DE2613831B2 - Aus einem Stück gesintertes Keramikformteil und Verfahren zu seiner Herstellung - Google Patents

Aus einem Stück gesintertes Keramikformteil und Verfahren zu seiner Herstellung

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Description

Die Erfindung betrifft ein Keramikformteil entsprechend dem Oberbegriff des Anspruchs 1 sowie ein Verfahren zu seiner Herstellung.
Ein derartiges Keramikformteil ist aus der DE-OS 23 921 bekannt. Bei diesem Keramikformteil haben die beiden Keramikteile unterschiedliche Dichte, so daß bei der Verwendung dieses Keramikformteils zur Herstellung eines akustischen Oberflächenwellenleiters im Grenzbereich Reflexionen auftreten, die sich auf die Frequenzkennlinie des Wellenleiters nachteilig auswirken.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Keramikformteil zu schaffen, das zur reflexionsfreien Übertragung von Wellen wie z. B. akustischen Wellen geeignet is*.
s Gelöst wird diese Aufgabe gemäß der Erfindung durch die im kennzeichnenden Teil des Anspruchs 1 angegebenen Merkmale. Zweckmäßige Ausgestaltungen der Erfindung sowie ein Verfahren zur Herstellung des Keramikformteils ergeben sich aus den Unteransprächen.
Durch die besondere Wahl der Dichte im Grenzbereich zwischen den beiden Keramikteilen des Keramikformkörpers werden Wellen in diesem Grenzbereich nicht reflektiert, sondern absorbiert bzw. gestreut
Bei solch einem bekannten akustischen Oberflächenwellenleiter gelangt eine akustische Oberflächenwelle, die an dem Eingangswandler erzeugt wird, zu dem Ausgangswandler durch das Übertragungsmedium und wird dann von dem Ausgangswandler als Ausgangssignal abgegeben Dabei breitet sich jedoch ein Teil der akustischen Oberflächenwelle über dem Ausgangswandler hinaus zu dem Ende des Übertragungsmediums aus, wird dann daran reflektiert, kehrt zu dem Ausgangswandler zurück und wird dann von diesem als Ausgangssignal abgegeben. Daher wird die Frequenzkennlinie des akustischen Oberflächenwellenleiters von der reflektierten, unerwünschten Welle beeinträchtigt so daß die Kurve im Durchlaßband Welligkeiten aufweist. Es ist daher in der Praxis nötig, die
M une/wünschten akustischen Wellenkomponenten soweit wie möglich zu verringern bzw. zu dämpfen.
Als Verfahren zur Verringerung der unerwünschten Wellenkomponenten wurde vorgeschlagen, an beiden Endteilen eines akustischen Oberflächenwellen-Übertragungsmediums wie eines piezoelektrischen Substrats in seiner akustischen (Ultraschall-) Oberflächenwellen-Übertragungsrichtung Ultraschallabsorptionselemente aus Polyurethan anzuordnen.
Ein weiteres Verfahren zur Verringerung unerwünschter reflektierter Wellenkomponenten besteht darin, die Enden des piezoelektrischen Substrats aufzurauhen oder bezüglich der akustischen Oberflächenwellen-Übertragungsrichtung schräg abzuschneiden, um die wechselseitige Ausbreitung der reflektierten Welle an den beiden Enden zu verhindern.
Bei dem bekannten Verfahren ist es jedoch ziemlich kompliziert, das piezoelektrische Substrat zur Verringerung der unerwünschten Wellenkomponenten stark zu verringern, ist es sehr kompliziert, solch ein piezoelektrisches Substrat herzustellen.
Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein in einem Stück gesintertes Keramikformteil zu schaffen, das unerwünschte, reflektierte Ultraschallwellen wirksam verringern kann, wenn es als piezoelektrisches Substrat eines akustischen Oberflächenwellenfilters verwendet wird. Weiterhin soll durch die Erfindung ein Verfahren zur Herstellung solch eines Keramikformteils geschaffen werden.
