DE2613831A1 - Gesintertes keramikformteil und verfahren zu seiner herstellung - Google Patents

Gesintertes keramikformteil und verfahren zu seiner herstellung

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Description

It 3584
SONY CORPORATION Tokyo / Japan
Gesintertes Keramikforinteil und Verfahren zu seiner Herstellung
Die Erfindung betrifft allgemein ein in einem Stück gesintertes Keramikformteil und ein Verfahren zu seiner Herstellung, wobei das Keramikformteil zur Verwendung als Substrat eines akustischen Oberflächenwellenleiters geeignet ist.
Im allgemeinen wird ein akustischer Oberflächenwellenleiter als Filter oder als Verzögerungsleitung verwendet und der Abstand zwischen deren Eingangs- und Ausgangswandlern wird entsprechend der gewünschten Verzögerungszeit gewählt.
Ein üblicher akustischer Oberflächenwellenleiter wird derart hergestellt, daß Eingangs- und Ausgangswandler, bestehend z.B. aus zwei interdigitalen Elektroden, an der Hauptoberfläche eines piezoelektrischen Substrats in einem bestimmten Abstand befestigt werden, das als Keramikmaterial dient und das als akustisches Oberflächenwellen-Ausbreitungsmedium dient.
ß 0 9 8 O / 1 0 3 U
Bei solch einem bekannten akustischen Oberflächenwellenleiter gelangt eine akustische Oberflächenwelle, die an dem Eingangswandler erzeugt wird, zu dem Ausgangswandler durch das Übertragungsmedium und wird dann von dem Ausgangswandler als Ausgangssignal abgegeben. Dabei breitet sich jedoch ein Teil der akustischen Oberflächenwelle über dem Ausgangswandler hinaus zu dem Ende des Übertragungsmediums aus, wird dann daran reflektiert, kehrt zu dem Ausgangswandler zurück und wird dann von diesem als Ausgangssignal abgegeben. Daher wird die Prequenzkennlinie des akustischen Oberflächenwellenleiters von der reflektierten, unerwünschten Welle beeinträchtigt, sodaß die Kurve dm Durchlaßband Welligkeiten aufweist. Es ist daher in der Praxis nötig, die unerwünschten akustischen Wellenkomponenten soweit wie möglich zu verringern bzw. zu dämpfen.
Als Verfahren zur Verringerung der unerwünschten Wellenkomponenten wurde vorgeschlagen, an beiden Endteilen eines akustischen Oberflächenwellen-Übertragungsmediums wie eines piezoelektrischen Substrats in seiner akustischen (Ultraschall-) Oberflächenwellen-Übertragungsrichtung Ultraschallabsorptionselemente aus Polyurethan anzuordnen.
Ein weiteres Verfahren zur Verringerung unerwünschter reflektierter Wellenkomponenten besteht darin, die Enden des piezoelektrischen Substrats aufzurauhen oder bezüglich der akustischen Oberflächenwellen-Übertragungsrichtung schräg abzuschneiden, um die wechselseitige Ausbreitung der reflektierten Welle an den beiden Enden zu verhindern.
Bei dem bekannten Verfahren ist es jedoch ziemlich kompliziert, das piezoelektrische Substrat zur Verringerung der unerwünschten Wellenkomponenten zu bearbeiten, und auch wenn einige der Verfahren kombiniert werden, um die unerwünschten Wellenkomponenten stark zu verringern, ist es sehr kompliziert, solch ein piezoelektrisches Substrat herzustellen.
6 09842/1034
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein in einem Stück gesintertes Keramikformteil zu schaffen, das unerwünschte, reflektierte Ultraschallwellen wirksam verringern kann, wenn es als piezoelektrisches Substrat eines akustischen Oberflächenwellenfilters verwendet wird. Weiterhin soll durch die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung solch eines Keramikformteils geschaffen werden.
