DE2645346C3 - Ionenquelle - Google Patents
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Classifications
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- H01J27/02—Ion sources; Ion guns
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- H01J27/18—Ion sources; Ion guns using high-frequency excitation, e.g. microwave excitation with an applied axial magnetic field
Description
65
B =
•rad-2).
Dabei ist C eine Proporuonalitätskonstante, e ist die
Eiektronenladung, N ist die Plasmadichte, Te ist die
Elektronentemperatur, und 77 ist die Ionentemperatur.
Es sei nun angenommen, daß die nachfolgende Proportionalitätsbeziehung zwischen der Elektronentemperatur 7>
und der Ionen tempera tür 77 gilt:
Je
. M_
Ti c "m
Dabei ist C die Proportionalitätskonstante, m ist die
Elektronenmasse, und A/ist die Ionenmasse.
Wenn die Plasmadichte N konstant gehalten wird aufgrund der Art der veiwendeten Ionenquelle, können
die normierte Helligkeit θ und die normierte Emissionsfähigkeit F wie folgt geschrieben werden:
B ~
I
I.
Die Erfindung bezieht sich auf eine Ionenquelle gemäß dem Oberbegriff des Patentanspruchs 1.
Die oben beschriebene Abhängigkeit der Helligkeit B und der Emissionsfähigkeit E können experimentell in
Ionenquellen des Hochfrequenz-Entladungstyps, des P.LG.-Typs, des Elektronen-Bombardement-Typs, des
Duoplasmatrontyps, usw. bestätigt werden. Wenn jedoch die Plasmadichte N erhöht werden kann, ergibt
sich eine geänderte Relation B~l, weil die Plasmadichte N proportional zum Ionenstrahlstrom / variiert Die
Helligkeit B wächst dann mit ansteigendem Ionenstrahlstrom /an.
Aus der US-PS 32 65 889 ist eine Ionenquelle bekannt,
die einen ersten Abschnitt zum Erzeugen eines Elektronenstrahls aufweist, ferner einen zweiten Abschnitt zum Ionisieren eines Gases durch Elektronenbeschuß mittels des in dem ersten Abschnitt erzeugten
Elektronenstrahls und einen Gaseinlaß zur Einführung von zu ionisierenden Gasen, wobei der Gaseinlaß in den
zweiten Abschnitt mündet und die dort vom Elektronenstrahl ionisierten Partikel in Form eines Ionenstrahls
in einer mit der Richtung des Elektronenstrahls übereinstimmenden Richtung aus dem zweiten Abschnitt herausgezogen werden.
Aus der US-PS 29 77 495 ist eine Ionenquelle bekannt,
bei der das zu ionisierende Gas in ein Rohr eingelassen wird, das Teil einer Mikrowellenenergie-Übertragungseinrichtung ist, und zwar ist rings um das Rohr ein
Mikrowellen-Hohlraumresonator angeordnet, der von einem Mikrowellenoszillator gespeist wird, so daß an
einer Stelle des Rohres, an der die Mikrowellenenergie maximal konzentriert wird, eine Ionisation von Gaspartikeln aufgrund der Hochfrequenz-Gasentladung erfolgt. Die ionisierten Partikel werden in einer bezüglich
der Gasströmung stromabwärts weisenden Richtung in
In der DE-AS 25 47 560 ist eine Ionenquelle vorgeschlagen worden, die ebenfalls eine Ionenquelle
mit einem ersten Abschnitt zum Erzeugen eines Elektronenstrahls aufweist, ferner einen zweiten Abschnitt zum Ionisieren eines Gases durch Elektronenbeschuß mittels des in dem ersten Abschnitt erzeugten
Elektronenstrahls und einen Gaseinlaß zur Einführung von zu ionisierenden Gasen, bei der jedoch die
Ionenquelle einen dritten Abschnitt zum Auffangen des Elektronenstrahls aufweist, der Gaseinlaß in den dritten
Abschnitt mündet, am zweiten Abschnitt eine von einem Mikrowellenoszillator gespeiste Mikrowellenenergie-Übertragungseinrichtung angeordnet ist und ein Ionenstrahl durch den ersten Abschnitt herausgezogen wird, ι s
Der Anmeldung liegt die Aufgabe zugrunde, eine
Ionenquelle der eingangs genannten Art anzugeben, mit
der ein Ionenstrahl oder mehrere Ionenstrahlen hoher Stromdichte und Stromstärke erzeugt werden können.
