DE2609884A1 - Wellenfilter mit elastischer wellenausbreitungsflaeche - Google Patents
Wellenfilter mit elastischer wellenausbreitungsflaecheInfo
- Publication number
- DE2609884A1 DE2609884A1 DE19762609884 DE2609884A DE2609884A1 DE 2609884 A1 DE2609884 A1 DE 2609884A1 DE 19762609884 DE19762609884 DE 19762609884 DE 2609884 A DE2609884 A DE 2609884A DE 2609884 A1 DE2609884 A1 DE 2609884A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- substrate
- wave filter
- filter according
- electrodes
- converter
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/08—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of resonators or networks using surface acoustic waves
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
VON KREISLER SCHÖNWALD MEYER EISHOLD FUES VON KREISLER KELLER SELTING
PATENTANWÄLTE Murata Manufacturing Co., Ltd. Dr.-fng. von Kreisfer f 1973
16, Nishijin-cho, Kaiden, Dr.-tng. K. Schönwald, Köln
Nagaokakyo-shi , Kyoto , Japan Dr.-tng. Th. Meyer, Köln
Dr.-tng. K. W. Eishold, Bad Soden Dr. J. F. Fues, Köln
Dipt.-Chem. Alek von Kreister, Köln
Dipl.-Chem. Carola Keller, Köln
Dipf.-tng. G. Setfing, Köln
Sg-Is 5 KÖLN T 9. März 1976
DElCHMAMNhAUS AM HAUPTLAHNHOF
Wellenfilter mit elastischer Wellenausbreitungsfläche
Die Erfindung betrifft ein Wellenfilter mit elastischer Wellenausbreitungsfläche, mit einem piezoelektrischen
Substrat, auf dessen einer Seite aus kammförmig ineinandergreifenden
Teilen bestehende Umsetzerelektroden angeordnet sind, von denen eine an eine elektrische Eingangssignalquelle
und die andere an eine externe Last anschließbar ist, wobei die Umsetzerelektroden mit räumlichem
Abstand, jedoch durch das Substrat piezoelektrisch gekoppelt angeordnet sind und jede Umsetzerelektrode zwei
ineinandergreifende kammartige Elektrodenanordnungen aufweist.
Wellenfilter mit elastischer Wellenausbreitungsfläche sind bekannt. Sie arbeiten nach folgendem Prinzip: Wenn
ein elektrisches Signal von einer Signalquelle an eines der" Umsetzersysteme angelegt wird, wird ein periodisches
elektrisches Feld erzeugt und unter der Wirkung der piezoelektrischen Kopplung das Eingangssignal in eine
60 9840/0 732
akustische Oberflächenwelle umgesetzt, die elastisch
durch das piezoelektrische Substrat fortschreitet. Die akustische Oberflächenwelle erregt das andere Umsetzer-System
und wird von diesem in ein elektrisches Ausgangssignal umgesetzt, das einer externen Last zugeführt wird.
Bei den bekannten Wellenfiltern dieser Art ist das piezoelektrische
Substrat mit den darauf befindlichen Umsetzersystemen in einem Gehäuse eingeschlossen, um als
Bauelement in einer elektrischen und/oder elektronischen Schaltung, die derartige Wellenfilter erfordert, verwandt
werden zu können. Im einzelnen enthält das Gehäuse einen offenen Behälter oder eine Schutzkappe sowie eine
Basisplatte, mit der die Öffnung der Schutzkappe verschlossen wird. Das piezoelektrische Substrat ist innerhalb
des Gehäuses derart untergebracht, daß diejenige seiner beiden Flächen, die der die Umsetzersysteme tragenden
Flächen abgewandt ist, in festem Kontakt mit der Innenfläche der Stützplatte gehalten wird, während die
andere Fläche des Substrats im Inneren der durch die Schutzkappe gebildeten Kammer freiliegt. Mit anderen Worten:
das piezoelektrische Substrat ist vollständig unabhängig und separat von dem Gehäuse, und es ist lediglich
in dem Gehäuse untergebracht.
