DE2613831C3 - Aus einem Stück gesintertes Keramikformteil und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents
Aus einem Stück gesintertes Keramikformteil und Verfahren zu seiner HerstellungInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Keramikformteil entsprechend dem Oberbegriff des Anspruchs I sowie ein
Verfahren zu seiner Herstellung.
Ein derartiges Keramikformteil ist aus der DE-OS 23 921 bekannt. Bei diesem Keramikformteil haben
die beiden Keramikteile unterschiedliche Dichte, so daß bei der Verwendung dieses Keramikformteils zur
Herstellung eines akustischen Oberflächenwellenleiters im Grenzbereich Reflexionen auftreten, die sich auf die
Frequenzkennlinie des Wellenleiters nachteilig auswirken.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Keramikformteil zu schaffen, das zur reflexionsfreien
Übertragung von Wellen wie z. B. akustischen Wellen geeignet ist
Gelöst wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1
angegebenen Merkmale. Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sowie ein Verfahren zur Herstellung
des Keramikformteils ergeben sich aus den Unteran-
1» Sprüchen.
Durch die besondere Wahl der Dichte im Grenzbereich zwischen den beiden Keramikteilen des Keramikformkörpers
werden Wellen in diesem Grenzbereich nicht reflektiert, sondern absorbiert bzw. gestreut.
l1» Bei solch einem bekannten akustischen Oberflächenwellenleiter
gelangt eine akustische Oberflächenwelle, die an dem Eingangswandler erzeugt wird, zu dem
Ausgangswandler durch das Übertragungsmedium und wird dann von dem Ausgangswandler als Ausgangssignal
abgegeben. Dabei breitet sich jedoch ein Teil der akustischen Oberflächenwelle über dem Ausgangswandler
hinaus zu dem Ende des Übertragungsmediums aus, wird dann daran reflektiert, kehrt zu dem
Ausgangswandler zurück und wird dann von diesem als Ausgangssignal abgegeben. Daher wird die Frequenzkennlinie
des akustischen Oberflächenwellenleiters von der reflektierten, unerwünschten Welle beeinträchtigt,
so daß die Kurve im Durchlaßband Welligkeiten aufweist. Es ist daher in der Praxis nötig, die
unerwünschten akustischen Wellenkomponenten soweit wie möglich zu verringern bzw. zu dämpfen.
Als Verfahren zur Verringerung der unerwünschten Wellenkomponenten wurde vorgeschlagen, an beiden
Endteilen eines akustischen Oberflächenwellen-Übertragungsmediums
wie eines piezoelektrischen Substrats in seiner akustischen (Ultraschall-) Oberflächenwelien-Übertragungsrichtung
Ultraschallabsorptionselemente aus Polyurethan anzuordnen.
Ein weiteres Verfahren zur Verringerung unerwünschter
reflektierter Wellenkomponenten besteht darin, die Enden des piezoelektrischen Substrats
aufzurauhen oder bezüglich der akustischen Oberflächenwellen-Übertragungsrichtung
schräg abzuschneiden, um die wechselseitige Ausbreitung der reflektierten Welle an den beiden Enden zu verhindern.
Bei dem bekannten Verfahren ist es jedoch ziemlich kompliziert, das piezoelektrische Substrat zur Verringerung
der unerwünschten Wellenkomponenten stark zu verringern, ist es sehr kompliziert, solch ein piezoelektrisches
Substrat herzustellen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein in einem Stück gesintertes Keramikformteil zu schaffen,
das unerwünschte, reflektierte Ultraschallwellen wirksam verringern kann, wenn es als piezoelektrisches
Substrat eines akustischen Oberflächenwellenfilters verwendet wird. Weiterhin soll durch die Erfindung ein
Verfahren zur Herstellung solch eines Keramikformteils geschaffen werden.
