DE2140107A1 - Fotodetektoranordnung - Google Patents
FotodetektoranordnungInfo
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Description
21A0107
COGAE CORPORATION, All Angels Eoad, Wappingers Falls, NEW YORK
Die Erfindung betrifft eine Fotodetektoranordnung.
Bei bekannten baugruppenartigen Fotodetektoranordnungen wird ein fotosensitives
und lichtempfindliches Element auf einem Support oder Träger bzw. Substrat angeordnet, wobei die aktiven Teile und Bereiche des oder der Elemente
dem Support oder Träger abgekehrt sind. Wenn auf das oder die Elemente Licht
auftrifft, wird ein elektrischer Strom, d. h. ein sogenannter Fotostrom, erzeugt
oder es treten Stromänderungen auf. Die vorgenannten fotosensitiven und lichtempfindlichen
Elemente können z. B. aus Fototransistoren, Fotodioden und/oder lichtempfindlichen Widerständen bestehen.
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^ 2U0107
Bei derartigen bekannten Fotodetektoranordnungen besteht vor allem die Schwierigkeit,
daß auch aus der Umgebung eine unerwünschte optische Energie auf die lichtempfindlichen Elemente auftrifft, die somit nicht nur allein von den
Lichtsignalen beaufschlagt werden, an denen einzig und allein ein Interesse besteht.
Ausgehend von dem vorgenannten Stand der Technik ist es nun Aufgabe der Erfindung,
den vorgenannten Nachteilen abzuhelfen und eine verbesserte Fotodetektoranordnung
in Vorschlag zu bringen. Diese Aufgabe wird erfindungsgemäß dadurch gelöst, daß in unmittelbarer Nähe der Scheibe Lichtleitmittel angeordnet
sind, die eine Vielzahl von Lichtstrahlen auf eine Anordnung aus Fotoelementen richten.
Die erfindungsgemäße Fotodetektoranordnung weist vor allem den Vorteil auf,
daß sie sehr wirksam und einfach ist. Außerdem besteht der Vorteil, daß mikroelektronische
halbleitende fotosensitive Elemente benutzt werden können, und zwar insbesondere in Verbindung mit Faseroptiken.
Gemäß einer bevorzugten Ausführungsform halten die Trägerkontakte die
blättchenartige Scheibe in einem bestimmten Abstand hiervon, wobei die aus den lichtempfindlichen Elementen bestehende Anordnung oberhalb einer Öffnung
im Träger angeordnet ist. Durch diese Öffnung erstreckt sich das die Lichtleitmittel bildende optische Faserbündel, welches an der Oberfläche des
Trägers endet.
Gemäß einer anderen bevorzugten Ausführungsform ist die blättchenartige
Scheibe innerhalb einer Vertiefung des Trägers angeordnet und hiermit verbunden,
wobei die aus den lichtempfindlichen Elementen bestehende Anordnung von dem Träger abgekehrt ist.
Es ist von Vorteil, wenn eine mit einer Öffnung versehene Kappe über dem
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Träger angeordnet ist, wobei sich das Lichtfaserbündel innerhalb der Öffnung
erstreckt.
Weitere Einzelheiten ergeben sich aus der η achfolgenden Beschreibung von zwei
Ausführungsbeispielen, die in der Zeichnung schematisch dargestellt sind. In der Zeichnung zeigen:
Fig. 1 eine Ansicht von unten der aktiven Seite (Unterseite) einer
blättchenartigen Scheibe aus halbleitendem Material;
Fig. 2 eine Ansicht von oben auf einen Träger, mit dem die halb- ύ
leitende Scheibe gemäß Fig. 1 verbunden werden soll;
Fig. 3 eine Seitenansicht bzw. einen seitlichen Schnitt durch eine
Fotodetektoranordnung, die durch eine Verbindung der Scheibe
gemäß Fig. 1 mit dem Träger gemäß Fig. 2 hergestellt ist;
Fig. 4 einen Seitenquerschnitt durch ein zweites Ausführungsbeispiel
einer erfindungsgemäßen Fotodetektoranordnung.