Durch die Erfindung wird ein Keramikformteil geschaffen, das aus einem dicht gesinterten piezoelektrischen Keramikteil und einem porös gesinterten Keramikteil besteht, die beide in einem Stück gesintert sind. Die Porosität des Keramikformteils ändert sich an dem Grenzbereich zwischen dem dicht gesinterten
t>5 Keramikteil und dem porös gesinterten Keramikteil allmählich, so daß unnötige Ultraschallwellen wirksam verringert werden können, wenn das Keramikformteil als akustischer Oberflächenwellenfilter verwendet wird.
Dabei kann das zweite Keramikteil das erste umgeben und die Arbeitsfläche des akustischen Oberflächenfilters wird an der Oberfläche des ersten Keramikteils ausgebildet
Die Erfindung wird nachstehend anhand der F i g. 1 bis 13 erläutert Es zeigen
Fig. 1, 4 und 7 Aufsichten bekannter akustischer Oberflächenwellenfilter,
F i g. 2,5 und 8 ihre Querschnitte,
Fig.3, 6 und 9 Diagramme, aus denen die i« Frequenzkennlinien der akustischen Oberflächenwellenfilter der F i g. 1,2,4,5,7 und 8 hervorgehen,
F i g. 10 eine Aufsicht eines akustischen Oberflächenwellenfilters, das aus einem beispielsweisen integrierten gesinterten Keramikformteil gemäß der Erfindung hergestellt ist,
F i g. 11 seinen Querschnitt,
Fig. 12 ein Diagramm, aus dem die Frequenzkennlinie des akustischen Oberflächenwellenfilters der F i g. i 0 und 11 hervorgeht, und
Fig. 13 einen Querschnitt eines akustischen Oberflächenwellenfilters, das aus einem weiteren Beispiel des integrierten gesinterten K.eramikformteils gemäß der Erfindung hergestellt ist
Ein in einem Stück gesintertes Keramikformteil gemäß der Erfindung, das die Erzeugung einer unnötigen Reflexion von Ultraschallwellen usw. verhindert, wenn es als akustisches (Ultraschall-) Oberflächenwellenfilter verwendet wird, ist im Aufbau einfach, ist leicht herzustellen und zur Massenproduktion geeignet >o und sein Herstellungsverfahren wird später beschrieben.
Ein Beispiel des Keramikformteils gemäß der Erfindung umfaßt einen dicht gesinterten Keramikteil und einen im Vergleich zu diesem porös gesinterten Keramikteil, die in einem Stück gesintert sind, um einen Ultraschallausbreitungsweg bzw. einen Arbeitselement aus dem dicht gesinterten Keramikteil und ein eine Reflexion verhinderndes Element aus dem porös gesinterten Teil zur Absorption bzw. Streuung der Ultraschallwelle zu bilden.
Anhand der F i g. 10 und 11 wird nun ein Beispiel des keramischen Formteils gemäß der Erfindung beschrieben, das als akustisches Oberflächenwellenfilter verwendet wird.
Das akustische Oberflächenwellenfilter, das in den Fig. 10 und 11 gezeigt ist wird unter Verwendung des Keramikformteils der Erfindung als piezoelektrisches Substrat 1 hergestellt Das piezoelektrische Substrat 1 besteht aus einem Arbeitselement 2, das aus einem ersten Keramikmaterial 4 hergestellt ist, das als Ultraschallwellen-Ausbreitungsweg dient und auf dem Eingangs- und Ausgangswandler aus interdigitalen Elektroden (nicht gezeigt) sowie Endteile la und \b ausgebildet sind, die aus einem zweiten Keramikmaterial 4afa gebildet sind und an den beiden Seitenenrlen des Arbeitselements 2 liegen.