Durch die Erfindung wird ein Keramikformteil geschaffen, das aus einem dicht gesinterten piezoelektrischen
Keramikteil und einem porös gesinterten Keramikteil besteht, die beide in einem Stück gesintert
sind. Die Porosität des Keramikformteils ändert sich an dem Grenzbereich zwischen dem dicht gesinterten
Keramikteil und dem porös gesinterten Keramikteil allmählich, so daß unnötige Ultraschallwellen wirksam
verringert werden können, wenn das Keramikformteil als akustischer Oberflächenwellenfilter verwendet wird.
Dabei kann das zweite Keramikteil das erste umgeben und die Arbeitsfläche des akustischen Oberflächenfilters
wird an der Oberfläche des ersten Keramikteils ausgebildet
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Fig. 1
bis 13 erläutert Es zeigen
Fig. 1, 4 und 7 Aufsichten bekani'ier akustischer
Oberflächenwellenfilter,
F i g. 2,5 und 8 ihre Querschnitte,
Fig.3, 6 und 9 Diagramme, aus denen die κι
Frequenzkennlinien der akustischen Oberflächenwellenfilter der F i g. 1,2,4,5,7 und 8 hervorgehen,
Fi g. 10 eine Aufsicht eines akustischen Oberflächenwellenfilters,
das aus einem beispielsweisen integrierten gesinterten Kerarr.ikformteil gemäß der Erfindung u
hergestellt ist,
Fig. 11 seinen Querschnitt,
Fig. 12 ein Diagramm, aus dem die Frequenzkennlinie
des akustischen Oberflächenwellenfilters der F i g. 10 und 11 hervorgeht, und
Fig. 13 einen Querschnitt eines akustischen Oberflächenwellenfilters,
das aus einem weiteren Beispiel des integrierten gesinterten Keramikformleils gemäß der
Erfindung hergestellt ist
Ein in einem Stück gesintertes Keramikformteil gemäß der Erfindung, das die Erzeugung einer
unnötigen Reflexion von Ultraschallwellen usw. verhindert, wenn es als akustisches (Ultraschall-) Oberflächenwellenfilter
verwendet wird, ist im Aufbau einfach, ist leicht herzustellen und zur Massenproduktion geeignet jo
und sein Herstellungsverfahren wird später beschrieben.
Ein Beispiel des Keramikformteils gemäß der Erfindung umfaßt einen dicht gesinterten Keramikteil
und einen im Vergleich zu diesem porös gesinterten Keramikteil, die in einem Stück gesintert sind, um einen
Ultraschallausbreitungsweg bzw. einen Arbeitselement aus dem dicht gesinterten Keramikteil und ein eine
Reflexion verhinderndes Element aus dem porös gesinterten Teil zur Absorption bzw. Streuung der
Ultraschallwelle zu bilden.
Anhand der Fig. 10 und 11 wird nun ein Beispiel des
keramischen Formteils gemäß der Erfindung beschrieben, das als akustisches Oberflächenwellenfilter verwendet
wird. 41;
Das akustische Oberflächenwellenfilter, das in den Fig. 10 und 11 gezeigt ist, wird unter Verwendung des
Keramikformteilr der Erfindung als piezoelektrisches Substrat 1 hergestellt Das piezoelektrische Substrat 1
besteht aus einem Arbeitselement 2, das aus einem ersten Keramikmaterial 4 hergestellt ist, das als
UUraschallwellen-Ausbreitungsweg dient und auf dem Eingangs- und Ausgangswandler aus interdigitalen
Elektroden (nicht gezeigt) sowie Endteile la und \b ausgebildet sind, die aus einem zweiten Keramikmaterial
4ab gebildet sind und an den beiden Seitenenden des Arbeitselements 2 liegen.
Das erste und das zweite Keramikmaterial 4 und 4ab sind Materialien mit unterschiedlicher Keiamikzusammensetzung.
