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Verfahren und Vorrichtung zum Beobachten, Fotografieren und
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Messen der Temperatur von Objekten unter einem Hochtemperaturmikroskop
Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zum Beobachten und Fotografieren
von Feinstrukturen von Objekten und zum Messen ihrer Temperatur unter einem Hochtemperaturmikroskop.
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Das Hochtemperaturmikroskop wird dazu benutzt, die Struktur eines
Objektes bei hohen über der Zimmertemperatur liegenden Temperaturen oder Strukturänderungen
zu beobachten, denen das Objekt unterliegt, wenn es auf eine höhere Temperatur aufgeheizt
oder von einer hohen Temperatur auf Zimmertemperatur herabgekühlt wird.
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Für die obengenannten Beobachtungen sind höhere Beobachtungstemperaturen
und deren genaue Messung erforderlich, um genaue Daten für verschiedene Eigenschaften
zu erhalten.
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In herkömmlicher Weise wurde das Objekt dadurch beobachtet, daß ein
Gemisch aus dem vom Objekt reflektierten Licht und der Wärmestrahlung verwandt wurde,
die dann erzeugt wird, wenn das
Objekt einer hohen Temperatur ausgesetzt
ist. Das Wärmestrahlungsspektrum wird bei einer höheren Temperatur zum sichtbaren
Spektralbereich verschoben, begleitet den reflektierten Lichtstrahl vom Objekt und
stört die Beobachtung. Das Objekt wird daher wie ein Streulichtfleck gesehen und
der Kontrast ist verringert, so daß sich ein unscharfes Bild ergibt. Die Beobachtung
ist daher auf einen Bereich unterhalb einer bestimmten Temperatur beschränkt, bei
der die ausgesandte Wärmestrahlung, wenn das Objekt erhitzt ist, beginnt sich in
das Spektrum des reflektierten Lichtes hineinzuschieben.
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Da insbesondere die Intensität der Wärme strahlung mit der Temperatur
des Objektes ansteigt, ist die Wärmestrahlung mit steigender Temperatur für einen
steigenden prozentualen Anteil am sichtbaren Licht vom Objekt verantwortlich und
wird daher die Störung der Beobachtung sehr stark.
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Eine klare Beobachtung von Feinstrukturen des Objektes in einem Hochtemperaturmikroskop
ist somit selbstverständlich auf einen ziemlich schmalen Temperaturbereich über
der Zimmertemperatur beschränkt.
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Bei herkömmlichen Temperaturmeßverfahren für höhere Temperaturen wird
andererseits die Temperatur mit Hilfe eines Thermoelementes wahrgenommen und gemessen,
das durch Schweißen oder auf andere Weise mit dem Objekt in Kontakt gebracht wird.
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Dieses herkömmliche Temperaturmeßverfahren mit einem Thermoelement
hat jedoch den Nachteil, daß die Temperatur direkt auf der betrachteten Oberfläche
des Objektes nicht genau gemessen werden kann. Das heißt, daß die Temperaturverteilung
über das gesamte Objekt nicht gleichmäßig ist und daß die Thermoelementanzeige nicht
direkt die Temperatur auf der betrachteten Oberfläche des Objektes, sondern die
Temperatur des Kontaktpunktes des Thermoelementes wiedergibt, der abseits von der
betrachteten Oberfläche -liegt, so daß es einer derartigen Temperaturmessung an
der Genauigkeit der Messung der Temperatur auf der betrachteten
Oberfläche
mangelt.
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Insbesondere dann, wenn das Objekt dünn ist und eine geringe Wärmekapazität
hat, kann der Wärmeaustausch zwischen dem Thermoelement und dem Objekt nicht vernachlässigt
werden, so daß dann, wenn das Objekt aufgeheizt oder von einer hohen Temperatur
auf Zimmertemperatur abgekühlt wird, die Temperaturverteilung über das gesamte Objekt
noch uneinheitlicher wird und die Genauigkeit der Temperaturmessung wesentlich beeinträchtigt
wird.