Die Lösung dieser Aufgabe ist im Patentanspruch 1 angegeben und in den Unteransprüchen vorteilhaft
weitergebildet
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen im Zusammenhang mi: den
Zeichnungen näher erläutert In den Zeichnungen zeigt
F i g. 1 eine Querschnittsansicht einer bevorzugten Ausführungsform der Ionenquelle;
Fig.2 und 3 perspektivische Ansichten anderer Ausführungsformen der Ionenquelle;
Fig.4 ein Dispersionsdiagramm des Elektronen- jo
strahl-Plasma-Systems der obigen Ausführungsformen;
Fig.5 ein charakteristisches Diagramm der Beziehungen zwischen der Plasmadichte und den Imaginärteilen der Frequenz;und
F i g. 6A, 6B und 6C charakteristische Diagramme der Beziehungen zwischen der Plasmadichte und den
Imaginärteilen der Frequenz, wobei als Parameter die magnetische Flußdichte (6AJl die Elektronenstrahlenenergie (6B) bzw. der Elektronenstrahlstrom (6C)
aufgetragen ist
Die Ionenquelle weist drei Abschnitte 1, 2 und 3 auf. Der erste Abschnitt 1 ist so ausgebildet, daß eine
Mehrzahl von Elektronenstrahlen erzeugt wird, um eine Vielzahl von Ionen zu extrahieren und zu fokussieren.
Der zweite Abschnitt 2 ist so ausgebildet daß eine Gasentladung mittels der Elektronenstrahlen aus dem
ersten Abschnitt 1 bewirkt wird und Ionen in hoher Dichte erzeugt werden mittels Mikrowellenschwingung,
die auf Wechselwirkung zwischen dem Plasma und den Elektronenstrahlen beruht Der dritte Abschnitt 3 ist
dazu ausgebildet die Elektronenstrahlen, nachdem sie im Abschnitt 2 genutzt worden sind, zu sammeln; er
erfüllt ferner die Funktion, die Mikrowellenschwingung im zweiten Abschnitt 2 zu unterstatzen.
In dem ersten Abschnitt 1 werden mehrere aus Metall bestehende zylindrische Kathoden 4 auf eine Temperatur aufgeheizt, die hoch genug ist zur Emission von
Elektronen von dem oberen Ende der zylindrischen Kathoden 4; dies erfolgt unter Verwendung eines
Glühdrahtes S, der im Abstand zwischen den zylinderförmigen Kathoden 4 angeordnet ist oder durch ein
Bombardement von Elektronen, die aus dem Glühdraht 5 emittiert werden. Die aus dem oberen Teil der
zylindrischen Kathoden 4 emittierten Elektronen werden in den zweiten Abschnitt 2 in Form von
mehreren Elektronenstrahl 8 eingeführt, und zwar aufgrund eines elektrischen Feldes, welches von einem
fokussierenden Elektronenstrahlerzeuger erzeugt wird,
der die zylindrischen Kathoden 4, eine Wehneltelektrode 6 und eine mit mehreren öffnungen T versehene
Anodenscheibe 7 aufweist
In dem zweiten Abschnitt 2 befindet sich ein Laufrohrraum 10, der von einem Laufrohr 9 in Form
eines Metallzylinders gebildet ist Der Laufrohrraum 10 steht mit seinem oberen Ende mit dem dritten Abschnitt
3 in Verbindung und ist mit seinem unteren Ende von dem ersten Abschnitt 1 über die mit mehreren
öffnungen T versehene Anodenscheibe 7 getrennt Das Laufrohr 9 dient gleichzeitig als Vakuumgehäuse und ist
von den anderen Elektroden über isolierende Zylinder U, 12 und 13 elektrisch isoliert
Es ist nicht unbedingt notwendig, daß das Laufrohr 9
als Vakuumgehäuse dient Es kann statt dessen ein besonderes Vakuumgehäuse aus dielektrischem Material oder aus Metall rings um das Laufrohr 9 angeordnet
sein.
Ferner ist ein Magnet 14 außerhalb des Laufrohres 9 angeordnet zur Erzeugung eines Magnetfeldes innerhalb des Laufrohrraumes 10 in dessen :<
<aler Richtung, welches dazu dient die aus dem zweiten Voschnitt 2
kommenden Elektronenstrahlen zu fokussieren und dem Plasma eine Schwingung mit der Zyklotronfrequenz zu ermöglichen. Es ergibt sich daraus, daß ein
elektrische» Hochfrequenzfeld, d.h. ein Mikrowellenfeld in dem zweiten Abschnitt 2 aufgrund von
Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkungen entsteht.