Das Verhältnis ό zwischen der theoretisehen Dichte (bzw. der Röntgenstrahlendichte) Dl und
der praktischen Sinterdichte (bzw. der Brenndichte) Ds bzw. DJDs der jeweiligen Keramikmaterialien ist
derart gewählt, daß der Verhältnis öa des ersten
Keramikmaterials 4 kleiner als Ob des zweiten Keramikmaterials
4ab ist. Dies bedeutet, daß das zweite Keramikmaterial 4ab, das die Endteile la und \b bildet,
im Vergleich zu dem ersten Keramikmaterial 4, das das Arbeitselement 2 bildet poröser gewählt ist und daß
daher Ultraschallwellen in den beiden Endteilen la und \b im Vergleich zu dem Arbeitsteil 2 stark absorbiert
werden.
Die zuvor erwähnte theoretische Dichte Dl wird
krista'lographisch und theoretisch erhalten und die zuvor erwähnte Sinterdichte Ds stellt die Dichte des
Materials dar, nach dem es praktisch gesintert ist Wenn das Verhältnis DJDs näher an 1 ist als das Material
dichter, während wenn das Verhältnis D-JDs größer als
1 ist ist das Material poröser.
Die Keramikmaterialien 4 und 4ab sind solche, die miteinander gesintert werden können. Dies bedeutet
daß die Hauptkomponenten der beiden Materialien aus einem gemeinsamen Material bzw. gemeinsamen
Atomen gewählt werden, die deren Hauptkomponenten bilden und die miteinander diffundieren. Wenn die
Materialien zusammen bzw. in einem Stück gesintert werden, diffundieren sie ineinander durch den Grenzbereich
dazwischen, um zu verhindern, daß ihre physikalischen Eigenschaften an dem Grenzbereich abrupt
geändert werden, sondern sich allmählich durch den Grenzbereich ändern. Das gesinterte Keramikmatenal
4ab nimmt somit in seiner Dichte zu dem Keramikmaterial 4 bzw. dem Grenzbereich zu, während das
gesinterte Keramikinaterial 4 in der Porosität zu dem
Keramikmaterial 4ab hin zunimmt. Daher wird eine akustische Welle, die den Ausgangswandler (nicht
gezeigt) an dem Arbeitselement 2 durchläuft, an der Grenze zwischen den Materialien 4 und 4ab nicht
reflektiert, sondern von dem Material 4aZ> absorbiert bzw. gestreut. Daher werden unnötige akustische
Wellen verringert.
Es wird nun ein Beispiel des Verfahrens gemäß der Erfindung zur Herstellung des Keramikformteils zur
Verhinderung der Reflexion einer Ultraschallwelle beschrieben, das aus einem ersten und zweiten
Keramikmateri&l 4 und 4a£>
besteht.
Das erste und das zweite Keramikmaterial 4 und 4ab werden aus jeweiligen Keramikmaterialien mit bestimmter
Form, z. B. als Platte, durch Preöformung hergestellt und dann gesintert Wie zuvor beschrieben
wurde, wird das Verhältnis zwischen der theoretischen Dichte Dl und der Sinterdichte Ds bzw. DJDs des
Keramikmaterials für das Material 4 kleiner gewählt als für das Material 4ab und außerdem werden beide
Materialien 4 und 4ab so gewählt, daß die optimale Sintertemperatur Ta des Materials 4 niedriger als Ta des
Materials 4ab ist. Die vorherige optimale Sinterlemperatur bedeutet, daß die günstigen Eigenschaften der
Keramikzusammensetzung nicht beeinträchtigt werden und ihre theoretische Dichte bzw. nahezu die gleiche
Dichte erhalten werden kann.
Ein Material, das für das erste Kerainikmalerial 4 geeignet ist, ist z. B. Pb(Cd2Zs Nb2/5 W,/5)x TiyZnzOj,
wobei χ = 0,01 bis 0,2, y = 0,20 bis 0,94, ζ = 0,01 bis
0,74 und 0,2 bis l.OGewichtsporzent MnO2 als Zusatz.
