DE2648508B2 - Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Inversionstemperatur eines piezoelektrischen Schwingquarzes - Google Patents
Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Inversionstemperatur eines piezoelektrischen SchwingquarzesInfo
- Publication number
- DE2648508B2 DE2648508B2 DE2648508A DE2648508A DE2648508B2 DE 2648508 B2 DE2648508 B2 DE 2648508B2 DE 2648508 A DE2648508 A DE 2648508A DE 2648508 A DE2648508 A DE 2648508A DE 2648508 B2 DE2648508 B2 DE 2648508B2
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- temperature
- quartz
- frequency
- inversion temperature
- inversion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010453 quartz Substances 0.000 title claims description 33
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 33
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 11
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 30
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 7
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 230000006870 function Effects 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 4
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 210000000056 organ Anatomy 0.000 description 2
- 238000011088 calibration curve Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000000205 computational method Methods 0.000 description 1
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000000725 suspension Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R29/00—Arrangements for measuring or indicating electric quantities not covered by groups G01R19/00 - G01R27/00
- G01R29/22—Measuring piezoelectric properties
Description
f-fo
/o
/o
10
während der Temperaturänderung von 7/, in
Richtung auf 7} mißt, daß man das Maximum der relativen Frequenzdrift erfaßt und die diesem
zugeordnete Temperatur mißt.
2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet,
daß ein Anzeigegerät (23) mit elektrischen Werten beaufschlagt wird, die proportional zu der
Frequenzdrift sind.
3. Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwei jo
Temperaturquellen (1, 2) für den Quartz (8), die auf Temperaturen Th, Ti diesseits und jenseits der
Inversion; temperatur To gebracht werden können,
eine Einheit (HV. welche den Quartz (8) in Resonanzschwingungen versetzt und eine Schwin- r>
gung f angibt, eine Einh-it (13), welche eine vorzugsweise einstellbare Referenzfrequenz f0 abgibt,
und eine Einheit (12, 14) vorgesehen sind, welche die beiden Frequenzen /und h erfaßt und das
Maximum der relativen Frequenzdrift anzeigt. to
4. Vorrichtung nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß ein auf einer Schiene (5) verfahrbarer
Schlitten (6) vorgesehen ist, mit dem der Quartz (8) von der einen Temperaturquelle (1) zu der anderen
(2) gebracht werden kann. -r>
5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß der Schlitten (6) mit elektrischen
Kontakten (9) und einem Kabel (10) versehen ist, über welche Elemente der Quartz mit der elektrischen
Einheit (It) verbindbar ist. v>
6. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 3 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die
Temperaturquellen (1, 2) vorzugsweise ebene Platten (3, 4) aufweisen, mit denen der Quartz (8) in
innigen Kontakt gebracht werden kann. v<
7. Vorrichtung nach einem oder mehreren der Ansprüche 3 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß die
eine Temperaturquelle (2) eine flüssigkeits-, insbesondere wassergekühlte Platte ist.
8. Vorrichtung nach einem oder mehreren der m> Ansprüche 3 bis 7, dadurch gekennzeichnet, daß ein
Frequenzkomparator (12), der eine Spannung abgibt, die repräsentativ für die Differenz zwischen
der Quartzfrequenz f und der Referenzfrequenz ft, ist, eine Diode (18), über die die Spannung an eine M
Kapazität (19) legbar ist, ein Schalter (21), über den die Kapazität (19) entladen werden kann, ein
Verstärker (22), der die Spannung ebenfalls erhält, und ein Anzeigeinstrument (23), insbesondere ein
Drehspulinstrument, vorgesehen sind, das die Spannung zur Anzeige bringt
Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur Bestimmung der Inversionstemperatur von piezoelektrischen
Schwingquartzen.
Die Frequenz eines Schwingquartzes hängt von der Temperatur nach folgendem Gesetz ab:
15
20 wobei /die Frequenz, /5> eine Referenzfrequenz, Γ die
Temperatur und ao,a\...a„ Koeffizienten sind.
Bei einem Quartz, der präzise dimensioniert und nach
den Kristallachsen orientiert ist, und der nach einem bestimmten Gesetz schwingt, sind gewisse Koeffizienten
sehr klein. Die Ausdrücke mit diesen Koeffizienten können insofern für einen begrenzten Temperaturbereich
vcnlächiässigi werden, was obigen Ausdruck
vereinfacht
Beispielsweise können für die Mehrzahl aller Schwingquartze für Frequenzen unter 1 MHz die
Ausdrücke η größer als 2 für den Bereich um die Umgebungstemperatur vernachlässigt werden. Man
erhält dann als relative Frequenzdrift:
/o
/o
^ Kn+ K1T+ K1T2.