Da die Umsetzersysteme andererseits aus kammartig ineinandergreifenden
Elektroden bestehen, von denen jede zwei Kammelektrodenanordnungen aufweist, greifen die Leiterelemente
der einen Kammelektrodenanordnung zwischen die Leiterelemente der anderen Kammelektrodenanordnung und
es werden vier Anschlußstifte zum externen elektrischen Anschluß des Wellenfilters benötigt, wobei zwei dieser
BO 9840/0732
260^334
Anschlußstifte mit den jeweiligen Kammelektrodenanordnungen der Eingangselektrode verbunden werden, während
die anderen beiden Anschlußstifte mit den jeweiligen Kammelektrodenanordnungen der Ausgangselektrode verbunden
werden. Jeder dieser Anschlußstifte ist bei den bekannten Wellenfiltern durch die Bodenplatte, die einen
Bestandteil des Gehäuses darstellt, hindurchgeführt. Sie ist daher einerseits in der Bodenplatte befestigt
und andererseits über einen Anschlußdraht mit der auf dem separaten piezoelektrischen Substrat befindlichen
Kammelektrodenanordnung verbunden.
Das bekannte Wellenfilter mit elastischer Wellenausbreitungsfläche
erfordert komplizierte Herstellungsprozesse und verursacht daher außerordentlich hohe Herstellungskosten.
Beispielsweise wird aufgrund der Tatsache, daß ein Anschlußdraht erforderlich ist, um die Kammelektrodenanordnung
mit den jeweiligen Anschlußstiften zu verbinden, eine relativ große Zahl von Lötverbindungen erforderlich.
Ferner ist das herkömmliche Wellenfilter so voluminös, daß es in den elektrischen Schaltungen einen erheblichen
Platzbedarf hat. Hierdurch werden die Abmessungen der elektrischen und/oder elektronischen Schaltungen, in denen
das Wellenfilter verwendet wird, erheblich vergrößert.
Aufgabe der Erfindung ist es, ein Wellenfilter der genannten Art so auszubilden, daß es weniger Lötstellen
hat, einfacher herzustellen ist, geringere Kosten verursacht und eine geringere Baugröße aufweist, so daß
die Nachteile der bekannten Wellenfilter vermieden werden.
Zur Lösung dieser Aufgabe wird erfindungsgemäß vorgeschla-
609840/0732
-A-
gen, daß auf der die Elektroden tragenden Seite des piezoelektrischen
Substrats eine Schutzkappe befestigt ist, die zusammen mit dem Substrat einen geschlossenen Innenraum
bildet, und daß für jede der kammartigen Elektrodenanordnungen ein Anschlußteil vorgesehen ist, das mit
einem Ende an die zugehörige Elektrodenanordnung angeschlossen ist, und deren anderes Ende von dem Substrat
aus nach außen ragt.
Nach der Erfindung bildet das piezoelektrische Substrat einen Bestandteil des Gehäuses. Dadurch werden komplizierte
separate Gehäusedurchführungen entbehrlich. Das erfindungsgemäße Wellenfilter enthält im wesentlichen
ein Substrat aus piezoelektrischem Material mit den Eingangs- und Ausgangsumsetzerelektroden, zwei Paare von
Anschlußstiften, die mit den Eingangs- und Ausgangsumsetzerelektroden verbunden sind, wobei keine Anschlußdrähte
erforderlich sind, sowie eine Schutzkappe, die fest auf dem piezoelektrischem Substrat montiert ist,
das dabei als Boden wirkt, der zusammen mit der Schutzkappe das Gehäuse für das Wellenfilter bildet.
R09840/0732
2603384
Im folgenden werden einige bevorzugte Ausführungsbeispiele
der Erfindung unter Bezugnahme auf die Figuren näher erläutert.
Fig. 1 zeigt eine perspektivische Ansicht eines piezoelektrischen Substrats, das eine Eingangsumsetzerelektrode
und eine Ausgangsumsetzerelektrode trägt.
Fig. 2 zeigt eine Ansicht ähnlich derjenigen der Fig. 1,
jedoch mit zwei Anschlußstiften, die an die Eingangsumsetzerelektrode und die Ausgangsumsetzerelektrode angeschlossen sind, entsprechend einer bevorzugten Ausführungsform
der Erfindung.
Fig. 3 zeigt einen Querschnitt durch ein Wellenfilter mit der in Fig. 2 dargestellten Substratausbildung.
