DE2622029A1 - Vorrichtung zur erzeugung eines hochtemperatur-plasmas - Google Patents
Vorrichtung zur erzeugung eines hochtemperatur-plasmasInfo
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Description
Patentanwälte „ ΑαΛβη, den 1?. m
DiPL-tNG. BRUNO SCHMETZ Augusfastraße 14-16 · Tel. (0241) 508051
DIPL-ING. WERNER KÖNIG
Soudure Eleetrique Autogene, Proc$d4e Arcos, S.A. in Brüssel,
Belgien
Die Erfindung betrifft «ine Vorrichtung zur Erzeugung eines Hochtemperatur-Plasmas
mit einer Gleichstromquelle, deren einer Pol an einer ersten Elektrode und deren anderer Pol an einer düsenförmigen
zweiten Elektrode liegt und die dazu dient, einen Zündlichfbogen
zwischen diesen beiden Elektroden zu unterhalten, mit Mitteln sum
Erzeugen eines von der ersten Elektrode auf die zweite Elektrode gerichteten und durch deren Düse hindurch tretenden Gasstromes, alt
einer hinter der zweiten Elektrode angeordneten düsenförMigen
dritten Elektrode, durch deren Düse der gebildete Plasmas tr ahl durchtritt, alt einer auf die dritte Elektrode folgenden rierten
Elektrode, zu welcher der Plasmastrahl gerichtet ist, und mit einer Wechselstroawiuell·, die mit der zweiten und dritten Elektrode rerbunden
ist und einen Iieistungslichtbogen speist, der das aus dem
dauernd brennenden, nicht τοη Wechselstrom überlagerten Zündlichtbogen
in seinen Bereich eintretende Plasma aufheizt.
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Eine derartige Vorrichtung ist durch die deutsche Patentschrift
1 440 594 bekannt. Kit dieser Torrichtung werden bereits gute Ergebnisse
ersielt.
Der vorliegenden Erfindung liegt die Aufgabe lugrunde, die bekannte
Vorrichtung noch weiter zu verbessern, und zwar insbesondere hinsichtlich der Beschaffenheit und Wirksamkeit ihres Leistungslichtbogens
sowie des von dieses aufgeheizten Plasmastrahls·
Hierzu, sieht die Erfindung bei einer Torrichtung der eingangs genannten
Art vor, daß die Wechselstromquelle zwecks Erstreckung des Leistcngslichtbogens bis zu der vierten Elektrode und weiterer
Aufheizung des Piasaas auch mit der vierten Elektrode verbunden
ist. Durch diese Maßnahme ergibt sich eine weitere Erhöhung der !Temperatur des gebildeten Plasmas und damit eine Terbesserung der
Wirksamkeit und Anwendungsmöglicbkeit desselben.
Bei der erfindungsgemäßen Torrichtung ist ferner vorgesehen, daß
zwischen der zweiten und der dritten Elektrode eine elektromagnetische Spule zur Erzielung eines den Plasmastrahl in drehende
Bewegung versetzenden Magnetfeldes vorgesehen ist. Durch diese elektromagnetische Spule und deren Wirkung wird erreicht, daß
eine Stabilisierung des Plasmas um seine Symmetrieachse stattfindet.
Ferner hat dies eine Verminderung der Erosion der dritten Elektrode zur folge, da sich hierdurch eine Vergrößerung des Auftreffbereiehes
des Plasmas auf dieser Elektrode ergibt. Bas von der elektromagnetischen Spule erzeugte elektremagnetische feld
weist dabei vorzugsweise eine Feldstärke von 400 Gauß auf.
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Erfind UDg β gemäß ist bei der neuen Torrichtung weiterhin vorgeeehen,
daß in dl· Wechselstromkreise einerseits zwischen der
zweiten und dritten Elektrode und andererseits zwischen der dritten und Tierten Elektrode Regelwiderstände für eine voneinander
unabhängige Regelung der Parameter (E,I,V) der sich zwischen diesen Elektroden erstreckenden Lichtbogenteil· eingeschaltet
sind. Dies ergibt die Möglichkeit, die zwischen der zweiten und dritten Elektrode sowie zwischen der dritten und -vierten
Elektrode befindlichen Lichtbogenteile und damit die Aufheizung des Plasmas durch diese den gegebenen Erfordernissen anzupassen.