Durch die Erfindung wird ein Keramikformteil geschaffen, das aus einem dicht gesinterten piezoelektrischen Keramikteil und einem porös gesinterten Keramikteil besteht, die beide in einem Stück gesintert sind. Die Porosität des Keramikformteils ändert sich an dem Grenzbereich zwischen dem dicht gesinterten Keramikteil und dem porös gesinterten Keramikteil allmählich, so daß unnötige Ultraschallwellen wirksam verringert werden können, wenn das Keramikformteil als akustischer Oberflächenwellenfilter verwendet wird. Dabei kann das zweite Keramikteil das erste umgeben und die Arbeitsfläche des akustischen Oberflächenfilters wird an der Oberfläche des ersten Keramikteils ausgebildet.
Die Erfindung wird nachstehend anhand der Figuren 1 bis erläutert. Es zeigt:
Figur 1, 4 und 7 Aufsichten bekannter akustischer Oberflächenwellenfilter ,
Figur 2, 5 und 8 ihre Querschnitte,
Figur 3, 6 und 9 Diagramme, aus denen die Frequenzkennlinien der akustischen Oberflächenwellenfilter der Fig. 1, 2, 4, 5, 7 und 8 hervorgehen,
Figur 10 eine Aufsicht eines akustischen Oberflächenwellenfilters, das aus einem beispielsweisen integrierten gesinterten Keramikformteil gemäß der Erfindung hergestellt ist,
R09B k7I10 3 U
- 4 - 2b 1 3831
Figur 11 seinen Querschnitt,
Figur 12 ein Diagramm, aus dem die Frequenzkennlinie des akustischen Oberflächenwellenfilters der Fig. 10 und 11 hervorgeht, und
Figur 13 einen Querschnitt eines akustischen Oberflächenwellenf ilters, das aus einem weiteren Beispiel des integrierten gesinterten Keramikformteils gemäß der Erfindung hergestellt ist.
B 0 9 B 4 7 I 1 0 3
Ein in einem Stück gesintertes Keramikformteil gemäß der Erfindung, das die Erzeugung einer unnötigen Reflexion von Ultraschallwellen usw. verhindert, wenn es als akustisches (Ultraschall-) Oberflächenwellenfilter verwendet wird, ist im Aufbau einfach, ist leicht herzustellen und zur Massenproduktion geeignet und sein Herstellungsverfahren wird später beschreiben.
Ein Beispiel des Keramikformteils gemäß der Erfindung umfaßt einen dicht gesinterten Keramikteil und einen im Vergleich zu diesem porös gesinterten Keramikteil, die in einem Stück gesintert sind, um einen Ultraschallausbreitungsweg, bzw. einen Arbeitselement aus dem dicht gesinterten Keraraikteil und ein eine Reflexion verhinderndes Element aus dem porös gesinterten Teil zur Absorption bzw. Streuung der Ultraschallwelle zu bilden.
Anhand der Fig. 10 und 11 wird nun ein Beispiel des keramischen Formteils gemäß der Erfindung beschrieben, das als akustisches Oberflächenwellenfilter verwendet wird.
Das akustische Oberflächenwellenfilter, das in den Fig. und 11 gezeigt ist, wird unter Verwendung des Keramikformteils der Erfindung als piezoelektrisches Substrat 1 hergestellt. Das piezoelektrische Substrat 1 besteht aus einem Arbeitselement 2, das aus einem ersten Keramikmaterial 4 hergestellt ist, das als Ultraschallwellen-Ausbreitungsweg dient und auf dem Eingangs- und Ausgangswandler aus interdigitalen Elektroden (nicht gezeigt) sowie Endteile 1a und 1b ausgebildet sind, die aus einem zweiten Keramikmaterial 4ab gebildet sind und an den beiden Seitenenden des Arbeitselements 2 liegen.