Fig. 4 zeigt eine Ansicht ähnlich derjenigen der Fig. und veranschaulicht zwei Paare von Anschlußstiften, die
in gegenüber Fig. 2 abgewandelter Form mit den Eingangsumsetzerelektroden und den Ausgangsumsetzerelektroden
verbunden sind.
Fig. 5 zeigt einen Querschnitt des Wellenfilters mit
dem in Fig. 4 dargestellten piezoelektrischen Substrat.
Fig. 6 zeigt eine weitere Ausführungsform der Erfindung
in einer Darstellung ähnlich derjenigen der Fig.2.
Fig. 7 und 8 zeigen Schnittdarstellungen eines Teils des Substrats zur Verdeutlichung unterschiedlicher Verfahren
zur Bildung der Umsetzerelektroden auf dem Substrat,
609840/0732 _ 6 _
Fig. 9 zeigt eine Schnittdarstellung eines Wellenfilters
mit elastischer Wellenausbreitungsfläche nach einer weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,
Fig. 10 zeigt eine Schnittdarstellung eines Wellenfilters
nach einer weiteren Ausführungsform der Erfindung,
Fig. 11 zeigt eine perspektivische Ansicht des Wellenfilters nach Fig. 10 mit einer Kunstharz-Schutzumhüllung.
Fig. 12 zeigt in einer Ansicht ähnlich derjenigen der Fig. 10 eine Modifizierung des Filters nach Fig. 10, und
Fig. 13 zeigt eine Explosionsdarstellung eines Wellenfilters
mit elastischer Wellenausbreitungsfläche nach einer weiteren bevorzugten Ausführungsform der Erfindung.
Im Zusammenhang mit der nachfolgenden Beschreibung der Ausführungsbeispiele sei darauf hingewiesen, daß gleiche
Teile stets durch die verschiedenen Ansichten hindurch durchgehend mit den gleichen Bezugszeichen versehen sind.
Bei dem in Fig. 1 dargestellten Plättchen besteht das piezoelektrische
Substrat 10 aus einem Bariumtitanat enthaltenden Keramikmaterial und anderen Keramikmaterialien, wie
PZT oder Glas oder Keramik. Dieses piezoelektrische Substrat 10 hat einen im wesentlichen rechtwinkligen plattenähnlichen
Aufbau und ist an seiner einen Seite mit Eingangsund Ausgangsumsetzerelektroden E1 und E2, sogenannten
Interdigitalelektroden, versehen. Die Aufbringung der Elektroden auf das Substrat erfolgt mit bekannten Verfahren,
beispielsweise mittels Fotoätztechnik, Zerstäubungs-
609840/0732
2609384
technik, Vakuuradampfbeschichtung, Elektroplattieren
oder Diffusionstechnik.
Soweit dargestellt, besteht jede der Eingangs- und Ausgangsumsetzerelektroden
E1 und E2 aus zwei ineinandergreifenden kammähnlichen Strukturen 11 und 12. Eines der
Kammelektrodenteile 11 besitzt zwei leitenden Elemente
11a und 11b, die mit drei leitenden Elementen 12a, 12b
und 12c des anderen Elektrodenteils 12 ineinandergreifen.
Wie man am besten aus Fig. 2 ersieht, ist die Elektrodenanordnung in einem Paar der Eingangsumsetzerelektrode
E1 so ausgebildet, daß sie an eine elektrische Eingangssignalquelle (nicht dargestellt) angeschlossen werden
kann, während die Elektrodenanordnung in einem Paar der Ausgangsumsetzerelektrode E2 so ausgebildet ist, daß sie
an eine externe elektrische Last (nicht dargestellt) angeschaltet werden kann. Zu diesem Zweck sind jeweils zwei
Anschlußstifte 13a, 13b und 14a, 14b, von denen ein Paar
für jede Umsetzerelektrode bestimmt ist, an die Elektrodenanordnungen 11, 12 der Eingangsumsetzerelektrode E1
und an die Elektrodenanordnungen 11, 12 der Ausgangsumsetzerelektrode E2 angeschaltet. Im einzelnen ist bei der
Ausführungsform der Fig. 2 und 3 jeder der Anschlußstifte 13a, 13b,. Λ^&,, 14b mit einem Ende bei 15a, 15b, 16a oder
16b an die entsprechende kammförmige Elektrodenanordnung
der Umsetzerelektrode angelötet und am anderen Ende so ausgebildet, daß sie mit einer externen elektrischen
Schaltung verbunden werden kann. Ein Abschnitt am ersten Ende der Anschlußstifte liegt auf der die Elektroden tragenden
Fläche des Substrats 10 auf und erstreckt sich dort von der betreffenden Elektrodenanordnung aus nach
R09840/0732
— 8
außen. Diese Anschlußstifte 13, 13b, 14a und 14b können
jeweils als Zuführungsdraht (lead wire) ausgebildet sein.
