DE2539677C2 - Verfahren zur bildlichen Darstellung der Ausgangsinformationen eines Gerätes, das ein Objekt abbildet - Google Patents

Description

»eben. Eine derartige Röhre ist in Form einer Zweiieitenröhre aus den Proceedings of the Fifth Annual Scanning Electron Microscope Symposdum UT Research Institute Chicago, April 197Γ., S. 41 bis 46, bekannt. Die Vorteile dieser Röhre bestehen darin, daß die Speicherung und Wiedergabe des Orientierungsbildes zeitlich voneinander unabhängig und mit unterschiedlichen Geschwindigkeiten vorgenommen werden können.

Bei Anwendung der Erfindung auf ein Raster-Elektronenmikroskop ergibt sich der Vorteil, daß als Orientierungsbild auch ein Bild verwendet werden kann, dessen Aufnahme einen erheblichen Zeitaufwand erfordert. Dies ist der Fall beispielsweise bei Verwendung der intensitätsschwachen sekundären Röntgenstrahlung des Objekts als Ausgangsinformation des Raster-Elektronenmikroskops.

Eine weitere vorteilhafte Anwendung der Erfindung ist bei einem Ruhebild-Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop gegeben. In diesem Fall kann das Orientierungsbild beispielsweise ein Beugungsbild eines Objektbereiches, das Arbeitsbild ein in der üblichen Technik gewonnenes Abbild desselben Objektbereiches sein. Das Abbild kann ein Hell- oder ein Dunkelfeldbild sein. Weiter kann das Dunkelfeldbild einem Reflex im Orientierungsbild zugeordnet sein. Sieht man die vorhin erwähnte Markierung vor, so kann man damit diesen Reflex kennzeichnen.

Ferner ist es möglich, als Arbeitsbild einen Ausschnitt des an Hand des Orientierungsbildfs betrachteten Objektbereiches darzustellen. Entsprechend ist es möglich, als Orientierungsbild ein in der üblichen Technik gewonnenes direktes Abbild eines Objektbereiches und als Arbeitsbild ein Beugungsbild eines Ausschnitts dieses Bereiches oder des gesamten Be:eiches zu erzeugen. Es ist natürlich auch möglich, Arbeits- und Orientierungsbild in derselben Form, d. h. beispielsweise in Form eines Beugungsbildes, zu erzeugen und zwischen den beiden Bildern lediglich eine Veränderung der Größe des betrachteten Objektbereiches vorzunehmen.

Sowohl bei einem Raster- als auch bei einem Durchstrahlungs-Ruhebild-Elektronenmikroskop bietet die Erfindung den zusätzlichen Vorteil, daß die Schädigung des Objekts gering gehalten ist, da der als Orientieruiigsbild wiedergegebene Objektbereich für die Aufnahme dieses Bildes lediglich einmal bestrahlt werden muß.

In den Figuren sind Ausführungsbeispiele der Erfindung dargestellt.

F i g. 1 zeigt die Anwendung der Erfindung bei einem Raster-Elektronenmikroskop; in

F i g. 2 ist ein Ausschnitt von F i g. 1 dargestellt;

F i g. 3 verdeutlicht die Anwendung der Erfindung bei einem Ruhebild-Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop, während

F i g. 4 einen Ausschnitt von F i g. 3 zeigt.

In dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 ist ein Raster-Elektronenmikroskop 1 schematisch dargestellt. Es weist eine Kathode 2 auf, die einen Elektronenstrahl 3 erzeugt; dieser wird durch das optische System 4 des Mikroskops 1 auf einem Objekt 5 fokussiert. Ablenkspulenpaare 6, 16 dienen zur rasterförmigen Ablenkung des fokussierten Elektronenstrahls 3.

Die aus dem Objekt 5 austretenden Sekundärelektronen werden in einem Detektor 7 gesammelt und «her einen Verstärker 8 als Hellsteuersignal Ir an den Schirm 9 einer Fernsehröhre 19 weitergegeben. Der Elektronenstrahl H der Fernsehröhre 19 ist mit dem Elektronenstrahl 3 des Raster-Elektronenmikroskops 1 synchronisiert; die Ablenkung der Elektronenstrahlen 11, 3 in zwei Richtungen X₁ und y\ bzw. x_T undjv wird durch einen Rastergenerator 12 gesteuert. Dieser besteht aus einem Zeilengenerator 13 und einem Zeilenvorschubgenerator 13'. Die Generatoren 13, 13' liefern Sägezahnspannungen an die Ablenkspulenpaare 6, 16 des Elektronenmikroskops 1 sowie an diesen entsprechende Ablenkspulenpaare 22, 23 der Fernsehröhre 19. Auf diese Weise wird auf dem Schirm 9 ein Bild eines Ausschnitts des Präparates 5 erzeugt. Dieses Bild ist das sogenannte Arbeitsbild 10.