Sei einer weiteren Ausgestaltung der erf indungsgemäßen Torrichtung
ist vorgesehen, daß die Düse der dritten Elektrode wenigstens einen doppelt so großen Durchmesser wie die Düse der zweiten
Elektrode aufweist· Diese Ausbildung ermöglicht eine Verbreiterung des sich ergebenden Plasmastrahls. Darüber hinaus trägt es wesentlich
zu einer Verringerung des Verschleißes der dritten Elektrode bei. Auch ergibt sich hierdurch die Möglichkeit, die zur Anwendung
gelangende elektrische Leistung bis zu etwa 5 Mbf ohne eine
wesentliche Erhöhung 4er Stromdichte zu erhöhen. Anderenfalls würde
eine derartige Leistungserhöhung schnell eine Beschädigung der dritten Elektrode nach sieh ziehen.
Bei einer besonderen Aueführungeform der erfindungsgemäßen Verrichtung
ist vorgesehen, daß diese eine dreifache Elektreden- und lichtbogenanoranung aufweist, wobei sich ihre drei Slektroien-
und Lichtbogenanordnungen in sternförmiger, mit ihren Plasma-
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strahlen gegeneinander gerichteter Anordnung befinden, sowie
als Weohseltromquelle für alle Anordnungen eine dreiphasige
Wechselstromquelle Torgesehen ist, und daß dabei die vierte
Elektrode allen drei Elektroden- und Lichtbogenanordnungen
gemeinsam ist. Diese Ausführungsform der Vorrichtung besitzt
besondere Eignung für diejenigen fälle, in welchen die Behandlung
bzw. Bearbeitung von Stoffen oder Gegenständen durch Plasaastrahlen
Hit besonders großer Intensität erfolgen soll.
Eine Weiterbildung der erfindungsgemäßen Vorrichtung sieht vor, daß die vierte Elektrode von der Wandung einer Reaktionekammer
oder dem Gehäuse eines dreiphasigen Plasmaofens gebildet ist. Erfindungsgeaäß kann bei der neuen Vorrichtung aber auch vorgesehen
sein, daß als vierte Elektrode ein durch Erwärmung zu bearbeitendes Werkstück dient.
Zur näheren Erläuterung und Veranschaulichung der Erfindung dienen
die beigefügten Zeichnungen, von welchen die figuren 1 bis 3 bekannte
Vorrichtungen und die figuren 4- bis 6 Ausführungsforaen
der erfindungsgemälen Verrichtung in schematischer Wiedergabe
zeigen.
fig. 1 eine bekannte Vorrichtung mit drei Elektroden, einer Gleichstromquelle und einer WeehseIstromquelle,
flg. 2 eine weitere bekannte Verrichtung mit drei Elektroden,
einer Gleichstromquelle und einer Wechselstromquelle,
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Mg. 3 eine bekannte Vorrichtung ait mehreren Elektroden sowie Gleichstromquellen und einer dreiphasigen
Wechselstromquelle,
fig. 4 eine erfindungsgemäße Vorrichtung mit vier Elektroden,
einer Gleichstromquelle und einer Wechselstromquelie,
Fig. 5 eine erfindungsgemäße Verrichtung mit mehreren Elektroden
sowie Gleichstromquellen und einer dreiphasigen Wechseltromquelle und
6 eine weitere erfindungsgemäße Vorrichtung mit mehreren Elektroden sowie Gleichstromquellen und einer dreiphasigen
Wechselstromquelle in Seildarstellung
Die "bekannte Vorrichtung gemäß Figur 1 besitzt eine Gleichstromquelle
2, deren einer Pol mit einer massiven ersten Elektrode 3 verbunden ist und deren anderer Pol an einer düsenförmigen zweiten
Elektrode 4 liegt. Hit der Stromquelle 2 kann ein dauernd brennender
G-leichstromlichtbogen zwischen den Elektroden 3,4 gezogen werden.
In den Zwischenraum zwischen den Elektroden 3 und 4 wird ein durch Pfeile 5 angedeuteter Gasstrom geleitet. Das von dem
Lichtbogen zwischen den beiden Elektroden 3,4 erzeugte Plasma wird von dem Gasstrom 5 durch die Düse der Elektrode 4 und von
dieser aus als Plasmastrahl 7 asu einer von einem Werkstück gebildten dritte Elektrode 6 getrieben. Sie dritte Elektrode 6
liegt an der Sekundärwicklung 8 eines als Wechselstromquelle dienenden Transformators 9, dessen Primärwicklung in herkömm-
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lieber Weis« gespeist ist. Die Sekundärwicklung 8 dieses Transformators
9 ist weiterhin mit der Elektrode 4 verbunden.