Das erste und das zweite Keramikmaterial 4 und Aab sind Materialien mit unterschiedlicher Keramikzusammensetzung. Das Verhältnis ό zwischen der theoretisehen Dichte (bzw. der Röntgenstrahlendichte) Dl und der praktischen Sinterdichte (bzw. der Brenndichte) Ds bzw. DJDs der jeweiligen Keramikmaterialien ist derart gewählt, daß der Verhältnis όΛ des ersten Keramikmaterials 4 kleiner als oades zweiten Keramikmaterials Aab ist. Dies bedeutet, daß das zweite Keramikmaterial Aab, das die Endteile la und \b bildet, im Vergleich zu dem ersten Keramikmaterial 4, das das Arbeitselement 2 bildet, poröser gewählt ist und daß daher Ultraschallwellen in den beiden Endteilen la und ib'im Vergleich zu dem Arbeitsteil 2 stark absorbiert werden.
Die zuvor erwähnte theoretische Dichte Dl wird kristallographisch und theoretisch erhalten und die zuvor erwähnte Sinterdichte Ds stellt die Dichte des Materials dar, nach dem es praktisch gesintert ist Wenn das Verhältnis DJDs näher an 1 ist als das Material dichter, während wenn das Verhältnis DJDs größer als 1 ist, ist das Material poröser.
Die Keramikmaterialien 4 und 4ab sind solche, die miteinander gesintert werden können. Dies bedeutet, daß die Hauptkomponenten der beiden Materialien aus einem gemeinsamen Material bzw. gemeinsamen Atomen gewählt werden, die deren Hauptkomponenten bilden und die miteinander diffundieren. Wenn die Materialien zusammen bzw. in einem Stück gesintert werden, diffundieren sie ineinander durch den Grenzbereich dazwischen, um zu verhindern, daß ihre physikalischen Eigenschaften an dem Grenzbereich abrupt geändert werden, sondern sich allmählich durch den Grenzbereich ändern. Das gesinterte Keramikmaterial Aab nimmt somit in seiner Dichte zu dem Keramikmaterial 4 bzw. dem Grenzbereich zu, während das gesinterte Keramikmaterial 4 in der Forosität zu dem Keramikmaterial Aab hin zunimmt Daher wird eine akustische Welle, die den Ausgangswandler (nicht gezeigt) an dem Arbeitselement 2 durchläuft an der Grenze zwischen den Materialien 4 und Aab nicht reflektiert, sondern von dem Material Aab absorbiert bzw. gestreut Daher werden unnötige akustische Wellen verringert
Es wird nun ein Beispiel des Verfahrens gemäß der Erfindung zur Herstellung des Keramikformteils zur Verhinderung der Reflexion einer Ultraschallwelle beschrieben, das aus einem ersten und zweiten Keramikmaterial 4 und 4ai> besteht
Das erste und das zweite Keramikmaterial 4 und Aab werden aus jeweiligen Keramikmaterialien mit bestimmter Form, z. B. als Platte, durch Preßformung hergestellt und dann gesintert Wie zuvor beschrieben wurde, wird das Verhältnis zwischen der theoretischen Dichte Dl und der Sinterdichte Qs bzw. DJDs des Keramikmaterials für das Material 4 kleiner gewählt als für das Material Aab und außerdem werden beide Materialien 4 und Aab so gewählt daß die optimale Sintertemperatur Ta des Materials 4 niedriger als Te des Materials Aab ist. Die vorherige optimale Sintertemperatur bedeutet, daß die günstigen Eigenschaften der Keramikzusammensetzung nicht beeinträchtigt werden und ihre theoretische Dichte bzw. nahezu die gleiche Dichte erhalten werden kann.
Ein Material, das für das erste Keramikmaterial 4 geeignet ist, ist z. B. Pb(Cd2Zs Nb2Zs Wy5)X TiyZnzO3, wobei χ = 0,01 bis 0,2, y = 0,20 bis 0,94, ζ = 0,01 bis 0,74 und 0,2 bis 1,0 Gewichtsporzent MnO2 als Zusatz. Dieses Material ist hinsichtlich seiner Piezoelektrizitätsund Sintereigenschaften günstig und seine optimale Sintertemperatur ist relativ niedrig.