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Ziel der Erfindung ist eine Vorrichtung zum Beobachten, Fotografieren
und Messen der Temperatur auf der Basis eines Hochtemperaturmikroskops, durch die
ein klares Bild des Objektes beobachtet und fotografiert und weiterhin die Temperatur
direkt auf der betrachteten Oberfläche des Objektes selbst dann mit großer Genauigkeit
gemessen werden kann, wenn das Objekt auf hinlänglich hohe Temperaturen erhitzt
ist.
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Dazu wird erfindungsgemäß das Objekt mit einem Lichtstrahl beleuchtet,
der ein erstes wunschgemäßes Wellenlängenband im sichtbaren Spektralbereich überdeckt,
dessen Intensität bezüglich der Tnter.s täb der Wä1u'esLi'ahlung vom Objekt in diesem
ersten Wellenlängenband relativ hoch ist, und daß ein zweites wunschgemäßes Wellenlängenband
nicht enthält, das außerhalb des Spektralbandes des auftreffenden Lichtes im sichtbaren
und nichtsichtbaren Spektralbereich festgelegt ist und in dem sich die Wärmestrahlung
in ihrer spektralen Intensitätsverteilung mit der Temperatur des Objektes ändert,
und daß aus dem Gemisch des reflektierten Lichtes und der Wärmestrahlung vom Objekt
nur der spektrale Anteil im ersten Band dazu benutzt wird, das Objekt zu beobachten
und zu fotografie-en und der spektrale Anteil im zweiten Band dazu benutzt wird,
die Temperatur des Objektes zu messen.
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Erfindungsgemäß wird somit das Objekt mit einem Lichtstrahl in einem
ersten wunschgem.ßen Band im sichtbaren Bereich beleuchtet, in dem das reflektiertlE
Licht relativ heller als die Wärmestrahlung vom Objekt bei höheren Temperaturen
ist. Dieses erste Band
enthält nicht ein zweites Band, das außerhalb
des Spektralbandes des Beleuchtungslichtes im sichtbaren oder nichtsichtbaren Spektralbereich
festgelegt ist und in dem sich die spektrale Intensitätsverteilung der Wärme strahlung
mit der Temperatur des Objektes ändert. Von dem Gemisch aus dem reflektierten Lichtstrahl
und der Wärmestrahlung vom Objekt wird nur das erste Spektralband zum Beobachten
und Fotografieren der Strukturen des Objektes und nur das zweite Spektralband zur
Temperaturmessung verwandt.
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Im folgenden wird anhand der zugehörigen Zeichnung ein bevorzugts
Ausführungsbeispiel der Erfindung näher erläutert: Fig. 1 zeigt in einem Diagramm
die spektrale Intensitätsverteilung der Strahlung eines schwarzen Körpers zur Erläuterung
des Grundgedankens der Erfindung.
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Fig. 2 zeigt schematisch ein Ausführungsbeispiel der erfindungsgemäßen
Vorrichtung.
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Fig. 1 zeigt die Kurven a der spektralen Intensitätsverteilung der
Strahlung eines schwarzen Körpers bei verschiedenen Temperaturen.Rese cherakteristischen
Kurven sind unabhängig vom strahlenden Körper und allen Körpern gemeinsam. Aus diesen
Kurven ist ersichtlich, daß die Wärmestrahlung bei einer beliebigen Temperatur eine
derartige spektrale Verteilung hat, daß die Intensität in der Nähe des infraroten
Bereiches hoch ist und im sichtbaren und langwelligen Infrarotbereich abnimmt.
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Um den Spektralbereich zwischen 1 bis 3 /um herum ist eine auffallendere
Intensitätsänderung mit der Temperatur verglichen mit den kirzeren und längeren
Wellenlängenbereichen festzustellen.