Die Düsenelektrode 4 ist in an sich bekannter Weise mit einer von
Kühlflüssigkeit durchs tr out en Ringkammer 10 ausgerüstet. Die Kühlflüssigkeit
tritt durch ein Zuführungsrohr 11 in die Ringkammer ein und verläßt diese durch ein Abführungsrohr 12.
Der ununterbrochene Plasmas trahl 7 zwischen den Elektroden 4 und
des Wechse!Stromkreiseβ ermöglicht die unverzögerte Zündung des
Wechselstromlichtbogens nach jedem Bulldurchgang. Durch die Energie des Yechselstromliehtbogens zwischen den Elektroden 4 und
erfolgt eine Aufheizung des Plasmastrahls 7.
Bei der bekannten Vorrichtung gemäß Pig. 2 sind eine erste massive
Elektrode 3, eine düsenförmige zweite Elektrode 4 und eine düsenförmige
dritte Elektrode 19 vorgesehen, welche sieh sämtlich in koaxialer Anordnung befinden. Die Vorrichtung besitzt auch eine
Gleichstromquelle 2, deren einer Pol mit der massiven erste Elektrode 3 und deren anderer Pol mit der düsenförmigen zweiten
Elektrode 4 verbunden ist. Ferner weist die Vorrichtung einen als Wechselstromquelle dienenden Transformator 9 auf, dessen
Sekundärwicklung 3 einerseits mit der düsenförmigen zweiten Elektrode 4 und andererseits mit der düsenförmigen dritten
Elektrode 19 in Verbindung steht. Die Düsenelektroden 4 und 19
besitzen auch bei dieser Vorrichtung jeweils eine Ringkammer 10 für den Durchtritt von Kühlflüssigkeit sowie entsprechende Anschlußrohre.
Wie durch die Pfeile 5 angedeutet, werden bei der
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Vorrichtung Gasströme der Dtisenelektrode 4 und der Düsenelektrode
19 zugeführt, um teils zur Bildung und teils zur Weiterbeförderung
des Plasmastrahls 7 zu dienen.
Die Wirkungsweise der Verrichtung gemäß Figur 4 ist derjenigen der Vorrichtung gemäß Figur 1 ähnlich. Der zwischen den Elektroden
4 und 19 durch den dort brennenden Wechsels tr omlichtbogen aufgeht
ic t· Plasmastrahl 7 gelangt mit Beschleunigung durch den der Düsenelektrode 19 zugeführt en Grasstrom 5 zu dem zu Dehandelnden
Werkstück 6», welches sieh mit Abstand τοπ der Düsenelektrode
im Bereich des aus dieser austretenden Plasmastrahls befindet.
Bei der bekannten Vorrichtung gemäß Figur 3 sind drei Paare von je einer ersten massiren Elektrode 3 bzw. 21 bzw. 30 und einer
dtisenförmigen zweiten Elektrode 4 bzw. 18 bzw. 28 vorgesehen.
Diese Elektrodenpaare befinden sich in sternförmiger mit ihren Plasmastrahlen 7,23,32 gegeneinander gerichteter Anordnung· Für
jedes Elektrodenpaar ist eine Gleichstromquelle 2 bzw. 20 bzw. 29 vorgesehen, deren einer Pol jeweils mit der ersten Elektrode
und deren zweiter Pol jeweils mit der zweiten Elektrode in Verbindung steht· Auch haben die dusenförmigen zweiten Elektroden
je eine Ringkammer 10 für den Durchtritt ron Kühlflüssigkeit
sowie entsprechend· Anschlußrohre 11,12. In den Zwischenraum zwischen
der ersten und zweiten Elektrode jedes Elektrodenpaares wird jeweils
ein Gasstrom eingeführt, was durch die Pfeile 5 bzw. 22 bzw. 31 angedeutet ist.