Das erste und das zweite Keramikmaterial 4 und 4ab sind Materialien mit unterschiedlicher Keramikzusammensetzung. Das Verhältnis ο zwischen der theoretischen Dichte (bzw.
ti 0 9 B A 7 I 1 0 3 U
der Röntgenstrahlendichte) D und der praktischen Sinterdichte (bzw. der Brenndichte) D0 bzw. DT/DO der jeweiligen Keramikmaterialien ist derart gewählt, daß das Verhältnis cT , des ersten Keramikmaterials 4 kleiner als O β des zweiten Keramikmaterials 4ab ist. Dies bedeutet, daß das zweite Keramikmaterial 4ab, das die Endteile 1a und 1b bildet, im Vergleich zu dem ersten Keramikmaterial 4, das das Arbeitselement 2 bildet, poröser gewählt ist, und daß daher Ultraschallwellen in den beiden Endteilen 1a und 1b im Vergleich zu dem Arbeitsteil 2 stark absorbiert werden.
Die zuvor erwähnte theoretische Dichte D_ wird kristallo-
Lj
graphisch und theoretisch erhalten und die zuvor erwähnte Sinterdichte D stellt die Dichte des Materials dar, nach dem es praktisch gesintert ist. Wenn das Verhältnis D1./D_
Lj ΰ
näher an 1 ist, ist das Material dichter, während wenn das Verhältnis DT/DC größer als 1 ist, ist das Material poröser.
Lj O
Die Keramikmaterialien 4 und 4ab sind solche, die miteinander gesintert werden können. Dies bedeutet, daß die Hauptkomponenten der beiden Materialien aus einem gemeinsamen Material bzw. gemeinsamen Atomen gewählt werden, die deren Hauptkomponenten bilden und die miteinander diffundieren. Wenn die Materialien zusammen bzw. in einem Stück gesintert werden, diffundieren sie ineinander durch den Grenzbereich dazwischen, um zu verhindern, daß ihre physikalischen Eigenschaften an dem Grenzbereich abrupt geändert werden, sondern sich allmählich durch den Grenzbereich ändern. Das gesinterte Keramikmaterial 4ab nimmt somit in seiner Dichte zu dem Keramikmaterial 4 bzw. dem Grenzbereich zu, während das gesinterte Keramikmaterial 4 in der Porosität zu dem Keramikmaterial 4ab hin zunimmt. Daher wird eine akustische Welle, die den Ausgangswandler (nicht gezeigt) an dem Arbeitselement 2 durchläuft, an der Grenze zwischen den Materialien 4 und" 4ab nicht reflektiert, sondern von dem Material 4ab absorbiert bzw.
B Π 9 8 4 2 / 1 0 3 4
gestreut. Daher werden unnötige akustische Wellen verringert.
Es wird nun ein Beispiel des Verfahrens gemäß der Erfindung zur Herstellung des Keramikformteils zur Verhinderung der Reflexion einer Ultraschallwelle beschrieben, das aus einem ersten und zweiten Keramikmaterial 4 und 4ab besteht.
Das erste und das zweite Keraraikmaterial 4 und 4ab werden aus jeweiligen Keramikmaterialien mit bestimmter Form, z.B. als Platte, durch Preßformung hergestellt und dann gesintert. Wie zuvor beschrieben wurde, wird das Verhältnis zwischen der theoretischen Dichte DL und der Sinterdichte Dc bzw. DT/D„ des Keramikmaterials für das Material 4 kleiner gewählt als für das Material 4ab und außerdem werden beide Materialien 4 und 4ab so gewählt, daß die optimale Sintertemperatur T des Materials 4 niedriger als T_. des Materials 4ab ist. Die vorherige optimale Sintertemperatur bedeutet, daß die günstigen Eigenschaften der Keramikzusammensetzung nicht beeinträchtigt werden und ihre theoretische Dichte bzw. nahezu die gleiche Dichte erhalten werden kann.