Diese Formel, graphisch dargestellt, ergibt eine Parabel, für die die Symmetrieachse parallel zur
Ordinate liegt. K0 entspricht der relativen Frequenzdrift
bei T=O. K\ hängt für einen speziellen Schwiiigquartz von der Orientierung des aktiven Elements auf dem
Schwingquartz relativ zur Kris.ai'achse des Quartzes
und von dessen Dimensionen ab Ki hängt vor allem von
der Art der Schwingung und zu einem geringeren Teil von der Orientierung und den Dimensionen ab. K2
entspricht der Breite der Öffnung der Parabel, und sein Vorzeichen, normalerweise negativ, gibt an, daß die
Parabel nach unten offen ist.
Die Krümmung der Parabel wird Null bei To der Inversionstemperatur. In der Umgebung dieser Temperatur
besitzt der Quartz hinsichtlich seiner Frequenz die größte Temperaturunempfindlichkeit. Es besteht insofern
ein Interesse, diese Temperatur zu bestimmen.
Die Bestimmung von To mittels Messungen direkt an einem bestimmten Quartz fordert die Koordinaten
für drei Punkte, die drei Gleichungen mit drei Unbekannten bilden, welche, wenn sie gelöst sind, die
Werte ACo, K\ und Ki ergeben. Die Gleichung der
Parabel, welche die Funktion annähernd wiedergibt, ist dann bekannt. Um 7Ό zu bestimmen, ist die Ableitung
nach 7"zu bilden.
Will man dieses Verfahren in die Praxis umsetzen, braucht man entweder drei Räume mit unterschied!:·
chen Temperaturen oder einen Raum, der auf drei
bestimmte Temperaturen gebracht werden kann.
Man kann die Zahl bestimmter Punkte
Man kann die Zahl bestimmter Punkte
zwischen zwei gegebenen Grenzen beliebig vervielfachen.
Auf diese Weise können Anomalien in dem Frequenz Temperaturgang festgestellt werden. Eine
solche kann beispielsweise entstehen, wenn unerwünschte Schwingungsarten oktroyiert werden oder
wenn die Aufhängung fehlerhaft ist. Wenn man die Zahl
der Messungen gegen unendlich gehen läßt, erhält man eine kontinuierliche Kurve, die die Abhängigkeit
zwischen Frequenz und Temperatur wiederspiegelt. Wenn 7ö zwischen einer niedrigen und einer hohen
Temperatur liegt, findet man 7ö dann auf den ersten Blick.
Will man die Inversionstemperatur T0 durch die
Punktmethode erhalten, so bedarf das einer langen Zeit, weil sich die Temperatur in dem Meßraum nur langsam
ändert bzw. weil der Quartz von einen: Raum in einen anderen gebracht werden muß. Hinzukommt, daß,
abgesehen von den kontinuierlichen graphischen Darstellungen, die Daten, die man auf diese Weise
erhält, anschließend mittels Rechenmethoden behandelt werden müssen, um das gewünschte Ergebnis zu
erhalten. All das ist ungünstig, wenn es gilt, schnelle «>
Ergebnisse zu erhalten, was der Fall ist bei der Überprüfung von Quanzen, die in großen Stückzahlen
hergestellt werden.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Verfahren zu entwickeln, welches die schnelle Bestim- r,
mung der Inversionstemperatur ermöglicht.
Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß, wie im Kennzeichen des Anspruchs 1 angegeben, gelöst
Weitere Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der Zeichnung. Darin zeigt
Fi g. 1 eine graphische Datstellung der Abhängigkeit
zwischen der relativen Frequenzdrift
Temperatur, F i g. 2 eine graphische Darstellung der Kurve
und der
F ig. 3 schematisch eine Vorrichtung zur Durchführung
des erfindungsgemäßen Verfahrens in zwei Stellungen,
F i g. 4 schematisch einen Schaltkreis zur Bestimmung der Inversionstemperatur,
F i g. 5 ein Beispiel für eine Eiohkurve und
F i g. 6 die Einteilung des Anzeigefeldes eines Meßinstrumentes, welches in einer Vorrichtung zur
Durchführung des erfindungsp· /näßen Verfahrens zur
A π<υαη/)<·ηΑ L j-i. »l . ■ ■. ■. t
r \llTTCtlUUIIg tVUlllllIL.
r \llTTCtlUUIIg tVUlllllIL.