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Obwohl es in der Figur nicht dargestellt ist, hat es sich bestätigt,
dsß die spektrale Intensitätsverteilung bei Temperaturen, die bei einem Hochtemperaturmikroskop
verwandt werden, so verläuft, daß die maximale Intensität bei einer Wellenlänge
um
den Bereich zwischen 1,8 bis 2,5 /um erreicht wird.
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Bei der Beobachtung durch ein Hochtemperaturmikroskop setzt somit
die Verwendung eines Bandes im sichtbaren Bereich, in dem die Intensität der Wärmestrahlung
niedrig ist, die Störung der Wärmestrahlung herab, deren Intensität mit steigender
Temperatur des Objektes zunimmt.
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Insbesondere bei einer speziellen Wahl eines Bandes weiter im sichtbaren
Bereich für die Beleuchtung des Objektes, in dem die Intensität der Wärmestrahlung
relativ geringer ist, können störende Einflüsse der mitenthaltenden Wärme strahlung
auf die Beobachtung des Objektes weiter verringert werden.
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Wenn weiterhin der zum Beleuchten des Objektes verwandte Lichtstrahl
dasjenige Spektralband insbesondere im nichtsichtbaren Bereich nicht enthält, in
dem die Intensität der Wärmestrahlung sich stark mit der Temperatur des Objektes
ändert,und wenn dadurch eine Vermischung der Wärmestrahlung mit dem reflektierten
Lichtstrahl vom beleuchteten Objekt im nichtsichtbaren Bereich vermieden wird, kann
eine genaue Temperaturmessung durch die Ausnutzung des spektralen Anteils der Wärmestrahlung
im nichtsichtbaren Bereich sichergestellt werden, in dem sich die Intensitätsverteilung
der Wärme strahlung sehr stark mit der Temperatur des Objektes ändert.
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Die vorliegende Erfindung ist dadurch gekennzeichnet, daß die verschiedenen
spektralen Intensitätsverteilungen und Kennlinien der beiden obebeschriebenen Strahlen
zum Beobachten und Fotografieren des Objektes und zum Messen der Temperatur des
Objektes unter einem Hochtemperaturmikroskop verwandt werden.
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Im folgenden wird anhand der Zeichnung ein bevorzugtes Ausführungsbeispiel
des Aufbaus der erfindungsgemäßen Vorrichtung beschrieben, die sich auf die Beobachtung
und das Fotografieren eines Objektes und das Messen der Temperatur des Objektes
unter einem Hochtemperaturmikroskop bezieht.
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Das in Fig. 2 dargestellte Hochtemperaturmikroskop enthält ein-Beleuchtungssystem
1 bis 3 zum Beleuchten des Objektes 6, ein optisches Beobachtungssystem 10, 11,
zum Beobachten des Bildes des Objektes 6 über das vom Objekt 6 reflektierte Licht,
ein optisches Fotosystem 12 bis 15 zum Fotografieren des Bildes des Objektes 6 mittels
des vom Objekt 6 reflektierten Lichtstrahls, ein Temperaturmeßsystem 9, 16 bis 18
zum Messen der Temperatur der betrachteten Oberfläche des Objektes 6 mittels der
vom Objekt 6 bei einer hohen Temperatur ausgesandten Wärmestrahlung und ein optisches
Abbildungssystem 4 bis 8 zur Ausbildung eines Bildes des Objektes 6.
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Das Beleuchtungssystem besteht seinerseits aus einer Xenon-Lampe 1
mit großer Helligkeit, ein Infrarotabsorptionsfilter 2, das den spektralen Anteil
im Infrarotbereich beseitigt, damit der durchgelassene Lichtstrahl eine Spitzenintensität
hat, die im Spektralband des sichtbaren Bereiches, in dem die Wärmestrahlung a vom
Objekt 6 eine relativ niedrige Intensität hat, d.h. in einem Band liegt, dessen
Mittenwellenlänge bei 0,47 /um liegt, und ein Kondensor-oder Sammellinsensystem
3, um den Lichtstrahl, der durch das Infrarotabsorptionsfilter 2 geht, zu fokussieren.