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Bit in Frag· stehende Vorrichtung "besitzt eine dreiphasige
Wechsels tromcLuelle 25. Von deren drei Phasen ist die Phase
ait der Düsenelektrode 4-, die Phase 26 mit der Düsenelektrode
und die Phase 27 mit der Düsenelektrode 28 verbunden. Hierdurch bilden sich sswischen den Düsenelektroden 4, 18 und 28 wechselweise
Wechselstromlichtbögen aus, durch welche eine Aufheizung
der aus den Düsenelektroden austretenden und zwischen diesen zusammentreffenden Piasaas tr ahlen 27,23 und 32 bewirkt wird.
Die in Fig. 4 dargestellte erfindungsgemäße Vorrichtung besitzt Ähnlichkeit mit der in Fig. 2 dargestellten bekannten Vorrichtung.
Soweit die Vorrichtung gemäß Fig. 4 Teile aufweist, welche Teilen
der Vorrichtung der Fig. 2 entsprechen, sind diese mit den gleichen
Bezugszahlen wie in Fig. 2 versehen.
Die Vorrichtung der Fig. 4 hat eine massive erste Elektrode sowie eine alt Abstand von dieser und koaxial zu derselben angeordnete
düsenförmige zweite Elektrode 4· An die massive
Elektrode 3 ist ein Pol und an die Düsenelektrode 4 der andere Pol einer Gleichstromquelle 2 angelegt. Zum Durchtritt eines
Kühlmittels besitzt die Düsenelektrede 4 eine Ringkammer 10 sowie AnsohluQrohre 11 und 12. In Abstand von der Düsenelektrode
4 sowie koaxial zu den beiden Elektroden 3,4 ist eine düsenförmige
dritte Elektrode 19 angeordnet. Die Düse dieser dritten Elektrode 19 hat einen Durchmesser, welcher mehr als doppelt
se groß ist wie derjenige der Düse der Elektrode 4. Dementsprechend
ist auch der Querschnitt der Elektrode 19 größer als
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-. Q —
derjenige der Elektrode 4« Auch die Elektrode 19 iet mit einer
Ringkammer 10 für den Durchtritt von Kühlflüssigkeit sowie entsprechenden
Anschlußrohren ausgerüstet.
Die Sekundärseite 3 eines als Wechselstromquelle dienenden Transformators 9 ist über eine Leitung 8a an die Elektrode 4
und über eine Leitung 8b an die Elektrode 19 angelegt. In der Leitung 8b ist ein Regelwiderstand R« angeordnet.
Der zwischen den Elektroden 4 und 19 befindliche Raum wird von einer elektromagnetischen Spule 40 umgeben, welche zur Erzeugung
eines elektromagnetischen Feldes dient und durch nicht dargestellte Mittel gespeist wird.
In Abstand von der Elektrode 19 sowie im Bereich der Düse derselben
ist ein Werkstück 6* angeordnet, von welchem eine vierte Elektrode gebildet wird. Diese Elektrode ist über eine Leitung
3c ebenfalls mit der Sekundärseite 3 des !Transformators 9 verbunden«
In der Leitung 8c ist ein weiterer Regelwideretand R1
angeordnet.
Bei der Vorrichtung gemäß fig. 4 brennt zwischen der Elektrode
und der Elektrode 4 ein Gleiehstromlichtbogen. Durch diesen
Gleichstromlichtbogen erfolgt mittels des dort befindlichen und
durch einen Grasstrom 5 zugeführten Gases die Bildung eines
Plasmastrahle 7. Von dem Gasstrom 5 wird der Plasmastrahl durch
die Düse der Elektrode 4 in Richtung der Elektroden 19 und 6' getrieben. Zwischen den Elektroden 4 und 19 brennt ein Wechsel-
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stremlichtbogen, dessen Parameter durch den Regelwiderstand R2
regelbar sind. Durch diesen Wechselstromlichtbogen wird der sich Ton der Düse 4 zu der Düse 19 erstreckende Teil des Plasmastrahls
7 aufgeheist· Durch Einwirkung des von der elektromagnetischen Spule 4-0 erzeugten elektromagnetischen Feldes wird der zwischen
den Düsen 4 und 19 befindliche Teil des Plasmastrahls 7 ferner in Drehung versetzt, wobei er eine Stabilisierung um seine
Symmetrieachse sowie eine Verbreiterung erfährt. In verbreiteter Form trifft der Plasmastrahl 7 dann auf die Elektrode 19 auf.