Die Zahl der Punkte
die notwendig ist für die Bestimmung der Kurve, kann
auf zwei reduziert werden, wenn riner von ihnen mit der Inversionstemperatur Ta zusammenfällt und wenn der
Koeffizient des Ausdrucks zweiten Grades der Gleichung der Parabel bekannt ist (s. Fig. 1).
Für die Temperatur T0 wird die Ableitung nach der
Temperatur Null:
-( "Yl
tΛ Vn Jh
= (K1 + 2 K2 T)ι , = K1 + 2 K2 Tn .
so daß K, + 2 K2T0 = Ound damit/Ci = -2 K2T0KX.
Dieser Ausdruck für K\, eingeführt in die Gleichung was ergibt
Dieser Ausdruck für K\, eingeführt in die Gleichung was ergibt
führt zu
K0- 2K2T0T+ K2T2,
wobei für 7"= Tögilt:
wobei für 7"= Tögilt:
(
Ι/Λ
-κ KT*
\ Jo /1 /.,
Die Differenz der relativen Frequenzdrift Δτ, die ϊϊ
zwischen der Temperatur T und der Temperatur 7ö herrscht, ist
'"' - f " { r )
-- K2Ii - Tn) .
„
Jo \ Ja /ι ι.
Diese Funktion ist in F i g. 2 dargestellt.
Wenn die relative Frequenzdrift Δτ <= Δ zwischen
einer bekannten Temperatur T = Th und einer t>-,
unbekannten Temperatur Tö ist, wird die Gleichung:
I =
,- T„f,
T0 =
Zusammenfassend ergibt sich somit, daß für einen Quartz, für den die Konstante K2 bekannt ist, die
Bestimmung von T0 zu der Messung einer festen
Temperatur Th und der Frequenzdrift relativ dazu
zwischen 7* und T0 führt. Ist Th größer als T0, ist das
Zeichen vor der Wurzel Minus. Ist Th kleiner als Ti, ist
das Zeichen positiv.
Die Erfindung basiert auf folgenden Annahmen:
a) Für iden::sche Quartze, die sorfefiltig hergestellt
worden sind, verändert sich die Frequenz mi*, der Temperatur nach dem Gesetz
ei.i Ausdruck, in dem K2 bekannt, konstant und
reproduzierbar ist.
b) Wenn die Temperatur Teine Funktion der Zeit 9(t)
ist, verändert sich die Frequenz nach dem Gesetz
Δτ=
unter der Bedingung, daß die Geschwindigkeit der
Änderung
df
Γ V C)J
der Temperatur hinreichend klein ist, so daß man die Wirkung der thermischen Zeitkonstanten des
Quart/es vernachlässigen kann.
Fig. 3 zeigt eine Anordnung gemäß der Erfindung, i<
> mit der das oben dargelegte in die Praxis umgesetzt werden kann. Auf einer Grundplatte befinden sich zwei
Ueizqucllen 1 und 2, die auf verschiedene Temperaturen gebracht werden können. Sie sind mit ebenen
thermischen Kontaktflächen 3 und 4 ausgerüstet, die ι ϊ sich in der gleichen Ebene befinden und mechanisch
über eine Gleitschiene 5 miteinander verbunden sind, auf der ein Schlitten 6 hin- und herbewegt werden kann.
Letzterer ist mit einer öffnung 7 für einen zu prüfenden Quartz 8 ausgerüstet. Der Quartz wird in innigen _>
<i Kontakt mit der einen oder anderen Kontaktfläche 3 bzw. 4 gebracht. Der Schlitten 6 ist mit elektrischen
Zuführungen 9 für den Quartz 8 versehen. Ferner ist ein Anschlußkabel 10 vorhanden, über das der Quartz mit
einer Meßapparatur verbunden ist, wobei das Kabel die r> Verschiebung des Schlittens zuläßt.
Der Meßkreis der Anordnung ist in F i g. 4 dargestellt. Er weist einen elektronischen Kreis 11, der einen Quartz
8 in Resonanzschwingungen hält, einen Frequenzkomparator 12, der die Frequenzdrift /"des Resonators 8 in in
bezug auf die Referenzfrequenz /ö mißt, welche von einem Generator 13 stammt, und eine Anzeigeeinheit 14
auf. Der Generator 13 führt an seinem Ausgang 15 ein Signal, dessen Frequenz /Ό innerhalb eines bestimmten
Bereiches mittels eines Organs 16 geändert werden r> kann. Der Komparator 12 liefert an seinem Ausgang 17
ein Signal in Form einer kontinuierlichen Gleichspannung, die proportional zu der Frequenzdrift
Af = /·-/„ ,„
und damit zu der relativen Frequenzdrift J ist, wobei
die Größe der Frequenz fa als Eichkonstante aufgefaßt
werden kann.