Der obere Teil des Laufrohres 9, der isolierende Zylinder 13 und die Auffangelektrodv 15 bilden
zusammen den dritten Abschnitt 3. Ein in der Gasphase befindliches metallisches Material, welches ionisiert
werden soll, wird über eine in dem Abschnitt 3 befindliche Gaseinlaßöffnung 16 eingelassen. Statt
dessen kann auch ein Metallverdampfungsschiffchen geringer Größe in dem dritten Abschnitt 3 angeordnet
werden, so daß der dritte Abschnitt 3 und das Laufrohr 9 mit dem Dampf des Metallmaterials zum Zweck der
Ionisierung angefüllt werden.
Bei einer solchen Anordnung kann das gasförmige Material über die Gaseinlaßöffnung 16 bzw. der aus dem
Schiffcnen austretende Metalldampf in das Innere des Laufrohres 9 eintreten. Das Laufrohr 9 besteht
allgemein aus elektrisch leitendem Material wie rostfreiem Stahl oder Kupfer. Da das Laufrohr 9 die
Form eines engen Rohres aufweist und daher einen hohen Strömungswiderstand besitzt, wird weitgehend
verhindert daß gasförmige neutrale Moleküle von dem dritten Abschnitt 3 in den ersten Abschnitt t, d. h. in den
Hochvakuumbereich, entweichen, so daß der Laufrohrraum 10 auf dem für die Ionisierung notwendigen
Gasdruck gehalten werden kann. Das Laufrohr 9, d. h. die Hauptkomponente des zweiten Abschnittes 2, wirkt
gleirhzr.it; als eine Art zylindrisches Wellenleiterrohr
und unterstützt damit das Erzeugen von Elektronenstrahl-Plasma-Wechsciwirkungen nach Maßgabe von
Kombinationen der Plasmawellenmoden und der Elektronenstrahlen, wobei die Plasmawellenmoden
bestimmt sind durch die Dispersionsgleichung des Plasmas in Wellenleiterrohren. Wenn der Gasdruck in
dem Laufraum IQ den kritsichen Wert überschreitet und
ferner mehrere Bedingungen erfüllt sind wie 3twa hinsichtlich der Stromstärke der aus dem ersten
Abschnitt 1 austretenden Elektronenstrahlen 8, der Beschleunigungsenergie, der Form des Laufrohres 9 und
der Stärke des innerhalb des Laufrohres 9 herrschenden Magnetfeldes, findet eine Gasentladung statt aufgrund
der Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkungen, wo-
durch ein Plasma extrem hoher Dichte in wirksamer Weise gebildet wird.
Die Ionisierung kann ferner durch folgende Vorgänge unterstützt werden. Sekundärelektronen, die beim
Auftreffen der Elektronenstrahlen 8 auf der Auffangelektrode 15 entstehen, werden wirksam in den
Laufrohrraum 10 reflektiert aufgrund des Umstandes, daß das Potential der Auffangelektrode 15 um 100 bis zu
einigen Hundert Volt unter dem des Laufrohres 9 gehalten wird. Alternativ wird eine zweite Elektronenquelle
in dem dritten Abschnitt 3 vorgesehen um dem Laufrohrraum 10 in dem zweiten Abschnitt 2 Elektronen
zuzuführen. Aufgrund dieser Vorgänge wird die Ionendichte in dem Laufrohrraum 10 über den
kritischen Wert erhöht, der dazu notwendig ist, die Mikrowellenschwingung aufgrund der Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkungen
einzuleiten.