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Das optische Beobachtungssystem besteht aus einem Hilfsobjektiv zum
Kompensieren der Abstandsänderung vom nichtdargestellten Okular zum Objekt und einem
Bandfilter 11 mit einer spektralen Bandpasscharakteristik, die nur den spektralen
enteil des reflektierten Lichtstrahles durchläßt, der in dem Band, das im sichtbaren
Bereich vorher festgelegt ist, d.h. in dem Band liegt, das von einer Wellenlänge
von 0,37 /um bis zu einer Wellenlänge von 0,52 ,um reicht.
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Das optische Fotosystem besteht aus einem Bandfilter 12 mit derselben
Bandpasscharakteristik, wie das Bandfilter 11, das im optischen Beobachtungssystem
verwandt wird, einem Strahlenteiler 13 zum Teilen des Lichtstrahles, der durch das
Bandfilter 12 gegangen ist, um das Fotoelement 15 zu beleuchten, das dazu benutzt
wird, die Belichtungszeit zum Fotografieren einzustellen,
und einemFotoobjektiv
14 zum Fokussieren des vom Bandfilter 12 durchgelassenen Lichtstrahls auf die nichtdargestellte
Filmoberfläche.
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Das Temperaturmeßsystem enthält einen Reflektor 9 zum Reflektieren
der Wärmestrahlung vom Objekt 6, eine Kondensor- oder Sammellinse 16 zum Sammeln
der reflektierten Wärmestrahlung, und ein Infrarotstrahlungsthermometer 17 mit einem
Fotoelement 18 mit einer Infrarotempfindlichkeitscharakteristik, das nur auf das
Spektralband von einer Wellenlänge 1,8 /um bis zu einer Wellenlänge 2,5 /um aus
der durch die Sammellinse 16 fokussierten Strahlung anspricht.
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Das Abbildungssystem umfaßt ein Objektiv 5 zum Übertragen des Lichtstrahls
vom Beleuchtungssystem auf das Objekt 6 und zum Einführen des reflektierten Lichtstrahls
und der Wärmestrahlung vom Objekt, die im folgenden als die beiden Strahlungen vom
Objekt bezeichnet werden, in das System, einen Strahlenteiler 4, der den Lichtstrahl
vom Beleuchtungssystem durch das Objektiv 5 auf das Objekt 6 richtet, und die Strahlungen
vom Objekt 6 durchläßt, und zwei Strahlenteiler 7 und 8 mit spektraler Selektivität,
wodurch das sichtbare Licht aus den Strahlungen vom Objekt heraus reflektiert wird,
so daß es jeweils das optische Beobachtungssystem und das optische Fotosystem erreicht,
während nahezu die gesamte Infrarot strahlung hindurchgeht.
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Die Beobachtung, das Fotografieren und die Messung der Temperatur
bei dem obenbeschriebenen Hochtemperaturmikroskop erfolgen auf die folgende Weise.
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Wenn das Objekt 6 eingesetzt und auf eine hohe Temperatur erhitzt
ist, wird die Xenon-Lampe 1 des Beleuchtungssystems angeschaltet und wird das ausgesandte
Licht durch das Infrarotabsorptionsfilter 2 geleitet, um den Infrarotanteil zu beseitigen,
so daß sich ein Lichtstrahl ergibt, dessen spektraler Anteil mit höherer Intensität
in einem Band mit der Mitten -wellenlänge von 0,47 /um im sichtbaren Bereich liegt.
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Der Lichtstrahl mit einem derartig gewählten Spektrum wird durch die
Kondensorlinse 3 fokussiert und auf den Strahlenteiler 4 gerichtet, von dem aus
er durch das Objektiv 5 zum Belichten des Objektes reflektiert wird.