Zur Darstellung eines gegenüber dem Arbeitsbild 10 durch Änderung der Betriebsparameter des Raster-Elektronenmikroskops 1 gewonnenen Orientierungsbildes 10' ist eine weitere Fernsehröhre 19' vorgesehen, die von derselben Bauart wie die Fernsehröhre 19 ist. Das Orientierungf.bild 10' wird vor Aufnahme des Arbeitsbildes 10 auigenommen und in eine elektronische Bildspeicherröhre 20 eingegeben. Ein Eingangsgitter E der Bildspeicherröhre 20 ist dazu mit dem Verstärker 8 elektrisch verbunden. Es moduliert aen von einer Elektronenquelle K erzeugten Schreibstrahl 21 der Röhre 20, der durch den Rastergenerator 12 synchron mit dem Elektronenstrahl 3 des Raster-Elektronenmikroskops 1 gesteuert ist. Die Auslenkung des Schreibstrahls 21 erfolgt durch Ablenkspulenpaare 24, 25; das Orientierungsbild 10' wird einer Speicherschicht 28 dieser Röhre aufgeprägt.

Das Orientierungsbild 10' wird einmalig aufgenommen. Nach der Aufnahme des Orientierungsbildes 10', d. h. nach einem Bilddurchlauf, trennt eine in F i g. 1 mit U bezeichnete Umschalteinrichtung die elektrischen Verbindungen zwischen dem Rastergenerator 12 bzw. dem Verstärker 8 und der elektronischen Bildspeicherröhre 20. Gleichzeitig damit stellt die Umschalteinrichtung U elektrische Verbindungen zwischen einem weiteren Rastergenerator 26 und dem Leseteil 41 der Bildspeicherröhre 20 her. Die Kontakte der Umschalteinrichtung U befinden sich damit in der eingezeichneten Lage.

Innerhalb des Leseteils 41 der Röhre 20 befindet sich eine Elektronenkanone, die den sogenannten Lesestrahl 29 der Röhre 20 erzeugt, sowie Ablenkspulenpaare 30, 31. Der Rastergenerator 26 ist ähnlich dem Rastergenerator 12 aufgebaut und besteht aus einem Zeilengenerator 33 sowie einem Zeilenvorschubgenerator 33'. Die Generatoren 33, 33' liefern Sägezahnspannungen. Die Perioden dieser Spannungen sind wesentlich kleiner als die Perioden der von den Generatoren 13 bzw. 13' gelieferten Sägezahnspannungen.

Das Orientierungsbild 10' wird aus der Bildspeicherröhre 20 in folgender Weise herausgelesen: Die Ablenkspulenpaare 30, 31 führen den Lesestrahl 29 rasterförmig über eine Fläche 32 der Speicherröhre 20 hinweg. Durch das der Speicherschicht 28 aufgeprägte Orientierungsbild wird die Intensität des auf die Fläche 32 auftreffenden Lesestrahls 29 moduliert. Die auf die Fläche 32 auftreffende Elektronenintensität wird der Fernsehröhre 19' über eine Summationseinrichtung S (z. B. ein Addierglied) als Hellsteuersignal zugeführt.

Der Rastergenerator 26 ist, wie aus F i g. 1 hervorgeht, mit den Ablenkspulenpaaren 22', 23' der Fern-