Ein Material, das für das erste Keramikmaterial 4 geeignet ist, ist z.B. Pb(Cd2/5 Nb3^5 W^5)X Tiy ZnZO3, wobei χ = 0,01 bis 0,2, y = 0,20 bis 0,94, ζ = 0,01 bis 0,74 und 0,2 bis 1,0 Gewichtsprozent MnO„ als Zusatz. Dieses Material ist hinsichtlich seiner Piezoelektrizitäts- und Sintereigenschaften günstig und seine optimale Sintertemperatur ist relativ niedrig.
Die Rohmaterialien für das erste und zweite Keramikmaterial 4 und 4ab werden kalziniert und dann gemahlen. Es ist jedoch auch möglich, daß das Material, das durch Kalzinieren des Rohmaterials und Mahlen des kalzinierten Materials erhalten wird, als erstes Keramikmaterial 4, jedoch ein unkalziniertes Material als zweites Keramikmaterial 4ab verwendet wird. In letzterem Fall werden
f. Ü 9 B W? I 1 0 3 U
die jeweiligen Materialien in eine bestimmte Form gepreßt und die formgepreßten Materialien werden bei der optimalen Sintertemperatur des ersten Keramikmaterials 4 gesintert, wodurch das Verhältnis D /D der theoretischen Dichte und
Li O
der Sinterdichte der jeweiligen Materialien derart gewählt werden können, daß das Verhältnis DT/D des ersten Keramikmaterials 4 größer als das des zweiten Keramikmaterials 4ab ist.
Es ist auch möglich, die Korngrößen der Keramikmaterialen, die kalziniert und dann gemahlen und die als erstes und zweites Keramikmaterial verwendet werden, derart gewählt werden, daß die Korngröße des zweiten Materials größer als die des ersten Keramikmaterials ist, und daß die Materialien in eine bestimmte Form gepreßt und dann zur Bildung des Keramikformteils gesintert werden.
Beispiel 1
Als erstes Keramikmaterial 4 wird eine erste Zusammensetzung, bestehend aus Pb(Cd375Nb275W175) o,o5Tio,525Zro,425°3, deren optimale Sintertemperatur 1.0000C beträgt und deren theoretische Dichte D_ 8,1 g/cm und 0,5 Gewichtsprozent MnO „ ist, verwendet, während als zweites Keramikmaterial 4ab eine zweite Zusammensetzung aus Pb_ n1La. noTin ->c Zr^ ^π°-
u,yi u,uy υ,οο u,od
deren optimale Sintertemperatur 1.250 C und deren theoretisehe Dichte DT 8,1 g/cm beträgt, verwendet wird. Diebeiden Zu-
J-I '
sammensetzungen werden bei einer Temperatur von 800 bis 900 C kalziniert und dann zu einer Korngrößer kleiner als 1 Mikron gemahlen. Die so erhaltenen Partikel werden zu einer Platte preßgeformt. Dies bedeutet, daß der mittlere Teil der preßgeformten Platte aus der ersten Zusammensetzung und ihre beiden Seitenteile aus der zweiten Zusammensetzung gebildet werden. Diese Teile werden in einem Stück geformt. Danach wird die preßgeformte Platte bei der optimalen Sintertemperatur der ersten Zusammensetzung bzw. bei 1.0000C unter der optimalen Sintertemperatur der zweiten Zusammensetzung ge-
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sintert. Damit wird ein Beispiel des Keramikformteils gemäß der Erfindung hergestellt, das in der Mitte aus dem ersten Keramikteil aus dem ersten Keramikmaterial 4 und den beiden Keramikteilen aus dem zweiten Keramikmaterial 4ab an den beiden Seiten des ersten Keramikteils besteht.