Dieses Material ist hinsichtlich seiner Piezoelektrizitätsund Sintereigenschaften günstig und seine optimale
Sintertemperatur ist relativ niedrig.
Die Rohmaterialien für das erste und zweite Keramikmaterial 4 und 4ab werden kalziniert und dann
gemahlen. Es ist jedoch auch möglich, daß das Material, das durch Kalzinieren des Rohmaterials und Mahlen des
Kalzinierten Materials erhalten wird, als erstes Keramikmaterial 4, jedoch ein unkalziniertes Material als
zweites Keramikmaterial 4af> verwendet wird. In
letzterem Fall werden die jeweiligen Materialien in eine
bestimmte Form gepreßt und die formgepreßten Materialien werden bei der optimalen Sintertemperalur
des ersten Keramikmaterials 4 gesintert, wodurch das Verhältnis DJDs der theoretischen Dichte und der
Sinterdichte der jeweiligen Materialien derart gewählt werden können, daß das Verhältnis DJDS des ersten
Keramikmaterials 4 größer als das des zweiten Keramikmaterials 4ab ist.
Es ist auch möglich, die Korngrößen der Keramikmaterialien, die kalziniert und dann gemahlen und die
als erstes und zweites Keramikmaterial verwendet werden, derart gewählt werden, daß die Korngröße des
zweiten Materials größer als die des ersten Keramikmaterials ist, und daß die Materialien in eine bestimmte
Form gepreßt und dann zur Bildung des Keramikformteiis gesiiileri werden.
Als erstes Keramikmaterial 4 wird eine erste Zusammensetzung,
bestehend aus Pb(Cd2/5Nb2/5Wi/5)o.oi
Tioj25Zro.42s03, deren optimale Sintertemperatur
10000C beträgt und deren theoretische Dichte D1
8,1 g/cm3 und 0,5 Gewichtsprozent MnCb ist, verwendet,
während als zweites Keramikmaierial 4ab eine zweite Zusammensetzung aus PbosiLao.oqTio.jsZro.bsOj, deren
optimale Sintertemperatur 1250°C und deren theoretische
Dichte Di 8,1 g/cm3 beträgt, verwendet wird. Die
beiden Zusammensetzungen werden bei einer Temperatur von 800 bis 900° C kalziniert und dann zu einer
Korngröße kleiner als 1 Mikron gemahlen. Die so erhaltenen Partikel werden zu einer Platte preßgeformt.
Dies bedeutet, daß der mittlere Teil der preßgeformten Platte aus der ersten Zusammensetzung und ihre beiden
Seitenteile aus der zweiten Zusammensetzung gebildet
werden. Diese Teile werden in einem Stück geformt. Danach wird die preßgeformte Platte bei der optimalen
Sintertemperatur der ersten Zusammensetzung bzw. bei 10000C unter der optimalen Sintertemperatur der
zweiten Zusammensetzung gesintert Damit wird ein Beispiel des Keramikformteils gemäß der Erfindung
hergestellt das in der Mitte aus dem ersten Keramikteil aus dem ersten Keramikmateriai 4 und den beiden
Keramikteilen aus dem zweiten Keramikmaterial 4ab an den beiden selten des ersten Keramikteils besteht
Bei dem auf diese Weise hergestellten Keramikformteil gemäß der Erfindung beträgt die Dichte des ersten
Keramikteils 4 des Keramikformteils 8,0 g/cm3 und ist damit nahezu gleich der theoretischen Dichte, und die
Sinterdichte der zweiten Keramikteile 4ab des Keramikformteils beträgt 6,6 g/cm3 und ist damit ziemlich
niedriger als ihre theoretische Dichte, die 8,1 g/cm3 beträgt Dies bedeutet daß die Verhältnisse der
theoretischen Dichte und der Sinterdichte der jeweiligen Keramikmaterialien 4 und 4ab des so hergestellten
Keramikformteils der Erfindung Öa
< Ob ist Der Grenzbereich zwischen den Keramikteilen 4 und 4ab
des Keramikformteils ist derart, daß, da die Hauptkomponente der ersten und zweiten Zusammensetzung für
beide gemeinsam ist eine gegenseitige Diffusion der jeweiligen Komponenten durch den Grenzbereich
stattfindet wenn sie gesintert werden. Daher ändern sich die physikalischen Eigenschaften des Keramikformteils
allmählich.