In Fig. 1 ist eine Scheibe 11 aus Halbleiterwerkstoff dargestellt, die aus einem ä
typischen hermetisch abgeschlossenen Glaselement besteht, welches mehrere
fotosensitive Anordnungen 12 aufweist, die auf der Unterseite der Scheibe 11 angeordnet sind. Die Anordnungen 12 sind derart ausgebildet und gewählt, daß
sie eine fotoleitende Matrix bzw. Anordnung 13 bilden.
Die Scheibe 11 ist außerdem mit einer Vielzahl von Anschlußflächen 14 versehen,
die durch nicht dargestellte Metalleitungen mit der Anordnung 13 verbunden sind. Lötkontakte 15 sind durch Öffnungen in einer das scheibenartige
Blättchen 11 abdeckenden Glasschicht 16 ,mit den Anschlußflächen 14 verbunden.
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Die Größe des seheibenartigen Blättchens 11 beträgt vorzugsweise 3,18 mm χ 3,18 mm, wobei die fotoleitende Anordnung 13 eine Fläche von
2,285 mm χ 2,285 mm auf der Oberfläche des scheibenartigen Blättchens 11
einnimmt.
Das scheibenartige Blättchen 11 ist außerdem mit mehreren hierauf angeordneten
und nicht dargestellten Verstärkern versehen, die die Signale der jeweiligen Anordnungen 12 für einen Außenkreis verstärken. Decoderkreise können
ebenfalls Bestandteil des scheibenartigen Blättchens sein.
Fig. 2 zeigt ein Substrat bzw. einen Träger 17, mit dem das scheibenartige
Blättchen 11 verbunden wird. Der Träger 17 besteht bevorzugt aus einem dielektrischen
Werkstoff, z. B. aus Aluminiumoxyd, Berrylliumoxyd usw.
Auf der Oberfläche des Substrates 17 ist eine leitende Elektrodenanordnung
vorgesehen, die in bekannter Weise hergestellt ist. Hierbei kann z. B. im Fotoätzverfahren
ein metallüberzogenes Schaltkreistäfelchen behandelt werden. Durch ein Siebdruckverfahren oder ein anderes Druckverfahren wird nach geeigneter
Vorbereitung der Trägeroberfläche eine bestimmte Anordnung auf den Träger 17 aufgedruckt. Bei einer typischen Verfahrensweise wird die Anordnung
gebildet durch ein Niederschlagen einer Silber-Palladium-Kupferschmelze
in der gewünschten Anordnung 18, die sodann gebrannt wird.
Nachfolgend wird auf der leitenden Anordnung 18 eine Materialanordnung 19
angebracht. Diese Anordnung 19 ist durch das Lötmaterial nicht benetzbar und begrenzt somit Verbindungsflächen 20, die vollständig umgeben sind von Bereichen,
welche durch das Lötmittel nicht benetzbar sind. Das Material der Anordnung 19 muß nicht unbedingt leitend sein und kann z. B. aus einer Glasschmelze
oder aus einem polymerischen Werkstoff bestehen, der durch das Lötmaterial nicht benetzbar ist. Das Material kann in beliebiger herkömmlicher
Weise in der gewünschten Anordnung aufgedruckt, getrocknet und, falls erforderlich, gebrannt werden.
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Der Träger 17 hat die Form eines Quadrates mit einer Kantenlänge von ca.
12,7 mm und einer Dicke von 1,525 mm. Der Träger 17 ist mit Anschlüssen
versehen, die eingepreßt oder eingebettet sind. Die leitende Elektrodenanordnung
18 erstreckt sich von den Verbindungsflächen 20 zu den Anschlüssen 21,
so daß hierdurch das zu verbindende scheibenartige Blättchen 11 mit einem äußeren Kreis verbunden werden kann.
Der Träger 17 ist mit einer großen Öffnung 22 versehen, die zur gleichen Zeit
eingepreßt werden kann, wie die Öffnungen für die Anschlüsse 21. Die große Öffnung 22 liegt in der Mitte der Verbindungsflächen 20.
Ein optisches Faserbündel 23, welches aus einer Vielzahl optischer Faserelemente
24 besteht, ist in der Öffnung 22 derart angeordnet, daß die Enden eines jeden Elementes 24 an der Fläche des Trägers 11 enden. Das Bündel 24 wird
mit dem Träger 17 verbunden, wobei z. B. ein Epoxyzement benutzt wird.