Wie man am besten aus Fig. 3 ersieht, ist auf dem Substrat 10 eine Schutzkappe 17 montiert, deren Randfläche bei 18
fest mit dem Randteil der die Elektroden tragenden Fläche des Substrats 10 verbunden ist. Die Verbindung erfolgt
mit einem abdichtenden Kleber. Das Innere 17a der Schutzkappe 17 bildet, wenn die Schutzkappe 17 auf dem Substrat
10 in der beschriebenen Weise montiert ist, einen Innenraum, der im wesentlichen oberhalb der Eingangs- und Ausgangsumsetzerelektroden
E1 und E2 liegt. In der Praxis ist der Innenraum 17a vorzugsweise mit Inertgas, z.B.
Stickstoff, gefüllt.
Aus dem oben Gesagten ist klar, daß das Substrat 10 nicht nur als Unterlage für die Eingangs- und Ausgangsumsetzerelektroden
dient, sondern gleichzeitig als Gehäuseteil zum Verschließen der öffnung der Schutzkappe
17 bzw. als in das Innere der Kammer 17a führender Verschluß,
wirkt.
Das Wellenfilter nach der Ausführungsform der Fig. 4 und
5 unterscheidet sich von der Konstruktion der Fig. 1 und 2 insoweit,, als,-die Anschlußstifte 13'a, 13'b, 14'a und 14'b
axial nicht-bewegbar durch das Substrat 10 hindurchragen und mit den Elektrodenanordnungen 11 und 12 von Eingangsund
Ausgangsumsetzerelektroden E1 und E2 durch gemeinsame
Leiter-anschlüsse 11c und 12d verbunden sind, die einstückig
mit den Elektrodenanordnungen 11 und 12 der Eingangs- bzw.
Ausgangsumsetzerelektroden E1 und E2 hergestellt sind.
609840/.0732
Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 6 sind die Eingangs- und Ausgangsumsetzerelektroden E1 und E2 auf dem
piezoelektrischen Substrat 10 über eine piezoelektrische Schicht 19 befestigt, die aus einem piezoelektrischen
Material, wie ZnO oder CdS besteht. Im einzelnen ist die dünne Schicht 19 auf einer Oberfläche des Substrats
10 beispielsweise mittels bekannter Zerstäubungstechniken angebracht. Die Umsetzerelektroden E1 und E2 werden anschließend
auf der Außenfläche der dünnen Schicht 19 mit
bekannten Verfahren erzeugt.
Bei dem Ausführungsbeispiel nach Fig. 6 ist die Verbindungstechnik
von Fig. 2 angewandt worden, es ist jedoch auch ohne weiteres möglich, dabei die in Fig. 4 abgebildete
Verbindungstechnik zu benutzen. Wenn die dünne Schicht 19 aus piezoelektrischem Material, wie ZnO oder
CdS zwischen das Substrat 10 und die Eingangs- und Ausgangsumsetzerelektroden E1 und E2 gebracht wird, wird als
Material für das Substrat 10 vorzugsweise Glas verwandt.
Wie Fig. 7 zeigt, können die Umsetzerelektroden E1 und E2 partiell in die dünne Schicht 19 eingebettet sein, wobei
die Leiterelemente der Elektroden im Inneren der Kammer 17a teilweise blank liegen. Die Einbettung der Umsetzerelektroden
E1 und..E2 in der in Fig. 7 dargestellten Weise kann mit bekannten Diffusionsübertragungsverfahren erfolgen.
Alternativ können die Umsetzerelektroden E1 und E2, wie Fig. 8 zeigt, zwischen dem Substrat 10 und der
dünnen, Schicht 19 aus piezoelektrischem Material angeördet werden. In diesem Falle sind die Leiterbahnen allseitig
umschlossen.