sehröhre 19' verbunden. Daraus ergibt sich, daß der Um die Lage und die Größe des Objektbereiches 15 Elektronenstrahl 11' der Fernsehröhre 19' mit dem relativ zu dem Objektbereich 15' zu erkennen, ist Lesestrahl 29 der Bildspeicherröhre 20 synchronisiert ferner eine Fenster-Elektronik 27 vorgesehen. Diese ist. Auf dem Fernsehschirm 9' ergibt sich damit das dient zur Helltastung eines Markierungsfensters F Orientierungsbild 10'. Die Wiedergabe des Orien- 5 innerhalb des Orientierungsbildes 10'.
tierungsbildes 10' wird mit größerer Geschwindigkeit Die Fenster-Elektronik 27 ist an Hand von F i g. 2 als die Eingabe dieses Bildes in die Bildspeicher- beschriieben. Sie besitzt fünf Eingänge El ... ES soröhre 20 vorgenommen, da, wie ausgeführt, die wie einen Ausgang A, die in der in F i g. 1 gezeigten Perioden der Sägezahnspannungen der Generatoren 33 Weise geschähet sind. Der Eingang El ist mit dem und 33' kleiner als die Perioden der Sägezahnspannun- io Zeilengenerator 33, der Eingang El mit dem Widergen der entsprechenden Generatoren 13 und 13' sind. stand R_Xo, der Eingang £3 mit dem Widerstand R_v,

Das Orientierungs- und das Arbeitsbild werden bei der Eingang £4 mit dem Widerstand R_Vo und der

unterschiedlichen Betriebsparametern des Elektronen- Eingang £5 mit dem Zeilenvorschubgenerator 33'

mikroskops aufgenommen. verbunden. Der Ausgang A' steht mit der Summa-

Die Änderung der Betriebsparameter des Mikro- 15 tionseinrichtung S in elektrischer Verbindung,

skops 1 ist in verschiedener Weise möglich. Bei dem Die Fenster-Elektronik 27 besteht aus Summations-

in F i g. 1 gezeigten Ausführungsbeispiel ist als gliedern S_u, S_v, Komparatoren Kl ... KA, UND-

Arbeitsbild 10 das Bild eines Objektbereiches 15 Gattern Ul ... UA, monostabilen Kippgliedern Ml,

wiedergegeben, der innerhalb eines Objektbereiches 15' Ml sowie einem ODER-Gatter O. Die Kornpara-

liegt. Der Objektbereich 15' liefert dabei das Orien- ao toren Kl ... KA verändern ihr Ausgangspotential

tierungsbild 10'. Das bedeutet, daß die Bilder 10 und von L (low) zu H (high) dann, wenn die Spannung am

10' zwei Bereiche des Objektes 5 mit unterschied- Eingang e die Spannung am Eingang / erreicht oder

licher Vergrößerung zeigen. übersteigt. Im Falle des Komparators Kl ist dies bei-

Die Festlegung der mit dem Elektronenstrahls spielsweise dann der Fall, wenn die Zeilenvorschub-

abgetasteten Objektbereiche 15 bzw. 15' wird durch as spannung größer oder gleich der der Koordinate X₀

eine Steuerschaltung 14 vorgenommen. Diese ist entsprechenden Spannung ist. Einer der beiden Ein-

zwischen dem Rastergenerator 12 und den Ablenk- gänge der UND-Gatter Ul und Ul ist jeweil? inver-

spulenpaaren 6,16 des Raster-Elektronenmikroskops 1 tiert. Die Eigenzeit des Kippgliedes Ml ist gleich der

vorgesehen. Die Steuerschaltung 14 besteht aus zwei Periodendaucr des Zeilengenerators 33, das heißt

den Ablenkrichtungen x_r und y_r jeweils zugeordneten 30 z. B. gleich 64 psec, die des Kippgliedes M1 gleich

Summationsverstärkern 17, 18, deren Summations- 0,5 μχο.

eingängen S17 bzw. S18 je zwei Spannungen züge- Das Markierungsfenster F ist aus zwei horizontalen führt sind. Eine davon besitzt jeweils einen festen Leisten Ll, Ll sowie aus zwei vertikalen Leisten L3, Wert; sie dient der Festlegung des Eckpunktes des LA gebildet (vgl. Fig. 1). Die Helltastung der Leiabgetasteten Objektbereiches. Dieser Punkt ist im 35 stenLl, Ll wird durch das UND-Gatter UA ge-Falle des Objektbereiches 15 mit X₀Iy₀ und im Falle steuert. Dieses liefert ein Ausgangssignal an das ODER-des Objektbereiches 15' mit x_o'ly_o bezeichnet. Die Gatter O, wenn es an seinen beiden Eingängen angeandere Spannung ist variabel und proportional zu der steuert wird. Dies ist 7. B. für die Leiste Ll dann der Ausgangsspannung des zugeordneten Sägezahngene- Fall, wenn einerseits die Zeilenvorschubspannung ratorsl3 bzw. 13'; er bestimmt die Größe des ab- 40 gleich der der Koordinate y₀ entsprechenden Spangetasteten Objektbereiches. nung ist — das Kippglied Ml ist in diesem Fall ange-