Das Element 24 des optischen Faserbündels 23 wird mit den Anordnungen 12
der fotoleitenden Anordnung 13 zum Fluchten gebracht, wodurch die Anordnung vervollständigt wird.
Vorher werden die Lötkontakte 15 mit den Verbindungsflächen 20 in Deckung
gebracht. Der Träger 17, das scheibenartige Blättchen 11 und die Kontakte 15
werden auf eine Temperatur während einer solchen Zeit erhitzt, daß das Lötmaterial
erweicht. Nachfolgend wird der Träger abgekühlt, so daß die Lötkontakte 15 sich verfestigen.
Anstelle der vorstehend beschriebenen Lötrückflußtechnik zur Verbindung des
Blättchens 11 mit dem Träger 17 kann auch eine andere Verbindung benutzt werden. Hierbei können z. B. Thermökompressions- oder Ultraschallbindungen
benutzt werden. Der Vorteil der Lötrückfiußbindung liegt jedoch vor allem darin,
daß eine genaue Ausrichtung der Anordnung gegenüber den Faserelementen möglich ist.
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Wenn ein transparenter Träger benutzt wird, der z. B. aus Glas bestehen kann,
können das Bündel oder andere Lichtleitmittel mit dem Glas verbunden werden, so daß eine Öffnung nicht erforderlich ist.
Zusätzlich können sie, falls andere Lichtleitmittel benutzt werden, mit dem
Träger unterhalb des Blättchens 11 verbunden werden.
In Fig. 4 ist eine weitere bevorzugte Ausführungsform einer erfindungsgemäßen
Baugruppe gezeigt. Hierbei ist eine blättchenartige Scheibe 41 aus halbleitendem Werkstoff mit einer fotoleitenden Anordnung 42 versehen sowie mit
einer Vielzahl von Anschlußflächen 43, die mit der Anordnung 42 verbunden sind.
Die Scheibe 41 ist auf einem Träger 44 aus dielektrischem Werkstoff angeordnet,
der vorzugsweise mit einer Vertiefung 45 versehen ist, welche die Scheibe 41 aufnimmt. Die Scheibe 41 ist mit dem Träger 44 durch eine Metallschicht
46 verbunden, die am Boden der Vertiefung 45 angeordnet ist.
Der Träger 44 ist mit einer leitenden Elektrodenanordnung 47 versehen, wobei
Verbindungsflächen 48 auf der Oberfläche vorgesehen sind. Außerdem ist der Träger 44 mit eingepreßten oder eingebetteten Anschlüssen 49 versehen.
Die Anordnung 47 erstreckt sich von den Verbindungsflächen 48 zu den Anschlüssen
49.
Zur elektrischen Verbindung der Scheibe 41 mit äußeren Kreisen sind Drähte
50 zwischen j eder Anschlußfläche und der entsprechenden Verbindungsfläche
48 gelegt. Eine Verbindung kann entweder durch ein Ultraschall- oder ein Thermokompressionsverfahren zwischen den Drähten 50 und den Verbindungsflächen 48 und sodann zwischen den Drähten 50 und den Anschlußflächen 43
hergestellt werden.
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Eine mit einer Öffnung 52 versehene Kappe 51, die z. B. aus einem thermisch
leitenden Werkstoff wie Kupfer bestehen kann, wird über dem Träger 44 angeordnet
und hiermit verbunden, indem die Seitenflächen gegen den Träger 44 bei 53 umgebogen werden.
Ein optisches Faserbündel 54 wird in der Öffnung 52 angeordnet, wobei die Enden
desselben in unmittelbarer Nähe der Anordnung 42 liegen. Das Bündel 54 wird mit der Kappe 51 verbunden, wofür z. B. ein Epoxyzement benutzt werden
kann.
Die Kappe 51 dient nicht nur zur genauen Halterung und Lagerung des Bündels
gegenüber der Anordnung 42, sondern auch zur Abschirmung von Streulicht aus
der Umgebung.
Wie ohne weiteres ersichtlich, weisen die beiden vorstehend beschriebenen
Ausführungsformen einer erfindungsgemäßen Fotodetektorbaugruppe vor allem den Vorteil großer Einfachheit und Wirksamkeit auf. Beide Ausführungsformen
gestatten die Anwendung von mikroelektronischen,halbleitendenjfotosensitiven
Vorrichtungen. Bei beiden Anordnungen kann ein optisches Signal decodiert werden und es wird ein elektrisches Signal erzeugt.