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Da das Objekt 6 auf eine hohe Temperatur erhitzt ist, wird das reflektierte
Licht von der betrachteten Oberfläche von der Wärmestrahlung begleitet, die beide
durch das Objektiv 5 hindurch das Abbildungssystem erreichen.
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Diese Strahlungen, d.h. das Beleuchtungslicht und die Wärmestrahlung
vom Objekt gehendurch den Strahlenteiler 4 und durch die Strahlenteiler 7,8 und
den Reflektor 9, woraufhin die selektierten spektralen Anteile dem optischen Beobachtungssystem
10,11, dem optischen Fotosystem 12 bis 15 und dem Temperaturmeßsystem 9, 16 bis
18 Jeweils zugeführt werden.
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Da in diesem Fall die beiden Strahlenteiler 7 und 8 eine derartige
spektrale Selektivität haben, daß die Infrarotstrahlung hindurchgeht, wird ein Lichtstrahl,
der einen geringeren Infrarotanteil enthält, in das optische Beobachtungssystem
10, 11 und das optische Fotosystem 12 bis 15 eingeführt und gelangt ein Lichtstrahl
in das Temperaturmeßsystem 9, 16 bis 18, der durch die beiden Strahlenteiler 7,8
hindurchgegangen ist.
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Der in das optische Beobachtungssystem 10, 11 eintretende Lichtstrahl
geht durch das Hilfsobjektiv 10 und anschließend durch das Bandfilter 11, um den
Infrarotanteil zu beseitigen, so daß ein Lichtstrahl nur mit einem spektralen Anteil
im vorher festgelegten Band des sichtbaren Bereiches das nicht dargestellte Okular
erreichen kann.
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Da das Bandfilter 11 einen engen Bandpass von 0,37 bis 0,52 /um mit
einer Mittenwellenlänge hat, bei der die Intensität der Wärmestrahlung verglichen
mit der Intensität des Beleuchtungslichtes von der Xenon-Lampe 1 verschwindend gering
ist, d.h.
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mit einer Wellenlänge von 0,47 /um, bei der das Licht von der
Xenon-Lampe
nach dem Durchgang durch das Infrarotabsorptionsfilter 2 die maximale Intensität
hat, und da dieser Bandpass breit genug ist, um einen spektralen Anteil des auftreffenden
Lichtstrahles für eine klare visuelle Beobachtung durchzulassen, hat der durch das
Bandfilter 11 durchgelassene Lichtstrahl, der durch den Beobachter aufgenommen wird,
eine spektrale Intensitätsverteilung, wie sie in Fig. 1d dargestellt ist.
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Da der in das optische Fotosystem 12 bis 15 eintretende Lichtstrahl
durch das Bandfilter 12 gefiltert wird, das dieselbe Bandpasscharakteristik wie
das Bandfilter 11 im optischen Beobachtungssystem hat, ergibt sich ein Lichtstrahl
mit derselben spektralen Intensitätsverteilung, wie sie der Lichtstrahl aufweist,
der im optischen Beobachtungssystem verwandt wird, der anschließend die nichtdargestellte
Filmoberfläche über den Strahlenteiler 8 und das Fotoobjektiv 14 zum Fotografieren
erreicht.
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Der Lichtstrahl, der das Fotoelement 15 über den Strahlenteiler 13
erreicht, wird dazu benutzt, die optimale Belichtungszeit zum Fotografieren einzustellen.
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Der Lichtstrahl, der in das Temperaturmeßsystem 9, 16 bis 18 eintritt,
enthält, wie oben erwähnt, einen Infrarotanteil und erreicht den lichtempfindlichen
Teil 18 des Infrarotstrahlungsthermometers 17 über die Fokussierlinse 16.
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Die Temperatur des Objektes wird bezogen auf die Intensität des Infrarotanteils
des auftreffenden Lichtstrahles gemessen, die vom Fotoelement 18 wahrgenommen wird.