Danach werden die auf diese Weise in dem [.aiifrohrranm 10 mittels der Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkungen
erhaltenen Ionen hoher Dichte in einer den Elektronenstrahlen 8 entgegengesetzten
Richtung herausgezogen. Dabei wird die positive Raumladung durch die negative Raumladung der aus
dem ersten Abschnitt austretenden Elektronenstrahlen 8 neutralisiert. In anderen Worten ist das elektrische
Feld, welches von dem fokussierenden Elektronenstrahlerzeuger bestehend aus den zylindrischen Kathoden
4, der Wehneltelektrode 6 und der mit mehreren Öffnungen T versehenen Anodenscheibe 7 erzeugt
wird, p:.i lonenextraktionsfeld für die in dem zweiten
Abschnitt 2 erzeugten Ionen. Außerdem dient die mit mehreren öffnungen T versehene Anode 7 an der
Grenze zwischen dem ersten Abschnitt I und dem zweiten Abschnitt 2 als Ionenextraktionselektrode. Die
Ionen werden daher über die öffnungen T in den ersten
Bereich 1 herausgezogen. Die gut fokussierten lonenstrahlen 17 werden gebildet mit Hilfe der Raumladungsneutralisierenden
Wirkung der Elektronenstrahlen, so daß sie sich in axialer Richtung der jeweiligen
zylindrischen Kathoden 4 bewegen. Zusätzlich zu der Bildung von mehreren lonenstrahlen 17 in der oben
beschriebenen Weise kann ein einzelner Ionenstrahl honer Stromstärke dadurch gebiiciei werden. ciaS die
öffnungen T der Anode 7. die Wehneltelektrode 6 und die zylindrischen Kathoden 4 in ihrer Form modifiziert
werden. In diesem Fall ist die Oberfläche der mit mehreren öffnungen T versehenen Anode 7 entweder
konkav oder konve\ und die zugeordnete Wehneltelektrode 6 und die zylindrischen Kathoden 4 sind geeignet
angeordnet, wodurch die Form der zu kombinierenden lonenstrahlen 17 nach Wunsch gesteuert wird.
Die in Fig. 1 gezeigte Kathode 4 ist mit einer
indirekten Heizung ausgerüstet, bei der Hohlzylinder verwendet werden, die aus einem elektronenemittierenden
metallischen Material wie Wolfram oder Tantal bestehen; jedoch können statt dessen auch direkt
geheizte Kathoden verwendet werden. In diesem Fall wird ein elektronenemittierender Metalldraht in zylindrischer,
spiralförmiger Struktur angeordnet. Es werden dann Elektronen ausgelöst aufgrund der direkten
Zuführung von Heizstrom und gleichzeitig wird es den Ionen ermöglicht durch die Achse der Spiralstrukt zu
gelangen. Falls ein Gleichstrom zum Heizen der spiralförmig geformten Kathode verwendet wird, trägt
das durch diesen Gleichstrom erzeugte Magnetfeld vorteilhafterweise dazu bei. die Elektronen und Ionen 7ij
fokussieren.
F i g. 2 zeigt eine modifizierte Ausführungsform des ersten Abschnitts 1. Während in der Ausführungsform
von F i g. 1 die mit mehreren öffnungen T versehene Anorde 7 an der Grenze zwischen dem ersten Abschnitt
I und dem zweiten Abschnitt 2 eine Abschirmtrennwand darstellt, verwendet die AusfUhrungsform von
F i g. 2 eine spezielle, mit mehreren öffnungen versehene Abschirmelektrode 21, die am unteren Ende des
Laufrohres 9 vorgesehen ist, um die erwähnte Grenze zwischen dem ersten Abschnitt 1 und dem zweiten
Abschnitt 2 zu bilden. Eine mit mehreren öffnungen versehene Anodenscheibe 22 und eine mit mehreren
öffnungen versehene Kathodenscheibe 23 sind unterhalb der Abschirmelektrode 21 angeordnet, wobei die
Achsen der jeweiligen öffnungen 22' und 23' dieser Elektroden in Ausrichtung miteinander gehalten werden.
Die Elektronen, welche am Rand der öffnungen 23' der Kathode 23 ausgelöst werden, werden in Form von
mehreren Elektronenstrahlen fokussiert. Die resultierenden Elektronenstrahlen 24 treten dann in den
zweiten Abschnitt 2 ein und ziehen aus dem zweiten Abschnitt 2 Ionen in Form von mehreren Ionenstrahlen
25 heraus. Um eine Unübersichtlichkeit der Darstellung zu vermeiden, ist in F i g. 2 eine mit mehreren öffnungen
versehene Wehneltelektrodenplatte zwischen der Anodenscheibe 22 und der Kathodenscheibe 23 weggelassen
worden; es sei jedoch darauf hingewiesen, daß eine oder mehrere Elektrodenplatten zur Bildung eines
fokussierpnden Elektronenstrahlerzeugers zwischen der mit mehreren öffnungen 22' versehenen Anodenscheibe
22 und der mit mehreren öffnungen 23' versehenen Kathodenscheibe 23 angeordnet werden können, um
das Auslösen und das Fokussieren der Elektronenstrahlen 24 rings um die öffnungen 23' der Kathode 23 in
wirksamer Weise zu erreichen. Bei der beschriebenen Ausführungsform ist ein Maschendraht 26 rhombischer
Struktur zur Aufheizung der mit mehreren Öffnungen versehenen Kathodenscheibe 23 nach der Elektronen-Bombardement-Methode
vorgesehen. Andere Abwandlungen der Heizanordnung und der Form der mit mehreren öffnungen versehenen Kathodenscheibe 23
können vorgesehen werden.