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Claims (11)
- 2U0107Patentansprüche[ l.i Fotodetektoranordnung mit einem dielektrischen Träger, auf dem eine Scheibe aus halbleitendem Werkstoff angeordnet ist, die eine Anordnung aus Fotodetektorelementen aufweist, dadurch gekennzeichnet, daß in unmittelbarer Nähe der Scheibe (11,41) Lichtleitmittel angeordnet sind, die eine Vielzahl von Lichtstrahlen auf die Anordnung aus Fotodetektorelementen richten.
- 2. Fotodetektoranordnung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die haltleitende Scheibe (11) im Abstand von dem Träger (17) derart angeordnet ist, daß die Anordnung dem Träger (17) gegenüberliegt und daß die Lichtleitmittel unterhalb der Scheibe (11) angeordnet sind.
- 3. Fotodetektoranordnung gemäß Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe (11, 41) eine Vielzahl von lichtempfindlichen Elementen aufweist, die die Anordnung bilden.
- 4. Fotodetektoranordnung gemäß Anspruch 3, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe (11,41) eine Vielzahl von Verstärkern aufweist, durch welche Signale der lichtempfindlichen Elemente verstärkt werden.
- 5. Fotodetektoranordnung gemäß einem der vorstehenden Ansprüche, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger (17) mit einer Öffnung versehen ist und daß die Lichtleitmittel aus einem optischen Faserbündel (23) bestehen, welches sich in die Öffnung erstreckt.
- 6. Fotodetektoranordnung gemäß Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß die Scheibe (11) über der Öffnung im Abstand von dem Träger (17) angeordnet ist, wobei die aus der Vielzahl von lichtempfindlichen und fotosensitiven Elementen bestehende Anordnung der Öffnung gegenüberliegt und oberhalb derselben angeordnet ist.209809/ 11112U0107-JkT-
- 7. Fotodetektoranordnung gemäß Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die halbleitende Scheibe (41) mit dem Träger derart verbunden ist, daß die aus den fotosensitiven und lichtempfindlichen Elementen bestehende Anordnung von dem Träger weg ge richtet ist und daß eine mit einer Öffnung versehene Kappe (51) über dem Träger angeordnet ist, wobei ein die Lichtleitmittel bildendes optisches Faserbündel (54) in die Öffnung eingeführt ist.
- 8. Fotodetektoranordnung gemäß Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß der dielektrische Träger mit einer Vielzahl von Verbindungsflächen auf seiner Oberfläche versehen ist, daß die Scheibe mit einer Vielzahl von Anschlußflächen fürdie aus einer Vielzahl von lichtempfindlichen und fotosensitiven Elementen be- Λstehende Anordnung versehen ist, daß Mittel zur elektrischen Verbindung zwischen den Verbindungsflächen und den Anschlußflächen vorgesehen sind und daß das optische Faserbündel aus einer Vielzahl von optischen Faserelementen besteht, von denen jedes einem fotosensitiven und lichtempfindlichen Element gegenüberliegt und hiermit optisch verbunden ist.
- 9. Fotodetektoranordnung gemäß Anspruch 8, dadurch gekennzeichnet, daß die elektrischen Verbindungsmittel Kontakte aufweisen, die die Scheibe im Abstand von dem Träger haltern, wobei die aus den fotosensitiven und lichtempfindlichen Elementen bestehende Anordnung oberhalb der Öffnung angeordnet ist und derselben gegenüberliegt und wobei ferner jedes optische Faserelement mit einem λ Ende an der Oberfläche des Trägers endet.
- 10. Fotodetektoranordnung gemäß Anspruch 9, dadurch gekennzeichnet, daß die Anschlußflächen aus einem Lötmaterial bestehen und daß die Flächen, welche die Verbindungsflächen unmittelbar umgeben, durch das Lötmaterial nicht benetzbar sind.