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Das Infrarotstrahlungsthermometer 17 kann von einem herkömmlichen
allgemein bekannten Typ sein, der auf die Intensität der Infrarotstrahlung ansprechend
ein Temperaturausgangssignal erzeugt.
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Im folgenden wird ein zahlenmäßiges Beispiel für die Charakteristiken
der
beiden Strahlenteiler 7 und 8 gegeben, die mit dem Infrarotstrahlungsthermometer
17 gekoppelt sind. Wenn ein Strahlenteiler 7, der 85 % der Infrarotstrahlung hindurchläßt
und ein Strahlenteiler 8 verwandt werden, der 10 O/o der Infrarotstrahlung durchläßt,
dann geht 85 % der Infrarotstrahlung vom Objekt 6 durch den ersten Strahlenteiler
7.und geht anschließend 10 % der durchgelassenen Infrarotstrahlung durch den zweiten
Strahlenteiler 8. Schließlich erreicht 8,5 % der einfallenden Infrarotstrahlung
das Temperaturmeßsystem 16 bis 18 über den Reflektor 9.
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Somit kann eine exakte Temperaturmessung dann erfolgen, wenn das benutzte
Infrarotstrahlungsthermometer 17 eine genügende Empfindlichkeit zur Wahrnehmung
der Strahlung hat, um die Temperatur des Objektes 6 zu messen, wenn 8,5 % der Infrarotstrahlung
vom Objekt 6 das System erreicht.
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Infrarotstrahlungsthermometer mit derartigen Eigenschaften sind gleichfalls
allgemein bekannt.
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Bei dem in der obenbeschriebenen Weise aufgebauten und verwandten
Hochtemperaturmikroskop wird das Objektiv mit einem Lichtstrahl ohne Infrarotanteil
beleuchtet, während ein Lichtstrahl in einem Band des sichtbaren Bereiches, in dem
die Intensität der Infrarotstrahlung verglichen mit der des reflektierten Lichtstrahles
gering ist, das optische Beobachtungssystem 10, 11 und das optische Fotosystem 12,
15 zum Beobachten und Fotografieren jeweils erreicht, wohingegen der Lichtstrahl,
der das Temperaturmeßsystem 9, 16 bis 18 erreicht, von einem Infrarotstrahlungsthermometer
wahrgenommen wird, das nur für die Infrarotstrahlung empfindlich ist, um die Temperatur
des Objektes 6 zu bestimmen.
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Erfindungsgemäß wird das Objekt mit einem Lichtstrahl in einem Spektralband
beleuchtet, in dem seine Intensität verglichen mit der Intensität der Wärme strahlung
vom Objekt relativ groß ist und erfolgen die Beobachtung und das Fotografieren des
Objektes
unter Ausnutzung eines Lichtstrahles im selben Band,
so daß die Störung der Wärmestrahlung relativ gering wird und dadurch die störenden
Einflüsse der mitenthaltenden Wärmestrahlung vermindert werden. Der hohe Kontrast
des Bildes bei Zimmertemperatur wird für das Bild des Objektes bei hohen Temperaturen
beibehalten, so daß ein klares Bild für die Beobachtung und das Fotografieren des
Objektes bei hohen Temperaturen erhalten wird.
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Die Intensität der Wärme strahlung steigt im allgemeinen mit der Temperatur
des Objektes an, jedoch kann durch eine spezielle Wahl des Spektralbandes, von dem
vorhergesagt werden kann, daß sich in ihm die Intensität der Wärmestrahlung wenig
ändert, ein merklicher Kontrast des Bildes des auf höhere Temperaturen aufgeheizten
Objektes beibehalten werden, so daß ein klares Bild des Objektes selbst bei derart
hohen Temperaturen beobachtet und fotografiert werden kann, bei denen bisher nur
ein undeutliches verwaschenes Bild des Objektes erhalten werden konnte.