Wenn z.B. das Keramikformteil des obigen Beispiels 1 als piezoelektrisches Substrat 1 der Fi g. 10 und
11 verwendet wird, wird eine Oberfläche spiegelpoliert
und dann werden Eingangs- und Ausgangswandler, bestehend aus einem Paar interdigitaler Elektroden
(nicht gezeigt) an der spiegelpolierten Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 1 in einem bestimmten
Abstand gebildet. Dabei wird die Längsrichtung des Substrats 1 in Fig. 10 als Akustikoberflächenwellen-■
Ausbreitungsrichtung gewählt. Die Frequenzkennlinie des akustischen Oberflächenwellenfilters unter Verwendung
des Keramikformteils des zuvor beschriebenen Beispiels 1 ist in dem Diagramm der Fig. 12 gezeigt, in
dem die Abszisse die Frequenz und die Ordinate die
i'i Einfügungsdämpfung darstellen. Aus dem Diagramm
der Fig. 12 ist ersichtlich, daß die Beeinträchtigung durch eine unnötige Reflexion von Wellenkomponenten
durch Verwendung des Keramikformteils gemäß der Erfindung wirksam vermieden wird. Dies ist auf die
ir> Tatsache zurückzuführen, daß die zweiten Keramikteile
Adb an den beiden Sciicn des ersten Kcrarniktcils 4, das
das Arbeitselement 2 bildet, im Vergleich zu dem ersten Keramikteil 4 porös ist, um eine ankommende
Ultraschallwelle zu absorbieren oder zu streuen.
Außerdem ändern sich die Eigenschaften des Keramikformteils in dem Grenzbereich zwischen den Teilen 4
und 4ab kontinuierlich bzw. allmählich, so daß die Ultraschallwelle an dem Grenzbereich nicht reflektiert,
sondern von den Teilen 4ab absorbiert bzw. gestreut wird, so daß die unnötigen Ultraschallwellen, die sonst
den Ausgangswandler durchlaufen, kaum an den Ausgangswandler ankommen können.
Es ist dabei möglich, daß ein Ultraschall-Absorptionsmittel
wie Pech, öl. Kunststoff oder dergleichen in die porösen Teile 4ab eingebracht wird, um den Ultraschall-Absorptionswirkungsgrad
zu erhöhen.
Die obige Beschreibung bezog sich auf ein Beispiel, bei dem das Keramikformteil bzw. das piezoelektrische
Substrat ί aus dem ersten Kentrnikteil 4 in der Mitte und
den zweiten Keramikteilen 4ab an den beiden Seiten des ersten Keramikteils 4 besteht, es ist jedoch auch eine in
Fig. 13 gezeigte Konstruktion möglich, bei der das erste Keramikteil 4, der das Arbeitselement 2 bildet, in
der Mitte liegt und das zweite Keramikteil 4ab derart angeordnet ist, daß es die untere Oberfläche und die
beiden Seiten des ersten Keramikteils 4 umgibt. Bei diesem Beispiel können nicht nur die unnötigen
Oberflächenwellen, sondern auch Massewellen beseitigt werden. Dies bedeutet daß die Konstruktion des
Keramikformteils der Erfindung entsprechend dem Zweck und den Bedingungen bei der Anwendung
geändert werden können.
