
AT396630B (de) * 1984-06-08 1993-10-25 Rsf Elektronik Gmbh Verfahren zum herstellen eines über eine abtasteinheit ablesbaren inkrementalmassstabes
DE10155598A1 (de) * 2001-11-13 2003-06-05 Hartec Ges Fuer Hartstoffe Und Beschichtungsverfahren

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