Die Einstellung der Anfangskoordinate und der steuert — und wenn darüber hinaus die Zeilenablenk-

Größe des abgetasteten Objektbereiches wird durch spannung zwischen Werten liegt, die der Koordi-

einstellbare Widerstände Rx₀, Ry₀ bzw. R_x, R₁₁ vor- nate x₀ und der Koordinate X₀ + x_v entsprechen. Die

genommen. Die beiden zuletzt genannten Wider- 45 zuletzt genannte Koordinate liegt am Ausgang des

stände sind miteinander gekoppelt; auf diese Weise Summationsgliedes S_u vor; x„ bedeutet dabei die ge-

ist sichergestellt, daß das Verhältnis von Breite zu wünschte Länge der Leiste Ll (vgl. F i g. 1). Diese

Höhe eines abgetasteten Objektbereiches gleich dem Länge ist durch das Ausgangssignal des UND-Gat-

Verhältnis dieser Größen der Fernsehbilder 10 und 10' ters i/l gegeben,

ist- 50 Die Leisten L3, L4 bestehen aus untereinanderge-

Au gehend von einer Einstellung der genannten schriebenen Streifen, deren Breite durch die Eigenzeit

vier Widerstände, bei der der Objektbereich 15' (Orien- des monostabilen Kippgliedes AfI bestimmt ist. Diese

tierungsbild) abgetastet wird, werden diese Wider- Eigenzeit ist gleich 0,5 |isec gewählt. Die Streifen

stände zur Abtastung des Objektbereiches 15 (Arbeits- werden dann geschrieben, wenn die Zeilenvorschub-

bild) vergrößert. Bei Vergrößerung der Widerstände 55 spannung gleich der der Koordinate x„ bzw. der

Rx,, Ry, wird der Anfangspunkt des abgetasteten Koordinate X₀ + x_v entsprechenden Spannung ist

Objektbereiches in einer gewünschten Weise ver- und wenn die Zeilenvorschubspannung zwischen den

schoben, während durch die Vergrößerung der Wider- Spannungswerten hegt, die der Koordinate y₀ und

stände A₁, R_r die Abmessungen des abgetasteten der Koordinate y₀ + y_v entspricht. Diese Bedingung

Objektbereiches verkleinert werden. 60 ist mit Hilfe des UND-Gatters 172 festgelegt Die

Die Steuerschaltung 14 ist ferner mit einem Wider- Länge y_o + y_vist durch die am Ausgang des Summa-

stand R_v versehen, der mit den Widerständen R_x und tionsgliedes S_v anstehende Spannung bestimmt; yv

R, gekoppelt ist Der "Widerstand R_v ist an erne nicht ist dabei die der Länge x, proportionale Länge der

dargestellte Spannungsquelle angeschlossen und lie- Leisten L3 und L4.

feit eine Spannung, die den Abmessungen des abge- 65 Fig. 3 zeigt als weiteres Ausführungsbeispiel die

tasteten Öbjektbereiches proportional ist Diese Span- Anwendung der Erfindung bei einem Ruhebild-

mmg ist damit ein Maß für die Vergrößerung des Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop. Dabei sind

Bntenuchten Öbjektbereiches. Tdfc gleicher Funktion mit gleichen Bezugszeichefl

wie in F i g. 1 versehen. Das Elektronenmikroskop Sl weist eine Strahlquelle 52, eine Kondensorlinse 54, eine Objektivlinse 55, eine Beugungslinse 62 sowie eine Projektivlinse 56 auf; das untersuchte Objekt ist mit 57 bezeichnet. Das elektronenmikroskopische Bild des Objektes 57 wird mit einer am Ende der Säule des Elektronenmikroskops angeordneten Fernseh-Kamera 58 aufgenommen.

Bei dem dargestellten Ausführungsbeispiel ist das Orientierungsbild 10' ein Beugungsbild eines Objektbereiches, während das Arbeitsbild 10 ein in der üblichen Technik gewonnenes Ruhebild ist.