Die Anzeigeeinheit 14 weist eine Diode 18, deren 4',
Vorwärtsspannungsabfall vernachlässigt werden kann, und die mit dem Ausgang des Komparators 12
verbunden ist, und einen Kondensator 19 auf, der als Speicher dient und mit der Diode verbunden ist.
Der Kondensator 19 kann über einen Widerstand 20 ,o
entladen werden, welcher mittels eines Schalters 21 eingeschaltet werden kann. Ein Verstärker 22 mit hoher
Eingangsimpedanz verbindet den Kondensator 19 mit einem Drehspulinstrument 23, das mittels eines
Widerstandes 24 eingestellt werden kann. Das Instrument 23 zeigt Werte an, die proportional zu der
Spannung sind, welche an den Kontakten des Kondensators 13 anliegt Der Strom ist dabei vernachlässigbar
klein.
Die Bestimmung der Inversionstemperatur 7ö des Quartzes kann in folgender Weise erfolgen: Die eine
Heizquelle, z. B. 1 (F i g. 3), wird auf die Temperatur 7*
gebracht, die größer als die vermutete Inversionstemperatur ist, und auf dieser Temperatur gehalten. Die
andere Heizquelle, z. B. 2, wird auf die Temperatur Tf gebracht, die kleiner als To ist To Hegt dann zwischen Tn
und Tf.
Der Quartz 8 wird in die öffnung 7 des Schlittens 6
gelegt und in Resonanzschwingungen versetzt. Er wird dann in Kontakt mit der Heizquelle mit der Temperatur
Tf1 gebracht. Seine Frequenz wird und bleibt dann fh (s.
F'g-2).
Dann wird der Schalter 21 (Fig.4) geschlossen, die
Referenzfrequenz k des Generators 13 wird mittels des Organs 16 so eingestellt, daß /ö = fh ist. Der Komparator
12 gibt Null Volt an seinem Ausgang 17 ab. Das zeigt auch das Instrument 23 an. Wenn der Quartz seine
Gleichgewichtstemperatur 7» erreicht hat, bleibt die Anzeige Null. Die Vorjustierung des derates ist nun
beendet.
Dann wird der Schalter 21 geöffnet, der Quartz 8 wird
in thermischen Kontakt mit der zweiten Heizquelle mit der Temperatur 7}gebracht, indem der Schlitten 6 längs
der Schiene 5 bewegt wird. Die Frequenz /"des Quartzes
wandert nun auf den neuen Wert ff (s. F i g. 2). Der
Komparator 12 liefert über seinen Ausgang 17 eine
lJ^suiiiiuiia piupvt liviitli *-u r uitu t«ttt i.irr\.r ■ umi HUI
derart, daß diese über die Diode 18 an dem Kondensator 19 und dem Eingang des Verstärkers 22 anliegt. Das
Instrument 23 zeigt den Spannungsverlauf an.
Sobald die Inversionstemperatur T0 erreicht ist, läuft
die relative Frequenzdrift durch den Maximalwert von ά. Die Ausgangsspannung des Komparators 12 wird in
dem Kondensator 19 gespeichert, und das Instrument 23 zeigt abermals die entsprechende Bewegung an.
Dit Temperaturänderung in Richtung auf 7>hält nach
dem Durchlaufen des Wertes TO an. Die Frequenzvariation fällt ab, ebenso die Ausgangsspannung des
Komparators 12.
Der Kondensator 19 kann sich jedoch nicht entladen,
so daß die Maximalspannung gespeichert wird, welche der relativen Frequenzdrift Δ entspricht. Das Instrument
23 zeigt diesen Wert fortgesetzt an. Es ist sinnvoll, die Skala des Instrumentes 23 so einzuteilen, daß sie eine
Funktion der Spannung an den Kontakten der Kapazität 19 darstellt, gemäß der Beziehung
= Th -
Es kann unterstellt werden, daß die Konstante K2
gleich dem Durchschnittswert für alle zu messende Quartze gleicher Art ist.
F i g. 5 zeigt die Eichkurve für die Anordnung für AG
= 4 · 10 - 8/° C2, die typisch für einen Quartz ist, der in der
Grundbiegungsart in der kristallographischer Ebene XYbei einer Temperatur Th = 55° C schwingt.