F i g. 3 zeigt eine weitere Ausführungsform einer
uci um cn. ι
/.viniullM-iiclt Kdu
zylindrische Kathoden 31 und 32 mit einem radförmigen Querschnitt sind miteinander verbunden unter Zwischenschaltung
eines Zwischenzylinders 33 und dienen dazu, eine von einer ersten Stromversorgungselektrode
34 zu einer zweiten Stromversorgrungselektrode 35 über
die zylindrischen Kathoden 31 und 32 und den zwischengeschalteten Zylinder 33 übertragene Wechselstrom-
oder Gleichstromenergie zu empfangen. Daher werden die zylindrischen Kathoden 31 und 32 auf
einer hohen Temperatur gehalten. Über den zylindrischen Kathoden 31 und 32 ist ein fokussierendes
Elektrodensystem vorgesehen, welches es ermöglicht, daß Elektronen aus dem oberen Ende der Kathode 31
ausgelöst werden und für jeden der radartigen Sektorabschnitte fokussiert werden. Die Anzahl der
Elektronenstrahl™ 36 ist gleich der Anzahl der Sektorabschnitte. Gleichzeitig werden lonenstrahlen 37
fokussiert und extrahiert, und zwar in einer den Elektronenstrahlen 36 entgegengesetzten Richtung.
Da bei der vorangehenden Beschreibung eine Anodenscheibe mit mehreren öffnungen verwendet
wird, werden die Energie der in den Laufrohrraum gelangenden Elektronenstrahlen und die Ionenextraktionsenergie
weitgehend von der Spannung bestimmt, die der mit mehreren Öffnungen versehenen Scheibe
2ugef(thrt wird, so daß die Elektronenstrahlen und die lonenstrahlen im wesentlichen denselben Wert annehmen. Die Spannung kann jedoch von einem Strahl zum
anderen variiert wurden, wenn man vorsieht, daß die mit mehreren öffnungen versehene Scheibe geteilt wird,
d. h. die jeweiligen öffnungen unabhängig voneinander sind; es können dann die Energien der jeweiligen
Strahlen entsprechend eingestellt werden.
Das wesentlichewesentliche der Erfindung liegt nicht nur darin, daß die Elektronenstrahlen 8, die in den
zweiten Abschnitt 2 eintreten, auf in dem zweiten Abschnitt befindliche gasförmige Moleküle und Atome
auftreffen und diese ionisieren, sondern auch darin, daß eine Hochfrequenzschwingung, vorzugsweise eine Mikrowellenschwingung im Bereich von 2 bis 20GHz.
stattfindet aufgrund einer Instabilität, die« von dem Plasma in dem zweiten Abschnitt 2 und den einfallenden
Elektronenstrahlen 8 verursacht wird, wobei diese Wechselstromenergie von dem Plasma absorbiert wird
aufgrund der Hochfrequenz- bzw. Mikroweiienreso nanz und somit dieser Absorptionsprozeß zur Erzeugung eines Plasmas hoher Dichte führt. In anderen
Worten werden im Ansprechen auf das elektrische Mikrowellenfeld die Elektronen im Plasma aufgeheizt,
ίο daß sie eine zur Ionisierung neutraler Teilchen ausreichende Energie erhalten. Die hier beschriebene
Anordnung kann daher als Ionenquelle mit Mikrowellenaufheizung aufgrund einer sich selbst unterhaltenden
Mikrowellenschwingung bezeichnet werden.
Die in dem zweiten Abschnitt 2 auftretenden Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkungen werden in
Fig.·* gezeigt, wobei es sich um eines der Dispersionsdiagramme handelt, die aus einer mit kleinen Signalen
rechnenden Analyse berechnet werden, und wobei die Wellenzahl Ar als Ordinate in Einheiten cm-1 und die
Winkelfrequenz ω als Abszisse in Einheiten s-1 aufgetragen sind. Es ist bekannt, daß, wenn ein
elektrisches Feld in der Längsrichtung eines Elektronenstrahls auftritt auftrund einer durch irgendeine
Störung entstandenen Raumladung, eine Raumladungswelle auftritt aufgrund der auf dem genannten
elektrischen FsId beruhenden, im Sinne einer Wieder
laovetolltincr wirlrttrwJArt If l*aft Pornpr wirkt HlA I ΛΓΡΠίΤ.