Die technischen Vorteile. Wirkungen usw. des akustischen Oberflächenwellenfilters unter Verwendung
des Keramikformteils der Erfindung ergeben sich aus den folgenden Vergleichen der Erfindung mit
Beispielen des Standes derTechnik
Die Frequenzkennlinie eines bekannten akustischen Oberflächenwellenfilters, das in den Fig. 1 und 2
gezeigt ist und das ein piezoelektrisches Substrat 1 ohne besondere Behandlung hat ist in F i g. 3 gezeigt und die
Frequenzkennlinie eines weiteren bekannten akustischen Oberflächenwellenfilters, das in den Fi g. 4 und 5
gezeigt ist und das ein piezoelektrisches Substrat 1 mit Ultraschall-Absorptionselementen 3 aus Polyurethan an
den beiden Enden la und Xb des Substrats 1 an seiner Oberflächenwellen-Ausbreiturigsrichtung hat ist in dem
Diagramm der Fig.6 gezeigt Wie sich aus den
Diagrammen der Fig.3 und 6 ergibt werden die
Frequenzkennlinien der bekannten akustischen Oberflächenwellenfilter
der Fig. 1, 2 und 4, 5 durch unnötige Akustikwellen beeinträchtigt und sind daher ungünstig.
Die Frequenzkennlinie eines weiteren bekannten
Die Frequenzkennlinie eines weiteren bekannten
akustischen Oberflächenwellenfilters, das in den F i g. 7 und 8 gezeigt ist und das ein piezoelektrisches Substrat 1
verwendet, dessen beide Endteile la und 16 in der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen
schräg abgeschnitten sind, dessen Endflächen und Oberfläche mit Ausnahme des Arbeitselements 2
aufgerauht sind und dessen Endteile la und \b mit Ultraschall-Absorptionselementen 3 aus Polyurethan
versehen sind, ist in dem Diagramm der F i g. 9 gezeigt. Aus dem Diagramm der Fig. 9 ist ersichtlich, daß die ι ο
Frequenzkennlinie dieses bekannten Beispiels in gleicher Weise durch unnötige akustische Wellen beeinträchtigt
wird.
Wenn die Frequenzkennlinien des akustischen Oberflächenwellenfilters
der F i g. 12 mit dem Keramikformteil der Erfindung, das in den F i g. 10,11 oder 13 gezeigt
ist, mit den Frequenzkennlinien der bekannten akustischen Oberflächenwellenfilter der Fig.3, 6 und 9
verglichen wird, ergibt sich, daß das Filter mit dem Keramikformteil der Erfindung die Beeinträchtigungen
durch unnötige akustische Wellen wirksam beseitigt.
Als erste Keramikzusammensetzung, die das erste Keramikmaterial 4 bildet, wird eine Zusammensetzung
ähnlich der des Beispiels 1 verwendet, und als zweite Keramikzusammensetzung, die das zweite Keramikmaterial
4ab bildet, wird eine Zusammensetzung aus Pb(Cd2/sNb2/5Wi/5)o,o5Tio,525Zro.42503, deren optimale Sintertemperatur
11000C und deren theoretische Dichte
8,1 g/cm3 beträgt, in Form von unkalziniertem Rohpulver
verwendet Die beiden Keramikzusammensetzungen werden preßgeformt und dann bei einer Temperatur
von 10000C ähnlich dem Beispiel 1 gesintert. Dabei ergibt sich eine Sinterdichte des zweiten Keramikmaterials
4ab von 7,0 g/cm3.
25
30
35
Als erste Keramikzusammensetzung, die das erste Keramikmaterial 4 bildet, wird die gleiche Zusammensetzung
wie bei dem Beispiel 1 verwendet, und als zweite Keramikzusammensetzung, die das zweite
Keramikmaterial 4ab bildet, wird eine Zusammensetzung aus Pb(Zr0,5Tio,5)03 verwendet, deren optimale
Sintertemperatur 1250° C und deren theoretische Dichte 8,1 g/cm3 beträgt, verwendet. Beide Keramikzusammensetzungen
werden preßgeformt und dann bei einer Temperatur von 1000° C ähnlich wie bei dem
ersten Beispiel gesintert. Dabei ergibt sich eine Sinterdichte des zweiten Keramikmaterials 4ab von
6,5 g/cm3.