F i g. 6 zeigt die Einteilung der Skala des Instrumentes 23. Die untere Reihe stellt die T0-Werte dar. Ganz links
liegt der Punkt T0 = 7% Diesem ist der Wert 4 = 0
zugeordnet, was gleichbedeutend mit f—k ist Die
Angabe 100% ganz rechts bedeutet 4 = 100%, was gleichbedeutend mit f=2 f0 ist Wenn die Temperatur Th
mit ±1°C konstantgehalten wird und K2 mit ±10% Genauigkeit bekannt ist ist die Genauigkeit der
Messung von T0 ±2° C im Bereich von 25° C, eine
Genauigkeit die in den meisten Fällen ausreicht
Für Quartze, die ein Volumen von 0,1 cm3 haben, dauert die Bestimmung der Inversionstemperatur
größenordnungsmäßig 1 Minute. Bei der Punkt-für-Punki-Besiimnrang
gemäß dem Stromverfahren ist größenordnungsmäßig 1 Stunde erforderlich.
Es ist klar, daß die Heizquelle mit der niederer
Temperatur Bestimmung Bestimmung
Ti ebenso als Referenzpunkt für dienen kann. Man würde dann
die die
verwenden.
Du jrundsätzlich die Präzision der Referenztemperatur
besummend ist, und da es ausreicht, daß die andere
Temperatur auf der anderen Seite von T0 liegt, ohne daß
die präzise Kenntnis derselben von Wichtigkeit wäre, ist es vorteilhaft, die höhere Temperaturquelle als Referenzpunkt
zu nehmen. Diese Quelle kann dann eine erhitzte Platte mit der Temperatur Th sein, die konstant
und leicht zu reproduzieren ist. Die andere Quelle ist eine kalte Platte, von der nur bekannt ist, daß ihre
Temperatur niedriger als die Inversionstemperatur ist. Diese Platte kann beispielsweise eine durch kaltes
Wasser gekühlte Platte sein.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen
Claims (1)
1. Verfahren zur Bestimmung der Inversionstemperatur eines piezoelektrischen Schwingquartzes,
dadurch gekennzeichnet, daß man einen Quartz mit Resonanzfrequenz schwingen läßt, daß
man ihn auf eine konstante Temperatur 7* bringt, die
über oder unter, vorzugsweise über der Inversionstemperatur To liegt, daß man die der Temperatur 7*
zugeordnete Resonanzfrequenz f0 einstellt, daß man
den Quartz auf eine Temperatur 7} bringt, die unter oder über, vorzugsweise unter der Inversionstemperatur
7Ό liegt, und die relative Frequenzdrift
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CH1386375A CH591765A5 (de) | 1975-10-27 | 1975-10-27 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2648508A1 DE2648508A1 (de) | 1977-04-28 |
DE2648508B2 true DE2648508B2 (de) | 1978-12-14 |
DE2648508C3 DE2648508C3 (de) | 1979-08-16 |
Family
ID=4395984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2648508A Expired DE2648508C3 (de) | 1975-10-27 | 1976-10-22 | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Inversionstemperatur eines piezoelektrischen Schwingquarzes |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4084131A (de) |
JP (1) | JPS5254393A (de) |
CH (1) | CH591765A5 (de) |
DE (1) | DE2648508C3 (de) |
FR (1) | FR2334115A1 (de) |
GB (1) | GB1518868A (de) |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4412172A (en) * | 1981-10-28 | 1983-10-25 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of measuring the thermal properties of a resonator |
JP2925158B2 (ja) * | 1988-07-29 | 1999-07-28 | 株式会社東芝 | 変調器および送信器 |
JPH0198825A (ja) * | 1987-10-08 | 1989-04-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | こんろバーナ |
US4918372A (en) * | 1988-08-29 | 1990-04-17 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Method of measuring the thermal hysteresis of quartz crystal resonators |
US6365859B1 (en) * | 2000-06-28 | 2002-04-02 | Advanced Micro Devices | Processor IC performance metric |
US7113051B2 (en) * | 2004-01-07 | 2006-09-26 | Schlumberger Technology Corporation | Frequency characterization of quartz crystals |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2178225A (en) * | 1936-11-27 | 1939-10-31 | Rca Corp | Method of and apparatus for calibrating piezoelectric elements |