Bei dem auf diese Weise hergestellten Keramikformteil gemäß der Erfindung beträgt die Dichte des ersten Keramikteils 4 des Keramikformteils 8,0 g/cm und ist damit nahezu gleich der theoretischen Dichte, und die Sinterdichte der zweiten Keramikteile 4ab des Keramikformteils beträgt 6,6 g/cm und ist damit ziemlich niedriger als ihre theoretische Dichte, die 8,1 g/cm beträgt. Dies bedeutet, daß die Verhältnisse der theoretischen Dichte und der Sinterdichte der jeweiligen Keramikmaterialien 4 und 4ab des so hergestellten Keramikformteils der Erfindung ist. Der Grenzbereich zwischen den Keramikteilen
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4 und 4ab des Keramikformteils ist derart, daß, da die Hauptkomponente der ersten und zweiten Zusammensetzung für beide gemeinsam ist, eine gegenseitige Diffusion der jeweiligen Komponenten durch den Grenzbereich stattfindet, wenn sie gesintert v/erden. Daher ändern sich die physikalischen Eigenschaften des Keramikformteils allmählich.
Wenn z.B. das Keramikformteil des obigen Beispiels 1 als piezoelektrisches Substrat 1 der Fig. 10 und 11 verwendet wird, wird eine Oberfläche spiegelpoliert und dann werden Eingangs- und Ausgangswandler, bestehend aus einem Paar interdigitaler Elektroden (nicht gezeigt) an der spiegelpolierten Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 1 in einem bestimmten Abstand gebildet. Dabei wird die Längsrichtung des Substrats 1 in Fig. 10 als Akustikoberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung gewählt. Die Frequenzkennlinie des akustischen Oberflächenwellenfilters unter Verwendung des Keramikformteils des zuvor beschriebenen Beispiels 1 ist in dem Diagramm der Fig. 12 gezeigt, in
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dem die Abszisse die Frequenz und die Ordinate die Einfügungsdämpfung darstellen. Aus dem Diagramm der Fig. 12 ist ersichtlich, daß die Beeinträchtigung durch eine unnötige Reflexion von Wellenkomponenten durch Verwendung des Keramikformteils gemäß der Erfindung wirksam vermieden wird. Dies ist auf die Tatsache zurückzuführen, daß die zweiten Keramikteile 4ab an den beiden Seiten des ersten Keramikteils 4, das das Arbeitselement 2 bildet, im Vergleich zu dem ersten Keramikteil 4 porös ist, um eine ankommende Ultraschallwelle zu absorbieren oder zu streuen. Außerdem ändern sich die Eigenschaften des Keramikformteils in dem Grenzbereich zwischen den Teilen 4 und 4ab kontinuierlich bzw. allmählich, so daß die Ultraschallwelle an dem Grenzbereich nicht reflektiert, sondern von den Teilen 4ab absorbiert bzw. gestreut wird, so daß die unnötigen Ultraschallwellen, die sonst den Ausgangswandler durchlaufen, kaum an den Ausgangswandler ankommen können.
Es ist dabei möglich, daß ein Ultraschall-Absorptionsmittel wie Pech, Öl, Kunststoff oder dergleichen in die porösen Teile 4ab eingebracht wird, um den Ultraschall-Absorptionswirkungsgrad zu erhöhen.
Die obige Beschreibung bezog sich auf ein Beispiel, bei dem das Keramikformteil bzw. das piezoelektrische Substrat 1 aus dem ersten Keramikteil 4 in der Mitte und den zweiten Keramikteilen 4ab an den beiden Seiten des ersten Keramikteil 4 besteht, es ist jedoch auch eine in Fig. 13 gezeigte Konstruktion möglich, bei der das erste Keramikteil 4, der das Arbeitselement 2 bildet, in der Mitte liegt und das zweite Keramikteil 4ab derart angeordnet ist, daß es die untere Oberfläche und die beiden Seiten des ersten Keramikteils 4 umgibt. Bei diesem Beispiel können nicht nur die unnötigen Oberflächenwellen, sondern auch Massewellen beseitigt werden. Dies bedeutet, daß die Konstruktion des Keramikformteils der Erfindung entsprechend dem Zweck und
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den Bedingungen bei der Anwendung geändert werden können.
Die technischen Vorteile, Wirkungen usw. des akustischen Oberflächenwellenfilters unter Verwendung des Keramikfοrmteils der Erfindung ergeben sich aus den folgenden Vergleichen der Erfindung mit Beispielen des Standes der Technik.
