DE2655942A1 - Zerstaeubungsvorrichtung - Google Patents
ZerstaeubungsvorrichtungInfo
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- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/34—Gas-filled discharge tubes operating with cathodic sputtering
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Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762655942 DE2655942A1 (de) | 1976-12-10 | 1976-12-10 | Zerstaeubungsvorrichtung |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE19762655942 DE2655942A1 (de) | 1976-12-10 | 1976-12-10 | Zerstaeubungsvorrichtung |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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DE2655942A1 true DE2655942A1 (de) | 1978-06-15 |
DE2655942C2 DE2655942C2 (US06589383-20030708-C00041.png) | 1987-08-13 |
Family
ID=5995150
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19762655942 Granted DE2655942A1 (de) | 1976-12-10 | 1976-12-10 | Zerstaeubungsvorrichtung |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
DE (1) | DE2655942A1 (US06589383-20030708-C00041.png) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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1976
- 1976-12-10 DE DE19762655942 patent/DE2655942A1/de active Granted
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
DE2655942C2 (US06589383-20030708-C00041.png) | 1987-08-13 |
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