Die Rohmaterialien für das erste und zweite Keramikmaterial 4 und Aab werden kalziniert und dann gemahlen. Es ist jedoch auch möglich, daß das Material, das durch Kalzinieren des Rohmaterials und Mahlen des Kalzinierten Materials erhalten wird, als erstes Keramikmaterial 4, jedoch ein unkalziniertes Material als zweites Keramikmaterial Aab verwendet wird. In letzterem Fall werden die jeweiligen Materialien in eine
bestimmte Form gepreßt und die formgepreßten Materialien werden bei der optimalen Sintertemperatur des ersten Keramikmaterials 4 gesintert, wodurch das Verhältnis DJDs der theoretischen Dichte und der Sinterdichte der jeweiligen Materialien derart gewählt > werden können, daß das Verhältnis DJDs des ersten Keramikmaterials 4 größer als das des zweiten Keramikmaterials 4ab ist.
Es ist auch möglich, die Korngrößen der Keramikmaterialien, die kalziniert und dann gemahlen und die i<> als erstes und zweites Keramikmaterial verwendet werden, derart gewählt werden, daß die Korngröße des zweiten Materials größer als die des ersten Keramikmaterials ist und daß die Materialien in eine bestimmte Form gepreßt und dann zur Bildung des Keramikform- ι r> teils gesintert werden.
Beispiel 1
Als erstes Keramikmaterial 4 wird eine erste Zusammensetzung, bestehend aus Pb(Cd2/5Nb2/5Wi/5)o,o5 Tioj25Zro,42s03, deren optimale Sintertemperatur 1000°C beträgt und deren theoretische Dichte DL 8,1 g/cm3 und 0,5 Gewichtsprozent MnO2 ist, verwendet, während als zweites Keramikmaterial 4ab eine zweite Zusammensetzung aus Pbo.91Lao.09Tioj5Zro.e5O3, deren 2ί optimale Sintertemperatur 1250° C und deren theoretische Dichte DL 8,1 g/cm3 beträgt, verwendet wird. Die beiden Zusammensetzungen werden bei einer Temperatur von 800 bis 900° C kalziniert und dann zu einer Korngröße kleiner als 1 Mikron gemahlen. Die so 3(1 erhaltenen Partikel werden zu einer Platte preßgeformt. Dies bedeutet daß der mittlere Teil der preßgeformten Platte aus der ersten Zusammensetzung und ihre beiden Seitenteile aus der zweiten Zusammensetzung gebiidet werden. Diese Teile werden in einem Stück geformt. Danach wird die preßgeformte Platte bei der optimalen Sintertemperatur der ersten Zusammensetzung bzw. bei 10000C unter der optimalen Sintertemperatur der zweiten Zusammensetzung gesintert. Damit wird ein Beispiel des Keramikformteils gemäß der Erfindung hergestellt das in der Mitte aus dem ersten Keramikteil aus dem ersten Keramikmaterial 4 und den beiden Keramikteilen aus dem zweiten Keramikmateria! 4ab an den beiden Seiten des ersten Keramikteils besteht.
Bei dem auf diese Weise hergestellten Keramikformteil gemäß der Erfindung beträgt die Dichte des ersten Keramikteils 4 des Keramikformteils 8,0 g/cm3 und ist damit nahezu gleich der theoretischen Dichte, und die Sinterdichte der zweiten Keramikteile 4ab des Keramikformteils beträgt 6,6 g/cm3 und ist damit ziemlich niedriger als ihre theoretische Dichte, die 8,1 g/cm3 beträgt Dies bedeutet daß die Verhältnisse der theoretischen Dichte und der Sinterdichte der jeweiligen Keramikmaterialien 4 und 4ab des so hergestellten Keramikformteils der Erfindung Öa < 6B ist. Der Grenzbereich zwischen den Keranükteilen 4 und 4ab des Keramikformteils ist derart, daß, da die Hauptkomponente der ersten und zweiten Zusammensetzung für beide gemeinsam ist eine gegenseitige Diffusion der jeweiligen Komponenten durch den Grenzbereich stattfindet wenn sie gesintert werden. Daher ändern sich die physikalischen Eigenschaften des Keramikformteils allmählich.