- 11. Fotodetektoranordnung gemäß Anspruch 7, dadurch gekennzeichnet, daß der Träger an einer Seite mit einer Vertiefung versehen ist, innerhalb der die Scheibe (41) angeordnet ist.2 0 9 8 0 9/1111Leerseite
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---|---|
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DE (1) | DE2140107A1 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1984001057A1 (en) * | 1982-09-09 | 1984-03-15 | Plessey Overseas | Optical device |
EP0184747A1 (de) * | 1984-12-13 | 1986-06-18 | Heimann GmbH | Infrarotdetektor |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3963920A (en) * | 1975-03-10 | 1976-06-15 | General Dynamics Corporation | Integrated optical-to-electrical signal transducing system and apparatus |
US3987300A (en) * | 1975-06-27 | 1976-10-19 | General Dynamics Corporation | Integrated array of optical fibers and thin film optical detectors, and method for fabricating the same |
US4017962A (en) * | 1975-06-27 | 1977-04-19 | General Dynamics Corporation | Integrated array of optical fibers and thin film optical detectors, and method for fabricating the same |
JPS5223283A (en) * | 1975-08-15 | 1977-02-22 | Fujitsu Ltd | Semiconductor light receiving device |
CH596621A5 (de) * | 1976-06-30 | 1978-03-15 | Cerberus Ag | |
JPS5380991A (en) * | 1976-12-24 | 1978-07-17 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Photoelectric converter |
US4225213A (en) * | 1977-12-23 | 1980-09-30 | Texas Instruments Incorporated | Connector apparatus |
JPS559598U (de) * | 1979-04-25 | 1980-01-22 | ||
JPS574657A (en) * | 1980-06-11 | 1982-01-11 | Hitachi Ltd | Position control and attachment of solid state scanning element |
JPS5927663U (ja) * | 1982-08-12 | 1984-02-21 | キヤノン株式会社 | 画像読取り装置 |
CA1267468A (en) * | 1983-11-21 | 1990-04-03 | Hideaki Nishizawa | Optical device package |
JP3017780B2 (ja) * | 1990-09-10 | 2000-03-13 | 株式会社東芝 | 電子内視鏡撮像装置 |
US5418566A (en) * | 1990-09-10 | 1995-05-23 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Compact imaging apparatus for electronic endoscope with improved optical characteristics |
US5134680A (en) * | 1991-05-10 | 1992-07-28 | Photometrics, Ltd. | Solid state imaging apparatus with fiber optic bundle |
WO1993007659A1 (en) * | 1991-10-09 | 1993-04-15 | Ifax Corporation | Direct integrated circuit interconnection system |
DE29609523U1 (de) * | 1996-05-29 | 1997-10-02 | Ic Haus Gmbh | Optoelektronische integrierte Schaltung |
JP3289677B2 (ja) | 1998-05-25 | 2002-06-10 | 株式会社村田製作所 | 赤外線センサ |
GB2341482B (en) * | 1998-07-30 | 2003-07-09 | Bookham Technology Ltd | Lead frame attachment for integrated optoelectronic waveguide device |
FR2819104B1 (fr) * | 2000-12-29 | 2003-11-07 | St Microelectronics Sa | Boitier semi-conducteur optique a support transparent |
US20080296572A1 (en) * | 2000-12-29 | 2008-12-04 | Stmicroelectronics Sa | Optical semiconductor device with sealing spacer |
DE10239524A1 (de) * | 2002-08-23 | 2004-03-04 | Z/I Imaging Gmbh | Sensormodul |
US9297878B2 (en) * | 2006-04-07 | 2016-03-29 | Alcatel Lucent | Light source orientation detector |
-
1970
- 1970-08-10 US US00062298A patent/US3757127A/en not_active Expired - Lifetime
-
1971
- 1971-08-10 DE DE19712140107 patent/DE2140107A1/de active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1984001057A1 (en) * | 1982-09-09 | 1984-03-15 | Plessey Overseas | Optical device |
EP0184747A1 (de) * | 1984-12-13 | 1986-06-18 | Heimann GmbH | Infrarotdetektor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US3757127A (en) | 1973-09-04 |
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Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE2140107A1 (de) | Fotodetektoranordnung | |
EP0083627B1 (de) | Opto-elektronisches bauelement | |
EP1174745B1 (de) | Optoelektronisches oberflächenmontierbares Modul | |
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