R09840/0732
- 10 -
2609384 - ίο -
Bei den oben beschriebenen Ausführungsformen besitzt
die Schutzkappe 17 einen Hohlraum, der durch das Substrat verschlossen ist. Bei der Ausführungsform nach Fig. 9
hat die Schutzkappe jedoch die Form einer flachen Platte 17', die über einen perforierten Abstandhalter 20 auf
dem Substrat 10 befestigt ist. Die Form des Abstandhalters 20 gleicht derjenigen der Schutzkappe 17" und des Substrats
10. Der Abstandhalter 20 besteht vorzugsweise aus synthetischem oder natürlichem Kautschukmaterial,
so daß er einen wesentlichen Dämpfungseffekt auf die über das Substrat 10 entlang der elastischen Oberfläche laufende
Welle ausübt.
Das Wellenfilter mit elastischer Wellenausbreitungsfläche kann in seinen verschiedensten Ausführungsformen mit einer
Schutzhülle aus Kunstharz oder Glasmaterial versehen sein, wie dies in den Fig. 10 und 11 sowie 12 dargestellt ist.
Die Schutzhülle 21 kann leicht dadurch hergestellt werden, daß das Wellenfilter in geschmolzenes Kunstharz oder
in Glasmaterial eingetaucht wird und das eine Beschichtung bildende Kunstharz oder Glas anschließend aushärtet.
Während des Tauchvorgangs muß man darauf achten, daß die äußeren Teile der Anschlußstifte nicht mit dem Kunstharz
oder dem Glasmaterial, das schließlich die Schutzhülle 21 bildet, mitbeschichtet wird.
Es sei darauf hingewiesen, daß bei der in Fig. 12 dargestellten
Ausführungsform das elastische Dämpfungsmaterialy
das vorzugsweise aus Siliconkautschuk besteht, wie bei 21a und 21b zu beiden Seiten von außen an der
Schutzabdeckung 17 entlang deren Randes aufgebracht wird. Alternativ ist es möglich, das elastische Dämpfungsmate-
609840/0732
rial 21a und 21b im Inneren der Schutzkappe 17 und entlang
deren Außenrandes anzubringen.
Ferner kann, in Abhängigkeit von der Konstruktion des gesamten Wellenfilters, ein elektrisches Dämpfungsmaterial
über den gesamten äußeren Rand der Schutzhülle 17 gelegt werden, anstatt nur separate elastische Dämpfungsteile
21a und 21b zu verwenden.
Bei der Ausführungsform der Fig. 13 ist ein Wellenfilter
mit elastischer Ausbreitungsfläche , das entsprechend irgendeiner der oben erläuterten Konstruktionen ausgebildet
ist, mit einer oder mit zwei Dämpfungsplatten aus Siliconkautschuk und einer Grundplatte 23 versehen.
Soweit in Fig. 13 dargestellt, ist die Dämpfungsplatte
22 an der den Umsetzerelektroden E1 und E2 abgewandten
Seite des Substrats 10 befestigt, während die Basisplatte
23 mit der Dämpfungsplatte 22 verbunden ist, wobei die Dämpfungsplatte zwischen dem Substrat 10 und der Basisplatte
angeordnet ist.
Die Basisplatte 23 hat die Aufgabe, dem Wellenfilter,
und insbesondere dem Substrat 10, zusätzliche physikalische Festigkeit zu geben. Wenn das Substrat 10 bereits
eine ausreichende Festigkeit aufweist, kann die Basisplatte 23 fortgelassen werden.
Die in Fig. 13 dargestellte Konstruktion ist vollkommen
von der Schutzumhüllung 23, die in den Fig. 10 und 12 dargestellt ist, umschlossen.
Wenn das Wellenfilter nicht mit den erwähnten, mit 21a
809840/0732
- 12 -
und 21b und 22 bezeichneten Dämpfungselementen ausgestattet ist, kann die Schutzkappe 20 aus einem synthetischen
Kunstharzmaterial mit relativ hoher Elastizität hergestellt sein.