Es wird zunächst das Orientierungsbild 10' aufgenommen. Dazu wird das in der hinteren Brennebene der Objektivlinse 55 erzeugte Beugungsbild durch die Beugungslinse 62 und nach Vergrößerung durch die Projektivlinse 56 auf einen Durchsichtleuchtschirm 61 abgebildet, der der Fernseh-Kamera 58 vorgelagert ist. Dieses Beugungsbild wird analog zu dem Ausführungsbeispiel nach F i g. 1 in die elektronische Bildspeicherröhre 20 eingegeben. Eine Umschalteinrichtung U' ist während der Aufnahme des Orientierungsbildes in der gestrichelt eingezeichneten Lage.

Nach der vollständigen Eingabe des Orientierungsbildes in die Röhre 20 wird die Umschalteinrichtung U' in die eingezeichnete Stellung gebracht. Das Orientierungsbild 10' wird analog zu F i g. 1 auf dem Fernsehschirm 9' dargestellt.

Im Anschluß an die Aufnahme des Orientierungsbildes 10' werden die Betr.ebsparameter des Elektronenmikroskops in folgender Weise verändert: Es wird eint strichliert eingezeichnete Aperturblende 59 in den Strahlengang des Elektronenmikroskops 51 gebracht. Ferner werden die Beugungslinse 62 und die Projektivlinse 56 durch eine andeutungsweise dargestellte Einrichtung 63 in ihren Erregungen geändert. Darüber hinaus wird ein Ablenkspulensystem 60 eingeschaltet.

Das Ablenkspulensystem 60 ermöglicht, den Elektronenstrahl 69 zu kippen. Es besteht aus je zwei Ablenkspulenpaaren 64, 65, die senkrecht zueinander und senkrecht zur Achse 68 des Elektronenmikroskops 51 wirken. Die Ablenkspulenpaare 64, 65 werden über regelbare, an nicht dargestellte Spannungsquellen angeschlossene Widerstände R1 und R 2 erregt. Bei Auslenkung des abbildenden Elektronenstrahls 69 aus dem Bereich der öffnung 70 der Blende 70 der Blende 59 ergibt sich durch den Strahl 55' der gestreuten Elektronen auf dem Leuchtschirm 61 ein Dunkelfeldbild. Dieses Bild wird durch die Fernseh-Kamera 58 aufgenommen und auf dem Schirm 9 der Fernsehröhre 19 als Arbeitsbild 10 wiedergegeben.

Das Arbeitsbild 10 ist abhängig von der Kippung des abtastenden Elektronenstrahls 69 relativ zur Achse 68 des Elektronenmikroskops 51. Zur Sichtbarmachung der Kippung ist die Einstellung der Widerstände Al, Λ2 auf dem Fernsehschirm 9' durch einen hellgetasteten Punkt P symbolisiert. Der Abstand des Punktes P von der Mitte M des Fernsehschirmes 9' in horizontaler Richtung ist der Ausgangsgröße des Widerstandes R\ und der Abstand in vertikaler Richtung der Ausgangsgröße des Widerstandes R 2 proportional. Der Proportionalitätsfaktor

ίο ist so gewählt, daß der Punkt P den Beugungsrefiex im Orientierungsbild 10' kennzeichnet, dessen Dunkelfeldbild auf dem Leuchtschirm 9 wiedergegeben ist. Die Helltastung des Punktes P erfolgt durch eine Schaltung 64, der die Ausgangsgrößen der Widerstände Λ1 und R2 sowie die Ausgangsgrößen der Generatoren 13 und 13' zugeführt sind und die weiter unten an Hand von F i g. 4 beschrieben ist.

Wie an Hand von F i g. 3 zu erkennen, ist bei dem in dieser Figur dargestellten Ausführungsbeispiel

ao lediglich ein Rastergenerator 12 vorgesehen. Dieser steuert die nicht dargestellten Ablenkspulen der Fernseh-Kamera, ferner die Ablenkspulenpaare 24, 25 und 30, 31 der Bildspeicherröhre 20 sowie die Ablenkspulenpaare 22, 23 bzw. 22', 23' der Fernsehröhre 19 bzw. 19' synchron zueinander.