Die Frequenzkennlinie eines bekannten akustischen Oberflächenwellenf ilters, das in den Fig. 1 und 2 gezeigt ist und das ein piezoelektrisches Substrat 1 ohne besondere Behandlung hat, ist in Fig. 3 gezeigt, und die Frequenzkennlinie eines weiteren bekannten akustischen Oberflächenwellenf ilters, das in den Fig. 4 und 5 gezeigt ist und das ein piezoelektrisches Substrat 1 mit Ultraschall-Absorptionselementen 3 aus Polyurethan an den beiden Enden 1a und 1b des Substrats 1 in seiner Oberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung hat, ist in dem Diagramm der Fig. 6 gezeigt. Wie sich aus den Diagrammen der Fig. 3 und 6 ergibt, werden die Frequenzkennlinien der bekannten akustischen Oberflächenwellenfilter der Fig. 1, 2 und 4,5 durch unnötige Akustikwellen beeinträchtigt und sind daher ungünstig.
Die Frequenzkennlinie eines weiteren bekannten akustischen Oberflächenwellenfilters, das in den Fig. 7 und 8 gezeigt ist und das ein piezoelektrisches Substrat 1 verwendet, dessen beide Endteile 1a und 1b in der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen schräg abgeschnitten sind, dessen Endflächen und Oberfläche mit Ausnahme des Arbeitselements 2 aufgerauht sind und dessen Endteile 1a und 1b mit Ultraschall-Absorptionselementen 3 aus Polyurethan versehen sind, ist in dem Diagramm der Fig. 9 gezeigt. Aus dem Diagramm der Fig. 9 ist ersichtlich, daß die Frequenzkennlinie dieses bekannten Beispiels in gleicher Weise durch unnötige akustische Wellen beeinträchtigt wird.
Wenn die Frequenzkennlinien des akustischen Oberflächen-
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wellenfilters der Fig. 12 mit dem Keramikformteil der Erfindung, das in den Fig. 10, 11 oder 13 gezeigt ist, mit den Frequenzkennlinien der bekannten akustischen Oberflächenwellenfilter der Fig. 3, 6 und 9 verglichen wird, ergibt sich, daß das Filter mit dem Keramikformteil der Erfindung die Beeinträchtigungen durch unnötige akustische Wellen wirksam beseitigt.
Beispiel 2
Als erste Keramikzusammensetzung, die das erste Keramikmaterial 4 bildet, wird eine Zusammensetzung ähnlich der des Beispiels 1 verwendet, und als zweite Keramikzusammensetzung, die das zweite Keramikmaterial 4ab bildet, wird eine Zusammensetzung aus Pb (Cd_/E-Nb0 ,[.W1/c.) J-T
525Zro 425°3' ^eren optimale Sintertemperatur 1.1OO°C und deren theoretische Dichte 8,1 g/cm beträgt, in Form von unkalziniertem Rohpulver verwendet. Die beiden Keramikzusammensetzungen werden preßgeformt und dann bei einer Temperatur von 1.000°C ähnlich dem Beispiel 1 gesintert. Dabei ergibt sich eine Sinterdichte des zweiten Keramikmaterials 4ab von 7,0 g/cm .
Beispiel 3
Als erste Keramikzusammensetzung, die das erste Keramikmaterial 4 bildet, wird die gleiche Zusammensetzung wie bei dem Beispiel 1 verwendet, und als zweite Keramikzusammensetzung, die das zweite Keramikmaterial 4ab bildet, wird eine Zusammensetzung aus Pb(Zr „Ti c)0_ verwendet, deren optimale Sintertemperatur 1.250 C und deren theoretische Dichte 8,1 g/cm beträgt, verwendet. Beide Keramikzusammensetzungen werden preßgeformt und dann bei einer Temperatur von 1.000 C ähnlich wie bei dem ersten Beispiel gesintert. Dabei ergibt sich eine Sinterdichte des zweiten Keramikmaterials 4ab von 6,5 g/cm .