Zur Verstärkung des Plasmastrahls 7 sowie zur Bewegung desselben au dem Werkstück 6* wird diesem an Eingang der Elektrode
19 ein weiterer Grasstrom 5 zugeführt. Zwischen der Elektrode 19 und dem Werkstück 6» brennt ein weiterer Wechselstromlichtbogen,
welcher dureh den Regelwiderstand R1 hinsichtlich seiner Parameter
regelbar ist. Durch diesen Wechselstromlichtbogen erfolgt eine weitere Auf heizung des sich von der Elektrode 19 zu dem Werkstück
6* erstreckenden Teils des Plasmastrahls 7.
Zur Verdeutlichung, daß die erfindungsgemäße Vorrichtung vier Elektroden aufweist, sind in Fig. 4 diese vier Elektroden zusätzlich
mit den Bezugszahlen I, II, III und IV versehen.
Die erfindungsgemäße Verrichtung gemäß Fig. 5 hat Ähnlichkeit mit der bekannten Vorrichtung der Fig. 3. Teile der Vorrichtung
/ der Pig. 5t welche Teilen der Vorrichtung der Fig. 3 entsprechen,
sind daher auch mit den gleichen Bezugszahlen versehen.
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Die Vorrichtung gemäß Pig. 5 besitzt eine dreifache Elektroden-
und Lichtbogenanordnung, wobei sich ihre drei Elektroden- und
Lichtbogenanordnungen in sternförmiger, mit ihren Plasmastrahlen 7,23 und 32 gegeneinander gerichteter Anordnung befinden.
Jede der drei Elektroden- und Lichtbogenanordnungen entspricht bis auf die nachstehend beschriebenen Abweichungen der Elektreden-
und Lichtbogenanordnung der erfindungsgemäßen Tor richtung gemäß
Mg. 4. Bas Gleiche gilt bezüglich der Wirkungsweise der drei Elektroden- und Lichtbogenanordnungen·
Zum unterschied von der Vorrichtung der Fig. 4 sind bei der in
Fig. 5 unten dargestellten Anordnung jedoch die massive erste Elektrode mit 21, die düsenförmige zweite Elektrode alt 18, die
Gleichstromquelle mit 20, der zugeführte Gasstrom mit 22, die
dritte düsenförmige Elektrode mit 53, die elektromagnetische Spule mit 42, die Regelwiderstände mit R1^ und R'2 und der
Plasmastrahl mit 23 bezeichnet. Dementsprechend weisen auch die feile der in Fig. 5 rechts oben dargestellten Anordnung
andere Bezugszahlen auf. Bei dieser Anordnung sind die erste
massive Elektrode mit 30, die zweite düsenförmige Elektrode
mit 28, die Gleichstromquelle mit 29, der augeführte Gasstrom mit 31, die dritte düsenfSrmlge Elektrode mit 52, die elektromagnetische
Spule mit 41, die Regelwiderstände mit R1* ^ und
R<·2 und der Flasmastrahl mit 32 bezeichnet.
Die vierte Elektrode ist bei der infrag· stehenden Torrichtung
allen drei Elektroden- und Lichtbogenanordnungen gemeinsam
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und wird von dem Gehäuse 54 eines nicht näher dargestellten
Plasmaofens gebildet.
Als Weehselstreaquelle für alle Elektroden- und Liehtbogenanordnungen
ist eine dreiphasige Wechselstromquelle 25 vorgesehen.
Die Phase 24 dieser Weehselstromquelle ist über Leitungen 24a
und 24b, in welchen sich Regelwiderstände R1 und R2 befinden,
an die Elektroden 4 und 19 angelegt. Dementsprechend steht die Phase 26 der WechselstromqueHe 25 über Leitungen 26a und 26b,
in denen sich Regelwiderstände R^ und R'2 befinden, alt den
Elektroden 18 und 53 in Verbindungo Ferner besteht eine Verbindung
der Phase 27 der Weeheβ!stromquelle 25 über die Leitungen
27a und 27b, in denen Regelwiderstände R1^ und R"2 angeordnet
sind, mit den Elektroden 28 und 52. Schließlich ist das Gehäuse
54, welches die vierte Elektrode bildet, Über eine Leitung 54a
mit dem Sternpunkt der Wechselstromquelle 25 verbunden.