Es werden die gleichen Keramikzusammensetzungen wie bei dem Beispiel 1 und die gleiche Behandlungsmethode
wie bei dem Beispiel 1 angewendet. Das erste Keramikmaterial wird zu Pulver gemahlen, dessen
Korngröße kleiner als ein Mikron gewählt ist, die zweite Keramikzusammensetzung wird zu Pulver gemahlen,
dessen Korngröße derart ist, daß es ein Sieb mit der Standardsiebgröße von 200 nicht durchdringt, bzw.
dessen Korngröße kleiner als 10 Mikron gewählt wird. Dabei ergibt sich eine Sinterdichte der zweiten
Keramikteile 4ab von 6,9 g/cm3.
Es wurde festgestellt, daß, wenn die Keramikformteile der Beispiele 2 bis 4 als akustisches Oberflächenwellenfilter
verwendet werden, die Einflüsse unnötiger akustischer Wellen wirksam beseitigt werden können.
Bei der vorherigen Beschreibung wurde davon ausgegangen, daß das Keramikformteil der Erfindung
als akustisches Oberflächenwellenfilter verwendet wird, es ist jedoch ersichtlich, daß das Keramikformteil der
Erfindung auch als Vorrichtung zur Übertragung einer Massewelle mit den gleichen Wirkungen verwendet
werden kann.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen «30215/299
Claims (10)
- Patentansprüche:!. In einem Stück gesintertes Keramikformteil z. B. zur Herstellung eines akustise/ien Oberflächenwellenleiters, bestehend aus zwei eine gemeinsame Grenzfläche aufweisenden Keramikteilen unterschiedlicher Dichte, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial hergestellt ist, dessen Verhältnis der theoretischen Dichte zu der Sinterdichte kleiner ist als die des anderen Keramikteils (4ab), und daß das Verhältnis der theoretischen Dichte zur Sinterdichte in der Grenzschicht zwischen den beiden Teilen vom Verhältnis des einen Keramikteils zum Verhältnis des anderen Keramikteils allmählich ansteigt.
- 2. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) aus Pb(Cd2Zs Nb2Z5 Wu5)S Tiy ZrzO3 besteht, wobei X im Bereich von 0,01 bis 0,2, Kim Bereich von 0,2 bis 0,94 und Zim Bereich von 0,01 bis 0,74 liegt.
- 3. Keramikformteil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) 0,2—1,4 Gew.-% MnO2 enthält
- 4. Keramikformteil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) aus Pboai, Lao,o9 Ti0J5 Zro,65 O3 besteht.
- 5. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Keramikteil (4ab) aus Pb(Cc2Z3Nb2Z5WiZ5Vo5 Ti 0.525Zro,42503 besteht
- 6. Keramikformteil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Keramikformteil (4ab)aus Pb(Zr0-5Ti0J)O3 besteh».
- 7. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Keramikteil (4, 4ab) als Hauptbestandteile Materialien enthalten, die miteinander defundierbar sind.
- 8. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) von dem anderen Keramikteil (4aö>>umgeben ist.
- 9. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Keramikteil (4ab) auf beiden Seiten des ersten Keramikteils (4) liegt.
- 10. Verfahren zur Herstellung des Keramikformteils nach einem der Ansprüche 1—9, dadurch gekennzeichnet, daß ein Pulver aus piezoelektrischem Keramikmaterial mit optimaler Siritertemperatur und ein Pulver aus keramischem Material mit einer höheren Sintertemperatur zur Bildung der beiden Keramikteile gepreßt werden, und daß das auf diese Weise gebildete Keramikformteil bei etwa der Sintertemperatur des piezoelektrischen Keramikmaterials gesintert wird.
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