US2470737A (en) * | 1944-08-29 | 1949-05-17 | Premier Crystal Lab Inc | Method and means of finishing piezoelectric crystals |
US2691111A (en) * | 1949-08-05 | 1954-10-05 | Selectronics Inc | Readily accessible temperature controlled piezoelectric device test oven |
US3530377A (en) * | 1968-05-22 | 1970-09-22 | Winslow Tele Tronics Inc | Test means for determining the frequency stability of piezoelectric crystals |
US3916303A (en) * | 1974-02-11 | 1975-10-28 | Vladimir Petrovich Butuzov | Method for checking the quality of a piezoelectric material |
-
1975
- 1975-10-27 CH CH1386375A patent/CH591765A5/xx not_active IP Right Cessation
- 1975-11-24 FR FR7535792A patent/FR2334115A1/fr active Granted
-
1976
- 1976-10-01 GB GB40737/76A patent/GB1518868A/en not_active Expired
- 1976-10-05 US US05/729,636 patent/US4084131A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-10-19 JP JP51125994A patent/JPS5254393A/ja active Granted
- 1976-10-22 DE DE2648508A patent/DE2648508C3/de not_active Expired
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
FR2334115A1 (fr) | 1977-07-01 |
JPS6118354B2 (de) | 1986-05-12 |
CH591765A5 (de) | 1977-09-30 |
DE2648508A1 (de) | 1977-04-28 |
GB1518868A (en) | 1978-07-26 |
US4084131A (en) | 1978-04-11 |
FR2334115B1 (de) | 1978-05-19 |
JPS5254393A (en) | 1977-05-02 |
DE2648508C3 (de) | 1979-08-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2852570C2 (de) | Temperaturmeßvorrichtung | |
DE2636999C3 (de) | Verfahren zum berührungslosen Messen der spezifischen elektrischen Leitfähigkeit eines Plättchens | |
DE2303936C2 (de) | Drehmomentmesser | |
DE2652361B2 (de) | Schwingungscharakteristik eines mechanisch schwingungsfähigen Gebildes | |
DE2723571A1 (de) | Signalgenerator mit quarz-resonator | |
DE2639074C3 (de) | Verfahren und Anordnung zum Prüfen hermetisch eingeschlossener Zungenkontakte | |
EP0323466A1 (de) | Kristalloszillator-kompensationsschaltung | |
DE3601675A1 (de) | Mehrbereichsmesstaugliches elektronisches thermometer | |
DE2648508C3 (de) | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Inversionstemperatur eines piezoelektrischen Schwingquarzes | |
EP3012612A1 (de) | Verfahren und vorrichtung zur ermittlung der dichte eines fluids | |
DE3218511A1 (de) | Temperaturkompensierte messanordnung | |
EP0011724B1 (de) | Verfahren zur direkten Bestimmung der Magnetostriktionskonstanten und Vorrichtung zur Durchführung desselben | |
DE112005002225T5 (de) | Verfahren zur Mikrowellenmessung, Messgerät und Oszillator | |
DE2613528C3 (de) | Schwingkondensator | |
DE2435958C3 (de) | Geschwindigkeits-Messwandler | |
DE3200410A1 (de) | Verfahren zur messung der temperatur eines koerpers mittels mikrowellen und vorrichtung zur durchfuehrung des verfahrens | |
DE4122189C2 (de) | Verfahren und Anordnung zum Bestimmen der Rauschzahl von elektronischen Meßobjekten | |
DE1473391A1 (de) | Verfahren zum Messen der Koeffizienten der inneren Reibung einer Probe und Vorrichtung zur praktischen Ausfuehrung dieses Verfahrens | |
DE2738019C3 (de) | Vorrichtung zum Messen der Konzentration von Verunreinigungen in einem Stoff | |
DE4424422A1 (de) | Vorrichtung zum Bestimmen der Konzentration einer Flüssigkeitsmischung | |
DE661923C (de) | Vorrichtung zur selbsttaetigen Temperaturkompensation der Anzeige von elektrometrischen Messanordnungen | |
DE1598980A1 (de) | Messeinrichtung zum Messen des Feuchtegrades und anderen Eigenschaften von fluessigen und festen Stoffen | |
DE19641115A1 (de) | Viskoelastizitätssensor für kHz-Frequenzen | |
DE973069C (de) | Registriereinrichtung fuer elektrische Spannungen oder fuer nichtelektrische, durch elektrische Spannungen dargestellte Messgroessen | |
DE937203C (de) | Kapazitive Messschaltung zur Messung von Elongationen |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) | ||
8339 | Ceased/non-payment of the annual fee |