Bei der in Frage stehenden Vorrichtung brennen nicht nur wechselweise Wechselstromlichtbögen zwischen den Elektrodenpaaren
4»19; 18,53 und 28,52, sondern auch zwischen den Elektroden
dieser Slektredenpaarβ und dem die gemeinsame vierte
Elektrode bildenden Gehäuse 54, was eine weitere Auf heizung und Intensivierung der Plasmastrahlea 7» 23 und 32 in dem
Gehäuse 54 bewirkt.
Sie in Fig. 6 sehematisoh sowie teilweise dargestellte Torriehtung
entspricht der Vorrishtmng der Fig. 5 bis auf den Unterschied, daß bei dieser als gemeinsame vierte Elektrode
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ein durch Erwärmung zu bearbeitende· metallisches Werkstück 54'
dient. Dieses Werkstück 54' ist über einen Anschluß 55 mit dem
Sternpunkt der Wechselstromquelle 25 verbunden und kaum bei
seiner Bearbeitung eine Drehbewegung ausführen.
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Claims (1)
- -H-Patentansprüche1. ^Verrichtung zur Erzeugung eines Hochtemperatur-Plasmas mit einer Gleichstromquelle, deren einer Pol an einer ersten Elektrode und deren anderer Pol an einer düsenf önaigen zweiten Elektrode liegt und die dazu dient, einen Zündlichtbogen zwischen diesen beiden Elektroden zu unterhalten, alt Mitteln zum Erzeugen eines von der ersten Elektrode auf die zweite Elektrode gerichteten und durch deren Düse hindurchtretenden Gasstromes, mit einer hinter der zweiten Elektrode angeordneten düsenförmigen dritten Elektrode, durch deren Düse der gebildete Plasmastrahl durchtritt, alt einer auf die dritte Elektrode folgenden vierten Elektrode, zu welcher der Plasmastrahl gerichtet ist, und mit einer WechseletromqueHe, die mit der zweiten und dritten Elektrode verbunden ist und einen Leistungslichtbogen speist, der das aus dem dauernd brennenden, nicht von Wechselstrom überlagerten Zündlichtbogen in seinen Bereich eintretende Plasma aufheizt, dadurch gekennzeichnet, daß die Wechsels tr omque He (9; 25) zwecke Erstreckung des Leistungslichtbogens bis zu der vierten Elektrode (61; 54; 54') und weiterer Aufheizung des Plasmas (7; 23; 32) auch mit der vierten Elektrode (61; 54; 541) verbunden ist.2. Torrichtung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß zwischen der zweiten Elektrode (4; 18; 28) und der dritten609849/071 6Elektrode (19; 53; 52) eine elektromagnetische Spule (40; 42; 41) zur Erzielung eines den Piasaas tr ahl (7; 23; 32) in drehende Bewegung versetzenden Magnetfeldes -vorgesehen ist.3ο Vorrichtung nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß in die Wechselstromkreise einerseits zwischen der zweiten Elektrode (4; 13; 28) und dritten Elektrode (19; 53; 52) und andererseits zwischen der dritten Elektrode (19; 53; 52) und vierten Elektrode (6·; 54; 54 ·) Regelwiderstände (R1fR2; R^jR'g; R11^ ,R1^) für eine voneinander unabhängige Regelung der Parameter (E1IyW) der sich zwischen diesen Elektroden erstreckenden Liehtbogenteile eingeschaltet sind.4. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Düse der dritten Elektrode (19; 53; 52) wenigstens einen doppelt so großen Durchmesser wie die Düse der zweiten Elektrode (4; 18; 28) aufweist.5. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß sie eine dreifache Elektroden- und Lichtbogenanordnung aufweist, wobei sich ihre drei Elektroden- und Lichtbogenanordnungen in sternförmiger, mit ihren Flasmastrahlen (7,23,32) gegeneinander gerichteter Anordnung befinden sowie als VeohseIstromquelle für alle Anordnungen eine dreiphasige Vechselstromquelle (25) vorgesehen ist, und daß- 6 0 9849/0716dabei die vierte Elektrode (54; 54') allen drei Elektroden- und Lichtbogenanordnungen geneinsam ist.6. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 "bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß die vierte Elektrode von der Wandung (54) einer Reaktionskammer oder dem Gehäuse eines dreiphasigen Plasmaofens gebildet ist.7. Torrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß als vierte Elektrode ein durch Erwärmung zu bearbeitendes Werkstück (541) dient.609849/0716
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