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9 U 1 3 P £ Q ! J ϋ
3 P ο _13_ £ Q ! J ϋ υ !
Beispiel 4
Es werden die gleichen Keramikzusammensetzungen wie bei dem Beispiel 1 und die gleiche Behandlungsmethode wie bei dem Beispiel 1 angewendet. Das erste Keramikmaterial wird zu Pulver gemahlen, dessen Korngröße kleiner als ein Mikron gewählt ist, die zweite Keramikzusammensetzung wird zu Pulver gemahlen, dessen Korngröße derart ist, daß es ein Sieb mit der Standardsiebgröße von 200 nicht durchdringt, bzw. dessen Korngröße kleiner als 10 Mikron gev/ählt wird. Dabei ergibt sich eine Sinterdichte der zweiten Keramikteile 4ab von 6,9 g/cm .
Es wurde festgestellt, daß, wenn die Keramikformteile der Beispiele 2 bis 4 als akustisches Oberflächenwellenfilter verwendet werden, die Einflüsse unnötiger akustischer Wellen wirksam beseitigt werden können.
Bei der vorherigen Beschreibung wurde davon ausgegangen, daß das Keramikformteil der Erfindung als akustisches Oberflächenwellenfilter verwendet wird, es ist jedoch ersichtlich, daß das Keramikformteil der Erfindung auch als Vorrichtung zur Übertragung einer Massewelle mit den gleichen Wirkungen verwendet werden kann.
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Claims (7)

Ansprüche
1. In einem Stück gesintertes Keramikformteil, bestehend aus einem ersten Keramikteil und einem zweiten Keramikteil, die in einem Stück gesintert sind, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Keramikteil aus einem piezoelektrischen Material besteht, und daß das Verhältnis zwischen der theoretischen Dichte und der Sinterdichte des ersten Keramikteils von dem des zweiten Keramikteils verschieden ist.
2. Formteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis der theoretischen Dichte und der Sinterdichte des ersten Keramikteils kleiner als das des zweiten Keramikteils ist.
3. Formteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Verhältnis zwischen der theoretischen Dichte und der Sinterdichte des ersten Keramikteils dadurch von dem des zweiten Keramikteils verschieden ist, daß die Porosität des ersten Keramikteils von der des zweiten Keramikteils verschieden ist.
4. Formteil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Keramikmaterialien des ersten und zweiten Keramikteils als Hauptelement solch ein Element enthalten, das durch den Grenzbereich zwischen dem ersten und zweiten Keramikteil diffundieren kann, so daß sich die Porosität des gesinterten Keramikformteils durch den Grenzbereich des ersten und zweiten Keramikteils allmählich ändert.
5. Formteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das erste Keramikteil von dem zweiten Keramikteil umgeben ist.
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6. Formteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das zweite Keramikteil an beiden Seiten des ersten Keramikteils liegt.
7. Verfahren zur Herstellung eines in einem Stück gesinterten Keramikformteils, dadurch gekennzeichnet, daß ein Pulver aus piezoelektrischem Keramikmaterial mit einer optimalen Sintertemperatur (T ) und ein Pulver aus keramischem Material mit einer optimalen Sintertemperatur (T_), die höher als T ist, hergestellt werden, daß
Et t\.
das Pulver aus piezoelektrischem Keramikmaterial und das Pulver aus keramischem Material in einem Stück preßgeformt werden, um ein preßgeformtes Keramikformteil zu bilden, das aus einem ersten Teil aus dem piezoelektrischen Keramikmaterial und einem zweiten Teil aus dem keramischen Material besteht, daß das preßgeformte Keramikformteil bei einer Temperatur im wesentlichen gleich der optimalen Sintertemperatur T des piezoelektrischen Keramikmaterials gesintert wird.
B Q 9 B A 2 / 1 0 3 A
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