DE2620707C3 - Vorrichtung zur Herstellung eines Überzuges auf einer integrierten Halbleiterschaltung - Google Patents

Vorrichtung zur Herstellung eines Überzuges auf einer integrierten Halbleiterschaltung

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    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C16/00—Chemical coating by decomposition of gaseous compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating, i.e. chemical vapour deposition [CVD] processes
    • C23C16/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • C23C16/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
    • H10P14/6334—
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    • H10P95/00—
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DE2620707A 1975-05-12 1976-05-11 Vorrichtung zur Herstellung eines Überzuges auf einer integrierten Halbleiterschaltung Expired DE2620707C3 (de)

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