Die Verwendung der Schutzkappe 17 bringt zusätzliche Vorteile dadurch, daß ein Oxidieren der Eingangs- und
Ausgangsumsetzerelektroden E1 und E2 im wesentlichen vermieden wird, daß die Widerstandsfähigkeit des Wellenfilters
gegenüber externen Stoßen oder Vibrationen wesentlichen verbessert werden kann, und daß Interferenzen
zwischen der durch das Substrat hindurchgehenden Oberflächenwelle und externem Rauschen im wesentlichen
eliminiert werden können.
609840/0732 - 13 -
Claims (11)
- 2609384Ansprücheί 1./Wellenfilter mit elastischer Wellenausbreitungsfläche, mit einem piezoelektrischen Substrat, auf dessen einer Seite aus kammförmig ineinandergreifenden Teilen bestehende Umsetzerelektroden angeordnet sind, von denen eine an eine elektrische Eingangssignalquelle und die andere an eine externe Last anschließbar ist, wobei die Umsetzerelektroden mit räumlichem Abstand, jedoch durch das Substrat piezoelektrisch gekoppelt angeordnet sind und jede Umsetzerelektrode zwei ineinandergreifende kammartige Elektrodenanordnungen aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß auf der die Elektroden (11, 12) tragenden Seite des piezoelektrischen Substrats (10) eine Schutzkappe (17) befestigt ist, die zusammen mit dem Substrat einen geschlossenen Innenraum bildet, und daß für jede der kammartigen Elektrodenanordnungen (11, 12) ein Anschlußteil (13a, 13b, 14a, 14b) vorgesehen ist, das mit einem Ende an die zugehörige Elektrodenanordnung (11, 12) angeschlossen ist, und deren anderes Ende von dem Substrat (10) aus nach außen ragt.
- 2. Wellenfilter nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet , daß eine dünne Schicht (19) aus piezoelektrischem Material vorgesehen ist, und daß die Umsetzerelektroden (E1, E2) auf dem Substrat (10) über der dünnen Schicht (19) befestigt sind.
- 3. Wellenfilter nach Anspruch 1, dadurch gekenn zeichnet , daß eine dünne Schicht (19) aus piezoelektrischem Material auf dem Substrat (10) befestigt ist,BQ9840/07322 B () P n 8 4und daß die Umsetzerelektroden (E1, E2) zwischen der dünnen Schicht (19) und dem Substrat (10) angeordnet sind (Fig. 8).
- 4. Wellenfilter nach Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet , daß die Umsetzerelektroden (E1 und E2) in die dünne Schicht (19) eingebettet sind.
- 5. Wellenfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 4, dadurch gekennzeichnet, daß die Schutzkappe (171) auf dem Substrat (10) mittels Abstandhalter (20) aus Kautschukmaterial befestigt ist.
- 6. Wellenfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 5, dadurch gekennzeichnet, daß eine das Filter umschließende Schutzhülle (21) vorgesehen ist.
- 7. Wellenfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß Anschlußstifte (13'a, 13'b und 14'a, 14'b)vergesehen sind, die durch das Substrat (10) hindurchgehen und auf der einen Seite mit den kammförmigen Elektrodenanordnungen (11, 12) verbunden sind.
- 8. Wellenfilter nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, daß Anschlußstifte (13a, 13b, 14a, 14b) vorgesehen sind, die auf dem Substrat (10) liegend von der zugehörigen Elektrodenanorch^ng (11, 12) ausgehen und zur Außenseite des Substrats führen.
- 9. Wellenfilter nach Anspruch 3, dadurch gekenn-ORIGiNAL iNSPECTED609840/0732- 15 -280-384zeichnet , daß an der Schutzkappe (17) eine Dämpfungseinrichtung (21a, 21b) vorgesehen ist, die außerhalb des Innenraumes (17a) angeordnet ist.
- 10. Wellenfilter nach Anspruch 3, dadurch gekenn zeichnet , daß an der den Elektroden (E1 undE2) abgewandten Seite des Substrats (10) eine Dämpfungsplatte (22) angebracht ist.