Wenn z.B. das Keramikformteil des obigen Beispiels 1 als piezoelektrisches Substrat 1 der F i g. 10 und 11 verwendet wird, wird eine Oberfläche spiegelpoliert und dann werden Eingangs- und Ausgangswandler, bestehend aus einem Paar interdigitaler Elektroden (nicht gezeigt) an der spiegelpolierten Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 1 in einem bestimmten Abstand gebildet. Dabei wird die Längsrichtung des Substrats I in Fig. 10 als Akustikoberflächenwellen-Auübreitungsrichtung gewählt. Die Frequenzkennlinie des akustischen Oberflächenwellenfilters unter Verwendung des Keramikformteils des zuvor beschriebenen Beispiels 1 ist in dem Diagramm der Fig. 12 gezeigt, in dem die Abszisse die Frequenz und die Ordinate die Einfügungsdämpfung darstellen. Aus dem Diagramm der Fig. 12 ist ersichtlich, daß die Beeinträchtigung durch eine unnötige Reflexion von Wellenkomponenten durch Verwendung des Keramikformteils gemäß der Erfiindung wirksam vermieden wird. Dies ist auf die Tatsache zurückzuführen, daß die zweiten Keramikteile 4ab an den beiden Seiten des ersten Keramikteüs 4, das das Arbeitselement 2 bildet, im Vergleich zu dem ersten Keramikteil 4 porös ist, um eine ankommende Ultraschallwelle zu absorbieren oder zu streuen. Außerdem ändern sich die Eigenschaften des Keramikformteils in dem Grenzbereich zwischen den Teilen 4 und 4ab kontinuierlich bzw. allmählich, so daß die Ultraschallwelle an dem Grenzbereich nicht reflektiert, sondern von den Teilen 4ab absorbiert bzw. gestreut wird, so daß die unnötigen Ultraschallwellen, die sonst den Ausgangswandler durchlaufen, kaum an den Ausgangswandler ankommen können.
Es ist dabei möglich, daß ein Ultraschall-Absorptionsmittel wie Pech, Öl, Kunststoff oder dergleichen in die porösen Teile 4ab eingebracht wird, um den Ultraschall-Ab Sorptionswirkungsgrad zu erhöhen.
Die obige Beschreibung bezog sich auf ein Beispiel, bei dem das Keramikformteil bzw. das piezoelektrische Substrat t aus dem ersten Keramikteil 4 in der Mitte und den zweiten Keramikteilen 4ab an den beiden Seiten des ersten Keramikteüs 4 besteht es ist jedoch auch eine in Fig;. 13 gezeigte Konstruktion möglich, bei der das erste Keramikteil 4, der das Arbeitselement 2 bildet, in der Mitte liegt und das zweite Keramikteil 4ab derart angeordnet ist, daß es die untere Oberfläche und die beiden Seiten des ersten Keramikteüs 4 umgibt Bei diesem Beispiel können nicht nur die unnötigen Oberflächenwellen, sondern auch Massewellen beseitigt werden. Dies bedeutet daß die Konstruktion des Keramikformteils der Erfindung entsprechend dem Zweck und den Bedingungen bei der Anwendung geändert werden können.
Die technischen Vorteile, Wirkungen usw. des akustischen Oberflächenwellenfilters unter Verwendung des Keramikformteils der Erfindung ergeben sich aus den folgenden Vergleichen der Erfindung mit Beispielen des Standes der Technik.