Kraft, die durch den axialen magnetischen Fluß und die
seitliche Geschwindigkeit bestimmt ist, als Wiederherstellungskraft in seitlicher Richtung des genannten
elektrischen Feldes, wodurch die Zyklotronwelle erzeugt wird. Die Zyklotronwelle existiert in zwei
Wellenmoden, nämlich der langsamen Zyklotronwelle und der schnellen Zyklotronwelle. Wellen, die in dem
Elektronenstrahl-Plasma-System im zweiten Abschnitt 2 auftreten, sind die Raumladungswelle, die langsame
Zyklotronwelle, die schnelle Zyklotronwelle, die Plasmawelle usw. Diese Wellen treten in Wechselwirkung
miteinander innerhalb von fünf aktiven Bereichen, die in F i g. 4 mit A, B, C, D und £ bezeichnet sind, wobei A, C
und Ddie konvektiven Instabilitätsbereiche und Bund E
die absoluten Instabilitätsbereiche bezeichnen. Die erstgenannten Bereiche zeigen die Raumabhängigkeit
der aufgrund von konvektiven Instabilitäten entstehenden Wellen, während die zweitgenannten Bereiche die
Zeitabhängigkeit der aufgrund von absoluten Instabilitäten entstehenden Wellen anzeigen. Der Grad der
Instabilität, d. h-, wie schwierig es ist, die Bildung der
Mikrowellenschwingung zu bewirken, ergibt sich durch Auswertung der Imaginärteile der Fortpflanzungskonstanten und der Frequenzen dieser Wellen. Die Analyse
zeigt, daß die absolute Instabilität im Bereich B
diejenige Wechselwirkung ist, die am leichtesten
auftritt. Dies ist experimentell bestätigt worden durch Messung der Frequenz der im zweiten Abschnitt 2
erzeugten Mikrowelle.
Das Diagramm der Fig.4 gilt für folgende Daten:
Elektronenstrahlenenergie 5 KeV. Elektronenstrahl-Stromstärke 5OmA, Plasmadichte 1010Cm-3. magnetische Flußdichte 0,06 T, Stickstoff.
In Fig.5 wird eine qualitative Analyse der lonener-
ίο zeugung aufgrund der Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkung gegeben, wobei auf die Abhängigkeit
derjenigen Größe, welche die Instabilität anzeigt, nämlich des Imaginärteils der Winkelfrequenz ω* von
der Plasmadichte N Bezug genommen wird. In F i g. 5 ist
ι-, dementsprechend /VaIs Abszisse und ω, als Ordinate
aufgetragen. Die ω, Kurve ohne Kollisionseffekte hat ihr Maximum w,m beim Maximum der Plasmadichte Nmi,.
Falls man auch Kollisionseffekte in Betracht zieht, wobei die Kollision mit neutralen GasmolekUlen die
.Ό Tendenz hat, die Erzeugung von mikrowellen, Cuulombsche Stöße, elektrische Hochfrequenzfeldeffekte
usw. zurückzudrängen, steigt die Kollisionsfrequenz plötzlich mit ansteigender Plasmadichte N an. Da der
Kollisionsterm dahingehend wirkt, ω, um einen Wert
2i herabzusetzen und zu verschieben, der zu der
Kollisionsfrequenz in den Bereichen B und E absoluter Instabilität proportional ist, kann die auf Kollisionseffekten beruhende Kurve in derselben Figur veranschaulicht werden, in der die ω, Kurve ohne Kollisionseffekte
in gezeigt wird. Der effektive Wert von ω* d. h., der Wert,
der für eine in zeitlicher Beziehung anwachsende Schwingung maßgebend ist, wird näherungsweise durch
die Differenz ausgedrückt, die von diesen beiden Kurven umschlossen wird.
ι-, Die beiden Schnittpunkte zwischen den beiden Kurven, d. h. die Plasmadichten N„i„ und Λ/ο, die diesen
Punkten zugeordnet sind, bedeuten folgendes.