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Da darüberhinaus ein anderes Spektralband, in dem sich die Intensität
der Wärmestrahlung mit der Temperatur des Objektes stark ändert, gewählt wird, das
sich von dem Band unterscheidet, das zum Beobachten und Fotografieren benutzt wird,
und da das Objekt mit einem LichtstrahlEeleuchtet wird, der keinen spektralen Anteil
in diesem anderen Band hat, ist der reflektierte Lichtstrahl spektral von der Wärmestrahlung
getrennt und kann daher die Temperatur in bezug auf die reine Wärmestrahlung gemessen
werden.
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Dementsprechend ist die Temperaturmessung außerordentlich genau und
spricht die Temperaturmessung unmittelbar auf eine Temperaturänderung an. Da die
zur Messung verwandte Wärmestrahlung von der Oberfläche des Objektes kommt, die
direkt beobachtet wird, kann darüberhinaus die Temperatur der beobachteten Oberfläche
selbst sogar dann gemessen werden, wenn die Beobachtungsstelle verschoben oder der
Beobachtungsbereicn
geändert wird.
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Verglichen mit der Temperaturmessung mit direktem Kontakt wird weiterhin
die Temperatur des Objektes erfindungsgemäß ohne direkten Kontakt gemessen, so daß
keine Wärmeübertragung zwischen dem Objekt und dem Wärmeübergang auftritt und somit
eine genaue und leichte Temperaturmessung in einfacher Weise erfolgen kann, ohne
daß für die Temperaturmessung spezielle Arbeitsvorgänge erforderlich sind.
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Wenn weiterhin eine Xenon-Lampe zum Beleuchten und ein Infrarotabsorptionsfilter
kombiniert verwandt werden, wie es bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel der
Fall ist, kann ein optimales Beleuchtungslicht erhalten werden, da der gefilterte
Lichtstrahl eine maximale Intensität bei einer Wellenlänge im sichtbaren Bereich
näher am ultravioletten Bereich hat.
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Wenn ein Band zwischen einer Wellenlänge von 0,37 und einer Wellenlänge
von 0,57 /um zum Beobachten und Fotografieren des Objektes und ein weiteres Band
zwischen einer Wellenlänge von 1,8 und einer Wellenlänge von 2,5 /um für die Temperaturmessung
des Objektes verwandt werden; ht ' WärmestrahluIg Objekt einen spektralen Anteil
mit einer ziemlich geringen Intensität im ersten Band, verglichen mit seinem spektralen
Anteil im anderen Band, so daß der reflektierte Lichtstrahl wenig Wärmestrahlung
enthält, wodurch der nachteilige Einfluß einer derartigen Strahlung, der das Bild
des Objektes unscharf macht, so klein wie möglich gehalten wird und daher eine weniger
helle Beleuchtungslampe verwandt werden kann. Das erlaubt eine breitere Wahl von
Lichtquellen, wobei infolge der Trennung des Beleuchturlgslichtes vom Spektralband
für die Temperaturmessunde und der starken Änderung der Intensität der Wärmestrahlung
mit der temperatur des Objektes in diesem Spektralband die Temperatur leicht und
genau wahrgenommen und gemessen werden kann.
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Wenn der Lichtstrahl vom Objekt durch die Strahlenteiler aufgeteilt
wird, und das Objekt unter Verwendung der einzelnen aufgeteilten Strahlen beobachtet
und fotografiert und gleichzeitig
seine Temperatur gemessen wird,
kann der Aufbau der Vorrichtung, wie es bei dem obigen Ausführungsbeispiel der Erfindung
dargestellt wurde, verglichen mit einer Vorrichtung vereinfacht werden, bei der
die Beobachtung und das Fotografieren getrennt von der Temperaturmessung erfolgen.
Gleichfalls wird auch das Arbeitsverfahren der Vorrichtung vereinfacht, so daß es
bequem angewandt werden kann und werden insbesondere dann genaue Daten in der gewünschten
Weise ohne Zeitverzögerung geliefert, wenn der Zustand oder die Temperatur des Objektes
sich abrupt ändert.