Die Frequenzkennlinie eines bekannten akustischen Oberflächenwellenfilters, das in den F i g. 1 und 2 gezeigt ist und das ein piezoelektrisches Substrat f ohne besondere Behandlung hat ist in F i g. 3 gezeigt und die Frequenzkennlinie eines weiteren bekannten akustischen Oberflächenwellenfilters, das in den F i g. 4 und 5 gezeigt ist und das ein piezoelektrisches Substrat 1 mit Ultraschall-Absorptionselementen 3 aus Polyurethan an den beiden Enden la und Xb des Substrats 1 an seiner Oberflächenwellen-Ausbreitungsrichtung hat ist in dem Diagramm der Fig.6 gezeigt Wie sich aus den Diagrammen der Fig.3 und 6 ergibt werden die Frequenzkennlinien der bekannten akustischen Oberflächenwellenfilter der Fig. 1, 2 und 4, 5 durch unnötige Akustikwellen beeinträchtigt und sind daher ungünstig.
Die Frequenzkennlinie eines weiteren bekannten
akustischen Oberflächenwellenfilters, das in den Fig. 7 und 8 gezeigt ist und das ein piezoelektrisches Substrat I verwendet, dessen beide Endteile la und \b in der Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen schräg abgeschnitten sind, dessen Endflächen und Oberfläche mit Ausnahme des Arbeitselements 2 aufgerauht sind und dessen Endteile la und \b mit Ultraschall-Absorptionselementen 3 aus Polyurethan versehen sind, ist in dem Diagramm der Fig.9 gezeigt. Aus dem Diagramm der Fig.9 ist ersichtlich, daß die Frequenzkennlinie dieses bekannten Beispiels in gleicher Weise durch unnötige akustische Wellen beeinträchtigt wird.
Wenn die Frequenzkennlinien des akustischen Oberflächenwellenfilters der F i g. 12 mit dem Keramikformteil der Erfindung, das in den F i g. 10,11 oder 13 gezeigt ist, mit den Frequenzkennlinien der bekannten akustischen Oberflächenwellenfilter der Fig. 3, 6 und 9 verglichen wird, ergibt sich, daß das Filter mit dem Keramikformteil der Erfindung die Beeinträchtigungen durch unnötige akustische Wellen wirksam beseitigt.
Beispiel 2
Als erste Keramikzusammensetzung, die das erste Keramikmaterial 4 bildet, wird eine Zusammensetzung ähnlich der des Beispiels 1 verwendet, und als zweite Keramikzusammensetzung, die das zweite Keramikmaterial 4ab bildet, wird eine Zusammensetzung aus Pb(Cd2/5Nb2/5Wi/'5)o,o5Tio,525Zro,42503, deren optimale Sintertemperatur 1100°C und deren theoretische Dichte 8,1 g/cm3 beträgt, in Form von unkalziniertem Rohpulver verwendet. Die beiden Keramikzusammensetzungen werden preßgeformt und dann bei einer Temperatur von 1000° C ähnlich dem Beispiel 1 gesintert. Dabei ergibt sich eine Sinterdichte des zweiten Keramikmaterials 4ab von 7,0 g/cm3.
Beispiel 3
Als erste Keramikzusammensetzung, die das erste Keramikmaterial 4 bildet, wird die gleiche Zusammensetzung wie bei dem Beispiel 1 verwendet, und als zweite Keramikzusammensetzung, die das zweite Keramikmaterial 4ab bildet, wird eine Zusammensetzung aus Pb(Zro,5Tio,5)0;j verwendet, deren optimale Sintertemperatur 1250°C und deren theoretische Dichte 8,1 g/cm3 beträgt, verwendet. Beide Keramikzusammensetzungen werden preßgeformt und dann bei einer Temperatur von 1000°C ähnlich wie bei dem ersten Beispiel gesintert. Dabei ergibt sich eine Sinterdichte des zweiten Keramikmaterials 4ab von 6,5 g/cm3.