- 11. Wellenfilter nach Anspruch 10, dadurch gekennzeichnet , daß an der dem Substrat (10) abgewandten Seite der Dämpfungsplatte (22) eine Basisplatte (23) angebracht ist.ORIGINAL INSPECTED609840/0732
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP3431675U JPS51114939U (de) | 1975-03-13 | 1975-03-13 | |
JP3431775U JPS51114940U (de) | 1975-03-13 | 1975-03-13 | |
JP3431875U JPS51114941U (de) | 1975-03-13 | 1975-03-13 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE2609884A1 true DE2609884A1 (de) | 1976-09-30 |
DE2609884B2 DE2609884B2 (de) | 1979-11-15 |
DE2609884C3 DE2609884C3 (de) | 1980-08-21 |
Family
ID=27288383
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE2609884A Expired DE2609884C3 (de) | 1975-03-13 | 1976-03-10 | Filter auf der Basis der akustischen Oberflächenwellen |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4047129A (de) |
DE (1) | DE2609884C3 (de) |
GB (1) | GB1512593A (de) |
IT (1) | IT1067509B (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3011730A1 (de) * | 1980-03-26 | 1981-10-01 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Gehaeuse fuer elektrische bauelemente, bauelementegruppen oder integrierte schaltungen |
EP0342390A1 (de) * | 1988-05-17 | 1989-11-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Gehäuse für elektrische Bauelemente, Bauelementegruppen oder integrierte Schaltungen |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4213104A (en) * | 1978-09-25 | 1980-07-15 | United Technologies Corporation | Vacuum encapsulation for surface acoustic wave (SAW) devices |
JPS55112019A (en) * | 1979-02-22 | 1980-08-29 | Murata Mfg Co Ltd | Elastic surface wave device |
US4270105A (en) * | 1979-05-14 | 1981-05-26 | Raytheon Company | Stabilized surface wave device |
FR2466763A1 (fr) * | 1979-09-28 | 1981-04-10 | Thomson Csf | Capteur de pression a ondes elastiques de surface et senseur de pression pour un tel capteur |
EP0146077B1 (de) * | 1983-12-15 | 1991-09-04 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Akustischer Oberflächenwellenresonator |
CA1281810C (en) * | 1984-02-20 | 1991-03-19 | Stephen P. Rogerson | Mounting of saw devices |
JPS6297418A (ja) * | 1985-10-23 | 1987-05-06 | Clarion Co Ltd | 弾性表面波装置のパツケ−ジ方法 |
JPS62109420A (ja) * | 1985-11-07 | 1987-05-20 | Alps Electric Co Ltd | 弾性表面波素子 |
US5059848A (en) * | 1990-08-20 | 1991-10-22 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Low-cost saw packaging technique |
JPH0590872A (ja) * | 1991-09-27 | 1993-04-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 表面弾性波素子 |
RU2153221C2 (ru) | 1994-05-02 | 2000-07-20 | СИМЕНС МАЦУШИТА КОМПОНЕНТС ГмбХ УНД Ко. КГ | Устройство корпусирования для электронных конструктивных элементов |
US5760526A (en) * | 1995-04-03 | 1998-06-02 | Motorola, Inc. | Plastic encapsulated SAW device |
EP0794616B1 (de) * | 1996-03-08 | 2003-01-29 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Elektronisches Bauteil und Herstellungsverfahren |
US5729185A (en) * | 1996-04-29 | 1998-03-17 | Motorola Inc. | Acoustic wave filter package lid attachment apparatus and method utilizing a novolac epoxy based seal |
JP3123477B2 (ja) * | 1997-08-08 | 2001-01-09 | 日本電気株式会社 | 表面弾性波素子の実装構造および実装方法 |
US6628048B2 (en) * | 2000-11-29 | 2003-09-30 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Crystal oscillator with improved shock resistance |
JP3974346B2 (ja) * | 2001-03-30 | 2007-09-12 | 富士通メディアデバイス株式会社 | 弾性表面波装置 |
DE102013102217B4 (de) * | 2013-03-06 | 2015-11-12 | Epcos Ag | Mikroakustisches Bauelement und Verfahren zur Herstellung |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3512254A (en) * | 1965-08-10 | 1970-05-19 | Corning Glass Works | Method of making an electrical device |