Bei einer Plasmadichte, die niedriger ist als Nmn treten
keine Schwingungen auf, während bei Plasmadichten,
die größer sind als Nmm Schwingungen auftreten. Daher
ist Nmm die minimale Plasmadichte für eine positive
Rückkopplung, welche die Plasmadichte drastisch onhphi nip Plasmadirhte. die dann erzeuet wird.
gelangt schließlich in einen stationären Zustand mit der
konstanten Plasmadichte Λ/ο. Da die Kurve ein
Maximum aufweist, ist die konstante Plasmadichte N0
ungefähr gleich dem Maximum Nmit. Um die konstante
Plasmadichte Λ/ο zu erhöhen, die von der Kollisionsfrequenz abhängt, ist es erforderlich, äußere Bedingungen
in anzustreben, die zu einer Erhöhung von Nmax entsprechend dem Maximum von ω, führen. Darüber hinaus ist
es notwendig, daß ω, groß genug ist, um die Schwingungen aufrechtzuerhalten. Die Grenzplasmadichte, bei der die Schwingungen beginnen, nämlich
Nmin. ist in dem Fall erforderlich. In anderen Worten,
wenn die Plasmadichte N, die auf Stoßionisation mittels des Elektronenstrahls 8 aus dem ersten Bereich 1 beruht,
oberhalb von N„m liegt, treten Mikrowellenschwingungen auf, welche die Plasmadichte N drastisch anheben.
Die dann erzeugte Plasmadichte gelangt in einen stationären Zustand mit der konstanten Plasmadichte
Λ/ο, was nahe bei Nmx, liegt Um eine solche Forderung
zu erfüllen, wenden die Sekundärelektronen hohen Ionisierungswirkungsgrades aus dem dritten Abschnitt 3
in den zweiten Abschnitt 2 reflektiert Alternativ werden die Form der Grenze zwischen dem zweiten
Abschnitt 2 und dem ersten oder dritten Abschnitt 1 bzw. 3 oder der Gasdruck entsprechend gewählt
F i g. 6 zeigt die Beziehung zwischen der Plasmadich-M N in Einheiten cm3 und dem Imaginärteil der
Frequenz ω, in Einheiten s-', wenn die äußeren iedingungen, die zu der Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkung beitragen, variiert werden, wie z. B. die >
magnetische FlußdL'hte, die Energie des einfallenden Elektronenstrahls und dessen Stromstärke.
Das magnetische Feld, welches in dem zweiten Abschnitt 2 mittels des Magneten 14 erzeugt wird,
fokussiert die Elektronenstrahlen 8 aus dem ersten in Abschnitt 1 und bestimmt die Zyklotronfrequenz in dem
tweiten Abschnitt 2. Die in den Fig.6A bis 6C dargestellten Beziehungen gelten für Wasserstoff und
•inen Laufrohrradius von 0,55 cm. In Fig.6A ist die
Elektronenstrahlenenergie 10 KeV und der Elektronen- ι ■-,
ttrahlstrom ist 50mA. In Fig.6B ist der Elektronenttrahlstrom 50 mA, und die magnetische Flußdichte ist
(M T. In Fi g. 6C ist die Elektronenstrahlenenergie IC KcV, und die magnetische FiuSdichte ist 0,1 T. Wie
man aus Fig.6A sieht, wächst /Vm„ an, wenn die
magnetische Flußdichte anwächst, während ω, bei den geringeren Plasmadichten N kleiner wird, was eine
Schwierigkeit bei der Einleitung von Schwingungen darstellt. Ferner ergeben sich, wie man aus F i g. 6B
ersieht, ähnliche Bedingungen bei Änderungen der r> Elektronenstrahlenergie. Wie in Fig.6C gezeigt wird,
verschiebt sich bei Änderungen des Elektronenstrahl-Stromes die ω, Kurve. Es ist daher zu erwarten, daß das
Plasma hoher Dichte, welches auf der Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkung beruht, dadurch erhältlich ist,
daß man Variationen der obenerwähnten Parameter in
Betracht zieht. Zum Beispiel ist unter den Bedingungen
einer Elektronenstraiilenergie von 20 bis 50 KeV, einem
Elektronenstrahlstrom von I bis 5A und einer magnetischen Flußdichte von 03 bis 1 T die erhältliche
Plasmadichte etwa 10l2bis 1013Cm3.
Somit besteht ein wesentliches Merkmal der Erfindung darin, daß der zweite Abschnitt 2 von dem ersten
und dritten Abschnitt 1 bzw. 3 so getrennt ist, daß diese Abschnitte elektrisch und mechanisch unabhängig
voneinander gesteuert werden können, um eine möglichst wirksame Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkung und damit eine möglichst hohe Ionendichte in
dem zweiten Abschnitt 2 zu erzeugen.