F i g. 4 zeigt die Schalteinrichtung 64 von F i g. 3. Sie besteht aus Summationsgliedern S_x, S_y, Komparatoren K5, K6, monostabilen Kippgliedern M3, MA sowie einem UND-Gatter US. Den Komparatoren Ä'5, K6 ist die Zeilenablenkspannung bzw. die Zeilenvorschubspannung der Rastergeneratoren 13 bzw. 13' sowie jeweils eine Spannung zugeführt, die sich aus zwei Teilen zusammensetzt. Der eine Teil ist dabei konstant, der andere der Einstellung der Widerstände Al bzw. Rl proportional. Der konstante, durch Widerstände 76, 77 symbolisierte Spannungswert ist derart gewählt, daß der Markierungspunkt P in der Mitte M des Fernsehschirmes 9' liegt, wenn das Ablenksystem 60 nicht erregt ist. In diesem Fall zeigt der Fernsehschirm 9 ein Hellfeldbild des Objekts.

Die Ausgangsgrößen der Komparatoren KS, K6

sind an die Kippglieder M3 und MA weitergegeben.

Die Eigenzeit des Kippgliedes M3 ist gleich 0,4 μ5εϋ, die des Kippgliedes MA gleich 64 μβεο, d. h. einer Zeilenzeit der Fernsehröhren 19, 19', gewählt.

Neben den beiden gezeigten Fällen eines Rasterund eines Ruhebild-Durchstrahlungs-Elektronenmikroskops kann das erfindungsgemäße Verfahren auch bei anderen Geräten zur Abbildung eines Objekts Verwendung finden. Beispiele hierfür sind untei anderem Ionenmikroskope, Geräte zur Aufnahme des Wärmestrahlungsprofils eines Körpers sowie Geräte zur Untersuchung eines Körpers mittels Röntgenstrahlung.

Hierzu 3 Blatt Zeichnungen

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Claims (5)

1 2 form in einer Änderung der Erregung der dem Ab Patentansprüche: lenksystem nachgeordneten Magnetlinse. Da der artige Magnetlinsen in der Regel in Form von Eisen

1. Verfahren zur bildlichen Darstellung der Aus- spulen aufgebaut sind, ist eine Erregungsänderunj gangsinformationen eines Gerätes, das ein Objekt 3 stets mit Wirbelstromerscheinungen verbunden,
abbildet, durch einen ersten Fernseh-Monitor, auf Bei einem Raster-Elektronenmikroskop ist es ferne: dem ein Arbeitsbild erzeugt wird, und einen zwei · bekannt, die Umschaltung zwischen zwei Arbeits ten Fernseh-Monitor, auf dem ein durch Änderung weisen mit der Zeilenfrequenz der Fernseh-Moniton der Betriebsparameter des Gerätes gewonnenes, vorzunehmen (Proceedings of the Fifth Annual Scan gleichzeitig mit dem Arbeitsbild zu sehendes io ning Electron Microscope Symposium IIT Researct Orientierungsbild wiedergegeben wird, dadurch Institute Chicago, April 1972, S. 49 bis 56). Nimm gekennzeichnet, daß das Orientierungs- man wiederum handelsübliche Fernseh-Monitore mi bild (IC) einmalig aufgenommen, in einen Bild- 625 Zeilen, so beträgt diese Frequenz = 31250 Hz speicher eingegeben und daraus wiedergegeben Durch Änderung der Erregung der Ablenksysteme is; wird. 15 es möglich, auf den beiden Fernseh-Monitoren Bildei

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn- unterschiedlicher Vergrößerung zu erzeugen. Das zeichnet, daß das Orientierungsbild (10') mit dem Fernsehbild höherer Vergrößerung gibt dabei einer Arbeitsbild (10) durch eine Markierung (F, P) ver- Ausschnitt des Bildes kleinerer Vergrößerung wieder knüpft ist. Dieser Ausschnitt ist durch ein Markierungsfenstei

3. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekenn- 20 innerhalb dieses Bildes gekennzeichnet. Infolge der gezeichnet, daß das Orientierungsbild (10') in eine nannten apparativen Voraussetzungen ist bei diesem elektronische Bildspeicherröhre (20) eingegeben Verfahren lediglich eine begrenzte Variation der wird. Arbeitsweise möglich. So scheiden z. B. sämtliche

4. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekenn- Variationen aus, die eine Veränderung der Erregung zeichnet durch Anwendung bei einem Raster- 25 einer oder mehrerer Magnetlinsen erforderlich machen. Elektronenmikroskop (1). Die bekannten Verfahren erfordern zu ihrer Durch-

5. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, gekenn- führung einerseits einen ei heblichen schaltungstechzeichnet durch Anwendung bei einem Ruhebild- nischen Aufwand, da die Umschaltungen von einei Durchstrahlungs-Elektronenmikroskop (51). Arbeitsweise auf die andere mit Bild- oder Zeilen-