Beispiel 4
Es werden die gleichen Keramikzusammensetzungen wie bei dem Beispiel 1 und die gleiche Behandlungsmethode wie bei dem Beispiel 1 angewendet. Das erste Keramikmaterial wird zu Pulver gemahlen, dessen Korngröße kleiner als ein Mikron gewählt ist, die zweite Keramikzusammensetzung wird zu Pulver gemahlen, dessen Korngröße derart ist, daß es ein Sieb mit der Standardsiebgröße von 200 nicht durchdringt, bzw. dessen Korngröße kleiner als 10 Mikron gewählt wird. Dabei ergibt sich eine Sinterdichte der zweiten Keramikteile 4ab von 6,9 g/cm3.
Es wurde festgestellt, daß, wenn die Keramikformteile der Beispiele 2 bis 4 als akustisches Oberflächenwellenfilter verwendet werden, die Einflüsse unnötiger akustischer Wellen wirksam beseitigt werden können.
Bei der vorherigen Beschreibung wurde davon ausgegangen, daß das Keramikformteil der Erfindung als akustisches Oberflächenwellenfilter verwendet wird, es ist jedoch ersichtlich, daß das Keramikformteil der Erfindung auch als Vorrichtung zur Übertragung einer Massewelle mit den gleichen Wirkungen verwendet werden kann.
Hierzu 2 Blatt Zeichnungen

Claims (10)

Patentansprüche:
1. In einem Stück gesintertes Keramikformteil z. B. zur Herstellung eines akustischen Oberflächenwellenleiters, bestehend aus zwei eine gemeinsame Grenzfläche aufweisenden Keramikteilen unterschiedlicher Dichte, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) aus einem piezoelektrischen Keramikmaterial hergestellt ist, dessen Verhältnis der theoretischen Dichte zu der Sinterdichte kleiner ist als die des anderen Keramikteils (4ab), und daß das Verhältnis der theoretischen Dichte zur Sinterdichte in der Grenzschicht zwischen den beiden Teilen vom Verhältnis des einen Keramikteils zum Verhältnis des anderen Keramikteils allmählich ansteigt
.2. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) aus Pb(Cd2ZS Nb2/5 W1/5)S Tiy ZrzO3 besteht, wobei X im Bereich von 0,01 bis 0,2, Vim Bereich von 0,2 bis 0,94 und Zim Bereich von 0,01 bis 0,74 liegt
3. Keramikformteil nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) 0,2-1,4 Gew.-% MnO2 enthält.
4. Keramikformteil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) aus Pbo.91, Lao.09 Ti0J5 Zro,65 O3 besteht.
5. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Keramikteil (4ab) aus Pb(Cc2Z3Nb2ZsWu5)O1O5 TiO525Zr01425O3 besteht.
6. Keramikformteil nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Keramikformteil (4ab)&\is Pb(Zr05Ti(W)O3 besteht.
7. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der erste und der zweite Keramikteil (4,4ab) als Hauptbestandteile Materialien enthalten, die miteinander defundierbar sind.
8. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der eine Keramikteil (4) von dem anderen Keramikteil (4ai>,Jumgeben ist.
9. Keramikformteil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß der andere Keramikteil (4ab) auf beiden Seiten des ersten Keramikteils (4) liegt.
10. Verfahren zur Herstellung des Keramikformteils nach einem der Ansprüche 1—9, dadurch gekennzeichnet, daß ein Pulver aus piezoelektrischem Keramikmaterial mit optimaler Sintertemperatur und ein Pulver aus keramischem Material mit einer höheren Sintertemperatur zur Bildung der beiden Keramikteile gepreßt werden, und daß das auf diese Weise gebildete Keramikformteil bei etwa der Sintertemperatur des piezoelektrischen Keramikmaterials gesintert wird.
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