Ein weiteres wichtiges Merkmal betrifft die lonenstrahl-Extraktionseinrichtung. Wenn es erwünscht ist,
die Größe der Ionenquelle um einen Faktor L zu multiplizieren und einen Ionenstrahl ähnlicher Form mit
derselben Ionenextraktionsspannung zu erhalten, während die Ipnenextraktionseinrichtung in ihrer optimalen
Form erhalten bleiben soll, ist es lediglich erforderlich, die Plasmadichte Nentsprechend der Proportionalitätstheorie mit MD zu multiplizieren. Es ergibt sich dann,
daß der gleiche Ionenstrom erhalten werden kann. Um daher eine Ionenquelle hoher Stromstärke zu schaffen,
wird vorzugsweise so vorgegangen, daß ein Ionenstrom, der so groß wie möglich ist, über eine mit einer einzigen
öffnung versehenen Elektrode extrahiert wird und eine Mehrzahl derartiger lonenextraktionseinrichtungen optimaler Form angeordnet werden, um eine mehrere
Öffnungen aufweisende Ionenstrahl-Extraktionseinrichtung zu bilden.
Claims (8)
1. Ionenquelle, bestehend aus drei Abschnitten mit folgenden Merkmalen: s
Im ersten Abschnitt (1) werden
1.1 ein Elektronenstrahl oder
1.2 mehrere Elektronenstrahlen (8,24,36) erzeugt;
13 der Ionenstrahl wird durch den ersten Abschnitt
(1) hindurch abgesaugt,
1.4 bzw. mehrere Ionenstrahlen (17,23,37) werden
durch den ersten Abschnitt (1) hindurch abgesaugt;
2.1 im zweiten Abschnitt (2) wird mittels Bestrahlung durch den bzw. die Elektronenstrahlen (8,
24,36) eines Gases ein Plasma erzeugt,
12 dessen Dichte so eingestellt wird, daß infolge
der Elektronenstrahl-Plasma-Wechselwirkung eine sich selbst unterhaltende Mikrowellen-Schwingung entsteht;
3.1 im dritten Abschnitt (3) werden der Elektronenstrahl bzw. die Elektronenstrahlen (8, 24, 36)
aufgefangen;
32 das Gas wird durch den dritten in den zweiten
Abschnitt eingespeist;
dabei bilden die Merkmale 1.1,13,2.1,3.1 und 3.2 den
Oberbegriff und die Merkmale 1.2, 1.4 und 2.2 den kennzeichnenden Teil.
2. Ionenquelle nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronenstrahlerzeuger des
ersten Abschnitts (1) eine mehrere öffnungen (7', 22') aufweisende Anode (7,22) um aßt.
3. Ionenquelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektron !!strahlerzeuger
mehrere Kathoden (4) aufweist
4. Ionenquelle nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Elektronenstrahlerzeuger
eine Kathode (23; 31) mit mehreren Öffnungen aufweist
5. Ionenquelle nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, daß zwei axial übereinander angeordnete
radförmige Kathoden (31, 32) vorgesehen sind, die jeweils sektorenförmige öffnungen aufweisen, und
daß die sektorförmigen öffnungen der einen Kathode (31) mit denen der anderen Kathode (32)
axial und winkelmäßig zueinander ausgerichtet sind.
6. Ionenquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß ein Magnet (14) vorgesehen ist, der in einem Laufrohr (9) im
zweiten Abschnitt (2) ein axial verlaufendes Magnetfeld erzeugt.
7. Ionenquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet daß das Laufrohr (9) bezüglich einer Auffangelektrode (15) im
dritten Abschnitt (3) ein positives Potential aufweist zwecks Einleitung von Sekundärelektronen von der
Auffangelektrode (15) in den zweiten Abschnitt (2).
8. Ionenquelle nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der dritte ω
Abschnitt (3) eine zusätzliche Elektronenquelle zur zusätzlichen Einführung von Elektronen in den
zweiten Abschnitt (2) aufweist.
Eine derartige Ionenquelle ist Gegenstand des älteren Patents 25 47 560.
Bei üblichen Ionenquellen, die eine Elektronen-Bombardement-Ionisierung aufgrund einer Gasentladung
verwenden, kann die Beziehung zwischen der normierten Emissionsfähigkeit E, die repräsentativ ist für einen
geeigneten Verlauf der Ionenbahn, der normierten Helligkeit B und des Ionenstrahlstromes / wie folgt
ausgedrückt werden:
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ID=14822825
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