US3694674A (en) * | 1969-09-29 | 1972-09-26 | Denki Onkyo Co Ltd | High voltage generating apparatus |
US3689784A (en) * | 1970-09-10 | 1972-09-05 | Westinghouse Electric Corp | Broadband, high frequency, thin film piezoelectric transducers |
GB1389610A (en) * | 1972-10-11 | 1975-04-03 | Marconi Co Ltd | Surfacewave devices |
US3872331A (en) * | 1973-06-04 | 1975-03-18 | Zenith Radio Corp | Packaged surface wave selective circuit device and method of making the same |
US3885173A (en) * | 1973-10-09 | 1975-05-20 | Magnavox Co | Apparatus and method for coupling an acoustical surface wave device to an electronic circuit |
-
1976
- 1976-03-09 GB GB9338/76A patent/GB1512593A/en not_active Expired
- 1976-03-10 DE DE2609884A patent/DE2609884C3/de not_active Expired
- 1976-03-12 US US05/666,270 patent/US4047129A/en not_active Expired - Lifetime
- 1976-03-12 IT IT7621184A patent/IT1067509B/it active
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE3011730A1 (de) * | 1980-03-26 | 1981-10-01 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Gehaeuse fuer elektrische bauelemente, bauelementegruppen oder integrierte schaltungen |
EP0342390A1 (de) * | 1988-05-17 | 1989-11-23 | Siemens Aktiengesellschaft | Gehäuse für elektrische Bauelemente, Bauelementegruppen oder integrierte Schaltungen |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
IT1067509B (it) | 1985-03-16 |
DE2609884C3 (de) | 1980-08-21 |
DE2609884B2 (de) | 1979-11-15 |
GB1512593A (en) | 1978-06-01 |
US4047129A (en) | 1977-09-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2609884A1 (de) | Wellenfilter mit elastischer wellenausbreitungsflaeche | |
DE112005000446B4 (de) | Paket mit piezoelektrischem Resonatorelement und piezoelektrischer Resonator | |
DE10059373B4 (de) | Lecktestgeeignete, kapazitiv gefilterte Durchführung für ein implantierbares medizinisches Gerät | |
DE2617272C2 (de) | Elektrischer Verbinder | |
DE3011730C2 (de) | Gehäuse für elektrische Bauelemente, Bauelementegruppen oder integrierte Schaltungen | |
DE3408216A1 (de) | Spannungsbegrenzende durchfuehrung | |
DE1275627B (de) | Piezoelektrischer Einbaukoerper | |
DE3511722A1 (de) | Elektromechanische baugruppe fuer integrierte schaltkreismatrizen | |
DE2242025B2 (de) | Zusammengesetzte halbleiterschaltung | |
DE2610172C3 (de) | Filter auf der Basis der akustischen Oberflächenwellen | |
DE2140107A1 (de) | Fotodetektoranordnung | |
DE10354026A1 (de) | Piezoelektrische Membran und diese piezoelektrischer elektroakustischer Wandler unter Verwendung derselben | |
DE3005773C2 (de) | Akustisches Oberflächenwellen-Bauelement | |
DE1766790A1 (de) | Dreipoliger piezoelektrischer Resonator | |
DE3520895C2 (de) | ||
DE10022271A1 (de) | Piezoelektrisches Bauteil | |
DE2165143C3 (de) | Elektrodenanordnung für einen stabförmigen, piezoelektrischen Biegungsschwinger | |
DE2820236A1 (de) | Stimmgabelresonator mit einer elektrisch angetriebenen stimmgabel, mit einer abstuetzung und mit wenigstens einem anschlusstift fuer den elektrischen antrieb | |
DE10003501C2 (de) | Elektronische Bauteilvorrichtung | |
EP0071917B1 (de) | Elektrisches Bauelement, Bauelementegruppe oder integrierte Schaltung, deren aktiver Teil auf einem Metallträger aufgebracht ist und Verfahren zu ihrer Herstellung | |
DE4321719C1 (de) | Elektrisches Schaltgerät | |
DE3032847A1 (de) | Elektrisches bauelement mit einem oberflaechenwellen-resonator | |
EP0277488B1 (de) | Entladungslampe, insbesondere Blitzröhre | |
DE3702780A1 (de) | Integrierte Varistor-Schutzvorrichtung zum Schutz eines Elektronikbauteils gegen die Wirkungen von elektromagnetischen Feldern oder statischen Ladungen | |
DE3637988A1 (de) | Anzuendbauteil |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C3 | Grant after two publication steps (3rd publication) |