30 frequenz der Fernseh-Monitore vorgenommen werden müssen. Darüber hinaus müssen die Umschaltungen

in kurzen Zeitabständen vorgenommen werden, um

ein Flimmern der beiden Fernsehbilder zu vermeiden. Das bedeutet, daß die bekannten Verfahren für eine

Die Erfindung bezieht sich auf ein Verfahren zur 35 vergleichende Beobachtung bei Änderung der Bebildlichen Darstellung der Ausgangsinformationen triebsparameter des Gerätes nur dann in Betracht eines Gerätes, das ein Objekt abbildet, durch einen kommen, wenn die Änderungen in äußerst kurzer Zeit ersten Fernseh-Monitor, auf dem ein Arbeitsbild er- vorgenommen werden können. So ist z. B. ein Verzeugt wird, und einen zweiten Fernseh-Monitor, auf gleich der Bilder vor und nach dem Einschieben einer dem ein durch Änderung der Betriebsparameter des 40 Blende nicht möglich.

Gerätes gewonnenes und gleichzeitig mit dem Arbeits- Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Ver-

bild zu sehendes Orientierungsbild wiedergegeben fahren der eingangs genannten Art so zu gestalten, daß wird. die Aufnahme und Wiedergabe eines Arbeits- und

Ein derartiges Verfahren ist bei einem Raster- eines Orientierungsbildes' auch dann möglich sind, Elektronenmikroskop bekannt (Journal of Physics, 45 wenn zur Aufnahme der beiden Bilder erhebliche E 4, 1971, 11, S. 837 bis 842). Das Elektronenmi- Änderungen der Betriebsparameter des Gerätes erkroskop besitzt zwei Arbeitsweisen. In der einen wird forderlich sind; darüber hinaus soll der zur Aufein direktes Abbild eines Objektausschnittes in der nähme und Wiedergabe der beiden Bilder erforderüblichen Rastertechnik aufgenommen und auf dem liehe schaltungstechnische Aufwand gering sein. Die zugehörigen Fernseh-Monitor wiedergegeben. In der 50 Lösung dieser Aufgabe besteht gemäß der Erfindung anderen wird ein Channelling-Diagramm eines Punk- darin, daß das Orientierungsbild einmalig aufgetes des auf dem soeben genannten Fernseh-Monitor nommen, in einen Bildspeicher eingegeben und daraus dargestellten Objektausschnittes erzeugt und auf dem wiedergegeben wird. Die Aufnahme des Orientierungsanderen Fernseh-Monitor wiedergegeben. Zwischen bildes wird in der Regel vor Aufnahme des Arbeitsden beiden Arbeitsweisen erfolgt eine Umschaltung 55 bildes vorgenommen werden. Auf diese Weise erder Betriebsparameter des Elektronenmikroskops mit möglicht die Erfindung eine lückenlose und von der der Bildfrequenz der Fsrnseh-Monitore; diese Fre- Aufnahme des Orientierungsbildes unabhängige Aufquenz ist bei in Deutschland handelsüblichen Fernseh- nähme des Arbeitsbildes sowie eine kontinuierliche Monitoren gleich 50 Hz. Auf diese Weise werden die Wiedergabe der beiden Bilder,
entsprechenden Bilder auf diesen Monitoren alter- 60 Mit Vorteil ist es mög'ich, das Arbeitsbild mit dem nierend erzeugt. Orientierungsbild durch eine Markierung zu ver-

Um auf den beiden Fernseh-Monitoren die Bilder knüpfen. Auf diese Weise kann eine eindeutige Ausflimmerfrei darzustellen, ist es erforderlich, diese Um- sage über den Bezug beider Bilder zueinander geschaltung möglichst häufig vorzunehmen. Infolge troffen werden. Die Speicherung des Orientierungsapparativer Gegebenheiten sind jedoch hierfür Gren- 65 bildes kann z. B. mit Hilfe eines elektronischen BiIdzen gesetzt. Die Umschaltung der Betriebsparameter Speichers (Video-Recorder) vorgenommen werden, besteht nämlich beispielsweise bei einer aus der oben- Besonders vorteilhaft aber ist es, das Orientierungsgenannten Literaturstelle bekannten Ausführungs- bild in eine elektronische Bildspeicherröhre einzu-